CN118151325A - 一种可变行程的光学调焦*** - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种可变行程的光学调焦***，涉及光学成像调焦技术领域，用以解决光学检测成像与调焦行程变化之间的适应性较差、调焦加速度突变限制光学成像质量和检测速度的问题。本发明主要通过设置轨道滑接座、隔离导轨、第一滑接球以及振动吸收套，隔离了光学***外部作用力对内部光学元件的直接作用提高了光学***内部元件的安全性和状态稳定性。通过设置螺纹副座、动力传座、第二滑接球以及轨道滑块，降低了光学成像***镜片的对心准确性受到调焦传动振动的影响，避免成像镜片不完全聚焦而降低自动光学检测***成像质量和降低了检测数据分析处理压力。

Description

一种可变行程的光学调焦***

技术领域

本发明涉及光学成像调焦技术领域，具体涉及一种可变行程的光学调焦***。

背景技术

晶圆表面的缺陷检测是其加工工艺流程中关键的一个环节，圆晶表面积与所需要检测的微颗粒尺寸比例悬殊，这种类型的缺陷检测相当于是宏观背景下的微观检测；到了二十一世纪初期，借住计算机视觉的自动化在线检测***率先被头部工厂所引用，使用自动光学检测***检测采集到的散射光信息以直观图像的形式呈现出来，方便人工检测，现阶段圆晶表面缺陷检测主要有两个方面的难点，一方面在于检测精度需要达到亚微米量级；另一方面在于如何实现大面积一次性检测；光学显微镜由于其设计结构的原因，与普通的光学镜头相比，具有成像范围窄、成像亮度低等特点，使得光学显微镜对于调焦的准确性有很高的要求，而采用人工对焦的方式或者采用固定行程式的自动对焦调焦光学成像检测，人工操作和判断，对圆晶检测效率造成较大影响，而固定行程式的自动化调焦传动的自动光学检测***光学成像质量和图像数据处理压力直接影响了圆晶表面质量检测的速度和准确性，检测可调范围受限较大。

现有技术中，有一些提高自动光学检测***光学成像质量的方式提高检测速率，例如美国发明专利US20020162979A1公开了一种光学扫描装置和缺陷检测装置，该发明专利使用矩阵排列幅射光的感光元件，将光源辐射光束光栅转化为光束矩阵列，将光源产生的辐射光束通过衍射光栅转化为矩阵排列的光束阵列，通过物镜将这些光束聚焦成光束点状，样品上形成矩阵状光点阵列缺陷；该专利光学成像质量受限于成像分光的分辨率，分光得到的光强和清晰度可能会降低；

同时，现有技术中也存在通过弱化机械抖动方式提高成像质量的方案，例如日本发明专利JP07209684A，公开了一种具有图像抖动防止功能的镜筒，该发明专利采用抖动监测传感器控制防抖动***削弱光学镜头受到的抖动晃动，主要用于普通的光学镜头的光学成像***中，该技术方案受限于镜筒本身的空间结构，成像质量稳定效果可能较差，机械抖动、共振等有可能影响光学成像。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可变行程的光学调焦***，以解决光学检测成像与调焦行程变化之间的适应性较差、调焦加速度突变限制光学成像质量和检测速度的问题。

为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：

一种可变行程的光学调焦***，包括镜筒，镜筒内设有镜片安装腔，镜筒内设有一组同轴的成像镜片，镜筒上端面固定有连接座，连接座上端固定连接有安装盘，镜筒下端设有半透半反镜，半透半反镜与成像镜片的位置互相对应，位于半透半反镜侧面设有平行照射LED模组，镜筒下端设有一组在圆周方向上均布的传动通槽，镜筒下端转动连接有支承圈，镜筒侧面上设有一组圆周分布的定位槽，通过设置支承圈，可补偿镜筒侧壁上加工传动通槽后造成的刚度损失并提高镜筒的尺寸稳定性。

优选地，镜片安装腔内设有一组上下分布的镜片安装套，镜片安装套内固定连接成像镜片，镜片安装套圆周方向上固定连接有延伸座，延伸座内设有延伸弹簧，延伸弹簧另一端固定连接有延伸支架，延伸座滑动连接延伸支架，镜片安装腔内设有一组上下分布的同步安装环，同步安装环下端固定连接有一组均布的同步固定座。

优选地，同步固定座内设有装夹斜面槽，装夹斜面槽与延伸支架能互相配合限位，同步固定座外侧面固定连接有侧向连接座，侧向连接座另一端固定连接有轨道滑块，传动通槽内滑动连接轨道滑块；

通过设置延伸支架和延伸弹簧的配合安装成像镜片并将成像镜片和镜片安装套推向同轴的对心位置处，提高了光学检测***不同规格镜片的替换便捷性，提高了光学***镜片拆装和维护的便捷性，提高了自动光学检测***的使用范围和检测方式的多样性。

优选地，侧向连接座相邻镜片安装腔的侧面上设有振动吸收套；通过设置轨道滑接座、隔离导轨、第一滑接球以及振动吸收套，能在振动吸收套内弹簧的弹性张力作用下保持轨道滑接座和隔离导轨之间的位置关系的稳定，隔离了光学***外部作用力对内部光学元件的直接作用提高了光学***内部元件的安全性和状态稳定性。

优选地，位于镜筒外侧的轨道滑块具有光栅感光模组，定位槽内设有光栅尺，光栅感光模组与光栅尺的位置互相对应；

通过设置光栅感光模组、轨道滑接座、隔离导轨以及轨道滑块，隔离了光栅感光模组和光栅尺受到机械振动导致固有频率和激振频率相同时的发生弯曲变形和莫尔条纹间距变化的影响，降低了光栅尺部件受到机械***故障影响而降低检测精度甚至损坏的可能，提高了光学检测***位移控制的准确性和可靠性。

优选地，安装盘下侧设有传动同轴套，传动同轴套位于镜筒外侧，传动同轴套外侧固定连接有一组均布的传动安装座，传动安装座固定连接有传动微电机和两个上下分布的丝杠导向座，两个丝杠导向座内转动连接有传动丝杠，传动丝杠下端转动连接有螺纹副座，传动微电机能驱动传动丝杠旋转；

通过设置传动微电机、传动丝杠、螺纹副座以及动力传座，实现自动化控制传动微电机启停带动光学***进行调焦传动，提高了自动光学检测***调焦成像响应速度和调焦传动控制效率。

优选地，螺纹副座上固定有动力传座，动力传座朝向成像镜片轴心方向的端面固定连接有同步传递座，同步传递座另一端通过弹簧滑动连接有一组第二滑接球，同步传递座两侧分别设有次级吸收座，动力传座左侧滑动连接有两个活动传递座，次级吸收座的一侧通过活动传递座与动力传座连接，次级吸收座另一侧布设有相同的第二滑接球。

优选地，传动通槽内上下方向上滑动连接有轨道滑块，轨道滑块远离成像镜片轴心方向的端面上设有凹槽，凹槽朝向成像镜片轴心方向的底面在上下方向上滑动连接第二滑接球，同步传递座在上下方向上与两个次级吸收座相对的端面之间各自固定连接有一组次级吸收弹簧，两个次级吸收座另一端面各自固定连接有一组次级吸收弹簧和一个吸收推板，两个吸收推板另一端面各自与同一侧的凹槽的上下两个侧壁面在次级吸收弹簧的弹力作用下保持面接触贴合状态。

优选地，动力传座在上下方向上的两端分别固定连接有一个初级吸收座，两个初级吸收座分别位于轨道滑块的上侧和下侧，两个初级吸收座各自朝向轨道滑块端面各自固定连接有一个初级吸收弹簧，两个初级吸收弹簧另一端均固定连接有相同的一个吸收推板，位于轨道滑块上下侧的两个吸收推板分别在同一侧的初级吸收弹簧弹力作用下与轨道滑块上下两个端面保持面接触贴合状态；

通过设置螺纹副座、动力传座、第二滑接球以及轨道滑块，阻隔了调焦传动在成像镜片径向方向的抖动对光学***的传递，降低了光学成像***镜片的对心准确性受到调焦传动振动的影响，避免成像镜片不完全聚焦而降低自动光学检测***成像质量和降低了检测数据分析处理压力，提高了光学检测***高速调焦成像检测的性能；

通过设置次级吸收弹簧、初级吸收弹簧、同步传递座、活动传递座、次级吸收座以及吸收推板降低了高速调焦过程中加速度突变的传动冲击振动噪音对光学成像检测的影响，提高了自动光学检测***调焦成像速度和准确性。

优选地，动力传座在镜筒圆周切线方向的两侧面各自固定连接有一个切向支撑架，两个切向支撑架下端均设有一组相同的次级吸收座和第二滑接球；

通过设置切向支撑架、第二滑接球、保护罩板、丝杠导向座以及螺纹副座，能阻隔并吸收调焦传动***振动抖动切向分力，提高了光学检测***的稳定性，对光学调焦***传部分和光栅起到良好的保护作用。

优选地，镜筒下端转动连接有分光筒，分光筒内设有分光安装腔，分光安装腔内设有半透半反镜，分光筒下端固定连接有降噪筒和一组在光路圆周方向上均布的角度散射组件，降噪筒内固定连接有劈尖环组装件；

通过设置降噪筒和劈尖环组装件以及半透半反镜，降低了非检测领域的干扰光线进入成像光路中影响成像质量和检测速度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

图1为本发明一种可变行程的光学调焦***的整体结构示意图；

图2为本发明一种可变行程的光学调焦***的主视示意图；

图3是附图2所示装置的内部结构示意图；

图4是镜筒的三维结构示意图；

图5是图3中A处的局部放大示意图；

图6是图3中B处的局部放大示意图；

图7是图3中成像镜片处的装配关系示意图；

图8是图7中延伸座处的内部结构示意图；

图9是图3中传动安装座处的三维结构示意图；

图10是图1中丝杠导向座处的装配关系示意图；

图11是轨道滑块与镜筒的装配关系示意图；

图12是图11中轨道滑块处的三维结构示意图；

图13是图12中同步传递座处的三维结构示意图；

图14是图13的主视示意图。

附图标号：镜筒10；连接座11；安装盘12；成像感光模组13；支承圈14；镜片安装腔15；传动通槽16；定位槽17；隔离导轨18；光栅尺19；成像镜片30；镜片安装套31；延伸座32；延伸支架33；同步固定座34；同步安装环35；延伸弹簧36；装夹斜面槽37；罩板安装条48；橡胶垫块49；传动安装座50；传动同轴套51；传动微电机52；保护罩板53；丝杠导向座54；螺纹副座55；动力主轴56；联轴器57；传动丝杠58；侧向连接座59；轨道滑块60；动力传座61；切向支撑架62；初级吸收座63；轨道滑接座64；光栅感光模组65；振动吸收套66；同步传递座67；活动传递座68；次级吸收座69；第一滑接球70；初级吸收弹簧71；第二滑接球72；吸收推板73；次级吸收弹簧79；分光筒80；角度散射组件81；降噪筒82；平行照射LED模组83；分光安装腔84；半透半反镜85；偏转LED模组86；照射偏移架87；劈尖环组装件89。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面首先结合附图对本申请所涉及的概念进行说明。在此需要指出的是，以下对各个概念的说明，仅为了使本申请的内容更加容易理解，并不表示对本申请保护范围的限定；同时，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

实施例一

参照附图1至附图4所示，本发明提供了一种可变行程的光学调焦***，包括镜筒10，镜筒10内设有镜片安装腔15，镜筒10内设有一组同轴的成像镜片30，镜筒10上端面固定连接有连接座11和成像感光模组13，连接座11上端固定连接有安装盘12，连接座11能调整镜筒10的安装高度，连接座11能容纳封装成像感光模组13提供更好的散热结构扩展，安装盘12通过连接座11与镜筒10保持刚性连接，镜筒10下端设有半透半反镜85、平行照射LED模组83以及偏转LED模组86，半透半反镜85与成像镜片30的位置互相对应，平行照射LED模组83位于半透半反镜85侧面，半透半反镜85将平行照射LED模组83发出的平行照明光反射在成像镜片30轴线方向照射在圆晶表面，圆晶表面电极层将半透半反镜85反射向下的平行照明光源反射至半透半反镜85方向，圆晶电极层反射的明场平行光经过半透半反镜85透射后，沿着成像镜片30轴线方向进入成像镜片30折射成像，有表面缺陷的圆晶电极层反射的明场照明光线为散射方式成像显示为黑斑，从而检测圆晶表面的电极金属层的表面缺陷，镜筒10下端设有一组在圆周方向上均布的传动通槽16，镜片安装腔15内的每个成像镜片30对应独立使用一组圆周方向上均布的传动通槽16安装后受到平衡的径向力，镜筒10下端转动连接有支承圈14，传动通槽16下端延伸至镜筒10端面，镜片安装腔15内的成像镜片30安装后，在镜片安装腔15下端内壁转动连接支承圈14，可补偿镜筒10侧壁上加工传动通槽16后造成的刚度损失并提高镜筒10的尺寸稳定性，镜筒10侧面上设有一组圆周分布的定位槽17。

参照附图7、附图8以及附图11所示，镜片安装腔15内设有一组上下分布的镜片安装套31，镜片安装套31内固定连接成像镜片30，镜片安装套31圆周方向上固定连接有延伸座32，延伸座32内设有延伸弹簧36，延伸弹簧36另一端固定连接有延伸支架33，延伸座32滑动连接延伸支架33，延伸支架33在延伸弹簧36的弹力作用下始终在延伸座32上保持最大伸缩距离状态，在延伸支架33的距离延伸下，能将不同直径大小的成像镜片30和镜片安装套31延伸安装在接近镜片安装腔15的内壁位置处，提高了光学检测***不同规格镜片的替换便捷性，镜片安装腔15内设有一组上下分布的同步安装环35，同步安装环35下端固定连接有一组均布的同步固定座34，同步固定座34内设有装夹斜面槽37，装夹斜面槽37与延伸支架33能互相配合限位，镜片安装套31、成像镜片30以及延伸座32整体通过延伸支架33与装夹斜面槽37的配合限位固定位置，在装夹斜面槽37的限位和延伸弹簧36的弹性力作用下，能将延伸座32上固定的成像镜片30和镜片安装套31固定在同步固定座34上，并将成像镜片30和镜片安装套31推向同轴的对心位置处，保持上下分布的多个成像镜片30之间的同轴度处于稳定状态，提高了光学***镜片拆装和维护的便捷性，提高了自动光学检测***的使用范围和检测方式的多样性，同步固定座34外侧面固定连接有侧向连接座59，侧向连接座59另一端固定连接有轨道滑块60，传动通槽16内滑动连接轨道滑块60。

参照附图11至附图14所示，侧向连接座59朝向镜片安装腔15侧壁方向的端面上固定连接有两组在传动通槽16方向上对称的振动吸收套66，振动吸收套66内通过弹簧滑动连接有第一滑接球70，振动吸收套66和第一滑接球70的位置贴合镜片安装腔15内壁，传动通槽16上的两个相对侧面上各自固定连接有一个隔离导轨18，轨道滑块60与传动通槽16的两侧面相对的两个端面上分别固定连接有一个轨道滑接座64，两个轨道滑接座64的位置互相对应，隔离导轨18远离成像镜片30轴心方向的一侧表面上滑动连接同侧的一个轨道滑接座64，在振动吸收套66内的弹簧和第一滑接球70作用下，将侧向连接座59、轨道滑块60以及两个轨道滑接座64整体带动保持向镜筒10轴心方向的移动的运动趋势并保持两组轨道滑接座64与隔离导轨18之间的贴合状态，在振动吸收套66内弹簧的弹性张力作用下保持轨道滑接座64和隔离导轨18之间的位置关系的稳定，隔离了光学***外部作用力对内部光学元件的直接作用提高了光学***内部元件的安全性和状态稳定性。

轨道滑块60贯穿传动通槽16，轨道滑块60位于镜筒10外侧的朝向同一位置处的定位槽17方向的端面上固定连接有光栅感光模组65，成像镜片30对应独立使用的一组定位槽17的其中一个固定连接有光栅尺19，光栅感光模组65与光栅尺19的位置互相对应，光栅感光模组65跟随轨道滑块60在传动通槽16内的滑动同步移动，在隔离导轨18和轨道滑接座64的贴合状态下，光栅感光模组65跟随轨道滑块60在轨道滑接座64的作用下隔离了在朝向镜筒10轴心方向上的抖动，隔离了光栅感光模组65和光栅尺19受到机械振动导致固有频率和激振频率相同时的发生弯曲变形和莫尔条纹间距变化的影响，降低了光栅尺部件受到机械***故障影响而降低检测精度甚至损坏的可能，提高了光学检测***位移控制的准确性和可靠性。

参照附图5和附图9所示，安装盘12下侧设有传动同轴套51，传动同轴套51位于镜筒10外侧，传动同轴套51外侧圆周方向上固定连接有一组均布的传动安装座50，传动安装座50的位置与传动通槽16互相对应，传动安装座50朝向成像镜片30轴心方向的端面上固定连接有传动微电机52和两个上下分布的丝杠导向座54，两个丝杠导向座54内转动连接有传动丝杠58，传动丝杠58下端转动连接有螺纹副座55，传动微电机52下端动力连接有动力主轴56，动力主轴56下端固定连接有联轴器57，联轴器57下端固定连接传动丝杠58，螺纹副座55朝向成像镜片30轴心方向一侧固定连接有动力传座61，每个成像镜片30独立使用的一组传动通槽16中配设一个传动微电机52，并将同组传动通槽16中其他位置处的传动丝杠58替换为滑动结构起导向配合调焦滑动作用，控制信号能驱动传动微电机52带动传动丝杠58伺服转动，从而实现自动化控制传动微电机52启停带动光学***进行调焦传动，提高了自动光学检测***调焦成像响应速度和调焦传动控制效率。

参照附图11至14所示，动力传座61朝向成像镜片30轴心方向的端面固定连接有同步传递座67，同步传递座67另一端通过弹簧滑动连接有一组第二滑接球72，动力传座61朝向成像镜片30轴心方向一端在上下方向上滑动连接有两个活动传递座68，两个活动传递座68朝向成像镜片30轴心方向的一端各自固定连接有一个次级吸收座69，同步传递座67位于两个活动传递座68之间，两个次级吸收座69朝向成像镜片30轴心方向一端均滑动连接有相同的一组第二滑接球72，传动通槽16内上下方向上滑动连接有轨道滑块60，轨道滑块60远离成像镜片30轴心方向的端面上设有凹槽，凹槽朝向成像镜片30轴心方向的底面在上下方向上滑动连接第二滑接球72，同步传递座67在上下方向上与两个次级吸收座69相对的端面之间各自固定连接有一组第二滑接球72，两个次级吸收座69另一端面各自固定连接有一组次级吸收弹簧79和一个吸收推板73，两个吸收推板73另一端面各自与同一侧的凹槽的上下两个侧壁面在次级吸收弹簧79的弹力作用下保持面接触贴合状态，动力传座61在上下方向上的两端分别固定连接有一个初级吸收座63，两个初级吸收座63分别位于轨道滑块60的上侧和下侧，两个初级吸收座63各自朝向轨道滑块60端面各自固定连接有一个初级吸收弹簧71，两个初级吸收弹簧71另一端均固定连接有相同的一个吸收推板73，位于轨道滑块60上下侧的两个吸收推板73分别在同一侧的初级吸收弹簧71弹力作用下与轨道滑块60上下两个端面保持面接触贴合状态，在传动微电机52驱动动力主轴56、联轴器57以及传动丝杠58转动而带动动力传座61上下行的过程中，由于零件的制造误差和配合间隙等机械制造缺陷导致的传动抖动通过螺纹副座55传递给动力传座61，动力传座61将这些抖动通过刚性连接传递至活动传递座68和次级吸收座69以及同步传递座67上，然后被同步传递座67和次级吸收座69上的弹簧和第二滑接球72吸收一部分，并在轨道滑块60的隔离下转换为静压力，从而阻隔了调焦传动在成像镜片30径向方向的抖动对光学***的传递，降低了光学成像***镜片的对心准确性受到调焦传动振动的影响，提高了自动光学检测***调焦传动平稳性，避免成像镜片不完全聚焦而降低自动光学检测***成像质量和降低了检测数据分析处理压力，提高了光学检测***高速调焦成像检测的性能；

此外，参照附图14所示，在光学调焦***高速运行和启停的过程中，还会因为丝杠螺纹副配合间隙和制造缺陷产生启停冲击振动，导致调焦过程中加速度突变，此时，传动微电机52驱动传动丝杠58高速调焦传动的运行和启停过程中，带动调焦的动力传座61将加速度突变的振动冲击同步至刚性连接的同步传递座67上，此时由于动力传座61和初级吸收座63在上下方向的速度突变方向没有刚性连接，因此启停冲击的振动首先在动力传座61带动同步移动的初级吸收座63处的初级吸收弹簧71位置处传递加速度推进，同时在同步传递座67和次级吸收座69之间的次级吸收弹簧79进行同步的加速度传递，在此位置的传递由于同步传递座67与动力传座61之间通过活动传递座68滑动连接，因此次级吸收座69连接的吸收推板73和距离同步传递座67更远的两组次级吸收弹簧79在次一级进行加速度突变传动振动的缓冲，从而将调焦加速度通过两个次级吸收座69位置处的两个吸收推板73传递至轨道滑块60上，最终在动力传座61处的六组弹簧的弹性力的互相配合吸收振动冲击的情况下，加速度突变的振动冲击模式的调焦传动状态逐渐趋于平衡，平稳地准确地完成调焦传动动作达到准确的位置；次级吸收弹簧79和初级吸收弹簧71有效吸收了了自动光学检测***调焦传动在光路方向上的启停冲击，降低了调焦传动加速度突变冲击对调焦位置校准的影响，配合传动检测光栅尺的传感控制，能提高调焦传动位移补偿的速度，从而精确使用数字化信息控制光学调焦***进行调焦传动，降低了高速调焦过程中加速度突变的传动冲击振动噪音对光学成像检测的影响，提高了自动光学检测***调焦成像速度和准确性。

动力传座61在镜筒10圆周切线方向的两侧面各自固定连接有一个切向支撑架62，两个切向支撑架62下端均设有一组相同的次级吸收座69和第二滑接球72，两组第二滑接球72分别在动力传座61两侧与镜筒10外表面支撑限位，在动力传座61两侧第二滑接球72和次级吸收座69的平衡作用下将调焦传动***产生的振动在镜筒10圆周切线方向的分量吸收一部分后，再经过刚性传递至动力传座61和同步传递座67整体上，从而转换在同步传递座67在轨道滑块60远离成像镜片30轴心方向的端面上的凹槽接触面上的滑动，同样实现阻隔并吸收调焦传动***振动抖动切向分力，提高了光学检测***的稳定性；

此外，如图10所示，在传动安装座50和镜筒10之间设有的保护罩板53能保护光栅和传动***，通过在镜筒10外表面固定的罩板安装条48和橡胶垫块49将保护罩板53安装在调焦传动结构和传动安装座50的两侧对装置进行防护，同时在橡胶垫块49的缓冲作用下，能将保护罩板53防护连接传递的振动隔离，对光学调焦***传部分和光栅起到良好的保护作用。

镜筒10下端转动连接有分光筒80，分光筒80内设有分光安装腔84，分光安装腔84内设有半透半反镜85，分光筒80下端固定连接有降噪筒82和一组在光路圆周方向上均布的角度散射组件81，降噪筒82内固定连接有劈尖环组装件89，劈尖环组装件89的位置与成像镜片30互相对应，由于通过照射偏移架87调整照射角度的偏转LED模组86照射在圆晶表面时，电极层的表面光滑的金属层反射的暗场散射照射光线通常情况下不会进入光学***成像光路中，劈尖环组装件89的纵向截面上分布有均布的三角形沟槽，这些三角形沟槽能将劈尖环组装件89分割为多个劈尖结构，劈尖环组装件89中行程的劈尖结构能将进入其中的杂散光线以钝角角度进行多次反射直到三角形沟槽尖端位置处，从而将杂散光能量吸收一部分，并且能将意外进入的光或非检测区域的缺陷表面散射的光与自动光学检测***成像光路隔离，并在劈尖环组装件89形成的劈尖结构中吸收和反射折射转移，从而降低非检测领域的干扰光线进入成像光路中影响成像质量和检测速度。

实施例二

参照附图7和附图8所示，成像镜片30与镜片安装套31整体通过弹性挤压限位的方式进入同步固定座34的配合斜槽内时，成像镜片30和镜片安装套31圆周方向上独立使用一组均布的传动通槽16，此时，成像镜片30独立使用的传动通槽16数量可以为奇数个或偶数个，镜片安装腔15内安装的多个成像镜片30均被各自位置处延伸弹簧36的弹力保持在与同步固定座34内装夹斜面槽37配合的稳定对心状态，此时镜片安装腔15内的镜片同轴度由延伸弹簧36的挤压力保持，延伸弹簧36能稳定镜片安装腔15内上下分布的多个成像镜片30之间的同轴度保持在适合范围内，同时隔离一部分机械振动对成像镜片30的直接影响；当成像镜片30使用其他刚性连接方式连接至同步固定座34和侧向连接座59上时，此时成像镜片30需要精确调整固定装夹的对心位置，这种情况下，单个成像镜片30独立使用的单组传动通槽16采用十字对称方向的四个位置能提高对心安装效率。

以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本发明技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本发明技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本发明内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或替换为其它等效的实施例，但仍应视为与本发明实质相同的技术或实施例。

本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以作出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种可变行程的光学调焦***，包括镜筒（10），所述镜筒（10）内设有镜片安装腔（15），所述镜筒（10）内设有一组同轴的成像镜片（30），所述镜筒（10）上端面固定有连接座（11），所述连接座（11）上端固定连接有安装盘（12），所述镜筒（10）下端设有半透半反镜（85），所述半透半反镜（85）与所述成像镜片（30）的位置互相对应，所述半透半反镜（85）侧面设有平行照射LED模组（83），其特征在于，所述镜筒（10）下端设有一组在圆周方向上均布的传动通槽（16），所述镜筒（10）下端转动连接有支承圈（14），所述镜筒（10）侧面上设有一组圆周分布的定位槽（17）。

2.根据权利要求1中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，所述镜片安装腔（15）内设有一组上下分布的镜片安装套（31），所述镜片安装套（31）内固定连接所述成像镜片（30），所述镜片安装套（31）圆周方向上固定连接有延伸座（32），所述延伸座（32）内设有延伸弹簧（36），所述延伸弹簧（36）另一端固定连接有延伸支架（33），所述延伸座（32）滑动连接所述延伸支架（33），所述镜片安装腔（15）内设有一组上下分布的同步安装环（35），所述同步安装环（35）下端固定连接有一组均布的同步固定座（34）。

3.根据权利要求2中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，所述同步固定座（34）内设有装夹斜面槽（37），所述装夹斜面槽（37）与所述延伸支架（33）能互相配合限位，所述同步固定座（34）外侧面固定连接有侧向连接座（59），所述侧向连接座（59）另一端固定连接有轨道滑块（60），所述传动通槽（16）内滑动连接所述轨道滑块（60）。

4.根据权利要求3中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，所述侧向连接座（59）相邻镜片安装腔（15）的侧面上设有振动吸收套（66）。

5.根据权利要求3中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，位于所述镜筒（10）外侧的所述轨道滑块（60）具有光栅感光模组（65），所述定位槽（17）内设有光栅尺（19），所述光栅感光模组（65）与所述光栅尺（19）的位置互相对应。

6.根据权利要求1中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，所述安装盘（12）下侧设有传动同轴套（51），所述传动同轴套（51）位于所述镜筒（10）外侧，所述传动同轴套（51）外侧固定连接有一组均布的传动安装座（50），所述传动安装座（50）固定连接有传动微电机（52）和两个上下分布的丝杠导向座（54），两个所述丝杠导向座（54）内转动连接有传动丝杠（58），所述传动丝杠（58）下端转动连接有螺纹副座（55），所述传动微电机（52）能驱动所述传动丝杠（58）旋转。

7.根据权利要求6中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，所述螺纹副座（55）上固定有动力传座（61），所述动力传座（61）朝向所述成像镜片（30）轴心方向的端面固定连接有同步传递座（67），所述同步传递座（67）另一端通过弹簧滑动连接有一组第二滑接球（72），所述同步传递座（67）两侧分别设有次级吸收座（69），所述动力传座（61）左侧滑动连接有两个活动传递座（68），所述次级吸收座（69）的一侧通过所述活动传递座（68）与所述动力传座（61）连接，所述次级吸收座（69）另一侧布设有相同的所述第二滑接球（72）。

8.根据权利要求7中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，所述传动通槽（16）内上下方向上滑动连接有轨道滑块（60），所述轨道滑块（60）远离所述成像镜片（30）轴心方向的端面上设有凹槽，所述凹槽朝向所述成像镜片（30）轴心方向的底面在上下方向上滑动连接所述第二滑接球（72），所述同步传递座（67）在上下方向上与两个所述次级吸收座（69）相对的端面之间各自固定连接有一组次级吸收弹簧（79），两个所述次级吸收座（69）另一端面各自固定连接有一组所述次级吸收弹簧（79）和一个吸收推板（73），两个所述吸收推板（73）另一端面各自与同一侧的所述凹槽的上下两个侧壁面在所述次级吸收弹簧（79）的弹力作用下保持面接触贴合状态。

9.根据权利要求8中所述的一种可变行程的光学调焦***，其特征在于，所述动力传座（61）在上下方向上的两端分别固定连接有一个初级吸收座（63），两个所述初级吸收座（63）分别位于所述轨道滑块（60）的上侧和下侧，两个所述初级吸收座（63）各自朝向所述轨道滑块（60）端面各自固定连接有一个初级吸收弹簧（71），两个所述初级吸收弹簧（71）另一端均固定连接有相同的一个所述吸收推板（73），位于所述轨道滑块（60）上下侧的两个所述吸收推板（73）分别在同一侧的所述初级吸收弹簧（71）弹力作用下与所述轨道滑块（60）上下两个端面保持面接触贴合状态。