CN117826543A - 一种曝光成像用的图像处理方法、***及相关设备 - Google Patents

一种曝光成像用的图像处理方法、***及相关设备 Download PDF

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Abstract

本发明实施例提供了一种曝光成像用的图像处理方法、***及相关设备,用于实现曝光成像过程中的锐角图形的自动化改善,提高曝光制版的产品的使用寿命。本发明实施例方法包括:获取原始点阵图像,所述原始点阵图像至少包含一个角度小于第一阈值的锐角图形;检测所述目标锐角图形的两边线在预设基准方向上的两个交点的直线距离,并确定直线距离为第二阈值的两个目标交点;将所述两个目标交点与所述目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行以生成修正图像,所述修正图像用于曝光成像。

Description

一种曝光成像用的图像处理方法、***及相关设备
技术领域
本发明涉及数据处理技术领域,尤其涉及一种曝光成像用的图像处理方法、***及相关设备。
背景技术
曝光成像是指通过光源(例如激光)对覆盖有感光胶的涂层上的曝光点(由原始图像进行映射)进行曝光,从而经过显影之后在感光涂层上生成所需的图像。常见的应用场景包括丝网印刷、PCB制版等。
申请人发现,由于激光直写曝光设备采用的感光胶工艺参数(例如,感光胶的厚度、感光胶解析度)的限制,实际可以制版的图像的几何参数是受限的。例如,制版图像上组成过小锐角的交点区域,若曝光点之间的间距过小超出了光源移动过程中的定位精度,交点区域的曝光精度不可控,会使得交点区域曝光后感光胶固化区域出现异形图样,且感光胶固化不牢固,严重影响所制成的版图的质量和使用寿命。
发明内容
本发明实施例提供了一种曝光成像用的图像处理方法、***及相关设备,用于实现曝光成像过程中的锐角图形的自动化改善,提高曝光制版的版图的使用寿命。
本发明实施例第一方面提供了一种曝光成像用的图像处理方法,可包括:
获取原始点阵图像,所述原始点阵图像至少包含一个角度小于第一阈值的锐角图形;
检测所述目标锐角图形的两边线在预设基准方向上的两个交点的直线距离,并确定直线距离为第二阈值的两个目标交点;
将所述两个目标交点与所述目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,并生成修正图像;所述修正图像用于曝光成像。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,可包括:
将所述目标区域内的所有像素点均修改为曝光点。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,可包括:
将目标锐角图形的两边线的边缘以及向内延伸的像素点设置为非曝光点。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,还可以包括:将所述两个目标交点所在的线段中的像素点均设置为曝光点。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中的曝光成像用的图像处理方法,还可以包括:
获取感光胶工艺参数,并查询所述感光胶工艺参数关联映射的第一阈值。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角小于45度时,预设基准方向与像素行方向垂直;当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角不小于45度时,预设基准方向与像素行方向平行。
本发明实施例第二方面提供了一种曝光成像用的图像处理***,可包括:
获取模块,用于获取原始点阵图像,所述原始点阵图像至少包含一个角度小于第一阈值的锐角图形;
检测模块,用于检测所述目标锐角图形的两边线在预设基准方向上的两个交点的直线距离,并确定直线距离为第二阈值的两个目标交点;
修正模块,用于将所述两个目标交点与所述目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,并生成修正图像,所述修正图像用于曝光成像。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,修正模块,可包括:
第一修正单元,用于将所述目标区域内的所有像素点均修改为曝光点。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,修正模块,可包括:
第二修正单元,用于将目标锐角图形的两边线的边缘以及向内延伸的像素点设置为非曝光点。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中的曝光成像用的图像处理***,还可以包括:
查询模块,用于获取感光胶工艺参数,并查询所述感光胶工艺参数关联映射的第一阈值。
可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角小于45度时,预设基准方向与像素行方向垂直;当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角不小于45度时,预设基准方向与像素行方向平行。
本发明实施例第三方面提供了一种计算机装置,所述计算机装置包括处理器,所述处理器用于执行存储器中存储的计算机程序时实现如第一方面及第一方面中任意一种可能的实施方式中的步骤。
本发明实施例第四方面提供了一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如第一方面及第一方面中任意一种可能的实施方式中的步骤。
从以上技术方案可以看出,本发明实施例具有以下优点:
本发明实施例中,当原始点阵图像中存在角度小于第一阈值的锐角图形时,检测得到目标锐角图形的两边线在预设基准方向上直线距离为第二阈值的两个目标交点,然后将两个目标交点与目标锐角图形的交点构成的三角形区域,将该三角区域内的像素点全部采用曝光点或非曝光点填充,避免出现同一像素行中的曝光点的间距过小(小于第二阈值)的情况,使得该区域内的曝光精度可控,避免曝光后的感光胶固化区域异形和畸变,提高了所制成的版图的使用寿命和可用性。
附图说明
图1为本发明实施例中一种曝光成像用的图像处理方法的一个实施例示意图;
图2为本发明实施例中一种曝光成像用的图像处理方法的另一个实施例示意图;
图3为本发明实施例中一种曝光成像用的图像处理方法的一个具体应用实施例示意图;
图4为本发明实施例中一种曝光成像用的图像处理***的一个实施例示意图;
图5为本发明实施例中一种计算机装置的一个实施例示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的过程、方法、***、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在本申请的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。
为提高曝光制版的质量,申请人提出对原始点阵图像中的角度小于第一阈值的锐角图形进行预先调整,增加该锐角图形的交点区域内曝光点的比例,依次解决交点区域会出现感光胶固化不牢固问题。
为了便于理解,下面对本发明实施例中的具体流程进行描述,请参阅图1,本发明实施例中一种曝光成像用的图像处理方法的一个实施例可包括:
S101:获取原始点阵图像,原始点阵图像至少包含一个角度小于第一阈值的锐角图形。
为实现锐角图形的优化,在拿到原始点阵图像之后,可以进行初步扫描检测,确定包含一个角度小于第一阈值的锐角图形的原始点阵图像。
其中,第一阈值可以是预先设置的固定值,也可以是根据感光胶工艺参数查询关联映射的第一阈值,以实现感光胶工艺参数与图形调整范围的动态匹配。
S102:确定目标锐角图形的两边线在预设基准方向上的两个交点的直线距离为第二阈值的两个目标交点。
在确定原始点阵图像包含目标锐角图形之后,***可以检测与预设基准方向平行的线段与目标锐角图形的两边线的两个交点的直线距离,并确定直线距离为第二阈值的两个目标交点。具体的第二阈值可以根据感光胶的种类和光源的定位精度进行合理的设置,例如光源的定位精度为100nm,则第二阈值不小于100nm。
具体的,预设基准方向可以根据目标锐角图形的角平分线进行确定,若角平分线与像素行所在的方向垂直,则预设基准方向与像素行方向平行;若角平分线与像素行所在的方向与像素行所在的方向平行,则预设基准方向与像素行方向垂直;出上述两种情况之外,预设基准方向可以是与像素行所在的方向平行,也可以是与像素行方向垂直。优选的,为避免图案填充过程中重新出现过小的锐角(影响制版的质量),目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角小于45度时,预设基准方向与像素行方向垂直(示例性的,如图2中的AB所在线段所示);目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角不小于45度时,预设基准方向与像素行方向平行(示例性的,如图3中的AB所在线段所示)。
本申请实施例仅以黑色像素点指示点阵图像中的曝光点,白色像素点指示非曝光点为示例进行说明,实际应用中,可以根据感光胶的正、负形合理的设置曝光点,此处不做限定。
S103:将两个目标交点与目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,在目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于第二阈值的像素行,并生成修正图像。
在确定两个目标交点之后,***可以将两个目标交点与目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,在目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于第二阈值的像素行以生成修正图像。该修正图像用于曝光成像,具体用于关联指示所需曝光的曝光点的位置,具体的曝光成像过程可参照相关技术,此处不做赘述。
具体的,作为一种可能的实施方式,本申请实施例中,消除同一像素行中曝光点的间距小于第二阈值的像素行,可以包括:将目标区域内的所有像素点均修改为曝光点,例如将图2和图3所示的三角形ABC围成的影响区域均改为曝光点。
作为一种可能的实施方式,本申请实施例中,消除同一像素行中曝光点的间距小于第二阈值的像素行,可以包括:将目标锐角图形的两边线的边缘以及向内延伸的像素点设置为非曝光点。例如图4所示,将目标区域沿BC和AC两边线以及向内延伸的像素点均设置为非曝光点。在图4所示的实施方式的基础上,可选的,作为一种可能的实施方式,本发明实施例中,为保持图形的完整性,提高制版图像边沿图形的使用寿命,还可以将两个目标交点所在的线段中的像素点均设置为曝光点。
由以上公开内容可知,本申请实施例中,当原始点阵图像中存在角度小于第一阈值的锐角图形时,检测得到目标锐角图形的两边线在预设基准方向上直线距离为第二阈值的两个目标交点,然后将两个目标交点与目标锐角图形的交点构成的三角形区域,将该三角区域内的像素点全部采用曝光点或非曝光点填充,避免出现同一像素行中的曝光点的间距过小(小于第二阈值)的情况,使得该区域内的曝光精度可控,避免曝光后的感光胶固化区域异形和畸变,提高了所制成的版图的使用寿命和可用性。
本申请实施例还提供了一种曝光成像用的图像处理***,可包括:
获取模块,用于获取原始点阵图像,原始点阵图像至少包含一个角度小于第一阈值的锐角图形;
检测模块,用于检测目标锐角图形的两边线在预设基准方向上的两个交点的直线距离,并确定直线距离为第二阈值的两个目标交点;
修正模块,用于将两个目标交点与目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,增加目标区域内曝光点的最小间距以生成修正图像,修正图像用于曝光成像。
可选的,作为一种可能的实施方式,本申请实施例中的修正模块,可包括:
第一修正单元,用于将目标区域内的所有像素点均修改为曝光点。
可选的,作为一种可能的实施方式,本申请实施例中的修正模块,可包括:
第二修正单元,用于将目标锐角图形的两边线的边缘向内延伸的像素点设置为曝光点。
可选的,作为一种可能的实施方式,本申请实施例中的曝光成像用的图像处理***还可以包括:
查询模块,用于获取感光胶工艺参数,并查询感光胶工艺参数关联映射的第一阈值。
可选的,作为一种可能的实施方式,本申请实施例中,当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角小于45度时,预设基准方向与像素行方向垂直;当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角不小于45度时,预设基准方向与像素行方向平行。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到,为描述的方便和简洁,上述描述的***,模块和单元的具体工作过程,可以参考前述方法实施例中的对应过程,在此不再赘述。
上面从模块化功能实体的角度对本发明实施例中的曝光成像用的图像处理***进行了描述,请参阅图5,下面从硬件处理的角度对本发明实施例中的计算机装置进行描述:
该计算机装置1可以包括存储器11、处理器12和输入输出总线13。处理器12执行计算机程序时实现上述图1所示的方法实施例中的步骤,例如图1所示的步骤101至103。或者,处理器执行计算机程序时实现上述各装置实施例中各模块或单元的功能。
其中,存储器11至少包括一种类型的可读存储介质,可读存储介质包括闪存、硬盘、多媒体卡、卡型存储器(例如,SD或DX存储器等)、磁性存储器、磁盘、光盘等。存储器11在一些实施例中可以是计算机装置1的内部存储单元,例如该计算机装置1的硬盘。存储器11在另一些实施例中也可以是计算机装置1的外部存储设备,例如计算机装置1上配备的插接式硬盘,智能存储卡(Smart Media Card,SMC),安全数字(Secure Digital,SD)卡,闪存卡(Flash Card)等。进一步地,存储器11还可以既包括计算机装置1的内部存储单元也包括外部存储设备。存储器11不仅可以用于存储安装于计算机装置1的应用软件及各类数据,例如计算机程序的代码等,还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
处理器12在一些实施例中可以是一中央处理器(Central Processing Unit,CPU)、控制器、微控制器、微处理器或其他数据处理芯片,用于运行存储器11中存储的程序代码或处理数据,例如执行计算机程序等。
该输入输出总线13可以是外设部件互连标准(peripheral componentinterconnect,简称PCI)总线或扩展工业标准结构(extended industry standardarchitecture,简称EISA)总线等。该总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。
进一步地,计算机装置还可以包括有线或无线网络接口14,网络接口14可选的可以包括有线接口和/或无线接口(如WI-FI接口、蓝牙接口等),通常用于在该计算机装置1与其他电子设备之间建立通信连接。
可选地,该计算机装置1还可以包括用户接口,用户接口可以包括显示器(Display)、输入单元比如键盘(Keyboard),可选的,用户接口还可以包括标准的有线接口、无线接口。可选的,在一些实施例中,显示器可以是LED显示器、液晶显示器、触控式液晶显示器以及OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)触摸器等。其中,显示器也可以适当的称为显示屏或显示单元,用于显示在计算机装置1中处理的信息以及用于显示可视化的用户界面。
图5仅示出了具有组件11-14以及计算机程序的计算机装置1,本领域技术人员可以理解的是,图5示出的结构并不构成对计算机装置1的限定,可以包括比图示更少或者更多的部件,或者组合某些部件,或者不同的部件布置。
本发明还提供了一种计算机可读存储介质,该计算机可读存储介质上存储有计算机程序,计算机程序被处理器执行时,可以实现如图1所示的步骤101至103。或者,处理器执行计算机程序时实现上述各装置实施例中各模块或单元的功能。
在本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的***和方法,可以通过其它的方式实现。例如,以上所描述的***实施例仅仅是示意性的,例如,所述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个***,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外,在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中,也可以是各个单元单独物理存在,也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现,也可以采用软件功能单元的形式实现。
所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时,可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解,本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机,服务器,或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括:U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM,Read-OnlyMemory)、随机存取存储器(RAM,Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上所述,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种曝光成像用的图像处理方法,其特征在于,包括:
获取原始点阵图像,所述原始点阵图像至少包含一个角度小于第一阈值的锐角图形;
检测所述目标锐角图形的两边线在预设基准方向上的两个交点的直线距离,并确定直线距离为第二阈值的两个目标交点;
将所述两个目标交点与所述目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,并生成修正图像;所述修正图像用于曝光成像。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,包括:
将所述目标区域内的所有像素点均修改为曝光点。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,包括:
将目标锐角图形的两边线的边缘以及向内延伸的像素点设置为非曝光点。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,还包括:
将所述两个目标交点所在的线段中的像素点均设置为曝光点。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其特征在于,还包括:
获取感光胶工艺参数,并查询所述感光胶工艺参数关联映射的第一阈值。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其特征在于,当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角小于45度时,预设基准方向与像素行方向垂直;当目标锐角图形的角平分线与像素行所在的方向的最小锐角不小于45度时,预设基准方向与像素行方向平行。
7.一种曝光成像用的图像处理***,其特征在于,包括:
获取模块,用于获取原始点阵图像,所述原始点阵图像至少包含一个角度小于第一阈值的锐角图形;
检测模块,用于检测所述目标锐角图形的两边线在预设基准方向上的两个交点的直线距离,并确定直线距离为第二阈值的两个目标交点;
修正模块,用于将所述两个目标交点与所述目标锐角图形的交点构成的三角形区域确定为目标区域,在所述目标区域内消除同一像素行中曝光点的间距小于所述第二阈值的像素行,并生成修正图像,所述修正图像用于曝光成像。
8.根据权利要求7所述的***,其特征在于,修正模块,包括:
第一修正单元,用于将所述目标区域内的所有像素点均修改为曝光点。
9.一种计算机装置,其特征在于,所述计算机装置包括处理器,所述处理器用于执行存储器中存储的计算机程序时实现如权利要求1至6中任意一项所述方法。
10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于:所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至6中任意一项所述方法。
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