CN116207022A - 一种减振固晶结构及固晶设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种减振固晶结构及固晶设备，具体包括机架和安装于机架上的第一横梁；第一横梁上安装有第一驱动组件，第一驱动组件的第一驱动端及第二驱动端能沿第一方向移动；第一驱动端上安装有固晶组件，第二驱动端上安装有平衡块；其中，平衡块的移动方向与固晶组件的移动方向相反。在进行固晶时，可以利用第一驱动组件带动固晶组件移动时，并通过固晶组件吸取芯片，实现芯片的移动，从而完成将芯片放置于指定位置的动作；在固晶的过程中，会涉及固晶组件的加速及减速的阶段，在此阶段中，通过平衡块相对于固晶组件的反向运动，产生与固晶组件相反的运动趋势，从而抵消固晶组件在加速及减速过程中所产生的振动，使得整体的精度得到提高。

Description

一种减振固晶结构及固晶设备

技术领域

本发明涉及固晶设备结构技术领域，尤其涉及一种减振固晶结构及固晶设备。

背景技术

固晶指的是通过胶体将晶片粘结在支架的指定区域，形成热通路或电通路，为后序的打线连接提供条件的一种工序；而固晶设备则指的是能够完成固晶这一工序的自动化设备。

当前的固晶设备如专利文件“CN113921434A”所述，其通常包括第一横梁和安装在第一横梁上的固晶机机头，其中，第一横梁上安装有电机及驱动丝杆，电机工作驱动丝杆转动，使固晶机头沿着第一横梁的水平移动；而固晶机机头包括滴胶头和吸附杆，滴胶头用于滴胶，吸附杆用于吸附晶片；通过上述设置，使得固晶机机头能够将吸附晶片，并通过点胶粘接于支架上。

然而，当前的固晶设备主要应用于LED晶片与支架的组装，其中，LED晶片的厚度较厚，通常超过100微米，通常上述固晶设备能够满足其精度要求。对于，存储芯片等各类芯片而言，其厚度较薄，可达20微米，对于尺寸较薄的芯片而言，其对精度的要求高。然而，对于上述的固晶设备而言，其固晶机头在移动的过程中，涉及频繁的加减速运动，在加速度较大的时候，固晶机头会产生振动，进而导致固晶设备整体的精度下降。

发明内容

本发明的目的在于提供一种减振固晶结构及固晶设备，来解决当前固晶设备精度不足的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种减振固晶结构，包括机架和安装于所述机架上的第一横梁；所述第一横梁上安装有第一驱动组件，所述第一驱动组件的第一驱动端及第二驱动端均能沿第一方向移动；

所述第一驱动端上安装有固晶组件，所述第二驱动端上安装有平衡块，所述固晶组件用于吸取芯片；其中，所述平衡块的移动方向与所述固晶组件的移动方向相反。

可选地，所述固晶组件包括安装于所述第一驱动端上的固晶底座；所述固晶底座上安装有第二驱动组件，所述第二驱动组件的第三驱动端能沿第二方向移动；所述第二方向与所述第一方向垂直；

所述第三驱动端上安装有吸取组件，所述吸取组件用于产生负压。

可选地，所述第三驱动端包括安装底板，所述安装底板与所述固晶底座滑动连接；且所述吸取组件安装于所述安装底板上；

所述固晶底座连接有第一定位柱，所述安装底板连接有第二定位柱，所述第一定位柱与所述第二定位柱之间连接有拉簧；所述拉簧的一端套设于所述第一定位柱上，所述拉簧的另一端套设于所述第二定位柱上。

可选地，所述安装底板上还安装有导线板，所述导线板上安装有多个导线块，所述导线块与所述导线板之间留有间隙。

可选地，所述导线板包括沿所述第二方向延伸设置的第一延伸部和沿所述第一方向延伸设置的第二延伸部；所述第一延伸部设置于所述第二驱动组件的一侧，所述第二延伸部设置于所述安装底板与所述第二驱动组件之间；

所述导线块包括第一导线块与第二导线块，所述第一导线块安装于所述第一延伸部上，所述第二导线块安装于所述第二延伸部上；

所述第一导线块沿所述第一方向的两个第一端部分别通过紧固件与所述第一延伸部连接；

所述第二导线块的两个第二端部分别通过紧固件与所述第二延伸部连接；其中，所述第二导线块倾斜设置，且设置于所述吸取组件与所述第一导线块之间。

可选地，所述第一驱动端包括第一驱动滑座，所述第一驱动滑座沿所述第一方向与所述第一横梁滑动连接；

所述第一驱动滑座沿朝向所述固晶组件的方向凸设有定位凸台，所述定位凸台与所述固晶底座抵接；其中，所述定位凸台及所述导线板分别位于所述第一驱动滑座的两端。

可选地，所述机架与所述第一横梁之间设置有第三驱动组件；所述第三驱动组件安装于所述机架上，所述第一横梁安装于所述第三驱动组件的第四驱动端上，所述第四驱动端能沿第三方向移动；

所述第三方向分别与所述第一方向及所述第二方向垂直。

可选地，所述第三驱动组件包括第二横梁，所述第一横梁朝向所述第二横梁的一侧凸设有横梁连接部；所述横梁连接部沿所述第三方向与所述第二横梁滑动连接。

可选地，所述第二横梁朝向所述第一横梁的一侧开设有定位槽；

所述第一横梁与所述横梁连接部之间设置有第一连接板部及第二连接板部，所述第一连接板部与所述第二连接板部设置于所述定位槽中；

其中，所述第一连接板部与所述定位槽的一侧槽壁抵接，所述第二连接板部与所述定位槽的另一侧槽壁抵接。

一种固晶设备，包如支架上料结构、晶圆上料结构及如上所述的一种减振固晶结构。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明提供的减振固晶结构及固晶设备，其在进行固晶时，可以利用第一驱动组件带动固晶组件移动时，并通过固晶组件吸取芯片，实现芯片的移动，从而完成将芯片放置于指定位置的动作；在固晶的过程中，会涉及固晶组件的加速及减速的阶段，在此阶段中，通过平衡块相对于固晶组件的反向运动，产生与固晶组件相反的运动趋势，从而抵消固晶组件在加速及减速过程中所产生的振动，使得整体的精度得到提高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为本发明实施例提供的减振固晶结构的整体结构示意图；

图2为本发明实施例提供的固晶组件的整体结构示意图；

图3为本发明实施例提供的固晶组件的正视结构示意图；

图4为本发明实施例提供的固晶组件的***结构示意图；

图5为本发明实施例提供的减振固晶结构的第一局部结构示意图；

图6为本发明实施例提供的减振固晶结构的第二局部结构示意图；

图7为本发明实施例提供的减振固晶结构的第三局部结构示意图。

图示说明：10、机架；20、第一横梁；21、横梁连接部；22、第一连接板部；23、第二连接板部；30、第一驱动组件；31、第一驱动滑座；32、定位凸台；

40、固晶组件；41、固晶底座；42、第二驱动组件；43、吸取组件；44、安装底板；451、第一定位柱；452、第二定位柱；453、拉簧；46、导线板；461、第一延伸部；462、第二延伸部；47、导线块；471、第一导线块；472、第二导线块；

50、平衡块；60、第三驱动组件；61、第二横梁；611、定位槽。

具体实施方式

为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

请参考图1至图7，图1为本发明实施例提供的减振固晶结构的整体结构示意图，图2为本发明实施例提供的固晶组件的整体结构示意图，图3为本发明实施例提供的固晶组件的正视结构示意图，图4为本发明实施例提供的固晶组件的***结构示意图，图5为本发明实施例提供的减振固晶结构的第一局部结构示意图，图6为本发明实施例提供的减振固晶结构的第二局部结构示意图，图7为本发明实施例提供的减振固晶结构的第三局部结构示意图。

实施例一

本实施例提供的减震固晶结构，应用于固晶设备上，特别适用于尺寸较薄的芯片的固晶场景，其中，通过对结构进行优化，使其振动减少，令精度得到提高。

如图1所示，本实施例中的减振固晶结构包括机架10和安装于机架10上的第一横梁20；第一横梁20上安装有第一驱动组件30，第一驱动组件30的第一驱动端及第二驱动端均能沿第一方向移动；其中，第一驱动组件30可以包括两组沿第一方向排布的直线电机，第一驱动端安装在其中一个直线电机的移动端上，第二驱动端安装在另一个直线电机的移动端上，且两个直线电机是独立控制的，因此，第一驱动端与第二驱动端可以分别独立运动；第一驱动端上安装有固晶组件40，第二驱动端上安装有平衡块50，其中，平衡块50的重量与固晶组件40相匹配，固晶组件40用于吸取芯片；其中，平衡块50的移动方向与固晶组件40的移动方向相反，可以理解的是，通过控制两个直线电机，并且令两个直线电机的运动方向相反，即可令第一驱动端与第二驱动端相向运动，或，背离运动，即使得平衡块50的移动方向与固晶组件40的移动方向始终相反。其中，直线电机可以用配置有电机的滚珠丝杆模块替代，或者，用配置有电机的齿轮齿条结构替代，能够对应地驱动固晶组件40或平衡块50即可。

具体地，在进行固晶时，可以利用第一驱动组件30带动固晶组件40移动时，并通过固晶组件40吸取芯片，实现芯片的移动，从而完成将芯片放置于指定位置的动作，更加具体地，能够完成从基膜上获取芯片，并将芯片放置于芯片支架上；在固晶的过程中，会涉及固晶组件40的加速及减速的阶段，在此阶段中，由于第一驱动端与第二驱动端的运动方向相反，使得平衡块50产生与固晶组件40相反的运动趋势，因此可通过平衡块50相对于固晶组件40的反向运动，产生与固晶组件40相反的运动趋势，从而抵消固晶组件40在加速及减速过程中所产生的振动，使得整体的精度得到提高。

如图1至图4所示，固晶组件40包括安装于第一驱动端上的固晶底座41；固晶底座41上安装有第二驱动组件42，第二驱动组件42为直线电机、配置有电机的滚珠丝杆模块、配置有电机的齿轮齿条结构等具备直线移动功能的结构；第二驱动组件42的第三驱动端能沿第二方向移动；第二方向与第一方向垂直；第三驱动端上安装有吸取组件43，吸取组件43用于产生负压，吸取组件43可以为真空吸盘，真空吸盘通过气管连通有负压发生装置，以产生负压来吸取芯片；更具体地，第二方向为垂直于芯片的方向，能够通过第二驱动组件42带动吸取组件43沿靠近或远离芯片的方向运动。示例性的，当需要吸取芯片时，可以通过第二驱动组件42带动吸取组件43下移，便于吸取组件43吸取芯片；然后，第二驱动组件42带动芯片上升，第一驱动组件30带动芯片沿第一方向移动，移动至芯片支架上方后，通过第二驱动组件42带动吸取组件43下移，便于吸取组件43将芯片放置到芯片支架上。

进一步地，如图2至图4所示，第三驱动端包括安装底板44，安装底板44与固晶底座41滑动连接；且吸取组件43安装于安装底板44上；固晶底座41连接有第一定位柱451，安装底板44连接有第二定位柱452，第一定位柱451与第二定位柱452之间连接有拉簧453；拉簧453的一端套设于第一定位柱451上，拉簧453的另一端套设于第二定位柱452上。其中，通过拉簧453的设置，能够在第三驱动端及安装底板44下移的过程中，为安装底板44提供反向的拉伸力，使得吸取组件43在下移过程中更加稳定；另外，在吸取组件43上移的过程中，其弹性势能释放，能够帮助安装底板44更快地复位。

进一步地，如图3和图4所示，安装底板44上还安装有导线板46，导线板46上安装有多个导线块47，导线块47与导线板46之间留有间隙；其中，通过导线板46与导线块47的设置，能够将电线及气管穿过上述的间隙并与吸取组件43相连，导线板46与导线块47能够起到对上述线路的定位及限位作用。

在本实施例中，导线板46包括沿第二方向延伸设置的第一延伸部461和沿第一方向延伸设置的第二延伸部462；第一延伸部461设置于第二驱动组件42的一侧，第二延伸部462设置于安装底板44与第二驱动组件42之间；即导线板46整体呈“L”型设置。导线块47包括第一导线块471与第二导线块472，第一导线块471安装于第一延伸部461上，第二导线块472安装于第二延伸部462上。

其中，第一导线块471沿第一方向的两个第一端部分别通过紧固件与第一延伸部461连接；第二导线块472的两个第二端部分别通过紧固件与第二延伸部462连接；其中，第二导线块472倾斜设置，且设置于吸取组件43与第一导线块471之间。可以理解的是，电线及气管先穿过第一导线块471与第一延伸部461之间的间隙，沿第二方向，向靠近吸取组件43的方向移动；然后，通过倾斜设置的第二导线块472，使得电线及气管被第二导线块472与第二延伸部462之间的间隙导向吸取组件43，即与吸取组件43相连的管路结构可以先沿第二方向经过第一导线块471与第一延伸部461之间的间隙，然后沿与第二方向呈一夹角的倾斜方向，经过第二导线块472与第二延伸部462之间的间隙，使得管路结构圆滑地、无突变地接入吸取组件43，并且管路结构不易偏位或摆动，使得上述的管路结构在第一驱动组件30运动的过程中更加稳定，进一步减少振动的影响。

进一步地，如图4所示，第一驱动端包括第一驱动滑座31，第一驱动滑座31沿第一方向与第一横梁20滑动连接；第一驱动滑座31沿朝向固晶组件40的方向凸设有定位凸台32，定位凸台32与固晶底座41抵接；其中，定位凸台32及导线板46分别位于第一驱动滑座31的两端。可以理解的是，定位凸台32能够辅助固晶组件40快速定位并安装于第一驱动滑座31上，同时，导线板46、导线块47及管路结构的主要重量分布于第一驱动端的一端(左侧)，而设置于右侧的定位凸台32分布于第一驱动端的另一端(右侧)，能够平衡第一驱动端上的整体重量，使得重心位于固晶组件40的中线处，不易发生倾斜或摆动，使得整体更加稳定。

进一步地，如图5至图7所示，机架10与第一横梁20之间设置有第三驱动组件60；第三驱动组件60安装于机架10上，第一横梁20安装于第三驱动组件60的第四驱动端上，第四驱动端能沿第三方向移动；第三方向分别与第一方向及第二方向垂直。其中，第三驱动组件60为直线电机、配置有电机的滚珠丝杆模块、配置有电机的齿轮齿条结构等具备直线移动功能的结构，第三方向与第一方向均位于水平面上，第三驱动组件60与第一驱动组件30配合，即可实现固晶组件40在水平面上的移动。

进一步地，第三驱动组件60包括第二横梁61，第一横梁20朝向第二横梁61的一侧凸设有横梁连接部21；横梁连接部21沿第三方向与第二横梁61滑动连接。其中，横梁连接部21上形成有安装槽，第二横梁61上沿第三方向设置有滑轨，滑轨通过滑块安装于该安装槽中，以实现第一横梁20相对于第二横梁61的滑动。

进一步地，如图6与图7所示，第二横梁61朝向第一横梁20的一侧开设有定位槽611；第一横梁20与横梁连接部21之间设置有第一连接板部22及第二连接板部23，第一连接板部22与第二连接板部23设置于定位槽611中；其中，第一连接板部22与定位槽611的一侧槽壁抵接，第二连接板部23与定位槽611的另一侧槽壁抵接。可以理解的是，第一连接板部22与第二连接板部23相当于加强筋，起到加固第一横梁20的作用，同时通过连接板部余定位槽611之间的配合，能够提高第一横梁20相对于第二横梁61之间的定位精度，使得整体的精度进一步提高。

综上所述，本发明提供的减振固晶结构，具备振动少且精度高的优点，同时还具备结构紧凑、稳定性高、结构稳固等优点。

实施例二

本实施例的固晶设备包括支架上料结构、晶圆上料结构如实施例一中的减振固晶结构。实施例一中叙述了关于减振固晶结构的具体结构及技术效果，本实施例的固晶设备引用了该结构，同样具有其技术效果。其中，支架上料结构可以为一传送结构，该传送结构可以通过传送带等结构向减振固晶结构输入芯片支架；晶圆上料结构可以为一传送结构，该传送结构可以通过传送带等结构向减振固晶结构输入芯片；而减振固晶结构则可以将该芯片固定于芯片支架上；另外地，固晶设备还可以包括点胶结构，点胶结构可以在芯片支架上点胶以粘接芯片。

综上所述，本发明提供的固晶设备，具备振动少且精度高的优点，同时还具备结构紧凑、稳定性高、结构稳固等优点。

以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种减振固晶结构，其特征在于，包括机架(10)和安装于所述机架(10)上的第一横梁(20)；所述第一横梁(20)上安装有第一驱动组件(30)，所述第一驱动组件(30)的第一驱动端及第二驱动端均能沿第一方向移动；

所述第一驱动端上安装有固晶组件(40)，所述第二驱动端上安装有平衡块(50)，所述固晶组件(40)用于吸取芯片；其中，所述平衡块(50)的移动方向与所述固晶组件(40)的移动方向相反。

2.根据权利要求1所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述固晶组件(40)包括安装于所述第一驱动端上的固晶底座(41)；所述固晶底座(41)上安装有第二驱动组件(42)，所述第二驱动组件(42)的第三驱动端能沿第二方向移动；所述第二方向与所述第一方向垂直；

所述第三驱动端上安装有吸取组件(43)，所述吸取组件(43)用于产生负压。

3.根据权利要求2所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述第三驱动端包括安装底板(44)，所述安装底板(44)与所述固晶底座(41)滑动连接；且所述吸取组件(43)安装于所述安装底板(44)上；

所述固晶底座(41)连接有第一定位柱(451)，所述安装底板(44)连接有第二定位柱(452)，所述第一定位柱(451)与所述第二定位柱(452)之间连接有拉簧(453)；所述拉簧(453)的一端套设于所述第一定位柱(451)上，所述拉簧(453)的另一端套设于所述第二定位柱(452)上。

4.根据权利要求3所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述安装底板(44)上还安装有导线板(46)，所述导线板(46)上安装有多个导线块(47)，所述导线块(47)与所述导线板(46)之间留有间隙。

5.根据权利要求4所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述导线板(46)包括沿所述第二方向延伸设置的第一延伸部(461)和沿所述第一方向延伸设置的第二延伸部(462)；所述第一延伸部(461)设置于所述第二驱动组件(42)的一侧，所述第二延伸部(462)设置于所述安装底板(44)与所述第二驱动组件(42)之间；

所述导线块(47)包括第一导线块(471)与第二导线块(472)，所述第一导线块(471)安装于所述第一延伸部(461)上，所述第二导线块(472)安装于所述第二延伸部(462)上；

所述第一导线块(471)沿所述第一方向的两个第一端部分别通过紧固件与所述第一延伸部(461)连接；

所述第二导线块(472)的两个第二端部分别通过紧固件与所述第二延伸部(462)连接；其中，所述第二导线块(472)倾斜设置，且设置于所述吸取组件(43)与所述第一导线块(471)之间。

6.根据权利要求5所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述第一驱动端包括第一驱动滑座(31)，所述第一驱动滑座(31)沿所述第一方向与所述第一横梁(20)滑动连接；

所述第一驱动滑座(31)沿朝向所述固晶组件(40)的方向凸设有定位凸台(32)，所述定位凸台(32)与所述固晶底座(41)抵接；其中，所述定位凸台(32)及所述导线板(46)分别位于所述第一驱动滑座(31)的两端。

7.根据权利要求2所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述机架(10)与所述第一横梁(20)之间设置有第三驱动组件(60)；所述第三驱动组件(60)安装于所述机架(10)上，所述第一横梁(20)安装于所述第三驱动组件(60)的第四驱动端上，所述第四驱动端能沿第三方向移动；

所述第三方向分别与所述第一方向及所述第二方向垂直。

8.根据权利要求7所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述第三驱动组件(60)包括第二横梁(61)，所述第一横梁(20)朝向所述第二横梁(61)的一侧凸设有横梁连接部(21)；所述横梁连接部(21)沿所述第三方向与所述第二横梁(61)滑动连接。

9.根据权利要求8所述的一种减振固晶结构，其特征在于，所述第二横梁(61)朝向所述第一横梁(20)的一侧开设有定位槽(611)；

所述第一横梁(20)与所述横梁连接部(21)之间设置有第一连接板部(22)及第二连接板部(23)，所述第一连接板部(22)与所述第二连接板部(23)设置于所述定位槽(611)中；

其中，所述第一连接板部(22)与所述定位槽(611)的一侧槽壁抵接，所述第二连接板部(23)与所述定位槽(611)的另一侧槽壁抵接。

10.一种固晶设备，其特征在于，包如支架上料结构、晶圆上料结构及如权利要求1-9中任一项所述的一种减振固晶结构。

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