CN1231993C - 射频微机械开关 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种射频微机械开关，包括衬底，在衬底上设有共平面波导，共平面波导由共平面波导信号线和共平面波导地平面组成，在共平面波导的上方设有固支梁，固支梁通过桥墩和高频阻抗线与共平面波导地平面连接，在位于固支梁下方的共平面波导信号线上设有绝缘层，在固支梁上至少有一段纹膜。本发明在固支梁中引入了纹膜结构，有效减小固支梁的等效弹性系数，降低开关的阈值电压，采用带纹膜结构的固支梁能显著降低残余应力，由此提高了开关的使用寿命。

Description

射频微机械开关
一、技术领域
本发明涉及一种射频微机械开关。
二、背景技术
现有的射频开关主要由平膜梁、桥墩、绝缘层及共平面波导组成，这种开关主要有如下缺陷：(1)由于平膜梁具有较大的等效弹性系数，共阈值电压较高，通常尺寸的射频微机械膜开关的阈值电压约为20～30V。(2)在弹性梁的制作过程中，由于有高温工艺，所以微机械金属梁中将有较大的残余应力，弹性梁中的残余应力不仅会使开关的阈值电压增大，而且还会减小开关的寿命。
三、发明内容
技术问题  本发明提供一种低阈值长寿命的射频微机械开关。
技术方案  一种射频微机械开关，包括衬底1，在衬底1上设有共平面波导，共平面波导由共平面波导信号线41和共平面波导地平面42组成，在共平面波导的上方设有固支梁7，固支梁7通过桥墩2和高频阻抗线5与共平面波导地平面42连接，在位于固支梁7下方的共平面波导信号线41上设有绝缘层3，在固支梁1上至少有一段纹膜71。
有益效果  (1)本发明在固支梁中引入了纹膜结构，有效减小固支梁的等效弹性系数，降低开关的阈值电压，采用带纹膜结构的固支梁能显著降低残余应力，由此提高了开关的使用寿命。(2)凸起技术措施可以预防固支梁粘连，使本发明具有抗粘连作用。
四、附图说明
图1是本发明结构主视图。
图2是本发明结构左视图。
五、具体实施方案
一种射频微机械开关，包括衬底1，在衬底1上设有共平面波导，共平面波导由共平面波导信号线41和共平面波导地平面42组成，在共平面波导的上方设有固支梁7，固支梁7通过桥墩2和高频阻抗线5与共平面波导地平面42连接，该高频阻抗线5的频率控制在1吉以上，在位于固支梁7下方的共平面波导信号线41上设有绝缘层3，在固支梁1上至少有一段纹膜71，本实施例将凸起6设置于共平面波导信号线41的两侧，在固支梁1下方的衬底1上设有凸起6，该凸起6位于共平面波导信号线41旁，在本实施例中，选择2段纹膜，分别位于固支梁1的两端，并与桥墩相连，上述凸起6高于绝缘层3。

Claims (3)

1、一种射频微机械开关，包括衬底(1)，在衬底(1)上设有共平面波导，共平面波导由共平面波导信号线(41)和共平面波导地平面(42)组成，在共平面波导的上方设有固支梁(7)，固支梁(7)通过桥墩(2)和高频阻抗线(5)与共平面波导地平面(42)连接，在位于固支梁(7)下方的共平面波导信号线(41)上设有绝缘层(3)，其特征在于在固支梁(1)上至少有一段纹膜(71)。
2、根据权利要求1所述的射频微机械开关，其特征在于在固支梁(1)下方的衬底(1)上设有凸起(6)，该凸起(6)位于共平面波导信号线(41)旁。
3、根据权利要求1或2所述的射频微机械开关，其特征在于凸起(6)高于绝缘层(3)。
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