CN117471608A - 一种基于多模亚波长光栅的滤波器 - Google Patents
一种基于多模亚波长光栅的滤波器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117471608A CN117471608A CN202311405720.1A CN202311405720A CN117471608A CN 117471608 A CN117471608 A CN 117471608A CN 202311405720 A CN202311405720 A CN 202311405720A CN 117471608 A CN117471608 A CN 117471608A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sub
- wavelength grating
- mode
- waveguide
- grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 71
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000012886 linear function Methods 0.000 claims description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 9
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 241001270131 Agaricus moelleri Species 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 230000008844 regulatory mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 210000003781 tooth socket Anatomy 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12083—Constructional arrangements
- G02B2006/12109—Filter
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12133—Functions
- G02B2006/12164—Multiplexing; Demultiplexing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于多模亚波长光栅的滤波器。滤波器包括用于基模和高阶模的复用和解复用的模式解复用器，包括用于基模和高阶模的模场弱束缚调控的亚波长光栅，包括用于基模的输出的直通波导。本发明通过引入亚波长光栅的结构及其对模场弱束缚的调控，凭借其优异的平缓色散调控特性，实现了对光栅进行切趾仍保持一致的光栅本地折射率，从而获得具有高边模抑制比及无自由频谱范围限制的滤波器，可实现平坦化、低损耗的光谱响应，满足下一代大容量、高速率的波分复用传输需求，且带宽设计更灵活，具有结构简单、工艺简单、性能优异等优点。
Description
技术领域
本发明涉及了一种滤波器，涉及集成光电子器件领域，具体涉及一种基于多模亚波长光栅的滤波器。
背景技术
硅基光电子技术因为具有大带宽、高集成密度、低能耗、低成本和CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体)兼容等优点，越来越受到学术界和工业界的关注，被认为是最有前景和最具潜在成本效益的技术之一，可以作为下一代光通信、光互联和光传感***的核心支撑技术。在硅基光电子***的众多器件结构中，布拉格光栅由于其具有大自由光谱范围(Free Spectral Range，FSR)、平坦化光谱及高灵活性，被广泛应用在波分复用、光谱分析、非线性等场景中。其中，多模波导光栅由于其极高的灵活性、鲁棒性及极高的功能扩展性，为硅基片上光滤波器提供了一种极具发展潜力的波导结构。
随着光通信/光互联***的迭代升级以及光传感/光测量等新兴领域的飞速发展，对滤波器的FSR提出了更高的需求。例如，针对下一代数据中心网络的400G CWDM8(CoarseWavelength Division Multiplexer，粗波分复用器)光模块，需要研发新一代通道间隔为20nm的8通道粗波分复用器，其工作带宽高达160nm，相较于CWDM4光模块整整翻了一倍。然而，传统的多模波导光栅滤波器通常采用相位切趾以实现高边模抑制比，因存在对称光栅所引入的正反向基模的耦合，导致其FSR受限为120nm，远不能满足下一代光通信、光互联的性能需求。
发明内容
为了解决背景技术中存在的问题，本发明提供一种基于亚波长多模波导光栅的滤波器。
本发明采用的技术方案是：
本发明的基于多模亚波长光栅的滤波器包括用于基模和高阶模的复用和解复用的模式解复用器；包括用于基模和高阶模的模场弱束缚调控的亚波长光栅；包括用于基模的输出的直通波导。
模式解复用器、亚波长光栅和直通波导依次连接。
所述的亚波长光栅包括依次连接的前渐变亚波长光栅、多模亚波长光栅和后渐变亚波长光栅，前渐变亚波长光栅的输入端和模式解复用器的输出端连接，后渐变亚波长光栅的输出端和直通波导的输入端连接。
前渐变亚波长光栅的输入端作为亚波长光栅的输入端，后渐变亚波长光栅的输出端作为亚波长光栅的输出端。
所述的多模亚波长光栅为亚波长光栅结构，具体为由沿滤波器的输入的传播方向中心位置设置的细波导及分布在其两侧的系列矩形结构构成的齿形结构，系列矩形结构间隔平行布置并垂直于滤波器的输入的传播方向；每个矩形结构的齿和齿槽构成一个亚波长光栅单元，每两个相邻的亚波长光栅单元构成一个布拉格光栅单元。
所述的多模亚波长光栅通过每个布拉格光栅单元中的两个亚波长光栅单元沿垂直于滤波器的输入的传播方向的错位大小分布，分布按变化函数的渐变分布实现光栅切趾。
所述的变化函数为高斯函数、汉明函数或正弦函数等。
所述的多模亚波长光栅满足相位匹配条件(n0+nm)/2＝λ/Λ，在布拉格波长处实现基模反向耦合为高阶模式，其中，n0为基模的有效折射率，nm为第m阶模式有效折射率，λ为布拉格波长，Λ为光栅齿周期。
多模亚波长光栅可呈对称或反对称结构分布。
所述的前渐变亚波长光栅和后渐变亚波长光栅均为亚波长光栅结构，具体为由沿滤波器的输入的传播方向中心位置设置的渐变波导及分布在其两侧的系列矩形结构构成的渐变齿形结构，系列矩形结构间隔平行布置并垂直于滤波器的输入的传播方向；沿滤波器的输入的传输方向两侧的各个矩形结构的齿的末端的高度一致，前渐变亚波长光栅和后渐变亚波长光栅的渐变波导分别为沿滤波器的输入的传输方向和传输反方向按变化函数渐变分布，各个矩形结构的齿的齿槽低端深度由浅变深，实现普通波导模式低损转换为亚波长光栅波导中的布洛赫模式。
所述的变化函数为线性函数或二阶函数等。
所述的模式解复用器包括输入单模波导、下载单模波导、模式解复用工作区和前连接渐变波导，输入单模波导的输出端和下载单模波导的输入端分别连接模式解复用工作区的一端，输入单模波导的输入端和下载单模波导的输出端为自由端，模式解复用工作区的另一端连接前连接渐变波导的输入端，前连接渐变波导的输出端连接亚波长光栅的前渐变亚波长光栅的输入端。
输入单模波导的输入端作为模式解复用器的输入端口，同时也是多模亚波长光栅滤波器的输入端口；前连接渐变波导的输出端作为模式解复用器的输出端口；下载单模波导的输出端作为模式解复用器的下载端口，同时也是多模亚波长光栅滤波器所反射信号的下载端口；直通波导的输出端是多模亚波长光栅滤波器的直通端口。
所述的直通波导包括依次连接的后连接渐变波导和直通单模波导，后连接渐变波导的输入端连接亚波长光栅的后渐变亚波长光栅的输出端。
后连接渐变波导的输入端作为直通波导的输入端，直通单模波导的输出端作为直通波导的输出端口，同时也是多模亚波长光栅滤波器的直通端口。
所述的模式解复用器具体为绝热渐变耦合波导、不对称定向耦合波导或光栅辅助耦合波导等。
所述的多模亚波长光栅的滤波器在级联多通道滤波器和可调谐滤波器中的应用。
本发明的有益效果是：
1、本发明通过引入亚波长光栅的结构及其对模场弱束缚的调控，实现了相比传统多模波导光栅滤波器更灵活的带宽调节范围，可以实现各种不同带宽需求的滤波器，并且可实现平坦化、低损耗的光谱响应。
2、本发明通过利用亚波长光栅结构优异的色散调控机制及相应的切趾方式，显著降低了切趾中光栅本地折射率的变化，实现了高边模抑制比的光栅滤波器，并能实现具有无FSR限制的滤波器，满足下一代大容量、多通道的波分复用传输需求。
3、本发明引入了高阶模的反射信号及模式复用器，具有容差大、损耗小的优势，实现了波长信号的插分复用。
4、本发明可以用平面集成光波导工艺制作，只需要一次刻蚀完成，工艺简便、成本低，损耗小，与传统CMOS工艺兼容，具有大规模生产的潜力。
综合来说，本发明通过引入多模亚波长光栅及切趾技术，获得了具有高灵活带宽调节范围、高边模抑制比、低损耗、平顶型光谱的片上波导型插分滤波器，具有工艺简单、性能优异等优点。
附图说明
图1是多模亚波长光栅滤波器的整体结构示意图；
图2是多模亚波长光栅滤波器工作原理示意图；
图3是多模亚波长光栅滤波器的切趾光栅示意图；
图4是实施例器件光栅滤波器多模亚波长光栅的仿真结果图；
图中：1、模式解复用器，2、亚波长光栅，3、直通波导，01、输入单模波导，02、下载单模波导，03、模式解复用工作区，04、前渐变波导，05、前渐变亚波长光栅，06、多模亚波长光栅，07、后渐变亚波长光栅，08、后连接渐变波导，09、直通单模波导。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1所示，本发明的基于多模亚波长光栅的滤波器包括用于基模和高阶模的复用和解复用的模式解复用器1，包括用于基模和高阶模的模场弱束缚调控的亚波长光栅2，包括用于基模的输出的直通波导3。模式解复用器1、亚波长光栅2和直通波导3依次连接。模式解复用器1具体为绝热渐变耦合波导、不对称定向耦合波导或光栅辅助耦合波导等。
亚波长光栅2包括依次连接的前渐变亚波长光栅05、多模亚波长光栅06和后渐变亚波长光栅07，前渐变亚波长光栅05的输入端和模式解复用器1的输出端连接，后渐变亚波长光栅07的输出端和直通波导3的输入端连接。前渐变亚波长光栅05的输入端作为亚波长光栅2的输入端，后渐变亚波长光栅07的输出端作为亚波长光栅2的输出端。
多模亚波长光栅06为亚波长光栅结构，具体为由沿滤波器的输入的传播方向中心位置设置的细波导及分布在其两侧的系列矩形结构构成的齿形结构，系列矩形结构间隔平行布置并垂直于滤波器的输入的传播方向；每个矩形结构的齿和齿槽构成一个亚波长光栅单元，每两个相邻的亚波长光栅单元构成一个布拉格光栅单元，如图3所示。
多模亚波长光栅06通过每个布拉格光栅单元中的两个亚波长光栅单元沿垂直于滤波器的输入的传播方向的错位大小分布，分布按变化函数的渐变分布实现光栅切趾；变化函数为高斯函数、汉明函数或正弦函数等。
多模亚波长光栅06满足相位匹配条件(n0+nm)/2＝λ/Λ，在布拉格波长处实现基模反向耦合为高阶模式，其中，n0为基模的有效折射率，nm为第m阶模式有效折射率，λ为布拉格波长，Λ为光栅齿周期。多模亚波长光栅06可呈对称或反对称结构分布。
前渐变亚波长光栅05和后渐变亚波长光栅07均为亚波长光栅结构，具体为由沿滤波器的输入的传播方向中心位置设置的渐变波导及分布在其两侧的系列矩形结构构成的渐变齿形结构，系列矩形结构间隔平行布置并垂直于滤波器的输入的传播方向；沿滤波器的输入的传输方向两侧的各个矩形结构的齿的末端的高度一致，前渐变亚波长光栅05和后渐变亚波长光栅07的渐变波导分别为沿滤波器的输入的传输方向和传输反方向按变化函数渐变分布，各个矩形结构的齿的齿槽低端深度由浅变深，实现普通波导模式低损转换为亚波长光栅波导中的布洛赫模式；变化函数为线性函数或二阶函数等。
模式解复用器1包括输入单模波导01、下载单模波导02、模式解复用工作区03和前连接渐变波导04，输入单模波导01的输出端和下载单模波导02的输入端分别连接模式解复用工作区03的一端，输入单模波导01的输入端和下载单模波导02的输出端为自由端，模式解复用工作区03的另一端连接前连接渐变波导04的输入端，前连接渐变波导04的输出端连接亚波长光栅2的前渐变亚波长光栅05的输入端。输入单模波导01的输入端作为模式解复用器1的输入端口，同时也是多模亚波长光栅滤波器的输入端口；前连接渐变波导04的输出端作为模式解复用器1的输出端口；下载单模波导02的输出端作为模式解复用器1的下载端口，同时也是多模亚波长光栅滤波器所反射信号的下载端口；直通波导3的输出端是多模亚波长光栅滤波器的直通端口。
直通波导3包括依次连接的后连接渐变波导08和直通单模波导09，后连接渐变波导08的输入端连接亚波长光栅2的后渐变亚波长光栅07的输出端。后连接渐变波导08的输入端作为直通波导3的输入端，直通单模波导09的输出端作为直通波导3的输出端口，同时也是多模亚波长光栅滤波器的直通端口。
如图2所示，为本发明的工作原理，模式解复用器1、亚波长光栅2和直通波导3依次连接，图中左上端口为输入端口，左下端口为下载端口,右边端口为直通端口。此处以工作在横电模TE模式为例，其中亚波长光栅2所反射的为TE1模。从模式解复用器1左端输入的TE0模式可以无损的从右端以TE0模式输出，反之亦然；而从右端输入的TE1模式则可以耦合成TE0模式，并从左下端口以TE0模式输出。多模亚波长光栅则满足TE0模式与反向TE1模式的相位匹配条件，为反对称光栅，输入多模亚波长光栅的TE0模式，在布拉格波长谐振条件附近可以反向耦合成TE1模式，所反射回的TE1模式通过模式解复用器1从左下端口输出，未反射的TE0模式则从直通端口输出，从而实现对波长信号的插分复用。通过优化亚波长光栅2的总体宽度、光栅错位大小和光栅周期，则可以获得具有不同中心波长和带宽的滤波器。
多模亚波长光栅通过采用切趾技术实现对频谱边带的抑制，从而获得具有高边模抑制比的方型光谱响应。如图3所示，为切趾亚波长光栅的构成方式，在由两个亚波长光栅构成的布拉格光栅单元内，通过对两个亚波长光栅沿垂直传播方向的错位大小(即图中δ)的调节来实现切趾，δ沿传播方向成渐变分布，变化趋势为小-大-小，如图3所示，采用高斯函数来定义δ的变化趋势，即δ＝δ0exp[-b(z-L/2)2/L2]，其中，δ0为在光栅中间错位值最大的光栅错位值，b为切趾强度，z为沿传播方向的光栅位置，L为多模亚波长光栅的长度。选择越大的切趾强度b，可以获得边模抑制比越高的频谱。
本发明的具体实施例如下：
选用基于硅绝缘体SOI材料的硅纳米线光波导：其芯层是硅材料，厚度为220nm，折射率为3.4744；其下/上包层材料均为SiO2，下包层SiO2厚度为2μm，上包层SiO2厚度为1μm，折射率为1.4404。
对于多模亚波长光栅滤波器的模式解复用器1，采用绝热渐变耦合波导的结构。
对于多模亚波长光栅滤波器的反对称多模亚波长光栅结构，选取参数为多模亚波长光栅总宽度为1200nm，亚波长光栅2的光栅错位值最大值为90nm，亚波长光栅2周期为206nm，亚波长光栅2周期数为400，亚波长光栅2占空比为0.5，前/后渐变亚波长光栅05、07的周期数为40，中间细波导宽度为100nm，切趾形式为高斯切趾，切趾强度为10。
经三维时域有限差分算法对多模亚波长光栅滤波器进行了仿真验证，如图4所示，为仿真验证的仿真结果，由图可知，本发明的器件中心波长约为1550nm，1dB带宽为20nm，损耗小于0.1dB，频谱左右两侧的边模抑制比分别为25dB和27dB，频谱具有平坦化通道和较高的陡峭度，具有较理想化的方型光谱响应，且其自由光谱范围FSR>350nm，打破了之前传统多模波导光栅120nm的FSR。由此可见，本发明的器件可以获得一个具有低损耗、高边模抑制比、超大自由频谱范围的片上光学滤波器。
上述实施例用来解释说明本发明，而不是对本发明进行限制，在本发明的精神和权利要求的保护范围内，对本发明作出的任何修改和改变，都落入本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：
包括用于基模和高阶模的复用和解复用的模式解复用器(1)；
包括用于基模和高阶模的模场弱束缚调控的亚波长光栅(2)；
包括用于基模的输出的直通波导(3)。
2.根据权利要求1所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的亚波长光栅(2)包括依次连接的前渐变亚波长光栅(05)、多模亚波长光栅(06)和后渐变亚波长光栅(07)，前渐变亚波长光栅(05)的输入端和模式解复用器(1)的输出端连接，后渐变亚波长光栅(07)的输出端和直通波导(3)的输入端连接。
3.根据权利要求2所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的多模亚波长光栅(06)为亚波长光栅结构，具体为由沿滤波器的输入的传播方向中心位置设置的波导及分布在其两侧的系列矩形结构构成的齿形结构，系列矩形结构间隔平行布置并垂直于滤波器的输入的传播方向；每个矩形结构的齿和齿槽构成一个亚波长光栅单元，每两个相邻的亚波长光栅单元构成一个布拉格光栅单元。
4.根据权利要求3所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的多模亚波长光栅(06)通过每个布拉格光栅单元中的两个亚波长光栅单元沿垂直于滤波器的输入的传播方向的错位大小分布，分布按变化函数的渐变分布实现光栅切趾；
所述的变化函数为高斯函数、汉明函数或正弦函数。
5.根据权利要求2所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的多模亚波长光栅(06)满足相位匹配条件(n0+nm)/2＝λ/Λ，在布拉格波长处实现基模反向耦合为高阶模式，其中，n0为基模的有效折射率，nm为第m阶模式有效折射率，λ为布拉格波长，Λ为光栅齿周期。
6.根据权利要求2所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的前渐变亚波长光栅(05)和后渐变亚波长光栅(07)均为亚波长光栅结构，具体为由沿滤波器的输入的传播方向中心位置设置的渐变波导及分布在其两侧的系列矩形结构构成的渐变齿形结构，系列矩形结构间隔平行布置并垂直于滤波器的输入的传播方向；沿滤波器的输入的传输方向两侧的各个矩形结构的齿的末端的高度一致，前渐变亚波长光栅(05)和后渐变亚波长光栅(07)的渐变波导分别为沿滤波器的输入的传输方向和传输反方向按变化函数渐变分布，实现普通波导模式转换为亚波长光栅波导中的布洛赫模式；
所述的变化函数为线性函数或二阶函数。
7.根据权利要求2所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的模式解复用器(1)包括输入单模波导(01)、下载单模波导(02)、模式解复用工作区(03)和前连接渐变波导(04)，输入单模波导(01)的输出端和下载单模波导(02)的输入端分别连接模式解复用工作区(03)的一端，输入单模波导(01)的输入端和下载单模波导(02)的输出端为自由端，模式解复用工作区(03)的另一端连接前连接渐变波导(04)的输入端，前连接渐变波导(04)的输出端连接亚波长光栅(2)的前渐变亚波长光栅(05)的输入端。
8.根据权利要求2所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的直通波导(3)包括依次连接的后连接渐变波导(08)和直通单模波导(09)，后连接渐变波导(08)的输入端连接亚波长光栅(2)的后渐变亚波长光栅(07)的输出端。
9.根据权利要求1所述的基于多模亚波长光栅的滤波器，其特征在于：所述的模式解复用器(1)具体为绝热渐变耦合波导、不对称定向耦合波导或光栅辅助耦合波导。
10.根据权利要求1-9任一所述的基于多模亚波长光栅的滤波器的应用，其特征在于：所述的多模亚波长光栅的滤波器在级联多通道滤波器和可调谐滤波器中的应用。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311405720.1A CN117471608A (zh) | 2023-10-27 | 2023-10-27 | 一种基于多模亚波长光栅的滤波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311405720.1A CN117471608A (zh) | 2023-10-27 | 2023-10-27 | 一种基于多模亚波长光栅的滤波器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117471608A true CN117471608A (zh) | 2024-01-30 |
Family
ID=89634070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311405720.1A Pending CN117471608A (zh) | 2023-10-27 | 2023-10-27 | 一种基于多模亚波长光栅的滤波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117471608A (zh) |
-
2023
- 2023-10-27 CN CN202311405720.1A patent/CN117471608A/zh active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4361030B2 (ja) | モードスプリッタおよび光回路 | |
| Okamoto | Wavelength-division-multiplexing devices in thin SOI: Advances and prospects | |
| CN109870767B (zh) | 一种光栅型单纤三向复用器 | |
| CN111736266B (zh) | 一种面向PON的WDM1r合波器 | |
| CN108445586B (zh) | 一种基于硅基波导光栅的偏振不相关的带通滤波器 | |
| CN109407209B (zh) | 一种基于模式转换器和布拉格波导光栅的光波分模分混合复用解复用器 | |
| US20060222296A1 (en) | Optical wavelength division multiplexer | |
| CN213661636U (zh) | 波分复用/解复用器、光子集成芯片和光模块 | |
| CN110568555B (zh) | 一种亚波长多模y分支波导 | |
| CN101915961A (zh) | 一种多级联光纤光栅滤波器 | |
| CN111226147B (zh) | 中阶梯光栅复用器或解复用器 | |
| Rabus | Realization of optical filters using ring resonators with integrated semiconductor optical amplifiers in GaInAsP/InP | |
| GB2488308A (en) | Optical Filter | |
| CN100565257C (zh) | 基于二维光子晶体的可重构光上下路复用器 | |
| Huang et al. | Arrayed waveguide grating DWDM interleaver | |
| CN115236799B (zh) | 一种横向振幅切趾的光栅型铌酸锂光学滤波器 | |
| CN112558227B (zh) | 一种双层的温度不敏感且制备不敏感的mzi滤波器 | |
| CN117471608A (zh) | 一种基于多模亚波长光栅的滤波器 | |
| CN115016060A (zh) | 一种超低串扰的级联光栅型多通道片上滤波器 | |
| CN116088096A (zh) | 一种双入双出模式转换器及设计方法 | |
| CN112327518B (zh) | 基于铌酸锂薄膜的新型阵列波导光栅 | |
| CN114755759A (zh) | 一种基于亚波长光栅的超紧凑型阵列波导光栅波分复用器 | |
| Xia et al. | On the design of microring resonator devices for switching applications in flexible-grid networks | |
| CN112462535A (zh) | 一种硅基电光调制与模分复用集成器件 | |
| US6842253B2 (en) | Constructing method for an optical passive component |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |