CN116593137A - 一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及*** - Google Patents
一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN116593137A CN116593137A CN202310864675.XA CN202310864675A CN116593137A CN 116593137 A CN116593137 A CN 116593137A CN 202310864675 A CN202310864675 A CN 202310864675A CN 116593137 A CN116593137 A CN 116593137A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- lens
- data
- interferometer
- positioning
- real
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 79
- 238000012372 quality testing Methods 0.000 title claims abstract description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims abstract description 95
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 94
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 10
- 238000012549 training Methods 0.000 claims description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0271—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by using interferometric methods
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06N—COMPUTING ARRANGEMENTS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
- G06N20/00—Machine learning
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Computing Systems (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Geometry (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及***,涉及光学镜片质量测试领域,其中,所述方法包括:获取第一干涉仪的样本测试数据;得到定位‑控制映射模型;当待测镜片放置于第一干涉仪的升降台,得到实时定位坐标数据;将实时定位坐标数据输入定位‑控制映射模型,输出第一比对结果;当第一比对结果为不通过,以调节定位数据对待测镜片进行调节,直至第一比对结果通过,根据射干涉控制数据对第一干涉仪进行控制,生成质量测试结果。解决了现有技术中在应用干涉仪对光学镜片进行质量测试时,光学镜片的质量测试效率低,且干涉仪控制灵活度低的技术问题。达到了提高光学镜片质量测试效果的技术效果。
Description
技术领域
本发明涉及光学镜片质量测试,具体地,涉及一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及***。
背景技术
随着人们对光学镜片的质量要求越来越高,光学镜片质量测试越来越重要。干涉仪是光学镜片质量测试的重要测试设备之一。现有技术中,在应用干涉仪对光学镜片进行质量测试时,由于干涉仪的调整步骤复杂、耗时长,导致光学镜片的质量测试效率低,且干涉仪控制灵活度低的技术问题。
发明内容
本申请提供了一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及***。解决了现有技术中在应用干涉仪对光学镜片进行质量测试时,由于干涉仪的调整步骤复杂、耗时长,导致光学镜片的质量测试效率低,且干涉仪控制灵活度低的技术问题。达到了提高干涉仪对光学镜片进行质量测试时的控制灵活度、控制准确性,提高光学镜片质量测试时干涉仪的调整效率,从而提高光学镜片的质量测试效果及效率的技术效果。
鉴于上述问题,本申请提供了一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及***。
第一方面,本申请提供了一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法,其中,所述方法应用于一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,所述方法包括:获取第一干涉仪的样本测试数据,其中,所述样本测试数据包括待测镜片的定位坐标数据和干涉控制数据,其中,所述定位坐标数据为所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台的定位坐标,所述干涉控制数据为所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的控制参数;根据所述样本测试数据进行模型训练,得到定位-控制映射模型;当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,对所述待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对,输出第一比对结果;当所述第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以所述调节定位数据对所述待测镜片进行调节,直至所述第一比对结果通过,获取所述定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据;根据所述映射干涉控制数据对所述第一干涉仪进行控制,生成质量测试结果。
第二方面,本申请还提供了一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,其中,所述***包括:样本测试数据获取模块,所述样本测试数据获取模块用于获取第一干涉仪的样本测试数据,其中,所述样本测试数据包括待测镜片的定位坐标数据和干涉控制数据,其中,所述定位坐标数据为所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台的定位坐标,所述干涉控制数据为所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的控制参数;第一执行模块,所述第一执行模块用于根据所述样本测试数据进行模型训练,得到定位-控制映射模型;数据采集模块,所述数据采集模块用于当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,对所述待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;第一比对模块,所述第一比对模块用于将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对,输出第一比对结果;控制数据获取模块,所述控制数据获取模块用于当所述第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以所述调节定位数据对所述待测镜片进行调节,直至所述第一比对结果通过,获取所述定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据;测试结果生成模块,所述测试结果生成模块用于根据所述映射干涉控制数据对所述第一干涉仪进行控制,生成质量测试结果。
本申请中提供的一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果或优点:
通过第一干涉仪的样本测试数据,构建定位-控制映射模型;当待测镜片放置于第一干涉仪的升降台时,对待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;将实时定位坐标数据输入定位-控制映射模型,输出第一比对结果;当第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以调节定位数据对待测镜片进行调节,直至第一比对结果通过,获取定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据,并按照映射干涉控制数据控制第一干涉仪对待测镜片进行测试,生成质量测试结果。达到了提高干涉仪对光学镜片进行质量测试时的控制灵活度、控制准确性,提高光学镜片质量测试时干涉仪的调整效率,从而提高光学镜片的质量测试效果及效率的技术效果。
上述说明仅是本申请技术方案的概述,为了能够更清楚了解本申请的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本申请的具体实施方式。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例的附图作简单地介绍。明显地,下面描述中的附图仅仅涉及本申请的一些实施例,而非对本申请的限制。
图1为本申请一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法的流程示意图;
图2为本申请一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法中得到优化后的定位-控制映射模型的流程示意图;
图3为本申请一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***的结构示意图。
附图标记说明:样本测试数据获取模块11,第一执行模块12,数据采集模块13,第一比对模块14,控制数据获取模块15,测试结果生成模块16。
具体实施方式
本申请通过提供一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及***。解决了现有技术中在应用干涉仪对光学镜片进行质量测试时,由于干涉仪的调整步骤复杂、耗时长,导致光学镜片的质量测试效率低,且干涉仪控制灵活度低的技术问题。达到了提高干涉仪对光学镜片进行质量测试时的控制灵活度、控制准确性,提高光学镜片质量测试时干涉仪的调整效率,从而提高光学镜片的质量测试效果及效率的技术效果。
实施例一
请参阅附图1,本申请提供一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法,其中,所述方法应用于一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,所述方法具体包括如下步骤:
步骤S100:获取第一干涉仪的样本测试数据,其中,所述样本测试数据包括待测镜片的定位坐标数据和干涉控制数据,其中,所述定位坐标数据为所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台的定位坐标,所述干涉控制数据为所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的控制参数;
步骤S200:根据所述样本测试数据进行模型训练,得到定位-控制映射模型;
进一步的,如附图2所示,本申请步骤S200还包括:
步骤S210:获取所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的可控参数集;
步骤S220:以所述定位坐标数据与所述可控参数集的对应关系,输出定位-控制映射数据集;
步骤S230:对所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的环境进行监测,得到空气粉尘粒度;
步骤S240:根据所述空气粉尘粒度和所述定位-控制映射数据集进行模型优化训练,得到优化后的定位-控制映射模型。
具体而言,连接所述一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,确定第一干涉仪和待测镜片。且,待测镜片具有对应标识的预设镜片参数。其中,所述第一干涉仪可以为与所述一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***通信连接的任意干涉仪。第一干涉仪包括升降台、激光器、分光镜、固定反射镜、可移动反射镜等多个组件。所述待测镜片可以为使用所述一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***进行智能化质量测试的任意待测试光学镜片。所述预设镜片参数包括待测镜片的镜片几何参数和镜片光学参数。镜片几何参数包括待测镜片在生产时的需求形状、需求尺寸、需求曲率半径、需求镜片外径、需求镜片厚度等。镜片光学参数包括待测镜片在生产时的需求焦距、需求折射率、需求色散力、需求反射率、需求透光率等。
进一步,连接所述一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,通过所述一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***对第一干涉仪进行多个同类型历史测试镜片的测试控制记录查询,获得多组光学镜片测试控制记录,并将多组光学镜片测试控制记录标识为样本测试数据。其中,每个同类型历史测试镜片包括与待测镜片的预设镜片参数相同的历史测试镜片。每组光学镜片测试控制记录包括每个同类型历史测试镜片对应的历史定位坐标数据,以及这个历史定位坐标数据对应的历史干涉控制数据。历史定位坐标数据包括同类型历史测试镜片放置于第一干涉仪的升降台的历史定位坐标。且,历史定位坐标具有对应历史升降台标识数据。历史升降台标识数据包括历史定位坐标对应的升降台历史高度和升降台历史倾角。历史干涉控制数据包括同类型历史测试镜片对应的历史发射激光波长、历史发射激光频率、历史发射激光强度、分光镜的历史分光比例、固定反射镜的历史位置,以及可移动反射镜的历史移动方向、历史移动位移量、历史移动位置等多个历史控制参数。
进一步,将多组光学镜片测试控制记录中的多个历史干涉控制数据标识为可控参数集。将多组光学镜片测试控制记录中,多个历史定位坐标数据与可控参数集的对应关系设置为定位-可控参数映射关系。按照定位-可控参数映射关系,将可控参数集与多个历史定位坐标数据进行排列,获得定位-控制映射数据集,并将定位-控制映射数据集记为定位-控制映射模型。其中,所述定位-控制映射数据集包括按照定位-可控参数映射关系进行排列的可控参数集与多个历史定位坐标数据。
进一步,对多组光学镜片测试控制记录进行测量的环境数据查询,获得多个历史测量环境数据,并根据多个历史测量环境数据对定位-控制映射数据集进行标识,获得定位-控制映射模型。其中,每个历史测量环境数据包括每组光学镜片测试控制记录对应的历史空气粉尘粒度。优化后的定位-控制映射模型包括控制映射数据集中的多组历史干涉控制数据。且,每组历史干涉控制数据具有对应标识的历史定位坐标数据、历史测量环境数据。
达到了通过样本测试数据,构建定位-控制映射模型,为后续对待测镜片进行质量测试奠定基础的技术效果。
步骤S300:当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,对所述待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;
进一步的,本申请步骤S300还包括:
步骤S310:当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,根据所述第一图像采集装置对放置所述待测镜片的平面进行图像采集,输出第一放置图像;
步骤S320:对所述第一放置图像进行像素点位处理,输出第一放置像素图像;
步骤S330:根据所述第一放置像素图像确定所述待测镜片的像素位置,得到实时定位坐标数据。
具体而言,第一干涉仪还与第一图像采集装置通信连接。当待测镜片放置于第一干涉仪的升降台时,通过第一图像采集装置对放置于待测镜片的平面进行图像采集,获得第一放置图像。继而,通过对第一放置图像进行像素点位处理,获得第一放置像素图像,并对第一放置像素图像进行待测镜片的像素位置提取,获得实时定位坐标数据。其中,所述第一图像采集装置可以为现有技术中的可转动式摄像头。“放置于待测镜片的平面”即为升降台的镜片搁置平面。所述第一放置图像包括将待测镜片放置于第一干涉仪的镜片搁置平面后,这个镜片搁置平面对应的完整图像数据。像素点位处理是指对第一放置图像进行像素点提取。所述第一放置像素图像包括第一放置图像上的多个像素点。所述实时定位坐标数据包括第一放置像素图像中,待测镜片的像素位置。待测镜片的像素位置即为待测镜片对应的像素点。
进一步的,本申请步骤S310还包括:
步骤S311:当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,获取所述第一干涉仪的升降台实时高度和升降台实时倾角;
步骤S312:将所述升降台实时高度和所述升降台实时倾角与所述样本测试数据的升降台高度和升降台倾角进行比对,输出第二比对结果,其中,所述样本测试数据的升降台高度和升降台倾角为基于历史测试数据进行寻优获取的固定数据;
步骤S313:当所述第二比对结果为比对通过时,将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对。
步骤S400:将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对,输出第一比对结果;
具体而言,当待测镜片放置于第一干涉仪的升降台时,对升降台的高度、倾角进行实时采集,获得升降台实时高度和升降台实时倾角。继而,将升降台实时高度、升降台实时倾角与优化后的定位-控制映射模型内的多个历史升降台标识数据进行比对,获得第二比对结果。其中,第二比对结果包括比对通过/比对不通过。当优化后的定位-控制映射模型内,存在与升降台实时高度、升降台实时倾角完全一致的历史升降台标识数据时,获得的第二比对结果为比对通过。否则,获得的第二比对结果为比对不通过。
进一步,当第二比对结果为比对通过时,将实时定位坐标数据输入优化后的定位-控制映射模型,将实时定位坐标数据与优化后的定位-控制映射模型内的多个历史定位坐标数据进行比对,获得第一比对结果。其中,所述第一比对结果包括不通过/通过。当优化后的定位-控制映射模型内,存在与实时定位坐标数据完全一致的历史定位坐标数据时,获得的第一比对结果为通过。否则,获得的第一比对结果为不通过。达到了通过优化后的定位-控制映射模型对待测镜片进行实时定位坐标数据,以及升降台实时高度、升降台实时倾角的多维数据比对,提高对待测镜片进行质量测试的准确度、适应性的技术效果。
进一步的,本申请步骤S313还包括:
步骤S313-1:当所述第二比对结果为比对不通过时,获取升降台高度差和升降台倾角差;
步骤S313-2:根据所述升降台高度差和所述升降台倾角差对所述第一干涉仪的升降台进行控制,直至所述第二比对结果比对通过。
具体而言,当获得的第二比对结果为比对不通过时,根据升降台高度差和升降台倾角差对第一干涉仪的升降台进行控制,即,按照升降台高度差和升降台倾角差对第一干涉仪的升降台进行高度调节、倾角调节,直至获得比对通过的第二比对结果,从而提高对第一干涉仪进行控制的适应度,提高光学镜片质量测试精准性。其中,升降台高度差包括升降台实时高度与多个历史升降台标识数据内的多个升降台历史高度之间的差值信息。升降台倾角差包括升降台实时倾角与多个历史升降台标识数据内的多个升降台历史倾角之间的差值信息。
步骤S500:当所述第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以所述调节定位数据对所述待测镜片进行调节,直至所述第一比对结果通过,获取所述定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据;
进一步的,本申请步骤S500还包括:
步骤S510:当所述第一比对结果为不通过时,基于所述调节定位数据生成第一镜片中心坐标;
步骤S520:将所述第一镜片中心坐标进行像素点位转换,输出镜片中心像素点位,以所述镜片中心像素点位控制所述红外射线装置对所述待测镜片进行中心定位。
步骤S600:根据所述映射干涉控制数据对所述第一干涉仪进行控制,生成质量测试结果。
具体而言,当第一比对结果为不通过时,基于实时定位坐标数据生成调节定位数据,确定第一镜片中心坐标。示例性地,当第一比对结果为不通过时,将实时定位坐标数据与多个历史定位坐标数据进行差值计算,获得多个历史定位坐标差值。将多个历史定位坐标差值中,任意的一个历史定位坐标差值设置为调节定位数据。将调节定位数据对应的历史定位坐标数据设置为第一镜片中心坐标。
进一步,将第一镜片中心坐标对应的像素点位置标识为镜片中心像素点位,按照镜片中心像素点位控制红外射线装置对待测镜片进行中心定位直至第一比对结果通过。当第一比对结果为通过时,采集环境中的实时空气粉尘粒度,获得实时测量环境数据。将待测镜片的实时定位坐标数据、实时测量环境数据输入优化后的定位-控制映射模型,通过优化后的定位-控制映射模型对实时定位坐标数据、实时测量环境数据进行控制参数匹配,获得映射干涉控制数据,并按照映射干涉控制数据控制第一干涉仪对待测镜片进行测试,获得质量测试结果。
其中,像素点位转换是指将第一镜片中心坐标转换为像素点位置。所述红外射线装置与第一图像采集装置连接,且,红外射线装置固定于第一图像采集装置上。所述红外射线装置可以为现有技术中的红外线定位仪。实时测量环境数据包括待测镜片的测量环境实时空气粉尘粒度。所述映射干涉控制数据包括实时定位坐标数据、实时测量环境数据对应的发射激光波长、发射激光频率、发射激光强度、分光镜的分光比例、固定反射镜的位置,以及可移动反射镜的移动方向、移动位移量、移动位置等多个控制参数。所述质量测试结果包括待测镜片对应表面平整度、表面粗糙度,以及待测镜片的实际镜片厚度、实时折射率、实时色散力、实时反射率、实时透光率等。且,质量测试结果具有对应的厚度偏离标识、折射率偏离标识、色散力偏离标识、反射率偏离标识、透光率偏离标识等。示例性地,将实际镜片厚度与需求镜片厚度之间的差值设置为厚度偏离值。将厚度偏离值与需求镜片厚度之间的比值设置为厚度偏离标识。折射率偏离标识、色散力偏离标识、反射率偏离标识、透光率偏离标识与厚度偏离标识的计算方式相同,为了说明书的简洁,在此不再赘述。
进一步的,本申请步骤S600之后,还包括:
步骤S710:获取所述待测镜片的预设镜片参数,其中,所述预设镜片参数包括镜片几何参数和镜片光学参数;
步骤S720:对所述第一干涉仪的升降台上所放置的实时待测镜片进行数据录入,得到实时镜片参数;
步骤S730:当所述实时镜片参数不满足所述预设镜片参数,生成第一提醒信息,用于提醒不满足控制映射条件。
具体而言,对第一干涉仪的升降台上所放置的实时待测镜片的实时镜片参数是否满足预设镜片参数进行判断。当实时镜片参数不满足预设镜片参数时,所述一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***自动生成第一提醒信息。当实时镜片参数满足预设镜片参数时,则,按照映射干涉控制数据对实时待测镜片进行测试,提高光学镜片的质量测试效率。其中,所述实时镜片参数包括实时待测镜片在生产时的需求形状、需求尺寸、需求曲率半径、需求镜片外径、需求镜片厚度,以及实时待测镜片在生产时的需求焦距、需求折射率、需求色散力、需求反射率、需求透光率等。所述第一提醒信息是用于提醒实时待测镜片不满足控制映射条件,需要重新对实时待测镜片进行测试控制数据匹配的预警提示信息。所述控制映射条件包括实时镜片参数与预设镜片参数完全一致。达到了通过控制映射条件对实时待测镜片进行适应性的测试控制映射,提高光学镜片质量测试时干涉仪的调整效率,从而提高光学镜片的质量测试效率的技术效果。
综上所述,本申请所提供的一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法具有如下技术效果:
1.通过第一干涉仪的样本测试数据,构建定位-控制映射模型;当待测镜片放置于第一干涉仪的升降台时,对待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;将实时定位坐标数据输入定位-控制映射模型,输出第一比对结果;当第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以调节定位数据对待测镜片进行调节,直至第一比对结果通过,获取定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据,并按照映射干涉控制数据控制第一干涉仪对待测镜片进行测试,生成质量测试结果。达到了提高干涉仪对光学镜片进行质量测试时的控制灵活度、控制准确性,提高光学镜片质量测试时干涉仪的调整效率,从而提高光学镜片的质量测试效果及效率的技术效果。2.通过优化后的定位-控制映射模型对待测镜片进行实时定位坐标数据,以及升降台实时高度、升降台实时倾角的多维数据比对,提高对待测镜片进行质量测试的准确度、适应性。
3.通过控制映射条件对实时待测镜片进行适应性的测试控制映射,提高光学镜片的质量测试效率。
实施例二
基于与前述实施例中一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法,同样发明构思,本发明还提供了一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,请参阅附图3,所述***包括:
样本测试数据获取模块11,所述样本测试数据获取模块11用于获取第一干涉仪的样本测试数据,其中,所述样本测试数据包括待测镜片的定位坐标数据和干涉控制数据,其中,所述定位坐标数据为所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台的定位坐标,所述干涉控制数据为所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的控制参数;
第一执行模块12,所述第一执行模块12用于根据所述样本测试数据进行模型训练,得到定位-控制映射模型;
数据采集模块13,所述数据采集模块13用于当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,对所述待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;
第一比对模块14,所述第一比对模块14用于将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对,输出第一比对结果;
控制数据获取模块15,所述控制数据获取模块15用于当所述第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以所述调节定位数据对所述待测镜片进行调节,直至所述第一比对结果通过,获取所述定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据;
测试结果生成模块16,所述测试结果生成模块16用于根据所述映射干涉控制数据对所述第一干涉仪进行控制,生成质量测试结果。
进一步的,所述***还包括:
升降台实时参数获取模块,所述升降台实时参数获取模块用于当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,获取所述第一干涉仪的升降台实时高度和升降台实时倾角;
第二比对模块,所述第二比对模块用于将所述升降台实时高度和所述升降台实时倾角与所述样本测试数据的升降台高度和升降台倾角进行比对,输出第二比对结果,其中,所述样本测试数据的升降台高度和升降台倾角为基于历史测试数据进行寻优获取的固定数据;
第二执行模块,所述第二执行模块用于当所述第二比对结果为比对通过时,将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对。
进一步的,所述***还包括:
第三执行模块,所述第三执行模块用于当所述第二比对结果为比对不通过时,获取升降台高度差和升降台倾角差;
升降台控制模块,所述升降台控制模块用于根据所述升降台高度差和所述升降台倾角差对所述第一干涉仪的升降台进行控制,直至所述第二比对结果比对通过。
进一步的,所述***还包括:
图像采集模块,所述图像采集模块用于当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,根据所述第一图像采集装置对放置所述待测镜片的平面进行图像采集,输出第一放置图像;
像素点位处理模块,所述像素点位处理模块用于对所述第一放置图像进行像素点位处理,输出第一放置像素图像;
第四执行模块,所述第四执行模块用于根据所述第一放置像素图像确定所述待测镜片的像素位置,得到实时定位坐标数据。
进一步的,所述***还包括:
镜片中心坐标生成模块,所述镜片中心坐标生成模块用于当所述第一比对结果为不通过时,基于所述调节定位数据生成第一镜片中心坐标;
中心定位模块,所述中心定位模块用于将所述第一镜片中心坐标进行像素点位转换,输出镜片中心像素点位,以所述镜片中心像素点位控制所述红外射线装置对所述待测镜片进行中心定位。
进一步的,所述***还包括:
可控参数集获取模块,所述可控参数集获取模块用于获取所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的可控参数集;
第五执行模块,所述第五执行模块用于以所述定位坐标数据与所述可控参数集的对应关系,输出定位-控制映射数据集;
监测模块,所述监测模块用于对所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的环境进行监测,得到空气粉尘粒度;
第六执行模块,所述第六执行模块用于根据所述空气粉尘粒度和所述定位-控制映射数据集进行模型优化训练,得到优化后的定位-控制映射模型。
进一步的,所述***还包括:
预设镜片参数获取模块,所述预设镜片参数获取模块用于获取所述待测镜片的预设镜片参数,其中,所述预设镜片参数包括镜片几何参数和镜片光学参数;
实时镜片参数确定模块,所述实时镜片参数确定模块用于对所述第一干涉仪的升降台上所放置的实时待测镜片进行数据录入,得到实时镜片参数;
提醒信息生成模块,所述提醒信息生成模块用于当所述实时镜片参数不满足所述预设镜片参数,生成第一提醒信息,用于提醒不满足控制映射条件。
本发明实施例所提供的一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***可执行本发明任意实施例所提供的一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法,具备执行方法相应的功能模块和有益效果。
所包括的各个模块只是按照功能逻辑进行划分的,但并不局限于上述的划分,只要能够实现相应的功能即可;另外,各功能模块的具体名称也只是为了便于相互区分,并不用于限制本发明的保护范围。
本申请提供了一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法,其中,所述方法应用于一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,所述方法包括:通过第一干涉仪的样本测试数据,构建定位-控制映射模型;当待测镜片放置于第一干涉仪的升降台时,对待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;将实时定位坐标数据输入定位-控制映射模型,输出第一比对结果;当第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以调节定位数据对待测镜片进行调节,直至第一比对结果通过,获取定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据,并按照映射干涉控制数据控制第一干涉仪对待测镜片进行测试,生成质量测试结果。解决了现有技术中在应用干涉仪对光学镜片进行质量测试时,由于干涉仪的调整步骤复杂、耗时长,导致光学镜片的质量测试效率低,且干涉仪控制灵活度低的技术问题。达到了提高干涉仪对光学镜片进行质量测试时的控制灵活度、控制准确性,提高光学镜片质量测试时干涉仪的调整效率,从而提高光学镜片的质量测试效果及效率的技术效果。
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (8)
1.一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法,其特征在于,所述方法包括:
获取第一干涉仪的样本测试数据,其中,所述样本测试数据包括待测镜片的定位坐标数据和干涉控制数据,其中,所述定位坐标数据为所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台的定位坐标,所述干涉控制数据为所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的控制参数;
根据所述样本测试数据进行模型训练,得到定位-控制映射模型;
当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,对所述待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;
将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对,输出第一比对结果;
当所述第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以所述调节定位数据对所述待测镜片进行调节,直至所述第一比对结果通过,获取所述定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据;
根据所述映射干涉控制数据对所述第一干涉仪进行控制,生成质量测试结果。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,对所述待测镜片的进行数据采集,方法还包括:
当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,获取所述第一干涉仪的升降台实时高度和升降台实时倾角;
将所述升降台实时高度和所述升降台实时倾角与所述样本测试数据的升降台高度和升降台倾角进行比对,输出第二比对结果,其中,所述样本测试数据的升降台高度和升降台倾角为基于历史测试数据进行寻优获取的固定数据;
当所述第二比对结果为比对通过时,将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对。
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,当所述第二比对结果为比对不通过时,获取升降台高度差和升降台倾角差;
根据所述升降台高度差和所述升降台倾角差对所述第一干涉仪的升降台进行控制,直至所述第二比对结果比对通过。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一干涉仪还与第一图像采集装置通信连接,方法还包括:
当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,根据所述第一图像采集装置对放置所述待测镜片的平面进行图像采集,输出第一放置图像;
对所述第一放置图像进行像素点位处理,输出第一放置像素图像;
根据所述第一放置像素图像确定所述待测镜片的像素位置,得到实时定位坐标数据。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述第一图像采集装置还与红外射线装置连接,所述红外射线装置固定于所述第一图像采集装置上,方法还包括:
当所述第一比对结果为不通过时,基于所述调节定位数据生成第一镜片中心坐标;
将所述第一镜片中心坐标进行像素点位转换,输出镜片中心像素点位,以所述镜片中心像素点位控制所述红外射线装置对所述待测镜片进行中心定位。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,根据所述样本测试数据进行模型训练,得到定位-控制映射模型,方法包括:
获取所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的可控参数集;
以所述定位坐标数据与所述可控参数集的对应关系,输出定位-控制映射数据集;
对所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的环境进行监测,得到空气粉尘粒度;
根据所述空气粉尘粒度和所述定位-控制映射数据集进行模型优化训练,得到优化后的定位-控制映射模型。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
获取所述待测镜片的预设镜片参数,其中,所述预设镜片参数包括镜片几何参数和镜片光学参数;
对所述第一干涉仪的升降台上所放置的实时待测镜片进行数据录入,得到实时镜片参数;
当所述实时镜片参数不满足所述预设镜片参数,生成第一提醒信息,用于提醒不满足控制映射条件。
8.一种基于干涉仪的光学镜片质量测试***,其特征在于,所述***用于执行权利要求1至7中任一项所述的方法,所述***包括:
样本测试数据获取模块,所述样本测试数据获取模块用于获取第一干涉仪的样本测试数据,其中,所述样本测试数据包括待测镜片的定位坐标数据和干涉控制数据,其中,所述定位坐标数据为所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台的定位坐标,所述干涉控制数据为所述第一干涉仪对所述待测镜片进行测量的控制参数;
第一执行模块,所述第一执行模块用于根据所述样本测试数据进行模型训练,得到定位-控制映射模型;
数据采集模块,所述数据采集模块用于当所述待测镜片放置于所述第一干涉仪的升降台,对所述待测镜片的进行数据采集,得到实时定位坐标数据;
第一比对模块,所述第一比对模块用于将所述实时定位坐标数据输入所述定位-控制映射模型进行比对,输出第一比对结果;
控制数据获取模块,所述控制数据获取模块用于当所述第一比对结果为不通过,生成调节定位数据,以所述调节定位数据对所述待测镜片进行调节,直至所述第一比对结果通过,获取所述定位-控制映射模型输出的映射干涉控制数据;
测试结果生成模块,所述测试结果生成模块用于根据所述映射干涉控制数据对所述第一干涉仪进行控制,生成质量测试结果。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310864675.XA CN116593137B (zh) | 2023-07-14 | 2023-07-14 | 一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及*** |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310864675.XA CN116593137B (zh) | 2023-07-14 | 2023-07-14 | 一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及*** |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116593137A true CN116593137A (zh) | 2023-08-15 |
CN116593137B CN116593137B (zh) | 2023-09-29 |
Family
ID=87599402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310864675.XA Active CN116593137B (zh) | 2023-07-14 | 2023-07-14 | 一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及*** |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116593137B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117094989A (zh) * | 2023-10-16 | 2023-11-21 | 南通蓬盛机械有限公司 | 用于光学瞄准镜的镜片质量管理方法及*** |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2525188A1 (de) * | 2011-05-20 | 2012-11-21 | Baden-Württemberg Stiftung gGmbH | Justage einer zu prüfenden optischen Fläche in einer Prüfvorrichtung |
CN106705888A (zh) * | 2016-12-05 | 2017-05-24 | 北京空间机电研究所 | 干涉检测中的ccd坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法 |
CN106840023A (zh) * | 2016-07-25 | 2017-06-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置及方法 |
CN111680741A (zh) * | 2020-06-04 | 2020-09-18 | 南京理工大学 | 基于深度学习的计算机辅助干涉仪的自动装调方法 |
CN114427953A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-05-03 | 北京空间机电研究所 | 一种用于光学元件测量的全自动化***及测试方法 |
-
2023
- 2023-07-14 CN CN202310864675.XA patent/CN116593137B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2525188A1 (de) * | 2011-05-20 | 2012-11-21 | Baden-Württemberg Stiftung gGmbH | Justage einer zu prüfenden optischen Fläche in einer Prüfvorrichtung |
CN106840023A (zh) * | 2016-07-25 | 2017-06-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置及方法 |
CN106705888A (zh) * | 2016-12-05 | 2017-05-24 | 北京空间机电研究所 | 干涉检测中的ccd坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法 |
CN111680741A (zh) * | 2020-06-04 | 2020-09-18 | 南京理工大学 | 基于深度学习的计算机辅助干涉仪的自动装调方法 |
CN114427953A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-05-03 | 北京空间机电研究所 | 一种用于光学元件测量的全自动化***及测试方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117094989A (zh) * | 2023-10-16 | 2023-11-21 | 南通蓬盛机械有限公司 | 用于光学瞄准镜的镜片质量管理方法及*** |
CN117094989B (zh) * | 2023-10-16 | 2024-01-26 | 南通蓬盛机械有限公司 | 用于光学瞄准镜的镜片质量管理方法及*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN116593137B (zh) | 2023-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2779242B2 (ja) | 光電子工学式角度測定システム | |
CN109990728B (zh) | 机器几何形状监测 | |
CN103744271B (zh) | 一种激光直写***与光刻方法 | |
CN110411346B (zh) | 一种非球面熔石英元件表面微缺陷快速定位方法 | |
CN116593137B (zh) | 一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及*** | |
CN110044293B (zh) | 一种三维重构***及三维重构方法 | |
US20190049238A1 (en) | Device and method for measuring a surface topography, and calibration method | |
US20150362310A1 (en) | Shape examination method and device therefor | |
CN104792793A (zh) | 光学缺陷检测方法和*** | |
CN110146017B (zh) | 工业机器人重复定位精度测量方法 | |
US9068904B2 (en) | System and method for non-contact metrology of surfaces | |
CN107084671B (zh) | 一种基于三线结构光的凹球直径测量***及测量方法 | |
CN107345789A (zh) | 一种pcb板孔位检测装置及方法 | |
US20050012056A1 (en) | Method for determining corresponding points in three-dimensional measurement | |
CN109141273B (zh) | 一种基于dmd的高速运动目标形变测量***及方法 | |
CN114113114A (zh) | 一种大口径元件表面微缺陷检测与修复的自动化工艺方法 | |
US6791696B1 (en) | Automated optical measurement apparatus and method | |
CN115561249B (zh) | 一种喷涂设备的智能化监测方法及*** | |
CN103471524A (zh) | 共焦抛物面顶点曲率半径测量方法 | |
CN114267606B (zh) | 一种晶圆高度检测方法及装置 | |
CN111707450A (zh) | 光学镜头焦平面与机械安装面位置关系检测装置及方法 | |
CN213396974U (zh) | 一种基于螺旋相位板的球面曲率半径批量测量装置 | |
CN112665523B (zh) | 一种复杂型面的联合测量方法 | |
CN213543477U (zh) | 动力电池极片涂层均匀性在线计量测试*** | |
TW202147050A (zh) | 物件自動檢驗之控制系統及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |