CN117289641A - 信号同步控制电路和光芯片的晶圆测试*** - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种信号同步控制电路和光芯片的晶圆测试***，该信号同步控制电路包括：控制模块、通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口、脉冲信号输出端口；控制模块分别与通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口和脉冲信号输出端口连接；控制模块用于接收通信输入端口传输的第一控制指令，并根据控制指令向通信输出端口发送驱动控制指令，同时实时接收信号采集端口采集的反馈信号，根据反馈信号向脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号。本发明的技术方案，提高了二维光强耦合的扫描速度，减小了光纤平移台移动过程中的累计误差。

Description

信号同步控制电路和光芯片的晶圆测试***

技术领域

本发明涉及光芯片测试技术领域，尤其涉及一种信号同步控制电路和光芯片的晶圆测试***。

背景技术

光芯片通过将激光器、光波导、光参量放大器（Optical parametricamplification，OPA）等光学器件集成在同一衬底上，大大增加了光学模块的集成度。在光芯片领域，将晶圆切割为多个光芯片之前，需要对光芯片进行测试，以保证光芯片的质量。

光芯片的测试为非接触测试，因此，在对光芯片进行测试之前，需要先找到光芯片的测试端与测试光纤之间的最佳耦合点。目前，寻找最佳耦合点时，多采用二维扫描，具体为：光纤移动一个跟小的距离，光接收器采集一下光强，如此往复，直至光接收器采集完所有扫描点的光强。该方法扫描速度较慢，此外，由于光纤实际移动的距离存在误差，而二维扫描的扫描点往往数以百计，如此光纤移动时产生的累计误差较大，导致最佳耦合点不准确，从而影响光芯片测试的准确度。

发明内容

本发明提供了一种信号同步控制电路和光芯片的晶圆测试***，以解决现有技术存在的问题，提高了光芯片测试的效率和测试准确性。

第一方面，本发明提供了一种信号同步控制电路，包括：控制模块、通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口、脉冲信号输出端口；

所述控制模块分别与所述通信输入端口、所述通信输出端口、所述信号采集端口和所述脉冲信号输出端口连接；

所述通信输出端口和所述信号采集端口均与外部设备连接；所述脉冲信号输出端口与光接收器连接；

所述控制模块用于接收所述通信输入端口传输的第一控制指令，并根据所述第一控制指令向所述通信输出端口发送驱动控制指令，，以驱动所述外部设备移动，同时实时接收所述信号采集端口采集的所述外部设备的反馈信号，根据所述反馈信号向所述脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号，以使所述光接收器根据所述脉冲触发信号，采集光信号。

可选的，所述的信号同步控制电路，还包括：开关模块；

所述开关模块连接于所述控制模块与所述脉冲信号输出端口之间；

所述开关模块用于在接收到所述第一控制指令时，导通所述控制模块和所述脉冲信号输出端口。

可选的，所述的信号同步控制电路，还包括：脉冲信号输入端口；

所述脉冲信号输入端口通过所述开关模块与所述脉冲信号输出端口连接；

所述开关模块还用于在接收到第二控制指令时，断开所述控制模块和所述脉冲信号输出端口，导通所述脉冲信号输入端口与所述脉冲信号输出端口；

所述脉冲信号输出端口还用于接收所述接收脉冲信号输入端口发送的脉冲同步信号。

第二方面，本发明还提供一种光芯片的晶圆测试***，待测晶圆中设置有至少一个光芯片；所述光芯片包括至少一个测试入射端和至少一个测试出射端；所述光芯片的晶圆测试***包括：

测试平台，包括用于装载所述待测晶圆的承载面；所述测试平台用于承载并带动所述待测晶圆移动；

光发射器，用于提供入射光；

光接收器，用于接收出射光；

至少一个第一光纤；所述第一光纤的一端耦合于所述光发射器的光出射端，所述第一光纤的另一端位于所述测试平台的承载面侧；所述第一光纤用于将所述光发射器提供的所述入射光耦合至所述待测晶圆上，以使所述入射光由所述测试入射端传输至所述测试出射端；

至少一个第二光纤；所述第二光纤的一端耦合于所述光接收器的光接收端，所述第二光纤的另一端位于所述承载面侧；所述第二光纤用于将所述测试出射端出射的出射光耦合至所述光接收器；

上述任一项所述的信号同步控制电路；所述信号同步控制电路用于控制所述测试平台、所述第一光纤和/或所述第二光纤移动；以及控制所述光接收器接收出射光。

可选的，所述的光芯片的晶圆测试***，还包括：所述第一光纤支架固定于所述第一光纤平移台；所述第一光纤的至少部分固定于所述第一光纤支架上，且所述第一光纤与所述待测晶圆呈第一预设角度；

所述第二光纤支架固定于所述第二光纤平移台；所述第二光纤的至少部分固定于所述第二光纤支架上，且所述第二光纤与所述待测晶圆呈第二预设角度；

所述第一光纤平移台用于带动所述第一光纤移动，以使所述第一光纤位于最佳光耦合位置；所述第二光纤平移台用于带动所述第二光纤移动，以使所述第二光纤位于最佳光耦合位置；

所述信号同步控制电路用于控制所述第一光纤平移台以带动所述第一光纤移动，以及控制所述第二光纤平移台，以带动所述第二光纤移动。

可选的，所述的光芯片的晶圆测试***，其特征在于，光纤平移台驱动器；

所述光纤平移台驱动器分别与所述第一光纤平移台和所述第二光纤平移台连接；所述光纤平移台驱动器用于驱动所述第一光纤平移台和所述第二光纤平移台移动；

所述信号同步控制电路用于通过光纤平移台驱动器驱动所述第一光纤平移台和/或第二光纤平移台移动。

可选的，所述的光芯片的晶圆测试***，还包括：偏振模块；

所述第一光纤通过所述偏振模块与所述光发射器连接；所述偏振模块用于控制所述入射光的偏振态。

可选的，所述的光芯片的晶圆测试***，还包括：光路切换模块；

所述第一光纤包括第一光纤部和第二光纤部；所述第二光纤包括第三光纤部和第四光纤部；

所述光路切换模块至少一个第一入射端、至少一个第一出射端、至少一个第一切换端和至少一个第二切换端；

所述第一光纤部的一端耦合于所述光发射器的光出射端，所述第一光纤部的另一端与所述第一入射端对应连接；

所述第二光纤部的一端与第一切换端对应连接，所述第二光纤部的另一端位于所述承载面侧；

所述第三光纤部的一端耦合于所述光接收器的光接收端，所述第三光纤部的另一端与所述第一出射端对应连接；

所述第四光纤部的一端与第二切换端对应连接，所述第四光纤部的另一端位于所述承载面侧；

所述光路切换模块用于控制所述第一光纤部和所述第三光纤部分别与所述第二光纤部和所述第四光纤部的连通关系。

本发明的技术方案，通过使信号同步控制电路中的控制模块分别与通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口和脉冲信号输出端口连接；控制模块接收通信输入端口传输的第一控制指令，并根据控制指令向通信输出端口发送驱动控制指令，从而驱动通信输出端口连接的外部设备移动，同时实时接收信号采集端口采集的反馈信号，根据反馈信号向脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号，使得控制模块能够接收到外部设备的反馈信号，从而当外部设备移动时，控制模块能够向脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号，使得脉冲触发信号能够控制脉冲信号输出端口连接的光接收器采集光信号，如此，在外部设备移动过程中，光接收器能够根据脉冲触发信号采集光信号，从而能够提高扫描速度，同时能够减小外部设备移动时产生的累计误差，提高最佳耦合点的准确性，进而提高光芯片测试的效率和准确度。

应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种信号同步控制电路的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种光芯片的晶圆测试***的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一种光芯片的晶圆测试***的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的又一种光芯片的晶圆测试***的结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

本实施例提供了一种信号同步控制电路，图1为本发明实施例提供的一种信号同步控制电路的结构示意图，参考图1所示，该信号同步控制电路140包括控制模块1、通信输入端口2、通信输出端口3、信号采集端口4、脉冲信号输出端口5；控制模块1分别与通信输入端口2、通信输出端口3、信号采集端口4和脉冲信号输出端口5连接；通信输出端口3和信号采集端口4均与外部设备连接；脉冲信号输出端口5与光接收器连接；控制模块1用于接收通信输入端口传输的第一控制指令，并根据第一控制指令向通信输出端口3发送驱动控制指令，以驱动外部设备移动，同时实时接收信号采集端口4采集的外部设备的反馈信号，根据反馈信号向脉冲信号输出端口5发送脉冲触发信号，以使光接收器根据脉冲触发信号，采集光信号。

其中，通信输入端口2用于接收上位机发送的第一控制指令；上位机可以但不限于包括能够发送控制指令的计算机等，例如，电脑，手机，平板，面板，触摸屏等。通信输出端口3用于向外部设备发送驱动控制指令，以使外部设备移动；外部设备可以但不限于包括光芯片测试***的测试平台、入射光纤或出射光纤等；第一控制指令可以为光芯片测试***的光强扫描指令等；驱动控制指令可以包括但不限于外部设备的移动路径、移动距离和/或移动速度等。信号采集端口4用于采集外部设备的反馈信号；反馈信号可以但不限于包括外部设备的运动状态等信号。脉冲信号输出端口5用于向光接收器发送脉冲触发信号，以使光接收器根据脉冲触发信号采集光信号。

具体的，通信输入端口接收上位机发送的第一控制指令，并将第一控制指令传输至控制模块1，使得控制模块1根据第一控制指令，向通信输出端口3发送驱动控制指令，以使外部设备移动；同时，信号采集端口4采集外部设备的运动状态等反馈信号，并将该反馈信号发送至控制模块1，使得控制模块1根据反馈信号，向脉冲信号输出端口5发送脉冲触发信号，以使与脉冲信号输出端口5连接的光接收器根据脉冲触发信号采集光信号。

本实施例中，通过使信号同步控制电路中的控制模块分别与通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口和脉冲信号输出端口连接；控制模块接收通信输入端口传输的第一控制指令，并根据控制指令向通信输出端口发送驱动控制指令，从而驱动外部设备移动，同时实时接收信号采集端口采集的反馈信号，根据反馈信号向脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号，使得控制模块能够接收到外部设备的反馈信号，从而当外部设备移动时，控制模块能够向脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号，使得脉冲触发信号能够控制脉冲信号输出端口连接的光接收器采集光信号，如此，在外部设备移动过程中，光接收器能够根据脉冲触发信号采集光信号，从而能够提高扫描速度，同时能够减小外部设备移动时产生的累计误差，提高最佳耦合点的准确性，进而提高光芯片测试的效率和准确度。

可选的，继续参考图1所示，信号同步控制电路140还包括开关模块6；开关模块6连接于控制模块1与脉冲信号输出端口5之间；开关模块6用于在接收到第一控制指令时，导通控制模块1和脉冲信号输出端口5，使得控制模块1能够通过开关模块6向脉冲信号输出端口5发送脉冲触发信号，以使光接收器根据脉冲触发信号采集光信号。

其中，开关模块可以包括但不限于半导体开关，机械开关等，在能够实现本发明实施例的核心发明点的前提下，本发明实施例对开关模块包括的开关类型不做具体限定。

在一示例性实施例中，开关模块包括模拟开关芯片，在一示例性实施例中，开关模块为单刀双掷模拟开关芯片，第一控制指令包括高电平信号，当接收到第一控制指令时，单刀双掷模拟开关芯片中与控制模块1和脉冲信号输出端口5连接的端口导通，从而使得控制模块1能够通过开关模块6向脉冲信号输出端口5发送脉冲触发信号。

在一可选实施例中，继续参考图1，信号同步控制电路140还包括脉冲信号输入端口7；脉冲信号输入端口7通过开关模块6与脉冲信号输出端口5连接；脉冲信号输出端口5还用于接收脉冲信号输入端口7发送的脉冲同步信号；开关模块6还用于在接收到第二控制指令时，断开控制模块1和脉冲信号输出端口5，导通脉冲信号输入端口7与脉冲信号输出端口5，使得脉冲信号输入端口7能够通过开关模块6向脉冲信号输出端口5发送脉冲同步信号，以使光接收器根据脉冲同步信号采集光信号。

其中，脉冲信号输入端口7用于接收光发射器发送的脉冲同步信号；脉冲同步信号可以为光发射器发射入射光的同时，发出的脉冲信号。第二控制指令可以为光芯片测试***的光谱测试指令等。

在一示例性实施例中，当开关模块为单刀双掷模拟开关芯片时，第二控制指令可以包括低电平信号，当接收到第二控制指令时，单刀双掷模拟开关芯片中与脉冲信号输入端口7和脉冲信号输出端口5连接的端口导通，使得脉冲信号输入端口接收的脉冲同步信号能够通过开关模块6发送至脉冲信号输出端口，从而光发射器能够根据脉冲同步信号采集光信号，以完成光谱测试。

在一示例性实施例中，以通信输出端口3与信号采集端口4均连接光纤平移台、脉冲信号输入端口7接收光发射器发出的脉冲信号，以及脉冲信号输出端口5向光接收器发送脉冲触发信号为例，当通信输出端口3接收到第一控制指令时，通信输出端口3将第一控制指令传输至控制模块1，使得控制模块1根据第一控制指令向通信输出端口3发送驱动控制指令，以驱动光纤平移台根据驱动控制指令移动，同时，信号采集端口4采集测试平台的运动状态等反馈信号，并将该反馈信号发送至控制模块1，使得控制模块1根据反馈信号生成脉冲触发信号，此时，开关模块6接收到第一控制指令，控制模块1和脉冲信号输出端口5导通，控制模块1通过开关模块6将脉冲触发信号发送至脉冲信号输出端口5，以使与脉冲信号输出端口5连接的光接收器根据脉冲触发信号采集光信号；当接收到第二控制指令时，开关模块6断开控制模块1和脉冲信号输出端口5，导通脉冲信号输入端口7与脉冲信号输出端口5，使得光发射器发出的脉冲同步信号通过脉冲信号输入端口7和开关模块6传输至脉冲信号输出端口5，以使光接收器根据脉冲同步信号采集光信号。

可选的，继续参考图1所示，开关模块6包括选择开关61；选择开关61包括第一静触点A、第二静触点B和动触点C；动触点C与脉冲信号输出端口连接；第一静触点A与控制模块1连接；第二静触点B与脉冲信号输入端口7电连接；当开关模块6接收到第一控制信号时，第一静触点A与动触点C导通，使控制模块1与脉冲信号输出端口5导通；当开关模块6接收到第二控制信号时，第二静触点B与动触点C导通，使得控制模块1与脉冲信号输出端口5断开，脉冲信号输入端口7与脉冲信号输出端口5导通，从而简化信号同步控制电路的结构。

基于同一发明构思，本实施例还提供一种光芯片的晶圆测试***，用于测试待测晶圆。图2为本发明实施例提供的一种光芯片的晶圆测试***的结构示意图，参考图2所示，该测试***包括测试平台010、光发射器020、光接收器030、至少一个第一光纤040、至少一个第二光纤050，以及上述任一实施例提供的信号同步控制电路140。测试平台010包括用于装载待测晶圆的承载面011；测试平台010用于承载并带动待测晶圆060移动；光发射器用于提供入射光；光接收器030用于接收出射光；第一光纤040的一端耦合于光发射器020的光出射端，第一光纤040的另一端位于测试平台100的承载面011侧；第一光纤040用于将光发射器020提供的入射光耦合至待测晶圆060上，以使入射光由测试入射端传输至测试出射端；第二光纤050的一端耦合于光接收器030的光接收端，第二光纤050的另一端位于承载面011侧；第二光纤050用于将测试出射端出射的出射光耦合至光接收器030；信号同步控制电路140用于控制测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050移动；以及控制光接收器030接收出射光。

其中，待测晶圆060中设置有至少一个光芯片；各光芯片包括至少一个测试入射端和至少一个测试出射端。需要说明的是，图1仅示例性示出了光芯片包括一个测试入射端和一个测试出射端的情况，并非对光芯片中测试入射端和测试出射端的数量进行限定。可以理解的是，各光芯片中可以设置有包括但不限于光波导、激光器、光耦合器和分光器等光学器件，每个光学器件均包括可以包括测试点，每组测试点包括至少一个测试入射端和至少一个测试出射端，例如，每个光波导包括一个测试入射端和一个测试出射端，每个光耦合器包括两个测试入射端和一个测试出射端。

测试平台010用于承载并带动待测晶圆060移动，在一可选实施例中，测试平台010能够完成待测晶圆060的上料、下料和调平等，还能够完成待测晶圆060分布扫描、设置待测晶圆060的测试点、带动待测晶圆060按照测试点移动，以及带动待测晶圆060按照光芯片移动等。本实施例中，测试平台010能够带动待测晶圆060准确移动至目标位置，还能够根据输入的坐标准确带动晶圆移动至坐标位置。

光发射器020能够根据测试需求发射不同波长或不同频率的光，光发射器020还能够发射固定规律的扫频光。光发射器020用于根据待测晶圆060的测试要求，提供相应的入射光，光发射器020在提供入射光的同时，能够发出脉冲同步信号。需要说明的是，图1仅示例性示出了光发射器020包括一个光出射端的情况，在一可选实施例中，光发射器020还可以包括多个光出射端，本实施例中，光发射器020的光出射端的数量与测试入射端的数量相同。

光接收器030用于接收出射光，并根据待测晶圆060的测试要求，测试出射光的光功率、光强等光信号参数。光接收器030能够根据接收到的脉冲触发信号或者脉冲同步信号等采集指令进行光信号参数的采集；在一示例性实施例中，光接收器030可以根据接收到的采集指令完成单次光信号采集，且在采集完成后输出单次采集的光信号参数数据，在另一示例性实施例中，光接收器030可以根据接收到的采集指令完成多次光信号采集，且在采集完成或者重置后将多次采集的光信号参数数据输出。需要说明的是，图1仅示例性示出了光接收器030包括一个光接收端的情况，在一可选实施例中，光接收器030还可以包括多个光接收端，本实施例中，光接收器030的光接收端的数量与测试出射端的数量相同。

需要说明的是，图1仅示例性示出了测试***包括一个第一光纤040和一个第二光纤050的情况，并非对第一光纤040和第二光纤050的数量进行限定，本实施例中，第一光纤040的数量与测试入射端的数量相同，第二光纤050的数量与测试出射端的数量相同。第一光纤040和第二光纤050用于传输光信号。

第一光纤040一端耦合于光发射器020的光出射端，另一端位于测试平台010的承载面011侧，因此，第一光纤040能够将光发射器020提供的入射光提供至测试平台010的承载面011侧，当测试平台010的承载面011上承载有待测晶圆060且第一光纤040的另一端与待测晶圆060的测试入射端耦合时，光发射器020提供的入射光能够通过第一光纤040耦合至待测晶圆060，从而入射光能够由待测晶圆060的测试入射端传输至测试出射端。

第二光纤050的一端耦合于光接收器030的光接收端，另一端位于承载面011侧，因此，当第二光纤050的另一端与待测晶圆060的测试出射端耦合时，测试出射端出射的出射光能够通过第二光纤050传输至光接收器030。

信号同步控制电路140的通信输入端口2用于接收控制指令，并将控制指令发送至控制模块1，以使控制模块1接收到第一控制指令时，生成驱动控制信号；通信输出端口3与测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050连接，通信输出端口3用于将控制模块1发送的驱动控制指令提供至测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050连接，以使测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050根据驱动控制指令移动；信号采集端口4与测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050连接，信号采集端口4用于采集测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050的运动状态等反馈信号，并将该反馈信号发送至控制模块1，以使控制模块1根据反馈信号向脉冲信号输出端发送脉冲触发信号；脉冲信号输出端与光接收器030连接，脉冲信号输出端用于将脉冲触发信号提供至光接收器030，以使光接收器030根据脉冲触发信号采集光信号。

在一可选实施例中，光发射器020与脉冲信号输入端口7连接，当控制模块1接收到第二控制指令时，脉冲信号输入端口7与脉冲信号输出端口5连接，控制模块1与脉冲信号输出端口5断开，光发射器020发出的脉冲同步信号通过脉冲信号输入端口7传输至脉冲信号输出端口5，以使脉冲信号输出端口5将脉冲同步信号提供至光接收器030，以使光接收器030根据脉冲同步信号采集光信号。

在一示例性实施例中，以第一控制信号为光强扫描信号，第二控制信号为光谱测试信号为例，当控制模块1接收到光强扫描信号时，向通信输出端口3发送驱动控制指令，以使通信输出端口3将驱动控制指令提供至测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050，驱动控制指令可以包括测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050的移动路径、移动距离和/或移动速度等，测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050根据驱动控制指令移动；同时，控制模块1根据第一控制指令生成发送脉冲触发信号有效电平的频率，例如，每1ms发送一次脉冲触发信号的有效电平；信号采集端口4采集测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050的反馈信号，并将该反馈信号发送至控制模块1，当测试平台010、第一光纤040和/或第二光纤050根据驱动控制指令移动开始移动时，控制模块1开始向脉冲信号输出端发送使光接收器030采集光信号的脉冲触发信号，从而光接收器030在接收到脉冲触发信号的有效电平时，采集光信号，以完成光强扫描。当控制模块1接收到光谱测试信号时，断开控制模块1和脉冲信号输出端口5，导通脉冲信号输入端口7与脉冲信号输出端口5，光发射器020提供不同波长的光，光发射器020提供每个波长的光的同时，发出一次脉冲同步信号的有效电平，该脉冲同步信号通过脉冲信号输入端口7传输至脉冲信号输出端口5，再提供至光接收器030，以使在光接收器030接收到脉冲同步信号的有效电平时，采集光信号，从而完成光芯片的光谱测试。

本实施例中，通过使光芯片的晶圆测试***的光发射器提供入射光，光接收器接收出射光，第一光纤的一端耦合于光发射器的光出射端，第一光纤的另一端位于测试平台的承载面侧，第二光纤的一端耦合于光接收器的光接收端，第二光纤的另一端位于测试平台的承载面侧，并通过信号同步控制电路1控制测试平台、第一光纤和/或第二光纤移动，以及控制光接收器接收出射光，如此，在测试平台、第一光纤和/或第二光纤移动过程中，光接收器能够根据脉冲触发信号采集光信号，从而能够提高扫描速度，同时能够减小外部设备移动时产生的累计误差，提高最佳耦合点的准确性，进而提高光芯片测试的效率和准确度。

可选的，该光芯片的晶圆测试***还包括第一光纤平移台070、第二光纤平移台080、第一光纤支架090和第二光纤支架100；第一光纤支架090固定于第一光纤平移台070；第一光纤040的至少部分固定于第一光纤支架090上，且第一光纤040与待测晶圆060呈第一预设角度；第二光纤支架100固定于第二光纤平移台080；第二光纤050的至少部分固定于第二光纤支架100上，且第二光纤050与待测晶圆060呈第二预设角度；第一光纤平移台070用于带动第一光纤040移动，以使第一光纤040位于最佳光耦合位置；第二光纤平移台080用于带动第二光纤050移动，以使第二光纤050位于最佳光耦合位置；信号同步控制电路140控制第一光纤平移台以带动第一光纤移动，以及控制第二光纤平移台，以带动第二光纤移动。

其中，第一光纤平移台070和第二光纤平移台080位于测试平台010周围，信号同步控制电路140的通信输出端口3与第一光纤平移台070和/或第二光纤平移台080连接，以通过控制第一光纤平移台070移动而带动第一光纤040移动，以及通过控制第二光纤平移台080移动而带动第二光纤050移动。在一可选实施例中，光芯片的晶圆测试***还可以包括光纤平移台驱动器110；光纤平移台驱动器110分别与第一光纤平移台070和第二光纤平移台080连接，信号同步控制电路140的通信输出端口3与光纤平移台驱动器110连接，以通过光纤平移台驱动器110驱动第一光纤平移台070和/或第二光纤平移台080移动，从而能够提高第一光纤平移台070和第二光纤平移台080的准确性，提高测试结果的准确性。

光纤平移台可以但不限于为三轴光纤平移台，三轴光纤平移台能够带动光纤在X方向、Y方向和Z方向移动，从而实现光纤在水平和垂直方向上移动。根据测试需求，光纤平移台还可以为两轴光纤平移台、六轴光纤平移台等，本实施例对此不做限定。

第一预设角度和第二预设角度根据待测晶圆060的测试需求确定，第一预设角度和第二预设角度可以相同，也可以不同，本实施例对此不做限定。

第一光纤040的至少部分固定于第一光纤支架090上可以为第一光纤040远离光发射器020的一端固定于第一光纤支架090上，第一光纤支架090固定于第一光纤平移台070，从而第一光纤平移台070移动时，能够带动第一光纤040移动，以使第一光纤040能够移动至最佳光耦合位置；同样的，第二光纤050的至少部分固定于第二光纤支架100上可以为第二光纤050远离光接收器030的一端固定于第二光纤支架100上，第二光纤支架100固定于第二光纤平移台080，从而第二光纤平移台080移动时，能够带动第二光纤050移动，以使第二光纤050能够移动至最佳光耦合位置。

可选的，图3为本发明实施例提供的另一种光芯片的晶圆测试***的结构示意图，参考图3所示，该光芯片的晶圆测试***还包括偏振模块120；第一光纤040通过偏振模块120与光发射器020连接；偏振模块120用于控制入射光的偏振态，从而使得对特性偏振态敏感的光芯片进行测试时，偏振模块120能够根据相应的指令将光发射器020提供的入射光转换为特定的偏振态的偏振光。

可选的，图4为本发明实施例提供的又一种光芯片的晶圆测试***的结构示意图，参考图4所示，该光芯片的晶圆测试***还包括光路切换模块130；第一光纤040包括第一光纤部041和第二光纤部042；第二光纤050包括第三光纤部051和第四光纤部052；光路切换模块130至少一个第一入射端131、至少一个第一出射端132、至少一个第一切换端133和至少一个第二切换端134；第一光纤部041的一端耦合于光发射器020的光出射端，第一光纤部041的另一端与第一入射端131对应连接；第二光纤部042的一端与第一切换端133对应连接，第二光纤部042的另一端位于承载面011侧；第三光纤部051的一端耦合于光接收器030的光接收端，第三光纤部051的另一端与第一出射端132对应连接；第四光纤部052的一端与第二切换端134对应连接，第四光纤部052的另一端位于承载面011侧；光路切换模块130用于控制第一光纤部041和第三光纤部051分别与第二光纤部042和第四光纤部052的连通关系。

其中，光路切换模块130控制第一光纤部041和第三光纤部051分别与第二光纤部042和第四光纤部052的连通关系可以为光路切换模块130控制第一光纤部041与第二光纤部042导通，以及第三光纤部051与第四光纤部052导通，或者，光路切换模块130控制第一光纤部041与第四光纤部052导通，以及第三光纤部051与第二光纤部042导通，如此，当待测晶圆060包括多组测试点时，若相邻两组测试点的测试入射端和测试出射端的位置相反，则测试完前一组测试点后，控制光路切换模块130更改第一光纤部041和第三光纤部051分别与第二光纤部042和第四光纤部052的连通关系即可对下一组测试点进行测试，从而无需手动更改第一光纤040和第二光纤050的位置，从而进一步提高待测晶圆060的测试效率。

上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。

Claims (8)

1.一种信号同步控制电路，其特征在于，包括：控制模块、通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口、脉冲信号输出端口；

所述控制模块分别与所述通信输入端口、所述通信输出端口、所述信号采集端口和所述脉冲信号输出端口连接；

所述通信输出端口和所述信号采集端口均与外部设备连接；所述脉冲信号输出端口与光接收器连接；

所述控制模块用于接收所述通信输入端口传输的第一控制指令，并根据所述第一控制指令向所述通信输出端口发送驱动控制指令，以驱动所述外部设备移动，同时实时接收所述信号采集端口采集的所述外部设备的反馈信号，根据所述反馈信号向所述脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号，以使所述光接收器根据所述脉冲触发信号，采集光信号。

2.根据权利要求1所述的信号同步控制电路，其特征在于，还包括：开关模块；

所述开关模块连接于所述控制模块与所述脉冲信号输出端口之间；

所述开关模块用于在接收到所述第一控制指令时，导通所述控制模块和所述脉冲信号输出端口。

3.根据权利要求2所述的信号同步控制电路，其特征在于，还包括：脉冲信号输入端口；

所述脉冲信号输入端口通过所述开关模块与所述脉冲信号输出端口连接；

所述开关模块还用于在接收到第二控制指令时，断开所述控制模块和所述脉冲信号输出端口，导通所述脉冲信号输入端口与所述脉冲信号输出端口；

所述脉冲信号输出端口还用于接收所述脉冲信号输入端口发送的脉冲同步信号。

4.一种光芯片的晶圆测试***，其特征在于，待测晶圆中设置有至少一个光芯片；所述光芯片包括至少一个测试入射端和至少一个测试出射端；所述光芯片的晶圆测试***包括：

测试平台，包括用于装载所述待测晶圆的承载面；所述测试平台用于承载并带动所述待测晶圆移动；

光发射器，用于提供入射光；

光接收器，用于接收出射光；

至少一个第一光纤；所述第一光纤的一端耦合于所述光发射器的光出射端，所述第一光纤的另一端位于所述测试平台的承载面侧；所述第一光纤用于将所述光发射器提供的所述入射光耦合至所述待测晶圆上，以使所述入射光由所述测试入射端传输至所述测试出射端；

至少一个第二光纤；所述第二光纤的一端耦合于所述光接收器的光接收端，所述第二光纤的另一端位于所述承载面侧；所述第二光纤用于将所述测试出射端出射的出射光耦合至所述光接收器；

权利要求1-3中任一项所述的信号同步控制电路；所述信号同步控制电路用于控制所述测试平台、所述第一光纤和/或所述第二光纤移动；以及控制所述光接收器接收出射光。

5.根据权利要求4所述的光芯片的晶圆测试***，其特征在于，还包括：所述第一光纤支架固定于所述第一光纤平移台；所述第一光纤的至少部分固定于所述第一光纤支架上，且所述第一光纤与所述待测晶圆呈第一预设角度；

所述第二光纤支架固定于所述第二光纤平移台；所述第二光纤的至少部分固定于所述第二光纤支架上，且所述第二光纤与所述待测晶圆呈第二预设角度；

所述第一光纤平移台用于带动所述第一光纤移动，以使所述第一光纤位于最佳光耦合位置；所述第二光纤平移台用于带动所述第二光纤移动，以使所述第二光纤位于最佳光耦合位置；

所述信号同步控制电路用于控制所述第一光纤平移台以带动所述第一光纤移动，以及控制所述第二光纤平移台，以带动所述第二光纤移动。

6.根据权利要求5所述的光芯片的晶圆测试***，其特征在于，还包括：光纤平移台驱动器；

所述光纤平移台驱动器分别与所述第一光纤平移台和所述第二光纤平移台连接；所述光纤平移台驱动器用于驱动所述第一光纤平移台和所述第二光纤平移台移动；

所述信号同步控制电路用于通过光纤平移台驱动器驱动所述第一光纤平移台和/或第二光纤平移台移动。

7.根据权利要求4所述的光芯片的晶圆测试***，其特征在于，还包括：偏振模块；

所述第一光纤通过所述偏振模块与所述光发射器连接；所述偏振模块用于控制所述入射光的偏振态。

8.根据权利要求4所述的光芯片的晶圆测试***，其特征在于，还包括：光路切换模块；

所述第一光纤包括第一光纤部和第二光纤部；所述第二光纤包括第三光纤部和第四光纤部；

所述光路切换模块至少一个第一入射端、至少一个第一出射端、至少一个第一切换端和至少一个第二切换端；

所述第一光纤部的一端耦合于所述光发射器的光出射端，所述第一光纤部的另一端与所述第一入射端对应连接；

所述第二光纤部的一端与第一切换端对应连接，所述第二光纤部的另一端位于所述承载面侧；

所述第三光纤部的一端耦合于所述光接收器的光接收端，所述第三光纤部的另一端与所述第一出射端对应连接；

所述第四光纤部的一端与第二切换端对应连接，所述第四光纤部的另一端位于所述承载面侧；

所述光路切换模块用于控制所述第一光纤部和所述第三光纤部分别与所述第二光纤部和所述第四光纤部的连通关系。