CN116481872A - 半导体洁净厂房amc在线监测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了半导体洁净厂房AMC在线监测装置，涉及AMC监测技术领域，包括入气箱、富集组件和监测组件，所述入气箱的底部设置有入气组件，且入气箱的顶部外侧安置有电机，所述电机的输出端连接有分气组件，所述入气箱的右部内侧连接有第一输气管，且第一输气管的末端连接有第一抽吸机。本发明封存检测腔在进行排液时，电控转轴内侧的配重块会因重力下滑，而配重块下滑的过程中，能通过连杆带动推移板在封存检测腔内部进行位移，这使得推移板能配合抽水吸管将封存检测腔内的液体排出，而通过双重辅助排液，能有效保证封存检测腔内的溶液排空，这能避免封存检测腔内存在残液影响后续检测精度的情况发生。
Description
技术领域
本发明涉及AMC监测技术领域，具体为半导体洁净厂房AMC在线监测装置。
背景技术
AMC也简称为悬浮分子级污染物，它包括了洁净室空气中出现的一系列污染物，具有以气体、蒸汽及空气浮尘状态出现，AMC化学特性可以为有机的或者无机，包括酸、碱、聚合物添加剂、有机金属化合物、凝缩剂与添加剂等特征，在半导体工艺中AMC的主要来源由酸性废气、碱性废气、有机废气以及工艺尾气，AMC是危害生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质，AMC会在半导体制造的栅底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上造成各种危害，影响产品质量，是半导体制造面临越来越严峻的问题，也是生产环境控制中亟待解决的问题。
市面上常见AMC监测手段包括直接测量技术和间接测量技术，其中直接测量技术是利用电化学传感器、离子迁移谱、化学发光法等原理的气体分析仪，自动实时监测洁净室内NH3、NOx、HF、HCl、SO2等气体，但直接测量技术采用的仪器均具有较高检出限的局限性，无法应对痕量至超痕量级分析，尤其是半导体行业洁净室中空气污染物含量本身较低的环境，而间接测量技术对痕量酸碱性物质的主要监控手段是采用离子色谱法进行监测(酸性物质转化为相应的阴离子形态，碱性物质NH3转化为铵根离子形态)，该技术检测AMC酸碱性物质的方法为溶液吸收采样分析法，将富集一定时间后的酸碱性物质样品通过离子色谱仪进行检测，最后根据公式换算成对应的空气污染物浓度，该技术的不足在于：只能根据经验判断富集所需的时间，当富集时间过长导致进样浓度过高会使样品残留于仪器管路中，后续需耗费大量时间用于仪器清洗，当富集时间不足，则进样浓度过低造成分析误差，导致现有仪器不能很好地适应痕量或超痕量气体的检测；全流程人工操作易引入污染，且不同操作人员重复性差，存在人为影响风险。
于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出半导体洁净厂房AMC在线监测装置。
发明内容
本发明的目的在于提供半导体洁净厂房AMC在线监测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：半导体洁净厂房AMC在线监测装置，包括入气箱、富集组件和监测组件，所述入气箱的底部设置有入气组件，且入气箱的顶部外侧安置有电机，所述电机的输出端连接有分气组件，所述入气箱的右部内侧连接有第一输气管，且第一输气管的末端连接有第一抽吸机，且第一抽吸机的右部外侧连接有第二输气管，所述富集组件安置于第二输气管的末端，所述述富集组件的底部外侧设置有第一抽吹管，且第一抽吹管的末端设置有抽吹一体机，所述抽吹一体机的顶部外侧设置有第二抽吹管，所述富集组件的右部外侧连接有出液管，所述监测组件安置于出液管的输出端。
进一步的，所述入气组件包括入气管、集流管和对接管套，所述入气管的末端连接有集流管，且集流管的后部外侧设置有对接管套。
进一步的，所述入气管在集流管底端呈阵列状分布，且入气管通过集流管与对接管套相连通。
进一步的，所述分气组件包括分气箱、转动轴、储气通道和通流管，所述分气箱的上下两侧设置有转动轴，且分气箱的内部设置有储气通道，且储气通道的上下两侧连接有通流管。
进一步的，所述储气通道在分气箱内部呈环状分布，且对接管套通过储气通道、通流管与第一输气管相连通。
进一步的，所述富集组件包括富集箱、滴水管、出水口、活塞板和清洁管，所述富集箱的顶部内侧连接有滴水管，且滴水管的底部内侧开设有出水口，所述滴水管的外端安置有活塞板，所述富集箱的右部外侧连接有清洁管。
进一步的，所述活塞板与滴水管套接连接，且活塞板的外表面与富集箱的内表面相贴合。
进一步的，所述监测组件包括监测箱、伸缩管、升降板、电推杆、滴液口、电控转轴、封存检测腔、瓣膜通口、配重块、连杆、推移板、第二抽吸机、抽水吸管、排废管和离子色谱仪，所述监测箱的内侧顶端连接有伸缩管，且伸缩管的外端设置有升降板，所述升降板的顶部两侧设置有电推杆，所述伸缩管的底部末端设置有滴液口，所述监测箱的内侧中端设置有电控转轴，所述电控转轴的外端设置有封存检测腔，且封存检测腔的内侧中端开设有瓣膜通口，所述电控转轴的内侧安置有配重块，且配重块通过连杆与推移板连接，所述监测箱的内侧底端连接有第二抽吸机，且第二抽吸机的顶端连接有抽水吸管，所述第二抽吸机的底端连接排废管，所述监测箱的内部两侧设置有离子色谱仪。
进一步的，所述封存检测腔在电控转轴外端呈环状分布有四组，且封存检测腔转至最顶端时与离子色谱仪处于同一高度。
进一步的，所述配重块通过连杆与推移板固定连接，且推移板的外表面与封存检测腔的内表面相贴合。
本发明提供了半导体洁净厂房AMC在线监测装置，具备以下有益效果：
1、本发明入气管内侧设置有电控阀，且所有入气管与集流管连通，当有复数洁净室之间互相连通工作时，与该洁净室对应位置入气管处的电控阀会进行开启，并将多种气体吸入储气通道内混合后再输入至富集箱，通过一次性对多个洁净室内的气体混合后进行收集，这能避免洁净室连通后多种气体混合后形成AMC，而只对单一洁净室进行气体收集无法及时发现AMC生成的情况发生，此外设备在替换所检测的洁净室时，通过电机工作，能使转动轴带动分气箱旋转，这使得分气箱内部进行混气的储气通道能进行替换，这能避免替换检测洁净室时依旧使用原有储气通道，而原有储气通道内气体未排空导致误判的情况发生，这能提升设备的检测精度。
2、本发明而第二输气管将洁净室的气体送入至富集箱内部后，能与反应溶液混合进行富集操作，在气体与溶液富集的过程中，滴水管会持续向富集箱内滴加溶液，同时第二输气管会持续向富集箱内输入空气，当富集箱内的溶液液面过高时，富集箱内完成富集的溶液能通过出液管流入至监测组件内进行检测，因出水口位于富集箱较低端位置，且第二输气管位于富集箱同高位置，这使得气体和溶液能在富集箱较底端位置进行充分富集，而设备在使用时，只需控制出水口排水的速度，即可对富集的时间进行进行精准掌控，而以上操作过程中，能使设备保证富集和检测同时进行。
3、本发明当富集箱需要替换检测气体时，通过抽吹一体机工作，能使第一抽吹管产生抽吸力对富集箱内的溶液进行抽离，同时清洁管开启，能向富集箱内灌入清水对富集箱进行冲洗，同时抽吹一体机向第二抽吹管提供吹力，这使得活塞板会因抽力以及吹力的牵引下在富集箱内滑动，并配合清水的冲洗，对富集箱内壁进行清洁，而活塞板移动至富集箱最底端后，即表明富集箱内部清洗完成，而此时抽吹一体机向第二抽吹管提供吸力，并向第一抽吹管提供吹力，能使活塞板返回原位以便于后续的清洁流程，通过对富集箱内部进行清洁，能有效避免富集箱内部存在残液影响后续的检测精度。
4、本发明富集完成的液体，能通过出液管进入至伸缩管内部，此时电推杆工作，能使升降板下移，因升降板与伸缩管套接，这使得伸缩管能进行延长，并使滴液口伸入至封存检测腔的瓣膜通口内侧，此时伸缩管内的电控阀开启，完成富集的溶液能进入至封存检测腔内进行储存，封存检测腔采用透明钢化玻璃材质制作，富集的溶液进入至封存检测腔内部后，离子色谱仪工作，通过对富集的溶液进行色谱分析，即可判断洁净室内AMC是否超标，富集的溶液检测完成后，通过电控转轴旋转，能带动检测完成的封存检测腔移动至与抽水吸管贴合处，此时第二抽吸机工作，便可使抽水吸管对封存检测腔内的液体进行抽出，而此时电控转轴其他位置的封存检测腔能移动至与滴液口底端，这使得设备能持续多次对富集溶液进行检测，通过富集组件保证富集和检测同时进行，并配合监测组件持续对富集溶液进行检测，使得富集后的待测成分含量准确地处于检测装置的选定含量区间(避开了含量过高和过低)，通过大量的数据检测，能降低设备的分析误差，进而很好地适应了半导体行业中各洁净室内痕量及超痕量空气污染物检测的需要。
5、本发明封存检测腔在进行排液时，电控转轴内侧的配重块会因重力下滑，而配重块下滑的过程中，能通过连杆带动推移板在封存检测腔内部进行位移，这使得推移板能配合抽水吸管将封存检测腔内的液体排出，而通过双重辅助排液，能有效保证封存检测腔内的溶液排空，这能避免封存检测腔内存在残液影响后续检测精度的情况发生，而封存检测腔回正后，配重块会因重力再次滑回电控转轴内部，而配重块回移后，能带动推移板重新移回封存检测腔底部，以方便后续的检测。
附图说明
图1为本发明半导体洁净厂房AMC在线监测装置的整体结构示意图；
图2为本发明半导体洁净厂房AMC在线监测装置的分气组件结构结构示意图；
图3为本发明半导体洁净厂房AMC在线监测装置的分气组件横剖结构示意图；
图4为本发明半导体洁净厂房AMC在线监测装置的富集组件横剖结构示意图；
图5为本发明半导体洁净厂房AMC在线监测装置的监测组件结构示意图；
图6为本发明半导体洁净厂房AMC在线监测装置的图5中A处放大结构示意图；
图7为本发明半导体洁净厂房AMC在线监测装置的驱动组件纵剖结构示意图。
图中：1、入气箱；2、入气组件；201、入气管；202、集流管；203、对接管套；3、电机；4、分气组件；401、分气箱；402、转动轴；403、储气通道；404、通流管；5、第一输气管；6、第一抽吸机；7、第二输气管；8、富集组件；801、富集箱；802、滴水管；803、出水口；804、活塞板；805、清洁管；9、第一抽吹管；10、抽吹一体机；11、第二抽吹管；12、出液管；13、监测组件；1301、监测箱；1302、伸缩管；1303、升降板；1304、电推杆；1305、滴液口；1306、电控转轴；1307、封存检测腔；1308、瓣膜通口；1309、配重块；1310、连杆；1311、推移板；1312、第二抽吸机；1313、抽水吸管；1314、排废管；1315、离子色谱仪。
具体实施方式
请参阅图1至图7，本发明提供技术方案：半导体洁净厂房AMC在线监测装置，包括入气箱1、富集组件8和监测组件13，入气箱1的底部设置有入气组件2，且入气箱1的顶部外侧安置有电机3，电机3的输出端连接有分气组件4，入气箱1的右部内侧连接有第一输气管5，且第一输气管5的末端连接有第一抽吸机6，且第一抽吸机6的右部外侧连接有第二输气管7，富集组件8安置于第二输气管7的末端，述富集组件8的底部外侧设置有第一抽吹管9，且第一抽吹管9的末端设置有抽吹一体机10，抽吹一体机10的顶部外侧设置有第二抽吹管11，富集组件8的右部外侧连接有出液管12，监测组件13安置于出液管12的输出端。
请参阅图1至图7，入气组件2包括入气管201、集流管202和对接管套203，入气管201的末端连接有集流管202，且集流管202的后部外侧设置有对接管套203，入气管201在集流管202底端呈阵列状分布，且入气管201通过集流管202与对接管套203相连通，分气组件4包括分气箱401、转动轴402、储气通道403和通流管404，分气箱401的上下两侧设置有转动轴402，且分气箱401的内部设置有储气通道403，且储气通道403的上下两侧连接有通流管404，储气通道403在分气箱401内部呈环状分布，且对接管套203通过储气通道403、通流管404与第一输气管5相连通，富集组件8包括富集箱801、滴水管802、出水口803、活塞板804和清洁管805，富集箱801的顶部内侧连接有滴水管802，且滴水管802的底部内侧开设有出水口803，滴水管802的外端安置有活塞板804，富集箱801的右部外侧连接有清洁管805，活塞板804与滴水管802套接连接，且活塞板804的外表面与富集箱801的内表面相贴合，监测组件13包括监测箱1301、伸缩管1302、升降板1303、电推杆1304、滴液口1305、电控转轴1306、封存检测腔1307、瓣膜通口1308、配重块1309、连杆1310、推移板1311、第二抽吸机1312、抽水吸管1313、排废管1314和离子色谱仪1315，监测箱1301的内侧顶端连接有伸缩管1302，且伸缩管1302的外端设置有升降板1303，升降板1303的顶部两侧设置有电推杆1304，伸缩管1302的底部末端设置有滴液口1305，监测箱1301的内侧中端设置有电控转轴1306，电控转轴1306的外端设置有封存检测腔1307，且封存检测腔1307的内侧中端开设有瓣膜通口1308，电控转轴1306的内侧安置有配重块1309，且配重块1309通过连杆1310与推移板1311连接，监测箱1301的内侧底端连接有第二抽吸机1312，且第二抽吸机1312的顶端连接有抽水吸管1313，第二抽吸机1312的底端连接排废管1314，监测箱1301的内部两侧设置有离子色谱仪1315，封存检测腔1307在电控转轴1306外端呈环状分布有四组，且封存检测腔1307转至最顶端时与离子色谱仪1315处于同一高度，配重块1309通过连杆1310与推移板1311固定连接，且推移板1311的外表面与封存检测腔1307的内表面相贴合；
具体操作如下：入气管201能接入不同的洁净室，通过第一抽吸机6工作，能使抽吸力通过输气管5、通流管404、储气通道403、对接管套203、集流管202进入至入气管201内，这使得第一抽吸机6能对洁净室内的空气进行抽吸，并通过第二输气管7输入至富集箱801内进行富集，入气管201内侧设置有电控阀，且所有入气管201与集流管202连通，当有复数洁净室之间互相连通工作时，与该洁净室对应位置入气管201处的电控阀会进行开启，并将多种气体吸入储气通道403内混合后再输入至富集箱801，通过一次性对多个洁净室内的气体混合后进行收集，这能避免洁净室连通后多种气体混合后形成AMC，而只对单一洁净室进行气体收集无法及时发现AMC生成的情况发生，此外设备在替换所检测的洁净室时，通过电机3工作，能使转动轴402带动分气箱401旋转，这使得分气箱401内部进行混气的储气通道403能进行替换，这能避免替换检测洁净室时依旧使用原有储气通道403，而原有储气通道403内气体未排空导致误判的情况发生，这能提升设备的检测精度，滴水管802能将反应溶液通过出水口803注入至富集箱801内部，而第二输气管7将洁净室的气体送入至富集箱801内部后，能与反应溶液混合进行富集操作，在气体与溶液富集的过程中，滴水管802会持续向富集箱801内滴加溶液，同时第二输气管7会持续向富集箱801内输入空气，当富集箱801内的溶液液面过高时，富集箱801内完成富集的溶液能通过出液管12流入至监测组件13内进行检测，因出水口803位于富集箱801较低端位置，且第二输气管7位于富集箱801同高位置，这使得气体和溶液能在富集箱801较底端位置进行充分富集，而设备在使用时，只需控制出水口803排水的速度，即可对富集的时间进行进行精准掌控，而以上操作过程中，能使设备保证富集和检测同时进行，而当富集箱801需要替换检测气体时，通过抽吹一体机10工作，能使第一抽吹管9产生抽吸力对富集箱801内的溶液进行抽离，同时清洁管805开启，能向富集箱801内灌入清水对富集箱801进行冲洗，同时抽吹一体机10向第二抽吹管11提供吹力，这使得活塞板804会因抽力以及吹力的牵引下在富集箱801内滑动，并配合清水的冲洗，对富集箱801内壁进行清洁，而活塞板804移动至富集箱801最底端后，即表明富集箱801内部清洗完成，而此时抽吹一体机10向第二抽吹管11提供吸力，并向第一抽吹管9提供吹力，能使活塞板804返回原位以便于后续的清洁流程，通过对富集箱801内部进行清洁，能有效避免富集箱801内部存在残液影响后续的检测精度，富集完成的液体，能通过出液管12进入至伸缩管1302内部，此时电推杆1304工作，能使升降板1303下移，因升降板1303与伸缩管1302套接，这使得伸缩管1302能进行延长，并使滴液口1305伸入至封存检测腔1307的瓣膜通口1308内侧，此时伸缩管1302内的电控阀开启，完成富集的溶液能进入至封存检测腔1307内进行储存，封存检测腔1307采用透明钢化玻璃材质制作，富集的溶液进入至封存检测腔1307内部后，离子色谱仪1315工作，通过对富集的溶液进行色谱分析，即可判断洁净室内AMC是否超标，富集的溶液检测完成后，通过电控转轴1306旋转，能带动检测完成的封存检测腔1307移动至与抽水吸管1313贴合处，此时第二抽吸机1312工作，便可使抽水吸管1313对封存检测腔1307内的液体进行抽出，而此时电控转轴1306其他位置的封存检测腔1307能移动至与滴液口1305底端，这使得设备能持续多次对富集溶液进行检测，通过富集组件8保证富集和检测同时进行，并配合监测组件13持续对富集溶液进行检测，使得富集后的待测成分含量准确地处于检测装置的选定含量区间(避开了含量过高和过低)，通过大量的数据检测，能降低设备的分析误差，进而很好地适应了半导体行业中各洁净室内痕量及超痕量空气污染物检测的需要，封存检测腔1307在进行排液时，电控转轴1306内侧的配重块1309会因重力下滑，而配重块1309下滑的过程中，能通过连杆1310带动推移板1311在封存检测腔1307内部进行位移，这使得推移板1311能配合抽水吸管1313将封存检测腔1307内的液体排出，而通过双重辅助排液，能有效保证封存检测腔1307内的溶液排空，这能避免封存检测腔1307内存在残液影响后续检测精度的情况发生，而封存检测腔1307回正后，配重块1309会因重力再次滑回电控转轴1306内部，而配重块1309回移后，能带动推移板1311重新移回封存检测腔1307底部，以方便后续的检测。
综上，该半导体洁净厂房AMC在线监测装置，使用时，首先入气管201能接入不同的洁净室，通过第一抽吸机6工作，能使抽吸力通过输气管5、通流管404、储气通道403、对接管套203、集流管202进入至入气管201内，这使得第一抽吸机6能对洁净室内的空气进行抽吸，并通过第二输气管7输入至富集箱801内进行富集，入气管201内侧设置有电控阀，且所有入气管201与集流管202连通，当有复数洁净室之间互相连通工作时，与该洁净室对应位置入气管201处的电控阀会进行开启，并将多种气体吸入储气通道403内混合后再输入至富集箱801，通过一次性对多个洁净室内的气体混合后进行收集，这能避免洁净室连通后多种气体混合后形成AMC，而只对单一洁净室进行气体收集无法及时发现AMC生成的情况发生；
然后设备在替换所检测的洁净室时，通过电机3工作，能使转动轴402带动分气箱401旋转，这使得分气箱401内部进行混气的储气通道403能进行替换，这能避免替换检测洁净室时依旧使用原有储气通道403，而原有储气通道403内气体未排空导致误判的情况发生，这能提升设备的检测精度；
接着滴水管802能将反应溶液通过出水口803注入至富集箱801内部，而第二输气管7将洁净室的气体送入至富集箱801内部后，能与反应溶液混合进行富集操作，在气体与溶液富集的过程中，滴水管802会持续向富集箱801内滴加溶液，同时第二输气管7会持续向富集箱801内输入空气，当富集箱801内的溶液液面过高时，富集箱801内完成富集的溶液能通过出液管12流入至监测组件13内进行检测，因出水口803位于富集箱801较低端位置，且第二输气管7位于富集箱801同高位置，这使得气体和溶液能在富集箱801较底端位置进行充分富集，而设备在使用时，只需控制出水口803排水的速度，即可对富集的时间进行进行精准掌控，而以上操作过程中，能使设备保证富集和检测同时进行；
随后当富集箱801需要替换检测气体时，通过抽吹一体机10工作，能使第一抽吹管9产生抽吸力对富集箱801内的溶液进行抽离，同时清洁管805开启，能向富集箱801内灌入清水对富集箱801进行冲洗，同时抽吹一体机10向第二抽吹管11提供吹力，这使得活塞板804会因抽力以及吹力的牵引下在富集箱801内滑动，并配合清水的冲洗，对富集箱801内壁进行清洁，而活塞板804移动至富集箱801最底端后，即表明富集箱801内部清洗完成，而此时抽吹一体机10向第二抽吹管11提供吸力，并向第一抽吹管9提供吹力，能使活塞板804返回原位以便于后续的清洁流程，通过对富集箱801内部进行清洁，能有效避免富集箱801内部存在残液影响后续的检测精度；
而后富集完成的液体，能通过出液管12进入至伸缩管1302内部，此时电推杆1304工作，能使升降板1303下移，因升降板1303与伸缩管1302套接，这使得伸缩管1302能进行延长，并使滴液口1305伸入至封存检测腔1307的瓣膜通口1308内侧，此时伸缩管1302内的电控阀开启，完成富集的溶液能进入至封存检测腔1307内进行储存，封存检测腔1307采用透明钢化玻璃材质制作，富集的溶液进入至封存检测腔1307内部后，离子色谱仪1315工作，通过对富集的溶液进行色谱分析，即可判断洁净室内AMC是否超标，富集的溶液检测完成后，通过电控转轴1306旋转，能带动检测完成的封存检测腔1307移动至与抽水吸管1313贴合处，此时第二抽吸机1312工作，便可使抽水吸管1313对封存检测腔1307内的液体进行抽出，而此时电控转轴1306其他位置的封存检测腔1307能移动至与滴液口1305底端，这使得设备能持续多次对富集溶液进行检测，通过富集组件8保证富集和检测同时进行，并配合监测组件13持续对富集溶液进行检测，使得富集后的待测成分含量准确地处于检测装置的选定含量区间(避开了含量过高和过低)，通过大量的数据检测，能降低设备的分析误差，进而很好地适应了半导体行业中各洁净室内痕量及超痕量空气污染物检测的需要；
最后封存检测腔1307在进行排液时，电控转轴1306内侧的配重块1309会因重力下滑，而配重块1309下滑的过程中，能通过连杆1310带动推移板1311在封存检测腔1307内部进行位移，这使得推移板1311能配合抽水吸管1313将封存检测腔1307内的液体排出，而通过双重辅助排液，能有效保证封存检测腔1307内的溶液排空，这能避免封存检测腔1307内存在残液影响后续检测精度的情况发生，而封存检测腔1307回正后，配重块1309会因重力再次滑回电控转轴1306内部，而配重块1309回移后，能带动推移板1311重新移回封存检测腔1307底部，以方便后续的检测。
本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
Claims (10)
1.半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，包括入气箱(1)、富集组件(8)和监测组件(13)，所述入气箱(1)的底部设置有入气组件(2)，且入气箱(1)的顶部外侧安置有电机(3)，所述电机(3)的输出端连接有分气组件(4)，所述入气箱(1)的右部内侧连接有第一输气管(5)，且第一输气管(5)的末端连接有第一抽吸机(6)，且第一抽吸机(6)的右部外侧连接有第二输气管(7)，所述富集组件(8)安置于第二输气管(7)的末端，所述述富集组件(8)的底部外侧设置有第一抽吹管(9)，且第一抽吹管(9)的末端设置有抽吹一体机(10)，所述抽吹一体机(10)的顶部外侧设置有第二抽吹管(11)，所述富集组件(8)的右部外侧连接有出液管(12)，所述监测组件(13)安置于出液管(12)的输出端。
2.根据权利要求1所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述入气组件(2)包括入气管(201)、集流管(202)和对接管套(203)，所述入气管(201)的末端连接有集流管(202)，且集流管(202)的后部外侧设置有对接管套(203)。
3.根据权利要求2所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述入气管(201)在集流管(202)底端呈阵列状分布，且入气管(201)通过集流管(202)与对接管套(203)相连通。
4.根据权利要求2所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述分气组件(4)包括分气箱(401)、转动轴(402)、储气通道(403)和通流管(404)，所述分气箱(401)的上下两侧设置有转动轴(402)，且分气箱(401)的内部设置有储气通道(403)，且储气通道(403)的上下两侧连接有通流管(404)。
5.根据权利要求4所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述储气通道(403)在分气箱(401)内部呈环状分布，且对接管套(203)通过储气通道(403)、通流管(404)与第一输气管(5)相连通。
6.根据权利要求1所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述富集组件(8)包括富集箱(801)、滴水管(802)、出水口(803)、活塞板(804)和清洁管(805)，所述富集箱(801)的顶部内侧连接有滴水管(802)，且滴水管(802)的底部内侧开设有出水口(803)，所述滴水管(802)的外端安置有活塞板(804)，所述富集箱(801)的右部外侧连接有清洁管(805)。
7.根据权利要求6所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述活塞板(804)与滴水管(802)套接连接，且活塞板(804)的外表面与富集箱(801)的内表面相贴合。
8.根据权利要求1所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述监测组件(13)包括监测箱(1301)、伸缩管(1302)、升降板(1303)、电推杆(1304)、滴液口(1305)、电控转轴(1306)、封存检测腔(1307)、瓣膜通口(1308)、配重块(1309)、连杆(1310)、推移板(1311)、第二抽吸机(1312)、抽水吸管(1313)、排废管(1314)和离子色谱仪(1315)，所述监测箱(1301)的内侧顶端连接有伸缩管(1302)，且伸缩管(1302)的外端设置有升降板(1303)，所述升降板(1303)的顶部两侧设置有电推杆(1304)，所述伸缩管(1302)的底部末端设置有滴液口(1305)，所述监测箱(1301)的内侧中端设置有电控转轴(1306)，所述电控转轴(1306)的外端设置有封存检测腔(1307)，且封存检测腔(1307)的内侧中端开设有瓣膜通口(1308)，所述电控转轴(1306)的内侧安置有配重块(1309)，且配重块(1309)通过连杆(1310)与推移板(1311)连接，所述监测箱(1301)的内侧底端连接有第二抽吸机(1312)，且第二抽吸机(1312)的顶端连接有抽水吸管(1313)，所述第二抽吸机(1312)的底端连接排废管(1314)，所述监测箱(1301)的内部两侧设置有离子色谱仪(1315)。
9.根据权利要求8所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述封存检测腔(1307)在电控转轴(1306)外端呈环状分布有四组，且封存检测腔(1307)转至最顶端时与离子色谱仪(1315)处于同一高度。
10.根据权利要求8所述的半导体洁净厂房AMC在线监测装置，其特征在于，所述配重块(1309)通过连杆(1310)与推移板(1311)固定连接，且推移板(1311)的外表面与封存检测腔(1307)的内表面相贴合。
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| CN117491178A (zh) * | 2024-01-02 | 2024-02-02 | 资阳建工建筑有限公司 | 一种具有多环境模拟功能的混凝土性能检测装置 |
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