CN1320618C - 树脂固化*** - Google Patents

Abstract

本发明的树脂固化***对于刚性不同的带子具有成本低、省空间的优点，其设有树脂固化装置63和带子卷绕装置64。其中树脂固化装置有用于加热带子12的第1～3运行通道L1～L3，通过运行通道L1～L3时进行热固化处理后的带子12从第1带子出口34送出；带子卷绕装置将由第1带子出口34送出的带子12，从第1带子导入口41导入后卷绕在卷绕卷轴44上。树脂固化装置63除了第1带子出口34之外，还有在第1运行通道L1运行后能将该带子12送出到外部的第2带子出口132。带子卷绕装置64除了第1导入口41之外，也有能将由第2带子出口132送出的带子12导入的第2带子导入口141。

Description

树脂固化***

所属技术领域

本发明涉及使安装在带子上的半导体片等封装用的树脂热固化，同时将该热固化后的带子卷绕的树脂固化***。

现有技术

为了将安装在带子上的半导体片等密封，可以采用将涂敷了环氧树脂之类热固性树脂的带子加热，使涂敷树脂固化的树脂固化***。

该树脂固化***以图4所示的封装***为主要构成部分组装起来。该封装***的结构若大致划分，可由带子供给装置1、封装装置2、树脂固化装置3、带子卷绕装置4构成。

带子供给装置1由带子供给卷轴14、卷绕衬垫带13的衬垫带卷绕卷轴15、多个导辊16和导向件17所构成。上述带子供给卷轴14是将安装了许多个半导体片11(参照图中虚线所示的圆形框A)的长带状带子12，在各自的带子12之间夹持有衬垫带13的状态下保持为滚筒状。

该带子供给装置1使保持在带子供给卷轴14上的带子12和衬垫带13分离，分离后的衬垫带13由衬垫带卷绕卷轴15卷绕。另一方面，带子12在如虚线框A所示的状态下供给到下一道工序的封装装置2。

封装装置2具有将来自该带子供给装置1的带子12送到前方(箭头a方向)的送入辊21和在带子12上施加张力的张力辊22，同时还具有对于安装在该带子12表面的半导体片11进行热固性树脂封装的封装部23。

树脂固化装置3是将来自封装装置2的带子12用加热炉30加热，使涂敷的树脂固化的装置。带子卷绕装置4是将经过树脂固化装置3进行了热固化处理的带子12卷绕的装置。

该树脂固化装置3和带子卷绕装置4在此称作树脂固化***，下面对于该树脂固化***加以说明。

该树脂固化***构成要素之一的树脂固化装置3的加热炉30，具有称作所谓3段炉的结构。即是：从图4可知，由封装装置2送出的、涂敷了树脂的带子12，由设置在带子12前进方向左右两侧的2根导轨31a、31b(参照图中虚线所示的圆形框B)的导向，朝水平方向(箭头a方向)前进。

在图中虚线所示的圆形框B中，明示了设在该加热炉30上作为进行加热的加热手段的发热体151、将来自该发热体151的热扩散的热扩散板152、将由热扩散板152扩散的热有效地照射到带子12背面的热反射板153。该发热体151、热扩散板152、热反射板153沿着第1至第3的运行通道L1～L3而设置是不容置疑的。但是，在此只是表示在图中虚线所示的圆形框B内。

然后，带子12由第1带子反转机构的第1反转辊32反转，由导轨31a、31b的导向，这次朝反方向(箭头b方向)前进，再由作为第2带子反转机构的第2反转辊33反转。反转后的带子12由导轨31a、31b的导向，朝水平方向(箭头a方向)前进，从带子出口34送到带子卷绕装置4去。

带子卷绕装置4具有下列部件：与树脂固化装置3的带子出口34对向设置的带子导入口41，将由该带子导入口41导入的带子12送向前方的、且具有驱动力的送入辊42，将由该送入辊42送入的带子12朝下方向引导的导向件43，将由该导向件43朝下方向导向的带子12在具有垂弛的状态下卷绕的卷绕卷轴44，检测该带子12垂弛量的垂弛量检测传感器45，以及在用卷绕卷轴44卷绕带子12时、为了供给避免带子12之间直接重叠用的衬垫带46的衬垫带供给用卷轴47。

除了这些构成要素之外，根据需要还要设置几个对于带子12和衬垫带46的运行进行导向的导辊48。垂弛量检测传感器45在此实例中是由2个光电变换元件P1、P2和与其配对的光敏元件R1、R2组成。

图4中所示的树脂固化装置3具有涂敷了树脂的带子在通过分别设置于第1加热区Z1、第2加热区Z2、第3加热区Z3的各自运行通道时，对树脂进行热固化处理的结构。下面，将下段的运行通道称为第1运行通道L1、中段的运行通道称为第2运行通道L2、上段的运行通道称为第3运行通道L3。

带子12在从封装装置2送出时，半导体片11的安装面往往是处于上侧位置。即是半导体片11是位于带子12的上侧状态。因此，在树脂固化装置3的第1运行通道L1时，按原来的状态(半导体片11位于上侧的状态)运行。但是，在第2运行通道L2时，半导体片11就在处于下侧的状态下运行，在第3运行通道L3时，半导体片11再次在处于上侧的状态下运行。

这样，当树脂固化装置3的加热炉30为复数段(这时为3段炉)结构时，对于涂敷的树脂能进行充分的加热。因此，从树脂固化装置3进入带子卷绕装置4的阶段，树脂能确实达到固化的状态。图4中所示的树脂固化***，是表示采用COF(Chip On Film)带子的例子。此外，经常使用有器件孔的TAB(Tape Automated Bonding)带子。这些被采用的带子无论是COF带子和TAB均是刚性强(有筋骨)的带子。

第1反转辊32和第2反转辊33具有各自的周端(辊面)只接触带子两端部的结构，对于安装在带子12上的半导体片11和由封装装置2涂敷的树脂，这第1及第2反转辊32、33的周端是不接触的。特别是第1反转辊32，在半导体片11和涂敷的树脂通过该第1反转辊32时为内侧(接触第1反转辊32周端的一侧)，所以必须具有只接触带子12两端部的结构。

发明所要解决的课题

当树脂固化装置3的加热炉30如图4所示的3段炉的结构时，如上所述，在第1运行通道L1和第3运行通道L3中，带子12是在半导体片11的安装面向上的状态下运行，但在第2运行通道L2中半导体片11在向下的状态下运行。图5显示了该状况。图5(A)是从带子卷绕装置4一侧来看图4所示的第1运行通道L1和第3运行通道L3部分的截面图，图5(B)是从带子卷绕装置4一侧来看图4所示的第2运行通道L2部分的截面图。

从图5可知：沿带子12的前进方向，带子12的左右两端是分别由导轨31a、31b支持的，带子12是由该导轨31a、31b的导向而运行的。

这样，在从第1到第3的运行通道L1～L3中，带子12其端部是由导轨31a、31b支持的。但是，作为在此进行加热处理对象考虑的TCP(包括采用TAB的中间产品和成品、COF的中间产品和成品)所用的带子12，其厚度约为70μm，作为此种带子12是比较厚的，其刚性也大、是所谓的「筋骨」强的带子。因此，即使在只靠两根导轨31a、31b来支持其两端的状态下，也几乎不会产生由于半导体片11的重量和加热等所引起的宽度方向的垂弛，能平稳地运行。

这类结构的树脂固化装置3，如上所述是为「筋骨」强的带子12使用而开发的，采用「筋骨」强的带子12时，这类结构的树脂固化装置3具有充分的功能，能进行良好的热固化处理。

但是，若用此树脂固化装置3对于采用「筋骨」弱的带子12的TCP、例如采用「筋骨」弱的带子12的COF进行热固化处理，则会发生各种问题。即是：此COF带子12的厚度往往是20μm～40μm的薄带子，与「筋骨」强的带子厚度(70μm左右)相比较，只有一半左右的厚度，其刚性小，容易垂弛。

因此，若将这种「筋骨」弱的带子12用图4所示的树脂固化装置3进行热固化处理，则由于半导体片11的重量和加热等，容易产生宽度方向的垂弛，有可能从导轨31a、31b处脱落。作为该问题的对策，考虑了如下的结构：在第1到第3各自的运行通道L1～L3中，沿各自的运行通道在左右导轨31a、31b之间设置从下方向支撑带子12的支持件，带子12一边由此支持件支撑，一边运行。

由于设置了这样的支持件，即使是「筋骨」弱的带子12，也能可靠地防止其宽度方向的垂弛，避免带子12从导轨31a、31b处脱落，可以稳定地运行。

在第2运行通道L2中，由于带子12的半导体片11的安装面处于与支持件侧对向的状态，带子12的回路配线面和半导体片11与支持件接触，有可能损伤回路配线和半导体片11。

COF往往进行称为「欠满」(under fill)的树脂涂敷。此涂敷方法不是将安装在带子12上的半导体片11整个包覆地涂敷树脂，而是在带子12上的半导体片11的侧面部(全周或部分)如一笔写下来那样的涂敷树脂的方法。涂敷的树脂由于毛细管现象而流入到半导体片11的底面和带子12的表面之间的空隙中。其结果是使半导体片11牢固地固定在带子12上。

如上所述，组装于图4封装***的、过去的树脂固化装置3，是用于带子12有一定厚度、其刚性也大的所谓「筋骨」强的带子12而开发的固化装置。

因此，若将这种树脂固化装置直接用于使用「筋骨」弱的带子的TCP，则会发生上述之类的各种问题。

但是，对于进行「欠满」的树脂涂敷、同时采用「筋骨」弱的带子的COF，若构筑采用这类COF专用的树脂固化装置的封装***，从使用这种封装***生产半导体装置方面来看，则需要分别准备能与各自相对应的封装***。而且，还需要用于设置各自装置的空间，这在成本及设置空间方面会有许多浪费。

因此，本发明的目的是要提供一种仅对至今使用的「筋骨」强的带子用树脂固化装置、和卷绕经该树脂固化装置进行树脂固化处理带子的带子卷绕装置加以改良，就能使用于刚性小、即所谓「筋骨」弱的带子的树脂固化***。

用于解决课题的手段

本发明的树脂固化***由树脂固化装置和带子卷绕装置构成。树脂同化装置又由下列部分组成：对于采用树脂涂敷装置在带子上涂敷的热固性树脂进行加热的第1加热区域，将通过此第1加热区域的带子朝和第1加热区域相反的方向输送、同时进行加热的第2加热区域，将通过此第2加热区域的带子朝和第2加热区域相反的方向输送、同时进行加热的第3加热区域，将通过此第3加热区域的带子送出到加热炉外的第1带子出口。带子卷绕装置是将从第1带子出口送出的带子卷绕的装置。为了达到本发明的上述目的，在树脂固化装置中设置了将来自于第1加热区域的带子送出到加热炉外的第2带子出口；在带子卷绕装置中设置了将从第1带子出口送出的带子送到卷绕卷轴的第1送入辊、和将从第2带子出口送出的带子送到卷绕卷轴的第2送入辊，上述第1加热区域设有第1运行通道，该运行通道具有在其前进方向两侧支持上述带子的2根导轨、和设在此2根导轨之间并从下方支撑通过第1运行通道的带子的支持件。

这样，本发明的树脂固化装置就设有2个带子出口，即：运行了多个运行通道进行热固化处理后、将带子送出到外部的第1带子出口，和只运行了第1运行通道进行热固化处理后、将带子送出到外部的第2带子出口。从而可以选择性地使用其中的任何一个出口，可以根据带子性质的不同而进行对应的热固化处理。

此外，其他的发明点是这类树脂固化***中，在第1加热区域设有第1运行通道，此第1运行通道具有在其前进方向两侧支持带子的2根导轨、和设在此2根导轨之间、从下方支撑通过第1运行通道的带子的支持件。

这样，只运行了此第1运行通道进行热固化处理后，从第2带子出口送出带子进行热固化处理，带子由于有支持件从下方支撑，所以即使采用刚性小(「筋骨」弱)的带子，也不会产生宽度方向的垂弛，不会发生从导轨处脱落的麻烦，能稳定地运行。此外，带子在此第1运行通道运行时，若使半导体安装面朝上侧运行，则支持件的存在不会对半导体片和带子里面产生影响。

此外，在第1运行通道和第2带子出口之间，最好形成延伸第1运行通道的运行通道。

若形成这样的结构，则带子从第2带子出口送出时，该带子能可靠地从第1运行通道运行到第2带子出口处。

另外，设有将第1运行通道运行的上述带子导入上述第2加热区域的反转机构、且该反转机构是辊时，该辊最好要用可改变其安装位置的安装结构，安装在辊安装件上，从而在带子于第1运行通道运行后从第2带子出口送出时，使辊的周端从带子的连结第1运行通道、和第1运行通道与第2带子出口间所形成的延伸运行通道的运行通道处脱离。

采用这样的结构后，将带子从第2带子出口送出时，辊的周端就不会接触在运行中的带子上，辊的周端不会损伤半导体片或是损伤带子表面，使带子能平稳地运行。

在树脂固化装置中，该第1带子出口和第2带子出口如何选择，要由热固化处理对象的带子种类来决定，刚性厚度为70μm的带子时选择第1带子出口，刚性厚度为20μm～50μm范围内的带子时最好选择第2带子出口。

这样，可以进行不同种类带子的热固化处理。将此树脂固化装置组装在封装***，对于不同种类和性质的带子的热固化处理工序就能在1台树脂固化装置上进行。

选择第2带子出口的带子，是具有带子刚性小的TAB或COF用带子，带子厚度最好为20μm～50μm。

这样，采用极薄带子的TCP就能采用过去常用的树脂固化装置来进行热固化处理。

最好在第1带子出口和第2带子出口分别设有开闭自由的盖子。

这样，不使用一边的基板送出口就能堵住，从而使树脂固化装置内的热量避免泄漏浪费，可减少树脂固化装置内的温度变化，能使温度控制动作变得方便。此外，还能防止外部尘埃的侵入。

带子卷绕装置在导入了从第1带子出口或第2带子出口任何一方送出的上述带子后，最好将该导入的带子在保持按相同基准控制的规定垂弛量的状态下，用卷绕卷轴进行卷绕。

采用这样的结构后，热固化处理结束后的带子的卷绕就能在不损伤带子的情况下进行。而且，导入进来的带子按相同基准控制规定的垂弛量，所以控制装置的结构也就变得不复杂，且垂弛量的控制也方便了。

除了上述发明点之外的发明点是：为了使带子处于保持规定垂弛量的状态，设有检测带子垂弛量的垂弛量检测手段，即是具有多个受光、发光元件和与之配对的多个反射镜的垂弛量检测手段，根据从该垂弛量检测手段来的信号，进行卷绕卷轴的驱动控制，使垂弛量达到预先设定的范围内。

这样，可以使垂弛量经常保持在最佳状态，在加热处理结束后的带子上不会加以不合适的力、也不会过分垂弛，可以在保持最佳垂弛量的状态下进行卷绕动作。此外，由于利用了反射镜，可将受光元件和发光元件配置在同一侧，使连接受光元件和发光元件的电线容易安装，同时电线的铺设量也可减少，使内部变得简洁。

本发明的实施形态

下面，对于本发明的树脂固化***的实施形态加以说明。

图1是说明组装了有关本发明实施形态的树脂固化***的封装***的图。若将该封装***的结构大致划分，则和图4所示的封装***一样，是由带子供给装置1、树脂涂敷装置2、构成树脂固化***的树脂固化装置63及带子卷绕装置64所构成。

本实施形态的树脂固化***，是对于带子刚性大(「筋骨」强)、且需要充分加热的TCP(一般、TAB)用的现有树脂固化***(图4中的树脂固化装置3和带子卷绕装置4)进行改良，从而也能用于带子刚性小(「筋骨」弱)的树脂固化***。

因此，图1所示的带子供给装置1、树脂密封装置2可以和图4的说明一样，故对其各自的构成元件给予和图4相同的符号，其说明也就省略或简单化，而对于构成本发明树脂固化***的树脂固化装置63和带子卷绕装置64则详细加以说明。此外，构成该树脂固化装置63和带子卷绕装置64的构成元件中，和图4所示相同的部分则给予相同的符号。

本树脂固化装置63和图4所示的树脂固化装置3一样，其加热炉30具有3段炉的结构，形成第1运行通道L1、第2运行通道L2、第3运行通道L3。而且，对于具有「筋骨」强的带子的TCP，采用上述第1运行通道L1、第2运行通道L2、第3运行通道L3，和以前相同的所谓3段炉进行加热。但是，对于具有「筋骨」弱的带子的TCP，可以采用第1运行通道L1的所谓1段炉进行加热。

为了实现此目标，树脂固化装置63和带子卷绕装置64具有如下说明的结构。此外，本实施形态中所用的带子12的宽度为70mm，具有「筋骨」强的带子的TCP时，其厚度为70μm，带子是「筋骨」弱的带子时，其厚度为20μm～50μm。

首先对于树脂固化装置63加以说明。

本树脂固化装置63的加热炉30的结构如上所述，具有由第1加热区域Z1、第2加热区域Z2、第3加热区域Z3构成的3段加热区域，分别在第1加热区域Z1形成第1运行通道L1、在第2加热区域Z2形成第2运行通道L2、在第3加热区域Z3形成第3运行通道L3，在上述第1至第3的运行通道L1～L3中，和过去一样设有2根导轨31a、31b，由这2根导轨31a、31b支持带子12的两端。

在本实施形态中，第1至第3的运行通道L1～L3中，第1运行通道L1上在2根导轨31a、31b之间设有支持件131，该支持件131从下方向支撑第1运行通道L1上运行的带子12。(参照图1中虚线所示的圆形框B)

在第1运行通道L1中，在该第1运行通道L1的延长线上、且在作为第1带子反转机构的第1反转辊32的前方(带子12前进方向的前方)设有延长运行通道L1’。该延长运行通道L1’设置时离设在第1运行通道L1的2根导轨31a、31b和存在于该导轨31a、31b之间的支持件131各自终端部E1有规定的间隔距离。

而且，该延长运行通道L1’上设有2根导轨31a、31b以及支持件131(参照图中虚线所围的圆形框C)，这些结构构件分别要延长到树脂固化装置63的侧壁部附近(带子卷绕装置64侧的侧壁部附近)。

而且，在与构成延长运行通道L1’的2根导轨31a、31b和支持件131的终端部E2相对的树脂固化装置63的侧壁部，设有带子出口132。即是：在该树脂固化***使用「筋骨」弱的带子12时，「筋骨」弱的带子12从第1运行通道L1始，通过延长运行通道L1’从带子出口132送出。

设在导轨31a、31b之间的支持件131如前所述，在使用「筋骨」弱的带子12时、当TCP在该第1运行通道运行中，主要起到防止由于半导体片11的重量和加热而引起宽度方向上的垂弛的作用。由此防止带子12从导轨31a、31b处脱落。

这样，本树脂固化装置63设有2个带子出口，即：作为热固化处理后的带子12的送出口的与第3运行通道L3终端部相对设置的带子出口34；和与在第1运行通道L1的延长通道上作为将该第1运行通道L1延伸的运行通道而配置的延长运行通道L1’的终端部E2对向设置的带子出口132。以下，将与第3运行通道L3的终端部对向设置的带子出口34称为第1带子出口34，将与延长运行通道L1’的终端部E2对向设置的带子出口132称为第2带子出口132。

在该第1带子出口34及第2带子出口132上分别设有开闭自由的盖子133、134，当该第1带子出口34及第2带子出口132不使用时，就可以用各自的盖子133、134将第1带子出口34及第2带子出口132堵住。

其理由如下。即：在本树脂固化***中，在具有「筋骨」强的带子12的TCP(即使用由COF或TAB等制造方法制得的TCP、「筋骨」强的带子12)时，采用从第1到第3的运行通道L1～L3进行热固化处理，热固化处理后的带子12从第1带子出口34送出。此外，在使用由COF或TAB等制造方法制得的TCP、「筋骨」弱的带子12时，在第1运行通道L1上运行进行热固化处理，该热固化处理后的带子12经过延长运行通道L1’从第2带子出口132送出。这样，在本树脂固化***中，根据热固化处理对象的带子的「筋骨」强弱，只能使用第1带子出口34或第2带子出口132中的任何一方的情况下，如果没有盖子133、134，则不使用的一方带子出口则会处于开放状态，树脂固化装置63内部的热量就要逃逸，温度变化剧烈，从而导致温度控制复杂。

此盖子133、134可以是如同快门那样上下或左右滑动开闭，也可以是用铰链安装的门如同旋转圆弧那样开闭。

在第1运行通道L1和其延长运行通道L1’之间，存在第1反转辊32。该第1反转辊32在本实施形态的树脂固化装置63中，在「筋骨」强的带子12时，其周端的辊面存在于连结第1运行通道L1和其延长运行通道L1’的运行通道上。另一方面，对于「筋骨」弱的带子12，采用本树脂固化装置63时，从第1运行通道L1过渡到延长运行通道L1’存在带子12，第1反转辊32的周端最好不要处于接触带子12的状态。这是因为第1反转辊32是没有驱动力的辊，若其周端处于接触带子12的状态，则会阻碍带子12的运行，使带子不能平稳运行。

因此，带子12从第1运行通道L1经延长运行通道L1’、再经过第2带子出口132运行时，采用防止第1反转辊32接触带子12的结构。从第2带子出口132排出带子12的第1实施例是：第1反转辊32要用可改变其安装位置的安装机构，安装在辊安装件上，从而使第1反转辊32的周端能从连结第1运行通道L1和延长运行通道L1’的运行通道处脱离。该辊安装机构可有各种考虑，作为一例其结构如下：在作为安装该第1反转辊32的辊安装件的支柱135上，设有安装该第1反转辊32中心轴32a的长孔(上下方向的长孔)136，通过将该第1反转辊32中心轴32a的安装位置在该长孔136内的任意位置上固定，就能改变其(第1反转辊32)安装位置。

从第2带子出口132排出带子12的第2实施例(图示省略)是：第1反转辊32装脱自由地安装在辊安装件上，第1反转辊32等具有从装置上拆装方便的结构。在此实施例中，在用延长运行通道L1’所示的领域配设加热器，该加热器是红外线加热器，具体是陶瓷加热器或灯丝加热器等。该加热器是为了放长第1运行通道L1的均热长度。向1段炉的切换首先拆卸配设于反转辊32和延长运行通道的加热器等，然后，将和图4所示相同的发热体151、热扩散板152、热反射板153、导轨和支持件组装在延长运行通道L1’的领域。此外，可以将发热体151、热扩散板152、热反射板153、导轨和支持件装配成部件，用部件进行调换。

在第1实施例中，如同具有「筋骨」强的带子12的TCP那样，在采用从第1到第3的运行通道L1～L3进行热固化处理时，需要由第1反转辊32进行反转，所以第1反转辊32要将其中心轴32a在长孔136内位置决定后固定，使其周端处于接触第1运行通道L1的位置。此外，如同具有「筋骨」弱的带子12的TCP那样，只采用第1运行通道L1和延长运行通道L1’时，因不需要第1反转辊32，第1反转辊32要在其中心轴32a在长孔136内位置决定后固定，使其周端从连结第1运行通道L1和延长运行通道L1’的线上脱离。

树脂固化装置63除了上述的构成要素之外，作为树脂固化装置当然还设有各种必需的构成要素。但是，这些要素在说明本发明方面没有特殊必要，因此也就在图示中省略了。

下面，对于带子卷绕装置64加以说明。

本带子卷绕装置64具有下列各构成要素：与树脂固化装置63的第1带子出口34对向设置的带子导入口41(将其称为第1带子导入口41)和与树脂固化装置63的第2带子出口132对向设置的带子导入口141(将其称为第2带子导入口141)，将自第1带子导入口41导入的带子12送到前方并具有驱动力的送入辊42(将其称为第1送入辊42)，将由该第1送入辊42送来的带子12向下方导向的导向件43(将其称为第1导向件43)，将自第2带子导入口141导入的带子12送到前方并具有驱动力的送入辊142(将其称为第2送入辊142)，将由该第2送入辊142送来的带子12向下方导向的导向件143(将其称为第2导向件143)，在由第1或第2带子导入口41、141中的任何一方的带子导入口导入的带子持有垂弛的状态时卷绕该带子12的卷绕卷轴44，检测该带子12的垂弛状态的垂弛量检测传感器145，在由卷绕卷轴44卷绕带子12时为了不使带子12之间直接重叠而供给衬垫带46的衬垫带供给用卷轴47。

除了上述构成要素之外，根据需要设有对带子12和衬垫带46的运行进行导向的几个导向辊48等。此外，还设有许多其他的构成要素，但这些要素在说明本发明方面没有特殊必要，因此就省略了图示。

上述垂弛量检测传感器145由下列要素构成：为了能检测带子的垂弛量在3阶段的状态、分别具有发光和受光两种机能的3个光电变换元件(第1光电变换元件PR1、第2光电变换元件PR2、第3光电变换元件PR3)，以及与这些第1至第3光电变换元件PR1、PR2、PR3形成配对而对向配置的3个反射镜M1、M2、M3。各光电变换元件PR1、PR2、PR3接受由各自反射镜M1、M2、M3反射的自身的光，并将从这些光电变换元件PR1、PR2、PR3输出的信号给与图中未示的信号处理部。因此，该信号处理部检测带子12的垂弛量，并根据该垂弛量对卷绕卷轴44进行控制。

下面，对于根据带子12的垂弛量控制带子12的卷绕参照图2加以说明。图2是取出图1中的带子卷绕装置64的垂弛量检测传感器145和带子12的垂弛部分、放大后的示意图，和图1相同部分就给予相同符号。

上述第1至第3的光电变换元件PR1～PR3和与其对应的3个反射镜M1、M2、M3中，第1光电变换元件PR1和与其配对的反射镜M1设置在上段，第2光电变换元件PR2和与其配对的反射镜M2设置在中段，第3光电变换元件PR3和与其配对的反射镜M3设置在下段。

这时，作为带子12的垂弛量，以带子12的垂弛底部(给予12a的符号)位于设置在中段的第2光电变换元件PR2和设置在下段的第3光电变换元件PR3之间为最合适的垂弛量，若垂弛位置超过设置在下段的第3光电变换元件PR3的话，则其垂弛量过多，若是存在于比设置在中段的第2光电变换元件PR2高的位置，则垂弛量过少。

第1光电变换元件PR1具有限制器的功能，可检测某些异常的发生。这类异常诸如有卷绕卷轴44停止卷绕等异常。

在此例子中，若带子12存在于第1至第3的光电变换元件PR1～PR3和与其配对的反射镜M1～M3之间的话，从第1至第3光电变换元件PR1、PR2、PR3发出的光就不会到达分别配对的反射镜M1、M2、M3上，光电变换元件PR1、PR2、PR3自身发出的光就不会返回，从第1至第3光电变换元件PR1～PR3输出显示带子12存在的信号；相反，各自的光电变换元件PR1、PR2、PR3发出的光返回时，则输出显示不存在带子12的信号。

带子12是否存在于各自的光电变换元件PR1、PR2、PR3和反射镜M1、M2、M3之间，实际上是用返回的光量多少来判断的，当返回到各自的光电变换元件PR1、PR2、PR3的光量为预先设定的极限值以上时，就判断为不存在带子12。这里不存在带子12时表现为「光返回」，存在带子12时表现为「光不返回」。

对于该带子12的垂弛量控制的具体例子加以说明。如图2(A)所示，当带子12的底部12a处在第3光电变换元件PR3下方的状态时，从第3光电变换元件PR3发出的光不返回，就可以判断为带子12至少垂弛至第3光电变换元件PR3以下。

也就是说，若自第3光电变换元件PR3发出的光不返回到自身，就可以判断为带子12至少垂弛到第3光电变换元件PR3以下，判断为垂弛量过多，从而进行卷绕卷轴44的控制，使带子12的卷绕量增多。

进行这样的卷绕控制后，带子12的垂弛量就变少。接着，带子若达到图2(B)所示的状态，第2光电变换元件PR2发出的光返回到自身，就可以判断为带子12的底部12a位于第2光电变换元件PR2以上的位置。这时，判断为带子12的垂弛量变少，为了增加垂弛量，要停止基板卷绕卷轴44的卷绕驱动。

也就是说，在本实施形态中，图2(C)所示的状态(带子12的底部12a处于第3光电变换元件PR3和第2光电变换元件PR2之间的状态)为最合适的带子垂弛量，卷绕卷轴44的驱动控制就是要达到这样的垂弛量。

第1光电变换元件PR1是在前述的卷绕卷轴44的卷绕停止异常时，为了能与带子12的垂弛量异常变少时能够对应而设置的。例如，若带子12的底部12a如图2(D)所示，达到比第1光电变换元件PR1更高的位置时，则自身发出的光就返回到该第1光电变换元件PR1上。

这时，信号处理部判断为异常，例如在此时若有卷绕卷轴44进行卷绕动作的话，就紧急停止该卷绕动作。此外，也可以考虑驱动卷绕卷轴44的驱动装置的卷绕速度和树脂固化装置63以前工序的带子12输送有停滞等异常，就可以考虑停止整个封装***，或是用报告发生异常的手段、例如用蜂鸣器等发出异常检测声音，或者用灯光闪烁来显示异常。

下面，对于此类结构的本发明实施形态的树脂固化***(树脂固化装置63和带子卷绕装置64)的操作方法及其动作加以说明。本树脂固化***是作为主要构成要素组装在如图1所示的封装***中。

首先，在组装了本树脂固化***的封装***中，使用刚性大的(「筋骨」强的)带子12时，要通过树脂固化装置63的3段炉、即通过第1运行通道L1、第2运行通道L2、第3运行通道L3进行加热处理。

因此，这时作为起动树脂固化装置63的前阶段操作，是要用第1反转辊32的反转使带子12从第1运行通道L1通向第2运行通道L2。再用第2反转辊33(第2带子反转机构)的反转使带子12通过第3运行通道L3，然后将其前端部从带子出口34送出。接着通过带子卷绕装置64的第1送入辊42，沿着第1导向件43朝下方垂弛，然后将其前端部装在卷绕卷轴44上。这一连串的操作是由操作人员进行的。

在对具有「筋骨」强的带子12的TCP进行热固化处理时，即通过第1～第3的运行通道L1～L3进行热固化处理时，设在第2带子出口132侧的盖子134处于关闭状态。

进行了上述操作之后，树脂固化装置63的加热炉30开始加热动作，带子12在第1运行通道L1、第2运行通道L2、第3运行通道L3中运行时被加热，涂敷的树脂被热固化处理。对于采用加热进行热固化处理，由于与本发明的要点没有直接关系，所以该说明就省略了。

这时带子12的送入动作是由设在带子卷绕装置64中的第1送入辊42和设在封装装置2中的送入辊21通过同步旋转进行的。

在带子卷绕装置64中，由树脂固化装置63送来的带子12，通过第1导向件43朝下方输送，在保持规定量的垂弛状态下卷绕在卷绕卷轴44上。

在此动作状态下，带子卷绕装置64由第1～第3的光电变换元件PR1～PR3和与其配对的反射镜M1～M3，进行上述带子12的垂弛量检测，并根据被检测的垂弛量进行卷绕动作的控制。

在本实施形态中，如前所述在正常动作时，控制卷绕卷轴44，使带子12的垂弛量处在第3光电变换元件PR3和第2光电变换元件PR2之间。若由于某种原因带子12的垂弛量处在比第1光电变换元件PR1还要高的位置，这是异常，要紧急停止卷绕卷轴44的卷绕，或是发出报告异常信号之类的动作。

另一方面，在图1所示的封装***中，使用刚性小的(「筋骨」弱的)带子12时，树脂固化装置63只要1段炉、即是仅通过第1运行通道L1进行热固化处理。

因此，这时作为起动树脂固化装置63的前阶段操作，如图3所示，将带子12通过第1运行通道L1和延长运行通道L1’，其前端部从第2带子出口132送出，然后通过带子卷绕装置64的第2送入辊142，沿着第2导向件143朝下方垂弛，再将其前端装在卷绕卷轴44上。这时的此类初始操作是由操作者进行的。

因此，在「筋骨」弱的带子12时，带子12从第1运行通道L1通过延长运行通道L1’，从第2带子出口132送出，然后进入带子卷绕装置64，不需要第1反转辊32。

这时，若第1反转辊32处在原来的位置(第1反转辊32的周端接触连结第1运行通道L1和延长运行通道L1’的运行通道的位置)，则带子12就不能平稳地运行，所以第1反转辊32要改变安装位置，使其周端从带子12的运行通道处脱离。如前所述，这可以将该第1反转辊32拆卸，或者是在安装该第1反转辊32的支柱135的长孔136上，将第1反转辊32的安装位置调整到该长孔136内的上部。

像这样只用第1运行通道L1进行热固化处理时，设在树脂固化装置63中的第1带子出口34处的盖子133不使用，处于关闭状态。

进行了上述操作后，树脂固化装置63开始进行热固化处理，带子12在第1运行通道L1处运行时被加热，涂敷的树脂被热固化处理。这里使用「筋骨」弱的带子12的TCP、如COF的场合，仅通过第1运行通道L1就便树脂固化。热固化处理的实施要选择与规定加热时间相对应的带子送入速度。

这时的带子12的送入动作，由设在带子卷绕装置64上的第2送入辊142和设在封装装置2侧的送入辊21通过同步旋转进行的。

在该第1运行通道L1和延长运行通道L1’中，在左右两根导轨31a、31b之间设有支持件131，用此支持件131支撑带子12的里面(下侧面)，即使是「筋骨」弱的带子也不会产生垂弛，能平稳地运行。在此第1运行通道L1上，带子12是在半导体片11的安装面面向上侧的状态下运行的，所以不用担心支持件131会损伤半导体片11或损伤带子表面。

在带子卷绕装置64中，带子12由第2送入辊142和第2导向件143朝下方输送，在保持规定垂弛量的状态下卷绕在卷绕卷轴44上。从第2送入辊142到卷绕卷轴44所进行的动作，即是根据垂弛量的检测、控制卷绕卷轴44的动作，和前述从第1送入辊42到卷绕卷轴44的动作相同，对于该动作此处就省略说明了。

如上所述，本实施形态中树脂固化装置63侧设有2个带子出口：一是迄今为止的树脂固化装置所存在的第1～第3运行通道L1～L3和从该第3运行通道L3将带子12送出到外部的第1带子出口34；其二是设有延长第1运行通道L1的延长运行通道L1’、同时从该延长运行通道L1’可将带子12直接送出到外部的第2带子出口132。即树脂固化装置63的结构可以选择作为3段炉用或是作为1段炉用。

因此，根据作为处理对象的带子12，可以任意选择3段炉和1段炉。例如；使用「筋骨」强的带子12时，该树脂固化装置63作为3段炉使用，使用「筋骨」弱的带子12时，该树脂固化装置63作为1段炉使用。这时，在第1运行通道L1和延长运行通道L1’上，在左右2根导轨31a、31b之间设有支持件131，所以即使是「筋骨」弱的带子12，也不会因为半导体片11的重量和加热等而引起宽度方向的垂弛，也不会从导轨31a、31b处脱落。支持件131除了配设在带子12宽度的中央一处以外，也可以配设在从带子宽度中央靠端部的两处。

第1反转辊32可以方便地改变其安装位置，在采用第1运行通道L1和延长运行通道L1’进行热固化处理时，将第1反转辊32处于从带子12的运行通道脱离的位置，因此第1反转辊32的存在并不妨碍带子的运行。

另一方面，在带子卷绕装置64侧，为了能够对应于上述树脂固化装置63的结构，作为接受从树脂固化装置63送出的带子12的带子导入口，除了过去已设置的第1带子导入口41之外，还设有当树脂固化装置63作为1段炉使用时、与树脂固化装置63侧的第2带子出口132对应的第2带子导入口141。

对于上述第1及第2带子导入口41、141，作为送入辊设有第1及第2送入辊42、142、以及将带子12导向下方的导向件43、143。而且，无论是从哪个带子导入口41、141导入的带子12，在下方保持垂弛的状态下，用卷绕卷轴44卷绕。此外，具有监视此垂弛量的垂弛量检测传感器145，能保持适当的垂弛量。

上述的实施形态是本发明合适的实施形态。但是，本发明只要在不超脱其权利要求的范围内可以有各种变形的实施形态。例如，前述的实施形态中，第1～第3的运行通道L1～L3在各自的段中为水平的运行通道。但是，上述L1～L3在各自的段中并不限定为水平运行通道，例如各自的运行通道L1～L3在各自的段中也可以形成具有规定倾斜度的锯齿形运行通道。

在上述实施形态中，树脂固化装置63的3段炉热固化处理顺序为从下段(第1运行通道L1)向上段的顺序，但是也可以与此相反，从上段向下段的热固化处理顺序。这时，从封装装置2送出的带子12首先进入最上段(将此定为第1运行通道L1)，以后依次朝下一段(从第2运行通道L2到第3运行通道L3)运行，为了实现本发明，在最上段的第1运行通道L1设有如前所述实施形态所说明那样的延长运行通道L1’和第2带子出口132，带子卷绕装置64也可具有与此相对应的结构。此外，延长运行通道L1’在前述实施形态中是从第1运行通道L1直接在水平方向延长的运行通道，但是也可以不是水平方向、例如向上方倾斜或下方倾斜延长的运行通道。

在前述的实施形态中，作为构成树脂固化***的树脂固化装置63的加热炉30是以3段炉的例子加以说明。但是，并不限于3段炉、只要具有复数段(不仅是3段、5段之类的奇数，也可以是偶数段)的树脂固化装置的加热装置，都可以适用。当是偶数段时，一旦将从树脂固化装置排出的带子12不通过该树脂固化装置的加热炉30时，需要有回到带子卷绕装置侧的运行通道。

在前述的实施形态中，将3段炉作为1段炉使用时，使第1反转辊32移动到上方，但是也可以将第1反转辊32的位置固定。这时，使第2带子出口132的高度低于第1运行通道L1的高度，在从第1运行通道L1到第2带子出口132之间带子12不接触第1反转辊32。例如，作为1段炉使用时，将延长运行通道L1’的支持件131设置成随着朝向第2带子出口132向下方倾斜，这样，在从第1运行通道L1到第2带子出口132之间，带子12就可以不接触或者基本不接触第1反转辊32。此外，作为1段炉使用时，可考虑使第1运行通道L1移向下方，从而将延长运行通道L1’和第1运行通道L1成一直线状；作为3段炉使用时，可考虑将第1运行通道L1移向上方。

垂弛量检测传感器145由第1～第3光电变换元件PR1～PR3和与此配对的反射镜所构成，但也可以如过去那样，由发光元件和与此配对的受光元件构成。此外，检测手段也并不限定在3段。

段数的切换也可以不是带子12的「筋骨」强度的强弱，而是考虑所使用的树脂种类和树脂量的任意一方或双方，从而决定为3段运行通道或1段运行通道。此外，也可以考虑带子12的「筋骨」强度和所使用的树脂两者，或是考虑树脂的涂敷方法来选择3段运行通道或1段运行通道。在处理TAB带子时，将支持生131移向下方，避免和带子里面的器件孔附近的树脂接触。另一方面，处理「筋骨」弱的COF带子时，也可将支持件131上升，回到原来的位置。此外，支持件131的位置可针对带子12的种类变更为下段、中段、上段三个位置，或者是可以无级调整支持件131上下方向的位置。

在上述实施形态中，对于使用于TAB和COF的带子12的宽度为70mm的场合作了说明，但带子的宽度并不限定于此。这时，可以改变导向带子12的导轨宽度，从而可以对应各种宽度的带子12。

在上述实施形态中，作为具有所谓「筋骨」强的带子12的例子是说明了采用TAB的TCP，作为具有所谓「筋骨」弱的带子12的例子是说明了采用欠满的COF的TCP。但是，在本发明的树脂固化***中能够使用的带子12并不限于这些，TAB用带子中也有「筋骨」弱的，COF用带子中也有「筋骨」强的，能够对应于各种TCP用的带子12。

带子出口的形状是横100mm×纵15mm的近似矩形。第1带子出口34和第2带子出口132可以是相同形状、也可以是不同形状。导轨配设在带子出口34、132的左右两端，且延伸到加热炉30外。第1带子导入口41和第2带子导入口141除了分别设置之外，也可以合并设置1个带子导入口。

带子供给卷轴14和带子卷绕卷轴44的卷绕半径(开始卷绕带子时半径、卷到卷轴上的带子的最小半径)的大小以电气配线不会产生在实用上成为问题的永久变形为宜。但是，在带子供给装置1和带子卷绕装置4中将带子垂弛、同时输送带子时，若由于带子垂弛而产生的带子曲率半径比卷轴的卷绕半径小，则配设于带子上的电气配线有时会产生永久变形。因此，带子供给装置和带子卷绕装置中，由于带子垂弛而产生的带子曲率半径不能比卷轴的卷绕半径小。

另一方面，由于带子卷绕装置64卷绕部分树脂密封的带子，所以树脂密封的电气配线和树脂未密封的电气配线的境界区域的弯曲容易变大，配设于带子的电器配线容易产生永久变形。因此，在带子卷绕装置64中，与带子供给装置1比较，由于带子的垂弛而产生的曲率半径要放大。

在伴随带子垂弛而不缩小发生的曲率半径的机构中，可以考虑扩大导辊的间隔、放大带子曲率半径的机构或者考虑带子下垂的限制机构，从而缩小带子的垂弛量、使带子不过度下垂到下方。前者如图1的带子卷绕装置4所示，需要大的空间，这样装置变大。后者需要提高带子的送入·卷绕控制精度和频繁地进行带子的输送和停止，但具有带子来回的空间减小、装置小型化的优点。

在本发明的带子卷绕装置4中，带子的垂弛机构除了图1及图3所示的下垂到下方的机构之外，也可以是带子下垂限制机构。带子下垂限制机构是把由第1带子出口34送出的带子，从送入辊42直接送到卷绕卷轴44。其间，在带子的曲率半径不小于卷绕卷轴44的带子卷绕半径的范围内，带子稍有垂弛。卷绕带子时，若在带子上作用较大的外力，则会使产品损伤，所以要控制带子自重以外的张力不加在带子上。由第2带子出口送出的带子从送入辊142送到卷绕卷轴44，和上述同样地进行卷绕。

此类带子下垂限制机构并不限定1段炉和3段炉组装的加热炉，无论是1段炉还是3段炉都有效。采用该机构后，带子供给装置和带子卷绕装置的尺寸可缩小，封装装置的全长能缩短。

热反射板153可以用作为镜面的不锈钢(如SUS304)等金属组成的炉底或炉顶来代替。如果炉内的底、侧壁和顶为镜面，则除了可以削减结构零件(热反射板和安装工具等)之外，还具有能在短时间内均匀加热被涂敷的树脂的优点。尤其是3段炉时，在反转辊32弯曲带子12前被涂敷的树脂就必须固化到不从带子或半导体片上剥落的程度。衡量3段炉的带子送入速度(与封装***的生产性成正比)是第1加热区域。炉内的底、侧壁和顶如果为镜面，则涂敷的树脂在第1加热区域受到上下左右均匀的加热，在短时间内达到规定温度。这样，就能缩短第1加热区域的长度，并缩短封装***的全长。炉内的底、侧壁和顶为镜面并不限定于1段炉和3段炉组装的加热炉，无论是1段炉还是3段炉等多段炉都有效。

发明效果

如上所述，本发明的树脂固化***，对于「筋骨」强度不同的带子，只要在1个***中就能进行封装工序和以后的热固化处理工序，所以使用这样***的企业可以平抑设备投资，而且还能有效利用设置空间。

附图简单说明

图1所示的是本发明实施形态、组装了本发明树脂固化***的封装***的整体构成图。

图2是说明图1所示树脂固化***的卷绕装置中、根据带子垂弛量控制带子卷绕的图。

图3是在图1所示的封装***整体构成中，树脂固化装置只用第1运行通道进行热固化处理时的带子运行状况和其动作的说明图。

图4是过去的封装***的整体构成图。

图5是图4中的第1运行通道及第3运行通道的带子运行状态和第2运行通道的带子运行状态的说明图。

符号的说明

1         带子供给装置

2         封装装置

11        半导体片

12        带子

23        封装部

21        送入辊

22        张紧用辊

30        加热炉

31a、31b  导轨

32          第1反转辊(带子反转机构)

33          第2反转辊

34          第1带子出口

131         支持件

132         第2带子出口

133、134    盖子

41          第1带子导入口

42          第1送入辊

43          第1导向件

44          卷绕卷轴

63          树脂固化装置(树脂固化***一部分)

64          带子卷绕装置(树脂固化***一部分)

141         第2带子导入口

142         第2送入辊

143         第2导向件

145         垂弛量检测传感器

L1          第1运行通道

L2          第2运行通道

L3          第3运行通道

L1’        延长运行通道

            (对第1运行通道L1延伸的运行通道)

Z1          第1加热区域

Z2          第2加热区域

Z3          第3加热区域

Claims (9)

1.一种树脂固化***，其构成包括树脂固化装置和带子卷绕装置，

其中上述树脂固化装置的组成有以下各部，即：

对采用树脂涂敷装置涂敷在带子上的热固性树脂进行加热的第1加热区域，

将通过此第1加热区域的上述带子朝与第1加热区域相反的方向输送、同时进行加热的第2加热区域，

将通过此第2加热区域的上述带子朝和第2加热区域相反的方向输送、同时进行加热的第3加热区域，

以及将通过此第3加热区域的上述带子送出到加热炉外的第1带子出口；

上述带子卷绕装置卷绕由上述第1带子出口送出的上述带子；

另，上述树脂固化装置还设有将来自于上述第1加热区域的上述带子送出到上述加热炉外的第2带子出口，

上述带子卷绕装置还设有将由上述第1带子出口送出的上述带子送到卷绕卷轴的第1送入辊、和将由上述第2带子出口送出的上述带子送到上述卷绕卷轴的第2送入辊，

上述第1加热区域设有第1运行通道，该运行通道具有在其前进方向两侧支持上述带子的2根导轨、和设在此2根导轨之间并从下方支撑通过第1运行通道的带子的支持件。

2.如权利要求1所述的树脂固化***，其特征是在前述第1加热区域设有第1运行通道，此第1运行通道具有在其前进方向两侧支持前述带子的2根导轨、和设在此2根导轨之间并从下方支撑通过此第1运行通道的前述带子的支持件。

3.如权利要求1或2所述的树脂固化***，其特征是在前述第1运行通道和前述第2带子出口之间，形成有将前述第1运行通道延伸的运行通道。

4.如权利要求1所述的树脂固化***，其特征是设有将走过前述第1运行通道的前述带子导入前述第2加热区域的反转机构，且当该反转机构是辊时，该辊用可改变其安装位置的安装机构，安装在辊安装件上，从而在前述带子于前述第1运行通道运行后、从前述第2带子出口送出时，使上述辊的周端从前述带子的连结前述第1运行通道、和前述第1运行通道与前述第2带子出口间所形成的延伸运行通道的运行通道处脱离。

5.如权利要求1所述的树脂固化***，其特征是在前述树脂固化装置中，如何选择其第1带子出口和第2带子出口，由热固化处理对象的带子种类来决定，其刚性厚度为70μm的带子时选择前述第1带子出口，其刚性厚度为20μm～50μm范围内的带子时选择前述第2带子出口。

6.如权利要求5所述的树脂固化***，其特征是选择前述第2带子出口的带子是具有带子刚性小的TAB或COF用带子，带子厚度为20μm～50μm。

7.如权利要求1所述的树脂固化***，其特征是在前述第1带子出口及前述第2带子出口上分别设有开闭自由的盖子。

8.如权利要求1所述的树脂固化***，其特征是前述带子卷绕装置在导入了从前述第1带子出口或前述第2带子出口的任何一方送出的前述带子后，将该导入的带子在保持按相同基准控制的规定垂弛量的状态下，用卷绕卷轴进行卷绕。

9.如权利要求8所述的树脂固化***，其特征是为了使前述带子处于保持规定垂弛量的状态，设有检测前述带子垂弛量的垂弛量检测手段，即是具有多个受光、发光元件和与其配对的多个反射镜的垂弛量检测手段，并根据来自于该垂弛量检测手段的信号，进行前述卷绕卷轴的驱动控制，使前述垂弛量达到预先设定的范围内。

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