CN118243012A - 一种物体面型检测方法、***及电子设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种物体面型检测方法、***及电子设备，应用于物体面型检测***，物体面型检测***包括用于放置被测物体的运动台，该方法包括：根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹，并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线；按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制运动台进行连贯运动，并在运动台的运动过程中通过扫描方式采集被测物体的垂向高度信息；根据采集到的垂向高度信息，确定被测物体的面型。通过采用上述物体面型检测方法、***及电子设备，解决了现有技术中，面型检测时间长及面型检测精度低的问题。

Description

一种物体面型检测方法、***及电子设备

技术领域

本申请涉及设备制造技术领域，具体而言，涉及一种物体面型检测方法、***及电子设备。

背景技术

调焦调平***被广泛应用于光学和电子设备中，旨在确保图像或信号的清晰度和稳定性，它在现代科学、医学、工程和娱乐领域中都扮演着关键角色。在调焦调平***中，需要确定被测物体表面的整体面型，以根据整体面型判断调焦调平***是否正确调焦调平。现有的面型检测方法通常需要测量被测平面上单点或者若干离散点的垂向高度，再通过垂向高度来确定被测平面的面型。

然而，上述被测平面的面型检测方法在测量垂向高度时，是通过下发每个采样点的位置坐标来控制测量台移动的，测量台每移动一段距离后就停止下来，以测量本次停止位置处的垂向高度。由于采样点数量较大，运动台需要多次执行停止、启动的运动过程，造成面型检测时间长的问题，同时，测试台自身的上述长时间运动还会将振动干扰引入到离散采样过程中，导致面型检测精度低的问题。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种物体面型检测方法、***及电子设备，以解决现有技术中，面型检测时间长及面型检测精度低的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种物体面型检测方法，应用于物体面型检测***，物体面型检测***包括用于放置被测物体的运动台，方法包括：

根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹，并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线；

按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制运动台进行连贯运动，并在运动台的运动过程中通过扫描方式采集被测物体的垂向高度信息；

根据采集到的垂向高度信息，确定被测物体的面型。

可选地，按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制运动台进行连贯运动，包括：针对每个分段测量轨迹，根据该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线，确定该分段测量轨迹对应的运动控制参数；按照不同分段测量轨迹对应的运动控制参数，控制运动台在水平方向和竖直方向上进行同步运动，以使运动台按照多个分段拟合曲线对应的整体拟合曲线进行连贯运动。

可选地，并在运动台的运动过程中通过扫描方式采集被测物体的垂向高度信息，包括：在运动台的运动过程中，对各分段拟合曲线对应的被测物体上各采样点的垂向高度进行扫描式采样，以将各采样点对应的垂向高度作为被测物体的垂向高度信息。

可选地，根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹，包括：根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹；将理想测量轨迹等分为多个分段测量轨迹。

可选地，根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹，包括：根据被测物体的几何信息，确定理想测量轨迹的轨迹类型；根据轨迹类型及被测物体的工艺特性，确定测量轨迹参数，以根据测量轨迹参数规划出理想测量轨迹。

可选地，方法还包括：获取运动台的实际运动轨迹，并确定实际运动轨迹与所有分段拟合曲线对应的整体拟合曲线之间的偏离程度；根据偏离程度，确定整体拟合曲线是否符合拟合要求。

可选地，根据采集到的垂向高度信息，确定被测物体的面型，包括：根据每个采样点的位置及垂向高度的采集时间顺序，确定被测物体上各采样点与垂向高度之间的对应关系；根据对应关系，确定被测物体的面型。

可选地，并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线，包括：针对每个分段测量轨迹，确定该分段测量轨迹上的多个轨迹点坐标；对多个轨迹点坐标对应的曲线进行拟合，以获得该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线。

第二方面，本申请实施例还提供了一种物体面型检测***，所述物体面型检测***包括运动台、光源、光线处理单元、信号采集单元、处理单元；

运动台用于放置被测物体；

光源用于向光线处理单元发射探测光束；

光线处理单元用于接收探测光束并对探测光束进行聚拢后投影至被测物体上；

信号采集单元用于接收返回的光强信号，并将光强信号转换为电压信号发送至处理单元；

处理单元执行上述的物体面型检测方法，并接收电压信号，以确定被测物体的面型。

第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的物体面型检测方法的步骤。

本申请实施例带来了以下有益效果：

本申请实施例提供的一种物体面型检测方法、***及电子设备，能够采用曲线拟合的方法来规划运动台的运动轨迹，通过运动轨迹控制运动台进行连贯运动，提高了采样效率，缩短了面型检测时间，同时通过扫描式的连续采样来获取垂向高度信息，将现有技术中的离散采样方式改为扫描测试方式，能够保证在短时间内的统一环境下实现快速采样，提高了面型检测精度，与现有技术中的物体面型检测方法相比，解决了面型检测时间长及面型检测精度低的问题。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请实施例所提供的物体面型检测方法的流程图；

图2示出了本申请实施例所提供的物体面型检测***的结构示意图；

图3示出了本申请实施例所提供的电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的每个其他实施例，都属于本申请保护的范围。

值得注意的是，在本申请提出之前，调焦调平***是一种广泛应用于光学和电子设备中的技术，旨在确保图像或信号的清晰度和稳定性。它在现代科学、医学、工程和娱乐领域中都扮演着关键的角色。在摄影领域，调焦调平***是实现清晰图像的关键。自动对焦***在数码相机和智能手机中已经变得十分常见，能够根据被拍摄对象的位置快速调整焦距，以捕捉清晰的照片和视频。在显微镜、望远镜、激光器等光学仪器中，调焦调平***也起到关键作用，帮助科学家和观测者获取高质量的图像和数据。此外，调焦调平***在医疗设备、机器视觉、半导体生产和其他领域中都有广泛的应用。这一技术的不断发展和改进，有助于提高各种设备性能，从而推动了科学研究、医疗诊断和工业应用的进步。在调焦调平***中，需要确定被测物体表面的整体面型，以根据整体面型判断调焦调平***是否正确调焦调平。现有的面型检测方法通常需要测量被测平面上单点或者若干离散点的垂向高度，再通过垂向高度来确定被测平面的面型。然而，上述被测平面的面型检测方法在测量垂向高度时，是通过下发每个采样点的位置坐标来控制测量台移动的，测量台每移动一段距离后就停止下来，以测量本次停止位置处的垂向高度。由于采样点数量较大，运动台需要多次执行停止、启动的运动过程，造成面型检测时间长的问题，同时，测试台自身长时间运动过程中还存在振动，即将振动干扰引入到离散采样过程中，导致面型检测精度低的问题。

基于此，本申请实施例提供了一种物体面型检测方法，以提高面型检测精度，降低面型检测时间。

请参阅图1，图1为本申请实施例所提供的一种物体面型检测方法的流程图。如图1所示，本申请实施例提供的物体面型检测方法，应用于物体面型检测***，物体面型检测***包括用于放置被测物体的运动台，方法包括：

步骤S101，根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹，并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线。

该步骤中，对被测物体的被测平面的面型进行检测，示例性的，被测平面可以是圆形平面、正方形平面、矩形平面等。面型可以是马鞍型、平面型、穿透型。

几何信息指的是被测平面的几何信息，例如：如果被测平面为圆形平面，则几何信息指的是圆形平面的半径及中心点水平位置；如果被测平面为正方形平面，则几何信息指的是正方形平面的边长及中心点水平位置。

理想测量轨迹可指期望测量时采用的完整轨迹，理想测量轨迹的形状是预设的，可以根据被测平面的形状确定，示例性的，如果被测平面为圆形平面，则理想测量轨迹为被测平面上的圆形轨迹。

分段测量轨迹可指理想测量轨迹中的部分测量轨迹，将理想测量轨迹划分为多个部分，可以得到多个分段测量轨迹。示例性的，如果理想测量轨迹为圆形轨迹，则分段测量轨迹为圆弧形轨迹。

在本申请实施例中，首先使用人工或者机械手将被测物体放置到运动台上，并将被测平面的中心与运动台的中心对齐。同时，需要保证被测平面和运动台表面的清洁，即没有灰尘或者划痕，以排除由于上述干扰因素导致的测量不准确或者失败的问题。

根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹，将理想测量轨迹等分为多个分段测量轨迹。以被测平面为圆形平面为例，根据被测平面的半径及中心点位置，确定出理想测量轨迹的半径和理想测量轨迹的中心点位置，并将理想测量轨迹等分为多个圆弧，例如：可以等分为两个或者三个圆弧，以获得多个分段测量轨迹。这里，针对每个分段测量轨迹，可通过理想测量轨迹的半径R、理想测量轨迹的中心点位置(X_c,Y_c)及该分段测量轨迹对应的起始角度θ₁和终止角度θ₂来确定分段测量轨迹。

然后，针对每个分段测量轨迹，确定该分段测量轨迹上的多个轨迹点坐标；对多个轨迹点坐标对应的曲线进行拟合，以获得该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线。这里，可将该分段测量轨迹上每个轨迹点的坐标(x,y)表示为x(i)＝X_c+Rcosθ_i，y(i)＝Y_c+Rsinθ_i，该分段测量轨迹的长度为L，L＝R×(θ₂-θ₁)其中，i表示第i个轨迹点，θ表示第i个轨迹点对应的角度。确定每个轨迹点的坐标之后，使用线性回归中的多项式拟合方法，确定该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线，其中，多项式拟合模型可以表示为：

其中，M表示多项式拟合的最高次数，样本分别为分段拟合曲线上的轨迹点坐标，并且每一个x和y的坐标是成对出现。

最终，得到的分段拟合曲线可以表示为：

f(x)＝a₁+a₂x+a₃x²+a₄x³+a₅x⁴；

f(y)＝b₁+b₂y+b₃y²+b₄y³+b₅y⁴。

在本申请一种可能的实施方案中，可通过如下方式根据被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹：根据被测物体的几何信息，确定理想测量轨迹的轨迹类型；根据轨迹类型及被测物体的工艺特性，确定测量轨迹参数，以根据测量轨迹参数规划出理想测量轨迹。

具体的，被测物体中被测平面为圆形，则可确定理想测量轨迹也为圆形，即轨迹类型为圆形，然后根据轨迹类型及被测物体的工艺特性来确定轨迹参数，其中，被测表面上刻蚀有起伏不同的图案，工艺特性可指该工艺图案的特性，示例性的，工艺图案的特性可以为平面边缘区域密集、平面中心区域密集，根据工艺特性确定理想测量轨迹与被测平面边缘之间的间隔距离，根据该间隔距离及被测平面的半径可以确定出理想测量轨迹的半径，例如：工艺图案的特性可以为平面边缘区域密集，则可确定间隔距离为2cm，将被测平面半径10cm与间隔距离2cm的差值作为理想测量轨迹的半径，并根据工艺要求确定理想测量轨迹的中心点位置，理想测量轨迹的中心点位置可以与被测平面的中心点位置重合或者不重合，重合与否由工艺要求决定。

步骤S102，按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制运动台进行连贯运动，并在运动台的运动过程中通过扫描方式采集被测物体的垂向高度信息。

该步骤中，如果将理想测量轨迹划分为两个分段测量轨迹，两个分段测量轨迹对应两条分段拟合曲线，这两条分段拟合曲线对应一条整体拟合曲线，以控制运动台按照该整体拟合曲线进行运动，与现有技术中根据下发的采样点位置来控制运动台移动，运动台每次移动至一个采样点位置就需要停止一次，然后重新启动以移至下一个采样点相比，如果本申请中划分为两条分段拟合曲线，则运动台在运动过程中只需停止一次，并根据每条分段拟合曲线进行连贯运动，分段移动过程中无需停止，提升了整体移动速度。同时，由于检测过程是一边移动一边进行采样的，因此也缩短了垂向高度的采集时间，提高了采集效率。

在本申请一种可能的实施方案中，通过以下方式按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制运动台进行连贯运动：针对每个分段测量轨迹，根据该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线，确定该分段测量轨迹对应的运动控制参数；按照不同分段测量轨迹对应的运动控制参数，控制运动台在水平方向和竖直方向上进行同步运动，以使运动台按照多个分段拟合曲线对应的整体拟合曲线进行连贯运动。

具体的，根据该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线f(x)＝a₁+a₂x+a₃x²+a₄x³+a₅x⁴；f(y)＝b₁+b₂y+b₃y²+b₄y³+b₅y⁴，确定该分段测量轨迹对应的运动控制参数，其中，运动控制参数包括：X方向的起始位置、X方向的终止位置、X方向的起始速度、X方向的终止速度、X方向的起始加速度、X方向的终止加速度、Y方向的起始位置、Y方向的终止位置、Y方向的起始速度、Y方向的终止速度、Y方向的起始加速度、Y方向的终止加速度。

X方向的起始位置为x＝0时，f(x)的取值，即起始位置为：a₁；X方向的终止位置为x＝1时，f(x)的取值，即终止位置为：a₁+a₂+a₃+a₄+a₅；X方向的起始速度为：a₁/T；X方向的终止速度为：(a₁+a₂+a₃+a₄+a₅)/T；X方向的起始加速度为：2×a₂/T²；X方向的终止加速度为：(2×a₂+6×a₃+12×a₄)/T²。Y方向的起始位置为Y＝0时，f(y)的取值，即起始位置为：b₁；Y方向的终止位置为Y＝1时，f(y)的取值，即终止位置为：b₁+b₂+b₃+b₄+b₅；Y方向的起始速度为：b₁/T；Y方向的终止速度为：(b₁+b₂+b₃+b₄+b₅)/T；Y方向的起始加速度为：2×b₂/T²；Y方向的终止加速度为：(2×b₂+6×b₃+12×b₄)/T²。其中，T表示该分段测量轨迹对应的扫描时间。

在运动台的运动过程中，对各分段拟合曲线对应的被测物体上各采样点的垂向高度进行扫描式采样，以将各采样点对应的垂向高度作为被测物体的垂向高度信息。这里，物体面型检测***中运动台是匀速运动的，但是信号采集单元是固定的，也就是说，信号采集单元只对世界坐标系中的一个固定点的垂向高度进行等间距采样，但由于被测物体会随着运动台而运动，因此信号采集单元虽然是对同一固定点进行采样，但实际采集到的却是被测物体上不同位置的垂向高度，将这种运动台按照分段测量轨迹进行连贯匀速运动且固定的信号采集单元对分段测量轨迹上的采样点进行等间距采样的方式称为扫描式采样，通过扫描式采样可以在运动台连贯运动过程中，快速地采集被测平面上不同位置处的垂向高度。

步骤S103，根据采集到的垂向高度信息，确定被测物体的面型。

该步骤中，垂向高度信息可指被测平面的垂向高度信息，垂向高度信息包括不同采样点对应的垂向高度。

面型可指被测物体中被测平面的面型。

在本申请实施例中，由于采用扫描方式进行垂向高度信息的采集，被测平面上的每个采样点位置只进行一次垂向高度测量，极大地提升了物体面型检测***的采样效率，物体面型检测***也可称为垂向高度测量***。在物体面型检测***中垂向高度是由信号采集单元采集的，而采样点并非由信号采集单元确定，因此需要根据垂直高度的采集时间，确定垂向高度与采样点位置之间的对应关系。具体的，根据每个采样点的位置及垂向高度的采集时间顺序，确定被测物体上各采样点与垂向高度之间的对应关系；根据对应关系，确定被测物体的面型，即按照时间先后顺序对采集到的垂向高度进行排序，并根据采样点数量、物体面型检测***的采样频率及各分段拟合曲线，确定每个采样点的位置，并将采样点坐标同样按照时间先后顺序排序，然后建立每个采样点与垂向高度之间的对应关系，并形成垂向高度序列，该垂向高度序列包括了多个元素，每个元素包括采样点的x、y坐标及该采样点对应的垂向高度，利用垂向高度序列可以确定被测平面的面型，该面型实际是被测平面的初步面型，以根据初步面型确定后续是否需要进行进一步的处理。

在本申请一种可能的实施方案中，方法还包括：获取运动台的实际运动轨迹，并确定实际运动轨迹与所有分段拟合曲线对应的整体拟合曲线之间的偏离程度；根据偏离程度，确定运动台的控制过程是否符合精度要求。

具体的，在采集到垂向高度信息之后，需要比较运动台的实际运动轨迹与整体拟合曲线之间的偏离程度，根据偏离程度确定整个运动台的控制过程是否符合精度要求。如果不符合精度要求，则重新规划理想测量轨迹，即重复执行步骤S101至步骤S103，直至运动台的控制过程符合精度要求；如果符合精度要求，则根据垂向高度信息计算被测平面的面型。这里，可通过以下方式确定偏离程度：确定实际运动轨迹与整体拟合曲线之间的水平误差；根据水平误差与水平误差阈值之间的比较结果，确定运动台的控制过程是否符合精度要求。其中，水平误差可以是平方误差、均方误差MSE，也可以是平均绝对误差，本领域技术人员可以根据实际情况选择误差的具体计算方法，本申请在此不作限定。

以水平误差为平方误差为例，将平方误差作为损失函数，选取实际运动轨迹上的多个轨迹点，计算多个轨迹点与整体拟合曲线上对应位置的多个轨迹点之间的平方误差，将平方误差的结果作为水平误差值，比较水平误差值是否小于设定的水平误差阈值，如果小于设定的水平误差阈值，则确定运动台的控制过程符合精度要求，如果大于或者等于设定的水平误差阈值，则确定运动台的控制过程不符合精度要求。

与现有技术中物体面型检测方法相比，本申请能够采用曲线拟合的方法来规划运动台的运动轨迹，通过运动轨迹控制运动台进行连贯运动，提高了采样效率，缩短了面型检测时间，同时通过扫描式的连续采样来获取垂向高度信息，将现有技术中的离散采样方式改为扫描测试方式，能够保证在短时间内的统一环境下实现快速采样，提高了面型检测精度，解决了面型检测时间长及面型检测精度低的问题。

基于同一发明构思，本申请实施例中还提供了与物体面型检测方法对应的物体面型检测***，由于本申请实施例中的***解决问题的原理与本申请实施例上述物体面型检测方法相似，因此***的实施可以参见方法的实施，重复之处不再赘述。

请参阅图2，图2为本申请实施例所提供的一种物体面型检测***的结构示意图。如图2中所示，所述物体面型检测***200包括光源210、光线处理单元220、信号采集单元230、处理单元240、运动台250；

运动台250用于放置被测物体；

光源210用于向光线处理单元发射探测光束；

光线处理单元220用于接收探测光束并对探测光束进行聚拢后投影至被测物体上；

信号采集单元230用于接收返回的光强信号，并将光强信号转换为电压信号发送至处理单元；

处理单元240执行上述的物体面型检测方法，并接收电压信号，以确定被测物体的面型。

请参阅图3，图3为本申请实施例所提供的一种电子设备的结构示意图。如图3中所示，所述电子设备300包括处理器310、存储器320和总线330。

所述存储器320存储有所述处理器310可执行的机器可读指令，当电子设备300运行时，所述处理器310与所述存储器320之间通过总线330通信，所述机器可读指令被所述处理器310执行时，可以执行如上述图1所示方法实施例中的物体面型检测方法的步骤，具体实现方式可参见方法实施例，在此不再赘述。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的***、装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的***、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个***，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个处理器可执行的非易失的计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(Read-OnlyMemory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本申请的具体实施方式，用以说明本申请的技术方案，而非对其限制，本申请的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种物体面型检测方法，其特征在于，应用于物体面型检测***，所述物体面型检测***包括用于放置被测物体的运动台，所述方法包括：

根据所述被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹，并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线；

按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制所述运动台进行连贯运动，并在所述运动台的运动过程中通过扫描方式采集所述被测物体的垂向高度信息；

根据采集到的垂向高度信息，确定所述被测物体的面型。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制所述运动台进行连贯运动，包括：

针对每个分段测量轨迹，根据该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线，确定该分段测量轨迹对应的运动控制参数；

按照不同分段测量轨迹对应的运动控制参数，控制所述运动台在水平方向和竖直方向上进行同步运动，以使所述运动台按照多个分段拟合曲线对应的整体拟合曲线进行连贯运动。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述并在所述运动台的运动过程中通过扫描方式采集所述被测物体的垂向高度信息，包括：

在所述运动台的运动过程中，对各分段拟合曲线对应的所述被测物体上各采样点的垂向高度进行扫描式采样，以将各采样点对应的垂向高度作为所述被测物体的垂向高度信息。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹，包括：

根据所述被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹；

将所述理想测量轨迹等分为多个分段测量轨迹。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述被测物体的几何信息，规划出理想测量轨迹，包括：

根据所述被测物体的几何信息，确定所述理想测量轨迹的轨迹类型；

根据所述轨迹类型及所述被测物体的工艺特性，确定测量轨迹参数，以根据所述测量轨迹参数规划出理想测量轨迹。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取所述运动台的实际运动轨迹，并确定所述实际运动轨迹与所有分段拟合曲线对应的整体拟合曲线之间的偏离程度；

根据所述偏离程度，确定所述运动台的控制过程是否符合精度要求。

7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据采集到的垂向高度信息，确定所述被测物体的面型，包括：

根据每个采样点的位置及所述垂向高度的采集时间顺序，确定所述被测物体上各采样点与垂向高度之间的对应关系；

根据所述对应关系，确定所述被测物体的面型。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线，包括：

针对每个分段测量轨迹，确定该分段测量轨迹上的多个轨迹点坐标；

对所述多个轨迹点坐标对应的曲线进行拟合，以获得该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线。

9.一种物体面型检测***，其特征在于，所述物体面型检测***包括运动台、光源、光线处理单元、信号采集单元、处理单元；

所述运动台用于放置被测物体；

所述光源用于向所述光线处理单元发射探测光束；

所述光线处理单元用于接收所述探测光束并对所述探测光束进行聚拢后投影至所述被测物体上；

所述信号采集单元用于接收返回的光强信号，并将所述光强信号转换为电压信号发送至所述处理单元；

所述处理单元执行如权利要求1至8中任一项所述的物体面型检测方法，并接收所述电压信号，以确定所述被测物体的面型。

10.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储介质和总线，所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如权利要求1至8中任一项所述的物体面型检测方法的步骤。