CN118274161A - 一种重锤式泄压阀、真空回流焊接炉及稳压方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种重锤式泄压阀、真空回流焊接炉及稳压方法，涉及电子贴片封装焊接技术领域，重锤式泄压阀包括壳体、顶盖、第一接头、锤体、底座和第二接头；其中，壳体具有自顶端面至底端面贯通的通道；顶盖扣合在壳体的顶端面；第一接头的一部分贯穿顶盖与通道连通；锤体同轴容置在通道内，锤体的长度小于通道的长度，锤体的外壁沿其轴向开设至少一条流道，流道与锤体等长；底座同轴连接在壳体的底端面，沿轴向贯穿底座形成的通孔与通道连通；第二接头同轴紧固连接在底座上，且与通孔连通。第二接头、底座上的通孔、流道、通道和第一接头共同构成泄压通道。本发明提供的泄压阀可以使舱体内压力稳定在安全范围内。

Description

一种重锤式泄压阀、真空回流焊接炉及稳压方法

技术领域

本发明涉及电子贴片封装焊接技术领域，尤其涉及一种重锤式泄压阀、真空回流焊接炉及稳压方法。

背景技术

近年来，电子元器件技术发展迅猛，与其密切相关的电子贴片封装技术随之得到快速发展。传统的回流焊技术已经不能满足现有电子元器件小型化、精密化的发展趋势。而真空回流焊技术因能够极大提高电子贴片封装的焊接质量，以及降低焊接的空隙率，而得到广泛发展应用，在电子领域基本实现全面覆盖。真空回流焊设备可分为在线式和离线式两种。

其中，应用在线式真空回流焊设备实施电子贴片封装时，其对应的真空焊接工艺一般分为真空环境下的预热、焊接、冷却工序。为了进一步提高焊接质量，现有技术提供了一种新的焊接工艺，即在原有的真空回流焊设备生产工艺中加入正压工艺，当真空舱处于正压状态时，有助于将锡膏或银膏等焊料中的气泡排出。现有技术一般采用PLC控制真空舱内的气体压力，当PLC控制程序或控制器件发生故障而导致失控时，存在惰性气体不断冲入真空舱的风险，此时，会存在较大的安全隐患，甚至导致严重的安全事故。

鉴于此，亟待提出一种在向真空舱充入惰性气体过程中，尤其是，当真空舱由标准大气压状态逐渐变为正压状态时，将真空舱压力稳定在安全范围内的装置和方法。

发明内容

第一方面，本发明提供一种重锤式泄压阀，包括壳体、顶盖、第一接头、锤体、底座和第二接头；

其中，壳体具有自顶端面至底端面贯通的通道；顶盖扣合在壳体的顶端面；第一接头的一部分贯穿顶盖与通道连通；锤体同轴容置在通道内，锤体的长度小于通道的长度，锤体的外壁沿其轴向开设至少一条流道，流道与锤体等长；底座同轴连接在壳体的底端面，沿轴向贯穿底座形成的通孔与通道连通；第二接头同轴紧固连接在底座上，且与通孔连通；

重锤式泄压阀具有关闭状态和开启状态；当处于关闭状态时，锤体靠自重坐落在底座上，此时，锤体的底面将通孔封死；当处于开启状态时，锤体在气体压力的作用下沿轴向上移，此时，由第二接头、底座上的通孔、流道、通道和第一接头构成泄压通道。

作为一种可能的实现方式，流道的数量大于或等于2，且沿锤体的圆周等间距分布；

锤体的外壁上，沿其轴向间隔分布有在周向上被流道间断的凹槽组；每一凹槽组上均对应安装有导向环；每一导向环的外壁与壳体的内壁间隙配合；

每一流道与导向环对应位置的深度大于其他位置流道的深度。

作为一种可能的实现方式，流道为经倒圆角处理的流道。

作为一种可能的实现方式，壳体靠近底端面的通道直径D1大于用于容置锤体处的通道直径D2；

底座为中空阶梯轴状结构，底座的大直径段通过紧固件与壳体的底端面紧固连接，底座的小直径段容置在直径为D1的通道处，且底座的小直径段的外壁与直径为D1的通道处的内壁之间具有收集空间，收集空间与流道连通；

底座的大直径段与壳体内壁贴合的面上开设有第一圆环卡槽，第一圆环卡槽内卡装有第一密封环；

壳体与收集空间对应的位置，沿径向贯穿壳体形成排液通孔，排液通孔处安装有内六角喉塞。

作为一种可能的实现方式，沿轴向贯穿底座的通孔为喇叭状通孔，喇叭开口朝向锤体。

作为一种可能的实现方式，锤体与底座相对的端面开设有第二圆环卡槽，第二圆环卡槽的直径大于底座上通孔的直径；第二圆环卡槽内卡装有第二密封环；

和/或，顶盖与壳体的连接处设置有第三密封环；

和/或，锤体靠近壳体顶端面的一端同轴设置有拆卸螺钉。

作为一种可能的实现方式，泄压通道的泄压流量大于或等于300L/min；

和/或，锤体的重量由泄压阈值和有效接触面积确定。

作为一种可能的实现方式，在泄压通道的泄压流量已知的情况下，通过如下方式确定泄压通道的初始横截面积：

Q=(P₂-P₁)A/(RT₁)；

其中，Q为泄压流量，单位为L/min；P₂-P₁为起始点到终点处的压力差，单位为mbar；A为横截面积，单位为m²；R为气体常量，单位为J/（mol·K）；T₁为气体的起始温度，单位为K；

根据测试获得的所有泄压通道的泄压流量的和，调整初始横截面积，直至所有泄压通道的泄压流量的和大于或等于300L/min，确定每一泄压通道的横截面积。

第二方面，本发明提供一种真空回流焊接炉，至少包括：

预热舱，与预热舱连通的第一真空管路，设置在第一真空管路上的第一挡板阀和第一真空泵，设置在第一真空管路且位于第一挡板阀和预热舱之间的第一重锤式泄压阀；

焊接舱，与焊接舱连通的第二真空管路，设置在第二真空管路上的第二挡板阀和第二真空泵，设置在第二真空管路且位于第二挡板阀和焊接舱之间的第二重锤式泄压阀；

冷却舱，与冷却舱连通的第三真空管路，设置在第三真空管路上的第三挡板阀和第三真空泵，设置在第三真空管路且位于第三挡板阀和冷却舱之间的第三重锤式泄压阀；

向预热舱、焊接舱和冷却舱供应惰性气体的气体管路和气体罐；

以及向预热舱和焊接舱供应甲酸的甲酸管路和甲酸罐；

第一重锤式泄压阀、第二重锤式泄压阀和第三重锤式泄压阀为第一方面提供的重锤式泄压阀。

第三方面，本发明提供一种稳压方法，应用第二方面提供的真空回流焊接炉执行该稳压方法，针对预热舱、焊接舱和冷却舱，稳压方法均包括如下步骤：

S10. 启动挡板阀和真空泵，直至舱内呈负压状态后，关闭挡板阀和真空泵；

S11. 开启气体罐且使气体管路处于通路状态，以向舱体内通入惰性气体；

S12. 舱体内持续接收惰性气体，由负压状态逐渐变成标准大气压状态；

S13. 设置舱体的压力阈值；

S14. 舱体内实际压力大于压力阈值时，重锤式泄压阀所具有的锤体向上移动，此时，泄压通道打开，惰性气体经泄压通道排出；

S15. 舱体内实际压力小于或等于压力阈值时，重锤式泄压阀所具有的锤体依靠自重下落至底座上，此时，泄压通道关闭。

与现有技术相比，本发明所产生的有益效果在于：

1、本发明提供的重锤式泄压阀在舱体内正压过大时可以将气体排出，保证舱体内的压力稳定在安全范围内，相比PLC控制更具稳定性和可靠性，并且简化了设备控制流程。

2、本发明提供的重锤式泄压阀中，泄压通道的泄压流量实现大于或等于300L/min，且锤体重量可以根据工艺要求进行调整，能够满足气体流速、流量大的泄压需求，弥补目前国内市场不具备满足300L/min泄压流量的泄压阀的不足。

3、本发明提供的重锤式泄压阀设置有甲酸收集装置和排放孔，可以对气体中的甲酸进行收集并安全存放和排出，既能有效防止甲酸液回流至气体管路或舱体，也为甲酸的重复利用提供了便利条件。

4、本发明提供的重锤式泄压阀通过开设喇叭状通孔、设置凹槽及导向环、对流道倒圆角处理等设计，降低了气体阻力，在保证气体顺畅通过泄压通道的同时，避免了锤体与壳体的直接摩擦，可靠性和安全性较好，且利于延长重锤式泄压阀的使用寿命。

附图说明

此处说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例中重锤式泄压阀结构示意图；

图2为本发明实施例中重锤式泄压阀剖面示意图；

图3为本发明实施例中锤体示意图；

图4为本发明实施例中重锤式泄压阀安装位置示意图；

图5为本发明实施例中真空回流焊接炉示意图；

图6为本发明实施例中稳压方法的流程图。

附图标记

1-舱体；

2-重锤式泄压阀，20-顶盖，21-第一接头，210-第三密封环，211-第二密封环，22-卡箍，23-壳体，24-底座，25-内六角喉塞，26-拆卸螺钉，27-锤体，271-流道，272-凹槽组，28-导向环，29-第一密封环；

3-气体管路，30-第二接头；

4-挡板阀。

具体实施方式

为了便于清楚描述本发明实施例的技术方案，在本发明的实施例中，采用了“第一”、“第二”等字样对功能和作用基本相同的相同项或相似项进行区分。例如，第一阈值和第二阈值仅仅是为了区分不同的阈值，并不对其先后顺序进行限定。本领域技术人员可以理解“第一”、“第二”等字样并不对数量和执行次序进行限定，并且“第一”、“第二”等字样也并不限定一定不同。

需要说明的是，本发明中，“示例性的”或者“例如”等词用于表示作例子、例证或说明。本发明中被描述为“示例性的”或者“例如”的任何实施例或设计方案不应被解释为比其他实施例或设计方案更优选或更具优势。确切而言，使用“示例性的”或者“例如”等词旨在以具体方式呈现相关概念。

本发明中，“至少一个”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B的情况，其中A，B可以是单数或者复数。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。以下至少一项（个）或其类似表达，是指的这些项中的任意组合，包括单项（个）或复数项（个）的任意组合。例如，a，b或c中的至少一项（个），可以表示：a，b，c，a和b的结合，a和c的结合，b和c的结合，或a、b和c的结合，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。

应用在线式真空回流焊设备实施电子贴片封装时，其对应的真空焊接工艺一般分为真空环境下的预热、焊接、冷却工序。为了进一步提高焊接质量，现有技术提供了一种新的焊接工艺，即在原有的真空回流焊设备生产工艺中加入正压工艺，当真空舱处于正压状态时，有助于将锡膏或银膏等焊料中的气泡排出。现有技术一般采用PLC控制真空舱内的气体压力，当PLC控制程序或控制器件发生故障而导致失控时，存在惰性气体不断冲入真空舱的风险，此时，会存在较大的安全隐患，甚至导致严重的安全事故。

采用泄压阀可以保持压力稳定，但是目前国内市场不具备满足300L/min泄压流量的泄压阀，因此，有必要提供一种方法、设备和装置，以提高在线式具有正压工艺的半导体焊接设备的压力稳定工况。

第一方面，本发明提供一种重锤式泄压阀，参见图1至图2，包括壳体23、顶盖20、第一接头21、锤体27、底座24和第二接头30；

其中，壳体23具有自顶端面至底端面贯通的通道；图2为重锤式泄压阀的剖视图，顶盖20扣合在壳体23的顶端面；顶盖20与壳体23的扣合处采用卡箍22抱紧，进一步提高顶盖20与壳体23的密封效果，有效防止气体泄漏；第一接头21的一部分贯穿顶盖20与通道连通；第一接头21根据实际需求连接其他外部装置，例如，气体净化装置、气体收集装置等，可以对排出的气体进行集中处理，减少对空气的污染。

参见图1至图3，锤体27同轴容置在通道内，锤体27的长度小于通道的长度，锤体27的外壁沿其轴向开设至少一条流道271，流道271与锤体27等长；底座24同轴连接在壳体23的底端面；沿轴向贯穿底座24形成的通孔与通道连通；第二接头30同轴紧固连接在底座24上，且与通孔连通；

重锤式泄压阀具有关闭状态和开启状态；当处于关闭状态时，锤体靠自重坐落在底座上，此时，锤体的底面将通孔封死；当处于开启状态时，锤体在气体压力的作用下沿轴向上移，此时，由第二接头、底座上的通孔、流道、通道和第一接头构成泄压通道。

在焊接设备的工艺气体***中，需要交替使用负压、正压工艺进行电子贴片封装焊接质量的提升，在设备中常用真空泵来进行舱体的真空环境制造，在真空泵与舱体之间设置比例阀与真空阀，比例阀可以调整抽真空速率，真空阀用来阻断工艺气体管路，同时设置气体充入管路实现舱内的正压工艺，为了保证正压工艺中舱体维持在恒定的压力中，需要采用泄压装置来维持舱内气体压力的恒定。

作为一种示例，参见图4，为本发明提供的重锤式泄压阀安装位置图，舱体1为实现焊接工艺的装置，挡板阀4后面连接真空泵，气体管路3位于舱体1和挡板阀4之间，重锤式泄压阀2安装在气体管路3上，泄压阀的第二接头与气体管路3连通。运行时，真空泵将舱体1内的空气抽出，保持负压一段时间之后，气体管路3向舱体1内输送惰性气体，若控制程序失灵，则在达到正压参数值后惰性气体还会继续冲入舱体1，此时，惰性气体冲向重锤式泄压阀2。

参见图2，重锤式泄压阀2处于关闭状态时，锤体27靠自重坐落在底座上，此时，锤体27的底面将通孔封死；当惰性气体冲向重锤式泄压阀2时，重锤式泄压阀2进入开启状态，惰性气体由第二接头穿过底座上的通孔进入，由于锤体27同轴容置在通道内且其长度小于通道的长度，故锤体27在气体压力的作用下会沿轴向上移，此时，惰性气体进入锤体外壁流道和壳体通道之间的缝隙，惰性气体在压力作用下不断上移，最后经第一接头排出，达到泄压目的。当舱体内实际压力小于或等于压力阈值时，锤体27依靠自重下落至底座上，此时，泄压通道关闭。

参见图2至3，作为一种可能的实现方式，流道271的数量大于或等于2，且沿锤体27的圆周等间距分布；锤体27的外壁上，沿其轴向间隔分布有在周向上被流道间断的凹槽组272；每一凹槽组272上均对应安装有导向环28；每一导向环28的外壁与壳体的内壁间隙配合。每一流道271与导向环28对应位置的深度大于其他位置流道的深度。

在锤体的外壁沿其轴向等间距设置多条流道，一方面可以使锤体保持重心平衡；另一方面可以使惰性气体均匀进入各流道。

作为一种示例，导向环为聚四氟乙烯材质，安装在每一凹槽组上，导向环与凹槽组的凹陷内壁贴合，不会产生位移；每一导向环的外壁与壳体的内壁间隙配合，避免锤体与壳体直接摩擦，同时，可以避免锤体不平衡上升对壳体内壁产生划伤。由于流道与导向环对应位置的深度大于其他位置流道的深度，设置导向环后气体仍可以顺畅通过泄压通道，不会对气体的流通产生影响。

作为一种可能的实现方式，流道为经倒圆角处理的流道。倒圆角处理之后流道壁更加平滑，减少了气体流通的阻力，使气体流通更加顺畅。

作为一种可能的实现方式，壳体靠近底端面的通道直径D1大于用于容置锤体处的通道直径D2；

参见图1至图2，底座24为中空阶梯轴状结构，底座24的大直径段通过紧固件与壳体的底端面紧固连接，紧固件采用现有技术中的任意一种即可，在此不再赘述；底座24的小直径段容置在直径为D1的通道处，且底座24的小直径段的外壁与直径为D1的通道处的内壁之间具有收集空间，收集空间与流道连通；

参见图1，作为一种可能的实现方式，壳体与收集空间对应的位置，沿径向贯穿壳体形成排液通孔，排液通孔处安装有内六角喉塞25。

作为一种示例，惰性气体中含有甲酸，气体进入泄压通道之后，甲酸会在泄压通道壁上液化，甲酸具有腐蚀性，流入气体管路会损坏挡板阀，流入舱体会影响焊接质量，本发明设置收集空间，液化后的甲酸沿泄压通道壁流入收集空间，有效防止甲酸液回流至气体管路或舱体。

重锤式泄压阀处于开启状态时，将内六角喉塞塞入排液通孔，防止气体中的甲酸从收集空间中渗出；重锤式泄压阀处于关闭状态时，可以取出内六角喉塞，将收集空间内的甲酸液排出，防止甲酸液囤积过多倒灌入气体管路，造成挡板阀损伤或影响舱体内焊接质量。

参见图2，作为一种可能的实现方式，底座的大直径段与壳体内壁贴合的面上开设有第一圆环卡槽，第一圆环卡槽内卡装有第一密封环29；第一密封环29可以防止收集空间内的甲酸液自底部向外泄漏。

参见图2，作为一种可能的实现方式，沿轴向贯穿底座的通孔为喇叭状通孔，喇叭开口朝向锤体27。喇叭状通孔增大了气体的流通面积，从而增加了施加在锤体底面的受力面积，可以有效减少气体过充，确保气体上升的垂直度。

参见图2，作为一种可能的实现方式，锤体与底座相对的端面开设有第二圆环卡槽，第二圆环卡槽的直径大于底座上通孔的直径；第二圆环卡槽内卡装有第二密封环211；可以进一步提高密封效果，在对舱体抽真空时可以隔绝泄压阀的外部空气，保证真空工况不受影响。

作为一种可能的实现方式，顶盖与壳体的连接处设置有第三密封环；和/或，锤体靠近壳体顶端面的一端同轴设置有拆卸螺钉。

参见图2，作为一种示例，顶盖20与壳体的连接处设置有第三密封环210；第三密封环210可以进一步加强顶盖20与壳体的密封效果，防止惰性气体泄漏。锤体27靠近壳体顶端面设有螺纹孔，螺纹孔上安装有拆卸螺钉26，便于在设备维修时通过工具夹紧拆卸螺钉26，将锤体取出。操作简便，利于实现设备的快速保养维修。

作为一种可能的实现方式，泄压通道的泄压流量大于或等于300L/min。和/或，锤体的重量由泄压阈值和有效接触面积确定。

作为一种示例，设定锤体重量为m（kg），底部有效接触半径为r=17.075mm，泄压阈值为P=1200mbar，大气压力为1013mbar，根据压强公式：

，

可以得出：

，

当底部有效接触半径r=17.075mm保持不变时，

，

由式可知，当底部有效接触半径不变时，泄压阈值P与锤体重量m成线性关系，当1.749kg保持不变时，计算可得：

；

由式可知，泄压阈值P与成反比，因此，可以由泄压阈值和有效接触面积确定锤体的重量。

作为一种可能的实现方式，在泄压通道的泄压流量已知的情况下，通过如下方式确定泄压通道的初始横截面积：

Q=(P₂-P₁)A/(RT₁)；

其中，Q为泄压流量，单位为L/min；P₂-P₁为起始点到终点处的压力差，单位为mbar；A为横截面积，单位为m²；R为气体常量，单位为J/（mol·K）；T₁为气体的起始温度，单位为K；

根据测试获得的所有泄压通道的泄压流量的和，调整初始横截面积，直至所有泄压通道的泄压流量的和大于或等于300L/min，确定每一泄压通道的横截面积。

本发明提供的重锤式泄压阀中，泄压通道的泄压流量实现大于或等于300L/min，且锤体重量可以根据工艺要求进行调整，能够满足气体流速、流量大的泄压需求，弥补目前国内市场不具备满足300L/min的泄压阀的不足。

第二方面，本发明提供一种真空回流焊接炉，参见图5，至少包括：

预热舱，与预热舱连通的第一真空管路，设置在第一真空管路上的第一挡板阀和第一真空泵，设置在第一真空管路且位于第一挡板阀和预热舱之间的第一重锤式泄压阀；

焊接舱，与焊接舱连通的第二真空管路，设置在第二真空管路上的第二挡板阀和第二真空泵，设置在第二真空管路且位于第二挡板阀和焊接舱之间的第二重锤式泄压阀；

冷却舱，与冷却舱连通的第三真空管路，设置在第三真空管路上的第三挡板阀和第三真空泵，设置在第三真空管路且位于第三挡板阀和冷却舱之间的第三重锤式泄压阀；

向预热舱、焊接舱和冷却舱供应惰性气体的气体管路和气体罐；

以及向预热舱和焊接舱供应甲酸的甲酸管路和甲酸罐；

第一重锤式泄压阀、第二重锤式泄压阀和第三重锤式泄压阀为本发明第一方面提供的重锤式泄压阀。

第三方面，本发明提供一种稳压方法，应用第二方面提供的真空回流焊接炉执行该稳压方法，参见图6，针对预热舱、焊接舱和冷却舱，稳压方法均包括如下步骤：

S10. 启动挡板阀和真空泵，直至舱内呈负压状态后，关闭挡板阀和真空泵；

S11. 开启气体罐且使气体管路处于通路状态，以向舱体内通入惰性气体；

S12. 舱体内持续接收惰性气体，由负压状态逐渐变成标准大气压状态；

S13. 设置舱体的压力阈值；

S14. 舱体内实际压力大于压力阈值时，重锤式泄压阀所具有的锤体向上移动，此时，泄压通道打开，惰性气体经泄压通道排出；

S15. 舱体内实际压力小于或等于压力阈值时，重锤式泄压阀所具有的锤体依靠自重下落至底座上，此时，泄压通道关闭。

相比于现有技术，本发明具有如下技术效果：

1、本发明提供的重锤式泄压阀在舱体内正压过大时可以将气体排出，保证舱体内的压力稳定在安全范围内，相比PLC控制更具稳定性和可靠性，并且简化了设备控制流程。

2、本发明提供的重锤式泄压阀中，泄压通道的泄压流量实现大于或等于300L/min，且锤体重量可以根据工艺要求进行调整，能够满足气体流速、流量大的泄压需求，弥补目前国内市场不具备满足300L/min泄压流量的泄压阀的不足。

3、本发明提供的重锤式泄压阀设置有甲酸收集装置和排放孔，可以对气体中的甲酸进行收集并安全存放和排出，既能有效防止甲酸液回流至气体管路或舱体，也为甲酸的重复利用提供了便利条件。

4、本发明提供的重锤式泄压阀通过开设喇叭状通孔、设置凹槽及导向环、对流道倒圆角处理等设计，降低了气体阻力，在保证气体顺畅通过泄压通道的同时，避免了锤体与壳体的直接摩擦，可靠性和安全性较好，且利于延长重锤式泄压阀的使用寿命。

尽管在此结合各实施例对本发明进行了描述，然而，在实施所要求保护的本发明过程中，本领域技术人员通过查看附图、公开内容、以及所附权利要求书，可理解并实现公开实施例的其他变化。在权利要求中，“包括”（comprising）一词不排除其他组成部分或步骤，“一”或“一个”不排除多个的情况。单个处理器或其他单元可以实现权利要求中列举的若干项功能。相互不同的从属权利要求中记载了某些措施，但这并不表示这些措施不能组合起来产生良好的效果。

尽管结合具体特征及其实施例对本发明进行了描述，显而易见的，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可对其进行各种修改和组合。相应地，本说明书和附图仅仅是所附权利要求所界定的本发明的示例性说明，且视为已覆盖本发明范围内的任意和所有修改、变化、组合或等同物。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种重锤式泄压阀，其特征在于，包括壳体、顶盖、第一接头、锤体、底座和第二接头；

其中，所述壳体具有自顶端面至底端面贯通的通道；所述顶盖扣合在所述壳体的顶端面；所述第一接头的一部分贯穿所述顶盖与所述通道连通；所述锤体同轴容置在所述通道内，所述锤体的长度小于所述通道的长度，所述锤体的外壁沿其轴向开设至少一条流道，所述流道与所述锤体等长；所述底座同轴连接在所述壳体的底端面，沿轴向贯穿所述底座形成的通孔与所述通道连通；所述第二接头同轴紧固连接在所述底座上，且与所述通孔连通；

所述重锤式泄压阀具有关闭状态和开启状态；当处于关闭状态时，所述锤体靠自重坐落在所述底座上，此时，所述锤体的底面将所述通孔封死；当处于开启状态时，所述锤体在气体压力的作用下沿轴向上移，此时，由第二接头、底座上的通孔、流道、通道和第一接头构成泄压通道。

2.根据权利要求1所述的重锤式泄压阀，其特征在于，所述流道的数量大于或等于2，且沿所述锤体的圆周等间距分布；

所述锤体的外壁上，沿其轴向间隔分布有在周向上被流道间断的凹槽组；每一凹槽组上均对应安装有导向环；每一所述导向环的外壁与所述壳体的内壁间隙配合；

每一所述流道与所述导向环对应位置的深度大于其他位置流道的深度。

3.根据权利要求1所述的重锤式泄压阀，其特征在于，所述流道为经倒圆角处理的流道。

4.根据权利要求1所述的重锤式泄压阀，其特征在于，所述壳体靠近底端面的通道直径D1大于用于容置所述锤体处的通道直径D2；

所述底座为中空阶梯轴状结构，所述底座的大直径段通过紧固件与所述壳体的底端面紧固连接，所述底座的小直径段容置在直径为D1的通道处，且所述底座的小直径段的外壁与直径为D1的通道处的内壁之间具有收集空间，所述收集空间与流道连通；

所述底座的大直径段与所述壳体内壁贴合的面上开设有第一圆环卡槽，所述第一圆环卡槽内卡装有第一密封环；

所述壳体与所述收集空间对应的位置，沿径向贯穿壳体形成排液通孔，所述排液通孔处安装有内六角喉塞。

5.根据权利要求1所述的重锤式泄压阀，其特征在于，沿轴向贯穿所述底座的通孔为喇叭状通孔，喇叭开口朝向所述锤体。

6.根据权利要求1所述的重锤式泄压阀，其特征在于，所述锤体与所述底座相对的端面开设有第二圆环卡槽，第二圆环卡槽的直径大于底座上通孔的直径；所述第二圆环卡槽内卡装有第二密封环；

和/或，所述顶盖与所述壳体的连接处设置有第三密封环；

和/或，所述锤体靠近所述壳体顶端面的一端同轴设置有拆卸螺钉。

7.根据权利要求1所述的重锤式泄压阀，其特征在于，所述泄压通道的泄压流量大于或等于300L/min；

和/或，所述锤体的重量由泄压阈值和有效接触面积确定。

8.根据权利要求7所述的重锤式泄压阀，其特征在于，在泄压通道的泄压流量已知的情况下，通过如下方式确定泄压通道的初始横截面积：

Q=(P₂-P₁)A/(RT₁)；

其中，Q为泄压流量，单位为L/min；P₂-P₁为起始点到终点处的压力差，单位为mbar；A为横截面积，单位为m²；R为气体常量，单位为J/（mol·K）；T₁为气体的起始温度，单位为K；

根据测试获得的所有泄压通道的泄压流量的和，调整所述初始横截面积，直至所有泄压通道的泄压流量的和大于或等于300L/min，确定每一所述泄压通道的横截面积。

9.一种真空回流焊接炉，其特征在于，至少包括：

预热舱，与所述预热舱连通的第一真空管路，设置在所述第一真空管路上的第一挡板阀和第一真空泵，设置在第一真空管路且位于所述第一挡板阀和预热舱之间的第一重锤式泄压阀；

焊接舱，与所述焊接舱连通的第二真空管路，设置在所述第二真空管路上的第二挡板阀和第二真空泵，设置在第二真空管路且位于所述第二挡板阀和焊接舱之间的第二重锤式泄压阀；

冷却舱，与所述冷却舱连通的第三真空管路，设置在所述第三真空管路上的第三挡板阀和第三真空泵，设置在第三真空管路且位于所述第三挡板阀和冷却舱之间的第三重锤式泄压阀；

向所述预热舱、焊接舱和冷却舱供应惰性气体的气体管路和气体罐；

以及向预热舱和焊接舱供应甲酸的甲酸管路和甲酸罐；

所述第一重锤式泄压阀、第二重锤式泄压阀和第三重锤式泄压阀为权利要求1至8任一项所述的重锤式泄压阀。

10.一种稳压方法，其特征在于，应用权利要求9所述的真空回流焊接炉执行所述稳压方法，针对预热舱、焊接舱和冷却舱，所述稳压方法均包括如下步骤：

S10. 启动挡板阀和真空泵，直至舱内呈负压状态后，关闭挡板阀和真空泵；

S11. 开启气体罐且使气体管路处于通路状态，以向舱体内通入惰性气体；

S12. 舱体内持续接收惰性气体，由负压状态逐渐变成标准大气压状态；

S13. 设置舱体的压力阈值；

S14. 舱体内实际压力大于压力阈值时，重锤式泄压阀所具有的锤体向上移动，此时，泄压通道打开，惰性气体经所述泄压通道排出；

S15. 舱体内实际压力小于或等于压力阈值时，重锤式泄压阀所具有的锤体依靠自重下落至底座上，此时，泄压通道关闭。