CN117072561B - 一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台 - Google Patents
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- 230000033001 locomotion Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 31
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- 238000013461 design Methods 0.000 description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 14
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
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Abstract
本发明公开了一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台,涉及精密仪器技术领域,本可组合多轴结构包括第一气浮轨道和多个平行设置第二气浮轨道,第二气浮轨道配合设有气浮台,气浮台可沿第二气浮轨道长度方向移动,气浮台上布设多个安装孔,第一气浮轨道设有多个紧固件,紧固件与安装孔对应设置,紧固件与安装孔配合设置用于第一气浮轨道与多个气浮台相连接。本发明的目的在于提供一种稳定性高、精度高且冲击吸收能力好的一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台。
Description
技术领域
本发明属于精密仪器技术领域,具体涉及一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台。
背景技术
在一些精密测量机械仪器中,由于其测量特性,要求工作台具有大量程移动的功能,同时,也需具有高分辨率高精度的微调功能,目前,现有的高精度平台大量程移动均采用丝杠传动、齿轮及齿轮轴传动、直线导轨等,齿轮及齿轮轴传动为传统的机械传动方式,其定位精度较低;丝杠传动虽定位精度较齿轮传动高,但其由于主要依靠摩擦力进行传动,其磨损较快;由于直线导轨精度高、承载能力强等优点,目前高精度直线运动平台最常用的传动方式为滚珠直线导轨,但其安装要求较高、维护较为复杂,成本也较高。
现有技术如名为《气静压平台及其间隙调整方法》的发明专利,此发明专利的公开号为TW201721032A。此发明一种气静压平台及其间隙调整方法,其中该气静压平台包含一载台、一轨道及一电磁铁,该载台设置于该轨道上,该载台的一气静压轴承用以输送一气体吹向该轨道,以使该载台气浮於该轨道上方,且使该载台的一载体与该轨道之间具有一纵向间距,该电磁铁设置于该载体或该轨道的其中之一,藉由改变该电磁铁的磁场强度,以缩小该载体与该轨道之间的该纵向间距,以达到提高该载台在该轨道上移动时的稳定性的目的。此发明稳定性稍弱且精度偏低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种稳定性高、精度高且冲击吸收能力好的一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台。
本发明为实现上述目的所采取的技术方案为:
一种可组合多轴结构,包括第一气浮轨道和多个平行设置第二气浮轨道,第二气浮轨道配合设有气浮台,气浮台可沿第二气浮轨道长度方向移动,
气浮台上布设多个安装孔,第一气浮轨道设有多个紧固件,紧固件与安装孔对应设置,紧固件与安装孔配合设置用于第一气浮轨道与多个气浮台相连接。
通过对一种可组合多轴结构整体的设计,第一气浮轨道通过多个紧固件与气浮台相连接,由于设有多个平行设置的第二气浮轨道,可以实现在多个气浮台的带动下,实现第一气浮轨道可沿第二气浮轨道长度方向移动,多个第二气浮轨道可以实现第一气浮轨道更稳定的移动,可以防止第一气浮轨道中部的未支撑部位在重力的作用下向下弯曲,可以保证第一气浮轨道的水平度,进而实现第一气浮轨道上的气浮台的移动的稳定程度和高精度。紧固件用于与安装孔对应连接,以实现第一气浮轨道与气浮平台的紧固连接,并提高第一气浮轨道的稳定性。
根据本发明一实施例,安装孔内设有减震组件,减震组件包括第一壳体,第一壳体顶部设开口,第一壳体内中部设有第二封板,第二封板将第一壳体上下分隔为第一腔体和第二腔体,第二封板底面设有移动板,第二壳体内底侧垂直设有支撑杆,移动板上设有与支撑杆配合的通孔,通孔用于收容支撑杆;
第二封板顶面设有连接柱,连接柱顶侧设有装配件,装配件用于与紧固件连接。
根据本发明一实施例,第一壳体顶侧与第一气浮轨道面平齐设置,装配件顶侧凸出气浮台顶面设置。
通过对减震组件的设计,通过第二封板的设置,可以实现第二腔体内是一个密闭空间,且第一腔体顶部外界相连,由于装配件与紧固件相连接,当第一气浮导轨出现震动或重量变化会通过紧固件将震动或冲击向转配件传递,震动或冲击从装配件会沿支撑杆传递至第二封板,需要说明的是,第二封板为柔性材质,第二封板会在冲击或震动的作用下改变自身形状以配合震动或冲击,即第二封板会随冲击和震动上下移动,密闭空间的第二腔体会对第二封板施加一个相反的力,实现吸收第二封板的震动和冲击,在这个过程中,设置在第二封板底侧的移动板会随第二封板移动,移动板上设有与支撑杆配合设置的通孔,支撑杆与通孔的配合可以实现移动板的水平度的保持,实现移动板在随第二封板上下移动的过程中,保持水平位置和水平度的稳定,进而可以保证第二封板的移动只沿支撑杆轴向移动,进而实现装配件在上下移动的过程中,不会发生水平位移和水平度的变化。通过上述设计,可以实现第一气浮轨道的稳定性以及水平度,保证第一气浮轨道在移动过程中以及在第一气浮轨道的气浮台上放置物品时,第一气浮轨道所产生的冲击和震动可以被缓冲组件吸收,并保证第一气浮轨道的水平度,同时可以防止第一气浮轨道产生的震动和冲击继续向下传递,即防止第一气浮轨道的震动和冲击对气浮台的稳定性产生影响,提高整体装置的稳定性和精确性。
第一壳体顶侧与第一气浮轨道面平齐设置,且装配件顶侧凸出气浮台设置,可以实现在第一气浮轨道在移动或震动过程中,具有一定的缓冲空间。
根据本发明一实施例,第一腔体顶侧设有第一封板,第一封板采用柔性材质。
通过上述设计,第一封板用于实现对第一腔体的密封,可以实现在第二腔体内对冲击吸收的过程中,防止杂质或污物从第一腔体顶部的开口进入到第一腔体内,可以保证第一腔体内的洁净,防止在工作过程中对第二封板的破坏,实现对第二封板的保护。同时第一封板采用柔性结构可以防止震动和冲击传递至第一壳体。
根据本发明一实施例,第一壳体顶侧设有缓冲环体,缓冲环体环绕装配件设置,缓冲环体上下两侧面均布设有多个缓冲垫。
由于紧固件和装配件的连接并不能有效确保第一气浮轨道底面与气浮台上表面是完全贴合的有存在缝隙的可能性,以及松动的可能性,通过上述设计,缓冲环体上下两侧设置的多个缓冲垫分别抵接第一壳体顶侧和第一气浮轨道底面,通过缓冲缓环体可以实现张紧和填充缝隙的作用;同时,通过缓冲环体中部孔限制了紧固件和装配件的位移范围,即将这两者的活动范围进行限制,也限制了第一气浮轨道的晃动范围,实现缓冲环体可以保证紧固件和装配件同轴度,确保其两者装配状态下持续性保持垂直的状态。同时,由于第一封板是柔性的,在紧固件和装配件发生位移的时候会带动第一封板的位移,进而第一封板的形变会进一步限制紧固件和装配件发生位移且在第一封板形变到缓冲环体内壁方向后,可进一步的提高对紧固件和装配件限位效果。
根据本发明一实施例,气浮台与第二气浮轨道相对侧设有多个气浮组件,气浮组件包括两相对设置的气浮轴承,两气浮轴承之间设有磁吸组件;
磁吸组件包括架体和磁吸件,磁吸件设于架体中部,架体两侧通过连接件与气浮轴承连接。
通过上述设计,磁吸组件的气浮轴承成对且两气浮轴承相对侧设有磁吸组件,成对的气浮轴承用于实现气体输出,第二气浮轨道可以与磁吸组件配合,提供磁力预载效果,实现磁吸组件带动气浮组件贴合第二气浮轨道,在这个过程中,磁吸组件和气浮轴承相互作用的力是制衡,以确保磁吸组件两侧的气浮轴承输出气流稳定性提高且确保两侧的气浮找出与第二气浮轨道的间距是稳定的;磁吸组件两侧气浮轴承是对称设置的,可以进一步提高稳定性;其中,磁吸件的所产生的磁力大小是可调的,可以实现气浮组件与第二气浮轨道之间的吸力大小改变,进而可以调整气浮轴承与第二气浮轨道之间的间距。
根据本发明一实施例,连接件包括第一连接块和第二连接块,第一连接块和第二连接块通过弹性摆动件转动连接,第一连接块与气浮轴承连接,第二连接块与架体连接。
当气浮轴承工作过程中,气浮轴承输出气体的压强和气流会有一定的变化,在这个过程中,通过第一连接块和第二连接块分别连接气浮轴承和架体,当气浮轴承输出气体变化时,气浮轴承会发生靠近或远离的位移,通过磁吸组件与第二架体之间的相互作用,架体不会随气浮轴承位移而大幅度移动,会相对稳定在一个空间位置上,同时根据弹性摆动件具有的弹性,会对气浮轴承实现回归原始位置的趋势,进而可以实现当气浮轴承输出气体压强和气流变化的过程中,对气浮轴承位置约束和稳定,提高整体装置的精度和稳定性。
根据本发明一实施例,磁吸组件还包括限制件,限制件包括两相对设置的包裹架,两包裹架相对侧连接有连接板,连接板靠近第二气浮轨道一侧设有柔性板;
包裹架外端连接架体。
通过上述设计,柔性板可以实现对气浮轴承排出的气体限制,即在气浮轴承工作的时候,由于气浮轴承在不断的向外输出气体,气体经过磁吸件的过程中有助于通过柔性板来限制或干扰一侧的气浮轴承产出的气体向另一侧的气浮轴承方向移动,避免这两个气浮轴承的气体相互冲击造成局部压力过大,致使气浮轴承与第一第二轨道之间的间距不稳定发生变化;同时,柔性板的设计可以陈避免气浮轴承在停止输气的时候,磁体直接与第一、第二气浮轨道表面吸附,从而易造成轨道表面磨损的情况。
一种直线运动平台,具有上述可组合多轴结构,可以实现一种稳定性高、精度高且冲击吸收能力好的直线运动平台,同时采用多个第二气浮轨道实现多轴,以保证第一气浮轨道的稳定性;此外,第一气浮轨道和位于第二气浮轨道的气浮台实现可组合的结构,可以提高整体装置在运输过程中的便捷程度。
更进一步的,第一气浮轨道以及第二气浮轨道端部设有抽吸基体,抽吸基体一侧连接有气管,气管与外部的气泵连接。通过气泵可以实现抽吸基体对第一气浮轨道和第二气浮轨道面的气体抽吸,可以实现第一气浮轨道和第二气浮轨道的表面清洁的效果,同时可以实现第一气浮轨道和第二气浮轨道表面气体的流动性提高,防止气体在第一气浮轨道和第二气浮轨道表面流动性降低,导致气浮台移动过程中高度和速度具有轻微波动;此外,同时抽吸基体的设置可以限制第一气浮轨道和第二气浮轨道上气浮台滑移范围,防止气浮台滑移出第一气浮轨道或第二气浮轨道的可移动范围。
附图说明
图1为一种直线运动平台立体示意图;
图2为第一气浮轨道与气浮台配合示意图;
图3为缓冲环体立体示意图;
图4为气浮组件正视示意图;
图5为图4中A处放大示意图;
图6为气浮组件立体示意图;
图7为图6中B处放大示意图;
图8为连接件装配示意图;
图9为限制件立体示意图;
图10为抽吸基体示意图。
附图标号:第一气浮轨道1,紧固件11,第二气浮轨道2,气浮组件21,气浮轴承22,磁吸组件23,架体231,磁吸件232,连接件24,第一连接块241,第二连接块242,弹性摆动件243,限制件25,包裹架251,连接板252,柔性板253,气浮台3,安装孔31,减震组件32,第一壳体321,第二封板322,第一腔体323,第二腔体324,移动板325,支撑杆326,通孔327,连接柱328,装配件329,第一封板33,缓冲环体34,缓冲垫341,抽吸基体4,气管41。
具体实施方式
以下结合具体实施方式和附图对本发明的技术方案作进一步详细描述:
实施例1:
如图1-图3所示,一种可组合多轴结构,包括第一气浮轨道1和多个平行设置第二气浮轨道2,第二气浮轨道2配合设有气浮台3,气浮台3可沿第二气浮轨道2长度方向移动,
气浮台3上布设多个安装孔31,第一气浮轨道1设有多个紧固件11,紧固件11与安装孔31对应设置,紧固件11与安装孔31配合设置用于第一气浮轨道1与多个气浮台3相连接。
通过对一种可组合多轴结构整体的设计,第一气浮轨道1通过多个紧固件11与气浮台3相连接,由于设有多个平行设置的第二气浮轨道2,可以实现在多个气浮台3的带动下,实现第一气浮轨道1可沿第二气浮轨道2长度方向移动,多个第二气浮轨道2可以实现第一气浮轨道1更稳定的移动,可以防止第一气浮轨道1中部的未支撑部位在重力的作用下向下弯曲,可以保证第一气浮轨道1的水平度,进而实现第一气浮轨道1上的气浮台的移动的稳定程度和高精度。紧固件11用于与安装孔31对应连接,以实现第一气浮轨道1与气浮平台的紧固连接,并提高第一气浮轨道1的稳定性。
安装孔31内设有减震组件32,减震组件32包括第一壳体321,第一壳体321顶部设开口,第一壳体321内中部设有第二封板322,第二封板322将第一壳体321上下分隔为第一腔体323和第二腔体324,第二封板322底面设有移动板325,第一壳体321内底侧垂直设有支撑杆326,移动板325上设有与支撑杆326配合的通孔327,通孔327用于收容支撑杆326;
第二封板322顶面设有连接柱328,连接柱328顶侧设有装配件329,装配件329用于与紧固件11连接。
第一壳体321顶侧与第一气浮轨道1面平齐设置,装配件329顶侧凸出第一气浮轨道1面设置。
通过对减震组件32的设计,通过第二封板322的设置,可以实现第二腔体324内是一个密闭空间,且第一腔体323顶部外界相连,由于装配件329与紧固件11相连接,当第一气浮导轨出现震动或重量变化会通过紧固件11将震动或冲击向转配件传递,震动或冲击从装配件329会沿支撑杆326传递至第二封板322,需要说明的是,第二封板322为柔性材质,第二封板322会在冲击或震动的作用下改变自身形状以配合震动或冲击,即第二封板322会随冲击和震动上下移动,密闭空间的第二腔体324会对第二封板322施加一个相反的力,实现吸收第二封板322的震动和冲击,在这个过程中,设置在第二封板322底侧的移动板325会随第二封板322移动,移动板325上设有与支撑杆326配合设置的通孔327,支撑杆326与通孔327的配合可以实现移动板325的水平度的保持,实现移动板325在随第二封板322上下移动的过程中,保持水平位置和水平度的稳定,进而可以保证第二封板322的移动只沿支撑杆326轴向移动,进而实现装配件329在上下移动的过程中,不会发生水平位移和水平度的变化。通过上述设计,可以实现第一气浮轨道1的稳定性以及水平度,保证第一气浮轨道1在移动过程中以及在第一气浮轨道1的气浮台上放置物品时,第一气浮轨道1所产生的冲击和震动可以被缓冲组件吸收,并保证第一气浮轨道1的水平度,同时可以防止第一气浮轨道1产生的震动和冲击继续向下传递,即防止第一气浮轨道1的震动和冲击对气浮台3的稳定性产生影响,提高整体装置的稳定性和精确性。
第一壳体321顶侧与第一气浮轨道1面平齐设置,且装配件329顶侧凸出第一气浮轨道1面设置,可以实现在第二气浮轨道2在移动或震动过程中,具有一定的缓冲空间。
第一腔体323顶侧设有第一封板33,第一封板33采用柔性材质。
通过上述设计,第一封板33用于实现对第一腔体323的密封,可以实现在第二腔体324内对冲击吸收的过程中,防止杂质或污物从第一腔体323顶部的开口进入到第一腔体323内,可以保证第一腔体323内的洁净,防止在工作过程中对第二封板322的破坏,实现对第二封板322的保护。同时第一封板33采用柔性结构可以防止震动和冲击传递至第一壳体321。
第一壳体321顶侧设有缓冲环体34,缓冲环体34环绕装配件329设置,缓冲环体34上下两侧面均布设有多个缓冲垫341。
由于紧固件11和装配件329的连接并不能有效确保第一气浮轨道1底面与气浮台3上表面是完全贴合的有存在缝隙的可能性,以及松动的可能性,通过上述设计,缓冲环体34上下两侧设置的多个缓冲垫341分别抵接第一壳体321顶侧和第一气浮轨道1底面,通过缓冲缓环体可以实现张紧和填充缝隙的作用;同时,通过缓冲环体34中部孔限制了紧固件11和装配件329的位移范围,即将这两者的活动范围进行限制,也限制了第一气浮轨道1的晃动范围,实现缓冲环体34可以保证紧固件11和装配件329同轴度,确保其两者装配状态下持续性保持垂直的状态。同时,由于第一封板33是柔性的,在紧固件11和装配件329发生位移的时候会带动第一封板33的位移,进而第一封板33的形变会进一步限制紧固件11和装配件329发生位移且在第一封板33形变到缓冲环体34内壁方向后,可进一步的提高对紧固件11和装配件329限位效果。
一种直线运动平台,具有上述可组合多轴结构,可以实现一种稳定性高、精度高且冲击吸收能力好的直线运动平台,同时采用多个第二气浮轨道2实现多轴,以保证第一气浮轨道1的稳定性;此外,第一气浮轨道1和位于第二气浮轨道2的气浮台3实现可组合的结构,可以提高整体装置在运输过程中的便捷程度。
实施例2:
如图4-图9所示,根据本发明另一实施方式的一种可组合多轴结构,与实施例1相比不同之处在于,气浮台3与第二气浮轨道2相对侧设有多个气浮组件21,气浮组件21包括两相对设置的气浮轴承22,两气浮轴承22之间设有磁吸组件23;
磁吸组件23包括架体231和磁吸件232,磁吸件232设于架体231中部,架体231两侧通过连接件24与气浮轴承22连接。
通过上述设计,磁吸组件23的气浮轴承22成对且两气浮轴承22相对侧设有磁吸组件23,成对的气浮轴承22用于实现气体输出,第二气浮轨道2可以与磁吸组件23配合,提供磁力预载效果,实现磁吸组件23带动气浮组件21贴合第二气浮轨道2,在这个过程中,磁吸组件23和气浮轴承22相互作用的力是制衡,以确保磁吸组件23两侧的气浮轴承22输出气流稳定性提高且确保两侧的气浮找出与第二气浮轨道2的间距是稳定的;磁吸组件23两侧气浮轴承22是对称设置的,可以进一步提高稳定性;其中,磁吸件232的所产生的磁力大小是可调的,可以实现气浮组件21与第二气浮轨道2之间的吸力大小改变,进而可以调整气浮轴承22与第二气浮轨道2之间的间距。
连接件24包括第一连接块241和第二连接块242,第一连接块241和第二连接块242通过弹性摆动件243转动连接,第一连接块241与气浮轴承22连接,第二连接块242与架体231连接。
当气浮轴承22工作过程中,气浮轴承22输出气体的压强和气流会有一定的变化,在这个过程中,通过第一连接块241和第二连接块242分别连接气浮轴承22和架体231,当气浮轴承22输出气体变化时,气浮轴承22会发生靠近或远离的位移,通过磁吸组件23与第二架体231之间的相互作用,架体231不会随气浮轴承22位移而大幅度移动,会相对稳定在一个空间位置上,同时根据弹性摆动件243具有的弹性,会对气浮轴承22实现回归原始位置的趋势,进而可以实现当气浮轴承22输出气体压强和气流变化的过程中,对气浮轴承22位置约束和稳定,提高整体装置的精度和稳定性。
磁吸组件23还包括限制件25,限制件25包括两相对设置的包裹架251,两包裹架251相对侧连接有连接板252,连接板252靠近第二气浮轨道2一侧设有柔性板253;
包裹架251外端连接架体231。
通过上述设计,柔性板253可以实现对气浮轴承22排出的气体限制,即在气浮轴承22工作的时候,由于气浮轴承22在不断的向外输出气体,气体经过磁吸件232的过程中有助于通过柔性板253来限制或干扰一侧的气浮轴承22产出的气体向另一侧的气浮轴承22方向移动,避免这两个气浮轴承22的气体相互冲击造成局部压力过大,致使气浮轴承22与第一第二轨道之间的间距不稳定发生变化;同时,柔性板253的设计可以陈避免气浮轴承22在停止输气的时候,磁体直接与第一、第二气浮轨道2表面吸附,从而易造成轨道表面磨损的情况。
实施例3:
如图10所示,根据本发明另一实施方式的一种可组合多轴结构,与实施例1相比不同之处在,第一气浮轨道1以及第二气浮轨道2端部设有抽吸基体4,抽吸基体4一侧连接有气管41,气管41与外部的气泵连接。
通过气泵可以实现抽吸基体4对第一气浮轨道1和第二气浮轨道2面的气体抽吸,可以实现第一气浮轨道1和第二气浮轨道2的表面清洁的效果,同时可以实现第一气浮轨道1和第二气浮轨道2表面气体的流动性提高,防止气体在第一气浮轨道1和第二气浮轨道2表面流动性降低,导致气浮台3移动过程中高度和速度具有轻微波动;此外,同时抽吸基体4的设置可以限制第一气浮轨道1和第二气浮轨道2上气浮台3滑移范围,防止气浮台3滑移出第一气浮轨道1或第二气浮轨道2的可移动范围。
实施例4:
如图1所示,一种直线运动平台,具有上述可组合多轴结构,可以实现一种稳定性高、精度高且冲击吸收能力好的直线运动平台,同时采用多个第二气浮轨道2实现多轴,以保证第一气浮轨道1的稳定性;此外,第一气浮轨道1和位于第二气浮轨道2的气浮台3实现可组合的结构,可以提高整体装置在运输过程中的便捷程度。
以上所述的实施例对本发明的技术方案进行了详细说明,应理解的是以上所述仅为本发明的具体实施例,并不用于限制本发明,凡在本发明的原则范围内所做的任何修改、补充或类似方式替代等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种可组合多轴结构,包括第一气浮轨道(1)和多个平行设置的第二气浮轨道(2),所述第二气浮轨道(2)配合设有气浮台(3),所述气浮台(3)可沿第二气浮轨道(2)长度方向移动,其特征在于,所述气浮台(3)上布设多个安装孔(31),所述第一气浮轨道(1)设有多个紧固件(11),所述紧固件(11)与安装孔(31)对应设置,所述紧固件(11)与安装孔(31)配合设置用于第一气浮轨道(1)与多个气浮台(3)相连接;
所述安装孔(31)内设有减震组件(32),所述减震组件(32)包括第一壳体(321),所述第一壳体(321)顶部设开口,所述第一壳体(321)内中部设有第二封板(322),所述第二封板(322)将第一壳体(321)上下分隔为第一腔体(323)和第二腔体(324),所述第二封板(322)底面设有移动板(325),所述第一壳体(321)内底侧垂直设有支撑杆(326),所述移动板(325)上设有与支撑杆(326)配合的通孔(327),所述通孔(327)用于收容支撑杆(326);
所述第二封板(322)顶面设有连接柱(328),所述连接柱(328)顶侧设有装配件(329),所述装配件(329)用于与紧固件(11)连接;
所述第一壳体(321)顶侧与第一气浮轨道(1)面平齐设置,所述装配件(329)顶侧凸出气浮台(3)面设置;
所述第一壳体(321)顶侧设有缓冲环体(34),所述缓冲环体(34)环绕装配件(329)设置,所述缓冲环体(34)上下两侧面均布设有多个缓冲垫(341)。
2.根据权利要求1所述一种可组合多轴结构,其特征在于,所述第一腔体(323)顶侧设有第一封板(33)。
3.根据权利要求1所述一种可组合多轴结构,其特征在于,所述气浮台(3)与第二气浮轨道(2)相对侧设有多个气浮组件(21),所述气浮组件(21)包括两相对设置的气浮轴承(22),两所述气浮轴承(22)之间设有磁吸组件(23);
所述磁吸组件(23)包括架体(231)和磁吸件(232),所述磁吸件(232)设于所述架体(231)中部,所述架体(231)两侧通过连接件(24)与气浮轴承(22)连接。
4.根据权利要求3所述一种可组合多轴结构,其特征在于,所述连接件(24)包括第一连接块(241)和第二连接块(242),所述第一连接块(241)和第二连接块(242)通过弹性摆动件(243)转动连接,所述第一连接块(241)与气浮轴承(22)连接,所述第二连接块(242)与架体(231)连接。
5.根据权利要求3所述一种可组合多轴结构,其特征在于,所述磁吸组件(23)还包括限制件(25),所述限制件(25)包括两相对设置的包裹架(251),两所述包裹架(251)相对侧连接有连接板(252),所述连接板(252)靠近第二气浮轨道(2)一侧设有柔性板(253);
所述包裹架(251)外端连接架体(231)。
6.一种直线运动平台,其特征在于,所述一种直线运动平台具有如权利要求1-5任一所述的一种可组合多轴结构。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311345638.4A CN117072561B (zh) | 2023-10-18 | 2023-10-18 | 一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311345638.4A CN117072561B (zh) | 2023-10-18 | 2023-10-18 | 一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117072561A CN117072561A (zh) | 2023-11-17 |
CN117072561B true CN117072561B (zh) | 2023-12-19 |
Family
ID=88713843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311345638.4A Active CN117072561B (zh) | 2023-10-18 | 2023-10-18 | 一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117072561B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN118003295B (zh) * | 2024-04-08 | 2024-06-11 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 | 一种带正压回收的气浮直线台 |
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-
2023
- 2023-10-18 CN CN202311345638.4A patent/CN117072561B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN117072561A (zh) | 2023-11-17 |
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