CN116516283A - 一种基于铣刀的pvd涂层设备及其涂层工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及铣刀PVD涂层技术领域,公开了一种基于铣刀的PVD涂层设备及其涂层工艺,包括,涂层单元,包括涂层设备、设置于涂层设备工作腔内的用于盛放铣刀的放置部件,以及设置于喷涂设备上的抽气部件;吹灰单元,包括设置于喷涂设备上的进气管,且进气管与涂层设备工作腔相连通,以及设置于涂层设备工作腔内的吹灰部件和密封部件,本发明将附着在铣刀上的不良杂质去除再进行镀层,提高了镀膜质量,同时防止外界杂质附着到铣刀上的同时,对过滤网进行自动清理,防止灰尘堵塞过滤网形成进气管的进气。
Description
技术领域
本发明涉及铣刀PVD涂层的技术领域,尤其涉及一种基于铣刀的PVD涂层设备及其涂层工艺。
背景技术
PVD是一种物理状态下的物质转移过程,可以将原子或分子状态下的物质从一个物体转移到另一个物体上,从而使其具有更加优异的性能,在铣刀生产过程中,为了提高铣刀的使用寿命,会使用PVD涂层设备在真空环境下对铣刀表面进行真空镀膜,可形成具有耐磨和耐腐蚀的膜层。
公开号为CN214763997U的专利公开了一种具有预过滤功能的PVD涂层设备,包括涂层设备,所述涂层设备顶部的左侧固定连接有过滤箱,所述过滤箱的内腔固定连接有安装板,所述安装板的底部设置有收集盒,所述收集盒的前侧贯穿至过滤箱的前侧,安装板顶部的中部开设有排渣口,安装板顶部的前后两侧均活动连接有往复丝杆。
公开号为CN216779154U的专利公开了一种用于提高铣刀表面强度的PVD涂层喷涂装置,涉及喷涂装置技术领域,包括桌台和传动组件,所述桌台上螺栓装配有传动组件,所述传动组件包括横杆、轴承连套、第一电机、空管、旋转轴、底座轴套、旋转座和喷涂台,所述横杆的下方设置有轴承连套,且所述轴承连套的一端下方设置有第一电机。
其中,以上专利中的设备在对铣刀进行真空镀膜时,铣刀表面洁净度直接影响其镀膜效果,但是铣刀镀膜前表面处理不充分,表面有尘点、毛丝等杂质颗粒,这些不良杂质就导致产生的镀膜质量差,仅仅依靠真空抽气过程中产生的抽吸力,难以将附着在铣刀上的这些不良杂质去除。
发明内容
本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊,而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。
鉴于上述现有基于铣刀的PVD涂层设备存在铣刀镀膜前表面表面含有不良杂质,影响镀膜质量的问题,提出了本发明。
因此,本发明目的是提供一种基于铣刀的PVD涂层设备及其涂层工艺,其目的在于:在进行真空抽气的过程中,将铣刀表面的不良杂质吹下进行清理,从而提高镀膜质量。
为解决上述技术问题,本发明提供如下技术方案:一种基于铣刀的PVD涂层设备及其涂层工艺,包括,涂层单元,包括涂层设备、设置于涂层设备工作腔内的用于盛放铣刀的放置部件,以及设置于喷涂设备上的抽气部件;吹灰单元,包括设置于喷涂设备上的进气管,且进气管与涂层设备工作腔相连通,以及设置于涂层设备工作腔内的吹灰部件和密封部件。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层设备的一种优选方案,其中:所述放置部件包括设置于涂层设备工作腔内的转动轴、设置于转动轴上的两块支撑盘、呈环形均匀等距设置于两块支撑盘之间的支撑轴,以及倾斜设置于支撑轴轴壁上的支撑管。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层设备的一种优选方案,其中:所述抽气部件包括设置于涂层设备上与工作腔连通的抽气管,以及设置于抽气管上的抽气泵。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层设备的一种优选方案,其中:所述吹灰部件包括设置于进气管内的密封轴承、一端设置于密封轴承内的吹灰管,且吹灰管的另一端为密封状态,均匀等距设置于吹灰管管壁上的吹灰头、设置于吹灰管内的传动架,以及设置于传动架端部的驱动扇叶,且驱动扇叶位于进气管内。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层设备的一种优选方案,其中:所述密封部件包括设置于进气管内管壁上前挡环和后挡环,位于前挡环和后挡环之间的进气管内设置有弹性组件,弹性组件的两端设置有前密封塞板和后密封塞板;
前密封塞板和后密封塞板与前挡环和后挡环相匹配,且前密封塞板密封活动设置在前挡环上。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层设备的一种优选方案,其中:所述弹性组件包括设置于进气管内管壁上的支撑架、贯穿设置于支撑架上的传动轴,且前密封塞板和后密封塞板分别设置于传动轴的两端,以及设置于支撑架和前密封塞板之间的弹簧。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层设备的一种优选方案,其中:所述吹灰单元还包括过滤部件,所述过滤部件设置于密封部件上,所述过滤部件包括设置于进气管内的过滤网、贯穿密封滑动设置于过滤网上的螺旋轴,且螺旋轴的一端与前挡环相连接,设置于螺旋轴上的套管、设置于套管上的支撑组件,以及设置于套管端部的清洁刷,且清洁刷的刷毛活动设置于过滤网的外侧。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层设备的一种优选方案,其中:所述支撑组件包括设置于套管上的轴承座,以及设置于轴承座和进气管端部的支撑杆。
一种基于铣刀的PVD涂层工艺,
打开涂层设备的柜门,将待涂层的铣刀放置到放置部件上,随后合上柜门,并打开抽气部件半功率运行;
抽气部件将涂层设备工作腔,以及与工作腔连通的进气管内空气抽出,在抽吸力的作用下,密封部件上的前密封塞板从前挡环上脱离;
使得外界空气通过进气管补充到吹灰部件中,再通过吹灰部件围绕放置部件一边旋转一边喷气,将铣刀上粘附的不良杂质吹下,吹下的不良杂质顺着空气流动方向再被抽气部件一起抽出;
抽吸一段时间后,抽气部件在全功率运行,密封部件受到的抽吸力增大,使得后密封塞板压到后挡环上,此时空气无法再通过进气管补充到工作腔中,直至将工作腔抽成真空状态;
再关闭抽气部件,密封部件在弹簧复位力的作用下瞬间复位,前密封塞板继续压在前挡环上,维持工作腔内涂层所需的真空状态。
作为本发明所述基于铣刀的PVD涂层工艺的一种优选方案,其中:气体进入进气管时先通过过滤部件进行过滤,密封部件的前密封塞板运动时,会带动过滤部件同步运动,使得清洁刷刷擦过滤网外侧,当前密封塞板复位时,前密封塞板带动清洁刷的刷毛在过滤网的外侧扫过,将过滤网外侧灰尘扫下,对过滤网进行清洁,避免网孔发生堵塞。
本发明的有益效果:
本发明所述的一种基于铣刀的PVD涂层设备及其涂层工艺,将附着在铣刀上的不良杂质去除再进行镀层,提高了镀膜质量。
本发明所述的一种基于铣刀的PVD涂层设备及其涂层工艺,根据抽气泵的半功率运行和全功率运行,对进气管进行自动开关。
本发明所述的一种基于铣刀的PVD涂层设备及其涂层工艺,防止外界杂质附着到铣刀上的同时,对过滤网进行自动清理,防止灰尘堵塞过滤网形成进气管的进气。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。其中:
图1为本发明基于铣刀的PVD涂层设备的示意图。
图2为本发明基于铣刀的PVD涂层设备的内部示意图。
图3为本发明基于铣刀的PVD涂层设备的吹灰部件与放置部件的位置关系示意图。
图4为本发明基于铣刀的PVD涂层设备的吹灰部件结构示意图。
图5为本发明基于铣刀的PVD涂层设备的密封部件示意图。
图6为本发明基于铣刀的PVD涂层设备的密封部件结构示意图。
图7为本发明基于铣刀的PVD涂层设备的过滤部件示意图
图中:
100、涂层单元;101、涂层设备;102、放置部件;102a、转动轴;102b、支撑盘;102c、支撑轴;102d、支撑管;103、抽气部件;103a、抽气管;103b、抽气泵;200、吹灰单元;201、进气管;202、吹灰部件;202a、密封轴承;202b、吹灰管;202c、吹灰头;202d、传动架;202e、驱动扇叶;203、密封部件;203a、前挡环;203b、后挡环;203c、弹性组件;203c-1、支撑架;203c-2、传动轴;203c-3、弹簧;203d、前密封塞板;203e、后密封塞板;204、过滤部件;204a、过滤网;204b、螺旋轴;204c、套管;204d、撑组组件;204d-1、轴承座;204d-2、支撑杆;204e、清洁刷。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明,但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广,因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
其次,此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本发明至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例,也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。
再其次,本发明结合示意图进行详细描述,在详述本发明实施例时,为便于说明,表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大,而且所述示意图只是示例,其在此不应限制本发明保护的范围。此外,在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
实施例1
参照图1-6,为本发明第一个实施例,提供了一种基于铣刀的PVD涂层设备,此装置包括,涂层单元100,以及连接在涂层单元100上的吹灰单元200,涂层单元100包括涂层设备101、连接在涂层设备101工作腔内的用于盛放铣刀的放置部件102,以及安装在喷涂设备101上的抽气部件103;吹灰单元200,包括设置于喷涂设备101上的进气管201,且进气管201与涂层设备101工作腔相连通,以及设置于涂层设备101工作腔内的吹灰部件202和密封部件203,密封部件203可以为阀门,控制进气管201的开关。
吹灰部件202包括连接在进气管201出气端内管壁的密封轴承202a、一端连接在密封轴承202a内圈壁上的吹灰管202b,且吹灰管202b的另一端为密封状态,均匀等距按在吹灰管202b管壁上的多个吹灰头202c、连接在吹灰管202b进气端内管壁上的传动架202d,以及连接在传动架202d端部的驱动扇叶202e,且驱动扇叶202e位于进气管201内。
使用过程中,将铣刀摆放到放置部件102上,涂层前,启动抽气部件103半功率运行将涂层设备101内空气抽出,并打开密封部件203,涂层设备101外的空气通过进气管201进入到吹灰管202b中,空气在进气管201中运动时,推动驱动扇叶202e转动,驱动扇叶202e转动的同时通过传动架202d带动吹灰管202b在密封轴承202a内转动,吹灰管202b围绕放置部件102进行转动,进入到吹灰管202b内的空气再通过吹灰头202c向放置部件102上的铣刀喷出,将粘附在铣刀上的不良杂质吹下,吹下的不良杂质顺着空气流动方向排出涂层设备,一段时间后,关闭密封部件203,直至将涂层设备101工作腔内抽至真空,再对放置部件102上的铣刀进行真空镀层,将附着在铣刀上的这些不良杂质去除再进行镀层,提高了镀膜质量。
其中,放置部件102包括安装在涂层设备101工作腔内的转动轴102a、连接在转动轴102a上的两块支撑盘102b、呈环连接在支撑轴102c轴壁上的支撑管102d,将铣刀倒***支撑管102d,对铣刀完成摆放,抽气部件103包括连接在涂层设备101上与工作腔连通的抽气管103a,以及安装在抽气管103a上的抽气泵103b,抽气泵103b工作时,通过抽气管103a将工作腔内空气抽出,而抽气泵103b不工作时,抽气管103a与外接处于不连通状态,空气无法通过抽气管103a发生流通。
实施例2
参照图1-6,为本发明的第二个实施例,该实施例不同于第一个实施例的是:密封部件203包括连接在进气管201内管壁上前挡环203a和后挡环203b,位于前挡环203a和后挡环203b之间的进气管201内安装有弹性组件203c,弹性组件203c的两端分别连接有前密封塞板203d和后密封塞板203e;前密封塞板203d和后密封塞板203e与前挡环203a和后挡环203b相匹配,且前密封塞板203d密封活动设置在前挡环203a上。
弹性组件203c包括连接在进气管201内管壁上的支撑架203c-1、贯穿滑动连接在支撑架203c-1上的传动轴203c-2,且前密封塞板203d和后密封塞板203e分别连接在传动轴203c-2的两端,以及连接在支撑架203c-1和前密封塞板203d之间的弹簧203c-3,弹簧203c-3套在传动轴203c-2上。
使用过程中,抽气部件103半功率运行时,将涂层设备101工作腔,以及与工作腔连通的进气管201内空气抽出后,在抽吸力的作用下,密封前密封塞板203d受到抽吸力后,压缩弹簧203c-3并从前挡环203a上脱离,前密封塞板203d运动时还通过传动轴203c-2带动后密封塞板203e同步运动;当抽气部件103全功率运行后,前密封塞板203d与后密封塞板203e受到的抽吸力增大,后密封塞板203e在抽吸力的作用下压在后挡环203b上,将进气管201关闭,此时外界空气无法再向工作区内补充,抽气部件103将工作腔内抽至真空环境。
其余结构与实施例1的结构相同。
实施例3
参照图1-7,为本发明的第三个实施例,该实施例不同于第二个实施例的是:吹灰单元200还包括过滤部件204,过滤部件204连接在密封部件203上,过滤部件204包括连接在进气管201内管壁上的过滤网204a,对进入进气管201内的空气进行过滤、贯穿密封滑动设置于过滤网204a上的螺旋轴204b,且螺旋轴204b的一端与前挡环203a相连接,过滤网204a上的贯穿处连接密封圈,螺旋轴204b的光滑面与密封圈密封滑动连接,套设在螺旋轴204b上的套管204c,螺旋轴204b和套管204c相匹配、连接在套管204c上的支撑组件204d,以及设置于套管204c端部的清洁刷204e,且清洁刷204e的刷毛活动设置于过滤网204a的外侧。
其中,支撑组件204d包括套接在套管204c外管壁上的轴承座204d-1,以及连接在轴承座204d-1和进气管201端部的支撑杆204d-2,通过轴承座204d-1对套管204c进行支撑。
使用过程中,前密封塞板203d在进气管201内直线运动时会带动螺旋轴204b同步运动,而当螺旋轴204b发生直线运行时,螺旋轴204b上的套管204c会发生自转(原理类似于玩具飞天仙子),当套管204c自转时,又会带动清洁刷204e刷擦过滤网204a的表面,将粘附在过滤网204a表面的杂质扫下,避免杂质堵塞过滤网204a的网孔,而当前密封塞板203d复位时,清洁刷204e不仅会刷擦过滤网204a,而前密封塞板203d复位过程中会对进气管201内部分空气施加推力,该部分空气会反冲过滤网204a,将从过滤网204a上扫下的杂质吹出进气管201。
其余结构与实施例2的结构相同。
工作原理:将铣刀摆放到放置部件102上,涂层前,启动抽气部件103半功率运行将涂层设备101内空气抽出,在抽吸力的作用下,密封前密封塞板203d受到抽吸力后,压缩弹簧203c-3并从前挡环203a上脱离,前密封塞板203d运动时还通过传动轴203c-2带动后密封塞板203e同步运动,涂层设备101外的空气通过进气管201进入到吹灰管202b中,空气在进气管201中运动时,推动驱动扇叶202e转动,驱动扇叶202e转动的同时通过传动架202d带动吹灰管202b在密封轴承202a内转动,吹灰管202b围绕放置部件102进行转动,进入到吹灰管202b内的空气再通过吹灰头202c向放置部件102上的铣刀喷出,将粘附在铣刀上的不良杂质吹下,吹下的不良杂质顺着空气流动方向排出涂层设备,一段时间后,抽气部件103全功率运行后,前密封塞板203d与后密封塞板203e受到的抽吸力增大,后密封塞板203e在抽吸力的作用下压在后挡环203b上,将进气管201关闭,此时外界空气无法再向工作区内补充,抽气部件103将工作腔内抽至真空环境,再对放置部件102上的铣刀进行真空镀层,将附着在铣刀上的这些不良杂质去除再进行镀层,提高了镀膜质量;前密封塞板203d在进气管201内直线运动时会带动螺旋轴204b同步运动,而当螺旋轴204b发生直线运行时,螺旋轴204b上的套管204c会发生自转(原理类似于玩具飞天仙子),当套管204c自转时,又会带动清洁刷204e刷擦过滤网204a的表面,将粘附在过滤网204a表面的杂质扫下,避免杂质堵塞过滤网204a的网孔,而当前密封塞板203d复位时,清洁刷204e不仅会刷擦过滤网204a,而前密封塞板203d复位过程中会对进气管201内部分空气施加推力,该部分空气会反冲过滤网204a,将从过滤网204a上扫下的杂质吹出进气管201。
实施例4
参照图1-7,为本发明的第四个实施例,该实施例不同于第三个实施例的是:一种基于铣刀的PVD涂层工艺,其特征在于:
S1:打开涂层设备101的柜门,将待涂层的铣刀放置到放置部件102上,随后合上柜门,并打开抽气部件103半功率运行;
S2:抽气部件103将涂层设备101工作腔,以及与工作腔连通的进气管201内空气抽出,在抽吸力的作用下,密封部件203上的前密封塞板203d从前挡环203a上脱离;
S3:使得外界空气通过进气管201补充到吹灰部件202中,再通过吹灰部件202围绕放置部件102一边旋转一边喷气,将铣刀上粘附的不良杂质吹下,吹下的不良杂质顺着空气流动方向再被抽气部件103一起抽出;
S4:抽吸一段时间后,抽气部件103在全功率运行,密封部件203受到的抽吸力增大,使得后密封塞板203e压到后挡环203b上,此时空气无法再通过进气管201补充到工作腔中,直至将工作腔抽成真空状态;
S5:再关闭抽气部件103,密封部件203在弹簧203c-3复位力的作用下瞬间复位,前密封塞板203d继续压在前挡环203a上,维持工作腔内涂层需的真空状态。
其中,气体进入进气管201时先通过过滤部件204进行过滤,密封部件203的前密封塞板203d运动时,会带动过滤部件204同步运动,使得清洁刷204e刷擦过滤网204a外侧,当前密封塞板203d复位时,前密封塞板203d带动清洁刷204e的刷毛在过滤网204a的外侧扫过,将过滤网204a外侧灰尘扫下,对过滤网204a进行清洁,避免网孔发生堵塞。
工作原理:对铣刀进行镀膜形成涂层前,启动抽气部件103,对铣刀进行清理,将铣刀上的不良杂质全部吹下,避免涂层形成在铣刀表面的不良杂质上,提高了铣刀镀层质量,再将工作腔内抽吸成真空状态,对铣刀进行镀膜。
应说明的是,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
Claims (10)
1.一种基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:包括,
涂层单元(100),包括涂层设备(101)、设置于涂层设备(101)工作腔内的用于盛放铣刀的放置部件(102),以及设置于喷涂设备(101)上的抽气部件(103);
吹灰单元(200),包括设置于喷涂设备(101)上的进气管(201),且进气管(201)与涂层设备(101)工作腔相连通,以及设置于涂层设备(101)工作腔内的吹灰部件(202)和密封部件(203)。
2.根据权利要求1所述的基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:所述放置部件(102)包括设置于涂层设备(101)工作腔内的转动轴(102a)、设置于转动轴(102a)上的两块支撑盘(102b)、呈环形均匀等距设置于两块支撑盘(102b)之间的支撑轴(102c),以及倾斜设置于支撑轴(102c)轴壁上的支撑管(102d)。
3.根据权利要求1或2所述的基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:所述抽气部件(103)包括设置于涂层设备(101)上与工作腔连通的抽气管(103a),以及设置于抽气管(103a)上的抽气泵(103b)。
4.根据权利要求3所述的基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:所述吹灰部件(202)包括设置于进气管(201)内的密封轴承(202a)、一端设置于密封轴承(202a)内的吹灰管(202b),且吹灰管(202b)的另一端为密封状态,均匀等距设置于吹灰管(202b)管壁上的吹灰头(202c)、设置于吹灰管(202b)内的传动架(202d),以及设置于传动架(202d)端部的驱动扇叶(202e),且驱动扇叶(202e)位于进气管(201)内。
5.根据权利要求1所述的基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:所述密封部件(203)包括设置于进气管(201)内管壁上前挡环(203a)和后挡环(203b),位于前挡环(203a)和后挡环(203b)之间的进气管(201)内设置有弹性组件(203c),弹性组件(203c)的两端设置有前密封塞板(203d)和后密封塞板(203e);
前密封塞板(203d)和后密封塞板(203e)与前挡环(203a)和后挡环(203b)相匹配,且前密封塞板(203d)密封活动设置在前挡环(203a)上。
6.根据权利要求5所述的基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:所述弹性组件(203c)包括设置于进气管(201)内管壁上的支撑架(203c-1)、贯穿设置于支撑架(203c-1)上的传动轴(203c-2),且前密封塞板(203d)和后密封塞板(203e)分别设置于传动轴(203c-2)的两端,以及设置于支撑架(203c-1)和前密封塞板(203d)之间的弹簧(203c-3)。
7.根据权利要求6所述的基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:所述吹灰单元(200)还包括过滤部件(204),所述过滤部件(204)设置于密封部件(203)上,所述过滤部件(204)包括设置于进气管(201)内的过滤网(204a)、贯穿密封滑动设置于过滤网(204a)上的螺旋轴(204b),且螺旋轴(204b)的一端与前挡环(203a)相连接,设置于螺旋轴(204b)上的套管(204c)、设置于套管(204c)上的支撑组件(204d),以及设置于套管(204c)端部的清洁刷(204e),且清洁刷(204e)的刷毛活动设置于过滤网(204a)的外侧。
8.根据权利要求7所述的基于铣刀的PVD涂层设备,其特征在于:所述支撑组件(204d)包括设置于套管(204c)上的轴承座(204d-1),以及设置于轴承座(204d-1)和进气管(201)端部的支撑杆(204d-2)。
9.一种基于铣刀的PVD涂层工艺,其特征在于:
打开涂层设备(101)的柜门,将待涂层的铣刀放置到放置部件(102)上,随后合上柜门,并打开抽气部件(103)半功率运行;
抽气部件(103)将涂层设备(101)工作腔,以及与工作腔连通的进气管(201)内空气抽出,在抽吸力的作用下,密封部件(203)上的前密封塞板(203d)从前挡环(203a)上脱离;
使得外界空气通过进气管(201)补充到吹灰部件(202)中,再通过吹灰部件(202)围绕放置部件(102)一边旋转一边喷气,将铣刀上粘附的不良杂质吹下,吹下的不良杂质顺着空气流动方向再被抽气部件(103)一起抽出;
抽吸一段时间后,抽气部件(103)在全功率运行,密封部件(203)受到的抽吸力增大,使得后密封塞板(203e)压到后挡环(203b)上,此时空气无法再通过进气管(201)补充到工作腔中,直至将工作腔抽成真空状态;
再关闭抽气部件(103),密封部件(203)在弹簧(203c-3)复位力的作用下瞬间复位,前密封塞板(203d)继续压在前挡环(203a)上,维持工作腔内涂层所需的真空状态。
10.根据权利要求9所述的基于铣刀的PVD涂层工艺,其特征在于:气体进入进气管(201)时先通过过滤部件(204)进行过滤,密封部件(203)的前密封塞板(203d)运动时,会带动过滤部件(204)同步运动,使得清洁刷(204e)刷擦过滤网(204a)外侧,当前密封塞板(203d)复位时,前密封塞板(203d)带动清洁刷(204e)的刷毛在过滤网(204a)的外侧扫过,将过滤网(204a)外侧灰尘扫下,对过滤网(204a)进行清洁,避免网孔发生堵塞。
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CN116678777A (zh) * | 2023-08-03 | 2023-09-01 | 常州富安切削技术有限公司 | 一种用于pvd刀具涂层的耐磨性能测试装置及方法 |
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- 2023-04-27 CN CN202310483219.0A patent/CN116516283A/zh active Pending
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