CN118016588A - 用于刻蚀中的多功能机械手 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于刻蚀中的多功能机械手，包括：上臂；罩壳，设置在上臂下侧的一端、与上臂之间形成冷却腔室，所述罩壳底部设置与冷却腔室连通的进气口，所述罩壳侧部设置与冷却腔室连通的排气口；转轴，旋转密封连接于上臂，所述转轴的两端分别连接扇叶和转盘，所述扇叶隐藏在冷却腔室内，所述转盘位于上臂上侧，所述转轴与所述进气口偏心布置；感应件，设置在上臂上，用于感应晶圆上的缺口；刹车件，用于刹停或释放所述转轴；本申请使用同一气源实现晶圆转运过程中寻边和冷却，集寻边、冷却于一体，简化机械手结构，降低机械手厚度。

Description

用于刻蚀中的多功能机械手

技术领域

本发明涉及晶圆刻蚀工艺技术领域，尤其是一种用于刻蚀中的多功能机械手。

背景技术

目前工艺中通常是通过光学激光传感器来进行寻边。即将晶圆放于样品台上，假设此时激光被晶圆挡住。此时晶圆开始旋转，当转至缺口位置时，红色激光器发出的激光可通过切槽达到激光收集器中，再通过计算便可获知晶圆上缺口的位置信息。

目前的机械手只具备晶圆转运功能，不具备晶圆寻边和冷却功能，需多增加寻边腔室及冷却腔室，工艺设计成本和调试成本较高，多种功能叠加在机械手上又会导致机械手结构复杂化，增加用料成本。

发明内容

针对现有技术中存在的不足，本发明提供一种用于刻蚀中的多功能机械手，使用同一气源实现晶圆转运过程中寻边和冷却，在设计成本、调试成本、用料成本上均有下降。本发明采用的技术方案是：

一种用于刻蚀中的多功能机械手，包括：上臂；罩壳，设置在上臂下侧的一端、与上臂之间形成冷却腔室，所述罩壳底部设置与冷却腔室连通的进气口，所述罩壳侧部设置与冷却腔室连通的排气口；转轴，旋转密封连接于上臂，所述转轴的两端分别连接扇叶和转盘，所述扇叶隐藏在冷却腔室内，所述转盘位于上臂上侧，所述转轴与所述进气口偏心布置；感应件，设置在上臂上，用于感应晶圆上的缺口；以及刹车件，用于刹停或释放所述转轴。

进一步地，所述上臂上设置有缺口感应孔，晶圆的缺口在旋转时经过所述感应件的感应元件与所述缺口感应孔之间的连线。

进一步地，所述缺口感应孔贯穿于所述上臂，所述上臂的上侧和/或下侧设置有感应件。

进一步地，所述刹车件包括：刹车座，设置在罩壳内侧壁上，所述刹车座向转轴延伸设置有展臂；刹车盘，转动连接于所述刹车座，所述刹车盘一侧面设置刹车片；其中，所述展臂侧面设置有第一电磁元件，所述刹车盘侧面设置有第二电磁元件，所述第一电磁元件与所述第二电磁元件能够互相靠近或互相远离，以使得所述刹车片能够抵接所述转轴或释放所述转轴。

进一步地，所述刹车座上设置有弧形的腰孔，所述刹车盘上设置有销轴，所述销轴滑动连接于腰孔。

进一步地，还包括：进气管路，其一端连通于进气口，其另一端用于连接制冷***；排气管路，其一端连通于排气口，其另一端用于连接制冷***。

进一步地，所述进气管路和/或所述排气管路上设置有控制阀。

进一步地，所述进气管路和/或所述排气管路上设置有分支管路，所述分支管路的末端连接有喷头，所述喷头对准所述晶圆中心。

进一步地，所述分支管路上设置有控制阀。

进一步地，所述上臂上设置有温度传感器，所述温度传感器对准晶圆背面；和/或，所述上臂上设置有摄像头，所述摄像头的镜头对准晶圆正面。

本发明的优点：

通过设置罩壳、转轴、扇叶，使气态冷媒吹动扇叶旋转，从而带动转盘转动，气态冷媒将晶圆冷却的同时还作为转盘转动的动力源，省略驱动转轴的驱动件的布置，减小机械手的厚度，节约用料成本和维护成本；

通过设置感应件与刹车件，感应件感应到晶圆缺口时，刹车件动作将转轴刹停，实现晶圆边转运边寻边，节省寻边腔室的布置，大大提高晶圆工艺效率；

通过设置分支管路，利用同一气源完成晶圆表面的吹扫工作，增效降本；

通过设置摄像头对晶圆寻边过程录像，监控寻边过程，通过设置温度传感器监测晶圆背面的温度。

附图说明

图1为本发明第一视角结构图。

图2为本发明第二视角结构图。

图3为本发明的纵向剖视图。

图4为本发明刹车件与转轴的装配俯视示意图。

图5为本发明第三视角结构图。

图6为本发明第四视角结构图。

图中：1-上臂，1a-缺口感应孔，1b-台阶，1c-密封轴承，1d-滑槽，1e-第一调节孔，2-罩壳，2a-进气口，2b-排气口，2c-环状凸起，3-转轴，4-扇叶，5-转盘，5a-防滑垫圈，6-感应件，7-刹车座，7a-展臂，7b-腰孔，7c-凸台，7d-定位孔，8-刹车盘，8a-刹车片，8b-销轴，9-第一电磁元件，10-第二电磁元件，11-进气管路，11a-第一进气管接头，11b-第二进气管接头， 12-排气管路，12a-第一排气管接头，12b-第二排气管接头，13-控制阀，14-分支管路，14a-U形夹，15-喷头，16-温度传感器，16a-第二调节孔，17-支座，18-外壳，18a-摇臂，18b-防护板，19-支架，19a-第一调节槽，19b-第二调节槽。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅附图1-图3，本发明提供一种用于刻蚀中的多功能机械手，包括：上臂1；罩壳2，设置在上臂1下侧的一端、与上臂1之间形成冷却腔室，所述罩壳2底部设置与冷却腔室连通的进气口2a，所述罩壳2侧部设置与冷却腔室连通的排气口2b；转轴3，旋转密封连接于上臂1，所述转轴3的两端分别连接扇叶4和转盘5，所述扇叶4隐藏在冷却腔室内，所述转盘5位于上臂1上侧，所述转轴3与所述进气口2a偏心布置；感应件6，设置在上臂1上，用于感应晶圆上的缺口；刹车件，用于刹停或释放所述转轴3；控制***，用于控制机械手中的各电气元件的工作状态。

一实施方式中，如附图1，上臂1为条形板状结构，其一端配置为半圆形，与转盘5的形状对应，其另一端用于连接机械手主体，实现机械手在各个工艺腔室之间运转；转盘5的直径不超过上臂1的宽度，保护转盘5不受磕碰；控制***选用PLC即可。

进一步地，为了让晶圆放置在转盘5上时晶圆表面不高于上臂1的上表面，在上臂1的一端下沉布置一个台阶1b，转盘5位于上臂1的台阶1b处；更进一步地，为了使得台阶1b适配晶圆的形状，台阶1b侧壁呈圆弧形。

通过设置冷却腔室，使得气体冷媒能够从进气口2a进入冷却腔室内，吹向扇叶4并使其转动，气体冷媒从排气口2b排出冷却腔室实现气体冷媒的持续流动，一方面气体冷媒通过上臂1、转盘5与晶圆表面发生热交换从而实现晶圆冷却，另一方面通过扇叶4带动转轴3、转盘5转动实现晶圆转动，省去驱动件、传动件的布置，机械手的整体厚度下降、结构简化，用料成本和维护成本大幅下降；当晶圆转动至感应件6感应到晶圆缺口时，刹车件将转轴3刹停，晶圆也即停止转动，达到晶圆寻边的目的，从而省略寻边腔室和冷却腔室的布置，设计成本大幅下降。

感应件6感应晶圆缺口的方式如附图1和图2所示，所述上臂1上设置有缺口感应孔1a，晶圆的缺口在旋转时经过所述感应件6的感应元件与所述缺口感应孔1a之间的连线。

具体地，在晶圆转动过程中，当晶圆将缺口感应孔1a与感应件6隔开时，感应件6的感应元件无法匹配缺口感应孔1a，此时感应件6将未检测到缺口的信号传递至控制***，转盘5继续转动，直至晶圆缺口转动到所述感应件6的感应元件与所述缺口感应孔1a之间的连线上，感应件6的感应元件与缺口感应孔1a匹配，此时感应件6将检测到晶圆缺口的信号传递至控制***，进气口2a不再进气，刹车件刹停转轴3，转盘5随之停止转动，表示晶圆已完成寻边操作。

一实施方式中，所述缺口感应孔1a贯穿于所述上臂1，所述上臂1的一侧上设置有感应件6。

一具体实施例中，缺口感应孔1a垂直于上臂1表面，感应件6为激光传感器，激光传感器位于上臂1的上表面；当晶圆转动过程中将缺口感应孔1a与感应件6隔开时，激光发射器向下发射的激光通过晶圆的反射被激光接收器接收，激光接收器接收到反射光信号的时间短，故激光传感器向控制***传递未检测到晶圆缺口的信号；当晶圆缺口转动到所述感应件6的感应元件与所述缺口感应孔1a之间的连线上时，激光发射器发射的激光向下穿过晶圆缺口、缺口感应孔1a直至遇到遮挡物，激光发射器发射的激光通过遮挡物的反射被激光接收器接收，激光接收器接收到反射光信号的时间长，故激光传感器向控制***传递检测到晶圆缺口的信号。

一实施方式中，所述缺口感应孔1a贯穿于所述上臂1，所述上臂1的另一侧上设置有感应件6。

一具体实施例中，缺口感应孔1a垂直于上臂1表面，感应件6为激光传感器，激光传感器位于上臂1的下表面；当晶圆转动过程中将缺口感应孔1a与感应件6隔开时，激光发射器向上发射的激光通过晶圆的反射被激光接收器接收，激光接收器接收到反射光信号的时间短，故激光传感器向控制***传递未检测到晶圆缺口的信号；当晶圆缺口转动到所述感应件6的感应元件与所述缺口感应孔1a之间的连线上时，激光发射器发射的激光向上穿过晶圆缺口、缺口感应孔1a直至遇到遮挡物，激光发射器发射的激光通过遮挡物的反射被激光接收器接收，激光接收器接收到反射光信号的时间长，故激光传感器向控制***传递检测到晶圆缺口的信号。

一实施方式中，所述缺口感应孔1a贯穿于所述上臂1，所述上臂1的两侧上分别设置有感应件6。

一具体实施例中，缺口感应孔1a垂直于上臂1表面，感应件6为激光传感器，两个所述激光传感器分布在上臂1的上下两个表面，两个所述激光传感器同时发射激光，同时接收激光，使缺口感应更加准确，并且在其中一个感应件6发生损坏时，另一感应件6还能够正常工作，减少停机维护的次数。

在其他实施例中，感应件6为红外线传感器、超声波传感器等其他测距传感器。

一实施方式中，如附图3和图4所示，所述刹车件包括：刹车座7，设置在罩壳2内侧壁上，所述刹车座7向转轴3延伸设置有展臂7a；刹车盘8，转动连接于所述刹车座7，所述刹车盘8一侧面设置刹车片8a；其中，所述展臂7a侧面设置有第一电磁元件9，所述刹车盘8侧面设置有第二电磁元件10，所述第一电磁元件9与所述第二电磁元件10能够互相靠近或互相远离，以使得所述刹车片8a能够抵接所述转轴3或释放所述转轴3。

通过设置展臂7a，使第一电磁元件9与第二电磁元件10在更靠近转轴3的位置产生相互作用力，在磁吸力的作用下刹车片8a将转轴3更加抱死，满足转盘5的急停需求。

一些实施例中，刹车片8a为硬质橡胶制品或硬质塑料制品。

第一电磁元件9和第二电磁元件10均为电磁铁。

晶圆寻边过程中，通入第一电磁元件9和第二电磁元件10的电流方向相反，此时第一电磁元件9与第二电磁元件10相互排斥，刹车盘8在排斥力的作用下远离所述转轴3，所述转轴3被释放且能够自由转动，此时通入冷却腔室内的气态冷媒带动扇叶4转动，从而实现转轴3、转盘5、晶圆的同步转动；寻边定位时，感应件6感应到晶圆缺口，通入第一电磁元件9和第二电磁元件10的电流方向相同，此时第一电磁元件9与第二电磁元件10相互吸引，刹车盘8在吸引力的作用下靠近所述转轴3，刹车片8a抵接并抱死转轴3，从而实现转轴3、转盘5、晶圆同时停止转动。

一具体实施例中，晶圆寻边过程中，第一电磁元件9通入正向电流、第二电磁元件10通入反向电流；寻边定位时，第一电磁元件9和第二电磁元件10分别通入正向电流。

另一实施例中，晶圆寻边过程中，第一电磁元件9通入正向电流、第二电磁元件10通入反向电流；寻边定位时，第一电磁元件9和第二电磁元件10分别通入反向电流。

再一具体实施例中，晶圆寻边过程中，第一电磁元件9通入反向电流、第二电磁元件10通入正向电流；寻边定位时，第一电磁元件9和第二电磁元件10分别通入反向电流。

又一实施例中，晶圆寻边过程中，第一电磁元件9通入反向电流、第二电磁元件10通入正向电流；寻边定位时，第一电磁元件9和第二电磁元件10分别通入正向电流。

进一步地，为了避免转轴3受刹车片8a的侧向压力导致转轴3弯曲变形，刹车盘8和刹车片8a的数量设置为两个，相对于转轴3镜像对称；每个刹车盘8和展臂7a之间均设置有第一电磁元件9和第二电磁元件10。

如附图3所示，为了让转轴3转动过程更稳定的同时保证冷却腔室的密闭效果，上臂1与转轴3连接处设置密封轴承1c。为了能够支撑转轴3的端部、进一步避免转轴3变形或偏心，罩壳2底面向上凸出设置有环状凸起2c，环状凸起2c内侧配置轴套，将转轴3下端伸入轴套内，实现对转轴3下端的限制。

需要说明的是，由于晶圆寻边过程中晶圆与转盘5之间依靠静摩擦力相互固定，所以导致晶圆寻边过程中晶圆的转速不能过快。因此，只需要转轴缓慢转动即可，通过调整气态冷媒的流动速度即可改变扇叶4的转速，继而加快或减慢转轴3的转速。

一实施方式中，如附图4所示，刹车座7与刹车盘8之间的转动连接关系具体为：所述刹车座7上设置有弧形的腰孔7b，所述刹车盘8上设置有销轴8b，所述销轴8b滑动连接于腰孔7b。

当第一电磁元件9与第二电磁元件10相互排斥时，刹车盘8在排斥力的作用下远离转轴3，带动销轴8b从腰孔7b的一端滑动到腰孔7b的另一端，由于腰孔7b的长度限制，刹车盘8的转角受限，从而防止因第一电磁元件9和第二电磁元件10距离过大造成的磁吸力不足的问题，同时通过限制刹车盘8的转角防止其撞击罩壳2的内壁；当第一电磁元件9与第二电磁元件10相互吸引时，刹车盘8在吸引力的作用下靠近转轴3，带动销轴8b从腰孔7b的另一端向腰孔7b的一端滑动，直至刹车片8a抱死转轴3。

应当说明的是，在转轴3刹停时，销轴8b不必需接触腰孔7b的一端，第一电磁元件9也不必需接触第二电磁元件10；因为刹车片8a本身具有厚度，随着刹车片8a的反复使用出现磨损。然而，当首次使用时销轴8b或两电磁元件就移动至极限位置，那么当刹车片8a轻微磨损就会出现转轴3无法抱死的情况。

此外，刹车座7的两侧向外延伸设置有凸台7c，凸台7c上贯穿设置有定位孔7d；通过将螺钉等紧固件穿过定位孔7d固定在罩壳2内壁上，能够实现刹车座7的固定安装。

为了提高罩壳2与上臂1之间的密封性，还可以在罩壳2与上臂1之间的接触面设置密封圈。

一实施方式中，请参阅附图5和图6，上臂1的下侧设置有进气管路11和排气管路12，进气管路11一端连通于进气口2a，其另一端用于连接制冷***；排气管路12一端连通于排气口2b，其另一端用于连接制冷***；具体地，进气管路11和排气管路12分别沿着上臂1延伸；通过布置进气管路11和排气管路12实现气态冷媒在上臂1下侧的输送，不增加机械手的宽度和厚度，管路布局简单化，方便维护。

一具体实施例中，进气管路11与进气口2a连接处设置第一进气管接头11a，排气管路12与排气口2b连接处设置第一排气管接头12a。

一具体实施例中，进气管路11延伸至上臂1远离转盘5的一端并安装第二进气管接头11b，排气管路12延伸至上臂1远离转盘5的一端并安装第二排气管接头12b。

进一步地，为了更准确控制冷却腔室内的进排气，如附图5-图6所示，所述进气管路11和/或所述排气管路12上设置有控制阀13；控制阀13选用电磁阀或手阀。

一具体实施例中，控制阀13位于进气管路11上；当控制阀13打开时，气态冷媒从进气管路11、进气口2a进入冷却腔室，从排气口2b排出冷却腔室，并经过排气管路12重新回到制冷***，完成制冷循环；当控制阀13关闭时，气态冷媒无法进入冷却腔室，冷却停止。

另一具体实施例中，控制阀13位于排气管路12上；当控制阀打开时，气态冷媒从进气管路11、进气口2a进入冷却腔室，从排气口2b排出冷却腔室，并经过排气管路12重新回到制冷***，完成制冷循环；当控制阀13关闭时，气态冷媒无法排出排气管路12，冷却停止。

再一具体实施例中，进气管路11和排气管路12上均设置有控制阀13；通过选择性打开其中一路上的控制阀13，根据各管路上气压的监测，能够判断管路漏气情况，从而判断传送故障或冷却故障。

一实施方式中，如附图5-图6所示，所述进气管路11和/或所述排气管路12上设置有分支管路14，所述分支管路14的末端连接有喷头15，所述喷头15对准所述晶圆中心；利用同一气态冷媒对晶圆表面进行吹扫，极大地提高冷媒的利用率，整个机械手只需要一套制冷***配合使用即可。

一具体实施例中，分支管路14连接于进气管路11；气态冷媒进入冷却腔室之前即从分支管路14向喷头15流动，通过喷头15喷射在晶圆中心，对晶圆表面进行吹扫，同时避免吹偏晶圆。

另一具体实施例中，分支管路14连接于排气管路12；气态冷媒从冷却腔室出来后部分从分支管路14向喷头15流动，通过喷头15喷射在晶圆中心，对晶圆表面进行吹扫，同时避免吹偏晶圆。

再一具体实施例中，进气管路11与排气管路12分别分出一分支管路14；气态冷媒分两部分吹扫晶圆表面，提高吹扫效果。

需要说明的是，分支管路14从上臂1的侧面向上延伸，无需在上臂1表面开孔。

进一步地，为了单独控制晶圆表面的吹扫功能，所述分支管路14上设置有控制阀13。

进一步地，在上臂1上安装U形夹14a，通过调整喷头在U形夹14a上下位置调整吹扫方向，利用U形夹两侧的螺母紧固喷头15完成喷头15的位置固定。

一实施方式中，如附图1所示，所述上臂1上设置有摄像头，所述摄像头的镜头对准晶圆正面。

利用摄像头记录机械手拿取晶圆并将晶圆送入反应腔室这一过程中晶圆的情况，当晶圆发生损坏时能够通过摄像头记录的影响了解晶圆损坏的原因，从而快速解决问题。

进一步地，为了能够调节摄像头的位置，更准确的记录摄像的角度，上臂1上滑动设置有支座17，支座17上转动连接有外壳18，所述摄像头隐藏在所述外壳18内。

一具体实施例中，上臂1上沿其长度方向设置有滑槽1d，滑槽1d竖向贯穿于上臂1，支座17滑动连接于滑槽1d。更具体地，支座17通过螺栓螺母组件与滑槽1d滑动连接，当螺母拧松时，移动支座17使得螺栓沿着滑槽1d滑动，使支座17靠近或远离转盘5，从而调节摄像头与晶圆之间的距离，然后拧紧螺母，在螺栓螺母夹紧力的作用下实现支座17位置的固定，继而摄像头的位置也得到固定。滑槽1d的数量和螺栓螺母组件的数量不做限制。

另一具体实施例中，支座17通过滑轨与上臂1滑动连接，上臂1上沿其长度方向间隔设置若干销孔，支座17上设置对应的销孔和销钉，当支座17滑动到所需位置时将销钉***对应的销孔内实现支座17位置的固定。

外壳18用于保护摄像头，防止摄像头被碰撞。

一具体实施例中，外壳18的闭口端设置有摇臂18a，摇臂18a通过螺栓螺母组件与支座17转动连接。

为了进一步保护摄像头且不影响正常摄像，外壳18的开口端安装带孔的防护板18b；更进一步地，防护板18b的孔内还可以安装石英片。

一实施方式中，如附图1、图2、图5和图6所示，所述上臂1上设置有温度传感器16，所述温度传感器16对准晶圆背面。

通过设置温度传感器16来监测晶圆背面的温度，更清楚的了解晶圆的冷却效果。温度传感器具体为红外线传感器。

进一步地，上臂1的侧面安装有L形的支架19，温度传感器16设置在支架19上；通过增加支架19增加温度传感器16与上臂1之间的间隙，避免温度传感器16无法对准晶圆背面的问题。

一具体实施例中，上臂1的侧面设置有第一调节孔1e，支架19侧面设置有条形的第一调节槽19a，可以通过设置紧固件使其穿过第一调节槽19a固定在第一调节孔1e内将调整好位置的支架19固定，从而实现温度传感器16在上臂1高度方向上位置的调整。

一具体实施例中，支架19的表面设置有弧形的第二调节槽19b，所述温度传感器16表面设置第二调节孔16a，可以通过设置紧固件使其穿过第二调节槽19b固定在第二调节孔16a内将调整好角度的温度传感器16固定，从而实现温度传感器16在上臂1水平面角度的调整。

一实施方式中，如附图1所示，转盘5表面凹陷设置有防滑垫圈5a，防滑垫圈5a的表面与转盘5的表面对齐；通过设置防滑垫圈5a增加与晶圆表面的摩擦力，提高晶圆转动时的稳定性。

综上，本申请集晶圆转运、寻边、冷却于一体，集成度高，冷却介质与转动的动力源来源相同，介质利用率高，机械手结构布局简单，方便维护，机械手设计成本、用料成本、维护成本有所下降。

最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照实例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，包括：

上臂（1）；

罩壳（2），设置在上臂（1）下侧的一端、与上臂（1）之间形成冷却腔室，所述罩壳（2）底部设置与冷却腔室连通的进气口（2a），所述罩壳（2）侧部设置与冷却腔室连通的排气口（2b）；

转轴（3），旋转密封连接于上臂（1），所述转轴（3）的两端分别连接扇叶（4）和转盘（5），所述扇叶（4）隐藏在冷却腔室内，所述转盘（5）位于上臂（1）上侧，所述转轴（3）与所述进气口（2a）偏心布置；

感应件（6），设置在上臂（1）上，用于感应晶圆上的缺口；以及

刹车件，用于刹停或释放所述转轴（3）。

2.根据权利要求1所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述上臂（1）上设置有缺口感应孔（1a），晶圆的缺口在旋转时经过所述感应件（6）的感应元件与所述缺口感应孔（1a）之间的连线。

3.根据权利要求2所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述缺口感应孔（1a）贯穿于所述上臂（1），所述上臂（1）的上侧和/或下侧设置有感应件（6）。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，所述刹车件包括：

刹车座（7），设置在罩壳（2）内侧壁上，所述刹车座（7）向转轴（3）延伸设置有展臂（7a）；

刹车盘（8），转动连接于所述刹车座（7），所述刹车盘（8）一侧面设置刹车片（8a）；

其中，所述展臂（7a）侧面设置有第一电磁元件（9），所述刹车盘（8）侧面设置有第二电磁元件（10），所述第一电磁元件（9）与所述第二电磁元件（10）能够互相靠近或互相远离，以使得所述刹车片（8a）能够抵接所述转轴（3）或释放所述转轴（3）。

5.根据权利要求4所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述刹车座（7）上设置有弧形的腰孔（7b），所述刹车盘（8）上设置有销轴（8b），所述销轴（8b）滑动连接于腰孔（7b）。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，还包括：

进气管路（11），其一端连通于进气口（2a），其另一端用于连接制冷***；

排气管路（12），其一端连通于排气口（2b），其另一端用于连接制冷***。

7.根据权利要求6所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述进气管路（11）和/或所述排气管路（12）上设置有控制阀（13）。

8.根据权利要求6所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述进气管路（11）和/或所述排气管路（12）上设置有分支管路（14），所述分支管路（14）的末端连接有喷头（15），所述喷头（15）对准所述晶圆中心。

9.根据权利要求8所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述分支管路（14）上设置有控制阀（13）。

10.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述上臂（1）上设置有温度传感器（16），所述温度传感器（16）对准晶圆背面；和/或，所述上臂（1）上设置有摄像头，所述摄像头的镜头对准晶圆正面。