CN116505536B - 一种mpcvd设备微波源的稳压***及方法 - Google Patents

一种mpcvd设备微波源的稳压***及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN116505536B
CN116505536B CN202310791211.0A CN202310791211A CN116505536B CN 116505536 B CN116505536 B CN 116505536B CN 202310791211 A CN202310791211 A CN 202310791211A CN 116505536 B CN116505536 B CN 116505536B
Authority
CN
China
Prior art keywords
voltage
module
control signal
capacitor
diode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202310791211.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN116505536A (zh
Inventor
蒋礼
全峰
顾亚骏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Upl Plasma Technology Co ltd
Original Assignee
Shenzhen Upl Plasma Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Upl Plasma Technology Co ltd filed Critical Shenzhen Upl Plasma Technology Co ltd
Priority to CN202310791211.0A priority Critical patent/CN116505536B/zh
Publication of CN116505536A publication Critical patent/CN116505536A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN116505536B publication Critical patent/CN116505536B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J3/00—Circuit arrangements for ac mains or ac distribution networks
    • H02J3/12—Circuit arrangements for ac mains or ac distribution networks for adjusting voltage in ac networks by changing a characteristic of the network load
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/511—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using microwave discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J3/00—Circuit arrangements for ac mains or ac distribution networks
    • H02J3/28—Arrangements for balancing of the load in a network by storage of energy
    • H02J3/32—Arrangements for balancing of the load in a network by storage of energy using batteries with converting means
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/0068—Battery or charger load switching, e.g. concurrent charging and load supply
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/007—Regulation of charging or discharging current or voltage
    • H02J7/00712—Regulation of charging or discharging current or voltage the cycle being controlled or terminated in response to electric parameters
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/02—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries for charging batteries from ac mains by converters
    • H02J7/04—Regulation of charging current or voltage
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/34—Parallel operation in networks using both storage and other dc sources, e.g. providing buffering
    • H02J7/345—Parallel operation in networks using both storage and other dc sources, e.g. providing buffering using capacitors as storage or buffering devices
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
    • H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/10—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
    • H02M3/145—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
    • H02M3/155—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
    • H02M3/156—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only with automatic control of output voltage or current, e.g. switching regulators
    • H02M3/158—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only with automatic control of output voltage or current, e.g. switching regulators including plural semiconductor devices as final control devices for a single load
    • H02M3/1582—Buck-boost converters
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M5/00—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases
    • H02M5/40—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases with intermediate conversion into dc
    • H02M5/42—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases with intermediate conversion into dc by static converters
    • H02M5/44—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases with intermediate conversion into dc by static converters using discharge tubes or semiconductor devices to convert the intermediate dc into ac
    • H02M5/453—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases with intermediate conversion into dc by static converters using discharge tubes or semiconductor devices to convert the intermediate dc into ac using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
    • H02M5/458—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases with intermediate conversion into dc by static converters using discharge tubes or semiconductor devices to convert the intermediate dc into ac using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00—Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
    • H02M7/02—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal
    • H02M7/04—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters
    • H02M7/06—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes without control electrode or semiconductor devices without control electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00—Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
    • H02M7/42—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
    • H02M7/44—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters
    • H02M7/48—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J2207/00—Indexing scheme relating to details of circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J2207/20—Charging or discharging characterised by the power electronics converter
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J2207/00—Indexing scheme relating to details of circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J2207/50—Charging of capacitors, supercapacitors, ultra-capacitors or double layer capacitors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B70/00—Technologies for an efficient end-user side electric power management and consumption
    • Y02B70/10—Technologies improving the efficiency by using switched-mode power supplies [SMPS], i.e. efficient power electronics conversion e.g. power factor correction or reduction of losses in power supplies or efficient standby modes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

本发明公开一种MPCVD设备微波源的稳压***及方法，所述***分别与供电端和负载端连接，所述***中整流滤波模块用于对供电端传输并经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作，并将得到的第二电压传输至电压变换模块；电压变换模块用于将第二电压与预设额定电压进行比较，并将生成的充电控制信号和放电控制信号传输至储能模块；储能模块用于根据充电控制信号和放电控制信号对第二电压进行充放电调节并将得到的第三电压传输至逆变模块；逆变模块用于将第三电压转换为第四电压并将第四电压传输至负载端。通过将第二电压与预设额定电压进行比较根据比较结果对第二电压进行充放电调节，稳定电压地输出以保障用电安全。

Description

一种MPCVD设备微波源的稳压***及方法
技术领域
本发明涉及电源控制技术领域，特别涉及一种MPCVD设备微波源的稳压***及方法。
背景技术
随着MPCVD（MPCVD：Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition中文名称为微波等离子体化学气相沉积技术）在金刚石制造领域的广泛应用，供电波动对微波源的影响已经成为如今不可忽视的难题。微波源的稳定性对MPCVD设备的正常工作起着至关重要的作用，供给电压的波动会使得微波源的阳极电压产生波动，引起内部磁控管的工作状态不稳定，导致输出功率和输出频率不稳定，严重的情况下会引起磁控管打火，缩短磁控管的寿命。当电压波动很大时，甚至会引起微波电源的紧急保护机制和停机，进而使MPCVD设备异常停机，金刚石断裂，造成严重的经济损失。
当前工业界对MPCVD设备微波源的稳压措施为外接一个大功率UPS电源（UPS：Uninterruptible Power System/Uninterruptible Power Supply，中文名为不间断电源，是将蓄电池（多为铅酸免维护蓄电池）与主机相连接，通过主机逆变器等模块电路将直流电转换成市电的***设备），以此形成一个局域微电网来隔离供电电压波动对设备的影响，达到微波源的稳定供电。但UPS电源价格高昂、转换效率低、稳压方式成本高；并且会增加新的故障点，当UPS电源出现问题时，会引起新的电能质量问题。其次，电网对电能质量的改进也是一种对MPCVD设备微波源进行稳压的方案，供电端可以改变***设计，使得故障发生时用户设备处的电压扰动最小，或者采用熔断器限流等等。但当前技术依然无法避免供电的绝对稳定，且成本巨大，从企业的角度实施起来几乎不可能。
因而现有技术还有待改进和提高。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种MPCVD设备微波源的稳压***及方法，旨在解决现有技术中对MPCVD设备微波源进行稳压时，出现的供电不稳定而导致的用电不安全的问题。
为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：
一种MPCVD设备微波源的稳压***，分别与供电端和负载端连接，所述MPCVD设备微波源的稳压***包括：
整流滤波模块、电压变换模块、逆变模块和储能模块；所述电压变换模块分别与所述整流滤波模块、所述逆变模块和所述储能模块连接；所述整流滤波模块还与所述逆变模块连接；所述逆变模块还与所述负载端连接；
所述整流滤波模块用于对所述供电端传输并经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作，并将得到的第二电压传输至所述电压变换模块；所述电压变换模块用于将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块；所述储能模块用于根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节，并将得到的第三电压传输至所述逆变模块；所述逆变模块用于将所述第三电压转换为第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述MPCVD设备微波源的稳压***还包括：滤波模块；所述滤波模块分别与所述整流滤波模块和所述供电端连接；所述滤波模块用于对所述供电端提供的第五电压进行滤波操作得到经过滤波后的第一电压，并将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述电压变换模块包括：开关单元和控制单元；所述开关单元分别与所述控制单元、所述整流滤波模块、所述逆变模块和所述储能模块连接，所述控制单元还分别与所述整流滤波模块和所述逆变模块连接；所述控制单元用于将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较，在比较出所述第二电压小于所述预设额定电压，所述控制单元将生成的第一开关控制信号传输至所述开关单元，以及在比较出所述第二电压不小于所述预设额定电压，所述控制单元将生成的第二开关控制信号传输至所述开关单元；所述开关单元用于根据所述第一开关控制信号输出所述充电控制信号至所述储能模块，以及用于根据所述第二开关控制信号输出所述放电控制信号至所述储能模块。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述滤波模块包括：第一滤波单元、第二滤波单元和第三滤波单元；
所述第二滤波单元分别与所述第一滤波单元和所述第三滤波单元连接，所述第一滤波单元还与所述供电端连接，所述第三滤波单元还与所述整流滤波模块连接；
所述第一滤波单元用于对所述第五电压进行第一次滤波操作，并将经过一次滤波后的第五电压传输至所述第二滤波单元；所述第二滤波单元用于对经过第一次滤波后的第五电压进行第二次滤波操作，并将经过二次滤波后的第五电压传输至所述第二滤波单元；所述第三滤波单元用于对经过二次滤波后的第五电压进行第三次滤波操作，得到所述第一电压，并将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述整流滤波模块包括：整流单元和第四滤波单元；所述整流滤波模块分别与所述第三滤波单元和所述第四滤波单元连接，所述第四滤波单元还分别与所述逆变模块和所述电压变换模块连接；
所述整流单元用于对所述第一电压进行整流操作，并将得到的经过整流后的第一电压传输至所述第四滤波单元；所述第四滤波单元用于对经过整流后的第一电压进行第四次滤波操作，得到所述第二电压，并将所述第二电压传输至所述电压变换模块。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述开关单元包括：第一开关管、第二开关管、第一二极管、第二二极管、第一电容和第一电感；
所述第一开关管的第1脚分别与所述第一二极管的阴极、所述第一电容的一端和所述整流滤波模块连接，所述第一开关管的第2脚与所述第一二极管的阳极、所述第二二极管的阴极、所述第二开关管的第1脚和第一电感的一端两两相互连接，所述第一开关管的第3脚与所述控制单元连接；所述第二开关管的第2脚分别与所述第二二极管的阳极、所述储能模块、所述第一电容的另一端、所述整流滤波模块和所述逆变模块连接；所述第二开关管的第3脚与所述控制单元连接。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述控制单元包括：预设额定电压的输入接口、乘法器、比较器、电压比例积分调节器、信号运算器和脉宽调制控制器；所述乘法器、所述电压比例积分调节器、所述信号运算器和所述脉宽调制控制器的输入端依次连接，所述比较器还分别与所述信号运算器、所述整流滤波模块、所述逆变模块和所述预设额定电压的输入接口连接，所述乘法器还分别与所述预设额定电压的输入接口、所述整流滤波模块和所述逆变模块连接；所述脉宽调制控制器的第一输出端与所述第一开关管的第3脚连接，所述脉宽调制控制器的第二输出端与所述第二开关管的第3脚连接。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述滤波模块包括：第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第二电容、第三电容、第四电容、第五电容、第六电容、第七电容、第八电容、第二电感、第三电感和第四电感；
所述第二电感的一端分别与所述供电端的A相电接口、所述第一电阻的一端和第二电容的一端连接，所述第三电感的一端分别与所述供电端的B相电接口、所述第二电阻的一端和所述第三电容的一端连接，所述第四电感的一端分别与所述供电端的C相电接口、所述第三电阻的一端和所述第四电容的一端连接，所述第二电感的另一端分别与所述整流滤波模块、所述第四电阻的一端和所述第五电容的一端连接，所述第三电感的另一端分别与所述整流滤波模块、所述第五电阻的一端和所述第六电容的一端连接，所述第四电感的另一端分别与所述整流滤波模块、所述第六电阻的一端和所述第七电容的一端连接；所述第一电阻的另一端、所述第二电容的另一端、所述第二电阻的另一端、所述第三电容的另一端、所述第三电阻的另一端和所述第四电容的另一端相互连接；所述第四电阻的另一端、所述第五电容的另一端、所述第五电阻的另一端、所述第六电容的另一端、所述第六电阻的另一端、所述第七电容的另一端和所述第八电容的一端相互连接，所述第八电容的另一端接地。
所述MPCVD设备微波源的稳压***中，所述整流滤波模块包括：第三二极管、第四二极管、第五二极管、第六二极管、第七二极管、第八二极管、第五电感、第六电感、第八电容、第十电容和第十一电容；
所述第三二极管的阳极分别与所述第四二极管的阳极、所述第二电感的另一端、所述第四电阻的一端和所述第五电容的一端连接，所述第五二极管的阳极分别与所述第六二极管的阳极、所述第三电感的另一端、所述第五电阻的一端和所述第六电容的一端连接，所述第七二极管的阳极分别与所述第八二极管的阳极、所述第四电感的另一端、所述第六电阻的一端和所述第七电容的一端连接，所述第三二极管的阴极、所述第五二极管的阴极、所述第七二极管的阴极和所述第五电感的一端两两相互连接，所述第四二极管的阴极、所述第六二极管的阴极、所述第八二极管的阴极和所述第六电感的一端两两相互连接，所述第五电感的另一端与所述第八电容的一端、所述第十电容的一端和所述第十一电容的一端相互连接，所述第五电感的另一端还分别与所述电压变换模块、所述储能模块和所述逆变模块连接，所述第六电感的另一端与所述第八电容的另一端、所述第十电容的另一端、所述第十一电容的另一端相互连接，所述第六电感的另一端还分别与所述电压变换模块、所述储能模块和所述逆变模块连接。
所述MPCVD设备微波源的稳压方法中，所述逆变模块包括：开关管控制信号端、第三开关管、第四开关管、第五开关管、第六开关管、第九二极管、第十二极管、第十一二极管、第十二二极管、第十二电容、第十三电容、第十四电容和第十五电容；
所述第三开关管的第2脚分别与所述第五开关管的第2脚、所述第十一二极管的阴极、所述第十四电容的一端、所述第九二极管的阴极、所述第十二电容的一端和所述第五电感的另一端连接，所述第三开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第三开关管的第3脚分别与所述第四开关管的第2脚、所述第九二极管的阳极、所述第十二极管的阴极、所述第十二电容的另一端、所述第十三电容的一端和所述负载端的正向输入端连接；所述第四开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第四开关管的第3脚与所述第十二极管的阳极、所述第十三电容的另一端、所述电压变换模块和所述第六电感的另一端连接；所述第五开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第五开关管的第3脚分别与所述第六开关管的第2脚、所述第十一二极管的阳极、所述第十二二极管的阴极、所述第十四电容的另一端、所述第十五电容的一端和所述负载端的负向输入端连接；所述第六开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第六开关管的第3脚与所述第十二二极管的阳极、所述第十五电容的另一端、所述电压变换模块和所述第六电感的另一端连接。
一种基于如上所述的MPCVD设备微波源的稳压***的MPCVD设备微波源的稳压方法，所述MPCVD设备微波源的稳压方法包括以下步骤：
滤波模块对所述供电端提供的第五电压进行滤波操作得到经过滤波后的第一电压，并将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块；
所述整流滤波模块对经过所述第一电压进行整流和滤波操作得到第二电压，并将所述第二电压传输至所述电压变换模块；
所述电压变换模块将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块；
所述储能模块根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节得到第三电压，并将所述第三电压传输至所述逆变模块；
所述逆变模块将所述第三电压转换为第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端。
所述MPCVD设备微波源的稳压方法中，所述电压变换模块将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块，具体包括：
控制单元将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较；
若所述控制单元比较出所述第二电压小于所述预设额定电压，则生成第一开关控制信号，所述控制单元将所述第一开关控制信号传输至开关单元；
若所述控制单元比较出所述第二电压不小于所述预设额定电压，则生成第二开关控制信号，所述控制单元将所述第二开关控制信号传输至所述开关单元。
所述MPCVD设备微波源的稳压方法中，所述储能模块根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节得到第三电压，并将所述第三电压传输至所述逆变模块，具体包括：
所述储能模块根据所述充电控制信号对所述第二电压进行充电调节，得到经过充电调节后的第二电压，并将经过充电调节后的第二电压传输至所述逆变模块；
所述储能模块根据所述放电控制信号对所述第二电压进行放电调节，得到经过放电调节后的第二电压，并将经过放电调节后的第二电压传输至所述逆变模块；其中，所述第三电压包括：经过充电调节后的第二电压和经过放电调节后的第二电压。
相较于现有技术，本发明提供的一种MPCVD设备微波源的稳压***及方法，所述***分别与供电端和负载端连接，所述***中整流滤波模块用于对供电端传输并经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作，并将得到的第二电压传输至电压变换模块；电压变换模块用于将第二电压与预设额定电压进行比较，并将生成的充电控制信号和放电控制信号传输至储能模块；储能模块用于根据充电控制信号和放电控制信号对第二电压进行充放电调节并将得到的第三电压传输至逆变模块；逆变模块用于将第三电压转换为第四电压并将第四电压传输至负载端。通过将第二电压与预设额定电压进行比较根据比较结果对第二电压进行充放电调节，稳定电压地输出以保障用电安全。
附图说明
图1为本发明提供的MPCVD设备微波源的稳压***的较佳实施例的结构框图；
图2为本发明提供的MPCVD设备微波源的稳压***中电压变换模块的电路结构示意图；
图3为本发明提供的MPCVD设备微波源的稳压***的电路结构示意图；
图4为本发明提供的基于MPCVD设备微波源的稳压方法的较佳实施例的流程图；
图5为本发明提供的基于MPCVD设备微波源的稳压方法的较佳实施例中步骤S300的流程图；
图6为本发明提供的基于MPCVD设备微波源的稳压方法的较佳实施例的功能流程图；
图7为本发明提供的基于MPCVD设备微波源的稳压方法的较佳实施例中步骤S400的流程图。
附图标记：1：MPCVD设备微波源的稳压***；2：供电端；3：负载端；10：滤波模块；20：整流滤波模块；30：电压变换模块；31：开关单元；32：控制单元；40：逆变模块；50：储能模块；R1：第一电阻；R2：第二电阻；R3：第三电阻；R4：第四电阻；R5：第五电阻；R6：第六电阻；C1：第一电容；C2：第二电容；C3：第三电容；C4：第四电容；C5：第五电容；C6：第六电容；C7：第七电容；C8：第八电容；C9：第九电容；C10：第十电容；C11：第十一电容；C12：第十二电容；C13：第十三电容；C14：第十四电容；C15：第十五电容；L1：第一电感；L2：第二电感；L3：第三电感；L4：第四电感；L5：第五电感；L6：第六电感；D1：第一二极管；D2：第二二极管；D3：第三二极管；D4：第四二极管；D5：第五二极管；D6：第六二极管；D7：第七二极管；D8：第八二极管；D9：第九二极管；D10：第十二极管；D11：第十一二极管；D12：第十二二极管；T1：第一开关管；T2：第二开关管；T3：第三开关管；T4：第四开关管；T5：第五开关管；T6：第六开关管。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本发明所述领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
本发明提供的一种MPCVD设备微波源的稳压***及方法。通过电压变换模块将第二电压与预设额定电压进行比较生成充电控制信号和放电控制信号，储能模块则根据充电控制信号和放电控制信号对第二电压进行充放电调节，以最终输出波动范围小的第四电压至负载端，从而有效地提高了供电的稳定性，保障了用电安全。
下面通过具体示例性的实施例对MPCVD设备微波源的稳压***设计方案进行描述，需要说明的是，下列实施例只用于对发明的技术方案进行解释说明，并不做具体限定：
请参阅图1，本发明提供的一种MPCVD设备微波源的稳压***1，分别与供电端2和负载端3连接，所述MPCVD设备微波源的稳压***1包括：
整流滤波模块20、电压变换模块30、逆变模块40和储能模块50；所述电压变换模块30分别与所述整流滤波模块20、所述逆变模块40和所述储能模块50连接；所述整流滤波模块20还与所述逆变模块40连接；所述逆变模块40还与所述负载端3连接。
所述整流滤波模块20用于对所述供电端传输并经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作，并将得到的第二电压传输至所述电压变换模块30；所述电压变换模块30用于将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块50；所述储能模块50用于根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节，并将得到的第三电压传输至所述逆变模块40；所述逆变模块40用于将所述第三电压转换为第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端3。
其中，所述供电端2为市交流电的接口，所述供电端2为阳极供电模块，所述储能模块50为储能装置（可以是超级电容器或者大功率电池组），所述电压变换模块30包括双向DC/DC变换器和控制单元，所述预设额定电压根据负载端3的阳极（正向输入端）的输入额定电压设定的，主要目的就是给阳极供电时有一个稳定的输入电压。
具体地，现有技术中对MPCVD设备的微波源进行稳压时，容易出现供电不稳定而导致用电不安全，或者转换效率低和稳压方式成本高的问题。那么，综合稳压成本和可行性，本发明在供电母线与微波电源的阳极供电模块（负载端3）之间设计一种MPCVD设备微波源的稳压***1，其中，所述MPCVD设备微波源的稳压***1实现对设备微波源进行稳压的过程如下：
首先，对所述供电端2（市交流电）提供的市交流电进行滤波操作，得到经过滤波后的第一电压。然后，所述整流滤波模块20对经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作得到所述第二电压，所述整流滤波模块20将所述第二电压传输至所述电压变换模块30；所述电压变换模块30则将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较，根据不同的比较结果，相应地生成所述充电控制信号或所述放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块50。
其次，所述储能模块50根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节，并将得到的第三电压传输至所述逆变模块40。最后，所述逆变模块40将直流的第三电压逆变为交流的第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端3。
即所述电压变换模块30将整流后的电压（第二电压）与所述预设额定电压进行对比，当整流后的电压高于所述预设额定电压时，储能装置（储能模块50）两端的电压低于整体电压，储能装置的电荷量处于低位，此时，电流会从主电路传输至储能装置，储能装置处于充电状态，双向DC/DC变换器处于降压斩波电路工作状态，使得输入微波源阳极供电端2（阳极供电模块）的电压下降。而当整流后的电压低于所述预设额定电压时，储能装置两端的电压高于电路的整体电压，此时，电流会从储能装置传输至主电路，储能装置处于放电状态，双向DC/DC变换器处于升压斩波电路工作状态，使得输入微波源阳极供电端2的电压上升，从而调节了所述负载端3的输入电压的波动范围，使得微波源阳极供电模块的输入维持在额定值附近小幅度波动，解决了因电压波动造成的设备停机问题，使得设备能够正常运行。
本发明中通过所述电压变换模块30将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较，生成所述充电控制信号或所述放电控制信号，所述储能模块50再根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节，即通过储能装置和双向DC/DC变换器的搭配使用，能够使电压在暂降时补偿电压，在过冲时降低电压，以维持电压的稳定，从而实现对所述负载端3的输入电压维持在一定的范围内，减少了电压波动，维持了电压的稳定，进而保障了用电安全，用成本较低的方法极大地改善了电压波动对设备异常影响的问题。
更进一步地，所述MPCVD设备微波源的稳压***1还包括：滤波模块10；所述滤波模块10分别与所述整流滤波模块20和所述供电端2连接；所述滤波模块10用于对所述供电端2提供的第五电压进行滤波得到经过滤波后的第一电压，并将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块20。
具体地，所述供电端2（市交流电）提供交流的第五电压至所述滤波模块10，所述滤波模块10对所述第五电压进行滤波操作，得到经过滤波后的第一电压，所述滤波模块10将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块20。
更进一步地，所述电压变换模块30包括：开关单元31和控制单元32；所述开关单元31分别与所述控制单元32、所述整流滤波模块20、所述逆变模块40和所述储能模块50连接，所述控制单元32还分别与所述整流滤波模块20和所述逆变模块40连接；所述控制单元32用于将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较，在比较出所述第二电压小于所述预设额定电压，所述控制单元32将生成的第一开关控制信号传输至所述开关单元31，以及在比较出所述第二电压不小于所述预设额定电压，所述控制单元32将生成的第二开关控制信号传输至所述开关单元31；所述开关单元31用于根据所述第一开关控制信号输出所述充电控制信号至所述储能模块50，以及用于根据所述第二开关控制信号输出所述放电控制信号至所述储能模块50。
具体地，在所述整流滤波模块20对所述经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作得到所述第二电压后，所述整流滤波模块20将所述第二电压传输至所述控制单元32。然后，所述控制单元32比较所述第二电压的大小与所述预设额定电压的大小，得到比较结果：若所述第二电压小于所述预设额定电压，所述控制单元32则生成所述第一开关控制信号，并将所述第一开关控制信号传输至所述开关单元31；而若所述第二电压不小于所述预设额定电压，所述控制单元32则生成所述第二开关控制信号，并将所述第二开关控制信号传输至所述开关单元31。
其次，所述开关单元31则根据所述第一开关控制信号输出所述充电控制信号，以及根据所述第二开关控制信号输出所述放电控制信号，所述开关单元31再将所述充电控制信号或所述放电控制信号至所述储能模块50，以便所述储能模块50根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节。
本发明中通过所述控制单元32比较所述第二电压与所述预设额定电压，生成所述第一开关控制信号或所述第二开关控制信号，所述开关单元31再根据所述第一开关控制信号或所述第二开关控制信号生成相应的充电控制信号或所述放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块50，以便所述储能模块50根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节，即通过所述控制单元32将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较，控制所述开关单元31的开关导通状态，从而控制所述储能模块50相应地进行充放电，进而调节输入所述负载端3的电压。
更进一步地，所述开关单元31包括：第一开关管T1、第二开关管T2、第一二极管D1、第二二极管D2、第一电容C1和第一电感L1；所述第一开关管T1的第1脚分别与所述第一二极管D1的阴极、所述第一电容C1的一端和所述整流滤波模块20连接，所述第一开关管T1的第2脚与所述第一二极管D1的阳极、所述第二二极管D2的阴极、所述第二开关管T2的第1脚和第一电感L1的一端两两相互连接，所述第一开关管T1的第3脚与所述控制单元32连接；所述第二开关管T2的第2脚分别与所述第二二极管D2的阳极、所述储能模块50、所述第一电容C1的另一端、所述整流滤波模块20和所述逆变模块40连接；所述第二开关管T2的第3脚与所述控制单元32连接。
更进一步地，所述控制单元32包括：预设额定电压的输入接口、乘法器、比较器、电压比例积分调节器、信号运算器和脉宽调制控制器；所述乘法器、所述电压比例积分调节器、所述信号运算器和所述脉宽调制控制器的输入端依次连接，所述比较器还分别与所述信号运算器、所述整流滤波模块20、所述逆变模块40和所述预设额定电压的输入接口连接，所述乘法器还分别与所述预设额定电压的输入接口、所述整流滤波模块20和所述逆变模块40连接；所述脉宽调制控制器的第一输出端与所述第一开关管T1的第3脚连接，所述脉宽调制控制器的第二输出端与所述第二开关管T2的第3脚连接。
其中，所述电压变换模块30的电路结构示意图如图2所示，由所述开关单元31和所述控制单元32构成双向DC/DC变换器，也可以称为斩波电路，所述双向DC/DC变换器通过外环电压控制策略进行调控，设置预设额定电压Vref，预设额定电压Vref则由预设额定电压的输入接口输入至所述乘法器，这里双向DC/DC变换器起到升降压作用。
其中，三极管作为开关器件，一般都是通过调节三极管开通和闭合的时间改变占空比来使电压升高或者降低；二极管起到续流的作用，同时由于三极管关断时会产生较大的瞬态反向电流，所以并联反向二极管可以对反向电流进行抑制；电容和电感是储能元件，斩波电路通过控制储能元件的充放电来进行电压的调控。
具体地，在所述整流滤波模块20对经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作得到所述第二电压后，首先，所述整流滤波模块20将所述第二电压VDC传输至所述乘法器和所述比较器，所述比较器将预设额定电压Vref和直流母线（所述整流滤波模块20的两个输出端）上的输出电压（第二电压VDC）进行比较，从而进行电流流向控制，控制电流的流入和流出。
然后，利用所述乘法器和所述电压比例积分调节器进行计算和调节偏差：将比较结果送入电压PI调节器（电压比例积分调节器，是一种线性控制，它根据给定值与实际输出值构成控制偏差。
其次，将偏差的比例和积分通过线性组合构成控制量，对被控对象进行控制），该信号经所述信号运算器的处理，再通过PWM控制器（脉宽调制控制器）输出开关控制信号（所述第一开关控制信号和所述第二开关控制信号）对所述第一开关管T1和所述第二开关管T2进行通断控制，从而控制所述开关单元31的开关导通状态，以生成所述充电控制信号或所述放电控制信号来调节所述第二电压，从而使最终输入所述负载端3的电压值始终围绕在额定值（所述预设额定电压）的附近小幅度波动。那么，在双向DC/DC变换器中，通过对储能元件的充放电时间的占空比可调节输入电压的放大或者缩小，并且采用这种方式价格成本低，抗干扰能力强。
那么，对所述第一开关管T1和所述第二开关管T2进行通断控制的过程实现如下：
所述乘法器将预设额定电压Vref和直流母线（所述整流滤波模块20的正向输出端）上的输出电压（第二电压VDC）进行比较：
当所述第二电压VDC高于所述预设额定电压Vref时，即电压过冲，此时，控制所述第一开关管T1和所述第二开关管T2均闭合，一段时间后，控制所述第二开关管T2断开，再将所述第一电容C1存储的能量释放出来对所述储能模块50进行充电。此时，所述双向DC/DC变换器处于降压工作模式。
当所述第二电压VDC低于所述预设额定电压Vref时，即电压暂降，此时，控制所述第一开关管T1断开和所述第二开关管T2闭合，利用所述第二电压对第一电感L1进行充电，然后，控制所述第一开关管T1闭合和所述第二开关管T2断开，所述第一电感L1储存的电能会释放给直流母线，达到放电的效果，并且可通过充电放电时间调节。此时，所述双向DC/DC变换器处于升压工作模式。
本发明中，电压过冲时，对储能装置（储能模块50）进行充电；当电压暂降时，储能装置会进行放电从而使得微波源阳极供电模块的输入电压维持在一定的范围内，减少了电压波动所带来的一系列问题。
更进一步地，所述滤波模块10包括：第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4、第五电阻R5、第六电阻R6、第二电容C2、第三电容C3、第四电容C4、第五电容C5、第六电容C6、第七电容C7、第八电容C8、第二电感L2、第三电感L3和第四电感L4。
所述第二电感L2的一端分别与所述供电端2的A相电接口、所述第一电阻R1的一端和第二电容C2的一端连接，所述第三电感L3的一端分别与所述供电端2的B相电接口、所述第二电阻R2的一端和所述第三电容C3的一端连接，所述第四电感L4的一端分别与所述供电端2的C相电接口、所述第三电阻R3的一端和所述第四电容C4的一端连接，所述第二电感L2的另一端分别与所述整流滤波模块20、所述第四电阻R4的一端和所述第五电容C5的一端连接，所述第三电感L3的另一端分别与所述整流滤波模块20、所述第五电阻R5的一端和所述第六电容C6的一端连接，所述第四电感L4的另一端分别与所述整流滤波模块20、所述第六电阻R6的一端和所述第七电容C7的一端连接；所述第一电阻R1的另一端、所述第二电容C2的另一端、所述第二电阻R2的另一端、所述第三电容C3的另一端、所述第三电阻R3的另一端和所述第四电容C4的另一端相互连接；所述第四电阻R4的另一端、所述第五电容C5的另一端、所述第五电阻R5的另一端、所述第六电容C6的另一端、所述第六电阻R6的另一端、所述第七电容C7的另一端和所述第八电容C8的一端相互连接，所述第八电容C8的另一端接地。
具体地，请参阅图3，所述第一电阻R1和所述第二电容C2，所述第二电阻R2和所述第三电容C3，所述第三电阻R3和所述第四电容C4，所述第四电阻R4和所述第五电容C5，所述第五电阻R5和所述第六电容C6，以及所述第六电阻R6和所述第七电容C7组和形成RC滤波单元，用于进行RC滤波，即每个电阻与其并联的电容组和形成RC滤波单元，电感则和与其串联的电容组合形成LC滤波单元，用于进行LC滤波。
更进一步地，所述整流滤波模块20包括：第三二极管D3、第四二极管D4、第五二极管D5、第六二极管D6、第七二极管D7、第八二极管D8、第五电感L5、第六电感L6、第八电容C8、第十电容C10和第十一电容C11。
所述第三二极管D3的阳极分别与所述第四二极管D4的阳极、所述第二电感L2的另一端、所述第四电阻R4的一端和所述第五电容C5的一端连接，所述第五二极管D5的阳极分别与所述第六二极管D6的阳极、所述第三电感L3的另一端、所述第五电阻R5的一端和所述第六电容C6的一端连接，所述第七二极管D7的阳极分别与所述第八二极管D8的阳极、所述第四电感L4的另一端、所述第六电阻R6的一端和所述第七电容C7的一端连接，所述第三二极管D3的阴极、所述第五二极管D5的阴极、所述第七二极管D7的阴极和所述第五电感L5的一端两两相互连接，所述第四二极管D4的阴极、所述第六二极管D6的阴极、所述第八二极管D8的阴极和所述第六电感L6的一端两两相互连接，所述第五电感L5的另一端与所述第八电容C8的一端、所述第十电容C10的一端和所述第十一电容C11的一端相互连接，所述第五电感L5的另一端还分别与所述电压变换模块30、所述储能模块50和所述逆变模块40连接，所述第六电感L6的另一端与所述第八电容C8的另一端、所述第十电容C10的另一端、所述第十一电容C11的另一端相互连接，所述第六电感L6的另一端还分别与所述电压变换模块30、所述储能模块50和所述逆变模块40连接。
具体地，在滤波电路（滤波模块10）中，电容在低频信号下阻抗高，具有通高频阻低频的作用；电感在高频下阻抗高，具有通低频阻高频的作用；可以通过调节电容和电阻的参数，来选择通过想要的频率电信号而滤掉谐波。
所述第三二极管D3和所述第四二极管D4、所述第五二极管D5和所述第六二极管D6、所述第七二极管D7和所述第八二极管D8组合形成三相二极管桥式整流电路，用于将交流电转换为直流电。而所述第五电感L5和所述第六电感L6，均分别与第八电容C8、第十电容C10和第十一电容C11组合形成LC滤波电路，用于对整流后的直流电进行第二次滤波，得到经过第二次滤波后的直流电（所述第二电压）。
更进一步地，所述逆变模块40包括：开关管控制信号端P、第三开关管T3、第四开关管T4、第五开关管T5、第六开关管T6、第九二极管D9、第十二极管D10、第十一二极管D11、第十二二极管D12、第十二电容C12、第十三电容C13、第十四电容C14和第十五电容C15。
所述第三开关管T3的第2脚分别与所述第五开关管T5的第2脚、所述第十一二极管D11的阴极、所述第十四电容C14的一端、所述第九二极管D9的阴极、所述第十二电容C12的一端和所述第五电感L5的另一端连接，所述第三开关管T3的第1脚与所述开关管控制信号端P连接，所述第三开关管T3的第3脚分别与所述第四开关管T4的第2脚、所述第九二极管D9的阳极、所述第十二极管D10的阴极、所述第十二电容C12的另一端、所述第十三电容C13的一端和所述负载端3的正向输入端连接；所述第四开关管T4的第1脚与所述开关管控制信号端P连接，所述第四开关管T4的第3脚与所述第十二极管D10的阳极、所述第十三电容C13的另一端、所述电压变换模块30和所述第六电感L6的另一端连接；所述第五开关管T5的第1脚与所述开关管控制信号端P连接，所述第五开关管T5的第3脚分别与所述第六开关管T6的第2脚、所述第十一二极管D11的阳极、所述第十二二极管D12的阴极、所述第十四电容C14的另一端、所述第十五电容C15的一端和所述负载端3的负向输入端连接；所述第六开关管T6的第1脚与所述开关管控制信号端P连接，所述第六开关管T6的第3脚与所述第十二二极管D12的阳极、所述第十五电容C15的另一端、所述电压变换模块30和所述第六电感L6的另一端连接。
其中，所述第三开关管T3、所述第四开关管T4、所述第九二极管D9和所述第十二极管D10，以及所述第五开关管T5、所述第六开关管T6、所述第十一二极管D11和所述第十二二极管D12分别构成两个逆变电路，用于将直流电的第三电压进行逆变得到所述第四电压；所述第九二极管D9、所述第十二极管D10、所述第十一二极管D11和所述第十二二极管D12均属于续流二极管，作用是防止电路中电压电流的突变，为反向电动势提供耗电通路；所述第十二电容C12、所述第十三电容C13、所述第十四电容C14和所述第十五电容C15均是滤波电容。
具体地，经过处理后的第三电压通过逆变电路时，通过控制功率器件：开关管，例如，IGBT的（IGBT：Insulated Gate Bipolar Transistor，中文名为绝缘栅晶体管）或MOSFET（MOSFET：Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor，中文名为MOS管）的栅极的信号，可以改变所述功率器件的导通状态，并最终影响电流流经的方向和路径，并且结合续流二极管可实现将直流电逆变为交流电。
进一步地，请参阅图4，本发明提供的一种基于如上所述的MPCVD设备微波源的稳压***1的MPCVD设备微波源的稳压方法，所述MPCVD设备微波源的稳压方法包括以下步骤：
S100、滤波模块10对所述供电端2提供的第五电压进行滤波操作得到经过滤波后的第一电压，并将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块20。
具体地，首先，所述市交流电（供电端2）提供所述第五电压至所述滤波模块10，所述滤波模块10则对所述第五电压进行滤波操作，得到经过滤波后的第一电压，所述滤波模块10再将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块20。通过所述滤波模块10对所述第五电压进行滤波操作，有效地滤除多次谐波和进行无功补偿。
进一步地，S200、所述整流滤波模块20对经过所述第一电压进行整流和滤波操作得到第二电压，并将所述第二电压传输至所述电压变换模块30；
具体地，在所述滤波模块10将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块20后，所述整流滤波模块20对经过所述第一电压进行整流和滤波操作，得到所述第二电压，所述整流滤波模块20再将所述第二电压传输至所述电压变换模块30。通过所述整流滤波模块20先将正负变化的交流电压变为单向脉动电压，并进行进一步地滤波，从而进一步地将谐波进行滤除，是输出的电压更加稳定。
进一步地，S300、所述电压变换模块30将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块50。
具体地，在所述整流滤波模块20将所述第二电压传输至所述电压变换模块30后，所述电压变换模块30将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较，根据所述比较结果生成所述充电控制信号或所述放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块50，以便所述储能模块50根据所述充电控制信号或所述放电控制信号进行充放电，最终调节所述第二电压的大小，使得输入所述负载端3的电压适配所述负载端3的额定输入电压。
更进一步地，请参阅图5，图5为本发明提供的图4中步骤S300的具体流程图，S300、所述电压变换模块30将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块50，具体包括：
S310、控制单元32将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较；
S320、若所述控制单元32比较出所述第二电压小于所述预设额定电压，则生成第一开关控制信号，所述控制单元32将所述第一开关控制信号传输至开关单元31；
S330、所述开关单元31根据所述第一开关控制信号输出所述充电控制信号至所述储能模块50；
S340、若所述控制单元32比较出所述第二电压不小于所述预设额定电压，则生成第二开关控制信号，所述控制单元32将所述第二开关控制信号传输至所述开关单元31；
S350、所述开关单元31根据所述第二开关控制信号输出所述放电控制信号至所述储能模块50。
具体地，请参阅图6，在所述整流滤波模块20将所述第二电压传输至所述控制单元32后，所述控制单元32则将直流母线电压（整流滤波模块20两端的输出电压，即所述第二电压）与所述预设额定电压进行比较，当两者有偏差时，判断是过压还是欠压：当整流后的电压高于所述预设额定电压时，即所述第二电压小于所述预设额定电压，此时，所述控制单元32将生成第一开关控制信号传输至所述开关单元31，所述开关单元31则根据所述第一开关充电控制信号输出所述充电控制信号至所述储能模块50，以便所述储能模块50根据所述充电控制信号对所述第二电压进行调节。
然而，当整流后的电压高于所述预设额定电压时，即所述第二电压不小于所述预设额定电压，此时，所述控制单元32将生成第二开关控制信号传输至所述开关单元31，所述开关单元31则根据所述第一开关充电控制信号输出所述充电控制信号至所述储能模块50，以便所述储能模块50根据所述放电控制信号对所述第二电压进行调节。
具体地，在本发明中的其他实施例中还可能存在以下的所述MPCVD设备微波源的稳压方法的变形实现方案：
1将所述预设额定电压改为一个预设范围，例如储能装置动作的阈值，假设设定上阈值为VDCH，下阈值为VDCL,整流后的输入电压（第二电压）为VDC。
当VDCL≤VDC≤VDCH时，储能装置不动作。
当VDC＜VDCL时，双向DC/DC变换器运行处于升压工作模式，使储能装置放电。
当VDC＞VDCL时，双向DC/DC变换器运行处于降压工作模式，使储能装置充电。
2.对储能装置进行优化。储能装置可以是超级电容器、电池组或者锂电池-超级电容混合储能装置，或者采用多个电池组来协调工作等等。
3.可以用直流变压器来代替DC/DC变换器来实现电压的升高和降低，但是电路成本会更高。
进一步地，请继续参阅图4，S400、所述储能模块50根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节得到第三电压，并将所述第三电压传输至所述逆变模块40。
具体地，在所述电压变换模块30将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块50后，所述储能模块50根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节得到所述第三电压，即所述储能模块50根据所述比较结果进行充放电，以调节所述第二电压，从而有效地对所述第二电压进行反馈调节，使得所述第二电压的波动范围小，即所述负载端3的输入电压波动范围小，有助于输入电压稳定，进而保障用电安全。
更进一步地，请参阅图7，图7为本发明提供的图4中步骤S400的具体流程图，S400、所述储能模块50根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节得到第三电压，并将所述第三电压传输至所述逆变模块40，具体包括：
S410、所述储能模块50根据所述充电控制信号对所述第二电压进行充电调节，得到经过充电调节后的第二电压，并将经过充电调节后的第二电压传输至所述逆变模块40；
S420、所述储能模块50根据所述放电控制信号对所述第二电压进行放电调节，得到经过放电调节后的第二电压，并将经过放电调节后的第二电压传输至所述逆变模块40；其中，所述第三电压包括：经过充电调节后的第二电压和经过放电调节后的第二电压。
具体地，同样地如图6所示，在所述电压变换模块30将所述充电控制信号传输至所述储能模块50后，所述储能模块50根据所述充电控制信号对所述第二电压进行充电调节，得到经过充电调节后的第二电压，并将经过充电调节后的第二电压传输至所述逆变模块40，即此时，所述储能装置（储能模块50）处于过压状态，给所述储能装置进行充电，输入电压（所述第二电压）就会降低，之后，判断整流后的电压是否等于所述预设额定电压。
然而，在所述电压变换模块30将所述充电控制信号传输至所述储能模块50后，所述储能模块50根据所述放电控制信号对所述第二电压进行放电调节，得到经过放电调节后的第二电压，并将经过放电调节后的第二电压传输至所述逆变模块40，即此时，所述储能装置处于欠压状态，此时，所述储能装置进行放电，所述输入电压就会升高，之后，同样地判断整流后的电压是否等于所述预设额定电压。最后，当整流后的电压等于所述预设额定电压结束对整流后的电压的调整，否则，继续对所述第二电压进行充放电调节。
进一步地，请继续参阅图4，S500、所述逆变模块40将所述第三电压转换为第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端3。
具体地，在所述储能模块50将所述第三电压传输至所述逆变模块40后，所述逆变模块40将直流的第三电压逆变为交流的第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端3，从而为所述负载端3提供输入电压。
综上所述，本发明提供的一种MPCVD设备微波源的稳压***及方法，所述***分别与供电端和负载端连接，所述***中整流滤波模块用于对供电端传输并经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作，并将得到的第二电压传输至电压变换模块；电压变换模块用于将第二电压与预设额定电压进行比较，并将生成的充电控制信号和放电控制信号传输至储能模块；储能模块用于根据充电控制信号和放电控制信号对第二电压进行充放电调节并将得到的第三电压传输至逆变模块；逆变模块用于将第三电压转换为第四电压并将第四电压传输至负载端。通过将第二电压与预设额定电压进行比较根据比较结果对第二电压进行充放电调节，稳定电压地输出以保障用电安全。
可以理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，而所有这些改变或替换都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种MPCVD设备微波源的稳压***，分别与供电端和负载端连接，其特征在于，所述MPCVD设备微波源的稳压***包括：
整流滤波模块、电压变换模块、逆变模块和储能模块；所述电压变换模块分别与所述整流滤波模块、所述逆变模块和所述储能模块连接；所述整流滤波模块还与所述逆变模块连接；所述逆变模块还与所述负载端连接；
所述整流滤波模块用于对所述供电端传输并经过滤波后的第一电压进行整流和滤波操作，并将得到的第二电压传输至所述电压变换模块；所述电压变换模块用于将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块；所述储能模块用于根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节，并将得到的第三电压传输至所述逆变模块；所述逆变模块用于将所述第三电压转换为第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端；
所述预设额定电压为一预设范围，其中，当所述第二电压在所述预设范围内时，所述储能模块不动作；
所述电压变换模块包括：开关单元和控制单元；所述开关单元分别与所述控制单元、所述整流滤波模块、所述逆变模块和所述储能模块连接，所述控制单元还分别与所述整流滤波模块和所述逆变模块连接；所述控制单元用于将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较，在比较出所述第二电压小于所述预设额定电压，所述控制单元将生成的第一开关控制信号传输至所述开关单元，以及在比较出所述第二电压不小于所述预设额定电压，所述控制单元将生成的第二开关控制信号传输至所述开关单元；所述开关单元用于根据所述第一开关控制信号输出所述充电控制信号至所述储能模块，以及用于根据所述第二开关控制信号输出所述放电控制信号至所述储能模块；
所述开关单元包括：第一开关管、第二开关管、第一二极管、第二二极管、第一电容和第一电感；
所述第一开关管的第1脚分别与所述第一二极管的阴极、所述第一电容的一端和所述整流滤波模块连接，所述第一开关管的第2脚与所述第一二极管的阳极、所述第二二极管的阴极、所述第二开关管的第1脚和第一电感的一端两两相互连接，所述第一开关管的第3脚与所述控制单元连接；所述第二开关管的第2脚分别与所述第二二极管的阳极、所述储能模块、所述第一电容的另一端、所述整流滤波模块和所述逆变模块连接；所述第二开关管的第3脚与所述控制单元连接；
其中，所述第一电容的一端与所述第一开关管的所述第1脚共接至整流滤波模块，所述第一电容的另一端与所述第二开关管的所述第2脚共接至所述整流滤波模块与所述逆变模块的连接路上；
所述控制单元包括：预设额定电压的输入接口、乘法器、比较器、电压比例积分调节器、信号运算器和脉宽调制控制器；所述乘法器、所述电压比例积分调节器、所述信号运算器和所述脉宽调制控制器的输入端依次连接，所述比较器还分别与所述信号运算器、所述整流滤波模块、所述逆变模块和所述预设额定电压的输入接口连接，所述乘法器还分别与所述预设额定电压的输入接口、所述整流滤波模块和所述逆变模块连接；所述脉宽调制控制器的第一输出端与所述第一开关管的第3脚连接，所述脉宽调制控制器的第二输出端与所述第二开关管的第3脚连接；
所述整流滤波模块将所述第二电压传输至所述乘法器和所述比较器。
2.根据权利要求1所述的MPCVD设备微波源的稳压***，其特征在于，所述MPCVD设备微波源的稳压***还包括：滤波模块；所述滤波模块分别与所述整流滤波模块和所述供电端连接；所述滤波模块用于对所述供电端提供的第五电压进行滤波操作得到经过滤波后的第一电压，并将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块。
3.根据权利要求2所述的MPCVD设备微波源的稳压***，其特征在于，所述滤波模块包括：第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第二电容、第三电容、第四电容、第五电容、第六电容、第七电容、第八电容、第二电感、第三电感和第四电感；
所述第二电感的一端分别与所述供电端的A相电接口、所述第一电阻的一端和第二电容的一端连接，所述第三电感的一端分别与所述供电端的B相电接口、所述第二电阻的一端和所述第三电容的一端连接，所述第四电感的一端分别与所述供电端的C相电接口、所述第三电阻的一端和所述第四电容的一端连接，所述第二电感的另一端分别与所述整流滤波模块、所述第四电阻的一端和所述第五电容的一端连接，所述第三电感的另一端分别与所述整流滤波模块、所述第五电阻的一端和所述第六电容的一端连接，所述第四电感的另一端分别与所述整流滤波模块、所述第六电阻的一端和所述第七电容的一端连接；所述第一电阻的另一端、所述第二电容的另一端、所述第二电阻的另一端、所述第三电容的另一端、所述第三电阻的另一端和所述第四电容的另一端相互连接；所述第四电阻的另一端、所述第五电容的另一端、所述第五电阻的另一端、所述第六电容的另一端、所述第六电阻的另一端、所述第七电容的另一端和所述第八电容的一端相互连接，所述第八电容的另一端接地。
4.根据权利要求3所述的MPCVD设备微波源的稳压***，其特征在于，所述整流滤波模块包括：第三二极管、第四二极管、第五二极管、第六二极管、第七二极管、第八二极管、第五电感、第六电感、第八电容、第十电容和第十一电容；
所述第三二极管的阳极分别与所述第四二极管的阳极、所述第二电感的另一端、所述第四电阻的一端和所述第五电容的一端连接，所述第五二极管的阳极分别与所述第六二极管的阳极、所述第三电感的另一端、所述第五电阻的一端和所述第六电容的一端连接，所述第七二极管的阳极分别与所述第八二极管的阳极、所述第四电感的另一端、所述第六电阻的一端和所述第七电容的一端连接，所述第三二极管的阴极、所述第五二极管的阴极、所述第七二极管的阴极和所述第五电感的一端两两相互连接，所述第四二极管的阴极、所述第六二极管的阴极、所述第八二极管的阴极和所述第六电感的一端两两相互连接，所述第五电感的另一端与所述第八电容的一端、所述第十电容的一端和所述第十一电容的一端相互连接，所述第五电感的另一端还分别与所述电压变换模块、所述储能模块和所述逆变模块连接，所述第六电感的另一端与所述第八电容的另一端、所述第十电容的另一端、所述第十一电容的另一端相互连接，所述第六电感的另一端还分别与所述电压变换模块、所述储能模块和所述逆变模块连接。
5.根据权利要求4所述的MPCVD设备微波源的稳压***，其特征在于，所述逆变模块包括：开关管控制信号端、第三开关管、第四开关管、第五开关管、第六开关管、第九二极管、第十二极管、第十一二极管、第十二二极管、第十二电容、第十三电容、第十四电容和第十五电容；
所述第三开关管的第2脚分别与所述第五开关管的第2脚、所述第十一二极管的阴极、所述第十四电容的一端、所述第九二极管的阴极、所述第十二电容的一端和所述第五电感的另一端连接，所述第三开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第三开关管的第3脚分别与所述第四开关管的第2脚、所述第九二极管的阳极、所述第十二极管的阴极、所述第十二电容的另一端、所述第十三电容的一端和所述负载端的正向输入端连接；所述第四开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第四开关管的第3脚与所述第十二极管的阳极、所述第十三电容的另一端、所述电压变换模块和所述第六电感的另一端连接；所述第五开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第五开关管的第3脚分别与所述第六开关管的第2脚、所述第十一二极管的阳极、所述第十二二极管的阴极、所述第十四电容的另一端、所述第十五电容的一端和所述负载端的负向输入端连接；所述第六开关管的第1脚与所述开关管控制信号端连接，所述第六开关管的第3脚与所述第十二二极管的阳极、所述第十五电容的另一端、所述电压变换模块和所述第六电感的另一端连接。
6.一种基于权利要求1-5任一项所述的MPCVD设备微波源的稳压***的MPCVD设备微波源的稳压方法，其特征在于，所述MPCVD设备微波源的稳压方法包括以下步骤：
滤波模块对所述供电端提供的第五电压进行滤波操作得到经过滤波后的第一电压，并将经过滤波后的第一电压传输至所述整流滤波模块；
所述整流滤波模块对经过所述第一电压进行整流和滤波操作得到第二电压，并将所述第二电压传输至所述电压变换模块；
所述电压变换模块将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块；
所述储能模块根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节得到第三电压，并将所述第三电压传输至所述逆变模块；
所述逆变模块将所述第三电压转换为第四电压，并将所述第四电压传输至所述负载端。
7.根据权利要求6所述的MPCVD设备微波源的稳压方法，其特征在于，所述电压变换模块将所述第二电压与预设额定电压进行比较，根据比较结果生成充电控制信号或放电控制信号，并将所述充电控制信号或所述放电控制信号传输至所述储能模块，具体包括：
控制单元将所述第二电压与所述预设额定电压进行比较；
若所述控制单元比较出所述第二电压小于所述预设额定电压，则生成第一开关控制信号，所述控制单元将所述第一开关控制信号传输至开关单元；
所述开关单元根据所述第一开关控制信号输出所述充电控制信号至所述储能模块；
若所述控制单元比较出所述第二电压不小于所述预设额定电压，则生成第二开关控制信号，所述控制单元将所述第二开关控制信号传输至所述开关单元；
所述开关单元根据所述第二开关控制信号输出所述放电控制信号至所述储能模块。
8.根据权利要求7所述的MPCVD设备微波源的稳压方法，其特征在于，所述储能模块根据所述充电控制信号或所述放电控制信号对所述第二电压进行充放电调节得到第三电压，并将所述第三电压传输至所述逆变模块，具体包括：
所述储能模块根据所述充电控制信号对所述第二电压进行充电调节，得到经过充电调节后的第二电压，并将经过充电调节后的第二电压传输至所述逆变模块；
所述储能模块根据所述放电控制信号对所述第二电压进行放电调节，得到经过放电调节后的第二电压，并将经过放电调节后的第二电压传输至所述逆变模块；其中，所述第三电压包括：经过充电调节后的第二电压和经过放电调节后的第二电压。
CN202310791211.0A 2023-06-30 2023-06-30 一种mpcvd设备微波源的稳压***及方法 Active CN116505536B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310791211.0A CN116505536B (zh) 2023-06-30 2023-06-30 一种mpcvd设备微波源的稳压***及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310791211.0A CN116505536B (zh) 2023-06-30 2023-06-30 一种mpcvd设备微波源的稳压***及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN116505536A CN116505536A (zh) 2023-07-28
CN116505536B true CN116505536B (zh) 2024-02-09

Family

ID=87318811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310791211.0A Active CN116505536B (zh) 2023-06-30 2023-06-30 一种mpcvd设备微波源的稳压***及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116505536B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160031154A (ko) * 2014-09-12 2016-03-22 한국전기연구원 양방향 전력 변환 회로
CN107171309A (zh) * 2017-07-20 2017-09-15 北方工业大学 一种微电网***直流母线稳压控制方法
CN109067154A (zh) * 2018-08-31 2018-12-21 北京交通大学 一种有源滤波器及消除列车直流母线二次谐振的方法
CN107395026B (zh) * 2017-09-11 2020-02-18 镇江市产品质量监督检验中心 一种交流恒流源***
CN113224935A (zh) * 2020-01-21 2021-08-06 科德数控股份有限公司 一种宽频率范围的交流滤波器
CN113690873A (zh) * 2021-08-16 2021-11-23 三峡大学 一种含混合储能的光伏直流微电网协调控制方法
CN114977108A (zh) * 2022-05-19 2022-08-30 连云港杰瑞电子有限公司 一种基于寄生参数的变换器短路保护电路和方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160031154A (ko) * 2014-09-12 2016-03-22 한국전기연구원 양방향 전력 변환 회로
CN107171309A (zh) * 2017-07-20 2017-09-15 北方工业大学 一种微电网***直流母线稳压控制方法
CN107395026B (zh) * 2017-09-11 2020-02-18 镇江市产品质量监督检验中心 一种交流恒流源***
CN109067154A (zh) * 2018-08-31 2018-12-21 北京交通大学 一种有源滤波器及消除列车直流母线二次谐振的方法
CN113224935A (zh) * 2020-01-21 2021-08-06 科德数控股份有限公司 一种宽频率范围的交流滤波器
CN113690873A (zh) * 2021-08-16 2021-11-23 三峡大学 一种含混合储能的光伏直流微电网协调控制方法
CN114977108A (zh) * 2022-05-19 2022-08-30 连云港杰瑞电子有限公司 一种基于寄生参数的变换器短路保护电路和方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN116505536A (zh) 2023-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Jung et al. High efficiency bidirectional LLC resonant converter for 380V DC power distribution system using digital control scheme
CN203674793U (zh) 在线式工频不间断电源
US20140087215A1 (en) Temperature controlling system and method of battery
US20060114642A1 (en) Systems and methods for integrated VAR compensation and hydrogen production
CN113489308B (zh) 无输入电流死区的降压功率因数校正变换器及控制方法
CN108683247A (zh) 一种混合燃料电池和超级电容器的不间断供电***及方法
US20220231509A1 (en) Vehicle-grid-home power interface
CN108964450B (zh) 一种直流电源接入交流电源的复合电路
CN102255356B (zh) 高效率的不间断电源
CN116505536B (zh) 一种mpcvd设备微波源的稳压***及方法
CN109510489A (zh) 一种宽输入范围的不间断电源整流电路及其工作方法
CN112436500B (zh) 一种直流微电网发输配电***
CN112054590B (zh) 一种电容直流保障电源
CN209571963U (zh) 一种宽输入范围的不间断电源整流电路
CN114336647A (zh) 一种动态电压恢复器双向充电装置及其控制方法
CN107302314B (zh) 电源转换装置及防止电源转换装置异常关机的方法
CN201570983U (zh) 直流发电装置
CN109039087B (zh) 拓宽太阳能电池板组串mppt电压范围的升压补偿***及方法
CN111641334B (zh) 变频控制装置及空调器
CN219918724U (zh) 一种用于储能变流器控制***的供电装置
CN218888142U (zh) 一种用于提高直流微网电能质量的直流有源滤波器
CN216357402U (zh) Led电源控制器
CN112260567B (zh) 一种具有有源功率解耦功能的非隔离并网逆变器
CN213990157U (zh) 一种双向储能变流器
CN211397849U (zh) 一种新型电厂交流可变频事故油泵供电装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant