CN1180176A - 声光元件、光偏转器、光束扫描装置及图象记录装置 - Google Patents

声光元件、光偏转器、光束扫描装置及图象记录装置 Download PDF

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Abstract

确定z轴与入射光的传播方向一致、x轴与入射光的偏光方向一致、而y轴由x轴和z轴按右手坐标系决定的xyz坐标系。围绕z轴、围绕超声波传播方向、并围绕与由z轴和超声波传播方向形成的面垂直的轴转动,借以调整与入射光对应的声光元件的方位。

Description

声光元件、光偏转器、光束扫描装置及图象记录装置
本发明涉及声光元件、光偏转器、光束扫描装置及图象记录装置，尤其是涉及利用声光效应的声光调制元件(AOM)或声光偏转元件(AOD)等声光元件、光偏转器、利用该声光元件并在图象记录或图象读取中使用的光束扫描装置、及利用该声光元件进行图象记录的图象记录装置。
以往，已知一种利用声光效应进行光偏转的声光偏转元件(AcoustoOpticDeflector：以下，简称AOD)。这种AOD，例如配置在光束扫描装置等的光束的光路上，在由该AOD预先使例如扫描装置的扫描光束偏转以便对射向被照射体的光束照射位置进行校正等用途中使用。
可是，在上述AOD中，作为利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体内传播的光波之间发生的各向异性布雷格衍射而进行光偏转的AOD，已知一种采用能以低功率驱动的二氧化碲(TeO2)单晶体作为声光媒体、利用沿TeO2晶体的[110]轴方向传播、且向[1′10]轴方向(这里，1′意味着-1方向)偏移的横波超声波对入射到TeO2晶体内的光波进行衍射的结构(所谓的ON-[110]型光偏转元件)。采用该TeO2的AOD与采用铌酸锂晶体或水晶的AOD相比，可以获得较大的声光性能指数，并能得到高的衍射效率。
但是，ON-[110]型光偏转元件对超声波频率变化的衍射效率变化特性不是平坦的，由于在中心频率附近衍射效率明显降低，因而衍射光的光量大幅度降低，所以存在着可使用频带窄的问题。另外，为了在ON-[110]型光偏转元件中获得高的衍射效率，必须使入射到光偏转元件的光为圆偏振光，因而需要用于将从激光源射出的直线偏振光的激光变换为圆偏振光的λ/4偏振片，所以还存在着使成本增加的问题。
作为能解决上述问题的AOD，已知一种使超声波的传播方向与TeO2晶体的[110]轴方向有很大倾斜的OFF-[110]型光偏转元件(参照特开昭51-99039号公报)。如采用这种OFF-[110]型光偏转元件，则能解决作为上述ON-[110]型光偏转元件的问题的中心频率附近的光量降低，同时，入射的激光也可以是直线偏振光，因而也就不需要λ/4偏振片了。
但是，在OFF-[110]型光偏转元件中，由于使超声波的传播方向与[110]轴方向有很大倾斜，所以作为声光元件采用的TeO2晶体的尺寸必须比以往增大，因而存在着使成本增加的问题。
同时，在光束扫描装置中，当想要对射向被照射体的光束照射位置进行二维校正(移动)时，可考虑将2个AOD沿光束的光路串联组合，并且配置成使2个AOD的光束偏转方向相互正交(串列配置)，但如上所述的成本增加的问题将更为突出。
本发明是为解决上述问题而开发的，所以其第1目的是提供一种能在宽的频带上获得高衍射效率的低成本声光元件、及利用该声光元件的光束扫描装置和图象记录装置。
本发明是考虑上述实际情况而完成的，所以其第2目的是得到一种能在宽的频带上以高衍射效率对入射光进行二维偏转而且成本低的光偏转器、及利用该光偏转器的光束扫描装置和图象记录装置。
为达到上述第1目的，第1发明将声光元件配置成可以利用各向异性布雷格衍射、同时使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行。
更具体地说，第1发明将声光元件配置成可以利用各向异性布雷格衍射、同时满足使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行而使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面平行的条件、及使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行并使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行的条件中的任何1个条件。
由于配置成使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行、并使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面平行，所以，各向异性晶体的光轴对包含入射光传播方向和超声波传播方向的面构成倾斜规定角度后的状态。
另外，由于配置成使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行、并使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行，所以，各向异性晶体的光轴对包含入射光传播方向和超声波传播方向的面构成倾斜规定角度后的状态，并且，入射光的偏光面对包含入射光传播方向和超声波传播方向的面构成倾斜规定角度后的状态。
本发明者等通过实验观察发现，如果将声光元件的方位调整到以往没有调整过的布雷格角以外的方向并将声光元件配置成使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行，则不必使超声波的传播方向与各向异性晶体的[110]轴方向有很大倾斜，即能使衍射效率在宽的频带上得到提高，因而开发出本发明。
通过以如上所述的方式配置声光元件，不必增大各向异性晶体并使用直线偏振光，即能使衍射效率比以往提高。
如果将声光元件配置成使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行，则能满足使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行而使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面平行的条件、及使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行并使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行的条件中的任何1个条件。
更具体地说，确定以入射光的传播方向为z轴、以入射光的偏光方向为x轴的xyz坐标系，将在各向异性晶体内传播的超声波传播方向与x轴平行、且各向异性晶体的光轴与z轴一致的状态作为初始状态，并从初始状态起围绕与包含z轴和超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度，以便能够利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体内传播的光波之间产生的各向异性布雷格衍射，同时，围绕与超声波传播方向同向的轴、或围绕与超声波传播方向同向的轴和z轴2个轴转动。
即，其配置方式是，在将各向异性晶体的[110]方向与x轴平行、且使[001]方向与z轴一致的状态作为初始状态时，从初始状态起围绕[110]方向的轴、或围绕[110]方向的轴和z轴2个轴转动，同时围绕着与包含z轴和超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度。
当假定从初始状态起围绕与包含z轴和超声波传播方向的面垂直的轴转动的角度为第1规定角度、围绕[110]方向的轴转动的角度为第2规定角度、围绕z轴的转动角度为第3规定角度时，在调整第1规定角度和第2规定角度的情况下，可以使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为大约3°以上、最好约为9°，如将这些角度设定在该范围内则能使衍射效率为理想的值。
另外，当同时调整第1～第3规定角度时，可以使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为大约3°以上、第3规定角度为约30°～90°，如将这些角度设定在该范围内则能使衍射效率为理想的值。另外，还可以使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为约5°～10°、第3规定角度为约30°～90°，最好是使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为约7°～10°、第3规定角度为约45°～90°，更为理想的是使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为约9°～10°、第3规定角度为约70°～75°。当根据上述将第1～第3规定角度调整为最适当的值时，可在宽的频带上得到最高且平坦的衍射效率。
另外，本发明的声光元件最好是声光偏转元件。
上述声光元件可以应用于使光束扫描而进行图象记录的图象记录装置、或使光束扫描而进行图象读取的图象读取装置的光束扫描装置。
即，图象记录装置在结构上备有：激光束发生装置，用于发生多条激光束；多个上述声光元件，配置在各激光束的光路中，用于将激光束变更；及相对于圆筒的中心轴倾斜的反射面，还备有：扫描装置，通过以圆筒的中心轴为中心转动，沿圆筒的内表面进行扫描；光学***，用于将由上述声光元件偏转后的多条激光束入射到上述反射面；及控制装置，生成用于使沿上
述圆筒内表面形成的各激光束的扫描线平行而且在上述扫描装置的同一扫描角范围内使各激光束的扫描长度相等的超声波，并使生成的超声波在上述声光元件内传播。
另外，为达到上述第2目的，第2发明的光偏转器备有利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体中传播的光波之间产生的布雷格衍射的第1及第2声光偏转元件，由上述第1声光偏转元件偏转后的光入射到上述第2声光偏转元件，该光偏转器的特征在于：将第1声光偏转元件配置成使第1声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第1声光偏转元件的入射光传播方向和上述各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行；将第2声光偏转元件配置成使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏光方向交叉，并使第2声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第2声光偏转元件的入射光传播方向和上述各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行。
在第2发明中，使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏光方向交叉，同时按第1发明配置各偏转元件。此外，第2发明中的入射光的偏光面，当入射光为直线偏振光时，指的是包含入射光偏光方向的面，当入射光为椭圆偏振光时，指的是包含入射光的偏光分量的长轴偏光方向的面。
按照如上所述的方式，即可将各偏转元件分别配置成满足上述各条件中的任何1个条件。
为了按如上所述的方式配置声光偏转元件，可以将入射光固定而调整声光偏转元件的方位，也可以将声光偏转元件固定而调整入射光的传播方向，还可以对声光偏转元件的方位和入射光的传播方向二者都进行调整。
本发明者等通过实验观察发现，对于将第1及第2声光偏转元件配置成使由第1声光偏转元件偏转后的光入射到第2声光偏转元件、且与入射光对应的偏转方向相互交叉从而能对入射光进行二维偏转的光偏转器，如果配置各偏转元件使光偏转器的各偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含各偏转元件的入射光传播方向和各偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行，则能在宽的频带上得到高的衍射效率，因而开发出本发明。
通过按如上所述的方式配置光偏转器的各偏转元件，不必增大各向异性晶体的尺寸并使用直线偏振光作为入射光，即可使衍射效率比以往提高，并能以低成本得到可以在宽的频带上以高衍射效率对入射光进行二维偏转的光偏转器。
具体地说，当按如上所述的方式配置光偏转器的各偏转元件并将入射光固定而调整各偏转元件的方位时，第1声光偏转元件的配置方式可以是，在确定了以对第1声光偏转元件的入射光传播方向为z轴、以上述入射光的偏光方向为x轴的xyz坐标系后，将第1声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向与x轴平行、且上述各向异性晶体的光轴与z轴一致的状态作为初始状态，并从该初始状态起，围绕与上述超声波传播方向同向的轴转动，同时围绕与包含z轴及上述超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度；第2声光偏转元件的配置方式可以是，使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏转方向交叉，并在确定了以对第2声光偏转元件的入射光传播方向为z′轴、以上述入射光的偏光方向为x′轴的x′y′z′坐标系后，将第2声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向与x′轴平行、且上述各向异性晶体的光轴与z′轴一致的状态作为初始状态，并从该初始状态起，围绕与上述超声波传播方向同向的轴转动，同时围绕与包含z′轴及上述超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度。
即，第1声光偏转元件的配置方式是，在将第1声光偏转元件的各向异性晶体的[110]方向与入射光的偏光面平行、且使[001]方向与z轴一致的状态作为初始状态时，从上述初始状态起，围绕[110]方向的轴转动，同时围绕与包含z轴及第1声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度；而第2声光偏转元件的配置方式是，在将第2声光偏转元件的各向异性晶体的[110]方向与入射光的偏光面平行、且使[001]方向与z′轴一致的状态作为初始状态时，使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏转方向交叉，并从上述初始状态起，围绕[110]方向的轴转动，同时围绕与包含z′轴及第2声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度。
当假定从第1声光偏转元件的初始状态起、围绕与包含z轴和超声波传播方向的面垂直的轴转动的角度为第1声光偏转元件的第1规定角度、围绕[110]方向的轴转动的角度为第1声光偏转元件的第2规定角度；从第2声光偏转元件的初始状态起、环绕与包含z′轴和超声波传播方向的面垂直的轴转动的角度为第2声光偏转元件的第1规定角度、围绕[110]方向的轴转动的角度为第2声光偏转元件的第2规定角度时，在调整各偏转元件的第1规定角度和第2规定角度时，可以使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为大约3°以上、最好约为9°，如将这些角度调整在该范围内则能使衍射效率为理想的值。
另外，如配置成使第1声光偏转元件还围绕z轴转动、并使第2声光偏转元件还环绕z′轴转动，则是有效的。
即，将第1声光偏转元件配置成从第1声光偏转元件的初始状态起围绕与包含z轴及超声波传播方向的面垂直的轴转动第1规定角度，围绕[110]方向的轴转动第2规定角度，围绕z轴转动第3规定角度，同时，将第2声光偏转元件配置成从第2声光偏转元件的初始状态起围绕与包含z′轴及超声波传播方向的面垂直的轴转动第1规定角度，围绕[110]方向的轴转动第2规定角度，围绕z′轴转动第3规定角度。
上述各规定角度，可以使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为大约3°以上、第3规定角度为约30°～90°，如将这些角度设定在该范围内则能使衍射效率为理想的值。
另外，当同时调整第1及第2声光偏转元件的第1～第3规定角度时，可以使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为大约3°以上、第3规定角度为约30°～90°，最好是使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为约7°～10°、第3规定角度为约45°～90°，更为理想的是使第1规定角度为布雷格角(例如，约4°)、第2规定角度为约9°～10°、第3规定角度为约70°～90°，如能使第3规定角度为约70°～75°则更为令人满意。当根据上述将第1～第3规定角度调整为最适当的值时，可在宽的频带上得到最高且平坦的衍射效率。
另外，第1声光偏转元件的偏转方向与第2声光偏转元件的偏光方向最好正交。
在第1发明及第2发明中，作为各向异性晶体，可使用单轴晶体或二轴晶体，但最好是单轴晶体，TeO2尤为理想。
另外，如将第1及第2声光偏转元件分别安装在单独的壳体里以构成本发明的光偏转器，则在将该光偏转器安装在光束扫描装置等内时，只要调整上述单独壳体的方位，即可完成各偏转元件的方位调整，因而是最适当的。
上述光偏转器还可以应用于使光束扫描而进行图象记录的图象记录装置、或使光束扫描而进行图象读取的图象读取装置等光束扫描装置。
即，图象记录装置在结构上备有：激光束发生器，用于发生多条激光束；多个上述光偏转器，配置在各激光束的光路中，用于将激光束变更；及相对于圆筒的中心轴倾斜的反射面，还备有：扫描装置，通过以圆筒的中心轴为中心转动，沿圆筒的内表面进行扫描；光学***，将由上述光偏转器偏转后的多条激光束入射到上述反射面；及控制装置，生成用于使沿上述圆筒内表面形成的各激光束的扫描线平行而且在上述扫描装置的同一扫描角范围内使各激光束的扫描长度相等的超声波，并使生成的超声波在上述光偏转器内传播。
图1是本发明实施形态的AOD的简图。
图2是用于说明在本发明实施形态中使AOD转动的轴的AOD斜视图。
图3是表示本发明实施形态的只与倾斜角θA的变化对应的衍射效率变化的曲线图。
图4是表示本发明实施形态的与围绕入射光传播方向的轴的转角θZ的变化对应的衍射效率变化的曲线图。
图5是表示用于得到图4的衍射效率的围绕入射光传播方向的轴的转角θZ与倾斜角θA的关系的曲线图。
图6是表示与入射光传播方向的轴旋转的转角θZ的变化对应的衍射效率变化(衍射效率的频率特性形状呈峰值状时)的曲线图。
图7是表示入射光传播方向的轴旋转的转角θZ为70°时与倾斜角θA的变化对应的衍射效率变化的曲线图。
图8是表示本发明实施形态的一定频带上的衍射效率的曲线图。
图9是本发明实施形态的图象记录装置的简图。
图10是本发明实施形态的图象记录装置的控制装置的框图。
图11是本发明实施形态的图象记录装置的控制电路的框图。
图12是表示本发明实施形态的图象记录装置的控制时钟信号的时序的曲线图。
图13A是表示没有对旋转镜的像的旋转进行校正时的扫描线的图。
图13B是表示对旋转镜的像的旋转进行了校正时的扫描线的图。
图13C是表示对扫描长度的差异进行了校正时的扫描线的图。
图14是在将第1AOD及第2AOD串联配置的光偏转器中用于说明使各AOD转动的轴的光偏转器的斜视图。
图15是表示使入射光传播方向的轴旋转的转角θZ改变时从AOD射出的衍射光的长轴偏光方向θdi(这里，以入射光的偏光方向为基准(＝0°))的变化的曲线图。
图16是分别表示当驱动频率取不同值且使入射光传播方向的轴转动的转角θZ改变时衍射光的偏光分量的长轴和短轴的比率变化的曲线图。
图17A是表示用于说明光偏转器的第1AOD及第2AOD的偏光方向正交及用于获得高衍射效率的条件的对第1AOD的入射光的偏光方向的简图。
图17B是表示用于说明上述条件的第1AOD的方位的简图。
图17C是表示用于说明上述条件的从第1AOD射出的衍射光的偏光方向的简图。
图17D是表示用于说明上述条件的第2AOD的方位的简图。
图17E是表示用于说明上述条件的从第2AOD射出的衍射光的偏光方向的简图。
图18是分别表示使第1AOD的围绕入射光传播方向的轴的转角θZ1为+80°、+90°、±0°、且使驱动频率在规定频带内变化时第1AOD及第2AOD的总和的(光偏转器的)衍射效率变化的曲线图。
图19A是表示用于说明用于以光偏转器获得高衍射效率的其他条件的对第1AOD的入射光的偏光方向的简图。
图19B是表示用于说明上述其他条件的第1AOD的方位的简图。
图19C是表示用于说明上述其他条件的从第1AOD射出的衍射光的偏光方向的简图。
图19D是表示用于说明上述其他件的第2AOD的方位的简图。
图19E是表示用于说明上述其他条件的从第2AOD射出的衍射光的偏光方向的简图。
图20是表示本发明实施形态的图象记录装置简略结构的斜视图。
图21是表示构成光偏转器的第1AOD及第2AOD安装在同一壳体内的状态的斜视图。
图22A是表示利用由旋转镜偏转后的3条激光束在记录纸上记录的扫描线的平面图。
图22B是表示使激光束向与x轴方向相当的方向偏转而对像进行校正时的扫描线的平面图。
图22C是表示还使激光束按二维偏转而对扫描线长度的差异进行校正时的扫描线的平面图。
图23A是表示使入射到旋转镜的反射面的激光束L0的入射方向仅向X轴方向偏移-θx时的斜视图。
图23B是表示使上述入射方向仅向Y轴方向偏移-θy时的斜视图。
图23C是表示使上述入射方向仅向X、Y轴方向偏移-θxy时的斜视图。
图24A是说明入射到旋转镜的反射面的3条激光束的光点投射在与记录纸共轭的面S′上时的示意图。
图24B是表示在面S′上的各激光束的光点轨迹的平面图。
图25是本实施形态的图象记录装置的简略框图。
图26是用于说明求取当第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向非正交时用于使激光束的光点轨迹为正圆的条件的过程的示意图。
[实施例]
以下，参照附图详细说明第1发明的实施形态。首先，说明将本发明应用于采用TeO2单晶体的ON-[110]型偏转器(AOD)的情况。如图1所示，该AOD由头部斜切的TeO2单晶体10及转换器12构成，该转换器12粘贴在TeO2单晶体的底部，用于产生沿晶体的[110]方向传播并向[1′10]方向偏移的横波超声波。在TeO2单晶体的头部还可以粘贴吸声材料(图中未示出)。
另外，如图1和图2所示，确定使z轴与入射光的传播方向一致、x轴与入射光的偏光方向一致、而y轴由x轴和z轴按右手坐标系决定的xyz坐标系。
另外，如图1所示，假定在TeO2单晶体10内传播的超声波的传播方向即晶体的[110]方向与x轴平行、且作为光轴的[001]方向与z轴一致的状态为初始状态。并且，分别如图2所示确定用于从该初始状态调整AOD的方位的围绕3个轴转动的角度，即布雷格角θB、倾斜角θA、围绕入射光传播方向的轴的转角θZ。
布雷格角θB是AOD在包含入射光传播方向(z轴)和超声波传播方向的平面内的转动、即围绕与由z轴和超声波传播方向形成的平面垂直的B轴的转动。该布雷格角θB，假定当从z轴的正向侧向超声波传播方向的正向转动时，即当对着轴B的正向按右旋方向转动时为正，当超声波传播方向与z轴垂直时，θB＝0。
倾斜角θA是围绕超声波传播方向的轴的转动、即围绕[110]方向的轴A的转动。该倾斜角θA，假定当对着超声波传播方向按右旋方向转动时为正，当晶体的光轴[001]与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面平行时，θA＝0。
围绕入射光传播方向的轴的转角θZ是围绕z轴的转动，假定当对着z轴方向的正向按右旋方向转动时为正，当超声波传播方向与x轴平行时(入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面平行时)，θZ＝0。
对转换器12施加功率为0.25W的高频信号使超声波传播，同时将偏光方向为x轴方向的激光束从z轴方向入射，改变倾斜角θA，并进行调整使布雷格角θB满足布雷格条件，这时的衍射效率特性示于图3，改变围绕入射光传播方向的轴的转角θZ，调整倾斜角θA，使得在各围绕入射光传播方向的轴的转角θZ下衍射效率达到最大，并进行调整使布雷格角θB满足布雷格条件，这时的中心频率76、80、84MHz的衍射效率特性示于图4。此外，这时的围绕入射光传播方向的轴的转角θZ与倾斜角θA的关系示于图5。
另外，当相对于同一转角θZ而调整倾斜角θA时，由本发明者等对所得到的2种特性进行了确认，上述图4的衍射效率的频率特性有时是平坦的(衍射效率与频率无关大致保持一定)，但作为参考在图6中示出衍射效率的频率特性形状呈峰值状(衍射效率在中心频率处高，在周围较低)的情况。
从图3可以看出，与象以往那样只调整布雷格角θB时(θB≈4°，θZ＝θA＝0°)的衍射效率(在80MHz下约为58％)相比，由于对布雷格角θB和倾斜角θA两个角度都进行调整，所以衍射效率提高。特别是，在θA≈±9°时，衍射效率η达到η≈95％。而在θA≈±6°～±9°时，衍射效率η为η≈80～95％，在θA ≈±4°～±9°时，衍射效率η为η≈70～95％。如使衍射效率η比以往的衍射效率高大约10％，则只须使倾斜角θA在大约3°以上即可。
另外，从图4可以看出，与象以往那样进行调整时相比，由于在调整布雷格角θB的同时，还在正或负的方向上调整围绕入射光传播方向的轴的转角θZ及倾斜角θA，所以衍射效率提高。特别是，在θZ≈±(70°～75°)、θA≈±(9°～10°)时，衍射效率η达到η≈95％。而在θZ≈±(45°～90°)、θA≈±(7°～10°)时，衍射效率η为η≈80～95％，在θZ≈±(30°～90°)、θA≈±(5°～10°)时，衍射效率η为η ≈ 70～95％。
以上是布雷格角θB为正的情况，当布雷格角θB为负(θB≈-4°)时也同样，如归纳衍射效率达到峰值(约95％)的情况则如以下的表1所示。
[表1]
    θB     θZ     θA 衍射效率η(％)
    ≈+4°     ≈+(70～75)     ≈+(9～10) ≈95
    ≈+4°     ≈-(70～75)     ≈-(9～10) ≈95
    ≈-4°     ≈+(70～75)     ≈-(9～10) ≈95
    ≈-4°     ≈-(70～75)     ≈+(9～10) ≈95
此外，还在图7示出将围绕入射光传播方向的轴的转角θZ固定为从图4得到的衍射效率达到峰值的角度、例如θZ＝70°并改变倾斜角θA时的衍射效率特性。
从图7可以看出，即使是在将围绕入射光传播方向的轴的转角θZ固定并只改变倾斜角θA的情况下，在将倾斜角θA调节到θA≈1.5°以上时仍能使衍射效率比以往提高，衍射效率，当θA≈9°时约为95％，当θA≈4.5°以上时约为80～95％，当θA≈3°以上时约为70～95％。
因此，在调整围绕入射光传播方向的轴的转角θZ及倾斜角θA的情况下，当从获得最大衍射效率的状态将围绕入射光传播方向的轴的转角θZ固定而改变倾斜角θA时，如倾斜角θA在大约1.5°以上，则与以往相比可以使衍射效率提高，当倾斜角θA在大约3°以上时，可得到约为70～95％的衍射效率，而当倾斜角θA在大约4.5°以上时，可得到约为80～95％的衍射效率。
以上所述是中心频率的结果，但即使在规定的频带上与以往相比也能使衍射效率得到提高。在图8中，示出表1的衍射效率达到峰值的条件之一的θZ＝70°、且θA＝9°的衍射效率频率特性、使围绕入射光传播方向的轴的转角θZ为90°(θA＝9°)的衍射效率频率特性、及以往的衍射效率频率特性(θZ＝θA＝0°)。在本实施形态中，在规定的频带上衍射效率与以往相比得到提高。
按照以上方式，由于在配置成能够利用各向异性布雷格衍射的同时，将各向异性晶体的光轴配置成与包含入射光传播方向及超声波传播方向的面不平行，所以能提高衍射效率。
即，由于在配置成能够利用各向异性布雷格衍射的同时，将各向异性晶体的光轴配置成与包含入射光传播方向及超声波传播方向的面不平行而使入射光的偏光面与包含入射光传播方向及超声波传播方向的面平行、或将各向异性晶体的光轴配置成与包含入射光传播方向及超声波传播方向的面不平行并使入射光的偏光面与包含入射光传播方向及超声波传播方向的面不平行，所以能提高衍射效率。
另外，在上述中，说明了作为声光媒体采用TeO2单晶体的例子，但本发明也可以使用PbMoO4等其他的单轴晶体或二轴晶体。此外，在上述中，对AOD进行了说明，但本发明对AOM也能适用。
下面，参照附图说明在光束扫描装置中利用了上述AOD的圆筒内表面扫描型图象记录装置的实施形态。该圆筒内表面扫描型图象记录装置备有：激光束发生装置，用于发生按规定方向排列的多条激光束；多个偏转器，配置在各激光束的光路中，用于将激光束向与激光束排列方向正交的方向偏转；及相对于圆筒中心轴倾斜的反射面；并且，在结构上还包括：扫描装置，通过以圆筒中心轴为中心转动，沿圆筒内表面进行
扫描；及光学***，用于将由偏转器偏转后的多条激光束入射到扫描装置的反射面上。
如图9所示，本实施形态的图象记录装置备有发生激光束L的激光束发生器14、将由激光束发生器14发生的激光束分割成按规定方向排列的3条激光束L1、L2、L3的激光分离器16。在激光束L1的射出侧，配置着将激光束L1向与激光束的排列方向正交的方向即图9的y轴方向(在记录纸上与激光束的排列方向正交的方向)偏转、同时，按照图象信息对激光束进行强度调制(通断调制)的AOD18x，在激光束L2的射出侧，配置着不对激光束L2进行偏转并按照图象信息对激光束进行通断调制的AOD20，在激光束L3的射出侧，配置着与AOD18x同样将激光束L3向y轴偏转、同时按照图象信息对激光束进行通断调制的AOD22x。
AOD18x、20、22x，如上所述，将各向异性晶体的光轴配置成与包含入射光传播方向及超声波传播方向的面不平行。另外，在本实施形态中，最好调整为θB≈4°、θZ≈70°、θA≈9°，也可使θZ≈0°而对θB和θA进行调整。
在AOD18x、20、22x的激光束射出侧，配置着将各激光束向x轴的负向反射的反射镜24、26、28，在反射镜的激光反射侧，配置着对由这些反射镜反射的激光束进行聚光的聚光透镜30、具有对轴倾斜45°的反射面并以轴为中心由电机34带动旋转的圆柱状旋转镜32。此外，记录纸S被保持在展开后图示的圆筒状记录筒36的内表面上，将旋转镜32配置成与记录筒36的中心轴一致。
在上述图象记录装置中，如果从由激光束记录的点在记录纸S上沿x轴方向排列的状态(图9的状态)起将旋转镜32转动90°，则如图13A所示，随着旋转镜32的转动，点的排列转动90°。即，点的排列随旋转镜32的转动而转动，由不入射到旋转镜32的反射面中心的激光束L1、L3记录的点为简谐振动，因而由激光束L1、L3记录的点的轨迹R1、R3为正弦波形状。在这种情况下，由激光束L1记录的点的轨迹与由激光束L3记录的点的轨迹的相位相差180°。激光束L2，由于入射到旋转镜32的反射面的中心，所以由激光束L2记录的点不是简谐振动，由激光束L2记录的点的轨迹R2为直线。在本实施形态中，为了对该点的排列的转动进行校正以使各扫描线平行，设置着图10所示的控制装置。
如图10所示，控制装置38与各AOD的转换器连接。控制装置38备有：控制电路40，根据来自安装在电机34上的图中未示出的旋转编码器的与电机转动同步的转动位置信号P、及在主扫描开始位置输出的主扫描开始信号LSYNC，生成基本时钟信号及控制时钟信号；余弦波电压信号生成电路42a，按照基本时钟信号生成余弦波电压信号(x＝-a·cosωt，其中，a为常数，ω为由基本时钟信号决定的电机角速度，t为经过时间)；余弦波电压信号生成电路42c，按照基本时钟信号生成其相位与上述相差180°的余弦波电压信号(x＝a·cosωt)；及恒压信号生成电路42b，用于生成恒压信号。
电压信号生成电路42a、42b、42c，连接于从电压信号生成频率调制信号的电压控制振荡器(VCO)44a、44b、44c。
另外，生成二值图象信号的二值图象信号生成电路48A与控制电路40连接，从VCO44a、44b、44c输出的频率调制信号由调制器46a、46b、46c按照来自二值图象信号生成电路48A的二值图象信号进行通断调制，在由放大电路50a、50b、50c放大后，输入到各AOD的转换器。
如上所述，通过将由余弦波电压信号(x＝-a·cosωt、a·cosωt)调制后的电压信号施加到AOD18x、22x的转换器，可将通过AOD18x、22x的激光束从图9的状态(图13A的0°位置)向y轴方向偏转。这时，在记录纸S上，通过AOD18x后的激光束的点由于向与点的排列方向正交的方向移动而向x轴的正向移动，通过AOD22x后的激光束的点由于向与点的排列方向正交的方向、且与通过AOD18x后的激光束的点相反的方向移动而向x轴的负向移动，通过这种偏转，可以将正弦波形状的简谐振动抵消并使扫描线变成如图13B所示的平行的直线。
但是，由于各激光束的轨迹长度不同，所以，当如本实施例的形态那样在-90°～90°的范围内扫描时，如图13B所示，在1行的扫描开始端侧，由激光束L3记录的点的轨迹R3，与由激光束L1、L2记录的点的轨迹R1、R2分别相差Td1、Td2，在1行的扫描结束端侧，分别相差Td3、Td2。因此，由于各轨迹按由激光束L1记录的点的轨迹R1、激光束L2记录的点的轨迹R2，激光束L3记录的点的轨迹R3的顺序变短，其扫描长度就变得不同了。在本实施形态中，为了对这种扫描长度的差异进行校正，在控制电路40内设有在图11中示出的控制时钟信号生成电路52。
控制时钟信号生成电路52包括：PLL电路54，用于从上述转动位置信号P生成相位同步信号；基本时钟信号生成电路56，根据上述主扫描开始信号LSYNC及PLL电路54的输出生成基本时钟信号B；计数器58A，用于对基本时钟信号进行计数；查找表60，根据计数器58A的计数值输出用于设定延迟量的延迟量设定信号；及延迟电路62a、62b、62c，根据延迟设定信号使来自基本时钟信号生成电路56的基本时钟信号延迟，并作为控制时钟信号CL1、CL2、CL3输出。该控制时钟信号CL1、CL2、CL3被供给到上述二值图象信号生成电路48A。
用于对图13B所示的偏差值进行校正并将由激光束记录的点在记录纸上按x轴方向排列用的延迟量，随主扫描位置而不同。因此，查找表60的延迟量，对每条激光束按主扫描方向的扫描位置、即基本时钟信号的每个脉冲预先确定。
以下，说明上述实施形态的图象记录装置的动作。来自安设在电机34上的图中未示出的旋转编码器的转动位置信号P输入到PLL电路54，被进行相位控制，并生成相位同步信号。相位同步信号输入到基本时钟信号生成电路56，按照主扫描开始信号LSYNC的发生时序输出图12所示的基本时钟信号B。基本输出信号由计数器58A进行计数，同时被输入到延迟电路62a、62b、62c。
由计数器58A计数后的基本时钟信号的计数值，供给查找表60。查找表60按照计数值、即按照记录纸的主扫描方向的记录位置根据对每条激光束L1、L2、L3预定的延迟量将延迟量设定信号输入到各延迟电路62a、62b、62c。延迟电路62a、62b、62c根据所输入的延迟量设定信号将基本时钟信号作为控制时钟信号CL1、CL2、CL3输出。
控制时钟信号CL1是控制由激光束L1记录的二值图象信号的输出定时的信号，延迟电路62a根据延迟量设定信号，如图12所示，将由激光束L1记录的二值图象信号的图象记录开始时间从基本时钟信号的发生时刻、即主扫描开始信号LSYNC的发生时刻起仅延迟Td1，并且输出使记录结束时间与基本时钟信号的主扫描结束时刻(第m个时钟脉冲)一致的控制时钟信号CL1。
控制时钟信号CL2是控制由激光束L2记录的二值图象信号的输出定时的信号，延迟电路62b根据延迟量设定信号，如图12所示，将由激光束L2记录的二值图象信号的图象记录开始时间从主扫描开始信号LSYNC的发生时刻起仅延迟Td2，并且输出使记录结束时间从基本时钟信号的主扫描结束时刻起仅延迟Td2的控制时钟信号CL2。
控制时钟信号CL3是控制由激光束L3记录的二值图象信号的输出定时的信号，延迟电路62c根据延迟量设定信号，如图12所示，使由激光束L3记录的二值图象信号的图象记录开始时间与主扫描开始信号LSYNC的发生时刻相同，并且输出使记录结束时间从基本时钟信号的主扫描结束时刻起仅延迟Td3的控制时钟信号CL3。
另外，查找表的延迟量按照各主扫描位置设定，尽可能使各控制时钟信号的脉冲间隔为等间隔。而如果相邻的扫描线间的延迟位置重叠，则在网点的周期之间将有可能发生差拍而使图象变得不均匀，所以查找表的延迟量在各扫描线之间最好是随机地设定。
按如上所述方式输出的控制时钟信号CL1、CL2、CL3被供给到二值图象信号生成电路48A，二值图象信号生成电路48A按照图12所示的时序将二值图象信号输出到各调制器46a、46b、46c。
另一方面，电压信号生成电路42a、42b根据所输入的基本时钟信号生成余弦波电压信号(x＝-a·cosωt、a·cosωt)，并将频率调制信号通过VCO44a、44c输入到调制器46a、46c，恒压信号生成电路42b将频率调制信号通过VCO44b输入到调制器46b。因此，从电压信号生成电路42a、42b、42c输出的频率调制信号，在调制器46a、46b、46c中由从二值图象信号生成电路48A来的二值图象信号进行通断调制，在由放大电路50a、50b、50c放大后，输入到各AOD的转换器。
由激光束发生器14发生并由光束分离器16分割后的激光束L1、L2、L3，由AOD18x、22x向y轴方向偏转，同时按照二值图象信号进行通断调制，由反射镜24、28反射后通过聚光透镜30入射到旋转镜32。此外，激光束L2不由AOD20偏转，而是按照二值图象信号进行通断调制，由反射镜26反射后通过聚光透镜30入射到旋转镜32。
旋转镜32以x轴为中心旋转，所以通过反射使激光束在记录纸上进行扫描。在这种情况下，由二值图象信号进行了通断调制的激光束L1、L2，与激光束L3在同一记录范围内(图13C)在记录纸上记录图象。因此，能记录到主扫描方向的记录范围相同且无畸变的高精度图象。
按照如上所述的本实施形态，由于将AOD配置成使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行，所以能提供使衍射效率提高的低成本的圆筒内表面扫描型图象记录装置。
另外，在上述中说明了将本发明应用于圆筒内表面扫描型图象记录装置的实施形态，但本发明对一面在副扫描方向上输送记录纸一面使激光束在主扫描方向进行扫描而进行记录的平面扫描型图象记录装置、或将记录纸保持在记录筒外表面并一面使记录筒转动一面使激光束在主扫描方向进行扫描而进行记录的圆筒外表面扫描型图象记录装置的光束扫描装置也能适用。此外，本发明对使激光束扫描而进行读取的各种读取装置也能适用。
如上所述，由于将声光元件配置成使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行，所以不必增大各向异性晶体并使用直线偏振光，即可提供使衍射效率进一步提高的低成本声光元件。
另外，由于利用按如上所述方式配置的声光元件，所以能提供使衍射效率进一步提高的低成本的光束扫描装置及图象记录装置。
下面，说明在为了对入射光进行二维偏转而以如上所述的声光偏转元件作为第1声光偏转元件并进一步将第1声光偏转元件与第2发明的第2声光偏转元件组合的情况下(本发明的光偏转器)采用与第1声光偏转元件结构相同的偏转元件(ON-[110]型TeO2偏转元件)作为第2声光偏转元件时的例子。以下将第1声光偏转元件称为第1AOD，将第2声光偏转元件称为第2AOD。
如图14所示，将第2AOD配置成使从第1AOD射出的衍射光入射。对第2AOD确定由与对第2AOD的入射光传播方向一致的z′轴、与对第2AOD的入射光偏光方向(在图14中为了方便示出使对第2声光偏转元件的入射光偏光方向与对第1声光偏转元件的入射光偏光方向相差90°)一致的x′轴、由x′轴和z′轴按右手坐标系决定的y′轴构成的x′y′z′坐标系。此外，将使超声波的传播方向即晶体的[110]轴方向与x′轴一致、且使作为光轴的[001]轴方向与z′轴一致的状态作为第2AOD的初始状态(参照图1)。
并且，为了区别与第2AOD对应的方位角，假定与第1AOD对应的布雷格角为θB1、倾斜角为θA1、围绕入射光传播方向的轴的转角为θZ1，同时与对应于第1AOD的布雷格角θB1、倾斜角θA1、围绕入射光传播方向的轴的转角θZ1一样，作为从上述初始状态调整第2AOD用的围绕3个轴转动的角度，分别定义为：表示第2AOD在由对第2AOD的入射光传播方向(z′轴)和超声波传播方向形成的面内的转动(围绕与由z′轴和超声波传播方向形成的面垂直的轴B′的转动)的布雷格角θB′2；表示围绕超声波传播方向的轴、即围绕[110]轴方向的轴A′的转动的倾斜角θA′2；表示围绕对第2AOD的入射光传播方向即z′轴的转动的围绕入射光传播方向的轴的转角θZ2′。
与第2AOD对应的x′y′z′坐标系由从第1AOD射出的衍射光的偏光方向(及射出方向)决定，所以，当确定第2AOD的方位时，从第1AOD射出的衍射光的偏光方向及偏光状态(直线偏振光或椭圆偏振光)成为主要问题。在图15中，示出当使围绕AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ改变时从AOD射出的衍射光的长轴偏光方向θdi(这里，以入射光的偏光方向为基准(＝0°))的变化，在图16中，示出当使围绕AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ改变时衍射光的偏光分量的长轴和短轴的比率变化。
从图15和图16所示的关系可以看出，如果调整围绕第1AOD及第2AOD的入射光传播方向的轴的转角和倾斜角，使其满足例如以下条件，则第1AOD和第2AOD的偏转方向正交，而且能得到高的衍射效率。
第1AOD：θZ1≈+80°、θA1≈+10°
第2AOD：θZ2≈-10°(：θZ′2≈-80°)、θA′2≈+10°
而θZ2是从xyz坐标系观察围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ＇2时的角度(假定对第1AOD的入射光偏光方向为0°时的角度)。参照图17A～图17E说明上述条件。
图17A～图17E是用于说明根据上述条件调整第1AOD及第2AOD的方位时的图。为了方便而将垂直于图17A～图17E的纸面的方向看作入射及衍射光的传播方向，并从下起按图17A～图17E的顺序分别示意地在图17A示出对第1AOD的入射光的偏光方向、在图17B示出第1AOD的方位、在图17C示出从第1AOD射出的衍射光的偏光方向、在图17D示出第2AOD的方位、在图17E示出从第2AOD射出的衍射光的偏光方向。
如图17A所示，如假定对第1AOD的入射光的偏光方向为图17A～图17E的上下方向，则与第1AOD对应的xyz坐标系按如图17A所示确定。由于从上列条件可知围绕第1AOD的入射光传播方向的轴转动的角度为θZ1≈+80°，所以，如图17B所示，将第1AOD围绕入射光传播方向的轴转动+80°后配置。在图17B中，空心箭头表示超声波的传播方向。与围绕第1AOD的入射光传播方向的轴转动的角度θZ1≈+80°对应的最佳倾斜角θA1，从图5可知为θA1≈+10°。从图4也可以清楚看出，由于将第1AOD调整到上述方位角，所以第1AOD的衍射效率可达到接近峰值的高值。
当将第1AOD调整到上述方位角时，从第1AOD射出的衍射光的(长轴的)偏光方向，由图15可知为θdi1≈+70°(参照图17C)，从图16也可以清楚看出，该衍射光基本上可以看作是直线偏振光。并且，以该衍射光的偏光方向为基准，如图17C所示确定与第2AOD对应的x′y′z′坐标系。
为了由第1AOD及第2AOD对入射光进行二维偏转，必须使第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向交叉(最好是正交)。当使第2AOD的偏转方向相对于第1AOD的偏转方向正交时，从xyz坐标系观察的围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ2为θZ2＝θZ1-90°＝-10°。由于从第1AOD射出的衍射光的偏光方向θdi1为θdi1＝+70°，因此以该偏光方向为基准时的(从x′y′z′坐标系观察的)围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ′2为θZ′2＝θZ2-θdi1≈-80°。
另外，与围绕第2AOD的入射光传播方向的轴转动的角度θZ′2≈-80°对应的最佳倾斜角θA′2，从图5可知为θA′2≈-10°。从图4也可以清楚看出，由于将第2AOD调整到上述方位角，所以与从第1AOD射出的衍射光对应的第2AOD的衍射效率达到接近峰值的高值。并且，从图15也可以清楚看出，当以对第2AOD的入射光的偏光方向为基准时从第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi′2为θdi′2＝-70°，所以从xyz坐标系观察的从第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi2为θdi2＝θdi1+θdi′2 ≈-0°，并与对第1AOD的入射光的偏光方向基本一致。
将第1AOD及第2AOD串联配置时的第1AOD及第2AOD的总和的衍射效率频率特性示于图18。在图18中，作为θZ1＝+80°示出的曲线，是将第1AOD及第2AOD按在前面说明过的条件配置时的频率特性，将其与以往配置方法的衍射效率频率特性进行比较后可以清地看出，在规定频带内的任何频率上都比以往有大幅度的提高。
在上述中举例说明了配置成θZ1＝+80°的情况，但为使第1AOD及第2AOD的衍射效率都得到提高，也不限定于上述条件。例如当配置成θZ1＝-80°时，也存在获得与上述条件同等的衍射效率的条件，而当取θB＜0时，也存在着获得与上述条件同等的衍射效率的条件。此外，也不限定于|θZ1|＝+80°，例如也可以配置成|θZ1|＝+70°、或|θZ1|＝+85°。
另外，在图18中，作为θZ1＝+90°示出的曲线，是将围绕第1AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ1配置成θZ1＝+90°、将围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ2配置成θZ2＝0°的情况，但可按照围绕入射光传播方向的轴的转角θZ1、θZ2(准确地说应为θZ′2)，对第1AOD及第2AOD分别根据图5对倾斜角进行适当的调整，所以即使在这种情况下，衍射效率也比以往提高。
另外，第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向也不一定非正交不可，在第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向交叉的这样的条件下，也可以适当调整第1AOD及第2AOD的方位，使第1AOD的衍射效率及第2AOD的衍射效率大体上分别达到最大。例如当调整第1AOD及第2AOD的围绕入射光传播方向的轴的转角及倾斜角以满足下列条件时，即使是交叉而不是正交，也能使第1AOD的衍射效率及第2AOD的衍射效率大体上分别达到最大，所以作为光偏转器能得到更高的衍射效率。
第1AOD：θZ1≈+70°、θA1≈+10°
第2AOD：θZ2≈-5°(：θZ′2≈-70°)、θA′2≈+10°
参照图19A～图19E说明上述条件。图19是用于说明根据上述条件调整第1AOD及第2AOD方位时的图，为了方便而将垂直于图19A～图19E的纸面的方向看作入射及衍射光的传播方向，并从下起按图19A～图19E的顺序分别示意地在图19A示出对第1AOD的入射光的偏光方向、在图19B示出第1AOD的方位、在图19C示出从第1AOD射出的衍射光的偏光方向、在图19D示出第2AOD的方位、在图19E示出从第2AOD射出的衍射光的偏光方向。
如图19A所示，如假定对第1AOD的入射光的偏光方向为图19的上下方向，则与第1AOD对应的xyz坐标系按如图19A所示确定。由于从上列条件可知围绕第1AOD的入射光传播方向的轴转动的角度为θZ1≈+70°，所以，如图19B所示，将第1AOD围绕入射光传播方向的轴转动+70°后配置。在图19B中，空心箭头表示超声波的传播方向。与围绕第1AOD的入射光传播方向的轴转动的角度θZ1≈+70°对应的最佳倾斜角θA1，从图5可知为θA1≈+10°。从图4也可以清楚看出，由于将第1AOD调整到上述方位角，所以第1AOD的衍射效率大体上达到最大。
当将第1AOD调整到上述方位角时，从第1AOD射出的衍射光的(长轴的)偏光方向，由图15可知为θdi1≈+65°(参照图19C)，从图16也可以清楚看出，该衍射光基本上可以看作是直线偏振光。并且，以该衍射光的偏光方向为基准，如图19C所示确定与第2AOD对应的x′y′z′坐标系。
从图4可以清楚看出，第2AOD相对于从第1AOD射出的衍射光的衍射效率大体上达到最大时从x′y′z′坐标系观察的围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ′2，为θZ′2≈+70°或-70°。为了由第1AOD及第2AOD对入射光进行二维偏转，应使第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向交叉、且交叉角度最好是尽量接近90°的角度，所以取θZ′2≈-70°(参照图19D)。此外，与围绕第2AOD的入射光传播方向的轴转动的角度θZ′2≈-70°对应的最佳倾斜角θA′2，从图5可知为θA′2≈-10°。
由于从第1AOD射出的衍射光的(长轴的)偏光方向θdi1为θdi1≈+65°，所以从xyz坐标系观察的围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ2为θZ2＝θdi1+θZ′2＝-5°，第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向的交叉角度为：交叉角度＝θZ1-θZ2＝75°(参照图19E)。从图4也可以清楚看出，通过将第1AOD及第2AOD调整到上述方位角，可使第1AOD及第2AOD的衍射效率大体上达到最大，所以将第1AOD及第2AOD串联配置的光偏转器的衍射效率也大体上达到最大。
另外，从图15也可以清楚看出，当以对第2AOD的入射光的偏光方向为基准时从第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi′2为θdi′2＝-65°，所以从xyz坐标系观察的从第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi2为θdi2＝θdi1+θdi′2≈-0°，并与对第1AOD的入射光的偏光方向基本一致。
另外，如上所述，即使在光偏转器的第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向不是正交的情况下，如后文所述，如果对第1AOD及第2AOD的至少一个供给频率调制相位错开且振幅经过调整的驱动信号，则仍能沿着相互正交的2个方向对入射到光偏转器的光进行二维偏转。
按照以上方式，即使在将第1AOD和第2AOD串联配置的光偏转器中，在将各AOD配置成能够利用各向异性布雷格衍射的同时，将各AOD的各向异性晶体的光轴分别配置成与包含各AOD的入射光传播方向和各AOD的超声波传播方向的面不平行，所以仍能提高光偏转器的衍射效率。
其次，参照附图说明利用上述光偏转器的圆筒内表面扫描型图象记录装置的实施形态。如图20所示，本实施形态的图象记录装置备有发生激光束L的激光束发生器14、将由激光束发生器14发生的激光束分割成3条激光束L1、L2、L3的激光分离器16。
在激光束L1的射出侧，配置着光偏转器18，该光偏转器18包括：将激光束L1向着与对入射到旋转镜32的激光束(关于旋转镜如后文所述)设定的XYZ坐标系中的X轴方向相当的方向偏转的第1AOD18x、及将由第1AOD18x衍射后的激光束L1向与Y轴方向相当的方向偏转同时按照图象信息对激光束进行强度调制(通断调制)的第2AOD18y。
而在激光束L2的射出侧，配置着不对激光束L2进行偏转而按图象信息对激光束进行通断调制的AOD20，在激光束L3的射出侧配置着光偏转器22，该光偏转器22包括：将激光束L3向与X轴方向相当的方向偏转的第1AOD22x、及将由第1AOD22x衍射后的激光束L3向与Y轴方向相当的方向偏转同时按照图象信息对激光束进行通断调制的第2AOD22y。
如图21所示，光偏转器18的第1AOD18x及第2AOD18y，以调整到各自的方位的状态安装在同一个壳体18A内。此外，在图中虽然省略，但光偏转器22的第1AOD22x及第2AOD22y，也以调整到各自的方位的状态安装在同一个壳体内。因此，通过调整与入射光对应的各光偏转器的壳体的方位，即可完成第1AOD及第2AOD的方位调整，所以使本实施形态的图象记录装置更容易制造。
在本实施形态中，各壳体内的光偏转器18的第1AOD18x及第2AOD18y、光偏转器22的第1AOD22x及第2AOD22y的各自的方位，可以调整到前面说明过的条件、即布雷格角θB为θB≈4°、围绕第1AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ1为θZ1≈+80°、
第1AOD的倾斜角θA1为θA1≈+10°、围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ2为θZ2＝-10°、第2AOD的倾斜角θA′2为θA′2≈-10°。
在光偏转器18、AOD20、及光偏转器22的激光束射出侧，配置将各激光束向x轴的负向反射的反射镜24、26、28，在这些反射镜的反射侧，配置着对从各反射镜反射的激光束进行聚光的聚光透镜30，具有对轴倾斜45°的反射面并以轴为中心由电机34带动旋转的圆柱状旋转镜32。此外，记录纸S被保持在展开后图示的圆筒状记录筒36的内表面上，将旋转镜32配置成与记录筒36的中心轴一致。
在上述图象记录装置中，如果从由激光束记录的点在记录纸S上沿M方向排列的状态(图20的状态)起将旋转镜32转动90°，则如图22A所示，点的排列转动90°。即，点的排列随旋转镜32的转动而转动，由不入射到旋转镜32的反射面中心的激光束L1、L3记录的点为简谐振动，因而由激光束L1、L3记录的点的轨迹R1、R3为正弦波形状。
与此不同，当旋转镜32的反射面为图23A所示方向(反射面的短轴与Y轴一致)时，如果将沿Z轴入射到反射面中心的激光束L0的对旋转镜32的入射方向仅向X轴方向偏移-θx，则由反射面反射的激光束在与X轴正交的平面上的照射位置沿Z轴偏移-Δz。如假定上述与X轴正交的平面是记录纸S，则该激光束照射位置的偏移方向是图20及图22A～图22C所示的M方向(与激光束随旋转镜32转动的扫描方向(θ方向)正交的方向)。
因此，对激光束L1，通过由光偏转器18的第1AOD18x将其向与X轴相当的方向偏转，同时使偏转量按余弦波状变化使之抵消正弦波状的振动，可以使如图22A所示的激光束L1的轨迹成为沿扫描方向的直线。而对激光束L3，通过由光偏转器22的第1AOD22x将其向与X轴相当的方向偏转，同时使偏转量按余弦波状变化使之抵消正弦波状的振动，可以使如图22A所示的激光束L3的轨迹成为沿扫描方向的直线。
因此，可以使由激光束L1、L2、L3形成的3条扫描线互相平行，但由各激光束形成的扫描线端部的位置，如图22B所示，彼此存在偏差。为了将各扫描线端部的位置对齐，还必须使激光束对记录纸S的照射位置向扫描方向(θ方向)偏移。
与此不同，当旋转镜32的反射面为图23B所示方向(反射面的短轴与Y轴一致：与前面说明过的图23A所示方向相同)时，如果将沿Z轴入射到反射面中心的激光束L0的对旋转镜32的入射方向仅向Y轴方向偏移-θy，则由反射面反射的激光束在与X轴正交的平面上的照射位置沿Y轴偏移-θy。如假定上述与X轴正交的平面是记录纸S，则该激光束照射位置的偏移方向是图20及图22A～图22C所示的θ方向(激光束随旋转镜32转动的扫描方向)。
因此，作为例子，如图23C所示，通过使激光束L0的对旋转镜32的入射方向向X轴方向和Y轴方向偏移(在图中仅向X、Y轴偏移θxy)，便可以对激光束的照射位置进行二维偏移。如图24所示，如设旋转镜32的角速度为ω，则当入射到旋转镜32的反射面的激光束L1、L2、L3的光点投射在与记录纸S共轭的面S′上时，在面S′上的L1及L3的光点随着旋转镜32转动的轨迹是用下式表示的圆(参照图24B)。
激光束L1：X＝-a·cosωt，Y＝-a·sinωt…(1)
激光束L3：X＝a·cosωt，Y＝a·sinωt…(2)
因此，通过由光偏转器18的第1AOD18x、第2AOD18y将激光束L1按上列式(1)向与X轴方向相当的方向及与Y轴方向相当的方向偏转、并由光偏转器22的第1AOD22x、第2AOD22y将激光束L1按上列式(2)向与X轴方向相当的方向及与Y轴方向相当的方向偏转，总是能使激光束L1、L2、L3以一定间隔沿Z轴方向(记录纸S上的M方向)排列，并如图22C所示，能使激光束L1、L2、L3相互平行而且能将其端部位置对齐。
根据上述，在本实施形态中，设有在图25中示出的控制装置38。如图25所示，控制装置38与各AOD的转换器连接。控制装置38备有控制电路40。控制电路40与安装在电机34上的图中未示出的旋转编码器连接，并根据从旋转编码器输入的与电机转动同步的转动位置信号P、及主扫描开始信号LSYNC生成时钟信号。
控制电路40连接着余弦波电压信号生成电路42、正弦波电压信号生成电路44、恒压信号生成电路46、余弦波电压信号生成电路48、正弦波电压信号生成电路50。余弦波电压信号生成电路42根据从控制电路40输入的时钟信号生成余弦波电压信号X＝-a·cosωt(其中，a为常数，ω为由时钟信号表示的电机34(旋转镜32)的角速度，t为经过时间)。而正弦波电压信号生成电路44根据从控制电路40输入的时钟信号生成正弦波电压信号Y＝-a·sinωt。
另外，恒压信号生成电路46生成恒定电压的信号。余弦波电压信号生成电路48根据从控制电路40输入的时钟信号生成余弦波电压信号X＝a·cosωt。而正弦波电压信号生成电路50根据从控制电路40输入的时钟信号生成正弦波电压信号Y＝a·sinωt。
上述电压信号生成电路42～50，连接于输出其频率与所输入的信号电压电平对应的高频信号的电压控制振荡器(VCO)52A、52B、52C、52D、52E。因此，从VCO52A输出按照余弦波电压信号X＝-a·cosωt进行频率调制后的高频信号，从VCO52B输出按照正弦波电压信号Y＝-a·sinωt进行频率调制后的高频信号，从VCO52D输出按照余弦波电压信号X＝a·cosωt进行频率调制后的高频信号，从VCO52E输出按照正弦波电压信号Y＝a·sinωt进行频率调制后的高频信号。此外，还从VCO52C输出固定频率的高频信号。
VCO52A的输出端通过放大器56A与光偏转器18的第1AOD18x的转换器连接，VCO52D的输出端通过放大器56D与光偏转器22的第1AOD22x的转换器连接。从VCO52A、52D输出的信号经放大器56A、56D放大后分别输入到第1AOD18x、第1AOD22x的转换器。
另外，VCO52B的输出端通过调制器54A、放大器56B与光偏转器18的第2AOD18y的转换器连接，VCO52C的输出端通过调制器54B、放大器56C与AOD20的转换器连接，VCO52E的输出端通过调制器54C、放大器56E与光偏转器22的第2AOD22y的转换器连接。此外，二值图象信号生成电路58与控制电路40连接，二值图象信号生成电路58的输出端分别连接于调制器54A、54B、54C。
二值图象信号生成电路58按照与从控制电路40输入的时钟信号同步的时序向调制器54A、54B、54C输出二值图象信号。从VCO52B、VCO52C、VCO52E输出的高频信号，由调制器54A、54B、54C按照从二值图象信号生成电路58输入的二值图象信号分别进行通断调制，在由放大电路56B、56C、56E放大后，分别输入到第2AOD18y、AOD20、第2AOD22y的转换器。
以下，说明图象记录装置的动作。由激光束发生器14发生的激光束L由光束分离器16分割成激光束L1、L2、L3。从光束分离器16射出的激光束L2入射到AOD20。由于对AOD20的转换器输入按二值图象信号进行通断调制后的固定频率的高频信号，所以入射到AOD20的激光束L2，不向与X轴方向相当的方向及与Y轴方向相当的方向偏转(衍射)，只按二值图象信号进行通断调制后从AOD20射出，由反射镜26反射，并通过聚光透镜30入射到旋转镜32。
另外，从光束分离器16射出的激光束L1，入射到光偏转器18的第1AOD18x。由于对第1AOD18x的转换器输入按余弦波电压信号X＝-a·cosωt进行频率调制后的高频信号，所以，入射到第1AOD18x的激光束L1向与x轴相当的方向偏转(衍射)，同时其偏转量不时地随X＝-a·cosωt变化，并从第1AOD18x射出，入射到光偏转器18的第2AOD18y。
另外，由于对第2AOD18y的转换器输入按正弦波电压信号Y＝-a·sinωt进行频率调制、同时按二值图象信号进行通断调制后的高频信号，所以，入射到第2AOD18y的激光束L1向与y轴相当的方向偏转，同时其偏转量不时地随Y＝-a·sinωt变化，并进一步按照二值图象信号进行通断调制后从第2AOD18y射出。从第2AOD18y射出的激光束L1由反射镜24反射后，通过聚光透镜30入射到旋转镜32。
另外，从光束分离器16射出的激光束L3入射到光偏转器22的第1AOD22x。由于对第1AOD22x的转换器输入按余弦波电压信号X＝a·cosωt进行频率调制后的高频信号，所以，入射到第1AOD22x的激光束L3向与x轴相当的方向偏转(衍射)，同时其偏转量不时地随X＝a·cosωt变化，并从第1AOD22x射出，入射到光偏转器22的第2AOD22y。
另外，由于对第2AOD22y的转换器输入按正弦波电压信号Y＝a·sinωt进行频率调制、同时按二值图象信号进行通断调制后的高频信号，所以，入射到第2AOD22y的激光束L3向与y轴相当的方向偏转，同时其偏转量不时地随Y＝a·sinωt变化，并进一步按照二值图象信号进行通断调制后从第2AOD22y射出。从第2AOD22y射出的激光束L3由反射镜28反射后，通过聚光透镜30入射到旋转镜32。
由于旋转镜32以z轴为中心转动，所以入射到旋转镜32的3条激光束L1、L2、L3，由旋转镜32的反射面反射，从而对记录纸S进行扫描。激光束L1由光偏转器18按照式(1)向与x轴相当的方向及与y轴相当的方向偏转，激光束L3由光偏转器22按照式(2)向与x轴相当的方向及与y轴相当的方向偏转，所以，如图22C所示，能使由激光束L1、L2、L3在记录纸S上形成的3条扫描线相互平行而且能将其端部位置对齐。因此，能在记录纸S上高精度地记录图象，并使构成图象的各扫描线的主扫描方向的记录范围相同且无畸变。
另外，在本实施形态中，如上所述，由于将光偏转器18的第1AOD18x及第2AOD18y、光偏转器22的第1AOD22x及第2AOD22y的各自的方位调整成使布雷格角θB为θB≈4°、围绕第1AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ1为θZ1≈+80°、第1AOD的倾斜角θA1为θA1≈+10°、围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ2为θZ2＝-10°、第2AOD的倾斜角θA′2为θA′2≈+10°，所以第1AOD及第2AOD的总和的衍射效率与以往相比非常高，能有效地利用从激光束发生器14射出的激光束能量进行图象记录。
在上述中举例说明了将光偏转器18的第1AOD18x及第2AOD18y、光偏转器22的第1AOD22x及第2AOD22y的各自的方位调整成使布雷格角θB为θB≈4°、围绕第1AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ1为θZ1≈+80°、第1AOD的倾斜角θA1为θA1≈+10°、围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ2为θX2＝-10°、第2AOD的倾斜角θA′2为θA′2≈+10°、即，调整到使第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向正交的情况，但为了对入射光进行二维偏转，只要至少使第1AOD的偏转方向与第2AOD的偏转方向交叉即可，例如，也可将第1AOD及第2AOD的方位调整到使布雷格角θB为θB≈4°、围绕第1AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ1为θZ1≈+70°、第1AOD的倾斜角θA1为θA1≈+10°、围绕第2AOD的入射光传播方向的轴的转角θZ2为θZ2＝-5°、第2AOD的倾斜角θA′2为θA′2≈+10°。因此，能使第1AOD的衍射效率及第2AOD的衍射效率大体上分别达到最大，第1AOD及第2AOD的总和的衍射效率也大体上达到最大。
但是，在这种情况下，第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向的至少一方在对入射到旋转镜32的入射光设定的XYZ坐标系中要从与X轴方向相当的方向或与Y轴方向相当的方向偏离，所以如果以与第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向正交的情况同样的方式对第1AOD和第2AOD进行驱动，则存在如下问题，即当入射到旋转镜32的反射面的激光束L1、L2、L3的光点投射在与记录纸S共轭的面S′上时(参照图24A)，在面S′上的激光束L1及L3的光点轨迹就不是用式(1)和式(2)表示的正圆而是椭圆了。
与此不同，如果改变输入到第1AOD和第2AOD的转换器的高频信号的频率调制相位和振幅(改变输入到VCO52的余弦波电压信号和正弦波电压信号的相位和振幅)并改变第1AOD和第2AOD的激光束偏转量，则可以使激光束L1及L3的光点轨迹成为用式(1)和式(2)表示的正圆。
以下，求取在使第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向非正交的情况下用于使光点的轨迹成为正圆的第1AOD和第2AOD的偏转量。
作为例子，如图26所示，假定用单位矢量i0、j0表示使第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向正交时的各AOD的偏转方向，用单位矢量i、j表示使第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向非正交时(这时的交叉角为θ)的各AOD的偏转方向。如用正交着的单位矢量i0、j0及非正交的单位矢量i、j表示任意位置的矢量，则x＝a0·i0+b0·j0…(3)
x＝a·i+b·j…(4)
系数a0、b0与系数a、b的关系为
a＝a0-cotθ·b0…(5) b = 1 sin θ · b 0 . . . . . ( 6 )
以下，将矢量x看作激光束的光点位置，并求取用于使光点轨迹(矢量x的轨迹)成为正圆的条件。如采用单位矢量i0、j0表示光点的轨迹(正圆)，则式(3)的系数a0、b0为时间函数，并表示如下。
a0(t)＝cos(ωt+φ)…(7)
b0(t)＝sin(ωt+φ)…(8)
式中，φ表示t＝0时的相位，并假定t＝0(假定光点位置与矢量i0一致时为t＝0)时φ＝0。此外，在式(7)和式(8)中，假定光点沿着从单位矢量i0向单位矢量j0的方向(图26中的顺时针方向)旋转。接着，如通过将式(7)和式(8)代入式(5)和式(6)求取用单位矢量i0、j0表示光点轨迹(正圆)时的式(4)的系数a、b，则可得下式。 a ( t ) = 1 cos ( tan - 1 ( cot θ ) ) · cos ( ωt + φ + tan - 1 ( cot θ ) ) . . . . ( 9 ) b ( t ) = 1 sin θ · sin ( ωt + φ ) . . . . . ( 10 )
这里，如定义非正交角θC为θC＝π/2-θ，则因cotθ＝tanθC，所以式(9)和式(10)变为 a ( t ) = 1 cos θ · cos ( ωt + φ + θ C ) . . . . . . . ( 11 ) b ( t ) = 1 cos θ · sin ( ωt + φ ) . . . . . ( 12 )
因此，即使是第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向非正交(θ≠90°)时，也可以使第1AOD的偏转量和第2AOD的偏转量按式(11)和式(12)所示变化，即，与第1AOD的偏转方向和第2AOD的偏转方向正交时相比，第1AOD和第2AOD的偏转量分别增大1/cosθ倍，而且，一个AOD的偏转量变化相位与另一个AOD的偏转量变化相位仅相差θC，所以，如果改变输入到第1AOD和第2AOD的高频信号的频率调制相位和振幅，则能够使激光束的光点轨迹成为正圆。
另外，在上述中说明了使用TeO2单晶体的例，但也可以使用PbMoO4等其他的单轴晶体或二轴晶体。
另外，在上述中举例说明了本发明的作为光束扫描装置的图象记录装置，但并不限于此，也可以应用于使光束在被照射体上扫描并检测使被照射体反射或透射的光束的光量以读取记录在被照射体上的图象的图象读取装置等其他光束扫描装置。
如上所述，由于将第1声光偏转元件配置成使第1声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第1声光偏转元件的入射光传播方向和在第1声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行，同时将第2声光偏转元件配置成使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏光方向交叉，并使第2声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第2声光偏转元件的入射光传播方向和在第2声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行，所以能在宽的频带上以高的衍射效率对入射光进行二维偏转，并能获得低成本的光偏转器。
另外，利用上述光偏转器能得到使衍射效率提高的低成本的光束扫描装置及图象记录装置。

Claims (24)

1.一种声光元件，它利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体内传播的光波之间发生的各向异性布雷格衍射，该声光元件的特征在于：配置成使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行。
2.一种声光元件，它利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体内传播的光波之间发生的各向异性布雷格衍射，该声光元件的特征在于：配置成满足使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行并使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面平行的条件、及使各向异性晶体的光轴与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行并使入射光的偏光面与包含入射光传播方向和超声波传播方向的面不平行的条件中的任何1个条件。
3.一种声光元件，确定以入射光的传播方向为z轴、以入射光的偏光方向为x轴的xyz坐标系，将在各向异性晶体内传播的超声波传播方向与x轴平行、且各向异性晶体的光轴与z轴一致的状态作为初始状态，从初始状态起围绕与包含z轴和超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度，并利用在各向异性晶体中传播的超声波和在各向异性晶体中传播的光波之间产生的布雷格衍射，该声光元件的特征还在于：围绕与超声波传播方向同向的轴转动配置。
4.根据权利要求3所述的声光元件，其特征在于：使上述围绕与超声波传播方向同向的轴转动的角度为大约3°以上。
5.根据权利要求3所述的声光元件，其特征在于：还围绕z轴转动配置。
6.根据权利要求5所述的声光元件，其特征在于：使围绕与包含上述z轴和超声波传播方向的面垂直的轴转动的规定角度为布雷格角、使围绕与上述超声波传播方向同向的轴转动的角度为大约3°以上、使围绕上述z轴转动的角度为约30°～90°。
7.根据权利要求1所述的声光元件，其特征在于：上述各向异性晶体为单轴晶体。
8.根据权利要求1所述的声光元件，其特征在于：上述各向异性晶体为TeO2。
9.根据权利要求1所述的声光元件，其特征在于：上述声光元件是声光偏转元件。
10.一种光束扫描装置，其特征在于：备有权利要求1的声光元件。
11.一种图象记录装置，其特征在于备有：激光束发生器，用于发生多条激光束；多个权利要求1的声光元件，配置在各激光束的光路中，并用于将激光束变更；及相对于圆筒中心轴倾斜的反射面，还备有：扫描装置，通过以圆筒中心轴为中心转动，沿圆筒内表面进行扫描；光学***，用于将由上述声光元件偏转后的多条激光束入射到上述反射面；及控制装置，生成用于使沿上述圆筒内表面形成的各激光束的扫描线平行而且在上述扫描装置的同一扫描角范围内使各激光束的扫描长度相等的超声波，并使生成的超声波在上述声光元件内传播。
12.一种光偏转器，它备有利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体内传播的光波之间产生的布雷格衍射的第1及第2声光偏转元件，由上述第1声光偏转元件偏转后的光入射到上述第2声光偏转元件，该光偏转器的特征在于：将第1声光偏转元件配置成使第1声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第1声光偏转元件的入射光传播方向和上述各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行；将第2声光偏转元件配置成使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏光方向交叉，并使第2声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第2声光偏转元件的入射光传播方向和上述各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行。
13.一种光偏转器，它备有利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体内传播的光波之间产生的布雷格衍射的第1及第2声光偏转元件，由上述第1声光偏转元件偏转后的光入射到上述第2声光偏转元件，该光偏转器的特征在于：
将第1声光偏转元件配置成满足使第1声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第1声光偏转元件的入射光传播方向和上述各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行而使上述入射光的偏光面与包含上述入射光传播方向和上述超声波传播方向的面平行的条件、及使上述各向异性晶体的光轴与包含上述入射光传播方向和上述超声波传播方向的面不平行并使上述入射光的偏光面与包含上述入射光传播方向和上述超声波传播方向的面不平行的条件中的任何1个条件；
将第2声光偏转元件配置成使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏光方向交叉，并满足使第2声光偏转元件的各向异性晶体的光轴与包含入射到第2声光偏转元件的入射光传播方向和上述各向异性晶体内的超声波传播方向的面不平行而使上述入射光的偏光面与包含上述入射光传播方向和上述超声波传播方向的面平行的条件、及第二声光偏转元件的偏转方向与第一声光偏转元件的偏转方向交叉，而且使上述各向异性晶体的光轴与包含上述入射光传播方向和上述超声波传播方向的面不平行并使上述入射光的偏光面与包含上述入射光传播方向和上述超声波传播方向的面不平行的条件中的任何1个条件。
14.一种光偏转器，它备有利用在各向异性晶体内传播的超声波和在各向异性晶体内传播的光波之间产生的布雷格衍射的第1及第2声光偏转元件，由上述第1声光偏转元件偏转后的光入射到上述第2声光偏转元件，该光偏转器的特征在于：上述第1声光偏转元件的配置方式是，在确定了以对第1声光偏转元件的入射光传播方向为z轴、以上述入射光的偏光方向为x轴的xyz坐标系后，将第1声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向与x轴平行、且上述各向异性晶体的光轴与z轴一致的状态作为第1声光偏转元件的初始状态，并从该初始状态起，围绕与上述超声波传播方向同向的轴转动，同时围绕与包含z轴及上述超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度；第2声光偏转元件的配置方式是，使第2声光偏转元件的偏转方向与第1声光偏转元件的偏光方向交叉，并在确定了以对第2声光偏转元件的入射光传播方向为z′轴、以上述入射光的偏光方向为x′轴的x′y′z′坐标系后，将第2声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向与x′轴平行、且上述各向异性晶体的光轴与z′轴一致的状态作为第2声光偏转元件的初始状态，并从该初始状态起，围绕与上述超声波传播方向同向的轴转动，同时围绕与包含z′轴及上述超声波传播方向的面垂直的轴转动规定角度。
15.根据权利要求14所述的光偏转器，其特征在于：上述第1声光偏转元件，围绕与第1声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向同向的轴转动的角度为大约3°以上；上述第2声光偏转元件，围绕与第2声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向同向的轴转动的角度为大约3°以上；
16.根据权利要求14所述的光偏转器，其特征在于：上述第1声光偏转元件还围绕上述z轴转动配置；上述第2声光偏转元件还围绕上述z′轴转动配置。
17.根据权利要求16所述的光偏转器，其特征在于：使与上述第1声光偏转元件对应的围绕与包含上述z轴和第1声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向的面垂直的轴转动的角度为布雷格角、使围绕与上述超声波传播方向同向的轴转动的角度为大约3°以上、使围绕上述z轴转动的角度为约30°～90°；使与上述第2声光偏转元件对应的围绕与包含上述z′轴和第2声光偏转元件的各向异性晶体内的超声波传播方向的面垂直的轴转动的角度为布雷格角、使围绕与上述超声波传播方向同向的轴转动的角度为大约3°以上、使围绕上述z′轴转动的角度为约30°～90°。
18.根据权利要求17所述的光偏转器，其特征在于：使上述第1声光偏转元件围绕上述z轴转动的角度为约70°～75°；使上述第2声光偏转元件围绕上述z′轴转动的角度为约70°～75°。
19.根据权利要求12所述的光偏转器，其特征在于：将第1及第2声光偏转元件配置成使第1声光偏转元件的偏转方向与第2声光偏转元件的偏转方向正交。
20.根据权利要求12所述的光偏转器，其特征在于：上述各向异性晶体为单轴晶体。
21.根据权利要求12所述的光偏转器，其特征在于：上述各向异性晶体为TeO2。
22.根据权利要求12所述的光偏转器，其特征在于：上述第1及第2声光偏转元件分别安装在单独的壳体内。
23.一种光束扫描装置，其特征在于：备有权利要求12的光偏转器。
24.一种图象记录装置，其特征在于备有：激光束发生器，用于发生多条激光束；多个权利要求12的声光元件，配置在各激光束的光路中，并用于将激光束变更；及相对于圆筒中心轴倾斜的反射面，还备有：扫描装置，通过以圆筒中心轴为中心转动，沿圆筒内表面进行扫描；光学***，用于将由上述声光元件偏转后的多条激光束入射到上述反射面；及控制装置，生成用于使沿上述圆筒内表面形成的各激光束的扫描线平行而且在上述扫描装置的同一扫描角范围内使各激光束的扫描长度相等的超声波，并使生成的超声波在上述声光元件内传播。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103576319A (zh) * 2012-08-06 2014-02-12 株式会社理光 光偏转器、光源设备、图像投影装置和显示装置
CN104115061A (zh) * 2012-01-05 2014-10-22 菲托尼克斯公司 利用扫描仪***沿着连续扫描轨迹扫描的方法
CN105068280A (zh) * 2015-07-17 2015-11-18 林哲帅 一种氟代硼铍酸钾族晶体材料的用途及声光器件
CN108693893A (zh) * 2017-04-07 2018-10-23 中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司 用于x射线单晶衍射仪的卡帕测角仪的防碰撞控制方法
CN110430415A (zh) * 2019-03-26 2019-11-08 华为技术有限公司 一种物体深度信息的确定方法、电子设备和电路***

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7041111B2 (en) * 2002-08-02 2006-05-09 Boston Scientific Scimed, Inc. Placing sutures
US6825868B2 (en) * 2002-12-12 2004-11-30 Fujifilm Electronic Imaging Limited Radiation image data recording method employing a rotating reflector and multiple radiation beams
US7048739B2 (en) * 2002-12-31 2006-05-23 Depuy Spine, Inc. Bone plate and resilient screw system allowing bi-directional assembly
JP2006189504A (ja) * 2004-12-28 2006-07-20 Fuji Photo Film Co Ltd インナードラム式マルチビーム露光方法及びインナードラム露光装置
TWI523720B (zh) * 2009-05-28 2016-03-01 伊雷克托科學工業股份有限公司 應用於雷射處理工件中的特徵的聲光偏轉器及相關雷射處理方法
RU2453878C1 (ru) * 2011-03-21 2012-06-20 Владимир Яковлевич Молчанов Акустооптическая дисперсионная линия задержки
JP6239421B2 (ja) * 2014-03-27 2017-11-29 住友重機械工業株式会社 レーザ加工装置
WO2023146631A1 (en) * 2022-01-28 2023-08-03 Electro Scientific Industries, Inc. Germanium aod system with parallel and perpendicular orientations

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS571809B2 (zh) * 1974-12-09 1982-01-13
CS200657B1 (en) * 1978-04-01 1980-09-15 Cestmir Barta Acoustic-optical unit
CS213959B1 (cs) * 1980-03-18 1982-04-09 Cestmir Barta Akustooptioký filtr
JPS58111020A (ja) * 1981-12-23 1983-07-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 二次元光偏向器
JPH01149029A (ja) * 1987-12-07 1989-06-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 音響光学素子
JP3667816B2 (ja) * 1994-09-07 2005-07-06 富士写真フイルム株式会社 円筒内面走査型画像記録装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104115061A (zh) * 2012-01-05 2014-10-22 菲托尼克斯公司 利用扫描仪***沿着连续扫描轨迹扫描的方法
CN104115061B (zh) * 2012-01-05 2017-04-26 菲托尼克斯公司 利用扫描仪***沿着连续扫描轨迹扫描的方法
CN103576319A (zh) * 2012-08-06 2014-02-12 株式会社理光 光偏转器、光源设备、图像投影装置和显示装置
CN103576319B (zh) * 2012-08-06 2016-02-10 株式会社理光 光偏转器、光源设备、图像投影装置和显示装置
CN105068280A (zh) * 2015-07-17 2015-11-18 林哲帅 一种氟代硼铍酸钾族晶体材料的用途及声光器件
CN105068280B (zh) * 2015-07-17 2019-05-24 中国科学院理化技术研究所 一种氟代硼铍酸钾族晶体材料的用途及声光器件
CN108693893A (zh) * 2017-04-07 2018-10-23 中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司 用于x射线单晶衍射仪的卡帕测角仪的防碰撞控制方法
CN108693893B (zh) * 2017-04-07 2021-01-12 中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司 用于x射线单晶衍射仪的卡帕测角仪的防碰撞控制方法
CN110430415A (zh) * 2019-03-26 2019-11-08 华为技术有限公司 一种物体深度信息的确定方法、电子设备和电路***

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