CN117790372B - 应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及温度测量技术领域，具体说是一种应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置。它的特点是包括短圆筒状的壳体，壳体的口部固定有盖板，壳体内腔的底部设置有不少于两个同心环，同心环均与壳体间呈同心设置，同心环与壳体底部间均呈周向转动、轴向固定状配合，同心环上方的盖板上沿对应同心环的周向均布有通孔，通孔内均有测温头，测温头与对应的同心环间均有连动机构，同心环转动，对应的测温头在通孔内上、下活动，测温头伸出、进入通孔，壳体上有驱动装置，用于驱动同心环转动。该测量装置的自动化程度高，测温头的使用寿命长。

Description

应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置

技术领域

本发明涉及温度测量技术领域，具体说是一种应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置。

背景技术

在半导体行业内都知道，晶圆在刻蚀机中加工过程中需要对晶圆的制程温度进行检测。

目前，行业内对晶圆温度的制程温度进行检测的方式有两种。第一种是在晶圆的背面贴上测温纸，待晶圆完成刻蚀后，取下测温纸观察制程的最高温。这种方式只能得知整个刻蚀制程的最高温度，无法了解制程中每一步完成后的过程温度。第二种，如图11所示，是在晶圆的背面贴上多个测温头。这种方式虽然可以得到制程中每一步完成后过程温度，但是，每次刻蚀均需要人工手动贴上测温头，消耗的人力较多，自动化程度低。而且，测温头始终与晶圆接触，晶圆在刻蚀时，表面温度较高，测温头长期在高温下工作，使用寿命较短。

发明内容

发明要解决的技术问题是提供一种应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，该测量装置的自动化程度高，测温头的使用寿命长。

为解决上述问题，提供以下技术方案：

本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置的特点是包括短圆筒状的壳体，所述壳体的口部固定有盖板。所述壳体内腔的底部设置有不少于两个同心环，同心环均与壳体间呈同心设置，同心环与壳体底部间均呈周向转动、轴向固定状配合。所述同心环上方的盖板上沿对应同心环的周向均布有通孔，通孔内均有测温头，测温头与对应的同心环间均有连动机构，同心环转动，对应的测温头在通孔内上、下活动，测温头伸出、进入通孔；所述壳体上有驱动装置，用于驱动同心环转动。

其中，除了最内侧的同心环之外，所述驱动装置与同心环间均有离合机构，使得驱动装置与同心环间呈连动、脱离状态。所述驱动装置转动时，与驱动装置处于连动状态下的同心环对应的测温头同步上、下活动。

所述连动机构包括固定在同心环上表面的推动块，推动块的上表面呈螺旋向上布置。所述通孔内腔中均有环形凸缘，环形凸缘上方的通孔内均有活动柱，活动柱与对应的通孔间呈上、下滑动状配合，所述活动柱下端固定有连接柱，连接柱下端穿过环形凸缘与对应的推动块上表面相抵，连接柱与环形凸缘间呈滑动状配合，环形凸缘上端面与活动柱下表面间设置有拉伸弹簧。所述测温头位于活动柱的上端处。同心环带动推动块向推动块上表面的高端方向转动时，推动块通过连接柱推动活动柱向上运动，拉伸弹簧被拉伸，同心环带动推动块向推动块上表面的矮端方向转动时，拉伸弹簧带动活动柱向下运动。

所述活动柱的上端面上有盲孔，所述测温头位于盲孔内，测温头与盲孔间呈上、下滑动状配合，测温头与凹坑坑底间有压缩弹簧，在压缩弹簧处于未收外力作用下，测温头的检测面从凹坑的口部伸出在外。

所述连接柱下端固定有L形的过渡杆，过渡杆对应的推动块上有缺口，过渡杆与缺口间呈自由活动状配合，过渡杆的横部外端对应的推动块内有空腔，空腔通过万向机构连接有由导电材料制成的第一导电片，过渡杆的横部外端对应缺口侧壁上有与空腔相连通的让位孔，过渡杆的横部外端穿过让位孔伸入到空腔中，过渡杆与让位孔间呈自由活动状配合，过渡杆的横部外端固定有由导电材料制成的第一取电片，第一取电片与第一导电片滑动相抵。所述同心环对应的壳体内腔的底部均有弧形凹槽，弧形凹槽内固定有第二导电片，弧形凹槽对应的同心环底部有向下伸出的凸出部，凸出部下端有第二取电片，第二取电片与第二导电片相抵；所述测温头与对应的第一取电片间均有第一导线，第一导线一头与测温头相连，第一导线的另一头依次从内部穿过活动柱、连接柱和过渡杆后与第一导电片相连，所述第一导电片与对应的第二取电片间均有第二导线，第二导线的一头与第一导电片相连，第二导线的另一头依次从内部穿过同心环和凸出部后与第二取电片相连。

所述万向机构包括固定在第一导电片后方的圆球和位于空腔内壁上的支座，所述支座上有球孔，所述圆球与球孔相适配，且圆球一侧呈滑动状位于球孔内。

所述驱动装置包括固定在壳体底部外表面上的条形柜，条形柜横跨所有同心环；所述条形柜内有沿其纵向布置的转轴，转轴两端与条形柜间呈周向转动、轴向固定状配合，条形柜上有用于驱动转轴转动的电机。所述同心环内侧的壳体底部均有竖直布置的传动轴，传动轴与壳体底部间呈周向转动、轴向固定状配合。所述同心环内侧壁上同心一体设置有齿圈，所述传动轴上端同心固定有锥形的上传动齿轮，上传动齿轮与对应的同心环齿圈啮合在一起；所述传动轴下端同心固定有锥形的下传动齿轮，下传动齿轮一则的转轴上均设置有锥形的主动齿轮，最内侧的主动齿轮与转轴间呈固定连接，其它主动齿轮与转轴间呈周向固定、轴向滑动状配合，所述离合机构为用于驱动主动齿轮在转轴上滑动，使得主动齿轮与对应的下传动齿轮啮合、分离。所述上传动齿轮与对应齿圈的传速比相适配，使得上传动齿轮带动对应的同心环转动时，转动的同心环上的测温头同步上、下活动。

所述转轴外圆面上有沿其纵向布置的导向槽，主动齿轮均呈滑动状套在导向槽对应的那段转轴上，导向槽对应的主动齿轮内周面上有凸台，凸台呈滑动状位于导向槽内，使得主动齿轮与转轴间呈周向固定、轴向滑动状配合。

所述离合机构包括位于转轴一侧的丝杆，丝杆与转轴平行，丝杆两端与条形柜两端间呈周向转动、轴向固定状配合。所述主动齿轮对应的丝杆上均螺纹连接有顶块，顶块与条形柜间呈沿条形柜的纵向滑动状配合；丝杆向一侧转动，顶块沿丝杆的纵向活动，自外径最大的那个同心环到外径最小的那个同心环，顶块先后推动对应的主动齿轮离开下传动齿轮。所述主动齿轮与条形柜间均有复位机构，丝杆向另一侧转动，顶块复位，复位机构带动对应的主动齿轮复位，主动齿轮与对应的下传动齿轮啮合。

所述复位机构含有挡板，挡板与所述条形柜呈固定连接，挡板均与所述转轴垂直，挡板分别位于远离下传动齿轮的主动齿轮一侧，挡板均空套在所述丝杆和转轴上，主动齿轮与对应的挡板间均有复位弹簧。远离下传动齿轮的那个主动齿轮侧面上均有传动板，传动板与对应的主动齿轮间呈轴向固定、周向转动状配合，传动板与条形柜间均呈沿条形柜的纵向滑动状配合，传动板均空套在所述丝杆上。在所述顶块均处于初始位置时，顶块到对应传动板间侧距离自外径最大的那个同心环到外径最小的那个同心环逐渐变大。

采取以上方案，具有以下优点：

由于本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置的壳体的口部固定有盖板，壳体内腔的底部设置有不少于两个同心环，同心环上方的盖板上沿对应同心环的周向均布有通孔，通孔内均有测温头，测温头与对应的同心环间均有连动机构，同心环转动，对应的测温头在通孔内上、下活动，测温头伸出、进入通孔，壳体上有驱动同心环转动的驱动装置。使用时，将该温度测量装置安装到刻蚀机的相应位置。需要测温时，通过驱动装置带动同心环转动，使得测温头穿过通孔和卡盘与晶圆相抵进行测温即可。采用该装置可对制程中每一步完成后的晶圆温度进行测量。同时，一次安装到刻蚀机中后，通过驱动装置即可实现测温头与晶圆的贴合和离开。而无需每次均收到贴、剥测温头，大大减少人力的消耗，提高了自动化程度。而且，在刻蚀过程中无需测温时，测温头可离开晶圆，从而减少测温头在高温下的工作时间，延长了测温头的使用寿命。

附图说明

图1是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置的结构示意图；

图2是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置在隐藏盖板后的俯视示意图；

图3是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置的连接柱与通孔的剖视示意图；

图4是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置的推动块与测温头的连接示意图；

图5是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装中第一导电片和第一取电片的连接示意图；

图6是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置中在隐藏壳体、盖板、条形柜和电机后的仰视示意图；

图7是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置以转轴为轴心的半剖示意图(隐藏同心环以上的部件)；

图8是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置中驱动装置和离合装置与条形柜的连接示意图；

图9是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置与刻蚀机在第一种相连状态下的示意图；

图10是本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置与刻蚀机在第二种相连状态下的示意图。

图11是背景技术中第二种方案的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明做进一步详细说明。

如图1和图2所示，本发明的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置包括短圆筒状的壳体1，壳体1的口部固定有盖板2。壳体1内腔的底部设置有不少于两个同心环10，同心环10均与壳体1间呈同心设置，同心环10通过平面轴承与壳体1底部间均通过轴承呈周向转动、轴向固定状配合，平面轴承的安装方式属于公知常识，这里不再赘述。

如图1和图2所示，同心环10上方的盖板2上沿对应同心环10的周向均布有通孔3，通孔3内均有测温头4，测温头4可以是热敏电阻，也可以是其它类型的温度传感器，具体结构属于公知常识，这里不再赘述。测温头4与对应的同心环10间均有连动机构，同心环10转动，对应的测温头4在通孔3内上、下活动，测温头4伸出、进入通孔3。

如图2和图4所示，本实施例中，连动机构包括固定在同心环10上表面的推动块12，推动块12的上表面呈螺旋向上布置。通孔3内腔中均一体设置有环形凸缘18，环形凸缘18上方的通孔3内均有活动柱13，活动柱13与对应的通孔3间呈上、下滑动状配合，活动柱13下端固定有连接柱19，连接柱19下端穿过环形凸缘18与对应的推动块12上表面相抵，连接柱19与环形凸缘18间呈滑动状配合，环形凸缘18上端面与活动柱13下表面间设置有拉伸弹簧17，拉伸弹簧17的上端与活动柱13相固连，拉伸弹簧17的下端与环形凸缘18相固连。测温头4位于活动柱13的上端处。同心环10带动推动块12向推动块12上表面的高端方向转动时，连接柱19的在推动块12上表面向推动块12的高端移动，进而带动活动柱13向上运动，拉伸弹簧17被拉伸，同心环10带动推动块12向推动块12上表面的矮端方向转动时，连接柱19的在推动块12上表面向推动块12的矮端移动，拉伸弹簧17带动活动柱13向下运动。

如图1-3所示，本实施例中，活动柱13的上端面上有盲孔16，测温头4位于盲孔16内，测温头4与盲孔16间呈上、下滑动状配合，测温头4与凹坑坑底间有压缩弹簧15，在压缩弹簧15处于未收外力作用下，测温头4的检测面从凹坑的口部伸出在外。该结构可确保由于设计误差导致活动柱13的行程高度不一致时，所有需要的测温头4均与晶圆精密接触。即假设活动柱13的理论上升行程为50mm，由于存在设计误差，有些活动柱13可能上升48mm，有些活动柱13可能上升52mm，那上升48mm的那个测温头4与晶圆就无法接触，上升52mm可能出现卡死或者顶伤晶圆。那就可以利用压缩弹簧15与测温头4形成行程补偿，假设压缩弹簧15的可压缩量为15mm，将上升行程定位46mm，那所以有效的测温头4均可与晶圆紧密接触，且晶圆受到的作用力为弹簧的反弹力，而不是硬应力，从而即提高了测温的准确性，也保护了晶圆。

如图5所示，本实施例中，连接柱19下端固定有L形的过渡杆21，过渡杆21对应的推动块12上有缺口14，过渡杆21与缺口14间呈自由活动状配合，过渡杆21的横部外端对应的推动块12内有空腔25，空腔25通过万向机构连接有由导电材料制成的第一导电片27。万向机构包括固定在第一导电片27后方的圆球24和位于空腔25内壁上的支座23，支座23上有球孔，圆球24与球孔相适配，且圆球24一侧呈滑动状位于球孔内。过渡杆21的横部外端对应缺口14侧壁上有与空腔25相连通的让位孔，过渡杆21的横部外端穿过让位孔伸入到空腔25中，过渡杆21与让位孔间呈自由活动状配合，过渡杆21的横部外端固定有由导电材料制成的第一取电片22，第一取电片22与第一导电片27滑动相抵。同心环10对应的壳体1内腔的底部均有弧形凹槽，弧形凹槽内固定有第二导电片，弧形凹槽对应的同心环10底部有向下伸出的凸出部，凸出部下端有第二取电片，第二取电片与第二导电片相抵。测温头4与对应的第一取电片22间均有第一导线，第一导线一头与测温头4相连，第一导线的该头与测温头4间有余量，以便在测温头4伸缩时，不会绷紧线头。第一导线的另一头依次从内部穿过活动柱13、连接柱19和过渡杆21后与第一导电片27相连，第一导电片27与对应的第二取电片间均有第二导线，第二导线的一头与第一导电片27相连，第二导线的另一头依次从内部穿过同心环10和凸出部后与第二取电片相连。利用第一取电片22与第一导电片27和第二取电片与第二导电片的滑动配合，实现活动取电。同时，由于同心环10是周向旋转的，因而，第一取电片22与第一导电片27间不但有上下位移，还会存在左右位移，利用万向机构可确保移动过程中，第一取电片22与第一导电片27仍然紧密接触，保证取电效果。为了进一步保证紧密接触，本实施例中，圆球24四周的第一导电片27与空腔25内壁间还设置有弹簧26。

如图2和图6-8所示，本实施例中，壳体1上有驱动装置，用于驱动同心环10转动。驱动装置包括固定在壳体1底部外表面上的条形柜5，条形柜5横跨所有同心环10。条形柜5内有沿其纵向布置的转轴30，转轴30两端与条形柜5间通过轴承呈周向转动、轴向固定状配合，条形柜5上有用于驱动转轴30转动的电机35。同心环10内侧的壳体1底部均有竖直布置的传动轴7，传动轴7与壳体1底部间通过轴承呈周向转动、轴向固定状配合。同心环10内侧壁上同心一体设置有齿圈11，传动轴7上端同心固定有锥形的上传动齿轮8，上传动齿轮8与对应的同心环10齿圈11啮合在一起。传动轴7下端同心固定有锥形的下传动齿轮29，下传动齿轮29一侧的转轴30上均设置有锥形的主动齿轮31。上传动齿轮8与对应齿圈11的传速比相适配，使得上传动齿轮8带动对应的同心环10转动时，转动的同心环10上的测温头4同步上、下活动。由于同心环10的外径不同，那转动相同的角度走的弧形距离L是不同的，但是，为了减少非标件类型，降低加工成本，所有推动块12、连接柱19和活动柱13的结构是一致的，所有下传动齿轮29与主动齿轮31的传速比均一致，为了确保转动相同的角度，所有推动块12的行走距离一致，因而，需要将上传动齿轮8与对应齿圈11的传速比配对，具体配对参数，为本领域的惯用技术手段，这里不再赘述。

如图6-8所示，最内侧的主动齿轮31与转轴30间呈固定连接，其它主动齿轮31与转轴30间呈周向固定、轴向滑动状配合。本实施例中，转轴30外圆面上有沿其纵向布置的导向槽28，主动齿轮31均呈滑动状套在导向槽28对应的那段转轴30上，导向槽28对应的主动齿轮31内周面上有凸台，凸台呈滑动状位于导向槽28内，使得主动齿轮31与转轴30间呈周向固定、轴向滑动状配合。除了最内侧的同心环10之外，所述驱动装置与同心环10间均有离合机构。离合机构为用于驱动主动齿轮31在转轴30上滑动，使得主动齿轮31与对应的下传动齿轮29啮合、分离。驱动装置转动时，与驱动装置处于连动状态下的同心环10对应的测温头4同步上、下活动。利用离合机构可在加工晶圆外径较小的晶圆时，将外径大于晶圆的同心环10与驱动装置分离，减少测试时不必要的数据过滤，同时减少这部分测温头4的工作温度，提高这部分测温头4的使用寿命。

如图6-8所示，离合机构包括位于转轴30一侧的丝杆37，丝杆37与转轴30平行，丝杆37两端与条形柜5两端间通过轴承呈周向转动、轴向固定状配合。主动齿轮31对应的丝杆37上均螺纹连接有顶块36，顶块36与条形柜5间呈沿条形柜5的纵向滑动状配合，顶块36与条形柜5间可通过导轨和滑块实现滑动状配合，具体连接方式属于公知常识，这里不再赘述。丝杆37向一侧转动，顶块36沿丝杆37的纵向活动，自外径最大的那个同心环10到外径最小的那个同心环10，顶块36先后推动对应的主动齿轮31离开下传动齿轮29。主动齿轮31与条形柜5间均有复位机构，丝杆37向另一侧转动，顶块36复位，复位机构带动对应的主动齿轮31复位，主动齿轮31与对应的下传动齿轮29啮合。

如图6-8所示，复位机构含有挡板34，挡板34与条形柜5呈固定连接，挡板34均与转轴30垂直，挡板34分别位于远离下传动齿轮29的主动齿轮31一侧，挡板34均空套在丝杆37和转轴30上，主动齿轮31与对应的挡板34间均有复位弹簧3315。远离下传动齿轮29的那个主动齿轮31侧面上均有传动板32，传动板32与对应的主动齿轮31间通过平面轴承呈轴向固定、周向转动状配合，传动板32与条形柜5间均呈沿条形柜5的纵向滑动状配合，传动板32均空套在丝杆37上。传动板32与条形柜5可通过导轨和滑块实现滑动状配合，具体连接方式属于公知常识，这里不再赘述。在顶块36均处于初始位置时，顶块36到对应传动板32间侧距离自外径最大的那个同心环10到外径最小的那个同心环10逐渐变大，从而确保丝杆37转动，自外径最大的那个同心环10到外径最小的那个同心环10，顶块36先后推动对应的主动齿轮31离开下传动齿轮29。丝杆37的一端穿过条形柜5、伸出到壳体1外，且丝杆37的外伸端上固定有转动手柄6，位于便于直接得知已经有哪些顶块36推动主动齿轮31离开下传动齿轮29，可在手柄与条形柜5上设置标记，标记的具体设置方式，属于公知常识，这里不再赘述。

使用时，先将本发明的晶圆温度测量装置安装到刻蚀机的卡盘下方，在盖板2通孔3对应的卡盘38上均加工出便于测温头4穿过的孔，如图9所示。或者在盖板2上加装固定卡爪39或静电吸附组件，使得盖板2直接作为刻蚀机的卡盘，在壳体1外侧设置罩壳9，在罩壳9底部安装过渡块40，通过过渡块40直接与刻蚀机的床身20相连，如图10所示。接着，根据需要加工的晶圆外径，通过转动手柄6带动丝杆37转动相应的角度，使得大于晶圆的同心环10对应的顶块36推动传动板32带动主动齿轮31离开对应的下传动齿轮29。之后，进行正常的刻蚀工艺即可。需要测温时，控制电机35启动，电机35通过转轴30带动主动齿轮31转动，与主动齿轮31啮合的那部分下传动齿轮29通过转动轴带动上传动齿轮8转动，上传动齿轮8带动对应的齿圈11转动，同心环10带动推动块12向推动块12上表面的高端方向转动，连接柱19的在推动块12上表面向推动块12的高端移动，进而带动活动柱13向上运动，拉伸弹簧17被拉伸，直至，连接柱19的移动到推动块12上表面的高端处，测温头4与晶圆相抵，进行测温，即可得到当前温度信息。测温完成后，电机35通过转轴30带动主动齿轮31反转，与主动齿轮31啮合的那部分下传动齿轮29通过转动轴带动上传动齿轮8反转，上传动齿轮8带动对应的齿圈11反转，同心环10带动推动块12向推动块12上表面的矮端方向转动，连接柱19的在推动块12上表面向推动块12的矮端移动，拉伸弹簧17带动活动柱13向下运动，带动测温头4复位，以便等待下个制程的测温。如果需要获得连续温度，测温头4与晶圆相抵后，电机35即停止转动，通过丝杆37的自锁，测温头4始终与晶圆相抵即可进行连续测温。

Claims (8)

1.应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，包括短圆筒状的壳体，所述壳体的口部固定有盖板；所述壳体内腔的底部设置有不少于两个同心环，同心环均与壳体间呈同心设置，同心环与壳体底部间均呈周向转动、轴向固定状配合；所述同心环上方的盖板上沿对应同心环的周向均布有通孔，通孔内均有测温头，测温头与对应的同心环间均有连动机构，同心环转动，对应的测温头在通孔内上、下活动，测温头伸出、进入通孔；所述壳体上有驱动装置，用于驱动同心环转动；除了最内侧的同心环之外，所述驱动装置与同心环间均有离合机构，使得驱动装置与同心环间呈连动、脱离状态；所述驱动装置转动时，与驱动装置处于连动状态下的同心环对应的测温头同步上、下活动；所述连动机构包括固定在同心环上表面的推动块，推动块的上表面呈螺旋向上布置；所述通孔内腔中均有环形凸缘，环形凸缘上方的通孔内均有活动柱，活动柱与对应的通孔间呈上、下滑动状配合，所述活动柱下端固定有连接柱，连接柱下端穿过环形凸缘与对应的推动块上表面相抵，连接柱与环形凸缘间呈滑动状配合，环形凸缘上端面与活动柱下表面间设置有拉伸弹簧；所述测温头位于活动柱的上端处；同心环带动推动块向推动块上表面的高端方向转动时，推动块通过连接柱推动活动柱向上运动，拉伸弹簧被拉伸，同心环带动推动块向推动块上表面的矮端方向转动时，拉伸弹簧带动活动柱向下运动。

2.如权利要求1所述的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，所述活动柱的上端面上有盲孔，所述测温头位于盲孔内，测温头与盲孔间呈上、下滑动状配合，测温头与凹坑坑底间有压缩弹簧，在压缩弹簧处于未收外力作用下，测温头的检测面从凹坑的口部伸出在外。

3.如权利要求1所述的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，所述连接柱下端固定有L形的过渡杆，过渡杆对应的推动块上有缺口，过渡杆与缺口间呈自由活动状配合，过渡杆的横部外端对应的推动块内有空腔，空腔通过万向机构连接有由导电材料制成的第一导电片，过渡杆的横部外端对应缺口侧壁上有与空腔相连通的让位孔，过渡杆的横部外端穿过让位孔伸入到空腔中，过渡杆与让位孔间呈自由活动状配合，过渡杆的横部外端固定有由导电材料制成的第一取电片，第一取电片与第一导电片滑动相抵；所述同心环对应的壳体内腔的底部均有弧形凹槽，弧形凹槽内固定有第二导电片，弧形凹槽对应的同心环底部有向下伸出的凸出部，凸出部下端有第二取电片，第二取电片与第二导电片相抵；所述测温头与对应的第一取电片间均有第一导线，第一导线一头与测温头相连，第一导线的另一头依次从内部穿过活动柱、连接柱和过渡杆后与第一导电片相连，所述第一导电片与对应的第二取电片间均有第二导线，第二导线的一头与第一导电片相连，第二导线的另一头依次从内部穿过同心环和凸出部后与第二取电片相连。

4.如权利要求3所述的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，所述万向机构包括固定在第一导电片后方的圆球和位于空腔内壁上的支座，所述支座上有球孔，所述圆球与球孔相适配，且圆球一侧呈滑动状位于球孔内。

5.如权利要求1所述的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，所述驱动装置包括固定在壳体底部外表面上的条形柜，条形柜横跨所有同心环；所述条形柜内有沿其纵向布置的转轴，转轴两端与条形柜间呈周向转动、轴向固定状配合，条形柜上有用于驱动转轴转动的电机；所述同心环内侧的壳体底部均有竖直布置的传动轴，传动轴与壳体底部间呈周向转动、轴向固定状配合；所述同心环内侧壁上同心一体设置有齿圈，所述传动轴上端同心固定有锥形的上传动齿轮，上传动齿轮与对应的同心环齿圈啮合在一起；所述传动轴下端同心固定有锥形的下传动齿轮，下传动齿轮一则的转轴上均设置有锥形的主动齿轮，最内侧的主动齿轮与转轴间呈固定连接，其它主动齿轮与转轴间呈周向固定、轴向滑动状配合，所述离合机构为用于驱动主动齿轮在转轴上滑动，使得主动齿轮与对应的下传动齿轮啮合、分离；所述上传动齿轮与对应齿圈的传速比相适配，使得上传动齿轮带动对应的同心环转动时，转动的同心环上的测温头同步上、下活动。

6.如权利要求5所述的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，所述转轴外圆面上有沿其纵向布置的导向槽，主动齿轮均呈滑动状套在导向槽对应的那段转轴上，导向槽对应的主动齿轮内周面上有凸台，凸台呈滑动状位于导向槽内，使得主动齿轮与转轴间呈周向固定、轴向滑动状配合。

7.如权利要求5所述的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，所述离合机构包括位于转轴一侧的丝杆，丝杆与转轴平行，丝杆两端与条形柜两端间呈周向转动、轴向固定状配合；所述主动齿轮对应的丝杆上均螺纹连接有顶块，顶块与条形柜间呈沿条形柜的纵向滑动状配合；丝杆向一侧转动，顶块沿丝杆的纵向活动，自外径最大的那个同心环到外径最小的那个同心环，顶块先后推动对应的主动齿轮离开下传动齿轮；所述主动齿轮与条形柜间均有复位机构，丝杆向另一侧转动，顶块复位，复位机构带动对应的主动齿轮复位，主动齿轮与对应的下传动齿轮啮合。

8.如权利要求7所述的应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置，其特征在于，所述复位机构含有挡板，挡板与所述条形柜呈固定连接，挡板均与所述转轴垂直，挡板分别位于远离下传动齿轮的主动齿轮一侧，挡板均空套在所述丝杆和转轴上，主动齿轮与对应的挡板间均有复位弹簧；远离下传动齿轮的那个主动齿轮侧面上均有传动板，传动板与对应的主动齿轮间呈轴向固定、周向转动状配合，传动板与条形柜间均呈沿条形柜的纵向滑动状配合，传动板均空套在所述丝杆上；在所述顶块均处于初始位置时，顶块到对应传动板间侧距离自外径最大的那个同心环到外径最小的那个同心环逐渐变大。