CN1190353C - 避免晶片传送***执行错误制程的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种避免半导体晶片传送***执行错误制程的方法。本发明方法包括：传送传送箱于介面装置，传送箱其内具有工作件，及其上具有货签***；通过主控制器传送第一信号至介面装置，要求锁定传送箱；锁定传送箱于介面装置；通过介面装置的货签读写***读取货签***的数据；通过主控制器传送第二信号至制程工具，进行检查制程工具是否处于准备状态；及假如制程工具是处于准备状态，传送工作件于制程工具开始制程。这样，由于当传送箱一旦被置于介面装置时就将其锁定而可避免因被置换的传送箱内工作件与主控制器先行决定的各项制程不同而执行到错误的制程的情形。
Description
技术领域
本发明有关一种避免晶片传送***执行错误制程的方法，特别是一种有关于控制标准机械介面装置(standardized mechanical interface，SMIF)对标准机械介面箱(SMIF pod)的锁定/解锁的功能，以避免执行错误的制程，或避免写入错误的数据到货签(tag)***的方法。
背景技术
由于对降低每单位晶片制程成本的需求，驱使半导体业不断地发展增加晶片优良率及降低制造循环周期的方法。而众所周知要增加半导体晶片制造***的总产量，不外乎确保每一机台稳定的晶片供给量。因此，工厂的物料管理***的处理能力就影响了在厂内循环的晶片载具的数量。当晶片的尺寸持续增大，为了适应尺寸及晶片箱重量的变大，对晶片的处理方式则越来越趋向于自动化。也就是说，介面装置传送晶片或晶舟到制程或量测设备的动作，变得越来越重要和越来越复杂。
因为要避免周遭的微粒或制程所生的微粒污染，对半导体晶片的处理和制造就需要极度的注意。因其一旦受到了污染就会降低制程优良率，所以，集成电路的制造就更加的昂贵和费时。标准机械介面(SMIF)***的发展，不仅促进半导体晶片的制造，同时也降低了于半导体制程储存和传送晶片时，微粒落到晶片的机会。标准机械介面(SMIF)***主要包括三个部分：一密闭箱子，用来传送或是储存晶片的晶舟；一微小的环境，其为利用超纯气体环绕晶舟装载处和制程设备的晶片制造区域，以使得箱子内部环境和微小环境间成为缩小型的洁净空间；及自动传送组件，装载/卸载晶舟及/或晶片，将其从密闭箱子传送到制程机台，而不使晶舟中的晶片受到外在环境的污染。因此，当晶片在晶片厂移动时，标准机械介面***提供持续性的超洁净环境，是一种操作者和制程机台间的绝佳介面。
近来所设计的自动化装置和其他具有标准机械介面装置的机器，多是用以整合将晶舟装载和卸载到晶片制程或量测设备。因此，操作介面就日益复杂。为了识别及找出置放于传送箱(pod)内的各种半成品，传送箱侧壁通常配备有货签或货签***以供识别。而传送箱所配备的电子货签所记载的数据包括，用以识别传送箱中特定晶片的批号数据，及此批晶片将进行的是何种制程。货签读写器(tagreader)通常置于介面装置上，用以自动读取货签所记载的数据，且货签读写器具有输出线路，可以输出所读取的数据。例如，可以经由货签***追查出某一批晶片于晶片厂的所在位置，且可以用以控制此批晶片所将进行的是何种制程。
于传统的自动化晶片传送方法中，首先将装载有晶片及货签的标准机械介面箱传送到介面装置，例如传送标准机械介面箱到标准机械介面传送装置(SMIFIndexer)。然后，介面装置上的货签读写***读取货签中的数据，且改写货签数据以显示晶片的制程将执行。即读取传送箱中晶片的批号识别数据，及待进行的制程数据，然后改写待进行状态为进行中。在确定制程工具是处于操作状态之后，也即制程工具已准备号好可以对晶片进行制作时，执行制程开始的指令，传送箱才被锁定，然后将晶片传送到制程工具进行制造。因为在将传送箱锁定前，于检查制程工具是否处于操作状态的期间，缺乏对传送箱的控制，因而增加了发生执行错误制程的风险。作业员可能因发生抽换传送箱的误动作，而造成执行错误的制程导致优良率降低，严重时往往造成死货报废此批产品。因此，提供一种避免晶片传送***执行错误制程的方法是非常必要的。
发明内容
鉴于上述传统的自动化晶片传送方法所产生的诸多缺点，本发明的目的为提供一种避免晶片传送***执行错误制程的方法，可控制介面装置对传送箱的锁定/解锁的功能，于等待制程工具准备好前完全掌控传送箱，以避免执行错误的制程。
为实现上述目的，根据本发明的避免半导体晶片传送***执行错误制程的方法，其特点是包括：传送一传送箱于一标准机械介面装置，其中所述传送箱其内具有数个晶片及其上具有一货签***；通过一主控制器传送一第一信号至所述标准机械介面装置上的第一控制器，要求锁定所述传送箱；锁定所述传送箱于所述标准机械介面装置；所述标准机械介面装置的一货签读写***读取所述货签***的数据；通过所述主控制器传送一第二信号至所述制程工具上的第二控制器，要求检查制程工具是否处于准备状态；检查所述制程工具是否处于准备状态；及假如所述制程工具是处于准备状态，传送所述工作件于所述制程工具。采用本发明的上述方案，当传送箱传送到介面装置时，立即将传送箱锁定，以消除因误动作抽换传送箱。这样就可避免下述情况：当主控制器在完成读取货签后控制器已据此决定工作件的各项制程参数且正在检查制程工具是否已在准备状态时，若有人为把未被锁定的传送箱取下而换上另一个传送箱及工作件，一旦此时制程工具回复主控制器处于准备状态而开始制程，很可能因被置换的传送箱内工作件与主控制器先行决定的各项制程不同而执行到错误的制程。所以当传送箱一旦被置于介面装置时就将其锁定就可完全避免此缺失。
附图说明
本发明的目的、特性和优点从下列的详细叙述和附图说明可明显看出，附图中：
图1是半导体晶片传送中，介面装置、制程工具及主控制器间的通讯连结的简易示意图：及
图2是本发明半导体晶片传送方法的流程图。
具体实施方式
本发明通过一些实施例详细描述如下。然而，除了详细描述外，本发明还可以广泛地以其他的实施例施行，且本发明的范围不受限定，而以所附的权利要求书所限定的专利范围为准。
于本发明的实施例中，提供了一种避免半导体晶片传送***执行错误制程的方法，它控制介面装置对传送箱的锁定/解锁的功能，于等待制程工具准备好前完全掌控传送箱，以避免执行错误的制程。半导体晶片传送***至少包括主控制器，制程工具，及介面装置。在图1中示出半导体晶片传送***100中，主控制器110，介面装置120，及制程工具130间的通讯连结。介面装置120可以是标准机械介面装置，例如标准机械介面传送装置(SMIF Indexer)，且介面装置120包括第一控制器140，其中第一控制器140可受主控制器110控制。主控制器110经由制程工具130的第二控制器150可同时控制制程工具130。主控制器110是依据国际半导体设备与材料协会(SEMI)所制定的SECS标准(半导体设备通讯标准)与第一控制器140及第二控制器150通讯。此外，有某些机台的标准机械介面传送装置(SMIF Indexer)的锁定/解锁(lock/unlock)功能已合并于第二控制器150，因此，主控制器110是通过第二控制器150来下达锁定/解锁命令，此时只通过第一控制器140来读取/改写(read/write)货签。
同时参考图2，它是本发明半导体晶片传送方法的流程图。本发明方法包括，传送一传送箱160于一介面装置120，其中传送箱160其内具有工作件，及其上具有货签***。工作件可以是装载一片或多片晶片的晶舟。于在半导体晶片制造过程中，工作件通常是指装载有多数晶片的晶舟，且它是放置于传送箱160内，例如放置于标准机械介面箱。晶舟一般是放置于密闭的传送箱内部，以减低受污染的可能性。传送箱160同时配备有可自动识别箱内晶片的货签***，以避免发生错误制程，且通过产品的批号可经由主控制器110追查。
当传送箱160传送于介面装置120时，主控制器110通过半导体设备通讯标准(SECS II)的通讯协定，传送第一信号至介面装置120的第一控制器140，要求锁定传送箱。然后，锁定传送箱160于介面装置120。之后，介面装置120的一货签读写***读取货签***的数据，以识别传送箱内的工作件，并据此决定工作件的各项制程参数。当货签读写***读取数据后，还包括传送货签数据于主控制器及改写货签数据。于锁定传送箱且识别箱内工作件后，主控制器110传送第二信号至制程工具130的第二控制器150，要求检查制程工具130是否处于准备状态。于检查制程工具130是否处于准备状态后，假如制程工具是处于准备状态，则传送工作件于制程工具130开始制程。
本发明方法还包括，当工作件于制程工具130完成制程且传送回传送箱160后，将传送箱160解锁。因此，本发明所提供的晶片传送方法，借由控制介面装置对传送箱的锁定/解锁的功能，于等待制程工具准备好前完全掌控传送箱，可避免执行错误的制程。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的申请专利范围；凡其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包括在所附权利要求书所限定的申请专利保护范围内。
Claims (3)
1.一种避免半导体晶片传送***执行错误制程的方法，其特征在于包括：
传送一传送箱于一标准机械介面装置，其中所述传送箱其内具有数个晶片及其上具有一货签***；
通过一主控制器传送一第一信号至所述标准机械介面装置上的第一控制器，要求锁定所述传送箱；
锁定所述传送箱于所述标准机械介面装置；
所述标准机械介面装置的一货签读写***读取所述货签***的数据；
通过所述主控制器传送一第二信号至制程工具上的第二控制器，要求检查制程工具是否处于准备状态；
检查所述制程工具是否处于准备状态；及
假如所述制程工具是处于准备状态，传送所述工作件于所述制程工具。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括于所述货签读写***读取所述货签***的数据的步骤后，所述货签读写***传送及改写所述货签***的数据。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述主控制器通过一半导体设备通讯标准的通讯协定，传送所述第一信号至所述标准机械介面装置上的第一控制器。
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