CN116654624B - 一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置 - Google Patents

一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及晶圆输送技术领域，且公开了一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，包括防尘架，所述防尘架的表面铰接有密封门，所述防尘架的顶部固定连接有气泵，所述气泵的输出端连通有弯管，所述防尘架的表面设置有卸料部件，所述防尘架的内部设置有安置部件，还包括：传送部件，所述传送部件包括减速电机，所述减速电机的输出端固定连接有转杆，所述减速电机的表面固定连接有支架，所述支架与防尘架的内壁顶部固定连接。本发明将减速电机通电后，转杆通过减速电机带动齿轮转动，齿轮通过啮合驱动驱动齿轮转动，驱动齿轮与传输带的内壁啮合，且驱动齿轮与定位环的端部均延伸至传输带的内部，对传输带进行支撑。

Description

一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置
技术领域
本发明涉及晶圆输送设备技术领域，具体为一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置。
背景技术
晶圆为生产半导体芯片的载体，其生产包括固晶成型、切割、打磨、涂胶、蚀刻、曝光、显影等诸多工序，在每道工序之间或是工序内通常采用输送皮带或是转存架对晶圆进行转移输送；
通过皮带对晶圆输送时，晶圆在皮带的表面没有进行限位，当晶圆在皮带的表面产生位移时，晶圆与皮带之间就会产生摩擦，容易对晶圆的表面造成划痕。
发明内容
本发明的目的在于提供一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明为一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，包括防尘架，所述防尘架的表面铰接有密封门，所述防尘架的顶部固定连接有气泵，所述气泵的输出端连通有弯管，所述防尘架的表面设置有卸料部件，所述防尘架的内部设置有安置部件，还包括：
传送部件，所述传送部件包括减速电机，所述减速电机的输出端固定连接有转杆，所述减速电机的表面固定连接有支架，所述支架与防尘架的内壁顶部固定连接；
冷却部件，所述冷却部件包括圆环架，所述圆环架与减速电机的内部连通，所述转杆的表面固定连接有突出块，所述圆环架的内部设置有凹孔环，所述凹孔环与圆环架通过直角管相互连通；
吸附部件，所述吸附部件包括电推杆，所述电推杆的底部固定连接有移动带，所述移动带的内部设置有适配架，所述适配架与弯管通过圆管相互连通。
进一步地，所述弯管的数量设置有两个，两个所述弯管贯穿防尘架且延伸至防尘架的内部。
进一步地，所述传送部件包括驱动齿轮，所述驱动齿轮与支架的底部套接，所述支架远离驱动齿轮的一端套接有定位环，所述驱动齿轮的表面啮合有传输带，所述转杆的表面固定连接有齿轮；
所述传输带设置在防尘架的内部。
进一步地，所述传输带远离驱动齿轮的一端与定位环的表面接触，所述齿轮与驱动齿轮相互啮合，所述齿轮位于定位环和驱动齿轮相互靠近的一端。
进一步地，所述冷却部件包括顶环，所述顶环与圆环架的内壁固定连接，所述顶环的底部通过弹簧固定连接有升降环，所述升降环与顶环通过伸缩杆固定连接，所述升降环的底部固定连接有直角架；
所述直角架贯穿圆环架且延伸至圆环架的外端。
进一步地，所述直角管设置在圆环架的外端，所述升降环的底部固定连接有挤压块，所述挤压块远离升降环的一端设置在直角管的内部。
进一步地，所述吸附部件包括垂管，所述垂管与移动带相互连通，所述垂管的底部连通有吸盘，所述吸盘的内部固定连接有分叉架，所述分叉架的上表面套接有固定杆，所述固定杆与垂管的内壁固定连接，所述分叉架的顶部铰接有延伸杆，所述延伸杆远离分叉架的一端固定连接有圆弧板；
所述分叉架的顶部延伸至垂管的内部，所述延伸杆贯穿垂管且延伸至垂管的外端。
进一步地，所述安置部件包括固定板，所述固定板的顶部开设有圆孔，所述圆孔的内部设置有圆孔板；
所述圆孔板通过弹力簧与圆孔的内壁底部固定连接。
进一步地，所述卸料部件包括螺纹架，所述螺纹架与防尘架固定连接，所述防尘架的表面固定连接有限位架，所述限位架的内部插接有卸料杆；
所述卸料杆与螺纹架的内壁螺纹连接，所述螺纹架贯穿防尘架且延伸至防尘架的内部。
本发明具有以下有益效果：
本发明将减速电机通电后，转杆通过减速电机带动齿轮转动，齿轮通过啮合驱动驱动齿轮转动，驱动齿轮与传输带的内壁啮合，且驱动齿轮与定位环的 端部均延伸至传输带的内部，对传输带进行支撑，提高传输带在对晶圆运输时的稳定性，避免传输带在工作时不稳定导致晶圆脱落。
本发明转杆在转动时驱动突出块转动，突出块会挤压直角架向上移动，直角架推动升降板向圆环架的内部上方移动，挤压块随着升降板的上升与直角管的内部分离，圆环架中的润滑油就会流入直角管的内部，突出块与直角架分离后，升降板通过弹簧的压力推动挤压块向直角管的内部移动，直角管内部的润滑液受到挤压后进入到凹孔环的内部，并且通过凹孔环进入到减速电机的内部，润滑液在减速电机的内部循环流动，提高对减速电机的冷却效率，延长减速电机的使用寿命。
本发明气泵开始工作后，气泵产生的气体通过弯管进入到移动带的内部，弯管为软管并且与防尘架为滑动连接，移动带通过电推杆进行升降运动，移动带在适配架的表面滑动，通过电推杆推动吸盘移动至固定板的表面，吸盘通过气泵产生的吸力将晶圆吸附在吸盘的底部，对晶圆进行固定，同时利用移动带对晶圆进行运输，吸盘为橡胶设置，避免晶圆在运输时出现倾斜。
本发明晶圆通过密封门放置在圆孔板的表面，圆孔板通过弹力簧与圆孔的内壁连接，使得圆孔板可以对吸盘进行挤压，提高对晶圆吸附的稳定性，设置圆孔板，降低晶圆与圆孔板之间的吸力，以便吸盘可以更加便捷的对晶圆进行运输。
本发明扭动卸料杆转动，卸料杆利用螺纹架内部的螺纹向防尘架的内部移动，卸料杆移动时防尘架的内部后与圆弧板接触，通过圆弧板挤压延伸杆向垂管的内部移动，通过延伸杆推动分叉架产生倾斜，分叉架挤压吸盘产生形变，使得吸盘与晶圆之间产生缝隙，释放气压，以便对晶圆进行卸料。
当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明防尘架俯视剖视结构示意图；
图3为本发明传送部件整体结构示意图；
图4为本发明冷却部件整体结构示意图；
图5为本发明吸附部件整体结构示意图；
图6为本发明圆弧板整体结构示意图；
图7为本发明安置部件整体结构示意图；
图8为本发明图2中的A部放大示意图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
图中：1、防尘架；2、密封门；3、气泵；4、弯管；8、卸料部件；60、螺纹架；61、限位架；62、卸料杆；9、安置部件；51、圆孔板；52、固定板；53、圆孔；5、传送部件；10、减速电机；36、转杆；12、支架；11、冷却部件；30、凹孔环；31、弹簧；32、伸缩杆；33、顶环；34、突出块；35、直角管；37、直角架；38、圆环架；7、吸附部件；40、电推杆；41、圆管；43、移动带；44、垂管；45、适配架；46、吸盘；47、分叉架；48、固定杆；49、延伸杆；50、圆弧板；13、驱动齿轮；14、传输带；15、齿轮；16、定位环。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图8所示，本发明为一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，包括防尘架1，防尘架1的表面铰接有密封门2，防尘架1的顶部固定连接有气泵3，气泵3的输出端连通有弯管4，防尘架1的表面设置有卸料部件8，防尘架1的内部设置有安置部件9，还包括：
传送部件5，传送部件5包括减速电机10，减速电机10的输出端固定连接有转杆36，减速电机10的表面固定连接有支架12，支架12与防尘架1的内壁顶部固定连接；
冷却部件11，冷却部件11包括圆环架38，圆环架38与减速电机10的内部连通，转杆36的表面固定连接有突出块34，圆环架38的内部设置有凹孔环30，凹孔环30与圆环架38通过直角管35相互连通；
吸附部件7，吸附部件7包括电推杆40，电推杆40的底部固定连接有移动带43，移动带43的内部设置有适配架45，适配架45与弯管4通过圆管41相互连通。
弯管4的数量设置有两个，两个弯管4贯穿防尘架1且延伸至防尘架1的内部。
传送部件5包括驱动齿轮13，驱动齿轮13与支架12的底部套接，支架12远离驱动齿轮13的一端套接有定位环16，本发明将减速电机10通电后，转杆36通过减速电机10带动齿轮15转动，齿轮15通过啮合驱动驱动齿轮13转动，驱动齿轮13与传输带14的内壁啮合，且驱动齿轮13与定位环16的 端部均延伸至传输带14的内部，对传输带14进行支撑，提高传输带14在对晶圆运输时的稳定性，避免传输带14在工作时不稳定导致晶圆脱落，驱动齿轮13的表面啮合有传输带14，转杆36的表面固定连接有齿轮15；
传输带14设置在防尘架1的内部。
传输带14远离驱动齿轮13的一端与定位环16的表面接触，齿轮15与驱动齿轮13相互啮合，齿轮15位于定位环16和驱动齿轮13相互靠近的一端。
冷却部件11包括顶环33，顶环33与圆环架38的内壁固定连接，顶环33的底部通过弹簧31固定连接有升降环，本发明转杆36在转动时驱动突出块34转动，突出块34会挤压直角架37向上移动，直角架37推动升降板向圆环架38的内部上方移动，挤压块随着升降板的上升与直角管35的内部分离，圆环架38中的润滑油就会流入直角管35的内部，突出块与直角架37分离后，升降板通过弹簧的压力推动挤压块向直角管的内部移动，直角管35内部的润滑液受到挤压后进入到凹孔环30的内部，并且通过凹孔环30进入到减速电机10的内部，润滑液在减速电机10的内部循环流动，提高对减速电机10的冷却效率，延长减速电机10的使用寿命，升降环与顶环33通过伸缩杆32固定连接，升降环的底部固定连接有直角架37；
直角架37贯穿圆环架38且延伸至圆环架38的外端。
直角管35设置在圆环架38的外端，升降环的底部固定连接有挤压块，挤压块远离升降环的一端设置在直角管35的内部。
吸附部件7包括垂管44，垂管44与移动带43相互连通，垂管44的底部连通有吸盘46，吸盘46的内部固定连接有分叉架47，分叉架47的上表面套接有固定杆48，固定杆48与垂管44的内壁固定连接，本发明气泵3开始工作后，气泵3产生的气体通过弯管4进入到移动带43的内部，弯管4为软管并且与防尘架1为滑动连接，移动带43通过电推杆40进行升降运动，移动带43在适配架45的表面滑动，通过电推杆40推动吸盘46移动至固定板52的表面，吸盘46通过气泵3产生的吸力将晶圆吸附在吸盘46的底部，对晶圆进行固定，同时利用移动带43对晶圆进行运输，吸盘46为橡胶设置，避免晶圆在运输时出现倾斜，分叉架47的顶部铰接有延伸杆49，延伸杆49远离分叉架47的一端固定连接有圆弧板50；
分叉架47的顶部延伸至垂管44的内部，延伸杆49贯穿垂管44且延伸至垂管44的外端。
安置部件9包括固定板52，固定板52的顶部开设有圆孔53，本发明晶圆通过密封门放置在圆孔板51的表面，圆孔板51通过弹力簧与圆孔53的内壁连接，使得圆孔板51可以对吸盘46进行挤压，提高对晶圆吸附的稳定性，设置圆孔板51，降低晶圆与圆孔板51之间的吸力，以便吸盘46可以更加便捷的对晶圆进行运输，圆孔53的内部设置有圆孔板51；
圆孔板51通过弹力簧与圆孔53的内壁底部固定连接。
卸料部件8包括螺纹架60，螺纹架60与防尘架1固定连接，防尘架1的表面固定连接有限位架61，本发明扭动卸料杆62转动，卸料杆62利用螺纹架60内部的螺纹向防尘架1的内部移动，卸料杆62移动时防尘架1的内部后与圆弧板50接触，通过圆弧板50挤压延伸杆49向垂管44的内部移动，通过延伸杆49推动分叉架47产生倾斜，分叉架47挤压吸盘46产生形变，使得吸盘46与晶圆之间产生缝隙，释放气压，以便对晶圆进行卸料，限位架61的内部插接有卸料杆62；
卸料杆62与螺纹架60的内壁螺纹连接，螺纹架60贯穿防尘架1且延伸至防尘架1的内部。
使用时，将减速电机10通电后，转杆36通过减速电机10带动齿轮15转动，齿轮15通过啮合驱动驱动齿轮13转动，驱动齿轮13与传输带14的内壁啮合，且驱动齿轮13与定位环16的 端部均延伸至传输带14的内部，对传输带14进行支撑，提高传输带14在对晶圆运输时的稳定性，避免传输带14在工作时不稳定导致晶圆脱落，转杆36在转动时驱动突出块34转动，突出块34会挤压直角架37向上移动，直角架37推动升降板向圆环架38的内部上方移动，挤压块随着升降板的上升与直角管35的内部分离，圆环架38中的润滑油就会流入直角管35的内部，突出块与直角架37分离后，升降板通过弹簧的压力推动挤压块向直角管的内部移动，直角管35内部的润滑液受到挤压后进入到凹孔环30的内部，并且通过凹孔环30进入到减速电机10的内部，润滑液在减速电机10的内部循环流动，提高对减速电机10的冷却效率，延长减速电机10的使用寿命，气泵3开始工作后，气泵3产生的气体通过弯管4进入到移动带43的内部，弯管4为软管并且与防尘架1为滑动连接，移动带43通过电推杆40进行升降运动，移动带43在适配架45的表面滑动，通过电推杆40推动吸盘46移动至固定板52的表面，吸盘46通过气泵3产生的吸力将晶圆吸附在吸盘46的底部，对晶圆进行固定，同时利用移动带43对晶圆进行运输，吸盘46为橡胶设置，避免晶圆在运输时出现倾斜，晶圆通过密封门放置在圆孔板51的表面，圆孔板51通过弹力簧与圆孔53的内壁连接，使得圆孔板51可以对吸盘46进行挤压，提高对晶圆吸附的稳定性，设置圆孔板51，降低晶圆与圆孔板51之间的吸力，以便吸盘46可以更加便捷的对晶圆进行运输，扭动卸料杆62转动，卸料杆62利用螺纹架60内部的螺纹向防尘架1的内部移动，卸料杆62移动时防尘架1的内部后与圆弧板50接触，通过圆弧板50挤压延伸杆49向垂管44的内部移动，通过延伸杆49推动分叉架47产生倾斜，分叉架47挤压吸盘46产生形变，使得吸盘46与晶圆之间产生缝隙，释放气压，以便对晶圆进行卸料。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (9)

1.一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，包括防尘架（1），所述防尘架（1）的表面铰接有密封门（2），所述防尘架（1）的顶部固定连接有气泵（3），所述气泵（3）的输出端连通有弯管（4），所述防尘架（1）的表面设置有卸料部件（8），所述防尘架（1）的内部设置有安置部件（9），其特征在于，还包括：
传送部件（5），所述传送部件（5）包括减速电机（10），所述减速电机（10）的输出端固定连接有转杆（36），所述减速电机（10）的表面固定连接有支架（12），所述支架（12）与防尘架（1）的内壁顶部固定连接；
冷却部件（11），所述冷却部件（11）包括圆环架（38），所述圆环架（38）与减速电机（10）的内部连通，所述转杆（36）的表面固定连接有突出块（34），所述圆环架（38）的内部设置有凹孔环（30），所述凹孔环（30）与圆环架（38）通过直角管（35）相互连通；
吸附部件（7），所述吸附部件（7）包括电推杆（40），所述电推杆（40）的底部固定连接有移动带（43），所述移动带（43）的内部设置有适配架（45），所述适配架（45）与弯管（4）通过圆管（41）相互连通。
2.根据权利要求1所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述弯管（4）的数量设置有两个，两个所述弯管（4）贯穿防尘架（1）且延伸至防尘架（1）的内部。
3.根据权利要求1所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述传送部件（5）包括驱动齿轮（13），所述驱动齿轮（13）与支架（12）的底部套接，所述支架（12）远离驱动齿轮（13）的一端套接有定位环（16），所述驱动齿轮（13）的表面啮合有传输带（14），所述转杆（36）的表面固定连接有齿轮（15）；
所述传输带（14）设置在防尘架（1）的内部。
4.根据权利要求3所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述传输带（14）远离驱动齿轮（13）的一端与定位环（16）的表面接触，所述齿轮（15）与驱动齿轮（13）相互啮合，所述齿轮（15）位于定位环（16）和驱动齿轮（13）相互靠近的一端。
5.根据权利要求1所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述冷却部件（11）包括顶环（33），所述顶环（33）与圆环架（38）的内壁固定连接，所述顶环（33）的底部通过弹簧（31）固定连接有升降环，所述升降环与顶环（33）通过伸缩杆（32）固定连接，所述升降环的底部固定连接有直角架（37）；
所述直角架（37）贯穿圆环架（38）且延伸至圆环架（38）的外端。
6.根据权利要求5所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述直角管（35）设置在圆环架（38）的外端，所述升降环的底部固定连接有挤压块，所述挤压块远离升降环的一端设置在直角管（35）的内部。
7.根据权利要求1所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述吸附部件（7）包括垂管（44），所述垂管（44）与移动带（43）相互连通，所述垂管（44）的底部连通有吸盘（46），所述吸盘（46）的内部固定连接有分叉架（47），所述分叉架（47）的上表面套接有固定杆（48），所述固定杆（48）与垂管（44）的内壁固定连接，所述分叉架（47）的顶部铰接有延伸杆（49），所述延伸杆（49）远离分叉架（47）的一端固定连接有圆弧板（50）；
所述分叉架（47）的顶部延伸至垂管（44）的内部，所述延伸杆（49）贯穿垂管（44）且延伸至垂管（44）的外端。
8.根据权利要求1所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述安置部件（9）包括固定板（52），所述固定板（52）的顶部开设有圆孔（53），所述圆孔（53）的内部设置有圆孔板（51）；
所述圆孔板（51）通过弹力簧与圆孔（53）的内壁底部固定连接。
9.根据权利要求1所述的一种包括曳引驱动减速器的晶圆输送装置，其特征在于：所述卸料部件（8）包括螺纹架（60），所述螺纹架（60）与防尘架（1）固定连接，所述防尘架（1）的表面固定连接有限位架（61），所述限位架（61）的内部插接有卸料杆（62）；
所述卸料杆（62）与螺纹架（60）的内壁螺纹连接，所述螺纹架（60）贯穿防尘架（1）且延伸至防尘架（1）的内部。
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