CN117804766B - 一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法 - Google Patents

一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法 Download PDF

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CN117804766B CN202410217582.2A CN202410217582A CN117804766B CN 117804766 B CN117804766 B CN 117804766B CN 202410217582 A CN202410217582 A CN 202410217582A CN 117804766 B CN117804766 B CN 117804766B
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Abstract

本发明公开了一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法,涉及快反镜用柔性支承技术领域,测试装置包括:柔性支承兼容组件、第一负载托盘、测量模块、模拟镜托和两对驱动电机;所述柔性支承兼容组件设置于所述第一负载托盘上,用于固定待测量的柔性支承结构,所述柔性支承结构与所述模拟镜托连接,所述两对驱动电机设置于所述第一负载托盘上,所述模拟镜托设置于所述两对驱动电机上,所述两对驱动电机根据接收到的电信号驱动所述模拟镜托运动,所述测量模块用于测量所述模拟镜托的运动数据,以对所述待测量的柔性支承结构进行不同的测试。本测试装置实现了在装配快反镜之前对柔性支承结构的性能进行测试。

Description

一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法
技术领域
本发明涉及快反镜用柔性支承技术领域,尤其是涉及一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法。
背景技术
为了实现小范围内偏转的支承结构,并使其具备高分辨率、体积小、无摩擦等性能,开发出柔性支承这种新型的科技性铰链,利用弹性材料微小形变及其自回复的特性,消除了传统过程中的空程和机械摩擦,来获得超高的位移分辨率,柔性支承被广泛应用于精密仪器快速反射镜,陀螺仪之中。
因此对于一个装置,柔性支承结构的性能以及装配情况非常重要,所以一款设备在装配完成后一定要进行相关测试,例如一款快反镜装配完成后,需要测量其角度偏转和电机出力对应大小,测试柔性支承结构的刚度是否合格,还有当一个轴运动时对另一个轴是否有影响,即两轴的耦合程度。如发现不合格现象,则需要对机械结构重新进行调整并再次测试,而这一拆卸过程非常麻烦。
发明内容
本发明的目的是提供一种柔性支承结构的测试装置及测试方法,可以在装配快反镜之前对柔性支承结构的性能进行测试,提前发现并解决问题。
为解决上述问题,本发明的第一方面提供了一种快反镜用柔性支承结构的测试装置,其特征在于,包括:柔性支承兼容组件、第一负载托盘、测量模块、模拟镜托和两对驱动电机;所述柔性支承兼容组件设置于所述第一负载托盘上,用于固定待测量的柔性支承结构,所述待测量的柔性支承结构与所述模拟镜托连接;
所述两对驱动电机设置于所述第一负载托盘上,所述模拟镜托设置于所述两对驱动电机上,所述两对驱动电机根据接收到的电信号驱动所述模拟镜托运动;
所述测量模块用于测量所述模拟镜托的运动数据,以对所述待测量的柔性支承结构进行不同的测试。
所述两对驱动电机交叉设置。
所述两对驱动电机用于分别驱动所述模拟镜托在多个方向上运动。
所述测量模块包括设置于所述第一负载托盘上的位移传感器组件,所述位移传感器组件包括两对位移传感器,所述位移传感器与所述驱动电机一一对应设置;
所述两对位移传感器分别测量所述模拟镜托在多个方向上运动的位移量。
还包括限位组件,所述限位组件包括多个机械限位件;
所述多个机械限位件沿所述柔性支承兼容组件的周向均匀布置,以对所述模拟镜托进行限位。
还包括第二负载托盘,所述第一负载托盘设置于所述第二负载托盘上;
所述测量模块还包括光电自准值仪,所述光电自准值仪设置于所述第二负载托盘上,所述光电自准值仪基于所述模拟镜托运动产生的光线角度变化以测量所述模拟镜托的偏转角。
所述柔性支承兼容组件包括相互垂直设置且固定连接或者一体成型的两个固定支座,每个所述固定支座上均设置有若干连接孔,所述若干连接孔用于适配多种不同规格的柔性支撑结构。
还包括壳体,所述第二负载托盘设置在所述壳体上。
一种快反镜用柔性支承结构的测试方法,使用如上所述的快反镜用柔性支承结构的测试装置进行柔性支承结构的测试。
所述测试方法包括对所述柔性支撑结构的刚度的合格情况进行测试,具体步骤如下:
对其中一对所述驱动电机施加出力电流并使另一对所述驱动电机保持稳态以驱动所述模拟镜托运动;
采用所述测量模块实时测量所述模拟镜托的偏转角度;
采用公式F1=ke1I1和公式F2=ke2I2分别计算被施加出力电流的两个所述驱动电机的出力大小,其中,F1、ke1和I1分别为其中一个被施加出力电流的所述驱动电机的出力大小、电机常数和出力电流,F2、ke2和I2分别为另一个被施加出力电流的所述驱动电机的出力大小、电机常数和出力电流;
采用公式M=F1R1+F2R2计算对所述模拟镜托施加的力矩M,其中,R1、R2分别为被施加出力电流的两个所述驱动电机的节圆半径;
采用公式k=M/θ计算所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k,其中,θ为所述模拟镜托的偏转角度;
判断所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k是否大于或等于刚度预设值且不大于所述刚度预设值的110%;
如果所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k大于或等于所述刚度预设值且不大于所述刚度预设值的110%,则所述柔性支撑结构测试合格;
如果所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k小于所述刚度预设值或者大于所述刚度预设值的110%,则所述柔性支撑结构测试不合格。
所述使另一对所述驱动电机保持稳态,包括:
向另一对所述驱动电机施加稳态电流或者不向另一对所述驱动电机施加电流。
所述测试方法还包括对所述柔性支撑结构的垂直度的合格情况进行测试,具体步骤如下:
在开环模式下,对其中一对所述驱动电机施加预设频率和预设幅值的正弦波信号并使另一对所述驱动电机保持稳态以使所述模拟镜托在预设方向上进行正弦运动;
采用所述光电自准值仪测量所述模拟镜托的运动情况;
根据所述运动情况生成运动曲线并判断所述模拟镜托在区别于所述模拟镜托所在平面方向上的垂直方向上是否也在正弦运动;
若是,则所述柔性支承结构的垂直度不合格;
若否,则所述柔性支承结构的垂直度合格。
本发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果:
本发明提供的快反镜用柔性支承结构的测试装置通过设置柔性支承兼容组件、第一负载托盘、测量模块、模拟镜托和两对驱动电机,所述两对驱动电机根据接收到的电信号驱动所述模拟镜托运动,所述测量模块用于测量所述模拟镜托的运动数据,以对所述待测量的柔性支承结构进行不同的测试。根据所述测量模块测量的数据对所述待测量的柔性支承结构进行分析,从而判断所述待测量的柔性支承结构是否符合要求,实现了在装配快反镜之前对柔性支承结构的性能进行测试,提前发现并解决问题,避免了快反镜装配完成后由于柔性支承结构性能不达标,从而需要反复拆装检修的问题。
本发明提供的快反镜用柔性支承结构的测试方法使用上述的快反镜用柔性支承结构的测试装置对待测试的柔性支承进行测试,通过对所述柔性支撑结构的刚度的合格情况以及对所述柔性支撑结构的垂直度的合格情况进行测试,从而判断所述待测量的柔性支承结构是否符合要求,实现了在装配快反镜之前对柔性支承结构的性能进行测试,提前发现并解决问题,避免了快反镜装配完成后由于柔性支承结构性能不达标,从而需要反复拆装检修的问题。
附图说明
图1示出了本发明一个实施方式的快反镜用柔性支承结构的测试装置整体结构示意图。
图2示出了本发明一个实施方式的快反镜用柔性支承结构的测试装置部分结构示意图。
图3示出了本发明一个实施方式的耦合情况合格波形示意图。
图4示出了本发明一个实施方式的耦合情况不合格波形示意图。
图5示出了本发明一个实施方式的驱动电机阶跃性能合格的波形示意图。
图6示出了本发明一个实施方式的阶跃响应不合格波形示意图。
附图标记说明:
1-柔性支承兼容组件;2-第一负载托盘;3-测量模块;31-位移传感器;32-光电自准值仪;4-模拟镜托;5-驱动电机;6-机械限位件;7-第二负载托盘;8-壳体。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面结合具体实施方式并参照附图,对本发明进一步详细说明。应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本发明的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本发明的概念。
显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
以下将参照附图更详细地描述本发明。在各个附图中,相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见,附图中的各个部分没有按比例绘制。
为了实现小范围内偏转的支承结构,并使其具备高分辨率、体积小、无摩擦等性能,开发出柔性支承这种新型的科技性铰链,利用弹性材料微小形变及其自回复的特性,消除了传统过程中的空程和机械摩擦,来获得超高的位移分辨率,柔性支承被广泛应用于精密仪器快速反射镜,陀螺仪之中。
因此对于一个装置,柔性支承结构的性能以及装配情况非常重要,所以一款设备在装配完成后一定要进行相关测试,例如一款快反镜装配完成后,需要测量其角度偏转和电机出力对应大小,测试柔性支撑结构的刚度的合格情况,还有当一个轴运动时对另一个轴是否有影响,即两轴的耦合程度。如发现不合格现象,则需要对机械结构重新进行调整并再次测试,而这一拆卸过程非常麻烦。为了解决上述问题,本发明提供了一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法,可以在装配快反镜之前对柔性支承结构的性能进行测试,提前发现并解决问题。
参照图1和图2,本发明提供了一种快反镜用柔性支承结构的测试装置,包括:柔性支承兼容组件1、第一负载托盘2、测量模块3、模拟镜托4、两对驱动电机5、限位组件、第二负载托盘7、壳体8;
柔性支承兼容组件1设置于第一负载托盘2上,用于固定待测量的柔性支承结构;
柔性支承兼容组件1包括相互垂直设置且固定连接或者一体成型的两个固定支座,每个固定支座上均设置有若干连接孔,若干连接孔用于适配多种不同规格待测量的柔性支撑结构。
柔性支撑结构与模拟镜托4采用螺栓连接。
优选地,不同规格待测量的柔性支撑结构具体为长度、宽度和/或厚度不同的一字型柔性支撑结构,当然,上述不同规格待测量的柔性支撑结构仅是示例性的,本领域技术人员可以对此进行灵活地设置。
第一负载托盘2设置于第二负载托盘7上,采用螺栓连接。
测量模块3包括位移传感器组件,位移传感器组件设置在第一负载托盘2上;
位移传感器组件包括两对位移传感器31,位移传感器31与驱动电机5一一对应设置,两对位移传感器31分别用于测量模拟镜托4在多个方向上运动的位移量;
优选地,两对位移传感器31可以直接测量模拟镜托4的直线位移,同时通过成对设置,避免测量误差同时,一个传感器损坏时,另一个可以保证继续工作。
测量模块3还包括光电自准值仪32,光电自准值仪32设置在第二负载托盘7上,用于检测模拟镜托4运动产生的光线角度变化以测量模拟镜托4的偏转角度。
优选地,光电自准值仪32还可以替换为PSD光电探测器。
优选地,光电自准值仪32或PSD光电探测器通过链接示波器,观察模拟镜托4在角度摆动过程中的运动曲线形态。
模拟镜托4设置于两对驱动电机5上,由两对驱动电机5根据接收到的电信号驱动模拟镜托4运动;
在一种实施方式中,模拟镜托4包括:中心模拟镜片结构和外圈镜托结构,中心模拟镜片结构与外圈镜托结构通过螺栓固定连接;
中心模拟镜片结构通过螺栓依次与待测量的柔性支撑结构以及柔性支承兼容组件1连接。
两对驱动电机5设置于第一负载托盘2上,两对驱动电机5两两相对设置在柔性支承兼容组件1的四周,用于驱动模拟镜托4在多个方向上运动;
优选地,两对驱动电机5与第一负载托盘2可以使用螺栓固定,也可以是通过卡扣等方式固定;
优选地,驱动电机5为矩形动磁电机。
限位组件包括多个机械限位件6,多个机械限位件6沿柔性支承兼容组件1的周向均匀布置设置在第一负载托盘2上。
优选地,多个机械限位件6与驱动电机5间隔布置。
优选地,所有的机械限位件6等高设置,用于对限制模拟镜托4的运动范围。
优选地,多个机械限位件6的材料为聚醚醚酮(PEEK)材料。
第二负载托盘7设置在壳体8上,第二负载托盘7与壳体8通过螺栓连接。
在使用时,本发明提供的快反镜用柔性支承结构的测试装置通过设置柔性支承兼容组件1、第一负载托盘2、测量模块3、模拟镜托4和两对驱动电机5,两对驱动电机5根据接收到的电信号驱动模拟镜托4运动,测量模块3用于测量模拟镜托4的运动数据,以对待测量的柔性支承结构进行不同的测试。根据测量模块测量的数据对待测量的柔性支承结构进行分析,从而判断待测量的柔性支承结构是否符合要求,实现了在装配快反镜之前对柔性支承结构的性能进行测试,提前发现并解决问题,避免了快反镜装配完成后由于柔性支承结构性能不达标,从而需要反复拆装检修的问题。
本发明的另一方面提供了一种快反镜用柔性支承结构的测试方法,使用上述的快反镜用柔性支承结构的测试装置对待测量的柔性支承结构进行不同的测试,包括:通过测试驱动电机5的转矩来测试柔性支撑结构的刚度是否合格,通过测试驱动电机5的耦合情况来测试柔性支撑结构的垂直度的是否合格。
测试方法包括对柔性支撑结构的刚度的合格情况进行测试,具体步骤如下:
对其中一对驱动电机5施加出力电流并使另一对驱动电机5保持稳态以驱动模拟镜托运动;
优选地,用于驱动模拟镜托4运动一对驱动电机5的节圆半径可以不同,对其中一对驱动电机5施加出力电流的大小也可以不同。
采用测量模块3实时测量模拟镜托4的偏转角度;
采用公式F1=ke1I1和公式F2=ke2I2分别计算被施加出力电流的两个驱动电机5的出力大小,其中,F1、ke1和I1分别为其中一个被施加出力电流的驱动电机5的出力大小、电机常数和出力电流,F2、ke2和I2分别为另一个被施加出力电流的驱动电机5的出力大小、电机常数和出力电流;
采用公式M=F1R1+F2R2计算对模拟镜托4施加的力矩M,其中,R1、R2分别为被施加出力电流的两个驱动电机5的节圆半径;
采用公式k=M/θ计算柔性支撑结构的实际扭转刚度k,其中,θ为模拟镜托4的偏转角度;
判断柔性支撑结构的实际扭转刚度k是否大于或等于刚度预设值且不大于刚度预设值的110%;
如果柔性支撑结构的实际扭转刚度k大于或等于刚度预设值且不大于刚度预设值的110%,则柔性支撑结构测试合格;
如果柔性支撑结构的实际扭转刚度k小于刚度预设值或者大于刚度预设值的110%,则柔性支撑结构测试不合格。
使另一对驱动电机5保持稳态,包括:
向另一对驱动电机5施加稳态电流或者不向另一对驱动电机5施加电流。
测试方法还包括对柔性支撑结构的垂直度的合格情况进行测试,具体步骤如下:
在开环模式下,对其中一对驱动电机5施加预设频率和预设幅值的正弦波信号使模拟镜托4在预设方向上进行正弦运动;
向另一对驱动电机5施加稳态电流或者不向另一对驱动电机5施加电流。
采用光电自准值仪32测量模拟镜托4的运动情况,或者用PSD光电探测器替代光电自准值仪32来测量模拟镜托4的运动情况。
根据运动情况生成运动曲线并判断模拟镜托4在区别于模拟镜托所在平面方向上的垂直方向上是否也在正弦运动;
若是,则柔性支承结构的垂直度不合格;
若否,则柔性支承结构的垂直度合格。
优选地,光电自准值仪32或PSD光电探测器通过链接示波器来观察根据运动情况生成的运动曲线。
在一种实施例中,
参考图2、图3和图4,在开环模式下,给位于X轴方向的一对驱动电机5施加一个100Hz的频率和5V的电压,给Y轴方向的一对驱动电机5施加稳态电流或者不对Y轴方向的一对驱动电机5施加电流,使模拟镜托4在预设方向上进行正弦运动,当然,上述的频率和电压仅是示例性的,本领域技术人员可以对此进行灵活地设置;
采用光电自准值仪32测量模拟镜托4的运动情况;
将光电自准值仪32与示波器连接,观察模拟镜托4的运动曲线;
参考图3,当模拟镜托4在X轴方向的运动曲线为正弦波,在Y轴的运动曲线为一条水平的直线,说明X轴和Y轴的运动是互不影响的,也就是说X轴和Y轴没有耦合,柔性支承结构的垂直度合格;
参考图4,当模拟镜托4在X轴方向的运动曲线为正弦波,在Y轴的运动曲线也为正弦波时,说明X轴和Y轴的运动是互相影响的,也就是说X轴和Y轴发生了耦合,柔性支承结构的垂直度不合格。
本发明提供的快反镜用柔性支承结构的测试方法使用上述的快反镜用柔性支承结构的测试装置对待测量的柔性支承进行测试,通过对柔性支撑结构的刚度的合格情况以及对柔性支撑结构的垂直度的合格情况进行测试,从而判断待测量的柔性支承结构是否符合要求,实现了在装配快反镜之前对柔性支承结构的性能进行测试,提前发现并解决问题,避免了快反镜装配完成后由于柔性支承结构性能不达标,从而需要反复拆装检修的问题。
在一种实施例中,
参考图2、图5和图6,本实施例提供的一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法,还应用于测试驱动电机5的阶跃性能是否合格,具体步骤如下:
在X轴和Y轴没有发生耦合以及在闭环控制的情况下,给位于X轴方向的一对驱动电机5施加一个100Hz的频率、10″的幅值和5V的电压,给Y轴方向的一对驱动电机5施加稳态电流或者不对Y轴方向的一对驱动电机5施加电流,使模拟镜托4在预设的两个固定位置之间进行阶跃运动,当然,上述的频率、幅值和电压仅是示例性的,本领域技术人员可以对此进行灵活地设置。
采用光电自准值仪32测量模拟镜托4的运动情况;
将光电自准值仪32与示波器连接,观察模拟镜托4的运动曲线;
参考图5,当模拟镜托4在X轴方向的运动曲线为正弦波,且幅值波动小于等于10″,同时模拟镜托4在Y轴的运动曲线为一条水平的直线时,说明电机的阶跃性能是合格的;
参考图6,当模拟镜托4在X轴方向的运动曲线为正弦波,且幅值波动大于10″,同时模拟镜托4在Y轴的运动曲线也为正弦波,且幅值波动大于10″,说明驱动电机5的阶跃性能是不合格的。
在使用时,本实施例提供的一种快反镜用柔性支承结构的测试装置及测试方法,测试驱动电机5的阶跃性能是否合格时,在X轴和Y轴没有发生耦合以及在闭环控制的情况下,给位于X轴方向的一对驱动电机5施加一个100Hz的频率、10″的幅值和5V的电压,给Y轴方向的一对驱动电机5施加稳态电流或者不施加电流,使模拟镜托4在预设的两个固定位置之间进行阶跃运动;当运动到阶跃的固定位置时,镜面迅速在固定位置达到稳定,这样就可以证明驱动电机5的阶跃性能是合格的。
通过上述方法可以测量得到驱动电机5的阶跃性能测试结果,用于测试快反镜用柔性支承结构的测试装置是否符合要求,实现了对快反镜用柔性支承结构的测试装置中驱动电机5的阶跃性能进行测试,提前发现并解决问题,避免了进行柔性支承结构性能测试时,快反镜用柔性支承结构的测试装置可能存在的问题。
应当理解的是,本发明的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本发明的原理,而不构成对本发明的限制。因此,在不偏离本发明的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。此外,本发明所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。
以上参照本发明的实施例对本发明予以了说明。但是,这些实施例仅仅是为了说明的目的,而并非为了限制本发明的范围。本发明的范围由所附权利要求及其等价物限定。不脱离本发明的范围,本领域技术人员可以做出多种替换和修改,这些替换和修改都应落在本发明的范围之内。
尽管已经详细描述了本发明的实施方式,但是应该理解的是,在不偏离本发明的精神和范围的情况下,可以对本发明的实施方式做出各种改变、替换和变更。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种快反镜用柔性支承结构的测试装置,其特征在于,包括:柔性支承兼容组件(1)、第一负载托盘(2)、测量模块(3)、模拟镜托(4)和两对驱动电机(5);所述柔性支承兼容组件(1)设置于所述第一负载托盘(2)上,用于固定待测量的柔性支承结构,所述待测量的柔性支承结构与所述模拟镜托(4)连接;
所述两对驱动电机(5)设置于所述第一负载托盘(2)上,所述模拟镜托(4)设置于所述两对驱动电机(5)上,所述两对驱动电机(5)根据接收到的电信号驱动所述模拟镜托(4)运动;
所述测量模块(3)用于测量所述模拟镜托(4)的运动数据,以对所述待测量的柔性支承结构进行不同的测试;
所述测量模块(3)包括设置于所述第一负载托盘(2)上的位移传感器组件,所述位移传感器组件包括两对位移传感器(31),所述位移传感器(31)与所述驱动电机(5)一一对应设置;
所述两对位移传感器(31)分别测量所述模拟镜托(4)在多个方向上运动的位移量;
所述柔性支承兼容组件(1)包括相互垂直设置且固定连接或者一体成型的两个固定支座,每个所述固定支座上均设置有若干连接孔,所述若干连接孔用于适配多种不同规格的柔性支撑结构。
2.根据权利要求1所述的快反镜用柔性支承结构的测试装置,其特征在于,所述两对驱动电机(5)交叉设置;
所述两对驱动电机(5)用于分别驱动所述模拟镜托(4)在多个方向上运动。
3.根据权利要求1所述的快反镜用柔性支承结构的测试装置,其特征在于,还包括限位组件,所述限位组件包括多个机械限位件(6);
所述多个机械限位件(6)沿所述柔性支承兼容组件(1)的周向均匀布置,以对所述模拟镜托(4)进行限位。
4.根据权利要求1所述的快反镜用柔性支承结构的测试装置,其特征在于,还包括第二负载托盘(7),所述第一负载托盘(2)设置于所述第二负载托盘(7)上;
所述测量模块(3)还包括光电自准值仪(32),所述光电自准值仪(32)设置于所述第二负载托盘(7)上,所述光电自准值仪(32)基于所述模拟镜托(4)运动产生的光线角度变化以测量所述模拟镜托(4)的偏转角。
5.根据权利要求4所述的快反镜用柔性支承结构的测试装置,其特征在于,
还包括壳体(8),所述第二负载托盘(7)设置在所述壳体(8)上。
6.一种快反镜用柔性支承结构的测试方法,使用权利要求1-5任意一项所述的快反镜用柔性支承结构的测试装置进行柔性支承结构的测试,其特征在于,
所述测试方法包括对所述柔性支撑结构的刚度的合格情况进行测试,具体步骤如下:
对其中一对所述驱动电机(5)施加出力电流并使另一对所述驱动电机(5)保持稳态以驱动所述模拟镜托(4)运动;
采用所述测量模块(3)实时测量所述模拟镜托(4)的偏转角度;
采用公式F1=ke1I1和公式F2=ke2I2分别计算被施加出力电流的两个所述驱动电机(5)的出力大小,其中,F1、ke1和I1分别为其中一个被施加出力电流的所述驱动电机(5)的出力大小、电机常数和出力电流,F2、ke2和I2分别为另一个被施加出力电流的所述驱动电机(5)的出力大小、电机常数和出力电流;
采用公式M=F1R1+F2R2计算对所述模拟镜托(4)施加的力矩M,其中,R1、R2分别为被施加出力电流的两个所述驱动电机(5)的节圆半径;
采用公式k=M/θ计算所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k,其中,θ为所述模拟镜托(4)的偏转角度;
判断所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k是否大于或等于刚度预设值且不大于所述刚度预设值的110%;
如果所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k大于或等于所述刚度预设值且不大于所述刚度预设值的110%,则所述柔性支撑结构测试合格;
如果所述柔性支撑结构的实际扭转刚度k小于所述刚度预设值或者大于所述刚度预设值的110%,则所述柔性支撑结构测试不合格。
7.根据权利要求6所述的快反镜用柔性支承结构的测试方法,其特征在于,所述使另一对所述驱动电机(5)保持稳态,包括:
向另一对所述驱动电机(5)施加稳态电流或者不向另一对所述驱动电机(5)施加电流。
8.根据权利要求6所述的快反镜用柔性支承结构的测试方法,其特征在于,所述测试方法还包括对所述柔性支撑结构的垂直度的合格情况进行测试,具体步骤如下:
在开环模式下,对其中一对所述驱动电机(5)施加预设频率和预设幅值的正弦波信号并使另一对所述驱动电机(5)保持稳态以使所述模拟镜托(4)在预设方向上进行正弦运动;
采用所述测量模块(3)测量所述模拟镜托(4)的运动情况;
根据所述运动情况生成运动曲线并判断所述模拟镜托(4)在区别于所述模拟镜托(4)所在平面方向上的垂直方向上是否也在正弦运动;
若是,则所述柔性支承结构的垂直度不合格;
若否,则所述柔性支承结构的垂直度合格。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5178017A (en) * 1991-09-30 1993-01-12 Chicago Rawhide Manufacturing Company Test fixture for measuring stiffness in flexible materials
WO2002057732A2 (en) * 2001-01-19 2002-07-25 Massachusetts Institute Of Technology Characterization of compliant structure force-displacement behaviour
CN109164385A (zh) * 2018-07-26 2019-01-08 广东工业大学 刚度可调音圈电机带载测试平台
CN109374241A (zh) * 2018-10-29 2019-02-22 天津大学 一种柔性铰链静刚度的测量装置
CN110501125A (zh) * 2019-08-16 2019-11-26 天津大学 一种柔性支撑扭转刚度参数简易测试装置及测试方法
CN112051043A (zh) * 2020-08-28 2020-12-08 江西理工大学 柔顺机构疲劳试验***

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5178017A (en) * 1991-09-30 1993-01-12 Chicago Rawhide Manufacturing Company Test fixture for measuring stiffness in flexible materials
WO2002057732A2 (en) * 2001-01-19 2002-07-25 Massachusetts Institute Of Technology Characterization of compliant structure force-displacement behaviour
CN109164385A (zh) * 2018-07-26 2019-01-08 广东工业大学 刚度可调音圈电机带载测试平台
CN109374241A (zh) * 2018-10-29 2019-02-22 天津大学 一种柔性铰链静刚度的测量装置
CN110501125A (zh) * 2019-08-16 2019-11-26 天津大学 一种柔性支撑扭转刚度参数简易测试装置及测试方法
CN112051043A (zh) * 2020-08-28 2020-12-08 江西理工大学 柔顺机构疲劳试验***

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
快速反射镜两轴柔性支承设计;鲁亚飞等;《光学精密工程》;20101215(第12期);第59-67页 *
快速反射镜机械结构特性设计问题研究;鲁亚飞;《中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅱ辑》;20111215(第S2期);第36, 65-70页 *

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