CN117644470B - 用于抛光机的偏心驱动机构和抛光机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于抛光机的偏心驱动机构和抛光机，属于半导体设备技术领域，其中，偏心驱动机构包括：旋转套、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一驱动齿轮、第一连接板、第二连接板、第二驱动齿轮和第三驱动齿轮；本发明的偏心驱动机构，第一驱动齿轮与第二驱动齿轮和第三驱动齿轮进行传动时，能够使第二驱动齿轮和第三驱动齿轮围绕第一转轴进行旋转，其中第三驱动齿轮与旋转套的内壁传动配合，由于第一转轴与旋转套偏心设置，从而通过第三驱动齿轮能够带动旋转套围绕第一转轴进行偏心转动；当需要对旋转套的偏心转动幅度进行调节时，通过调节第一连接板和第二连接板的夹角，进而改变第一驱动齿轮与第三驱动齿轮之间的距离，实现对旋转套进行偏心转动时的偏心距的调节。

Description

用于抛光机的偏心驱动机构和抛光机

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种用于抛光机的偏心驱动机构和抛光机。

背景技术

自20世纪五六十年代化学气相沉积(CVD)金刚石制备技术问世，并在20世纪80年代获得快速发展以来，探索并应用金刚石材料的优良特性成为可能。首先，作为一种宽禁带半导体材料，金刚石可以用来制备功率器件、光电器件、金刚石基探测器和传感器、微机电和纳机电器件、半导体金刚石异质结等。其次，由于金刚石的传热机制是通过晶格振动传热，碳原子产生振动的量子能量较大，因此金刚石是自然界中热导率最高的物质，在散热领域具有巨大的应用潜力。

当金刚石作为晶圆衬底使用时，要求其表面粗糙度Ra低于3nm，同时具有亚微米级的面型精度，即金刚石表面需要达到超光滑、超平坦和无缺陷的水平，为此，需要使用金刚石抛光机对金刚石表面进行研磨抛光。相关技术中,金刚石抛光机包括多个压头、抛光盘和偏心驱动机构，压头将金刚石压合在抛光盘上，偏心驱动机构驱动抛光盘进行偏心转动，对金刚石进行抛光。

相关技术中金刚石抛光机由于偏心驱动机构的偏心距是固定的，使得抛光盘的偏心转动形式单一，不具备工艺更换调节或工艺调试功能，而且也无法加工不同尺寸的金刚石晶圆。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的抛光机的偏心驱动机构的偏心距无法调节的缺陷，从而提供一种用于抛光机的偏心驱动机构和抛光机。

为了解决上述技术问题，第一方面，本发明提供一种用于抛光机的偏心驱动机构，包括：旋转套、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一驱动齿轮、第一连接板、第二连接板、第二驱动齿轮和第三驱动齿轮；

所述旋转套用于固定连接在所述抛光机的安装板上，所述旋转套的内壁设有内齿环；

所述第一转轴的第一端伸入所述旋转套内并与所述旋转套偏心设置，所述第一转轴的所述第一端套接有所述第一驱动齿轮且与所述第一驱动齿轮同步转动设置，所述第一转轴的第二端设置为在旋转驱动件的驱动下旋转；

所述第二转轴和第三转轴分别与所述第一转轴平行间隔设置，所述第二转轴与所述第一转轴之间通过第一连接板可转动地连接，所述第三转轴与所述第二转轴之间通过第二连接板可转动地连接，所述第二转轴上固定设有第二驱动齿轮，所述第二驱动齿轮与所述第一驱动齿轮啮合，所述第三转轴上固定设有第三驱动齿轮，所述第三驱动齿轮与所述第二驱动齿轮啮合，并且所述第三驱动齿轮还与所述旋转套内壁的所述内齿环啮合；

工作时，通过所述第一驱动齿轮带动所述第二驱动齿轮和所述第三驱动齿轮围绕所述第一转轴进行旋转，所述第三驱动齿轮沿所述旋转套的内壁移动，从而带动所述旋转套进行偏心转动，或者

通过改变所述第一转轴、所述第二转轴和所述第三转轴之间的连接板的夹角，调节所述第三转轴与所述第一转轴之间的距离，从而改变所述偏心驱动机构的偏心距。

可选地，还包括承载件和封盖件，所述承载件转动设置在所述旋转套的一端，所述封盖件转动设置在所述旋转套的另一端；

所述第三转轴的一端限制在所述承载件上，所述第三转轴的另一端限制在所述封盖件上，当所述第三转轴沿所述旋转套的内壁移动时，带动所述承载件和所述封盖件相对所述旋转套进行旋转。

可选地，所述第一转轴的伸入所述旋转套内的一端限制在所述封盖件上；

所述封盖件内设置有滑杆，所述第一转轴的端部插设在所述滑杆的一端，所述滑杆的另一端朝向所述第三转轴的方向延伸并超过所述旋转套的中心，所述滑杆的远离所述第一转轴的一端设有限位柱；

所述封盖件上可转动地设置有限位盘，所述限位盘上设有用于***所述限位柱的螺旋槽，当所述限位盘在所述封盖件上锁定时，所述限位柱在径向上的位置被锁定。

可选地，所述滑杆上设置有沿所述第一转轴与所述限位柱的连线方向延伸的滑槽；

所述限位盘的中心设有朝向所述滑槽方向凸出的定位柱，所述定位柱***所述滑槽内，当所述限位盘相对所述封盖件可转动时，所述定位柱在所述滑槽内滑动，从而调节所述旋转套与所述第一转轴的偏心距。

可选地，所述限位盘嵌设在所述封盖件内，所述限位盘的周边具有若干穿孔，所述封盖件上具有与所述穿孔相对的承接孔，锁紧件依次***所述穿孔和所述承接孔内后将所述限位盘锁定在所述封盖件上。

可选地，所述第一转轴具有伸缩段，所述伸缩段与第一伸缩驱动件的驱动端连接，通过所述第一伸缩驱动件的驱动，以使所述第一转轴的伸缩段朝向所述限位盘的方向伸出或缩回；

当所述第一转轴的伸缩段伸出时，所述限位盘被顶起，以使所述限位盘上的锁紧件向上脱离出所述封盖件的承接孔，从而解除所述限位盘在所述封盖件上的锁定，便于所述限位盘的旋转；

当所述第一转轴的伸缩段缩回时，所述限位盘落下，所述限位盘上的锁紧件继续***到所述封盖件上的承接孔内，从而实现对所述限位盘的继续锁定。

可选地，还包括锁定结构，所述锁定结构用于锁定所述旋转套相对于所述承载件和所述封盖件之间的旋转。

可选地，所述锁定结构包括：

第二伸缩驱动件，设置在所述旋转套上；

锁定件，与所述第二伸缩驱动件的驱动端连接，所述锁定件用于与所述承载件或所述封盖件连接或分离。

第二方面，本发明提供一种抛光机，包括：基座、安装板、抛光盘、旋转驱动装置和上述的偏心驱动机构，所述第一转轴通过轴承安装在所述基座上，所述旋转套和所述旋转驱动装置均连接在安装板上，所述旋转驱动装置的驱动端连接所述抛光盘。

可选地，所述偏心驱动机构具有在所述安装板的两侧分别对称设置的两个。

可选地，两个所述偏心驱动机构的第一转轴通过传动机构同步传动连接。

可选地，所述安装板滑动支撑在所述基座上，所述基座与所述安装板的接触面上设有自润滑件。

可选地，所述自润滑件为石墨。

可选地，所述基座上具有朝向所述安装板的第一凸起，所述安装板上具有与所述第一凸起相配合的第二凸起，所述第一凸起支撑所述第二凸起，所述安装板进行偏心运动时，所述第二凸起在所述第一凸起上滑动。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的偏心驱动机构，第一转轴上具有第一驱动齿轮，第一驱动齿轮与第二驱动齿轮和第三驱动齿轮进行传动时，能够使第二驱动齿轮和第三驱动齿轮围绕第一转轴进行旋转，其中第三驱动齿轮与旋转套的内壁传动配合，并且由于第一转轴与旋转套偏心设置，从而通过第三驱动齿轮围绕第一转轴的旋转带动所述旋转套围绕所述第一转轴进行偏心转动；当需要对旋转套的偏心转动幅度进行调节时，通过调节第一转轴、第二转轴和第三转轴之间的连接板的夹角，进而改变第一驱动齿轮与第三驱动齿轮之间的距离，实现对旋转套进行偏心转动时的偏心距的调节。

2.本发明提供的偏心驱动机构，第三转轴的两端被限制在偏心驱动机构的承载件和封盖件上，从而使第三转轴上的第三驱动齿轮始终与旋转套的内壁传动配合，当第三驱动齿轮驱动旋转套进行偏心转动时，所述承载件与所述封盖件相对所述旋转套进行旋转；

上述设置，当第一转轴的位置固定后，无需对第一转轴、第二转轴和第三转轴之间的连接板进行锁定，即可通过第一驱动齿轮的旋转，带动第二驱动齿轮和第三驱动齿轮围绕所述第一转轴进行旋转，并驱动旋转套围绕第一转轴进行偏心转动。

3.本发明提供的偏心驱动机构，第一转轴的一端限制在封盖件上，并且在封盖件上的位置可调节，当第一转轴在封盖件上的位置锁定时，无需对第一转轴、第二转轴和第三转轴之间的连接板进行锁定，即可通过第一驱动齿轮的旋转，带动第二驱动齿轮和第三驱动齿轮围绕所述第一转轴进行旋转，并驱动旋转盘围绕第一转轴进行偏心转动；当第一转轴在封盖件上的位置进行调节时，通过调节第一转轴在封盖件上的螺旋槽内的位置，即可改变旋转盘相对第一转轴的偏心距。

4.本发明提供的偏心驱动机构，在第一转轴上连接有滑杆，在滑杆上设置有滑槽，通过滑槽的限制，在调整偏心距时，使旋转盘与第一转轴之间只能沿着旋转盘的中心与第一转轴的连线方向进行相对移动，从而提高进行偏心调节时的准确性。

5.本发明提供的抛光机，由于采用了上述偏心驱动机构，因此具有其所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施例中提供的偏心驱动机构的一种具体实施方式的主视图；

图2为图1的主视剖视图；

图3为图2中的旋转套及内部结构立体图；

图4为在图3的状态时限位盘的俯视图；

图5为在图3的状态时旋转套的内部结构俯视图；

图6为在图3的基础上减小旋转套的偏心距后的立体图；

图7为在图6的状态时限位盘的俯视图；

图8为在图6的状态时旋转套的内部结构俯视图；

图9为在图6的基础上减小旋转套的偏心距后的立体图；

图10为在图9的状态时限位盘的俯视图；

图11为在图9的状态时旋转套的内部结构俯视图；

图12为本发明的实施例中提供的抛光机的一种具体实施方式的立体图；

图13为图12中进一步的立体图；

图14为图12的仰视角度立体图；

图15为图12的主视剖视图。

附图标记说明：

1、旋转套；2、第一转轴；3、第二转轴；4、第三转轴；5、第一驱动齿轮；6、第一连接板；7、第二连接板；8、第二驱动齿轮；9、第三驱动齿轮；10、承载件；11、封盖件；12、滑杆；13、限位柱；14、限位盘；15、螺旋槽；16、滑槽；17、定位柱；18、穿孔；19、伸缩段；20、第一伸缩驱动件；21、第二伸缩驱动件；22、锁定件；23、基座；24、安装板；25、抛光盘；26、旋转驱动装置；27、第一凸起；28、第二凸起；29、旋转驱动件。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供的用于抛光机的偏心驱动机构，可用于对抛光机的安装板24进行偏心驱动，其中，所述安装板24用于安装抛光盘25的旋转驱动装置26，从而通过本实施例提供的偏心驱动机构驱动抛光盘25在周向和径向上均有移动，从而保证了抛光盘25的均匀消耗，关键在于，本实施例提供的偏心驱动机构还能够对偏心驱动的偏心距进行适应性调整，尤其是在工艺试验阶段，调节偏心距可以使得对金刚石的抛磨工艺进行更多试验，寻求最符合抛磨工艺的偏心距；同时，在加工阶段，通过调节偏心距可以加工不同尺寸的金刚石。

如图1、图2所示，为本实施例提供的偏心驱动机构的一种具体实施方式，包括：旋转套1、第一转轴2、第二转轴3、第三转轴4、第一驱动齿轮5、第一连接板6、第二连接板7、第二驱动齿轮8和第三驱动齿轮9。

如图13所示，所述旋转套1用于连接在外部受驱件上，具体的，在应用于抛光机时，所述旋转套1连接在抛光机的安装板24上，从而通过旋转套1围绕第一转轴2的偏心旋转，以带动安装板24进行偏心转动。

如图2所示，所述第一转轴2的第一端伸入所述旋转套1内并与所述旋转套1偏心设置，所述第一转轴2的伸入所述旋转套1内的第一端设有第一驱动齿轮5，所述第一转轴2的第二端用于连接旋转驱动件29；通过所述旋转驱动件29的驱动使所述第一转轴2带动第一驱动齿轮5进行旋转。

如图3所述，所述第二转轴3和第三转轴4分别与所述第一转轴2平行间隔设置，所述第二转轴3与所述第一转轴2之间通过第一连接板6可转动地连接，所述第三转轴4与所述第二转轴3之间通过第二连接板7可转动地连接，所述第二转轴3上设有第二驱动齿轮8，所述第二驱动齿轮8与所述第一驱动齿轮5传动连接，所述第三转轴4上设有第三驱动齿轮9，所述第三驱动齿轮9与所述第二驱动齿轮8传动连接，并且所述第三驱动齿轮9还与所述旋转套1的内壁传动连接；工作时，有两种情况，一种是驱动旋转套1进行偏心转动时，通过所述第一驱动齿轮5带动所述第二驱动齿轮8和所述第三驱动齿轮9围绕所述第一转轴2进行旋转，所述第三驱动齿轮9沿所述旋转套1的内壁移动，从而带动所述旋转套1进行偏心转动；另一种情况为：对旋转套1的偏心旋转的偏心距进行调节时，通过改变所述第一转轴2、所述第二转轴3和所述第三转轴4之间的连接板的夹角，调节所述第三转轴4与所述第一转轴2之间的距离，从而改变所述偏心驱动机构的偏心距。

如图5、图8和图11所示，本实施例提供的偏心驱动机构，第一转轴2上具有第一驱动齿轮5，第一驱动齿轮5与第二驱动齿轮8和第三驱动齿轮9进行传动时，能够使第二驱动齿轮8和第三驱动齿轮9围绕第一转轴2进行旋转，其中第三驱动齿轮9与旋转套1的内壁传动配合，并且由于第一转轴2与旋转套1偏心设置，从而通过第三驱动齿轮9围绕第一转轴2的旋转带动所述旋转套1围绕所述第一转轴2进行偏心转动；当需要对旋转套1的偏心转动幅度进行调节时，通过调节第一转轴2、第二转轴3和第三转轴4之间的连接板的夹角，进而改变第一驱动齿轮5与第三驱动齿轮9之间的距离，实现对旋转套1进行偏心转动时的偏心距的调节。其中，连接板和转轴之间的锁定和解除可采用紧固件进行夹紧的方式实现，例如，可在转轴上设置螺纹，通过螺母旋拧在转轴上对连接板进行夹紧固定等。

如图1、图2所示，本实施例提供的偏心驱动机构，还包括承载件10和封盖件11，所述承载件10转动设置在所述旋转套1的一端，所述封盖件11转动设置在所述旋转套1的另一端；所述第三转轴4的一端限制在所述承载件10上，所述第三转轴4的另一端限制在所述封盖件11上，当所述第三转轴4沿所述旋转套1的内壁移动时，带动所述承载件10和所述封盖件11相对所述旋转套1进行旋转。也就是说，通过承载件10和封盖件11的设置，对第三转轴4的位置进行限制，从而保证第三转轴4上第三驱动齿轮9与旋转套1的始终接触配合。在将本实施例提供的偏心驱动机构安装到抛光机上时，由于旋转套1与安装板24连接，因此，当第三转轴4上的第三驱动齿轮9围绕第一转轴2进行旋转时，通过第三驱动齿轮9的推动，使旋转套1围绕第一转轴2进行偏心转动。实际上，此过程中，所述旋转套1本身并不旋转，而是在第三驱动齿轮9的推动中，旋转套1沿第一转轴2进行偏心公转。并且，此过程中，所述承载件10和封盖件11在旋转套1上进行旋转。另外，作为一种可替换实施方式，当仅采用连接板即可限制第三转轴4的位置时，所述承载件10和封盖件11可以省略；例如，通过第一连接板6限制第一转轴2和第二转轴3的位置，然后通过第二连接板7限制第二转轴3和第三转轴4的位置，由于第一转轴2与旋转驱动件29连接，因此第一转轴2的位置相对固定，当第一连接板6和第二连接板7之间的夹角可以锁定时，所述第二转轴3和所述第三转轴4的位置也就能相对保持固定了。

如图2所示，本实施例提供的偏心驱动机构，所述第一转轴2的伸入所述旋转套1内的一端限制在所述封盖件11上；也就是说，所述第一转轴2的一端连接在旋转驱动件29上，另一端穿过承载件10后伸入到旋转套1内，并限制在封盖件11上。通过该设置，使第一转轴2的位置相对固定。另外，需要说明的是，由于所述第一转轴2的一端连接在旋转驱动件29上，因此，即使第一转轴2的伸入到旋转套1内的一端不进行限制，所述第一转轴2也不会沿径向发生移动。本实施方式中，通过封盖件11对第一转轴2进行限制后，可提高第一转轴2的稳定性。

如图2、图3所示，本实施例提供的偏心驱动机构，所述封盖件11内设置有滑杆12，所述第一转轴2的端部插设在所述滑杆12的一端，所述滑杆12的另一端朝向所述第三转轴4的方向延伸并超过所述旋转套1的中心，所述滑杆12的远离所述第一转轴2的一端设有限位柱13；也就是说，第一转轴2的伸入旋转套1内的一端被限制在封盖件11上的滑杆12上，并且该滑杆12能够在封盖件11上进行移动调节，具体的，滑杆12能够朝向旋转套1的中心方向进行移动调节。换句话说，旋转套1能够沿着滑杆12朝向第一转轴2的方向进行调节，从而调节旋转套1的偏心转动的偏心矩。另外，需要说明的是，本实施例不对滑杆12的具体结构进行限制，可以为条形块，也可以是矩形块等结构。另外，作为一种可替换实施方式，所述滑杆12可以省略，可以直接在封盖件11上设置用于插设第一转轴2的条形槽，该条形槽朝向旋转套1的中心方向延伸，从而在对旋转套1的偏心距进行调节时，使第一转轴2在条形槽内朝向旋转套1的中心方向移动一段距离即可；或者说，使旋转套1的中心朝向第一转轴2方向移动，该过程中第一转轴2在条形槽内滑动；因此，本实施方式中，所述滑杆12的设置并不是限制性的。

如图2、图4所示，本实施例提供的偏心驱动机构，所述封盖件11上可转动地设置有限位盘14，所述限位盘14上设有用于***所述限位柱13的螺旋槽15，当所述限位盘14在所述封盖件11上锁定时，所述限位柱13在径向上的位置被锁定。也就是说，当对旋转套1的偏心距进行调整时，将旋转套1沿着滑杆12朝向第一转轴2进行靠近或远离的移动，此时，滑杆12上的限位柱13相对限位盘14也沿着限位盘14的径向进行移动，由于限位盘14上螺旋槽15的设置，使限位盘14需要旋转才能使限位柱13进行移动；如果将限位盘14锁定在封盖件11上，则限位柱13不能沿着限位盘14的径向进行移动，此时，即可对旋转套1的偏心距进行锁定。

本实施例提供的偏心驱动机构，通过旋转驱动件29和封盖件11上限位盘14对第一转轴2的位置的限制，可使第一转轴2、第二转轴3和第三转轴4之间的连接板的夹角不需要进行手动锁定，在旋转套1的中心与第一转轴2之间距离确定的前提下，即可满足对旋转套1的偏心转动的驱动。当调整偏心距时，通过封盖件11上螺旋槽15的旋转，改变限位柱13在螺旋槽15内的位置，即可完成对旋转套1的偏心距的调整。

需要说明的是，如图4、图7和图10所示，所述限位盘14上的螺旋槽15，指的是呈渐开线形状的槽道，限位柱13在螺旋槽15内滑动过程中，从而可改变限位柱13与限位盘14的中心位置的距离。另外，需要说明的是，本实施中所述的限位盘14的设置并不是必须的，所述限位盘14上的螺旋槽15用于第一转轴2的***，由于第一转轴2本身在径向上的位置固定，因此所述限位盘14上的螺旋槽15实际限制的是旋转套1相对第一转轴2的径向位置。在实际使用中，还可以采用其他方式对旋转套1的径向位置进行限制，例如可在旋转套1外部设置径向位置限位装置等。因此，本实施方式中，所述限位盘14的设置并不是必须的，所述限位盘14上的螺旋槽15也并不是限制性的，例如，可采用间隔设置的多个限位孔结构替代等。

如图3、图6和图9所示，本实施例提供的偏心驱动机构，所述滑杆12上设置有沿所述第一转轴2与所述限位柱13的连线方向延伸的滑槽16；所述限位盘14的中心设有朝向所述滑槽16方向凸出的定位柱17，所述定位柱17***所述滑槽16内，当所述限位盘14相对所述封盖件11可转动时，所述定位柱17在所述滑槽16内滑动，从而调节所述旋转套1与所述第一转轴2的偏心距。通过所述限位盘14上定位柱17的设置，以及所述滑杆12上滑槽16的设置，限制了旋转套1的中心朝向第一转轴2方向调整的路径，从而在调节旋转套1的偏心距时，能够更加便捷、准确。当然，这并不是限制性的，所述滑杆12上的滑槽16以及限位盘14上的定位柱17均可以省略，可以采用其他方式限制旋转套1朝向第一转轴2方向进行调偏心距的结构，或者直接不用限制旋转套1的路径而直接手动调节。

如图2、图4所示，本实施例提供的偏心驱动机构，所述限位盘14嵌设在所述封盖件11内，所述限位盘14的周边具有若干穿孔18，所述封盖件11上具有与所述穿孔18相对的承接孔，锁紧件依次***所述穿孔18和所述承接孔内后将所述限位盘14锁定在所述封盖件11上。通过该设置，可限制限位盘14在封盖件11上的旋转，从而通过限位盘14上的螺旋槽15对旋转套1的径向位置进行锁定。其中，所述锁紧件可选用限位销或者螺栓等，所述锁紧件与所述封盖件11上的承接孔可以进行插设连接，如此可便于解除锁定；另外，在一些实施方式中，所述锁紧件与所述封盖件11上的承接孔也可进行螺纹连接，如此可提高机构整体的紧固性。当然，这些并不是限制性的，所述限位盘14周边的穿孔18、所述封盖件11上的承接孔以及所述锁紧件等都是可以省略或者替代的。例如，可在封盖件11上沿周向设置若干立柱，在限位盘14上设置若干用于***所述立柱的通孔等。

如图2、图13所示，本实施例提供的偏心驱动机构，所述第一转轴2具有伸缩段19，所述伸缩段19与第一伸缩驱动件20的驱动端连接，通过所述第一伸缩驱动件20的驱动，以使所述第一转轴2的伸缩段19朝向所述限位盘14的方向伸出或缩回；当所述第一转轴2的伸缩段19伸出时，所述限位盘14被顶起，以使所述限位盘14上的锁紧件向上脱离出所述封盖件11的承接孔，从而解除所述限位盘14在所述封盖件11上的锁定，便于所述限位盘14的旋转；当所述第一转轴2的伸缩段19缩回时，所述限位盘14落下，所述限位盘14上的锁紧件继续***到所述封盖件11上的承接孔内，从而实现对所述限位盘14的继续锁定。具体的，所述第一转轴2的第一段滑动套设在第二段内，所述第一段即为伸缩段19，所述第二段的内部中空，第一伸缩驱动件20的驱动端穿过第二段的内部后作用在第一段的***到第二段内部的端部，从而通过所述第一伸缩驱动件20的驱动，可使所述第一段相对所述第二段进行滑动伸出或缩回。其中，所述第一伸缩驱动件20可以为气缸、油缸或电动推杆等。当然，本实施例并不对所述第一转轴2的具体结构进行限制，所述第一转轴2的伸缩段19也可以是其他结构，例如可以使伸缩段19套设在第一段外部，或者并列滑动设置两段，其中一段作为伸缩段19等。

本实施例通过将第一转轴2设置为伸缩结构，可便于解除所述限位盘14在封盖件11上的周向锁定，在进行调节旋转套1的偏心距时，能够实现自动化、方便快捷调整的目的。

如图13、图15所示，本实施例提供的偏心驱动机构，还包括锁定结构，所述锁定结构用于锁定所述旋转套1相对于所述承载件10和所述封盖件11之间的旋转。也就是说，在对旋转套1的偏心距进行调整时，通过锁定结构使旋转套1相对承载件10和封盖件11不能旋转，如此设置，可通过第一驱动齿轮5、第二驱动齿轮8和第三驱动齿轮9的配合旋转，自动的调整旋转套1的偏心距；而不用采用手动推动旋转套1的方式进行调节了。具体的，当通过锁定结构将旋转套1、承载件10和封盖件11之间的旋转进行锁定时，再通过第一转轴2带动第一驱动齿轮5旋转，使第二驱动齿轮8和第三驱动齿轮9围绕第一转轴2转动时，其中，所述第三驱动齿轮9由于旋转套1、承载件10和封盖件11的锁定而不能进行转动。如此，通过第一转轴2的驱动，可以改变连接第一转轴2、第二转轴3和第三转轴4的连接板之间的夹角，使第三驱动齿轮9以及旋转套1朝向第一转轴2方向进行靠近或远离的调整，从而实现自动的进行调整，方便快捷。当然，这并不是限制性的，在一些实施方式中，所述锁定结构可以省略，可以采用从旋转套1的外部推动的方式，以调整旋转套1与第一转轴2之间的偏心距等。

如图15所示，本实施例提供的偏心驱动机构，所述锁定结构包括：第二伸缩驱动件21和锁定件22，所述第二伸缩驱动件21设置在所述旋转套1上；所述锁定件22与所述第二伸缩驱动件21的驱动端连接，所述锁定件22用于与所述承载件10或所述封盖件11连接或分离。也就是说，通过第二伸缩驱动件21的驱动，使锁定件22与承载件10或者封盖件11进行连接时，将旋转套1和承载件10以及封盖件11进行锁定；通过第二伸缩驱动件21的驱动，使锁定件22与承载件10和封盖件11分离时，使旋转套1和承载件10以及封盖件11之间解除锁定。具体的，所述第二伸缩驱动件21可以为气缸、油缸或者电动推杆等，由于第三转轴4的两端分别限位在承载件10和封盖件11中，所述承载件10和所述封盖件11连接为一体进行同步旋转，因此，所述锁定件22的作用端可以作用到承载件10和封盖件11的任一个上。进一步的，所述第二伸缩驱动件21安装在与旋转套1连接的抛光机的安装板24上，如此设置，可便于第二伸缩驱动件21的安装以及维护。另外，上述关于第二伸缩驱动件21的安装位置并不是限制性的，在一些实施方式中，所述第二伸缩驱动件21也可以安装在承载件10或者封盖件11上，当第二伸缩驱动件21安装在承载件10或者封盖件11上时，所述第二伸缩驱动件21驱动锁定件22用于与所述旋转套1进行配合。

另外，在本实施方式中，如图15所示，所述锁定件22的一端通过转轴连接在抛光机的安装板24上，所述锁定件22的中部通过转轴与所述第二伸缩驱动件21的驱动端连接，所述锁定件22的另一端朝向所述承载件10的底部延伸，从而当第二伸缩驱动件21进行驱动时，所述锁定件22在杠杆结构的作用下，其延伸至承载件10底部的一端朝向所述承载件10靠近或远离，以实现对承载件10的锁定与解锁。当然，上述关于锁定件22的具体机构的描述并不是限制性的，在一些实施方式中，所述锁定件22也可以是安装在第二伸缩驱动件21的驱动端的L型折板等结构。

本实施例提供的偏心驱动机构，当驱动所述旋转套1围绕所述第一转轴2进行偏心旋转时，所述第一驱动齿轮5、所述第二驱动齿轮8、所述第三驱动齿轮9和所述旋转套1之间同步传动。也就是说，当驱动旋转套1围绕第一转轴2进行偏心旋转时，通过第一驱动齿轮5带动第二驱动齿轮8，第二驱动齿轮8带动第三驱动齿轮9，第三驱动齿轮9带动旋转套1围绕第一转轴2进行偏心转动，该过程为同步传动过程。具体的，所述第一驱动齿轮5、第二驱动齿轮8、第三驱动齿轮9和旋转套1之间均可采用齿轮相互啮合传动。如此设置，可便于控制旋转套1的偏心旋转的转速，保证旋转套1的转速准确性。当然，这并不是限制性的，在一些实施方式中，所述第一驱动齿轮5、第二驱动齿轮8和第三驱动齿轮9直接也可以不采用同步传动，例如可采用通过摩擦传动的带传动等；所述第三驱动齿轮9与所述旋转套1直接也可以直接采用滑动摩擦传动等。另外，需要说明的是，上述关于所述第一驱动齿轮5、所述第二驱动齿轮8、所述第三驱动齿轮9和所述旋转套1之间同步传动，仅限于驱动旋转套1围绕第一转轴2进行偏心转动的过程中。当需要调整旋转套1的偏心距时，此时，所述第三驱动齿轮9处于锁定状态，因此并不存在同步传动。

另外，本实施例还提供一种抛光机的具体实施方式，如图12-15所示，包括：基座23、安装板24、抛光盘25、旋转驱动装置26和上述方案中所述的偏心驱动机构。其中，所述偏心驱动机构的第一转轴2通过轴承安装在所述基座23上，所述旋转套1和所述旋转驱动装置26均连接在安装板24上，所述旋转驱动装置26的驱动端连接所述抛光盘25。工作时，一方面通过旋转驱动装置26驱动抛光盘25在晶圆上进行旋转抛光；另一方面，通过偏心驱动机构驱动安装板24进行偏心旋转，安装在所述安装板24上的所述旋转驱动装置26跟随所述安装板24进行偏心旋转，进而使抛光盘25在晶圆上进行旋转的同时还进行偏心转动，从而提高抛光效果。上述结构中，所述基座23的作用为用于支撑安装板24，使安装板24在基座23上进行滑动移动。具体的，所述安装板24滑动支撑在所述基座23上，所述基座23与所述安装板24的接触面上设有自润滑件。其中，所述自润滑件为石墨。另外，在一些实施方式中，所述自润滑件还可以是其他润滑材料，例如润滑油脂等。当然，所述自润滑件也可以省略，这些均不是限制性的。

如图15所示，本实施例提供的抛光机，所述基座23上具有朝向所述安装板24的第一凸起27，所述安装板24上具有与所述第一凸起27相配合的第二凸起28，所述第一凸起27支撑所述第二凸起28，所述安装板24进行偏心运动时，所述第二凸起28在所述第一凸起27上滑动。通过该设置，可便于自润滑件在第一凸起27和/或第二凸起28上进行设置，并且当第一凸起27和第二凸起28相互错位时，也不会与其他结构摩擦接触，从而保证安装板24在基座23上的滑动性。当然，这并不是限制性的，所述第一凸起27和/或所述第二凸起28也可以省略。

如图13、图14所示，本实施例提供的抛光机，所述偏心驱动机构具有在所述安装板24的两侧分别对称设置的两个。通过两个偏心驱动机构对称设置，可提高对安装板24进行偏心驱动的稳定性。另外，在一些实施方式中，所述偏心驱动机构可以设置更多个，或者仅设置一个，这些并不是限制性的。

在本实施方式中，两个所述偏心驱动机构的第一转轴2通过传动机构同步传动连接。通过该设置，可提高两个偏心驱动机构的驱动的同步性，从而保证对安装板24进行偏心驱动的稳定性。具体的，所述传动机构可以为同步带或同步链等，在基板上设置用于连接旋转驱动件29的转轮，该转轮分别通过同步带与两个偏心驱动机构的第一转轴2进行同步连接，当采用一个旋转驱动件29对所述转轮进行驱动旋转时，通过所述同步带的连接，可同时多两个偏心驱动机构的第一转轴2进行同步旋转，从而共同对安装板24进行偏心旋转驱动。

当然，上述描述并不是限制性的，两个所述偏心驱动机构也可以不采用传动机构进行同步传动连接，也可以分别采用不同的旋转驱动件29进行驱动，然后各旋转驱动件29之间采用电子同步器进行同步等。

工作原理

本实施例提供的抛光机，在工作时，通过旋转驱动装置26驱动抛光盘25进行旋转，同时旋转驱动装置26安装在安装板24上，所述安装板24被偏心驱动机构驱动进行偏心转动。也就是说，所述抛光盘25在旋转驱动装置26和偏心驱动机构的共同作用下，既进行自转，又进行公转。

具体的，所述偏心驱动机构中，通过旋转驱动件29驱动第一转轴2进行旋转，第一转轴2上的第一驱动齿轮5带动第二驱动齿轮8进行旋转，第二驱动齿轮8带动第三驱动齿轮9进行旋转，并且第二驱动齿轮8和第三驱动齿轮9均围绕第一转轴2进行公转；其中第三驱动齿轮9与旋转套1的内壁配合，由于旋转套1的中心与第一转轴2为偏心设置，因此在第三驱动齿轮9的带动下，所述旋转套1围绕第一转轴2进行偏心转动。通过所述旋转套1与抛光机的安装板24连接，从而带动安装板24也进行偏心转动。

当需要对抛光盘25的偏心转动的偏心距进行调整时，也就是对旋转套1的偏心距进行调整。具体的，可先通过锁定结构将旋转套1与承载件10和封盖件11之间进行锁定，使旋转套1、承载件10和封盖件11成为一体；具体的，可通过第二伸缩驱动件21驱动锁定件22抵接承载件10，由于第二伸缩驱动件21与旋转套1连接，因此通过驱动锁定件22对承载件10的抵接，可将旋转套1和承载件10连接为一体；由于承载件10和封盖件11均用于定位第三转轴4，因此承载件10和封盖件11本身即为一体的；也就是说，当旋转套1与承载件10连接为一体后，所述旋转套1、承载件10和封盖件11即可形成一体结构。

然后，再启动旋转驱动件29，使第一转轴2旋转，此时第一驱动齿轮5带动第二驱动齿轮8旋转；然而由于第三驱动齿轮9无法再对旋转套1进行驱动，导致第三驱动齿轮9卡死，此时，第一驱动齿轮5带动第二驱动齿轮8旋转时，只能改变第一连接板6和第二连接板7之间的夹角，使第三驱动齿轮9朝向第一驱动齿轮5的方向进行靠近或远离的移动，如此便可自动地调节旋转套1的偏心距。

当然，在进行偏心距的调节之前，需要先解除封盖件11上方的限位盘14对第一转轴2限位。具体的，可通过第一伸缩驱动件20驱动第一转轴2的伸缩段19，使伸缩段19将限位盘14顶出封盖件11，以解除封盖件11对限位盘14的周向限位。从而，在对旋转套1的偏心距进行调节时，可使限位盘14通过旋转以改变旋转套1的中心与第一转轴2之间的距离；具体的，所述限位盘14旋转时，第一转轴2沿着限位盘14上的螺旋槽15滑动，由于螺旋槽15为渐开线形状，因此，所述第一转轴2在沿着螺旋槽15滑动时，即可改变第一转轴2与旋转套1的中心之间的距离。

对旋转套1的偏心距进行调整完毕后，将限位盘14继续周向限位在封盖件11上，使第一转轴2与旋转套1的中心之间的距离固定；并通过锁定结构解除旋转套1与承载件10和封盖件11之间的连接，使旋转套1相对承载件10和封盖件11能够相对旋转。这样，在通过旋转驱动件29驱动第一转轴2旋转时，即可继续驱动旋转套1围绕所述第一转轴2进行偏心转动。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。

Claims (14)

1.一种用于抛光机的偏心驱动机构，其特征在于，包括：旋转套（1）、第一转轴（2）、第二转轴（3）、第三转轴（4）、第一驱动齿轮（5）、第一连接板（6）、第二连接板（7）、第二驱动齿轮（8）和第三驱动齿轮（9）；

所述旋转套（1）用于固定连接在所述抛光机的安装板（24）上，所述旋转套（1）的内壁设有内齿环；

所述第一转轴（2）的第一端伸入所述旋转套（1）内并与所述旋转套（1）偏心设置，所述第一转轴（2）的所述第一端套接有所述第一驱动齿轮（5）且与所述第一驱动齿轮（5）同步转动设置，所述第一转轴（2）的第二端设置为在旋转驱动件（29）的驱动下旋转；

所述第二转轴（3）和第三转轴（4）分别与所述第一转轴（2）平行间隔设置，所述第二转轴（3）与所述第一转轴（2）之间通过第一连接板（6）可转动地连接，所述第三转轴（4）与所述第二转轴（3）之间通过第二连接板（7）可转动地连接，所述第二转轴（3）上固定设有第二驱动齿轮（8），所述第二驱动齿轮（8）与所述第一驱动齿轮（5）啮合，所述第三转轴（4）上固定设有第三驱动齿轮（9），所述第三驱动齿轮（9）与所述第二驱动齿轮（8）啮合，并且所述第三驱动齿轮（9）还与所述旋转套（1）内壁的所述内齿环啮合；

工作时，通过所述第一驱动齿轮（5）带动所述第二驱动齿轮（8）和所述第三驱动齿轮（9）围绕所述第一转轴（2）进行旋转，所述第三驱动齿轮（9）沿所述旋转套（1）的内壁移动，从而带动所述旋转套（1）进行偏心转动，或者

通过改变所述第一转轴（2）、所述第二转轴（3）和所述第三转轴（4）之间的连接板的夹角，调节所述第三转轴（4）与所述第一转轴（2）之间的距离，从而改变所述偏心驱动机构的偏心距。

2.根据权利要求1所述的偏心驱动机构，其特征在于，还包括承载件（10）和封盖件（11），所述承载件（10）转动设置在所述旋转套（1）的一端，所述封盖件（11）转动设置在所述旋转套（1）的另一端；

所述第三转轴（4）的一端限制在所述承载件（10）上，所述第三转轴（4）的另一端限制在所述封盖件（11）上，当所述第三转轴（4）沿所述旋转套（1）的内壁移动时，带动所述承载件（10）和所述封盖件（11）相对所述旋转套（1）进行旋转。

3.根据权利要求2所述的偏心驱动机构，其特征在于，所述第一转轴（2）的伸入所述旋转套（1）内的一端限制在所述封盖件（11）上；

所述封盖件（11）内设置有滑杆（12），所述第一转轴（2）的端部插设在所述滑杆（12）的一端，所述滑杆（12）的另一端朝向所述第三转轴（4）的方向延伸并超过所述旋转套（1）的中心，所述滑杆（12）的远离所述第一转轴（2）的一端设有限位柱（13）；

所述封盖件（11）上可转动地设置有限位盘（14），所述限位盘（14）上设有用于***所述限位柱（13）的螺旋槽（15），当所述限位盘（14）在所述封盖件（11）上锁定时，所述限位柱（13）在径向上的位置被锁定。

4.根据权利要求3所述的偏心驱动机构，其特征在于，所述滑杆（12）上设置有沿所述第一转轴（2）与所述限位柱（13）的连线方向延伸的滑槽（16）；

所述限位盘（14）的中心设有朝向所述滑槽（16）方向凸出的定位柱（17），所述定位柱（17）***所述滑槽（16）内，当所述限位盘（14）相对所述封盖件（11）可转动时，所述定位柱（17）在所述滑槽（16）内滑动，从而调节所述旋转套（1）与所述第一转轴（2）的偏心距。

5.根据权利要求3所述的偏心驱动机构，其特征在于，所述限位盘（14）嵌设在所述封盖件（11）内，所述限位盘（14）的周边具有若干穿孔（18），所述封盖件（11）上具有与所述穿孔（18）相对的承接孔，锁紧件依次***所述穿孔（18）和所述承接孔内后将所述限位盘（14）锁定在所述封盖件（11）上。

6.根据权利要求5所述的偏心驱动机构，其特征在于，所述第一转轴（2）具有伸缩段（19），所述伸缩段（19）与第一伸缩驱动件（20）的驱动端连接，通过所述第一伸缩驱动件（20）的驱动，以使所述第一转轴（2）的伸缩段（19）朝向所述限位盘（14）的方向伸出或缩回；

当所述第一转轴（2）的伸缩段（19）伸出时，所述限位盘（14）被顶起，以使所述限位盘（14）上的锁紧件向上脱离出所述封盖件（11）的承接孔，从而解除所述限位盘（14）在所述封盖件（11）上的锁定，便于所述限位盘（14）的旋转；

当所述第一转轴（2）的伸缩段（19）缩回时，所述限位盘（14）落下，所述限位盘（14）上的锁紧件继续***到所述封盖件（11）上的承接孔内，从而实现对所述限位盘（14）的继续锁定。

7.根据权利要求2-6中任一项所述的偏心驱动机构，其特征在于，还包括锁定结构，所述锁定结构用于锁定所述旋转套（1）相对于所述承载件（10）和所述封盖件（11）之间的旋转。

8.根据权利要求7所述的偏心驱动机构，其特征在于，所述锁定结构包括：

第二伸缩驱动件（21），设置在所述旋转套（1）上；

锁定件（22），与所述第二伸缩驱动件（21）的驱动端连接，所述锁定件（22）用于与所述承载件（10）或所述封盖件（11）连接或分离。

9.一种抛光机，其特征在于，包括：基座（23）、安装板（24）、抛光盘（25）、旋转驱动装置（26）和如权利要求1-8中任一项所述的偏心驱动机构，所述第一转轴（2）通过轴承安装在所述基座（23）上，所述旋转套（1）和所述旋转驱动装置（26）均连接在安装板（24）上，所述旋转驱动装置（26）的驱动端连接所述抛光盘（25）。

10.根据权利要求9所述的抛光机，其特征在于，所述偏心驱动机构具有在所述安装板（24）的两侧分别对称设置的两个。

11.根据权利要求10所述的抛光机，其特征在于，两个所述偏心驱动机构的第一转轴（2）通过传动机构同步传动连接。

12.根据权利要求9-11中任一项所述的抛光机，其特征在于，所述安装板（24）滑动支撑在所述基座（23）上，所述基座（23）与所述安装板（24）的接触面上设有自润滑件。

13.根据权利要求12所述的抛光机，其特征在于，所述自润滑件为石墨。

14.根据权利要求13所述的抛光机，其特征在于，所述基座（23）上具有朝向所述安装板（24）的第一凸起（27），所述安装板（24）上具有与所述第一凸起（27）相配合的第二凸起（28），所述第一凸起（27）支撑所述第二凸起（28），所述安装板（24）进行偏心运动时，所述第二凸起（28）在所述第一凸起（27）上滑动。