CN117858800A - 树脂片成型用脱模薄膜 - Google Patents

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Abstract

[课题]提供：能提供高平滑且兼具良好的滑动性的树脂片而实质上在树脂片内部不添加颗粒的树脂片成型用脱模薄膜。特别是涉及电子部件、光学用途中使用的树脂片成型用的脱模薄膜。[解决方案]一种树脂片成型用脱模薄膜，其在基材薄膜的至少单面直接层叠有脱模层或借助其他层层叠有脱模层，前述脱模层的表面的偏度Ssk为1以下。

Description

树脂片成型用脱模薄膜
技术领域
本发明涉及树脂片成型用的脱模薄膜。特别是涉及电子部件、光学用途中使用的树脂片成型用的脱模薄膜。
以往，将聚酯薄膜作为基材的脱模薄膜的耐热性、机械特性高，逐渐作为粘合片、保护薄膜、高分子电解质膜、电介质树脂片等树脂片的溶液制膜时使用的工序薄膜使用。近年来，对于电子部件、光学用途中使用的树脂片要求高的平滑性、透明性，因此，对于作为工序薄膜使用的脱模薄膜的表面也逐渐要求高的平滑性。因此，公开了专利文献1～3中记载的技术，提出了降低脱模层的表面的表面粗糙度的方案。
然而，例如光学用途中，为了提高透明性等而要求高的平滑性，而平滑性如果高则滑动性恶化，有输送工序等中引入刮痕、成品率降低的担心。另外，电子部件用途中，为了改善电气特性而要求平滑性，而平滑性如果过高则滑动性差，将树脂片卷取在辊上时会发生卷绕错位、褶皱的混入等，无法完美地卷绕，有电子部件的性能下降的担心。
为了改善这些，专利文献4～6中提出了：在树脂片内添加特定的颗粒，使其具有滑动性的方案。另外，专利文献7中提出了：通过在树脂片上设置易滑层，从而使其具有滑动性的方案。专利文献8中提出了：在表面贴合具有恒定的Ra(算术平均粗糙度)、Sm(凹凸的平均间隔)的保护薄膜从而进行改良的方案。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-144021号公报
专利文献2：日本特开2014-154273号公报
专利文献3：日本特开2015-182261号公报
专利文献4：日本特开2019-095661号公报
专利文献5：日本特开平7-138471号公报
专利文献6：日本特开2016-053177号公报
专利文献7：日本特开2006-123465号公报
专利文献8：日本特开2004-130736号公报
专利文献9：日本特开2012-061712号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，专利文献4～7的方法中，得到的树脂片内包含颗粒，因此，有内部雾度升高等透明性变得不充分的情况、颗粒聚集而区域表面最大突起高度Sp变大、会给树脂片造成损伤的担心。专利文献8的方法中，使具有凹凸面形状的构件密合到树脂片，将凹凸转印到树脂片，但转印的树脂片需要进行软化，因此，树脂片的树脂种类、工序条件会受到限定。另外，施加压力而进行了密合，因此，会对树脂片造成损伤。专利文献9的方法中，转印后的凹凸的Ra过大，因此，薄膜的树脂片的情况下，有给树脂片造成损伤的可能性。
本发明解决上述课题，提出了：可以提供高平滑且兼具良好的滑动性的树脂片而实质上在树脂片内部不添加颗粒的树脂片成型用脱模薄膜。
因此，本发明人等发现：根据通过树脂相分离设置微细的凹凸、且凹部的比例变得大于凸部的比例而不是对脱模薄膜添加颗粒的本申请发明，效率良好地将凸部转印至树脂片，即使为小的区域表面粗糙度Sa也可以有效地对树脂片赋予滑动性。
另外，本发明提供：除上述效果之外、区域表面最大突起高度Sp也小、也无颗粒的脱落、因此不对树脂片造成损伤、良好地提供稳定的滑动性的树脂片成型用脱模薄膜。
用于解决问题的方案
本发明人等进行了深入研究，结果发现：在平滑的基材薄膜上，优选在特定的条件下涂覆至少包含特定的树脂的涂液并干燥·固化，从而将源自相分离结构的凹凸在层叠薄膜表面成形，成功地具有良好的滑动性而无需含有颗粒等等。
即，本发明包含以下的构成。
[1]一种树脂片成型用脱模薄膜，其在基材薄膜的至少单面直接层叠有脱模层或借助其他层层叠有脱模层，前述脱模层的表面的偏度Ssk为1以下。
[2]一方式中，脱模层的表面的区域表面最大突起高度Sp为500nm以下、区域表面粗糙度Sa为2nm以上且200nm以下。
[3]一方式中，负载面积率10％下的突出突起部的体积：Vm(10)与负载面积率80％下的突出谷部的体积：Vv(80)的比率：Vm(10)/Vv(80)满足以下的关系式：
0<Vm(10)/Vv(80)≤1.5。
[4]一方式中，脱模层实质上不含有颗粒。
[5]一方式中，脱模层是使组合物固化而成的层，所述组合物至少包含：在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂(I)、与前述树脂(I)相分离而形成海岛结构的树脂(II)和脱模成分(III)。
[6]一方式中，本发明提供能层叠于上述树脂片成型用脱模薄膜的(层叠的)树脂片，该树脂片的脱模层侧的面具有转印有前述脱模薄膜的脱模面形状的形状。
发明的效果
本发明的树脂片成型用脱模薄膜可以提供：能提供高平滑且兼具良好的滑动性的树脂片的脱模薄膜。
具体实施方式
以下，对本发明详细地进行说明。
本发明涉及一种树脂片成型用脱模薄膜，其在基材薄膜的至少单面直接层叠有脱模层或借助其他层层叠有脱模层，前述脱模层的表面的偏度Ssk为1以下。
本申请发明优选通过使树脂相分离从而形成微细的凹凸，因此，可以得到不同于基于一直以来进行的树脂添加的表面形成的效果。例如，在脱模层内实质上不含颗粒，因此，可以抑制内部雾度升高等透明性变得不充分的情况。本发明具有优异的透明性，因此，可以容易地进行树脂片制造时的缺陷的确认、脱模薄膜本身的缺陷的确认。
进而，在脱模层内不含有颗粒，因此，可以抑制在颗粒脱模层中发生聚集的情况，可以抑制区域表面最大突起高度Sp变大的情况。其结果，例如可以抑制形成于脱模薄膜上的树脂片的开孔、断裂。
此外，本发明可以在脱模薄膜上形成均匀的凹凸，因此，对于树脂片也可以形成均匀的形状的凹凸面。其结果，可以提供示出稳定的滑动性的树脂片。
认为本发明优选在特定的条件下形成脱模层从而可以更显著地发挥上述效果。其结果，例如脱模层可以形成凹部的比例大于凸部的比例的脱模层。不应限定于特定的理论来解释，但通过形成凹部的比例大于凸部的比例的脱模层，从而可以效率良好地对树脂片形成凸部，可以对树脂片赋予良好的滑动性。
此处，对于本发明的树脂片，与脱模层相接的表面的表面形状具有转印有本发明的脱模薄膜的脱模面的形状的形状。本发明中为如下方式：不同于现有的转印薄膜，即，不同于将脱模薄膜的凸部按压在树脂片上在树脂片上形成凹部的现有方式，对树脂片效率良好地形成凸部。
更详细地，本发明如下：形成树脂片的组合物流入到脱模层所具有的凹部并固化，从而可以在树脂片表面形成凸部。
另外，如果为本发明的脱模层，则可以从脱模层剥离而不破坏形成于树脂片的凸部的形状。
进而，本发明中，由于不是将脱模薄膜的凸部按压至树脂片的方式，因此，也可以应对树脂片的薄膜化。例如，即使为薄膜的树脂片，也能在具有所需膜厚的同时对树脂片赋予良好的滑动性。不应限定于特定的理论而解释，但将脱模薄膜的凸部按压至树脂片的方式中，将脱模层按压至树脂片时，沿树脂片的厚度方向施加力，因此，如果为极薄的树脂片则有产生针孔等的担心，有在树脂片中产生厚度不均的可能性。
然而，如果为本发明，则可以对树脂片效率良好地形成凸部，因此，均匀地保持对树脂片所要求的膜厚，同时在此基础上可以形成适当的凸部，因此，得到的树脂片的卷取性优异，此外，也可以充分发挥原本所需的特性。因此，本发明例如可以更大地贡献于树脂片的薄膜化。
另外，可以使树脂片的最大谷部深度变浅，得到的树脂片不易破裂。
一方式中，本发明在基材薄膜的至少单面直接具有脱模层或借助其他层具有脱模层，脱模层的表面的区域表面粗糙度(Sa)为2nm以上且200nm以下、最大表面突起高度(Sp)为500nm以下。一方式中，将树脂片成型用脱模薄膜作为优选方式，所述树脂片成型用脱模薄膜的特征在于，前述脱模层是使组合物固化而成的，所述组合物至少包含：在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂(I)、与前述树脂(I)相分离而形成海岛结构的树脂(II)和脱模成分(III)。
(基材薄膜)
本发明中的脱模薄膜具备：基材、和配置于前述基材的表面的脱模层。如果在前述脱模薄膜的脱模层上配置树脂片，则可以将树脂片成形为与基材同样的形状。另外，脱模层与树脂片容易剥离，因此，也可以将树脂片的形状变形、维持为期望的形状。脱模层可以配置于基材的表面的一面，也可以配置于两面。
作为基材，可以使用公知的基材。例如，可以使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚丙烯等聚烯烃、聚酰亚胺等形成的树脂薄膜作为基材。从成本、生产率的观点出发，特别优选聚酯薄膜，进一步优选聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜。
基材的厚度优选10μm以上且188μm以下、进一步优选25μm以上且100μm以下。通过使基材的厚度为10μm以上，从而在基材生产时、加工工序、成型时，利用热可以抑制变形。另一方面，基材的厚度如果为188μm以下，则满足对基材所需的物性，且可以抑制使用后要废弃的基材的量，可以减小对环境负荷的负担。
在基材与脱模层之间，也可以配置用于改善粘接性的易粘接涂布。另外，在基材的与配置脱模层的面为相反的面也可以配置用于赋予易滑性、耐热性、抗静电性等的涂层。
本发明中使用的基材薄膜的层叠脱模层的面的区域表面平均粗糙度(Sa)优选处于1nm以上且50nm以下的范围，更优选2nm以上且30nm以下。本发明中使用的基材薄膜的层叠脱模层的面的区域表面最大突起高度(Sp)优选2μm以下、更优选1.5μm以下。如果Sa为50nm以下、(Sp)为2μm以下，则可以恒定地保持脱模层的厚度不均的抑制和脱模层的表面的平滑性，进而，可以减少树脂片的厚度不均，可以抑制将树脂片从脱模薄膜剥离时以厚度较薄的部分为起点破裂的可能性。
本发明中使用的基材薄膜的与层叠脱模层的面相反的区域表面平均粗糙度(Sa)优选处于10～100nm的范围，更优选2～30nm。本发明中使用的基材薄膜的与层叠脱模层的面相反的区域表面最大突起高度(Sp)优选2μm以下、更优选1.5μm以下。Sa如果为10nm以上，则脱模面与反脱模面的滑动性改善，卷取性优异。另外，(Sp)如果为2μm以下，则减少脱模层一部分被剥离的可能性而进行卷取时对脱模层的表面不造成损伤。进而，可以抑制将树脂片从脱模薄膜剥离时以脱模层被剥离的部分为起点破裂的可能性。
本发明中使用的基材薄膜的雾度优选10％以下、进一步优选5％以下、更进一步优选3％以下。雾度如果为10％以下，则脱模薄膜、在脱模薄膜上加工树脂片时容易进行外观检查。
本发明中的基材薄膜可以使用聚酯薄膜屑、塑料瓶的再生原料。本发明中，可以使用这种薄膜屑、塑料瓶的再生原料，因此，可以大幅减少环境负荷。此外，包含薄膜屑、塑料瓶的再生原料的方式中，也可以改善薄膜的滑动性、保持空气的脱气容易性。本发明的脱模层可以将各种用途中使用的聚酯薄膜适当地回收、处理并再利用。
包含这种再生原料(材料)的情况下，也可以包含基材薄膜的层叠脱模层的面的区域表面平均粗糙度(Sa)成为1～50nm的范围内的尺寸的微粒，另外，也可以包含基材薄膜的层叠脱模层的面的区域表面最大突起高度(Sp)成为2μm以下的尺寸的微粒。
例如，本发明的基材的上述微粒的尺寸可以为(0.001μm以上且10μm)的范围。如果为具有这种范围大小的微粒，则可以满足所述的、基材薄膜的层叠脱模层的面的区域表面平均粗糙度(Sa)、区域表面最大突起高度(Sp)。
一方式中，基材具有实质上不含无机颗粒的表面层，在该表面层上可以层叠有脱模层。
上述聚酯薄膜基材可以为单层，也可以为2层以上的多层。例如，基材薄膜可以为具有实质上不含粒径1.0μm以上的颗粒的表面层A和包含颗粒的表面层B的聚酯薄膜。优选表面层A实质上不含粒径1.0μm以上的无机颗粒。
本方式中，在表面层A也可以存在有粒径低于1.0μm且1nm以上的颗粒。表面层A通过实质上不含粒径1.0μm以上的颗粒、例如无机颗粒，从而可以减少基材中的颗粒形状转印至树脂片而产生不良情况。
一方式中，表面层A也不含有粒径低于1.0μm的颗粒，从而可以更有效地抑制基材中的颗粒形状转印至树脂片而产生不良情况。
一方式中，上述聚酯薄膜基材优选为在至少单面具有实质上不含无机颗粒的表面层A的层叠薄膜。由此，可以进一步有效地抑制基材中的颗粒形状转印至树脂片而产生不良情况。
例如，实质上不含粒径低于1.0μm的颗粒的表面层A优选也实质上不含有粒径1.0μm以上的颗粒的方式。
此处，本发明中，“实质上不含有颗粒”例如是指：低于1.0μm的无机颗粒的情况下，以荧光X射线分析定量无机元素的情况下，成为50ppm以下、优选成为10ppm以下、最优选成为检测限以下的含量。这是由于，即使不积极地在薄膜中添加颗粒，也有源自外来异物的污染成分、原料树脂或者薄膜的制造工序中的生产线、装置上附着的污垢也剥离，而混入至薄膜中的情况。另外，“实质上不含粒径1.0μm以上的颗粒”是指：不积极地包含粒径1.0μm以上的颗粒。
由2层以上的多层构成形成的层叠聚酯薄膜的情况下，在实质上不含有无机颗粒的表面层A的相反面优选具有可以含有无机颗粒等的表面层B。
作为层叠构成，将涂布脱模层的一侧的层设为A层、其相反面的层设为B层、这些以外的芯层设为C层时，厚度方向的层构成可以举出脱模层/A/B、或者脱模层/A/C/B等层叠结构。当然C层也可以为多个层构成。另外，表面层B中也可以不含无机颗粒。该情况下，为了赋予用于将薄膜卷取为卷状的滑动性，优选在表面层B上设置至少包含无机颗粒和粘结剂的涂布层。
(脱模层)
本发明的脱模层优选为使组合物固化而成的层，所述组合物至少包含：在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂(I)、与前述树脂(I)相分离而形成海岛结构的树脂(II)和脱模成分(III)。树脂(I)与树脂(II)相分离而形成海岛结构，从而可以简便地形成凹部多的凹凸而不含颗粒，因此，区域表面粗糙度Sa即使小，也可以对树脂片效率良好地提供凸部，可以赋予滑动性。另外，区域表面粗糙度Sa低，因此，不产生粗大突起，区域表面最大突起高度Sp低，因此，可以赋予滑动性而不对树脂片造成损伤。另外，由相分离形成凹凸，因此，无需压花加工那样对树脂片进行加压，不给树脂片造成损伤，故优选。
(树脂(I))
作为本发明中使用的树脂(I)，可以使用在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂。通过在1分子内具有3个以上的反应性基团，从而成为高弹性模量的脱模层，可以抑制树脂片剥离时的脱模层的变形，可以抑制重剥离化。另外，可以改善脱模层的耐溶剂性，因此，也防止树脂片涂覆时溶剂所导致的脱模层的浸蚀等，故优选。另外，作为在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂，通过能量射线直接进行反应、或间接地通过产生的活性物质而反应，没有特别限定。树脂(I)的添加量相对于形成脱模层的组合物中的固体成分100质量份，优选60～98质量％、优选80～97质量％。通过添加60质量％以上，从而可以维持高弹性模量的脱模层。
需要说明的是，本说明书中，形成脱模层的组合物中的固体成分只要没有特别记载就是指树脂(I)、树脂(II)、脱模成分(III)和引发剂成分的固体成分的总计100质量份。
作为能量射线固化型树脂(I)的反应性基团，可以举出(甲基)丙烯酰基、烯基、丙烯酰胺基、马来酰亚胺基、环氧基、氧化环己烯基等。其中，优选加工性优异的具有(甲基)丙烯酰基的能量射线固化型树脂。
作为具有丙烯酰基的能量射线固化型树脂，可以不限定于单体、低聚物、聚合物地使用。另外，必须至少含有在1分子内具有3个以上的反应性基团的树脂，但也可以混合在分子内具有1～2个反应性基团的树脂等2种以上的树脂而使用。通过混合这些反应基团数少的树脂，从而可以抑制卷曲等。
作为在分子内具有3个以上的(甲基)丙烯酰基的能量射线固化型单体，可以举出异氰脲酸三丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二(三羟甲基)丙烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等多官能(甲基)丙烯酸酯和它们的环氧乙烷改性物、环氧丙烷改性物、己内酯改性物等。
作为在分子内具有1～2个反应性基团的能量射线固化型单体，可以举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸山嵛酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、环状三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸羟基乙酯、(甲基)丙烯酸羟基丁酯、(甲基)丙烯酸羟基丙酯、(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸二环戊烯基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯四氢糠酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸五甲基哌啶酯、(甲基)丙烯氧甲基哌啶酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、环己烷二醇二(甲基)丙烯酸酯等单体类和它们的环氧乙烷改性物、环氧丙烷改性物、己内酯改性物等。
作为在分子内具有3个以上的(甲基)丙烯酰基的能量射线固化型低聚物类，可以举出氨基甲酸酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯、有机硅改性丙烯酸酯等，可以使用通常市售的产品。例如可以举出荒川化学工业株式会社制BEAMSET(注册商标)系列、新中村化学工业株式会社制NK Oligo系列、Daicel-Allnex Ltd.制EBECRYL系列、大阪有机化学工业株式会社制Viscoat系列、共荣社化学株式会社制氨基甲酸酯丙烯酸酯系列、DIC株式会社制UniDic系列等。
作为在分子内具有3个以上的(甲基)丙烯酰基的能量射线固化型聚合物类，可以举出：在聚合物上接枝有(甲基)丙烯酰基的接枝聚合物；在聚合物末端加成有多官能丙烯酸类单体的嵌段聚合物等。作为聚合物类，可以使用丙烯酸类树脂、环氧树脂、聚酯树脂、聚有机硅氧烷等，没有特别限定。
(树脂(II))
作为本发明中使用的树脂(II)，是与树脂(I)溶解于相同的溶剂并以涂剂(涂膜形成前的组合物)的状态均匀地溶解的状态，但必须通过经过溶剂的干燥、固化而彼此成为非相溶、以树脂(I)为海成分、树脂(II)为岛成分而形成海岛结构。作为树脂(II)，只要满足前述条件就可以没有特别限定地使用。也可以同时使用2种以上的树脂。树脂(II)的添加量相对于形成脱模层的组合物中的固体成分100质量份，优选1～30质量％、优选1～10质量％。通过添加1质量％以上，从而可以形成充分的凹凸，通过设为30质量％以下，从而脱模层的交联度高，剥离时的温度依赖性低而优选。
作为树脂(II)，例如只要为聚酯树脂、丙烯酸类树脂、聚酰亚胺系树脂、聚酰胺酰亚胺系树脂、纤维素系树脂等、溶剂可溶型就可以没有特别限定地使用。
作为聚酯树脂，没有特别限定，可以使用市售的产品。例如可以举出东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)系列、日本合成化学工业株式会社制Nichigo-Polyester(注册商标)系列等。
作为丙烯酸类树脂，是指有聚合丙烯酸酯的低聚物、聚合物，可以为均聚物也可以为共聚物。另外，可以使用市售的产品。例如可以举出DIC株式会社制ACRYDIC(注册商标)系列、东亚合成株式会社制ARFON(注册商标)系列等。
(脱模成分(III))
作为本发明中使用的脱模成分(III)，只要为可以与聚有机硅氧烷、氟化合物、长链烷基化合物、蜡类等生片进行剥离的材料就没有特别限定。另外，优选这些材料中具有(甲基)丙烯酰基等能跟树脂(I)反应并结合的官能团的材料。另外，也可以混合2种以上的材料而使用。脱模成分(III)的添加量相对于形成脱模层的组合物中的固体成分100质量份，优选0.05～10质量％、进一步优选0.1～5质量％。如果添加0.05质量％以上，则剥离力轻，如果为10质量％以下，则脱模层的交联度高，剥离时的温度依赖性低而优选。
作为聚有机硅氧烷，除聚二甲基硅氧烷、聚二乙基硅氧烷、聚苯基硅氧烷等之外，还可以使用一部分经有机改性的硅氧烷系化合物、具有聚有机硅氧烷的嵌段聚合物、接枝有聚有机硅氧烷的聚合物等。作为市售的产品，例如可以使用BYK Japan株式会社制BYK(注册商标)系列、日油株式会社制Modiper(注册商标)系列等。
作为氟化合物，没有特别限定，可以使用市售的产品。例如可以举出DIC株式会社制MEGAFACE(注册商标)系列等。
作为长链烷基化合物，可以举出：共聚有丙烯酸长链烷基酯的丙烯酸类聚合物、接枝有长链烷基的接枝聚合物、在末端加成有长链烷基的嵌段聚合物等。而且没有特别限定，可以使用市售的产品。例如可以举出日立化成株式会社制Tess Fine(注册商标)系列、LionSpecialty Chemicals Co.,Ltd.制Peroyl(注册商标)等。
作为活性能量射线，例如可以举出红外线、可见光线、紫外线、X射线那样的电磁波、电子束、离子束、中性束和α射线那样的颗粒射线等，这些之中，优选使用制造成本优异的紫外线。
照射前述活性能量射线时的气氛可以在一般的空气中也可以在氮气气氛下。氮气气氛中，通过减少氧浓度，从而自由基反应顺利地进行，可以改善脱模层的弹性模量，但如果在空气中进行照射在实用上也没有问题，则从经济的观点出发，优选在空气中进行照射。
(光聚合引发剂)
本发明的脱模层中使用自由基聚合系树脂的情况下，优选添加光聚合引发剂。作为光聚合引发剂，具体而言，可以举出二苯甲酮、苯乙酮、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻***、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、苯偶姻苯甲酸、苯偶姻苯甲酸甲酯、苯偶酰二甲基缩酮、2,4-二乙基噻吨酮、1-羟基环己基苯基酮、苄基二苯基硫醚、四甲基秋兰姆单硫化物、偶氮异丁腈、苯偶酰、联苯酰、丁二酮、β-氯蒽醌、(2,4,6-三甲基苄基二苯基)氧化膦、2-苯并噻唑基-N,N-二乙基二硫代氨基甲酸酯等。优选被认为表面固化性优异的、2-羟基-1-{4-[4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)-苄基]-苯基}-2-甲基丙烷-1-酮、1-羟基-环己基-苯基-酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮，其中，特别优选2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮。它们可以单独使用，也可以组合2种以上而使用。
光聚合引发剂的添加量没有特别限定。例如，相对于使用的树脂，优选使用0.1至20质量％左右。
本发明的脱模层中，只要为不妨碍本发明的效果的范围就可以添加密合改善剂、抗静电剂等添加剂等。另外，为了改善与基材的密合性，还优选在设置脱模涂布层前对聚酯薄膜表面进行锚涂、电晕处理、等离子体处理、大气压等离子体处理等前处理。
本发明中，脱模层的厚度根据其使用目的而设定即可，没有特别限定，优选最好固化后的脱模层成为0.3～5.0μm的范围，更优选0.5～3.0μm。脱模层的厚度如果为0.3μm以上，则能量射线固化型共聚聚合物的固化性良好，脱模层的弹性模量改善，因此，得到良好的剥离性能而优选。另外，如果为5.0μm以下，则即使脱模薄膜的厚度变薄也不易引起卷曲，在将树脂片成型、干燥的过程中不引起行进性不良而优选。
本发明的脱模薄膜的表示脱模层的表面的凹凸的偏度的Ssk(也有时称为偏度，skewness)优选为1以下。通过使Ssk为1以下，从而凹凸的凹部变多，可以在树脂片中效率良好地形成凸部，故优选。更优选0.7以下、进一步优选0.5以下、最优选0以下。
一方式中，偏度Ssk也可以具有负的值。例如Ssk为-1以上，可以为-0.7以上，可以为-0.5以上。例如，脱模层的表面的凹凸的偏度Ssk为-1以上且1以下，可以为-0.7以上且1以下。
本发明中，脱模层的表面的凹凸的偏度Ssk示出上述范围时，优选脱模层为组合物固化而成的层，所述组合物至少包含：在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂(I)、与前述树脂(I)相分离而形成海岛结构的树脂(II)和脱模成分(III)。本发明人等发现：优选在本说明书中记载的特定的条件下将组合物涂覆并干燥/固化，从而可以更有效地将脱模层的表面的凹凸的偏度Ssk调整为上述范围。
本发明的脱模薄膜优选的是，负载面积率10％下的突出突起部的体积：Vm(10)与负载面积率80％下的突出谷部的体积：Vv(80)的比率：Vm(10)/Vv(80)满足以下的关系式。
0<Vm(10)/Vv(80)≤1.5
如果为Vm(10)/Vv(80)≤1.5，则凹凸的凹部变多，可以在树脂片中效率良好地形成突起部，故优选。更优选1.0以下、进一步优选0.7以下、最优选0.5以下。
一方式中，Vm(10)/Vv(80)为0.1以上，例如为0.15以上，可以为0.20以上。
本发明的脱模薄膜的雾度优选15％以下、进一步优选10％以下、更进一步优选5％以下。雾度如果为15％以下，则在脱模薄膜上加工树脂片时容易进行外观检查。
本发明的脱模薄膜优选前述脱模层实质上不含有颗粒。通过不含有颗粒，从而不产生颗粒的聚集所导致的粗大突起，因此，转印时不对树脂片造成损伤而优选。另外，由于不含有颗粒，因此，没有颗粒的脱落，可以防止对树脂片的污染，故优选。另外，得到均匀稳定的滑动性而没有由于颗粒的脱落而转印的凹凸局部变得不稳定、滑动性不稳定这样的情况，故优选。进而，由于树脂片实质上不含颗粒，因此，例如如果为光学用途，则为高透明性，如果为电子部件，则可以示出优异的电气特性。
本发明的脱模薄膜优选脱模层的表面具有适度的凹凸。因此，脱模层的表面的区域表面平均粗糙度(Sa)优选2nm以上且200nm以下，例如为2nm以上且100nm以下，可以为2nm以上且50nm以下，更优选为5nm以上且30nm以下。区域表面粗糙度(Sa)如果为2nm以上，则可以对树脂片赋予凹凸，可以体现滑动性。而且，区域表面粗糙度(Sa)如果为200nm以下，则对树脂片的表面形状不造成影响而优选。另外，优选满足前述Sa、且脱模层的表面的区域表面最大突起高度(Sp)为500nm以下，如果为100nm以下则更优选，如果为60nm以下则进一步优选。区域表面最大突起高度(Sp)如果为500nm以下，则对树脂片产生针孔坏点的担忧变少，经卷取的树脂片的空隙减少，因此，可以更紧凑地卷取，故优选。另外，区域表面最大突起高度(Sp)如果为500nm以下，则可以形成更平滑的树脂片，可以形成扭转更少的树脂片卷。
例如，区域表面最大突起高度(Sp)为1nm以上。
本发明中，脱模层的形成方法没有特别限定，使用如下方法：通过涂布等，将溶解或分散有脱模性的树脂的涂液展开在基材的聚酯薄膜的一个面，通过干燥将溶剂等去除后，进行固化。优选在本说明书中记载的特定的条件下涂覆组合物并干燥/固化，从而可以更有效地形成本发明的脱模层，可以提供高平滑且兼具良好的滑动性的树脂片。
通过溶液涂布将本发明的脱模层涂布于基材薄膜上时的溶剂干燥的干燥温度优选50℃以上且120℃以下、更优选60℃以上且100℃以下。其干燥时间优选30秒以下、更优选20秒以下。进而，优选溶剂干燥后，照射活性能量射线，使固化反应进行。作为此时使用的活性能量射线，可以使用紫外线、电子束、X射线等，但容易使用紫外线而优选。作为照射的紫外线量，以光量计、优选30～300mJ/cm2、更优选30～200mJ/cm2。通过设为30mJ/cm2以上，从而树脂的固化充分进行，通过设为300mJ/cm2以下，从而可以改善加工时的速度，因此，可以经济地制成脱模薄膜，优选。
照射前述活性能量射线时的气氛可以在一般的空气中，也可以在氮气气氛下。氮气气氛中，通过减少氧浓度，从而自由基反应顺利进行，可以改善脱模层的弹性模量，但如果在空气中进行照射实用上也没有问题，则从经济的观点出发，优选在空气中进行照射。
本发明中，涂布脱模层时的涂液的表面张力没有特别限定，优选30mN/m以下。通过使表面张力为前述那样，从而涂覆后的涂布性改善，可以减少干燥后的涂膜表面的凹凸。
作为上述涂液的涂布法，可以应用公知的任意涂布法，例如可以利用凹版涂布法、逆式涂布法等辊涂布法、线棒等棒涂法、模涂法、喷涂法、气刀涂布法等一直以来已知的方法。
需要说明的是，以上述那样的方法涂覆组合物并进行干燥/固化，从而脱模层实质上不具有颗粒，也可以得到脱模层的表面的偏度Ssk为1以下的脱模层。
另一方面，脱模层的表面形状微细且复杂，因此，根据本说明书中记载的结构或特性来直接特定是不可能或是不实际的。因此，本发明中，使用上述特定的组合物，经过特定的制造工序，从而可以有效地形成本申请发明的脱模层，因此，有时不得不使用“以本申请说明书中记载的制造方法而形成的脱模层”这样的表现。
或者，有时不得不使用限定在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂(I)跟与前述树脂(I)相分离而形成海岛结构的树脂(II)的混合比率、树脂(II)的种类、干燥温度等各种条件、根据这样的条件得到的脱模层这样的表现。
同样地，对于得到的树脂片，表面形状也微细且复杂，因此，根据本说明书中记载的结构或特性来直接特定是不可能的或是不现实的。因此，本发明中，对于本发明的树脂片，也有时不得不使用“树脂片的脱模层侧的面具有转印有本发明的脱模薄膜的脱模面形状的形状”这样的表述。
(树脂片)
一方式中，本发明涉及：医疗领域、产业领域、例如电子部件、电子基板的制造工序、纤维增强塑料等热固性树脂构件的制造工序等中使用的脱模用薄膜等。更详细地，涉及以下物质。为对表面保护薄膜、粘合带等脱模薄膜、脱模衬垫、分隔件、半导体制品的制造中使用的工序(切割、芯片接合、背面研磨)带的分隔件、制造陶瓷电容器时的未烧成片形成用载体和制造复合材料时的载体、保护材料的分隔件等有用的脱模性薄膜。
特别是，为作为光学用薄膜、电子部件制造用薄膜使用的脱模薄膜，作为成形在脱模薄膜上的树脂片，没有特别限定，例如可以举出乙烯基树脂、丙烯酸类树脂、环氧树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂、氟树脂、氨基树脂、酚醛树脂等。
使用上述树脂而形成的树脂片其单独单缺乏滑动性，操作性差，有成品率降低、发生粘连的可能性。为了避免这些，添加颗粒、蜡作为滑动性赋予剂，但颗粒添加的情况，颗粒聚集而成为粗大突起，有给树脂片造成损伤的可能性，树脂片中需要透明性的情况下，由于颗粒的聚集而雾度上升，有失去透明性的可能性。另外，蜡添加的情况，树脂片用于电子部件等时，蜡被转印至电子部件而被污染，有引起错误动作的可能性。
本发明可以对树脂片赋予滑动性而不使用颗粒、蜡，因此，可以抑制上述问题。形成树脂片的树脂成分可以根据用途而适宜选择。
一方式中，本发明提供一种使用了本发明的树脂片成型用脱模薄膜的树脂片的制造方法。例如，树脂片的制造方法包括如下步骤：对树脂片在50℃以上且120℃以下的干燥温度、例如60℃以上且100℃以下的干燥温度下进行处理，其干燥时间优选30秒以下、更优选20秒以下。
如果为这种干燥条件，则可以形成树脂片而不有损本发明的脱模层的表面形状。
一方式中，为一种树脂片，其是能层叠于树脂片成型用脱模薄膜的(层叠)的树脂片，
前述树脂片的脱模层侧的面具有转印有前述脱模薄膜的脱模面形状的形状。
实施例
为了对本发明详细地进行说明，以下列举实施例进行说明，但本发明不限定于这些实施例。本发明中使用的特性值用下述方法进行评价。
(1)基材薄膜厚度
使用Milltron(电子微指示器)，从应测定的薄膜的任意4个部位切出5cm见方的4张样品，测定每一张的各5个点(总计20点)，将平均值作为厚度。
(2)脱模层厚度
脱模层的厚度用光干涉式膜厚计(F20、Filmetrics,INC.制)而测定。(脱模层的折射率以1.52算出)
(3)区域表面粗糙度Sa、区域表面最大突起高度Sp
为使用非接触表面形状计测***(VertScan R550H-M100、Mitsubishi ChemicalSystems,Inc.制)，在下述条件下测得的值。区域表面平均粗糙度(Sa)采用的是5次测定的平均值，区域表面最大突起高度(Sp)使用的是测定7次并除最大值与最小值之外的5次的最大值。
(测定条件)
·测定模式：WAVE模式
·物镜：50倍
·0.5×Tube透镜
(解析条件)
·面校正：4次校正
·插值处理：完全插值
·滤波器：高斯(截止值：20μm)
(4)负载面积率10％下的突出突起部的体积：Vm(10)与负载面积率80％下的突出谷部的体积：Vv(80)的比率：Vm(10)/Vv(80)
为使用非接触表面形状计测***(VertScan R550H-M100、Mitsubishi ChemicalSystems,Inc.制)，在下述的条件下测得的值。
(测定条件)
·测定模式：WAVE模式
·物镜：50倍
·0.5×Tube透镜
(解析条件)
·面校正：4次校正
·插值处理：完全插值
·滤波器：高斯(截止值：20μm)
·ISO参数：Void and Material Volume Parameters
(5)滑动性
将下述组成的树脂片涂布液1～4分别混合，使用线棒涂覆于本发明的树脂片成型用脱模薄膜的脱模面，使得干燥后的树脂成为5.0μm，在90℃下干燥1分钟后，将脱模薄膜剥离，得到树脂片。
用手在台上以表面向上的方式固定的树脂片和剥离后的树脂片的背面滑动，以下述基准判定滑动性。
○：滑动而无钩挂
△：有钩挂，但滑动
×：无移动而无滑动
(树脂片1)
树脂 100.00质量份
(聚酯树脂、东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)RV280)
稀释溶剂 700.00质量份
(甲乙酮/甲苯＝1/1)
(树脂片2)
树脂 100.00质量份
(聚乙烯醇缩丁醛树脂、BM-S、积水化学工业株式会社制)
稀释溶剂 700.00质量份
(乙醇/甲苯＝1/1)
(树脂片3)
树脂 100.00质量份
(环氧树脂、CELLOXIDE 2021P、Daicel Corporation制)
光引发剂 40.00质量份
(硼系阳离子固化UV引发剂、CATA211、荒川化学工业株式会社制、固体成分浓度18.5质量％)
稀释溶剂 500.00质量份
(甲乙酮/甲苯＝1/1)
(聚对苯二甲酸乙二醇酯粒料(PET(1))的制备)
作为酯化反应装置，使用包含具有搅拌装置、分凝器、原料投入口和产物取出口的3级的完全混合槽的连续酯化反应装置。使TPA(对苯二甲酸)为2吨/小时、EG(乙二醇)相对于TPA1摩尔为2摩尔、三氧化锑相对于生成PET、Sb原子成为160ppm的量，将这些浆料连续供给至酯化反应装置的第1酯化反应釜，在常压下、在平均滞留时间4小时、255℃下进行反应。接着，将第1酯化反应釜内的反应产物连续地取出至体系外，供给至第2酯化反应釜，向第2酯化反应釜内供给相对于生成PET为8质量％的从第1酯化反应釜蒸馏去除的EG，进而，添加包含相对于生成PET、Mg原子成为65ppm的量的乙酸镁四水合物的EG溶液、以及包含相对于生成PET、P原子成为40ppm的量的TMPA(磷酸三甲酯)的EG溶液，在常压下、在平均滞留时间1小时、260℃下进行反应。接着，将第2酯化反应釜的反应产物连续地取出至体系外，供给至第3酯化反应釜，用高压分散机(日本精机株式会社制)，将在39MPa(400kg/cm2)的压力下、进行了平均处理次数5道次的分散处理的平均粒径为0.9μm的多孔质胶体二氧化硅0.2质量％、以及相对于碳酸钙附着有1质量％的聚丙烯酸的铵盐的平均粒径为0.6μm的合成碳酸钙0.4质量％分别形成10％的EG浆料，边添加边在常压下、在平均滞留时间0.5小时、260℃下进行反应。将第3酯化反应釜内生成的酯化反应产物连续地供给至3级的连续缩聚反应装置，进行缩聚，用烧结有95％分割粒径为20μm的不锈钢纤维的过滤器进行过滤后，进行超滤，挤出至水中，在冷却后切割成小片状，得到特性粘度0.60dl/g的PET小片(以后，简记作PET(1))。PET小片中的润滑剂含量为0.6质量％。
(聚对苯二甲酸乙二醇酯粒料(PET(2))的制备)
另一方面，上述PET小片的制造中，得到完全不含有碳酸钙、二氧化硅等颗粒的特性粘度0.62dl/g的PET小片(以后，简记作PET(2)。)
(层叠薄膜X1的制造)
将这些PET小片干燥后，在285℃下进行熔融，利用另外的熔融挤出机，在290℃下进行熔融，进行烧结有95％分割粒径为15μm的不锈钢纤维的过滤器、以及烧结有95％分割粒径为15μm的不锈钢颗粒的过滤器的2级的过滤，在供料头内合流，将PET(1)成为表面层B(反脱模面侧层)、PET(2)成为表面层A(脱模面侧层)的方式进行层叠，以45m/分钟的速率挤出(浇铸)成片状，通过静电密合法，静电密合在30℃的浇铸鼓上并冷却，得到特性粘度为0.59dl/g的未拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯片。层比率按照以各挤出机的排出量计算计、成为PET(1)/(2)＝60％/40％的方式进行调整。接着，将该未拉伸片在红外线加热器中进行加热，然后在辊温度80℃下，利用辊间的速率差沿纵向拉伸3.5倍。之后，导入至拉幅机，在140℃下沿横向进行4.2倍的拉伸。接着，在热定形区中，在210℃下进行热处理。之后，沿横向、在170℃下进行2.3％的松弛处理，得到厚度31μm的双轴拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜X1。得到的薄膜X1的表面层A的Sa为2nm、表面层B的Sa为29nm。
(实施例1)
(脱模层涂覆液的准备)
使用逆式凹版，在层叠薄膜X1的表面层A上涂覆以下组成的涂布液1，使得干燥后的脱模层膜厚成为2.0μm，在90℃下进行30秒干燥后，使用高压汞灯，以成为200mJ/cm2的方式照射紫外线，从而得到树脂片成型用脱模薄膜。对于得到的脱模薄膜，进行脱模层厚度、区域表面粗糙度Sa、区域表面最大突起高度(Sp)、突出突起部的体积与突出谷部的体积的比率：Vm(10)/Vv(80)、滑动性的评价。
(涂布液1)
树脂(I) 100.00质量份
(二季戊四醇六丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制、A-DPH)
树脂(II-1) 6.59质量份
(聚酯树脂、东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)RV280)
树脂(II-2) 10.99质量份
(聚氨酯树脂、东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)UR1400、固体成分浓度30.0质量％)
脱模剂(III) 1.26质量份
(丙烯酰基改性聚二甲基硅氧烷、BYK-UV3505、BYK Japan株式会社制、固体成分浓度40.0质量％)
光聚合引发剂(IV) 5.49质量份
(OMNIRAD(注册商标)907、IGM Japan GK公司制)
稀释溶剂(V) 425.11质量份
(甲乙酮/环己酮＝4/1)
(实施例2)
以干燥后的脱模层膜厚成为3.0μm的方式进行涂覆。除此之外，与实施例1同样地操作，得到脱模薄膜。另外，进行与实施例1同样的评价。
(实施例3)
使用的是，对涂布液1添加有作为树脂(II-3)的二丙二醇二丙烯酸酯的下述涂布液3。
(涂布液3)
树脂(I) 100.00质量份
(二季戊四醇六丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制、A-DPH)
树脂(II-1)聚酯树脂 6.71质量份
(东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)RV280)
树脂(II-2)聚氨酯树脂 11.18质量份
(东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)UR1400、固体成分浓度30.0质量％)
树脂(II-3)聚丙烯丙烯酸酯 49.68质量份
(二丙二醇二丙烯酸酯、APG-100)
脱模剂(III) 1.60质量份
(自由基聚合型有机硅系脱模剂、KF-2005、信越化学工业社制)
光聚合引发剂(IV) 11.18质量份
(OMNIRAD(注册商标)907、IGM Japan GK公司制)
稀释溶剂(V) 434.05质量份
(甲乙酮/环己酮＝4/1)
以干燥后的脱模层膜厚成为2.0μm的方式进行涂覆。使用涂布液3，除此之外，与实施例1同样地操作，得到脱模薄膜。另外，进行与实施例1同样的评价。
(实施例4)
使用的是，比实施例1减少了树脂(II-1)和树脂(II-2)的比率的下述涂布液4。
(涂布液4)
树脂(I) 100.00质量份
(二季戊四醇六丙烯酸酯、新中村化学工业株式会社制)
树脂(II-1)聚酯树脂 2.06质量份
(东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)RV280)
树脂(II-2)聚氨酯树脂 3.44质量份
(东洋纺株式会社制Vylon(注册商标)UR1400、固体成分浓度30.0质量％)
脱模剂(III) 1.19质量份
(丙烯酰基改性聚二甲基硅氧烷、BYK-UV3505、BYK Japan株式会社制、固体成分浓度40.0质量％)
光聚合引发剂(IV) 5.15质量份
(OMNIRAD(注册商标)907、IGM Japan GK公司制)
稀释溶剂(V) 403.63质量份
(甲乙酮/环己酮＝4/1)
以干燥后的脱模层膜厚成为2.0μm的方式进行涂覆。使用涂布液4，除此之外，与实施例1同样地操作，得到脱模薄膜。另外，进行与实施例1同样的评价。
(比较例1)
作为比较例1，使用以下组成的涂布液5，以干燥后的脱模层膜厚成为0.1μm的方式进行涂覆，得到脱模层中含有颗粒的树脂片成型用脱模薄膜。使用涂布液5和干燥后的脱模层膜厚为0.1μm，除此之外，与实施例1同样地操作，得到脱模薄膜。另外，进行与实施例1同样的评价。
(涂布液5)
树脂 100.00质量份
(有机硅树脂、LTC851、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制、固体成分浓度30.0质量％)
颗粒 7.50质量份
(二氧化硅胶体溶液、MEK-ST-40、日产化学株式会社制、固体成分浓度40.0质量％)
固化催化剂 1.70质量份
(铂催化剂、SRX212、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制)
稀释溶剂 5000.00质量份
(甲乙酮/甲苯＝1/1)
(比较例2)
作为比较例2，使用以下组成的涂布液6，与比较例1同样地操作，得到脱模薄膜。另外，进行与比较例1同样的评价。
(涂布液6)
树脂 100.00质量份
(有机硅树脂、LTC851、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制、固体成分浓度30.0质量％)
颗粒 45.00质量份
(二氧化硅胶体溶液、MEK-ST-UP、日产化学株式会社制、固体成分浓度20.0质量％)
固化催化剂 1.70质量份
(铂催化剂、SRX212、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制)
稀释溶剂 5000.00质量份
(甲乙酮/甲苯＝1/1)
[表1]
实施例中，任意树脂片中均示出了滑动性。
比较例1中，Ssk大于1，凸部未被转印至树脂片，任意树脂片中均未示出滑动性。另外，比较例2中，与比较例1相比，Sa也大，Ssk也小，但Ssk大于1，因此，转印的凸部并不充分，任意树脂片均未示出滑动性。
产业上的可利用性
本发明涉及树脂片成型用的脱模薄膜。特别是涉及电子部件、光学用途中使用的树脂片成型用的脱模薄膜。

Claims (6)

1.一种树脂片成型用脱模薄膜，其在基材薄膜的至少单面直接层叠有脱模层或借助其他层层叠有脱模层，所述脱模层的表面的偏度Ssk为1以下。
2.根据权利要求1所述的树脂片成型用脱模薄膜，其中，所述脱模层的表面的区域表面最大突起高度Sp为500nm以下、区域表面粗糙度Sa为2nm以上且200nm以下。
3.根据权利要求1或2所述的树脂片成型用脱模薄膜，其中，负载面积率10％下的突出突起部的体积：Vm(10)与负载面积率80％下的突出谷部的体积：Vv(80)的比率：Vm(10)/Vv(80)满足以下的关系式；
0<Vm(10)/Vv(80)≤1.5。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的树脂片成型用脱模薄膜，其中，所述脱模层实质上不含有颗粒。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的树脂片成型用脱模薄膜，其中，所述脱模层是使组合物固化而成的层，所述组合物至少包含：在1分子内具有3个以上的反应性基团的能量射线固化型树脂(I)、与所述树脂(I)相分离而形成海岛结构的树脂(II)和脱模成分(III)。
6.一种树脂片，其是能层叠于权利要求1～5中任一项所述的树脂片成型用脱模薄膜的树脂片，
所述树脂片的脱模层侧的面具有转印有所述脱模薄膜的脱模面形状的形状。
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