CN117067415B - 一种压力可调节的液压支撑装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种压力可调节的液压支撑装置,包括顶杆、活塞、第一驱动机构与第二驱动机构;还包括第一缸体,第一缸体对称设置有两组,顶杆对应设有两组且通过第一驱动机构驱动分别滑动设置于两组第一缸体内;还包括活塞缸体,活塞缸体固定于两组第一缸体上,活塞缸体活塞对称设有两组、且均通过第二驱动机构驱动滑动设置于活塞缸体内,活塞缸体内腔与第一缸体内腔相连通,活塞通过连通处压紧顶杆侧壁,活塞缸体上还设有用于调节活塞缸体内腔压力的调压组件。本发明的支撑装置可在顶杆支撑晶棒后再通过活塞将顶杆进行锁止固定,有效增加支撑稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及支撑装置,具体为一种压力可调节的液压支撑装置。
背景技术
晶棒是光伏产业中首要制造的产品,在晶棒制造过程中需要将晶棒加工成需要的柱形状,在晶棒转运至加工位时,需要通过支撑装置将其顶起并与晶棒上方的限位部配合对晶棒进行固定。
现有的支撑装置一般通过气缸的顶升来支撑抵紧晶棒,然而在支撑抵紧晶棒后、进行加工时,其支撑稳定性较差,顶杆容易产生晃动,且晶棒支撑面还存在不平整,还会加大支撑装置支撑晶棒过程的不稳定性,影响晶棒加工效果,还会降低支撑装置的使用寿命。
发明内容
本发明的目的在于提供一种压力可调节的液压支撑装置,以解决上述技术问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种压力可调节的液压支撑装置,包括顶杆、活塞、第一驱动机构与第二驱动机构;
还包括第一缸体,所述第一缸体对称设置有两组,所述顶杆对应设有两组且通过第一驱动机构驱动分别滑动设置于两组第一缸体内;
还包括活塞缸体,所述活塞缸体固定于两组第一缸体上,所述活塞对称设有两组、且均通过第二驱动机构驱动滑动设置于活塞缸体内,所述活塞缸体内腔与第一缸体内腔相连通,活塞通过连通处压紧顶杆侧壁,所述活塞缸体上还设有用于调节活塞缸体内腔压力的调压组件。
优选的,活塞缸体顶部设有进油口,活塞缸***于进油口处设有环形壁,调压组件包括用于***环形壁内的堵油活塞以及定位套,定位套螺纹套设于环形壁上,用于压紧堵油活塞。
优选的,第一驱动机构为通过管接头朝第一缸体内腔泵入气体的气泵。
优选的,第二驱动机构包括气缸与活塞杆,两组所述第一缸体的一端连接有底板,所述活塞缸体中部与底板之间连接有防护套,所述活塞杆位于两组活塞之间、且滑动设置于活塞缸体上,活塞杆一端位于活塞缸体外、且与气缸输出端相连接。
优选的,所述活塞缸体的两侧外壁上设有与第一缸体内腔相连通的连通口,所述连通口内设有基杆,所述基杆位于第一缸体内腔内的一端固定有滑块,所述顶杆侧壁上设有与滑块形成滑动连接的滑槽。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
本发明通过设置两组顶杆结构,可适应晶棒支撑面的不平整性进行支撑抵紧;顶杆上升将晶棒顶起抵紧后,通过活塞压紧顶杆侧壁,可以增加对顶杆的锁止效果,增加顶杆支撑晶棒的稳定性;在活塞缸体顶部设置调压组件,可朝活塞缸体内注入液压油以及调节活塞缸体内腔的空间大小,使活塞保持对顶杆有好的锁止效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实施例整体的结构示意图;
图2是本实施例凸显液压支撑装置内部结构示意图;
图3是本实施例凸显调压组件的***示意图。
附图中,各标号所代表的部件列表如下:
1、顶杆;2、活塞;3、第一缸体;4、护套;5、活塞缸体;6、调压组件;61、堵油活塞;62、定位套;7、进油口;8、环形壁;9、调压口;10、密封口;11气口管接头;13、气缸;14、活塞杆;15、底板;16、防护套;17、基杆;18、滑块;19、滑槽;20、密封圈。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3,本发明提供一种技术方案:一种压力可调节的液压支撑装置,包括顶杆1、活塞2、第一驱动机构与第二驱动机构;
还包括第一缸体3,第一缸体3对称设置有两组,顶杆1对应设有两组且通过第一驱动机构驱动分别滑动设置于两组第一缸体3内,第一驱动机构对应设置两组,分别独立驱动两侧顶杆1,使两组顶杆1可适应晶棒支撑面的不平整面形成多点支撑,顶杆1上均固定有护套4(护套4顶端通过螺栓连接有直接与晶棒进行支撑接触的侧向进给机构,顶杆1上升实则带动侧向进给机构顶起晶棒,两侧顶杆1均连接有侧向进给机构,侧向进给机构及侧向进给机构与护套的连接方式均为现有技术),需要说明的是:活塞2用于在顶杆1支撑晶棒时对顶杆1进行压紧,活塞2配合第一驱动机构、使顶杆1更好的在支撑固定晶棒的过程中保持稳定;
还包括活塞缸体5,活塞缸体5内腔内设置液压油,活塞缸体5固定于两组第一缸体3上,活塞2对称设有两组、且均通过第二驱动机构驱动滑动设置于活塞缸体5内,活塞缸体5内腔与第一缸体3内腔相连通,第二驱动机构通过压缩活塞缸体5内腔的空间,驱使活塞2在连通处滑动,从而使活塞2由连通处压紧顶杆1侧壁,活塞2用于压紧顶杆1的一侧端面与顶杆1侧壁形状适配,以增加活塞2对顶杆1的锁止效果,活塞缸体5上还设有用于调节活塞缸体5内腔压力的调压组件6。
具体的,活塞缸体5顶部设有进油口7,活塞缸体5位于进油口7处设有环形壁8,调压组件6包括用于***环形壁8内的堵油活塞61以及定位套62,定位套62螺纹套设于环形壁8上,用于压紧堵油活塞61,堵油活塞61与进油口7相对处设置排气口9,堵油活塞61位于排气口9处设有密封口10,密封口10处螺纹连接有密封螺栓,可通过进油口7处朝活塞缸体5内腔内加入液压油,在活塞缸体5内活塞2长期运动后将会损耗一定液压油,从而使活塞缸体5内的压力降低,可通过由进油口7加入的液压油使活塞缸体5内腔保持压力;在堵油活塞61***环形壁8内封堵进油口7后,通过螺纹套设于环形壁8上的定位套62可对堵油活塞61进行压紧,避免堵油活塞61因活塞缸体5内的压力变化而发生移动,由于活塞缸体5内腔内存在气体,在定位套62通过螺纹连接在环形壁8上移动而下压堵油活塞61时,活塞缸体5内腔内的气体将会从排气口9处排出,在定位套62反复移动并带动堵油活塞61移动将活塞缸体5内腔的气体排出后,通过转动密封口10内的密封螺栓,可将排气口9封堵,需要说明的是:定位套62通过在环形壁8上的移动,可控制堵油活塞61压入环形壁8内的量,可以调节活塞缸体5内腔内的压力大小,以控制活塞2对顶杆1的锁止效果。
具体的,第一驱动机构为通过管接头朝第一缸体3内腔泵入气体的气泵(图中未画出,其作用为朝第一缸体3内泵入高压气体),第一缸体3两侧顶杆1处的上下两端分别设有气口管接头11,气泵上连接电磁阀,两组气口管接头11分别通过软管连接电磁阀进出气的两组接口,电磁阀可以控制外部气源朝第一缸体3内腔的进气与断气,在需要顶杆1顶起晶棒时,电磁阀控制气泵朝下部的气口管接头11泵入气体至第一缸体3底部的腔室(顶杆下方位置)内,从而驱动顶杆1顶起晶棒,在晶棒加工完成后,电磁阀控制气泵朝上部的气口管接头11泵入气体至第一缸体3上部的腔室内、且底部腔室为泄压状态,从而在顶杆1重力以及上部腔室的压力作用下,使顶杆1回落,即可将晶棒转运至下移工序;上述需要说明的是:第一缸体3上部的腔室与下部的腔室之间通过密封圈20隔离进行密封,另外要说明的是:第一缸体3下部的腔室内壁与顶杆1下部的外周壁之间留有间隙,使管接头11可以更好的将气体泵入至第一缸体3的下部腔室内,而不会被顶杆1侧壁封堵气口。
具体的,第二驱动机构包括气缸13与活塞杆14,两组第一缸体3的一端连接有底板15,活塞缸体5中部与底板15之间连接有防护套16,活塞杆14位于两组活塞2之间、且滑动设置于活塞缸体5上,活塞杆14一端位于活塞缸体5外、且与气缸13输出端相连接,活塞杆14通过气缸13输出端的伸缩在活塞缸体5内移动,从而改变活塞缸体5内腔的压力,在活塞杆14朝活塞缸体5内移动时,即可增加活塞缸体5内的压力从而驱使活塞2压紧顶杆1进行锁止,在活塞杆14朝活塞缸体5外端移动时,即可使活塞缸体5内的压力减小,从而使活塞2朝活塞缸体5内部移动而取消对顶杆1的压紧。
具体的,活塞缸体5的两侧外壁上设有与第一缸体3内腔相连通的连通口,连通口内设有基杆17,基杆17位于第一缸体3内腔内的一端固定有滑块18,顶杆1侧壁上设有与滑块18形成滑动连接的滑槽19,通过滑块18的设置,使顶杆1在第一缸体3内移动时不会发生转动。
本实施例的一个具体实施方式为:
本装置在使用时,在晶棒通过传送设备传送至液压支撑装置顶部时(晶棒的传送为现有方式),通过朝第一缸体3内泵入气体而增大第一缸体3内腔的压力,驱动第一缸体3内的顶杆1向上移动,从而将晶棒顶起,并与晶棒顶部的限位机构(现有技术)配合将晶棒固定;在晶棒被顶杆1顶紧后,启动气缸13,气缸13输出端带动活塞杆14朝活塞缸体5内移动而压缩活塞缸体5内的空间,在液压油的作用下将驱动两侧活塞2分别朝相互远离的方向移动,从而分别抵紧两侧的顶杆1,使顶杆1稳定于当前对晶棒的支撑位置,从而可以开始对晶棒进行加工。
在晶棒加工完成后,即可打开出气接头12将第一缸体3内的气体排出,同时气缸13输出端带动活塞杆14朝活塞缸体5外的一端移动,使活塞缸体5内腔空间压力降低,从而使两侧活塞2朝相互靠近的一侧移动而脱离对顶杆1的压紧,顶杆1从而向下移动,在顶杆1向下移动后,晶棒将会被传送设备转移至另一工序。
在液压支撑装置使用一段时间后,活塞缸体5内腔的液压油存在损耗,可通过进油口7加入适当的液压油,再通过堵油活塞61封堵进油口7,接着通过螺纹连接的定位套62将堵油活塞61压紧在环形内壁内,在通过定位套62压紧过程中,活塞缸体5内腔内的空气将会从堵油活塞61上的排气口9排出,为使活塞缸体5内腔内的气体更好排出,可通过正反转定位套62,使定位套62在环形壁8上往复移动,堵油活塞61在活塞缸体5内腔内的压力作用下将会跟随定位套62往复移动,从而将活塞缸体5内腔内的气体更彻底的排出,再朝密封口10处螺入密封螺栓,将排气口9封堵,其中,定位套62未完全将堵油活塞61压死,在需要调节活塞缸体5内腔内的压力时,可通过转动定位套62来调节堵油活塞61在环形壁8内的下压量,从而调整活塞缸体5内腔的压力,从而控制活塞杆14朝活塞缸体5内移动后活塞2压紧顶杆1的力。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (2)
1.一种压力可调节的液压支撑装置,其特征在于:包括顶杆(1)、活塞(2)、第一驱动机构与第二驱动机构;
第一驱动机构为通过管接头朝第一缸体(3)内腔泵入气体的气泵;
还包括第一缸体(3),所述第一缸体(3)对称设置有两组,所述顶杆(1)对应设有两组且通过第一驱动机构驱动分别滑动设置于两组第一缸体(3)内;
还包括活塞缸体(5),所述活塞缸体(5)固定于两组第一缸体(3)上,所述活塞(2)对称设有两组、且均通过第二驱动机构驱动滑动设置于活塞缸体(5)内,所述活塞缸体(5)内腔与第一缸体(3)内腔相连通,活塞(2)通过连通处压紧顶杆(1)侧壁,所述活塞缸体(5)上还设有用于调节活塞缸体(5)内腔压力的调压组件(6);
第二驱动机构包括气缸(13)与活塞杆(14),两组所述第一缸体(3)的一端连接有底板(15),所述活塞缸体(5)中部与底板(15)之间连接有防护套(16),所述活塞杆(14)位于两组活塞(2)之间、且滑动设置于活塞缸体(5)上,活塞杆(14)一端位于活塞缸体(5)外、且与气缸(13)输出端相连接;
活塞缸体(5)顶部设有进油口(7),活塞缸体(5)位于进油口(7)处设有环形壁(8),调压组件(6)包括用于***环形壁(8)内的堵油活塞(61)以及定位套(62),定位套(62)螺纹套设于环形壁(8)上,用于压紧堵油活塞(61)。
2.根据权利要求1所述的一种压力可调节的液压支撑装置,其特征在于:所述活塞缸体(5)的两侧外壁上设有与第一缸体(3)内腔相连通的连通口,所述连通口内设有基杆(17),所述基杆(17)位于第一缸体(3)内腔内的一端固定有滑块(18),所述顶杆(1)侧壁上设有与滑块(18)形成滑动连接的滑槽(19)。
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