CN116895435A - 线圈部件 - Google Patents

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Abstract

本发明的线圈部件10具备单元体12和外部电极30，单元体具备卷绕被绝缘膜被覆的导线而形成的线圈导体16以及含有金属磁性粒子和树脂的磁性体部14。金属磁性粒子包含第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42，根据从磁性体部14的截面的截面图像得到的当量圆直径算出的金属磁性粒子的粒度分布具有至少两个峰和至少一个底部，将具有最小频率的底部以上设为第一金属磁性粒子40，将小于具有最小频率的上述底部设为第二金属磁性粒子42。第一金属磁性粒子40包括具有在截面中满足规定条件的凹部40a的粒子，第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部配置至少一个第二金属磁性粒子42的至少一部分。

Description

线圈部件
技术领域
本发明涉及线圈部件。
背景技术
作为现有的线圈部件(电抗器)，其主体部由磁芯和线圈构成，上述磁芯由金属磁性粒子与树脂混合而成的复合材料构成。而且，磁芯的复合材料由软磁性复合材料制造。
现有技术的软磁性复合材料存在磁导率低且使用其制作的电抗器的电感低的缺点。另外，在现有技术中，由于是先将金属磁性粒子与树脂混合后形成指定形状的方法，所以存在以下缺点：树脂相对于金属磁性粒子的使用量变多，得到的软磁性复合材料的磁导率降低，密度降低，直流重叠特性劣化。
因此，提出了以下技术：通过在圆形度高且平均粒径大的第一粒子中加入平均粒径比其小的第二粒子，能够填补粒子间的间隙，提高所得到的软磁性复合材料的密度。由此，可以使由软磁性复合材料形成的磁芯为高磁导率，可以提高使用该磁芯的电抗器的电感(参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016－39331号公报
发明内容
然而，引用文献1中公开的电抗器的磁芯中使用的软磁性复合材料由于使用圆形度高的粒径、例如100μm～200μm的粒径，所以磁导率变高，另一方面，担心高频区域的损耗变大的问题。
因此，本发明的主要目的是提供一种得到高磁导率并且具备良好的高频特性的线圈部件。
本发明的线圈部件是具备单元体和外部电极的线圈部件，上述单元体具备卷绕导线而形成的线圈导体以及含有金属磁性粒子和树脂的磁性体部，上述外部电极与线圈导体的引出部的露出于单元体的表面的露出面电连接且配置于单元体的表面；其中，金属磁性粒子包含第一金属磁性粒子和第二金属磁性粒子，根据从磁性体部的截面的截面图像得到的当量圆直径算出的金属磁性粒子的粒度分布具有至少两个峰和至少一个底部，将具有最小频率的上述底部以上设为第一金属磁性粒子，将具有最小频率的小于底部设为第二金属磁性粒子，第一金属磁性粒子包括具有在截面中满足规定条件的凹部的粒子，规定条件是，将凹部的开口部的前端之间的最小距离设为L01，将与第一金属磁性粒子的截面的凹部内的相当于弦的线段中与成为开口部的前端之间的最小距离的线段平行的线段中的最长距离设为L02时，L02＞L01，在第一金属磁性粒子的凹部的内部配置至少一个第二金属磁性粒子的至少一部分。
在本发明的线圈部件中，根据从磁性体部的截面的截面图像得到的当量圆直径算出的金属磁性粒子的粒度分布具有至少两个峰和至少一个底部，包含将具有最小频率的底部以上设为第一金属磁性粒子、将小于具有最小频率的底部设为第二金属磁性粒子的金属磁性粒子，第一金属磁性粒子包括具有在截面中满足规定条件的凹部的粒子，在具有凹部的第一金属磁性粒子的凹部的内部配置至少一个第二金属磁性粒子的至少一部分，因此磁性体部中的金属磁性粒子的填充率变高，因此能够提高线圈部件的磁导率。
另外，本发明的线圈部件在含有金属磁性粒子和树脂的磁性体部中包含具有在截面中满足规定条件的凹部的第一金属磁性粒子，规定条件是，将凹部的开口部的前端之间的最小距离设为L01，将在第一金属磁性粒子的截面的凹部内的相当于弦的线段中与成为开口部的前端之间的最小距离的线段平行的线段中的最长距离设为L02时，L02＞L01，因此能够增大第一金属磁性粒子相对于磁性体部的体积的表面积，因此高频区域的涡流损耗变小，线圈部件在更高频下也可以使用。
根据本发明，可以提供一种得到高磁导率并且具备良好的高频特性的线圈部件。
本发明的上述目的、其他目的、特征和优点将从参照附图对以下发明实施方式的说明中进一步明确。
附图说明
图1是示意性地表示本发明的线圈部件的实施方式的外观立体图。
图2是图1所示的线圈部件中埋设有线圈导体的磁性体部的透视立体图。
图3是表示本发明的线圈部件的图1的线III－III截面图。
图4是表示本发明的线圈部件的图1的线IV－IV截面图。
图5是表示磁性体部中的金属磁性粒子的当量圆直径的粒度分布的图。
图6是表示图3的虚线所示的区域R1的一部分的各金属磁性粒子的填充状态的图。
图7是第一金属磁性粒子的示意截面图。
图8是表示在磁性体部的截面中在第一金属磁性粒子的凹部的内部配置至少一个第二金属磁性粒子的一部分或全部的状态的图。
图9是表示在磁性体部的截面中在第一金属磁性粒子的凹部的内部配置多个第二金属磁性粒子的一部分或全部的状态的图。
图10是表示在磁性体部的截面中在第一金属磁性粒子的凹部的内部配置至少一个其他第一金属磁性粒子的至少一部分和第二金属磁性粒子的至少一部分或全部的状态的图。
图11是将在磁性体部的截面中第一金属磁性粒子的凹部的开口部的前端之间的最小距离L01与具备第二金属磁性粒子的粒度分布中的最大频率的峰所处的粒径的第二金属磁性粒子d2进行对比的图。
图12是表示在磁性体部的截面中月牙形的第一金属磁性粒子的外周长L1和换算成与第一金属磁性粒子的面积相当的面积的圆的周长L2的图。
图13是表示在磁性体部的截面中第一金属磁性粒子的凹部的开口部的前端之间的最小距离L01和第一金属磁性粒子的除了凹部的开口部的内侧以外的周长Lc的图。
图14是表示在磁性体部的截面中第一金属磁性粒子的成为开口部的前端的最小距离的线段的内侧的区域R0的面积S0和第一金属磁性粒子的截面积Sc的图。
图15是表示在磁性体部的截面中在第一金属磁性粒子的凹部的内部同时配置至少一个第二金属磁性粒子的至少一部分和至少一个无机氧化物粒子的至少一部分或全部的状态的图。
图16是表示在第一金属磁性粒子上形成绝缘被膜的状态的图。
图17是表示在制造单元体时在第一成型体和第二成型体中装入线圈导体的状态的分解立体图。
符号说明
10线圈部件
12单元体
12a第一主面
12b第二主面
12c第一侧面
12d第二侧面
12e第一端面
12f第二端面
14磁性体部
16线圈导体
18卷绕部
20中空区域
22a第一引出部
22b第二引出部
24a第一露出部
24b第二露出部
30外部电极
30a第一外部电极
30b第二外部电极
32a第一基底电极层
32b第二基底电极层
34a第一镀层
34b第二镀层
36a第一Ni镀层
36b第二Ni镀层
38a第一Sn镀层
38b第二Sn镀层
40第一金属磁性粒子
40a凹部
40b开口部
42第二金属磁性粒子
44无机成分粒子
46绝缘被膜
50第一成型体
52底面部
52a上面
52b下面
54卷轴部
54a前端部
56a第一侧面侧壁部
56b第二侧面侧壁部
56c第一端面侧壁部
56d第二端面侧壁部
58a第一切口部
58b第二切口部
60第二成型体
60a第一主面
60b第二主面
x加压方向(高度方向)
y宽度方向
z长度方向
具体实施方式
1.线圈部件
以下，参照附图对本发明的实施方式的线圈部件进行详细说明。
图1是示意性地表示本发明的线圈部件的实施方式的外观立体图。图2是图1所示的线圈部件中埋设有线圈导体的磁性体部的透视立体图。图3是表示本发明的线圈部件的图1的线III－III截面图。图4是表示本发明的线圈部件的图1的线IV－IV截面图。
线圈部件10具有长方体状的单元体12和外部电极30。
(a)单元体
单元体12具有磁性体部14和埋设于磁性体部14的线圈导体16。单元体12的外观形状为大致长方体，具有在加压方向x上相对的第一主面12a和第二主面12b、在与加压方向x正交的宽度方向y上相对的第一侧面12c和第二侧面12d、以及在与加压方向x和宽度方向y正交的长度方向z上相对的第一端面12e和第二端面12f。单元体12的尺寸没有特别限定。
(b)磁性体部
磁性体部14覆盖线圈导体16。磁性体部14的外观形状与单元体12的外观形状大致一致，为大致长方体形状。磁性体部14是对后述的第一成型体50和第二成型体60在模具内进行加温、加压而形成的。
磁性体部14包含多个金属磁性粒子和树脂。
树脂没有特别限定，但例如可举出热固性树脂，可举出环氧树脂、酚醛树脂、聚酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚烯烃树脂等有机材料。树脂材料可以仅为一种，也可以为两种以上。
金属磁性粒子包含第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42。
作为第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42，没有特别限定，但例如可举出铁、钴或镍或者包含它们中的一种或两种以上的合金。优选地，第一金属磁性粒子和第二金属磁性粒子为铁或铁合金。作为铁合金，没有特别限定，但例如可举出Fe－Si、Fe－Si－Cr、Fe－Ni、Fe－Si－Al等。第一金属磁性粒子和第二金属磁性粒子可以仅为一种，也可以为两种以上。
第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42的各金属磁性粒子定义如下。
首先，根据粒子的截面图像计算作为磁性体部14中的金属磁性粒子的平均粒径的中值粒径(D50)。
即，首先，利用后述的圆形度测定的方法将线圈部件10通过研磨、FIB、截面铣削等制作截面，使金属磁性粒子的截面露出，形成露出面。使截面露出而形成露出面后，用SEM以500倍～5000倍观察露出面。使用图像分析软件WinROOF2018，对50个以上的粒子算出当量圆直径。对于当量圆直径，考虑与各金属磁性粒子的截面积相同面积的圆，将该圆的直径作为当量圆直径。然后，算出该当量圆直径作为各金属磁性粒子的平均粒径即中值粒径(D50)。如图5所示，当量圆直径的粒度分布具有至少两个峰和这些峰之间的一个底部。底部位于两个峰之间，是频率取极小值的点。
然后，将具有最小频率的底部以上的金属磁性粒子设为第一金属磁性粒子40，将小于具有最小频率的底部设为第二金属磁性粒子42。在粒度分布中，当只有两个峰时，峰之间的底部成为具有最小频率的底部。
第一金属磁性粒子40的形状为球状。另外，第一金属磁性粒子40包括在其内部具有球状的满足规定条件的凹部40a的粒子。如图6和图7所示，具有凹部40a的第一金属磁性粒子40的截面形状为月牙形。更详细地说，将在第一金属磁性粒子40的截面中凹部40a的开口部40b的前端之间的最小距离设为L01，将在第一金属磁性粒子40的截面的凹部40a内的相当于弦的线段中与成为开口部40b的前端之间的最小距离的线段平行的线段中的最长距离设为L02时，满足L02＞L01。
通过第一金属磁性粒子40具有这样的凹部40a，与第一金属磁性粒子40为球状时相比，能够增大第一金属磁性粒子40相对于体积的表面积，因此高频区域的涡流损耗变小，线圈部件10在更高频下也可以使用。
第一金属磁性粒子40的粒度分布中的最大频率的峰优选为10μm～50μm。另外，当第一金属磁性粒子40的最大频率的峰为10μm以上时，能够提高线圈部件10的磁导率。另一方面，当第一金属磁性粒子40的最大频率的峰超过50μm，高频区域的涡流损耗变大，高频区域的特性降低。
如图6所示，第二金属磁性粒子42的形状为球状，截面形状为圆形。
另外，第二金属磁性粒子42的粒度分布中的最大频率的峰优选为0.2μm～10μm。更优选为8μm以下，进一步优选为5μm以下。通过使第二金属磁性粒子42的粒径比其他金属磁性粒子的平均粒径小，磁性体部14中的金属磁性粒子的填充率变高，可以提高磁性体部14的磁导率，另外，可以改善直流重叠特性。当第二金属磁性粒子42的粒度分布中的最大频率的峰为10μm以下时，能够在磁性体部14中高填充金属磁性粒子。当第二金属磁性粒子42的粒度分布中的最大频率的峰小于0.2μm，成型时的流动性降低，难以高填充化。
第一金属磁性粒子40的粒度分布中的最大频率的峰优选大于第二金属磁性粒子42的粒度分布中的最大频率的峰。通过包含粒径不同的粒子，填充率变高，可以提高磁性体部14的磁导率，另外，可以改善直流重叠特性。
具有凹部40a的第一金属磁性粒子40的平均圆形度优选为0.89以下。
应予说明，各金属磁性粒子的圆形度的测定如下算出。
即，在各金属磁性粒子的截面中，将金属磁性粒子的面积设为S、周长设为L时，定义为4πS/L2。金属磁性粒子的截面是指通过研磨、FIB(会聚离子束：Focused Ion Beam)、截面离子铣削(CP：Cross－section Polisher)等使线圈部件10的单元体12露出，形成露出面，该露出面上的金属磁性粒子的截面。使单元体12的截面露出而形成露出面后，用SEM(扫描式电子显微镜：Scanning Electron Microscope)以500倍～5000倍观察各金属磁性粒子。使用图像分析软件WinROOF2018(三谷商事株式会社)，对50个以上的粒子测定面积S和周长L，计算平均圆形度。
将第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42的合计含有率换算成面积设为100％时，第一金属磁性粒子40的含有率优选为40％～85％。当第一金属磁性粒子40的含有率为70％～85％时，可以提高线圈部件10的有效磁导率。
将第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42的合计含有率换算成面积设为100％时，第二金属磁性粒子42的含有率优选为15％～60％。当第二金属磁性粒子42的含有率为15％～30％时，可以提高线圈部件10的有效磁导率。
这里，第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42的各金属磁性粒子的含有率如下说明地算出。
即，使磁性体部14的截面露出，例如在该截面的任意500μm的区域中，根据各金属磁性粒子的截面积的总和(将第一金属磁性粒子40的截面积S1的总和设为Sa，将第二金属磁性粒子42的截面积S2的总和设为Sb)，计算各金属磁性粒子的含有率(第一金属磁性粒子的含有率＝Sa/(Sa+Sb)、第二金属磁性粒子的含有率＝Sb/(Sa+Sb)。
第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42可以是相同的组成。通过采用相同的组成，磁性体部14内部的磁通的流动变得均匀，重叠特性变高。
应予说明，金属磁性粒子的组成可以如下分析。
即，金属磁性粒子的组成可以通过诸如EDX(能量分散型X射线分析：EnergyDispersive X－ray spectroscopy)、XPS(X射线光电子能谱法：X－ray PhotoelectronSpectroscopy)、TOF－SIMS(飞行时间二次离子质谱法：Time of Flight Secondary IonMass Spectroscopy)的组成分析装置来分析。
在磁性体部14中，树脂的含有率(换算成面积)优选为5％～25％。由此，磁性体部14中包含的各金属磁性粒子的面积率变高，可以提高磁性体部14的磁导率。应予说明，如果树脂的含有率为5％以下，则成型时不能确保流动性，难以高填充化。
这里，在磁性体部14中，树脂的含有率如下说明地算出。
即，使磁性体部14的截面露出，例如在该其截面的任意500μm的区域中，以树脂的面积相对于该任意500μm的区域的面积St的形式算出。
如图8(a)、图8(b)所示，在磁性体部14的截面中，在第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部配置至少一个第二金属磁性粒子42的至少一部分。由于第二金属磁性粒子42进入第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部，所以能够抑制由凹部40a引起的磁性体部14的磁导率的降低。
如图8(c)、图8(d)所示，在磁性体部14的截面中，优选在第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部配置至少一个第二金属磁性粒子42的全部。由于第二金属磁性粒子42进入第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部，所以能够提高磁性体部14的磁导率。
另外，在磁性体部14的截面中，具有凹部40a的第一金属磁性粒子40中在第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部配置有至少一个第二金属磁性粒子42的至少一部分的第一金属磁性粒子40的个数的比例为50％以上。由于包含在第一金属磁性粒子40的凹部40a配置有第二金属磁性粒子42的第一金属磁性粒子40的比例大，所以能够提高磁性体部14的磁导率。
如图9所示，在磁性体部14的截面中，在至少一个第二金属磁性粒子42的全部进入第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部的情况下，凹部40a的内部的第二金属磁性粒子42的含有率优选平均为40％以上。由于第二金属磁性粒子42进入第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部，所以能够提高磁性体部14的磁导率。
应予说明，如图9所示，第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部的第二金属磁性粒子42的含有率在开口部40b中以位于区域R0内的第二金属磁性粒子42的面积的总和相对于第一金属磁性粒子40的成为开口部40b的前端之间的最小距离的线段的内侧的区域R0的面积的比例的形式算出。
如图10所示，在磁性体部14的截面中，至少一个其他第一金属磁性粒子402的至少一部分和第二金属磁性粒子42的至少一部分进入第一金属磁性粒子401的凹部40a的内部，第一金属磁性粒子401的凹部40a中的其他第一金属磁性粒子402和第二金属磁性粒子42的含有率优选平均为50％以上。由于其他第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42进入第一金属磁性粒子40的凹部40a，所以能够提高磁性体部14的磁导率。
应予说明，如图10所示，第一金属磁性粒子401的凹部40a的内部的其他第一金属磁性粒子402和第二金属磁性粒子42的含有率在开口部40b中以位于区域R0内的其他第一金属磁性粒子402和第二金属磁性粒子42的面积的总和相对于第一金属磁性粒子401的成为开口部40b的前端之间的最小距离的线段的内侧的区域R0的面积的比例的形式算出。
如图11所示，在磁性体部14的截面中，在设为第二金属磁性粒子42的粒度分布中的最大频率的峰所处的粒径d2时，第一金属磁性粒子40的凹部40a的开口部40b的前端之间的最小距离L01的平均值优选满足L01＞d2。由于第一金属磁性粒子40的开口部40b比第二金属磁性粒子42的粒度分布中的最大频率的峰所处的粒径大，所以第二金属磁性粒子42容易进入凹部40a，因此能够提高磁性体部14的磁导率。
对于第一金属磁性粒子40，如图12所示，在磁性体部14的截面中，将具有月牙形的凹部40a的第一金属磁性粒子40的外周长设为L1，将换算成与第一金属磁性粒子40的面积相当的面积的圆的周长设为L2时，L1/L2的平均值优选为5.0以下。当L1/L2的平均值为5.0以下时，高频区域的涡流损耗变小，线圈部件10在更高频下也可以使用。应予说明，当L1/L2的平均值超过5.0时，第一金属磁性粒子40的凹部40a变大，在构成磁性体部14的后述的第一成型体50和第二成型体60的热成型时难以流动。因此，磁性体部14中的金属磁性粒子的填充率降低，其结果，线圈部件10的磁导率、直流重叠特性降低。另外，L1/L2的平均值更优选为1.2以上。
这里，第一金属磁性粒子40的周长根据磁性体部14的截面测定。
即，金属磁性粒子的截面是指通过截面离子铣削(另外，研磨、FIB加工等)使包含线圈部件10的单元体12的中心且与单元体12的长度方向z正交的成型体截面露出，形成露出面，该露出面上的金属磁性粒子的截面。使单元体12的截面露出而形成露出面后，用SEM以500倍～5000倍观察粒子。使用图像分析软件WinROOF2018算出L1和L2。然后，用50个以上的粒子算出L1/L2，求出其平均值，由此算出。
对于第一金属磁性粒子40，如图13所示，在磁性体部14的截面中，将第一金属磁性粒子40的凹部40a的开口部40b的前端之间的最小距离设为L01，将第一金属磁性粒子40的除了凹部40a的开口部40b的内侧以外的周长设为Lc时，L01/(Lc+L01)的平均值优选为0.03～0.4。
如果L01/(Lc+L01)的平均值为0.03以上，则第二金属磁性粒子42容易进入凹部40a的内部，因此通过磁性体部14内的金属磁性粒子的高填充化，可以提高线圈部件10的磁导率，另外，可以改善直流重叠特性。另一方面，如果L01/(Lc+L01)的平均值超过0.4，则第一金属磁性粒子40难以流动，磁性体部14内的金属磁性粒子的填充率变低。
应予说明，L01、Lc根据线圈部件10的单元体12的截面图像测定。
这里，第一金属磁性粒子40的L01和Lc通过以下步骤算出。
金属磁性粒子的截面是指通过截面离子铣削(另外，研磨、FIB加工等)使包含线圈部件10的单元体12的中心且与单元体12的长度方向z正交的单元体12的截面露出，形成露出面，该露出面上的金属磁性粒子的截面。使单元体12的截面露出而形成露出面后，用SEM以500倍～5000倍观察粒子。使用图像分析软件WinROOF2018算出L01和Lc。L01是第一金属磁性粒子40的开口部40b的前端的最短距离，Lc是第一金属磁性粒子40的除了开口部40b的内侧以外的周长。然后，用10个以上的粒子算出L01/(Lc+L01)，求出其平均值，由此算出。
对于第一金属磁性粒子40，如图14所示，在磁性体部14的截面中，将第一金属磁性粒子40的成为开口部40b的前端之间的最小距离的线段的内侧的区域R0的面积设为S0、将具有凹部40a的第一金属磁性粒子40的截面积设为Sc时，S0/(Sc+S0)的平均值优选为0.05～0.8。
如果S0/(Sc+S0)为0.05以上，则第二金属磁性粒子42容易进入第一金属磁性粒子40的凹部40a，能够提高线圈部件10的磁导率。另外，如果S0/(Sc+S0)超过0.8，则在构成磁性体部14的后述的第一成型体50和第二成型体60的成型时第一金属磁性粒子40容易变形，磁性体部14中的金属磁性粒子的高填充化变得困难。
应予说明，S0、Sc根据磁性体部14的截面图像测定。
这里，第一金属磁性粒子40的S0和Sc可以通过以下步骤算出。
金属磁性粒子的截面是指通过截面离子铣削(另外，研磨、FIB加工等)使包含线圈部件10的单元体12的中心且与单元体12的长度方向z正交的单元体12的截面露出，形成露出面，该露出面上的金属磁性粒子的截面。使单元体12的截面露出而形成露出面后，用SEM以500倍～5000倍观察粒子。使用图像分析软件WinROOF2018算出S0和Sc。S0是连接第一金属磁性粒子40的开口部40b的前端的最短距离的线段的内侧的凹部40a的区域R0的面积，Sc是第一金属磁性粒子40的截面积。然后，用50个以上的粒子算出S0/(Sc+S0)，求出其平均值，由此算出。
磁性体部14优选进一步含有无机氧化物粒子44。
无机氧化物粒子44例如为二氧化硅填料、铁氧体、玻璃。
无机氧化物粒子44的电阻率比金属磁性粒子高，因此如果磁性体部14含有无机氧化物粒子44，则能够提高线圈部件10的耐电压。
无机氧化物粒子44优选为玻璃或非磁性铁氧体。由于玻璃或非磁性铁氧体的磁阻高，所以能够提高线圈部件10的重叠特性。
另外，无机氧化物粒子44优选为磁性铁氧体。由于磁性铁氧体的磁导率高，所以能够进一步提高线圈部件10的磁导率。
对于第一金属磁性粒子40，如图15(a)、图15(b)所示，在磁性体部14的截面中，优选在第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部同时配置至少一个第二金属磁性粒子42的至少一部分和至少一个无机氧化物粒子44的至少一部分。
对于第一金属磁性粒子40，如图15(c)、图15(d)所示，在磁性体部14的截面中，更优选至少一个第二金属磁性粒子42的至少一部分和至少一个无机氧化物粒子44的全部同时进入第一金属磁性粒子40的凹部40a中。
第一金属磁性粒子40和第二金属磁性粒子42的表面可以被绝缘被膜覆盖。通过用绝缘被膜覆盖各金属磁性粒子的表面，能够提高磁性体部14的内部的电阻。另外，由于通过绝缘被膜确保金属磁性粒子的表面的绝缘性，所以能够抑制线圈导体16与外部电极30之间的短路不良。
应予说明，如图16所示，优选在第一金属磁性粒子40的外表面形成绝缘被膜46且在第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部的表面的至少一部分未形成绝缘被膜46。应予说明，更优选在凹部40a的全部内侧未形成绝缘被膜46。由于在第一金属磁性粒子40的凹部40a内侧没有绝缘被膜46，所以磁性体面积的比例变高，因此能够提高磁性体部14的有效磁导率。
绝缘被膜的材料可举出硅的氧化物、磷酸系玻璃、铋系玻璃等。
绝缘被膜的厚度没有特别限定，但可以优选为5nm～500nm，更优选为5nm～100nm，进一步优选为10nm～100nm。通过进一步增大绝缘被膜的厚度，可以期待磁性体部14的耐电压性的提高、直流重叠特性的提高。另外，通过进一步减小绝缘被膜的厚度，可以增加磁性体部14中的金属磁性粒子的量，磁性体部14的磁导率提高。
(c)线圈导体
线圈导体16具有：将包含导电性材料的导线卷绕成线圈状而形成的卷绕部18、引出到卷绕部18的一侧的第一引出部22a和引出到卷绕部18的另一侧的第二引出部22b。在卷绕部18的中心部形成中空区域20。
卷绕部18卷绕成两段而形成。线圈导体16将扁平导线卷绕成α卷绕形状而形成。
第一引出部22a从单元体12的第一端面12e露出而形成第一露出部24a，第二引出部22b从单元体12的第二端面12f露出而形成第二露出部24b。在第一露出部24a中，第一引出部22a的露出面形成为与第一引出部22a的延伸方向交叉。另外，在第二露出部24b中，第二引出部22b的露出面形成为与第二引出部22b的延伸方向交叉。
线圈导体16由金属线、引线等导线构成。作为线圈导体16的导电性材料，没有特别限定，但例如是由Ag、Au、Cu、Ni、Sn或它们的合金构成的金属成分。优选地，可举出铜作为导电性材料。导电性材料可以仅为一种，也可以为两种以上。
构成线圈导体16的导线的表面被绝缘性物质被覆而形成绝缘膜。通过用绝缘性物质被覆构成线圈导体16的导线，可以使卷绕的线圈导体16彼此以及线圈导体16与磁性体部14的绝缘更可靠。
应予说明，在构成线圈导体16的导线的第一露出部24a和第二露出部24b各自的部分未形成绝缘膜。
作为绝缘膜的绝缘性物质，没有特别限定，但例如可举出聚氨酯树脂、聚酯树脂、环氧树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰亚胺树脂。优选地，作为绝缘膜，可举出聚酰胺酰亚胺树脂。
绝缘膜的厚度优选为2μm～10μm。
另外，在线圈导体16的第一露出部24a和第二露出部24b的单元体12的两端面12e、12f的露出部分(露出面)中未配置绝缘膜。由此，线圈导体16与第一基底电极层32a和第二基底电极层32b能够直接电连接，因此能够降低线圈导体16与第一基底电极层32a和第二基底电极层32b之间的电阻。
(d)外部电极
在单元体12的第一端面12e侧和第二端面12f侧配置外部电极30。外部电极30具有第一外部电极30a和第二外部电极30b。
第一外部电极30a配置于单元体12的第一端面12e的表面。应予说明，第一外部电极30a可以形成为从第一端面12e延伸并覆盖第一主面12a、第二主面12b、第一侧面12c和第二侧面12d各自的一部分，也可以形成为从第一端面12e向第二主面12b延伸并覆盖第一端面12e和第二主面12b的各一部分。在这种情况下，第一外部电极30a与线圈导体16的第一露出部24a直接电连接，与第一引出部22a电连接。
第二外部电极30b配置于单元体12的第二端面12f的表面。应予说明，第二外部电极30b可以形成为从第二端面12f延伸并覆盖第一主面12a、第二主面12b、第一侧面12c和第二侧面12d各自的一部分，也可以形成为从第二端面12f向第二主面12b延伸并覆盖第二端面12f和第二主面12b的各一部分。在这种情况下，第二外部电极30b与线圈导体16的第二露出部24b直接电连接，与第二引出部22b电连接。
第一外部电极30a和第二外部电极30b各自的厚度没有特别限定，但例如可以为1μm～50μm，优选为5μm～20μm。
第一外部电极30a包含第一基底电极层32a和配置于第一基底电极层32a的表面的第一镀层34a。同样，第二外部电极30b包含第二基底电极层32b和配置于第二基底电极层32b的表面的第二镀层34b。
第一基底电极层32a配置于单元体12的第一端面12e的表面。因此，第一基底电极层32a与线圈导体16的第一露出部24a直接接触。应予说明，第一基底电极层32a可以形成为从第一端面12e延伸并覆盖第一主面12a、第二主面12b、第一侧面12c和第二侧面12d各自的一部分，也可以形成为从第一端面12e延伸并覆盖第一端面12e和第二主面12b的各一部分。
另外，第二基底电极层32b配置于单元体12的第二端面12f的表面。因此，第二基底电极层32b与线圈导体16的第二露出部24b直接接触。应予说明，第二基底电极层32b可以形成为从第二端面12f延伸并覆盖第一主面12a、第二主面12b、第一侧面12c和第二侧面12d各自的一部分，也可以形成为从第二端面12f延伸并覆盖第二端面12f和第二主面12b的各一部分。
第一基底电极层32a和第二基底电极层32b可以由树脂电极层形成。树脂电极层包含树脂成分和金属成分。树脂电极层的树脂成分包含选自聚氨酯树脂、环氧树脂、酚醛树脂、丙烯酸树脂、硅树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰胺树脂等中的至少一个。作为树脂电极层的金属成分，例如包含选自Cu、Ni、Ag、Pd、Ag－Pd合金、Au等中的至少一个。树脂电极层可以是多层。树脂电极层可以将包含树脂成分和金属成分的导电性糊料通过浸渍而涂布于单元体12并进行热固化而形成。
另外，第一基底电极层32a和第二基底电极层32b可以各自形成为镀覆电极。第一基底电极层32a和第二基底电极层32b可以通过电镀来形成，也可以通过无电镀来形成。
另外，构成第一基底电极层32a和第二基底电极层32b的金属材料的主要成分与构成线圈导体16的金属材料的主要成分优选为相同的组成。由此，线圈导体16与第一基底电极层32a和第二基底电极层32b之间的金属结合变得更牢固，因此接合强度变高，能够降低直流电阻。
第一基底电极层32a和第二基底电极层32b的平均厚度例如为10μm。
第一镀层34a配置为覆盖第一基底电极层32a。具体而言，第一镀层34a以覆盖配置于第一端面12e的第一基底电极层32a的方式配置，进而可以以覆盖从第一端面12e延伸并配置于第一主面12a、第二主面12b、第一侧面12c和第二侧面12d的第一基底电极层32a的表面的方式配置，也可以以覆盖配置为从第一端面12e延伸并覆盖第二主面12b的各一部分的第一基底电极层32a的方式配置。
第二镀层34b配置为覆盖第二基底电极层32b。具体而言，第二镀层34b以覆盖配置于第二端面12f的第二基底电极层32b的方式配置，进而可以以覆盖从第二端面12f延伸并配置于第一主面12a、第二主面12b、第一侧面12c和第二侧面12d的第二基底电极层32b的表面的方式配置，也可以以覆盖配置为从第二端面12f延伸并覆盖第二主面12b的各一部分的第二基底电极层32b的方式配置。
作为第一镀层34a和第二镀层34b的金属材料，例如包含选自Cu、Ni、Ag、Sn、Pd、Ag－Pd合金或Au等中的至少一个。
第一镀层34a和第二镀层34b可以形成为多层。
第一镀层34a是第一Ni镀层36a与形成于第一Ni镀层36a的表面的第一Sn镀层38a的双层结构。第二镀层34b是第二Ni镀层36b与形成于第二Ni镀层36b的表面的第二Sn镀层38b的双层结构。
第一Ni镀层36a和第二Ni镀层36b的平均厚度例如为5μm。
另外，第一Sn镀层38a和第二Sn镀层38b的平均厚度例如为10μm。
应予说明，第一外部电极30a和第二外部电极30b可以通过如下构成来设置。
例如，第一基底电极层32a和第二基底电极层32b可以是含Ag树脂电极，也可以由通过溅射产生的Ag溅射层、Cu溅射层或Ti溅射层构成。应予说明，在第一基底电极层32a和第二基底电极层32b由含Ag树脂电极构成的情况下，可以含有玻璃料。另外，在第一基底电极层32a和第二基底电极层32b由溅射层形成的情况下，可以在Ti溅射层上形成Cu溅射层。
另外，第一镀层34a和第二镀层34b的最外层可以仅由Sn镀层38a、38b构成。
进而，也可以不形成第一基底电极层32a和第二基底电极层32b而在单元体12上形成Ag镀层、Ni镀层。
如果将线圈部件10的长度方向z的尺寸设为L尺寸，则L尺寸优选为1.0mm～12.0mm。如果将线圈部件10的宽度方向y的尺寸设为W尺寸，则W尺寸优选为0.5mm～12.0mm。如果将线圈部件10的加压方向x的尺寸设为T尺寸，则优选为0.5mm～6.0mm。
根据图1所示的线圈部件10，根据从磁性体部14的截面的截面图像得到的当量圆直径算出的金属磁性粒子的粒度分布具有至少两个峰和至少一个底部，包含将具有最小频率的底部以上设为第一金属磁性粒子40、将小于具有最小频率的底部设为第二金属磁性粒子42的金属磁性粒子，第一金属磁性粒子40包括具有在截面中满足规定条件的凹部40a的粒子，在具有凹部40a的第一金属磁性粒子40的凹部40a的内部配置至少一个第二金属磁性粒子42的至少一部分，因此磁性体部中的金属磁性粒子的填充率变高，因此能够提高线圈部件的磁导率。
另外，根据图1所示的线圈部件10，在含有金属磁性粒子和树脂的磁性体部14中包含具有在截面中满足规定条件的凹部40a的第一金属磁性粒子40，规定条件是，将凹部40a的开口部40b的前端之间的最小距离设为L01，将在第一金属磁性粒子40的截面的凹部40a内的相当于弦的线段中与成为开口部40b的前端之间的最小距离的线段平行的线段中的最长距离设为L02时，L02＞L01，因此能够增大第一金属磁性粒子40相对于磁性体部14的体积的表面积，因此高频区域的涡流损耗变小，线圈部件在更高频下也可以使用。
2.线圈部件的制造方法
接下来，对线圈部件的制造方法进行说明。
线圈部件的制造方法包括(a)制造造粒粉的工序、(b)制造第一成型体和第二成型体的工序、(c)制造单元体的工序、(d)形成外部电极的工序。
(a)制造造粒粉的工序
制造的造粒粉是包含金属磁性粒子A、金属磁性粒子B、树脂和溶剂的复合材料。
(金属磁性粒子的准备)
首先，准备金属磁性粒子A和金属磁性粒子B。
(金属磁性粒子A)
作为金属磁性粒子A，例如可以使用α－Fe、Fe－Si、Fe－Si－Cr、Fe－Si－Al、Fe－Ni、Fe－Co等Fe系软磁性材料粉末。另外，对于金属磁性粒子的材料形态，优选具有良好的软磁性特性的非晶质，但没有特别限定，也可以是晶质。
金属磁性粒子A的平均粒径优选为10μm～50μm。应予说明，平均粒径例如是中值粒径(D50)。应予说明，如果金属磁性粒子B的平均粒径超过50μm，则高频区域的涡流损耗变大，高频区域的特性降低。
金属磁性粒子A包括形成有凹部的粒子。
为了在金属磁性粒子A中形成凹部，进行以下说明的处理。
即，对于准备的磁性材料粉末，通过气体雾化法、水雾化法制作金属磁性粒子A。这里，通过增加气体、水的喷雾量或提高喷雾压，可以促进空洞的形成或增大空洞的大小或控制真球度。通常，当试图通过雾化法在金属磁性粒子中形成凹部时，粒子的形状偏离真球，制作的粒子整体的平均真球度变高。在本实施方式中通过水雾化来制作金属磁性粒子A。另外，可以选择所制作的金属磁性粒子的外观，调整有空洞和无空洞的含有比。
应予说明，具有凹部的金属磁性粒子的制作方法不限于雾化法，也可以使用其他方法。
另外，金属磁性粒子A的外表面被绝缘被膜被覆。这里，在用机械方法形成绝缘被膜的情况下，可以将金属磁性粒子和绝缘材料粉末投入旋转容器中，通过机械化学处理来进行粒子复合化，由此在磁性粉末的表面被覆形成绝缘被膜。应予说明，优选在金属磁性粒子A的凹部的内侧不形成绝缘被膜。在金属磁性粒子A的凹部的内侧不形成绝缘被膜的情况下，能够提高线圈部件的有效磁导率。
作为上述具备凹部额金属磁性粒子A的材料，例如准备平均粒径为26μm且被由磷酸锌玻璃制成的厚度10nm的绝缘被膜被覆的Fe－Si－Cr合金粒子。应予说明，Fe－Si－Cr合金粒子含有90.8wt％的Fe、6.7wt％的Si、2.5wt％的Cr。
(金属磁性粒子B)
作为金属磁性粒子B，例如可以使用α－Fe、Fe－Si、Fe－Si－Cr、Fe－Si－Al、Fe－Ni、Fe－Co等Fe系软磁性材料粉末。另外，对于金属磁性粒子的材料形态，优选具有良好的软磁性特性的非晶质，但没有特别限定，也可以为晶质。
金属磁性粒子B通过气体雾化法、水雾化法制作。
金属磁性粒子B的平均粒径优选为0.2μm～10μm。金属磁性粒子B的平均粒径更优选为8μm以下，进一步优选为5μm以下。应予说明，平均粒径例如是中值粒径(D50)。如果金属磁性粒子B的平均粒径小于0.2μm，则成型时的流动性降低，难以高填充化。
另外，金属磁性粒子B的表面被绝缘被膜被覆。这里，在用机械方法形成绝缘被膜的情况下，可以将金属磁性粒子和绝缘材料粉末投入旋转容器中，通过机械化学处理来进行粒子复合化，由此在磁性粉末的表面被覆形成绝缘被膜。
作为上述金属磁性粒子B的材料，例如准备平均粒径为4μm且被由磷酸锌玻璃制成的厚度10nm的绝缘被膜被覆的Fe－Si－Cr合金粒子。应予说明，Fe－Si－Cr合金粒子含有90.8wt％的Fe、6.7wt％的Si、2.5wt％的Cr。
应予说明，各金属磁性粒子的平均粒径通过以下方法测定。
首先，造粒前的各金属磁性粒子的平均粒径即中值粒径(D50)可以通过使用激光衍射式的粒度分布测定装置等来测定。这里，中值粒径(D50)是指平均粒径D50(相当于体积基准的累积百分率50％的粒径)。
(树脂)
作为复合材料中含有的树脂材料，例如可举出热固性树脂，可举出环氧树脂、酚醛树脂、聚酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚烯烃树脂等有机材料。树脂材料可以仅为一种，也可以为两种以上。
在本实施方式中，作为热固性树脂，使用环氧树脂。
树脂的含有率较低可以提高线圈部件10的有效磁导率，因此优选。具体而言，特别优选(换算成面积)为25％以下。另一方面，小于5％时，成型时不能确保流动性而难以高填充化，因此优选为5％以上。
应予说明，在本实施方式中，按照以下的体积比例混合造粒粉成型。
即，设为金属磁性粒子A：金属磁性粒子B：树脂＝56：19：25。
(溶剂)
另外，作为溶剂，准备丙酮。
(造粒粉的制造)
接着，使用所准备的金属磁性粒子A、金属磁性粒子B、树脂材料和溶剂，制造造粒粉。
首先，将金属磁性粒子A和金属磁性粒子B在搅拌容器内混合并搅拌。混合的各金属磁性粒子的混合比率以重量比计为金属磁性粒子A：金属磁性粒子B＝75：25。
应予说明，金属磁性粒子A与金属磁性粒子B的粒径的比率(金属磁性粒子A的平均粒径/金属磁性粒子B的平均粒径)越高，线圈部件的金属磁性粒子的填充率越高，可以提高磁导率，另外，可以提高直流重叠特性。
接下来，向在搅拌容器内混合·搅拌的金属磁性粒子A和金属磁性粒子B投入所准备的树脂和溶剂。
应予说明，树脂的投入量为金属磁性粒子A和金属磁性粒子B的合计重量的3.0wt％，溶剂的投入量为金属磁性粒子A和金属磁性粒子B的合计重量的1.0wt％。
接着，将在搅拌容器内投入的金属磁性粒子A、金属磁性粒子B、树脂和溶剂搅拌并干燥。
然后，使用筛振机，从搅拌的金属磁性粒子A、金属磁性粒子B、树脂和溶剂的复合材料中去除粗粒，由此得到造粒粉。
应予说明，通过改变各金属磁性粒子的混合比率、混合·搅拌时间、L01/d2的值等，可以调整在第一金属磁性粒子的凹部的内部配置其他第一金属磁性粒子、第二金属磁性粒子的比例。
(b)制造第一成型体和第二成型体的工序
接下来，使用所得到的造粒粉制造第一成型体50和第二成型体60。
这里，首先，对第一成型体50的结构进行说明。
如图17所示，第一成型体50具备板状的底面部52、设置于底面部52的上表面52a的柱状的卷轴部54、以及包围卷轴部54且设置于底面部52的上表面52a的第一侧面侧壁部56a、第二侧面侧壁部56b、第一端面侧壁部56c和第二端面侧壁部56d。
第一侧面侧壁部56a和第二侧面侧壁部56b以在宽度方向y相对的方式配置于底面部52的上表面52a，第一端面侧壁部56c和第二端面侧壁部56d以在长度方向z相对的方式配置于底面部52的上表面52a。
在第一端面侧壁部56c设置第一切口部58a。在第二端面侧壁部56d设置第二切口部58b。
卷轴部54在与中心轴A大致垂直方向的截面为椭圆形或大致椭圆形状。如图17所示，卷轴部54可以随着远离底面部52而逐渐变细。即，卷轴部54的前端部54a可以比与底面部52连接的根部细。
接下来，对第二成型体60的结构进行说明。
如图17所示，第二成型体60是第一主面60a和第二主面60b为大致矩形的板状的部件。
上述第一成型体50和第二成型体60如下制造。
首先，使用成为第一成型体的模具将在制造造粒粉的工序中制造的造粒粉成型。此时，温度设定为室温，以50MPa加压。接下来，使用成为第二成型体的模具将制造的造粒粉成型。此时，温度设定为室温，以50MPa加压。
对如上所述制造的第一成型体和第二成型体进一步施加10秒温度100℃，进行临时固化。
如上所述，制造第一成型体50和第二成型体60。
(c)制造单元体的工序
接着，使用所制造的第一成型体50和第二成型体60，制造埋设有线圈导体16的单元体12。
如图17所示，使第一成型体50的底面部52的上表面52a与第二成型体60的一个主面60a(或60b)相对，在第一成型体50与第二成型体60之间装入线圈导体16。然后，第一成型体50和第二成型体60以夹着线圈导体16的状态接合。
更详细地说，首先，将第一成型体50收纳在单元体成型用的模具的腔中。
接着，以第一成型体50的卷轴部54配置于卷绕部18的中空区域20内的方式，将线圈导体16配置于第一成型体50与第二成型体60之间。此时，以线圈导体16的第一引出部22a从第一成型体50的第一切口部58a引出、第二引出部22b从第一成型体50的第二切口部58b引出的方式，配置线圈导体16。应予说明，在该线圈导体16的表面形成绝缘被膜。
然后，以覆盖配置有线圈导体16的第一成型体50的方式载置第二成型体60。
接着，在第一成型体50上载置第二成型体60的状态下，加温至200℃。然后，在加温的状态下，以10MPa加压120秒，进行热成型。
如上所述，制造单元体12。
(d)形成外部电极的工序
接下来，在单元体12的第一端面12e形成第一外部电极30a，在第二端面12f形成第二外部电极30b。
接着，在单元体12的第一端面12e和第二端面12f涂布成为基底电极层的含Ag导电性糊料，形成基底电极层。在形成树脂电极层作为基底电极层的情况下，例如通过浸渍等方法涂布包含树脂成分和金属的导电性糊料，然后进行热固化处理，形成基底电极层。此时的热固化处理的温度优选为120℃～200℃。
接下来，在基底电极层的表面形成镀层。更详细地说，在基底电极层上形成Ni镀层以及在Ni镀层上形成Sn镀层，形成外部电极30。由此，线圈导体16的第一露出部24a与第一外部电极30a电连接，线圈导体16的第二露出部24b与第二外部电极30b电连接。在进行镀覆处理时，可以通过无电镀来形成。
如上所述，制造线圈部件10。
应予说明，如上所述，本发明的实施方式在上述记载中公开，但本发明不限定于此。
即，在不脱离本发明的技术思想和目的的范围的情况下，可以对以上说明的实施方式在机构、形状、材质、数量、位置或配置等方面进行各种变更，它们包含在本发明中。

Claims (19)

1.一种线圈部件，具备：
单元体，其具备卷绕导线而形成的线圈导体以及含有金属磁性粒子和树脂的磁性体部，以及
外部电极，与所述线圈导体的引出部的露出于所述单元体的表面的露出面电连接且配置于所述单元体的表面；
其中，
所述金属磁性粒子包含第一金属磁性粒子和第二金属磁性粒子，
根据从所述磁性体部的截面的截面图像得到的当量圆直径算出的金属磁性粒子的粒度分布具有至少两个峰和至少一个底部，将具有最小频率的所述底部以上设为所述第一金属磁性粒子，将小于具有最小频率的所述底部设为所述第二金属磁性粒子，
所述第一金属磁性粒子包括具有在截面中满足规定条件的凹部的粒子，
所述规定条件是将所述凹部的开口部的前端之间的最小距离设为L01，将在所述第一金属磁性粒子的截面的所述凹部内的相当于弦的线段中与成为所述开口部的前端之间的最小距离的线段平行的线段中的最长距离设为L02时，L02＞L01；
所述第一金属磁性粒子的所述凹部的内部配置有至少一个所述第二金属磁性粒子的至少一部分。
2.根据权利要求1所述的线圈部件，其中，所述第一金属磁性粒子的所述凹部的内部配置有至少一个所述第二金属磁性粒子的全部。
3.根据权利要求1或2所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，具有所述凹部的所述第一金属磁性粒子中在所述第一金属磁性粒子的所述凹部的内部配置有至少一个所述第二金属磁性粒子的至少一部分的所述第一金属磁性粒子的个数的比例为50％以上。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，在所述第一金属磁性粒子的所述凹部的内部配置有至少一个所述第二金属磁性粒子的全部时，所述凹部的内部的所述第二金属磁性粒子的含有率平均为40％以上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，在所述第一金属磁性粒子的所述凹部的内部配置有至少一个其他所述第一金属磁性粒子的至少一部分和所述第二金属磁性粒子的至少一部分，所述第一金属磁性粒子的所述凹部中的所述其他第一金属磁性粒子和所述第二金属磁性粒子的含有率平均为50％以上。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的线圈部件，其中，所述第一金属磁性粒子的所述粒度分布中的最大频率的峰为10μm～50μm。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的线圈部件，其中，所述第二金属磁性粒子的所述粒度分布中的最大频率的峰为0.2μm～10μm。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的线圈部件，其中，所述第一金属磁性粒子和所述第二金属磁性粒子是相同的组成。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的线圈部件，其中，在所述第一金属磁性粒子的外表面形成有绝缘被膜，在所述第一金属磁性粒子的所述凹部的内部的表面的至少一部分未形成绝缘被膜。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，所述树脂的含有率在换算成面积时为5％～25％。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的线圈部件，其中，将所述第一金属磁性粒子和所述第二金属磁性粒子的合计含有率换算成面积设为100％时，所述第一金属磁性粒子的含有率为40％～85％，所述第二金属磁性粒子的含有率为15％～60％。
12.根据权利要求1～11中任一项所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，将具有所述凹部的所述第一金属磁性粒子的外周长设为L1，将换算成与圆相当的面积的圆的周长设为L2时，L1/L2的平均值为5.0以下。
13.根据权利要求1～12中任一项所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，将所述第一金属磁性粒子的所述凹部的所述开口部的前端之间的最小距离设为L01、将所述第一金属磁性粒子的除了所述凹部的所述开口部的内侧以外的周长设为Lc时，L01/(Lc+L01)的平均值为0.03～0.4。
14.根据权利要求1～13中任一项所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，将所述第二金属磁性粒子的粒度分布中的最大频率的峰所处位置的粒径设为d2时，所述第一金属磁性粒子的所述凹部的所述开口部的前端之间的最小距离L01的平均值满足L01＞d2。
15.根据权利要求1～14中任一项所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，将所述第一金属磁性粒子的成为所述凹部的所述开口部的前端之间的最小距离的线段的内侧的区域的面积设为S0、具有所述凹部的所述第一金属磁性粒子的截面积设为Sc时，S0/(Sc+S0)的平均值为0.05～0.8。
16.根据权利要求1～15中任一项所述的线圈部件，其中，所述磁性体部进一步含有无机氧化物粒子。
17.根据权利要求16所述的线圈部件，其中，在所述磁性体部的截面中，在所述第一金属磁性粒子的所述凹部同时配置有至少一个所述第二金属磁性粒子的至少一部分和至少一个所述无机氧化物粒子的至少一部分。
18.根据权利要求16或17所述的线圈部件，其中，所述无机氧化物粒子为玻璃。
19.根据权利要求16或17所述的线圈部件，其中，所述无机氧化物粒子为铁氧体。
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