CN118197957A - 一种基于三维空间的晶圆传送*** - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于三维空间的晶圆传送***，***包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；所述数据存储模块用于对晶圆传送过程中产生的数据进行存储；所述位置采集模块用于对晶圆的位置进行采集；所述晶圆传送模块用于对晶圆进行传送；所述晶圆传送控制模块，用于根据晶圆传送参数控制所述晶圆传送模块，实现晶圆传送。本发明实施例实现三维空间晶圆自动引导功能，达到简化部署进而提供大量数据支撑平台的应用，再进一步可进行功能测试，实现性能优化，减少了晶圆传送成本，减少了维护成本。
Description
技术领域
本发明涉及计算机技术领域，尤其涉及一种基于三维空间的晶圆传送***。
背景技术
晶圆自动化生产产业中，三维空间的晶圆传送位置自动引导方法，作为解决“晶圆”的三维空间自动引导传送关键技术，具有广泛的用途，在晶圆生产中承担重要的一环。
现有技术中晶圆传送***中有以下几个缺点：
1.硬件多，增加成本。在三维空间的晶圆传送位置自动引导软件平台的开发过程，以及开发完之后平台解决方案的维护、展示和宣传都需要机器关节和视觉设备的数据支持。意味着一旦缺少机器关节及视觉设备的数据，就会耽误开发、测试进度和展示效果不佳的问题。若是由厂商需要提供相关硬件，则用户就要承担一定的硬件成本。
2.现有的基于空间的晶圆传送***接入环境复杂，布线难度大。工作站功能应用多，布线难度加大，需要更多的成本。同一工作站应用多种操作软件，操作复杂。
综上所述，现有技术中的晶圆传送***技术存在开发成本过高，对安装环境要求较大，维护成本大的问题。
因此现有技术还有待于进一步发展。
发明内容
针对上述技术问题，本发明实施例提供了一种基于三维空间的晶圆传送***，能够解决现有技术中的晶圆传送***技术存在开发成本过高，对安装环境要求较大，维护成本大的技术问题。
本发明实施例的第一方面提供一种基于三维空间的晶圆传送方法，***包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；
所述数据存储模块用于对晶圆传送过程中产生的数据进行存储；
所述位置采集模块用于对晶圆的位置进行采集；
所述晶圆传送模块用于对晶圆进行传送；
所述晶圆传送控制模块，用于根据晶圆传送参数控制所述晶圆传送模块，实现晶圆传送。
可选地，所述***还包括通信模块，
所述通信模块用于建立所述晶圆传送控制模块与所述晶圆传送模块的连接与通信。
可选地，所述***还包括人机界面，
所述人机界面用于输入配置的参数，展示数据及监控实时通信情况。
可选地，所述***还包括调度管理模块，
所述调度管理模块用于响应所述人机界面发送的请求参数，并对数据库进行操作，获取数据库返回的结果，传送至所述人机界面。
可选地，所述数据存储模块包括IP通讯配置单元、晶圆传送控制信号存储单元和数据缓存单元，
所述IP通讯配置单元用于对IP通讯过程中的配置名称、连接地址、端口、账号和密码进行配置；
所述晶圆传送控制信号存储单元用于储存晶圆传送过程的控制信号、点位数据、日志数据时间数据；
所述数据缓存单元用于对网关信息、设备信息及网络连接信息进行缓存。
可选地，所述***还包括多协议集成模块，
所述多协议集成模块用于集成TCP/IP协议、IPX/SPX协议、NetBEUI协议，为通信模块提供对应的通信支持。
可选地，所述***还包括TCP/IP协议模块，
所述TCP/IP协议模块用于集成多种TCP/IP套件，为通信模块提供对应的TCP/IP协议支持。
可选地，所述***还包括设备管理模块，
所述设备管理模块用于对设备参数进行配置。
可选地，所述统还包括采集频率设置模块，
所述采集频率设置模块用于对所述位置采集模块的采集频率进行配置。
可选地，所述位置采集模块具体用于：
通过摄像设备对晶圆的位置进行拍摄，得到晶圆位置图像，基于计算机视觉算法对所述晶圆位置图像进行识别，得到采集后晶圆的位置。
本发明实施例提供的技术方案中，***包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；所述数据存储模块用于对晶圆传送过程中产生的数据进行存储；所述位置采集模块用于对晶圆的位置进行采集；所述晶圆传送模块用于对晶圆进行传送；所述晶圆传送控制模块，用于根据晶圆传送参数控制所述晶圆传送模块，实现晶圆传送。本发明实施例实现三维空间晶圆自动引导功能，达到简化部署进而提供大量数据支撑平台的应用，再进一步可进行功能测试，实现性能优化，减少了晶圆传送成本，减少了维护成本。
附图说明
图1为本发明实施例中一种基于三维空间的晶圆传送***的一实施例的硬件结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
以下结合附图对本发明实施例进行详细的描述。
请参阅图1，图1为本发明实施例中一种基于三维空间的晶圆传送***的一个实施例的硬件结构示意图。如图1所示，***包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；
所述数据存储模块用于对晶圆传送过程中产生的数据进行存储；
所述位置采集模块用于对晶圆的位置进行采集；
所述晶圆传送模块用于对晶圆进行传送；
所述晶圆传送控制模块，用于根据晶圆传送参数控制所述晶圆传送模块，实现晶圆传送。
具体实施时，本发明实施例主要是用于基于三维晶圆传送，解决传统需人工，代替人工实现与机器之间的通讯，提供设备信息和设备数据，并协助机械臂进行相关功能的开发和测试。本发明实施例用以三维空间晶圆搬运硬件设施，提供自动引导通信，三维空间指的是视觉引导机械臂在三维空间中转运晶圆，包含空间坐标x/y/z轴坐标的数据，x/y引导平面位置，z引导上下位置。
***中的数据存储模块，用于对晶圆传送过程中数据进行存储。位置采集模块，用于采集晶圆位置；晶圆传送模块，用于对晶圆进行传送；晶圆传送控制模块，用于根据晶圆传送参数控制所述晶圆传送模块，实现晶圆传送。
晶圆传送模块包括但不限于机械手和相机镜头。机械手通过信号出发视觉拍照，视觉通过模板算出当前晶圆位置；机器硬件指转运机械手；视觉硬件指相机镜头。
对晶圆位置传送引导方法。视觉拍照获取晶圆当前位置数据，并发送给机械手，机械手得到最新位置数据后更新取晶圆位置后准确搬运。
本发明实施例实现硬件的通信和自动引导功能，提供大量设备视觉、机械臂、控制***、操作界面，进而提供大量数据支撑平台的开发，再进一步可实现性能测试；实现了功能的特殊要求，进行减少开发和测试成本。
可选地，所述***还包括通信模块，
所述通信模块用于建立所述晶圆传送控制模块与所述晶圆传送模块的连接与通信。
具体实施时，通信模块用于建立所述晶圆传送控制模块与晶圆传送模块的连接与通信。通信模块：建立与机械臂的视觉的连接和通信；每一种活动轨迹都会从已配置好的IP连接进行选择，通信模块将通过设置好的连接配置，建立与机械臂视觉的连接；然后发布由协助调度管理模块执行的上行消息，如错误报警，请查看主页面最上方日志。
可选地，所述***还包括人机界面，
所述人机界面用于输入配置的参数，展示数据及监控实时通信情况。
具体实施时，人机界面用于输入参数，展示数据、监控实时通信数据。除此之外实时通信的监控情况，主要是对视觉数据的监控，监控到每一个视觉的收发情况。
可选地，所述***还包括调度管理模块，
所述调度管理模块用于响应所述人机界面发送的请求参数，并对数据库进行操作，获取数据库返回的结果，传送至所述人机界面。
具体实施时，调度管理模块用于：模块统筹，调度各个模块。主要是响应从人机界面发送的请求参数并对数据库进行操作，再将结果返回，达到可配置，可交互。除此之外调度定时采集，建立视觉连接，维护视觉与IP的通信。
可选地，所述数据存储模块包括IP通讯配置单元、晶圆传送控制信号存储单元和数据缓存单元，
所述IP通讯配置单元用于对IP通讯过程中的配置名称、连接地址、端口、账号和密码进行配置；
所述晶圆传送控制信号存储单元用于储存晶圆传送过程的控制信号、点位数据、日志数据时间数据；
所述数据缓存单元用于对网关信息、设备信息及网络连接信息进行缓存。
具体实施时，数据存储模块包括IP通讯配置单元、晶圆传送控制信号存储单元及数据缓存单元。IP通讯配置单元义了配置名称、连接地址、端口、账号、密码等信息。缓存数据包括网关、设备、连接信息。
可选地，所述***还包括多协议集成模块，
所述多协议集成模块用于集成TCP/IP协议、IPX/SPX协议、NetBEUI协议，为通信模块提供对应的通信支持。其中TCP/IP(Transmission Control Protocol/InternetProtocol，传输控制协议/网际协议)是指能够在多个不同网络间实现信息传输的协议簇。TCP/IP协议不仅仅指的是TCP和IP两个协议，而是指一个由FTP、SMTP、TCP、UDP、IP等协议构成的协议簇，只是因为在TCP/IP协议中TCP协议和IP协议最具代表性，所以被称为TCP/IP协议。
IPX(Internet work Packet Exchange，互联网络数据包交换)是一个专用的协议簇，它主要由Novell NetWare操作***使用。IPX是IPX协议簇中的第三层协议。SPX(Sequenced Packet Exchange protocol，序列分组交换协议)是Novell早期传输层协议，为Novell NetWare网络提供分组发送服务。在局域网中用得比较多的网络协议是IPX/SPX。
NetBEUI，即NetBios Enhanced User Interface，或NetBios增强用户接口。它是NetBIOS协议的增强版本，曾被许多操作***采用，例如Windows for Workgroup、Win 9x系列、Windows NT等。NETBEUI是为IBM开发的非路由协议，用于携带NETBIOS通信。
具体实施时，多协议集成模块用于集成TCP/IP协议、IPX/SPX协议、NetBEUI协议。
可选地，所述***还包括TCP/IP协议模块，
所述TCP/IP协议模块用于集成多种TCP/IP套件，为通信模块提供对应的TCP/IP协议支持。
具体实施时，集成多种TCP/IP套件的模块。
可选地，所述***还包括设备管理模块，
所述设备管理模块用于对设备参数进行配置。
具体实施时，设备管理模块用于配置更加详细的设备，包含各种各样的设备，包含现有的视觉、机械臂设备。
可选地，所述统还包括采集频率设置模块，
所述采集频率设置模块用于对所述位置采集模块的采集频率进行配置。
具体实施时，IP配置采集频率；软件内部用采集频率设置信号触发采集任务。每个IP分配一定资源，每个设备的视觉都会为其设置一个采集值或者采集范围，这个数据会存储到数据库中，再读入到缓存中。
可选地，所述位置采集模块具体用于：
通过摄像设备对晶圆的位置进行拍摄，得到晶圆位置图像，基于计算机视觉算法对所述晶圆位置图像进行识别，得到采集后晶圆的位置。
具体实施时，当采集值是固定值，那么视觉采集到的晶圆偏移位置数据就是初始值或者现有值加固定累加值即可产生需要的值。固定值指的是第一次校准相对机械手和视觉的位置通过拍照获取模板后即作为基础数据，新的晶圆位置都需要和基础模板数据做比对，产生的新的偏移值加上模板固定值即是需要引导机械臂转运的新位置。
本发明实施例可实现三维空间晶圆自动引导功能，同时也表现了视觉、机械臂、自动引导晶圆三者之间的关系，达到简化部署进而提供大量数据支撑平台的应用，再进一步可进行功能测试，实现性能优化。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，***包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；
所述数据存储模块用于对晶圆传送过程中产生的数据进行存储；
所述位置采集模块用于对晶圆的位置进行采集；
所述晶圆传送模块用于对晶圆进行传送；
所述晶圆传送控制模块，用于根据晶圆传送参数控制所述晶圆传送模块，实现晶圆传送。
2.根据权利要求1所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述***还包括通信模块，
所述通信模块用于建立所述晶圆传送控制模块与所述晶圆传送模块的连接与通信。
3.根据权利要求2所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述***还包括人机界面，
所述人机界面用于输入配置的参数，展示数据及监控实时通信情况。
4.根据权利要求3所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述***还包括调度管理模块，
所述调度管理模块用于响应所述人机界面发送的请求参数，并对数据库进行操作，获取数据库返回的结果，传送至所述人机界面。
5.根据权利要求4所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述数据存储模块包括IP通讯配置单元、晶圆传送控制信号存储单元和数据缓存单元，
所述IP通讯配置单元用于对IP通讯过程中的配置名称、连接地址、端口、账号和密码进行配置；
所述晶圆传送控制信号存储单元用于储存晶圆传送过程的控制信号、点位数据、日志数据时间数据；
所述数据缓存单元用于对网关信息、设备信息及网络连接信息进行缓存。
6.根据权利要求5所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述***还包括多协议集成模块，
所述多协议集成模块用于集成TCP/IP协议、IPX/SPX协议、NetBEUI协议，为通信模块提供对应的通信支持。
7.根据权利要求5所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述***还包括TCP/IP协议模块，
所述TCP/IP协议模块用于集成多种TCP/IP套件，为通信模块提供对应的TCP/IP协议支持。
8.根据权利要求6或7所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述***还包括设备管理模块，
所述设备管理模块用于对设备参数进行配置。
9.根据权利要求8所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述***还包括采集频率设置模块，
所述采集频率设置模块用于对所述位置采集模块的采集频率进行配置。
10.根据权利要求9所述的基于三维空间的晶圆传送***，其特征在于，所述位置采集模块具体用于：
通过摄像设备对晶圆的位置进行拍摄，得到晶圆位置图像，基于计算机视觉算法对所述晶圆位置图像进行识别，得到采集后晶圆的位置。
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