CN116773147A - 激光器输出光斑特性测量装置及方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供激光器输出光斑特性测量装置及方法，包括分束镜、光波长转换元件、折光镜、远心镜头及探测装置；分束镜设置于待测激光光路中，将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束；沿第一光束和第二光束传播方向上分别设置折光镜，以改变两光束传播路径长短及方向，并将第一光束和第二光束分别投射至光波长转换元件表面不同位置；光波长转换元件将接收的第一光束和第二光束转换为可见光；远心镜头和探测装置依次设置光波长转换元件之后，远心镜头将第一光束和第二光束的可见光光斑成像于探测装置，探测装置采集可见光斑信息。本申请是通过光波长转换元件将待测激光转化为可见光，以间接测试待测激光的光斑特性。

Description

激光器输出光斑特性测量装置及方法

技术领域

本申请涉及激光技术领域，具体涉及一种激光器输出光斑特性测量装置，本申请同时还涉及一种激光器输出光斑特性测量方法。

背景技术

随着科技技术的快速发展，激光器被广泛应用于半导体的芯片加工领域，是光刻机领域最常见的光源设备之一。其中，激光光斑特性是光刻光源***激光参数的核心指标，是影响光刻成像质量的重要因素。激光光斑特性包括光斑尺寸和发散角，光斑尺寸是照明***口径大小的决定因素，发散角是标志激光***有效传输的重要参数，因此，对于激光器的激光光斑特性的测量尤为重要。

目前，为了提高光刻机的分辨率，对应的激光器的波长越来越短，具体为深紫外或极紫外波段，在该波段下进行激光光斑特性测量时，普通的光束质量分析仪无明显信号响应。只能采用紫外光束质量分析仪进行测试，但是一般情况下紫外光束质量分析仪在保证一定的分辨率下很难做到较大尺寸。即使能找到尺寸满足的紫外光束质量分析仪，但其价格昂贵，采购周期较长等都是不容忽视的问题。或者在原有的准分子激光器装置上需要额外增加成像装置进行缩束，在此基础上又会引入相应的标定装置，而准分子激光器的光斑在不同重频下的能量分布、功率均不一致，不仅增加了标定装置的复杂化而且标定精度也不高。

因此，现急需设计一种激光器输出光斑特性测量装置，该装置可以解决紫外光束质量分析仪所引入的各种缺陷，而且容易实现光斑尺寸和发散角同时序测试的能力，便于数据分析。

发明内容

本申请提供一种激光器输出光斑特性测量装置，以解决现有技术中紫外光束质量分析仪的无法同步测量光斑尺寸和发散角，而且集成度低、数据同步性差、重复搭建光路、调试繁琐、效率低等技术问题中的至少一种技术问题。本申请同时还涉及一种激光器输出光斑特性测量方法。

本申请提供的一种激光器输出光斑特性测量装置，包括：分束镜、光波长转换元件、折光镜、远心镜头以及探测装置；

分束镜设置于待测激光光路中，用于将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束；

沿第一光束和第二光束的传播方向上分别设置折光镜，以改变两光束传播路径的长短及方向，并将第一光束和第二光束分别投射至光波长转换元件表面的不同位置；光波长转换元件用于将接收到的第一光束和第二光束转换为可见光；

远心镜头和探测装置沿光路依次设置于光波长转换元件之后，远心镜头用于将第一光束和第二光束的可见光光斑成像于探测装置，探测装置用于采集可见光斑的信息。

在一种可实现方式中，在分束镜之前设置有第一光衰减器，第一光衰减器用于对待测激光进行衰减。

在一种可实现方式中，沿第二光束的传播方向上，在分束镜之后还设置有聚焦透镜，第二光束汇聚在聚焦透镜的焦点处。

在一种可实现方式中，分束镜的尺寸根据待测激光的参数进行确定。

在一种可实现方式中，第一光衰减器、分束镜、聚焦透镜以及折光镜设置在测试盒体中。

在一种可实现方式中，光波长转化元件和远心镜头位于密封装置中。

在一种可实现方式中，远心镜头为物方远心镜头，或者像方远心镜头。

在一种可实现方式中，光波长转化元件包括荧光玻璃或者荧光转换晶体。

在一种可实现方式中，探测装置为相机，相机与远心镜头配套连接。

本申请同时提供一种激光器输出光斑特性测量方法，使用上述任意一项可行的激光器输出光斑特性测量装置进行测量。

与现有技术相比，本申请具有以下优点:

本申请通过分束镜将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束，并通过光波长转换元件将第一光束和第二光束分别转化为可见光，以间接测试待测激光的光斑特性，具备同时序测试近场光斑尺寸及远场发散角的能力，便于数据分析及问题排查。

附图说明

图1为本申请第一实施中的激光器输出光斑特性测量装置示意图；

图2为本申请第一实施中的激光器光斑尺寸特性测试方法原理图；

图3为本申请第一实施中的激光器发散角特性测试方法原理图；

附图标记：

100：分束镜；

200：光波长转换元件；

300：第一折光镜；300-2：第二折光镜；300-3：第三折光镜；300-4：第四折光镜；300-5：第五折光镜；

400：远心镜头；

500：探测装置；

600：待测激光光源；

700：第一光衰减器；700-2：第二光衰减器；

800：聚焦透镜。

具体实施方式

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似推广，因此本申请不受下面公开的具体实施的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

相关技术中，在测量激光器光斑尺寸和发散角的相关数据时，往往需要通过紫外光束质量分析仪对激光器的光斑尺寸和发散角进行测量，而且需要将光斑尺寸和发散角分开独立测试，使得测量装置集成度低、使用繁琐、效率低。有鉴于此，本申请提供一种激光器输出光斑特性测量装置，包括分束镜、光波长转换元件、折光镜、远心镜头以及探测装置；分束镜设置于待测激光光路中，用于将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束；沿第一光束和第二光束的传播方向上分别设置折光镜，以改变两光束传播路径的长短及方向，并将第一光束和第二光束分别投射至光波长转换元件表面的不同位置；光波长转换元件用于将接收到的第一光束和第二光束转换为可见光；远心镜头和探测装置沿光路依次设置于光波长转换元件之后，远心镜头用于将第一光束和第二光束的可见光光斑成像于探测装置，探测装置用于采集可见光斑的信息。

换言之，本申请通过光波长转换元件将接收到的待测激光的第一光束和第二光束转换为可见光，通过测试可见光的光斑特性间接测试待测激光光斑特性，具备对待测激光的光斑尺寸和发散角同时序测试的能力，便于数据分析及问题排查。

下面结合附图对本申请可选地实现方式进行介绍，当本领域技术人员应当理解，下述实现方式仅是示意性的，并非是穷尽式的列举，在这些实现方式的基础上，本领域技术人员可以对某些特征或者某些示例进行替换、拼接或者组合，这些仍应视为本申请的公开内容。

下面结合附图1-附图3详细介绍本申请第一实施例。

图1为本申请实施例提供的一种激光器输出光斑特性测量装置示意图。该激光器输出光斑特性测量装置，包括分束镜100、光波长转换元件200、折光镜、远心镜头400以及探测装置500。

如图1所示，待测激光光源600位于该激光器输出光斑特征测量装置的前端，用于提供待测激光。

由于待测激光的能量较强，为避免待测激光对光波长转化元件200和探测装置500造成损伤，通过第一光衰减器700对接收到的待测激光进行衰减。第一光衰减器700设置在待测激光光源600之后，分束镜100之前。

其中，第一光衰减器700的材质可以为熔石英或氟化钙(CaF2)。

在具体的实施方式中，第一光衰减器700对待测激光的能量衰减的程度，可以通过以下方式进行调节：

第一种方式：通过调节第一光衰减器700的角度，来调整待测激光入射至第一光衰减器700的角度，以实现对待测激光的能量衰减程度的调节。

第二种方式：通过改变第一光衰减器700的数量，对待测激光的能量进行衰减。其中，对于第一光衰减器700的数量的设置，需要根据待测激光衰减能量的大小进行确定。本申请实施例中，在待测激光光源600之后设置一个第一光衰减器700，但并不排除在后续的光路中设置更多数量的光衰减器以增强激光衰减效果的实施方式。并且，采用多个光衰减器的实施方案中，不同的光衰减器的角度既可以相同也可以不同，在此不做限制。

上述列举的调节方式通过第一光衰减器700对待测激光的能量进行衰减，使得衰减过后的待测激光的能量能够满足后续的光波长转化元件200和探测装置500的要求。其中，第一光衰减器700既可以设置需人为调节角度或数量的形式结构，也可以设置为可自动调节角度或数量的形式结构，在此不做限制。

本实施例中，分束镜设置于待测激光光路中。当被第一光衰减器700衰减后的待测激光进入到分束镜100后，分束镜100会将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束。

其中，近场光束测量装置中的第一光束，用于测量待测激光的光斑尺寸；远场光束测量装置中的第二光束，用于测量待测激光的发散角。

分束镜100可以为不镀膜的基片，也可以为具备各种分束比的镀膜镜片，其材质可以为熔石英或氟化钙(CaF2)，在此不对分束镜100的具体结构和材质进行限制。

其中，分束镜100的尺寸根据待测激光的参数进行确定，如根据待测激光的波长、光斑大小等参数进行确定。具体的，分束镜100的厚度d可由待测激光的入射角θ、光斑尺寸h、分束镜折射率n进行确定，具体公式为：

可以理解为，分束镜100的厚度满足上述公式时，在待测激光入射角度为θ的情况下，可以将进入到分束镜100上的待测激光彻底分为第一光束和第二光束。具体为，当待测激光入射到分束镜100上，分束镜100前表面(待测激光入射时与分束镜100先接触的表面)和后表面(待测激光透射时离开分束镜100的表面)会对激光进行反射。其中，前表面所反射的光作为第二光束以进行远场发散角的测量，后表面所反射的光为无用光并被泡沫铝或挡光板等吸收，穿过分束镜100的透射光则作为第一光束以进行近场光斑尺寸的测量，从而将待测激光彻底分为第一光束和第二光束。

其中，待测激光的入射角度决定第二光束被分开后的传播方向。在实施过程中，待测激光的入射角度可以通过改变分束镜100的安装角度来进行调节。并且，可以通过调节分束镜100的安装角度，使第二光束的传播方向与预设的第二光束传播方向一致。当然，也可以通过折光镜来调节第二光束的传播方向，使其与预设的第二光束传播方向一致，在此不做限制。

并且，分束镜100的厚度也可以根据不同的需求进行确定。示例性的，分束镜100的厚度可以根据光斑尺寸指标上限值进行确定，以使分束镜100能针对所有符合光斑尺寸指标的待测激光进行分光，从而使分束镜100能满足准分子激光的分光需求。

另外，需要注意的是，在本申请实施例中，分束镜100对待测光源进行分光的原则是根据探测器的损伤阈值计算的，以保证探测器在测量过程中不会受到损伤。

接下来将对近场光束(第一光束)和远场光束(第二光束)各自的测量装置进行详细说明。

如图1所示，沿第一光束和第二光束的传播方向上分别设置折光镜，以改变两光束传播路径的长短及方向，并将第一光束和第二光束投射至光波长转换元件200表面的不同位置。

其中，通过设置的折光镜对第一光束和第二光束的传播路径的折转，可以压缩测量装置的空间体积，以提升整个测试装置的便携性。

在本申请实施例中，可以通过调整折光镜的角度来改变第一光束和第二光束的路径和折转方向，使得调整后的折光镜的角度能够满足第一光束、第二光束的传播要求。还需注意的是，在此对于折光镜数量的设置不做过多的限制，实际工作过程中，可以根据需求增加折光镜的数量。

其中，折光镜的材质可以为镀介质膜或金属膜的高反镜。

在第二光束传播路径上，分束镜100之后还设置有聚焦透镜800，聚焦透镜800对接收到的第二光束进行汇聚，使得汇聚后的第二光束聚焦在聚焦透镜800的焦点处。

本实施例中，聚焦透镜800将第二光束进行聚焦后，最终投射到光波长转换元件200以测量待测激光的发散角。其中，第二光束从聚焦透镜800到光波长转换元件200之间的光距为第二光束聚焦的焦距，并与第二光束投射到光波长转换元件200上的光斑相对应。

由于同一光学介质对不同波长光的折射率不同，对于不同波长的光，聚焦透镜800聚光的焦距会有所不同。在实际的实施过程中，可以通过调整聚焦透镜800和光波长转换元件200之间的折射透镜的数量、位置和角度来改变第二光束聚焦过程所传播的光距，以使测量得到的发散角更加精准。

另外，也可以将聚焦透镜800设置为焦距较大的透镜，从而保证对于不同波长的光，聚焦透镜800的焦点都落于光波长转换元件200上或光波长转换元件200之后，从而减少测量误差，而且还可以提高测量精度。聚焦透镜800的材料则可采用氟化钙或熔石英等，在此不做限制。

光波长转换元件200用于将接收到的第一光束和第二光束分别转换为可见光。可以理解为，当第一光束和第二光束传播到光波长转化元件200表面的不同位置时，光波长转换元件200会将接收到的第一光束和第二光束分别转换为可见光。

其中，光波长转化元件200可以为荧光玻璃或者荧光转换晶体。光波长转化元件200会通过待测激光与荧光物质作用发射可见光荧光，对于发射的可见光荧光的波长，则可以通过改变光波长转换元件200内所掺杂的离子种类或离子浓度来实现，在此不做限制。在本申请实施例中，待测激光可以是紫外光，也就是说，光波长转化元件200将第一光束(紫外光)和第二光束(紫外光)同时转换为可见光，以通过测试可见光的光斑特性间接测试待测激光(紫外光)光斑特性。

另外，普通相机对可见光的响应度较高，因此可采用普通相机实现光斑特性的测量。同时，普通相机不存在斩波片，避免了因固定频率旋转的斩波片采集到激光器间隙内无用数据的问题，确保了经过测量得到的数据能真实反映激光器状态。而近年来国内相机的市场很广，分辨率普遍高于紫外相机，能解决紫外光束质量分析仪成本高、周期长的问题。经光波长转化元件200转换后的可见光相比紫外光波长较长，光子能量也相对较低，因此对相机的损伤也较低，避免了紫外相机易损坏的风险，延长了使用寿命。

上述对光衰减器700、分束镜100、聚焦透镜800以及折光镜的工作原理进行了详细说明。此外，为了提高测量的准确性，光衰减器700、分束镜100、聚焦透镜800以及折光镜可设置在充满高纯度氮气的测试盒体中，以提高测量效果。并可在测试盒体的底部设置第一通孔，使氮气通过第一通孔进入到测试盒体中。

第一光束和第二光束经过各自路径上的折光镜进行折转，并从测试盒体中出来后，会进入到光波长转换元件200表面上，光波长转换元件200将第一光束和第二光束转换为可见光光斑。

本实施例中，当第一光束和第二光束经过光波长转换元件200之后，会进入到远心镜头400中。

远心镜头400和探测装置500依次设置于光波长转换元件200之后，远心镜头400用于将第一光束和第二光束的可见光光斑成像于探测装置500，探测装置500用于采集可见光斑的信息。

其中，光波长转化元件200和远心镜头400位于密封装置中。在本申请实施例中，是通过螺纹将远心镜头400固定在密封装置上，但也不排除其他固定方式，例如：螺栓固定、卡扣固定、法兰固定等方式。

并且，在本申请实施例中可以采用法兰将测试盒体与密封装置进行固定连接，但也可以采用其他连接方式，例如：螺纹连接、卡扣连接、焊接等连接方式，在此不做限制。

需要清楚的是，远心镜头400与光波长转化元件200之间具有一定的距离，当两者之间的距离满足远心镜头400的工作距离时，远心镜头400对光波长转化元件200上的第一光束和第二光束的可见光光斑，以一定的比例成像于探测装置500上。其中，针对不同的远心镜头400而言，其工作距离也是不一样的，远心镜头400的工作距离由远心镜头400的型号进行决定的。

此外，可以通过调节远心镜头400的光圈大小的方法可以控制其光通量，避免了不同重频下对光衰减器700重复调试的步骤，实现了测试集成度高、调试简单、效率高、精度提升等优点。

在本申请实施例中，远心镜头400可以为物方远心镜头，也可以为像方远心镜头，对于远心镜头400的选择可以根据实际工作情况进行确定，在此不做限制。

其中，远心镜头400在一定的工作距离范围内，其成像倍数固定不变的特性，解决了常规成像透镜因物距变化导致成像大小变化的问题，避免了不同重频下需重复标定的繁琐性，大大提高了测量精度，同时远心镜头400的畸变相对较小，像差也很小，能相对真实的反映激光器光斑特性，同时进行图像处理时减少了因像质影响而进行一些列算法的优化操作，提高了测量准确度。

此外，为了减小杂散光对密封装置的影响，在密封装置中还可设置光吸附装置，从而对密封装置中杂散光进行吸附。

本实施例中，探测装置500位于远心镜头400的像平面处。其中，远心镜头400以一定的比例成像于探测装置500上，可以通过调节远心镜头400的光圈大小，使得探测装置500可以在不破坏密封的情况下完成不同重频下光斑图像的采集，并根据采集的图片进行相应的计算和处理，从而得光斑尺寸和发散角的大小，达到同时序测试出光斑大小和发散角的目的。

在本申请实施例中，探测装置500为相机，相机与远心镜头400配套连接。其中，相机与远心镜头400进行配套连接的接口可以为C接口、F接口或CS接口等形式，而且，远心镜头400的接口处于密封状态。在将相机与远心镜头400的接口进行连接时，可以根据相机的型号对连接的接口的类型进行选择。相机则可以为CCD相机或CMOS相机，在此不做限制。

接下来，将对第一光束和第二光束的测试原理进行详细说明。

第一光束的测试原理如图2所示，图2是激光器光斑尺寸特性测试方法原理图，该图示出了一种可行的第一光束的传输路径，并以此对待测激光近场光斑尺寸特性进行测量。结合图2可以看出，第一光束的传输路径为：待测激光光源600、第一光衰减器700、分束镜100、第一折光镜300、光波长转化元件200、远心镜头400以及探测装置500。其中，待测激光光源600发射出的待测激光经过第一光衰减器700后，第一光衰减器700对待测激光的能量进行衰减，衰减之后的待测激光照射到分束镜100上，分束镜100会将待测激光分为两束光束，投射过分束镜100的光束即为第一光束，该第一光束到达第一折光镜300上，第一折光镜300对第一光束的传播路径的长度以及方向进行调整，使其可以精准的折射到光波长转换元件200表面上。

其中，待测激光光源600位于待测激光光路的前端，用于发射待测激光，在一种优选的实施方式中，待测激光光源600发射的是紫外光，紫外光具有波长较短，光子能量较大等特征，从而能使测量效果更佳。对应的，待测激光光源600发射紫外光时，第一光衰减器700对该发射的紫外光进行衰减。

第二光束的测量则如图3所示，图3是激光器发散角特性测试方法原理图，该图示出了一种可行的第二光束的传输路径，并以此对待测激光远场发散角特性进行测量。结合图3，可以看出，第二光束沿着传播方向依次经过第一光衰减器700、分束镜100、聚焦透镜800、第二折光镜300-2、第二光衰减器700-2、第三折光镜300-3、第四折光镜300-4、第五折光镜300-5、光波长转化元件200、远心镜头400以及探测装置500。

如图2所示，待测激光光源600发射出待测激光后，待测激光经过第一光衰减器700进行能量衰减，然后被分束镜100分出第二光束。第二光束进入到聚焦透镜800，并由聚焦透镜800将光斑汇聚在其焦点处。其中，聚焦透镜800之后所布置的第二折光镜300-2、第三折光镜300-3、第四折光镜300-4和第五折光镜300-5用于改变第二光束的传播方向，使得第二光束被投射于光波长转换元件200上。

图3所示的传播过程中，第二光束的具体传播过程则为，第二光束进入到第二折光镜300-2中，通过第二折光镜300-2对第二光束进行折转后进入到第二光衰减器700-2，第二光衰减器700-2对第二光束的能量再次进行衰减，衰减后的第二光束满足要求后，会再次进入通过折光镜(即第三折光镜300-3、第四折光镜300-4、第五折光镜300-5)中折射到光波长转换元件200表面上。

在本申请实施例中，对于第二光衰减器700-2数量的选择，是基于第二光束的能量的大小进行确定的。此外，对于折光镜数量的选择，是基于通过折光镜对待测激光(第一光束、第二光束)的传播路径的长度以及方向进行调整，使其可以精准的折射到光波长转换元件200表面上，在本申请实施例中，第二光束传播路径上，折光镜的数量为4个，在实际工作过程中，可以根据可见具体的情况对折光镜的数量进行设置。

另外，远心镜头400和探测装置500沿光路依次设置于光波长转换元件200之后，远心镜头400用于将第一光束和第二光束的可见光光斑成像于探测装置500，探测装置500用于采集可见光斑的信息，进而可根据光斑信息计算获得测量结构。

在测量待测激光的发散角时，具体则由焦点处的光斑大小及聚焦透镜的焦距计算获得。其计算公式为：

其中，W为焦点处的光斑大小；

f为聚焦透镜的焦距。

本申请实施例中的光路通过分束镜100和折光镜使近场光束、远场光束同时进入光波长转换元件200，并分布于两侧，再经远心镜头400以一定的比例成像于像平面处的相机上，针对相机采集的两个可见光光斑进行相应的处理和计算，即可同步得出激光器的光斑尺寸和发散角，实现了近场、远场光斑特性同时序采集及显示的功能。同时，本申请实施例中，采用调节远心镜头400光圈大小的方法控制光通量省去了不同重频下衰减器重复调试的步骤，实现了测试集成度高、调试简单、效率高、精度提升等优点。

通过上述介绍，可以看出，本申请实施例提供的一种激光器输出光斑特性测量装置，不仅解决了紫外光束质量分析仪成本高，周期长，易损坏等现实问题，而且避免了紫外光束质量分析仪采集数据中包含激光器间歇内无用数据的问题，同时光路设计及软件上实现了近场光斑尺寸、远场发散角同时序测试的能力。

另外，本申请第二实施例提供一种激光器输出光斑特性测量方法，该方法包括：使用上述任意一种可行的激光器输出光斑特性测量装置进行测量。该激光器输出光斑特性测量方法与上述激光器输出光斑特性测量装置相互对应，在此不进行过多的说明，具体的可参考上述激光器输出光斑特性测量装置的相关说明。

本申请虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本申请，任何本领域技术人员在不脱离本申请的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本申请的保护范围应当以本申请权利要求所界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，包括：分束镜、光波长转换元件、折光镜、远心镜头以及探测装置；

所述分束镜设置于待测激光光路中，用于将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束；

沿所述第一光束和所述第二光束的传播方向上分别设置折光镜，以改变两光束传播路径的长短及方向，并将所述第一光束和所述第二光束分别投射至所述光波长转换元件表面的不同位置；所述光波长转换元件用于将接收到的所述第一光束和所述第二光束转换为可见光；

所述远心镜头和所述探测装置沿光路依次设置于所述光波长转换元件之后；所述远心镜头用于将所述第一光束和所述第二光束的可见光光斑成像于所述探测装置；所述探测装置用于采集所述可见光斑的信息。

2.根据权利要求1所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，在所述分束镜之前设置有第一光衰减器，所述第一光衰减器用于对所述待测激光进行衰减。

3.根据权利要求2所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，沿所述第二光束的传播方向上，在所述分束镜之后还设置有聚焦透镜，所述第二光束汇聚在所述聚焦透镜的焦点处。

4.根据权利要求1所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，所述分束镜的尺寸根据所述待测激光的参数进行确定。

5.根据权利要求2所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，所述第一光衰减器、所述分束镜、所述聚焦透镜以及所述折光镜设置在密封测试盒体中。

6.根据权利要求1所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，所述光波长转化元件和所述远心镜头位于密封装置中。

7.根据权利要求1所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，所述远心镜头为物方远心镜头，或者像方远心镜头。

8.根据权利要求1所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，所述光波长转化元件包括荧光玻璃或者荧光转换晶体。

9.根据权利要求1所述的激光器输出光斑特性测量装置，其特征在于，所述探测装置为相机，所述相机与所述远心镜头配套连接。

10.一种激光器输出光斑特性测量方法，其特征在于，使用如权利要求1-9任意一项所述的激光器输出光斑特性测量装置进行测量。