CN116140816A - 激光3d蚀刻清洗设备 - Google Patents

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CN116140816A
CN116140816A CN202310223855.XA CN202310223855A CN116140816A CN 116140816 A CN116140816 A CN 116140816A CN 202310223855 A CN202310223855 A CN 202310223855A CN 116140816 A CN116140816 A CN 116140816A
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China
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laser
mirror
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昌斌
黎锦宁
宋成明
李善基
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Shenzhen Mingchuang Intelligent Equipment Co ltd
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Shenzhen Mingchuang Intelligent Equipment Co ltd
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    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/362—Laser etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Abstract

本申请涉及一种激光3D蚀刻清洗设备，其中，激光器所发出的激光经扫描振镜的偏摆而改变照射方向，从而激光可经第一反射镜反射后照射至第一表面、或可直接照射至第二表面、或可经第二反射镜反射后照射至第三表面，且当扫描振镜在既定角度范围内偏摆时能够维持激光照射于待清洗工件的单一表面并对其进行清洗，而在扫描振镜偏摆超出既定角度范围后，即可改变激光的照射方向至待清洗工件的其他表面而对其他表面进行清洗。如此，在第一反射镜与第二反射镜的配合下，仅通过扫描振镜的偏摆即可实现对待清洗工件空间内三个平面的清洗，无需改变待清洗工件的姿态，清洗操作简单易行，清洗效率较高，同时设备成本较低。

Description

激光3D蚀刻清洗设备
技术领域
本申请涉及激光清洗技术领域，特别是涉及一种激光3D蚀刻清洗设备。
背景技术
目前，在利用激光对尺寸较小的工件(例如MiniLED显示屏内部的玻璃基板)执行三面蚀刻清洗时，行业内大多数的做法是将工件置于夹具或机械手上，通过夹具或机械手的翻转来改变工件的姿态，从而实现激光对不同平面的清洗。
然而，夹具或机械手带动工件翻转改变姿态的过程不仅会占用一定时间，而且还导致激光的蚀刻清洗动作不连续，如此就使得设备的清洗效率降低。
发明内容
基于此，有必要提供一种清洗效率较高的激光3D蚀刻清洗设备。
一种激光3D蚀刻清洗设备，用于对待清洗工件顺次连接的第一表面、第二表面及第三表面进行扫描清洗，激光3D蚀刻清洗设备包括：
激光器，用于发射激光；
清洗镜组，包括扫描振镜、第一反射镜及第二反射镜，所述扫描振镜设置于所述激光的传导路径上并位于所述第二表面的一侧，所述第一反射镜位于所述第一表面一侧，所述第二反射镜位于所述第三表面一侧；所述扫描振镜能够摆动以使所述激光照射至所述第一反射镜或所述第二表面或所述第二反射镜，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第一反射镜并经所述第一反射镜反射至所述第一表面的激光对所述第一表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二表面的激光对所述第二表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二反射镜并经所述第二反射镜反射至所述第三表面的激光对所述第三表面进行清洗。
上述激光3D蚀刻清洗设备中，激光器所发出的激光经扫描振镜的偏摆而改变照射方向，从而激光可经第一反射镜反射后照射至第一表面、或可直接照射至第二表面、或可经第二反射镜反射后照射至第三表面，且当扫描振镜在既定角度范围内偏摆时能够维持激光照射于待清洗工件的单一表面并对其进行清洗，而在扫描振镜偏摆超出既定角度范围后，即可改变激光的照射方向至待清洗工件的其他表面而对其他表面进行清洗。如此，在将待清洗工件放置于第一反射镜与第二反射镜之间后，在第一反射镜与第二反射镜的配合下，仅通过扫描振镜的偏摆即可实现对待清洗工件空间内三个平面的清洗，无需改变待清洗工件的姿态，从而使得清洗动作连续进行，清洗操作简单易行，清洗效率较高。此外，考虑到扫描振镜的价格较为昂贵，本申请通过仅使用一个扫描振镜，并配合两个价格较为低廉的反射镜即可实现对待清洗工件空间内三个平面的清洗，与行业内使用多个扫描振镜的方案相比也使得设备成本得到较大程度的降低。
在其中一个实施例中，所述激光3D蚀刻清洗设备包括光学整形镜组，所述光学整形镜组包括扩束镜及变焦镜，所述激光器、所述扩束镜、所述变焦镜及所述扫描振镜沿所述激光的传导路径顺次设置，所述变焦镜能够沿所述激光的传导方向相对所述扫描振镜运动。
在其中一个实施例中，所述光学整形镜组包括变焦驱动件，所述变焦驱动件与所述变焦镜连接，以驱动所述变焦镜运动；所述激光3D蚀刻清洗设备包括控制***，所述变焦驱动件、所述扫描振镜均与所述控制***通信连接。
在其中一个实施例中，所述光学整形镜组包括第三反射镜及第四反射镜，所述第三反射镜与所述第四反射镜均设置于所述激光的传导路径上，且两者相对设置，并均与入射激光呈45°夹角；所述第三反射镜位于所述激光器与所述扩束镜之间，所述第四反射镜位于所述扩束镜与所述变焦镜之间。
在其中一个实施例中，所述第一反射镜与所述第二反射镜相对设置，且两者之间呈90°夹角。
在其中一个实施例中，所述清洗镜组包括场镜，所述场镜安装于所述扫描振镜，且沿所述激光的传导方向位于所述扫描振镜的后方。
在其中一个实施例中，所述清洗镜组包括结构腔体、两个Z向调整滑台及两个姿态调整架，所述结构腔体设于所述扫描振镜***，两个所述Z向调整滑台沿Z方向间隔安装于所述结构腔体，两个所述姿态调整架与两个所述Z向调整滑台一一对应连接，以在所述Z向调整滑台的带动下沿Z方向移动，所述第一反射镜与所述第二反射镜分别连接于两个所述姿态调整架，以分别在所述姿态调整架的带动下调整姿态。
在其中一个实施例中，所述激光3D蚀刻清洗设备包括运动平台、载台、定位识别组件及控制***，所述载台用于承载待清洗工件，所述运动平台与所述载台连接以驱动所述载台运动而调整所述待清洗工件的位置；所述定位识别组件为两个，两个所述定位识别组件间隔设置并能够对所述待清洗工件上的两个特征点进行一一对应识别；所述运动平台及所述定位识别组件均与所述控制***通信连接。
在其中一个实施例中，所述运动平台包括顺次连接的基座、Y向运动座、X向运动座、水平旋转座，所述Y向运动座安装于所述基座，所述Y向运动座能够驱动所述X向运动座沿Y方向相对所述基座滑动，所述X向运动座能够驱动所述水平旋转座沿X方向滑动，所述水平旋转座能够驱动所述载台在所述X方向及所述Y方向所限定的平面内旋转。
在其中一个实施例中，所述定位识别组件包括光源及相机，所述相机用于对所述待清洗工件上的特征点进行拍照识别，所述光源用于对所述相机的视野范围进行曝光。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例的激光3D蚀刻清洗设备的结构示意图；
图2为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中清洗镜组的结构示意图；
图3为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中运动平台除基座之外其余结构的示意图；
图4为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中激光自激光器至场镜的传导路径示意图；及
图5为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中激光的自场镜至工件表面的传导示意图；
附图标记说明：
10、激光3D蚀刻清洗设备；20、待清洗工件；21、第一表面；22、第二表面；23、第三表面；11、激光器；12、清洗镜组；121、扫描振镜；122、第一反射镜；123、第二反射镜；124、场镜；125、结构腔体；126、Z向调整滑台；127、姿态调整架；127a、第一调整块；127b、第二调整块；13、光学整形镜组；131、扩束镜；132、变焦镜；133、变焦驱动件；134、第三反射镜；135、第四反射镜；136、防护罩；14、运动平台；141、基座；142、Y向运动座；142a、Y向滑轨；142b、Y向滑块；143、X向运动座；143a、X向滑轨；143b、X向滑块；144、水平旋转座；144a、固定座；144b、旋转座；15、载台；16、定位识别组件；161、光源；162、相机。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
结合图1至图5所示，本申请保护一种激光3D蚀刻清洗设备10，其用于对待清洗工件20进行扫描清洗。具体地，待清洗工件20具有顺次连接的第一表面21、第二表面22及第三表面23。激光3D蚀刻清洗设备10包括激光器11及清洗镜组12，激光器11用于发射激光，清洗镜组12用于改变激光的传导方向，以使激光对待清洗工件20进行清洗。
具体地，清洗镜组12包括扫描振镜121、第一反射镜122及第二反射镜123，扫描振镜121设置于激光的传导路径上并位于第二表面22的一侧，第一反射镜122位于第一表面21一侧，第二反射镜123位于第三表面23一侧。扫描振镜121能够摆动以使激光照射至第一反射镜122或第二表面22或第二反射镜123，扫描振镜121能够通过摆动以使照射至第一反射镜122并经第一反射镜122反射至第一表面21的激光对第一表面21进行清洗，扫描振镜121能够通过摆动以使照射至第二表面22的激光对第二表面22进行清洗，扫描振镜121能够通过摆动以使照射至第二反射镜123并经第二反射镜123反射至第三表面23的激光对第三表面23进行清洗。
可以理解，第一表面21与第三表面23沿待清洗工件20的厚度方向相对设置，从而第二表面22连接于第一表面21与第三表面23之间而构成待清洗工件20的侧面。
可以理解，在本申请中图5所示的待清洗工件20中，第一表面21、第二表面22及第三表面23均为平面，且第一表面21与第三表面23平行。在其他实施例中，第一表面21、第二表面22及第三表面23还可以为曲面，第一表面21与第三表面23还可以存在夹角。在本申请中，待清洗工件20可以为塑料板、金属板、陶瓷板、玻璃板等板材，本申请的激光3D蚀刻清洗设备10可以对板材单面、双面或者三面实现高精度精细蚀刻、清洗、标记。
可以理解，扫描振镜121通过摆动就可以改变激光的照射方向，从而使得激光照射至第一反射镜122、第二反射镜123、第二表面22中的任何一个上。
当激光照射至第一反射镜122时，扫描振镜121在第一既定角度范围内偏摆都能够维持激光照射至第一反射镜122，且激光在第一反射镜122的反射下照射至第一表面21，随着扫描振镜121在该第一既定角度范围内偏摆，激光照射至第一表面21的位置改变，进而实现对第一表面21的蚀刻清洗。
当激光直接照射至第二表面22时，扫描振镜121在第二既定角度范围内偏摆都能够维持激光照射至第二表面22，随着扫描振镜121在该第二既定角度范围内偏摆，激光照射至第二表面22的位置改变，进而实现对第二表面22的蚀刻清洗。
当激光照射至第二反射镜123时，扫描振镜121在第三既定角度范围内偏摆都能够维持激光照射至第二反射镜123，且激光在第二反射镜123的反射下照射至第三表面23，随着扫描振镜121在该第三既定角度范围内偏摆，激光照射至第三表面23的位置改变，进而实现对第三表面23的蚀刻清洗。
上述激光3D蚀刻清洗设备10中，激光器11所发出的激光经扫描振镜121的偏摆而改变照射方向，从而激光可经第一反射镜122反射后照射至第一表面21、或可直接照射至第二表面22、或可经第二反射镜123反射后照射至第三表面23，且当扫描振镜121在既定角度范围内偏摆时能够维持激光照射于待清洗工件20的单一表面并对其进行清洗，而在扫描振镜121偏摆超出既定角度范围后，即可改变激光的照射方向至待清洗工件20的其他表面而对其他表面进行清洗。如此，在将待清洗工件20放置于第一反射镜122与第二反射镜123之间后，在第一反射镜122与第二反射镜123的配合下，仅通过扫描振镜121的偏摆即可实现对待清洗工件20空间内三个平面的清洗，无需改变待清洗工件20的姿态，从而使得清洗动作连续进行，清洗操作简单易行，清洗效率较高。此外，考虑到扫描振镜121的价格较为昂贵，本申请通过仅使用一个扫描振镜121，并配合两个价格较为低廉的反射镜即可实现对待清洗工件20空间内三个平面的清洗，与行业内使用多个扫描振镜121的方案相比也使得设备成本得到较大程度的降低。
继续参阅图1至图5，具体在本申请实施方式中，激光3D蚀刻清洗设备10包括光学整形镜组13，光学整形镜组13包括扩束镜131及变焦镜132，激光器11、扩束镜131、变焦镜132及扫描振镜121沿激光的传导路径顺次设置，变焦镜132能够沿激光的传导方向相对扫描振镜121运动。
可以理解，激光器11所发射出的激光顺次进入扩束镜131、变焦镜132、扫描振镜121。扩束镜131能够对激光的光束直径及发散角进行调整，变焦镜132通过运动来改变激光的焦点位置。
可以理解，激光从扫描振镜121传导至第一表面21的传导路程大于激光从扫描振镜121传导至第二表面22的传导路程，因而需要对激光的焦点进行调整，使得第一表面21及第二表面22都能恰好位于激光的焦点位置，才能保证激光由对第一表面21清洗转换为对第二表面22清洗时都能维持较好的清洗质量。具体地，激光由对第一表面21清洗转换为对第二表面22清洗时，变焦镜132向远离扫描振镜121的方向运动，从而使得焦距缩短，从而焦点向扫描振镜121靠近。
如此，在扫描振镜121偏摆而使激光从照射至待清洗工件20的一个表面转换到照射至待清洗工件20的其他表面时，激光的传导路程会有较大的改变，通过变焦镜132的运动可以使激光入射到扫描振镜121后激光束发散角改变，进而改变后续场镜124聚焦后的加工焦点位置，即变焦镜132的运动可以改变加工焦点的位置，进而在待清洗工件20的表面都位于焦点位置时获得较好的清洗效果。
进一步地，光学整形镜组13包括变焦驱动件133，变焦驱动件133与变焦镜132连接，以驱动变焦镜132运动。激光3D蚀刻清洗设备10包括控制***(未示出)，变焦驱动件133、扫描振镜121均与控制***通信连接。
可以理解，控制***能够控制扫描振镜121沿设定的偏摆路径偏摆，并根据扫描振镜121的偏摆路径控制变焦驱动件133驱动变焦镜132运动，从而使激光改变清洗平面时变焦镜132也同步运动而调整焦点。
具体在本申请实施方式中，光学整形镜组13包括第三反射镜134及第四反射镜135，第三反射镜134与第四反射镜135均设置于激光的传导路径上，且相对设置，并均与入射激光呈45°夹角。第三反射镜134位于激光器11与扩束镜131之间，第四反射镜135位于扩束镜131与变焦镜132之间。
第三反射镜134与第四反射镜135均为平面反射镜，第三反射镜134的反射面与第四反射镜135的反射面呈90°夹角相对设置，如此，从激光器11发射的激光在照射至第三反射镜134后，经过第三反射镜134的反射而转换方向后入射至扩束镜131，从扩束镜131射出的激光在照射至第四反射镜135后，经过第四反射镜135的反射而转换方向后入射至变焦镜132，从而第三反射镜134的入射激光与第四反射镜135的出射激光的传导方向平行且方向相反，进而扫描振镜121与激光器11可设置于光学整形镜组13的同一侧，从而有助于将各器件设置的较为集中，进而达到对空间的合理、有效利用。
在其他实施方式中，第三反射镜134与第四反射镜135与入射激光之间的夹角不限于45°，还可以为30°或60°等其他角度。第三反射镜134与第四反射镜135均为平面反射镜的情况下，第三反射镜134的反射面与第四反射镜135的反射面之间的夹角也可以不限于90°。具体地，在本申请中，光学整形镜组13包括防护罩136，第三反射镜134、扩束镜131、第四反射镜135、变焦镜132均位于防护罩136内部，防护罩136呈立方体结构，且其一侧面上间隔的开设有入光口(未示出)及出光口(未示出)，激光器11对应入光口设置，扫描振镜121对应出光口设置，从而激光器11与扫描振镜121位于防护罩136的同一侧。
继续参阅图1至图5，具体在本申请实施方式中，清洗镜组12包括场镜124，场镜124安装于扫描振镜121，且沿激光的传导方向位于扫描振镜121的后方。可以理解，从扫描振镜121出射的激光又入射至场镜124，激光在从场镜124出射后照射至第一反射镜122或第二反射镜123或第二表面22。可以理解，在扫描振镜121在既定角度范围内偏摆而使激光对待清洗工件20的单一表面进行清洗时，激光的传导路程在小范围内改变，场镜124的设置可以对激光进行调焦，以使激光的焦点维持在较小的范围内波动，从而确保对待清洗工件20的单一表面上的各个清洗位置都能够处于焦点位置而获得较好的清洗效果。
具体在本申请实施方式中，第一反射镜122与第二反射镜123相对设置，且两者之间呈90°夹角。第一反射镜122与第二反射镜123均为平面反射镜，第一反射镜122的反射面与第二反射镜123的反射面呈90°夹角相对设置，如此，从扫描振镜121导出的激光在照射至第一反射镜122后，经过第一反射镜122的反射后照射至第一表面21，从扫描振镜121导出的激光在照射至第二反射镜123后，经过第二反射镜123的反射后照射至第三表面23。
在本申请中，第一反射镜122与第二反射镜123沿Z方向间隔的相对设置。在其他实施方式中，第一反射镜122与第二反射镜123还可以沿X方向间隔的相对设置。在其他实施方式中，第一反射镜122与第二反射镜123还可以均为反射棱镜。
结合图1至图5所示，具体在本申请实施方式中，清洗镜组12包括结构腔体125、两个Z向调整滑台126及两个姿态调整架127，结构腔体125设于扫描振镜121***，两个Z向调整滑台126沿Z方向间隔安装于结构腔体125，两个姿态调整架127与两个Z向调整滑台126一一对应连接，以在Z向调整滑台的带动下沿Z方向移动，第一反射镜122与第二反射镜123分别连接于两个姿态调整架127，以分别在姿态调整架127的带动下调整姿态。
可以理解，结构腔体125在对扫描振镜121起到保护作用的同时，还可以为Z向调整滑台126提供安装位置，进而为第一反射镜122与第二反射镜123提供稳定的支撑。
具体地，两个Z向调整滑台126可以分别通过姿态调整架127带动第一反射镜122与第二反射镜123沿Z方向升降而相互靠近或相互远离，从而确保待清洗工件20能够放入第一反射镜122与第二反射镜123之间。
具体地，对于姿态调整架127，其包括顺次连接的第一调整块127a、第二调整块127b及第三调整块(未示出)，第一调整块127a与Z向调整滑台126固定连接，第三调整块与第一反射镜122或第二反射镜123连接。第一调整块127a与第二调整块127b在Z方向通过至少两个间隔设置的螺纹连接件连接，通过调整一个或两个螺纹连接件可以调节第一调整块127a与第二调整块127b之间的间距，进而使连接于第三调整块上的第一反射镜122或第二反射镜123实现俯仰姿态调整，如此可调节第一反射镜122与第二反射镜123之间的夹角。
具体地，第二调整块127b内部中空，第三调整块安装于第二调整块127b内部的安装空间内，第二调整块127b与第三调整块在X方向至少通过一个螺纹连接件连接，并在Y方向至少通过一个螺纹连接件连接，从而通过在X方向调节螺纹连接件，可以使第三调整块在X方向相对第二调整块127b运动，通过在Y方向调节螺纹连接件，可以使第三调整块在Y方向相对第二调整块127b运动，如此，即可通过对第二调整块127b与第三调整块的相对位置改变对第一反射镜122与第二反射镜123在X方向、Y方向的相对位置进行调整。
结合图1至图5所示，具体在本申请实施方式中，激光3D蚀刻清洗设备10包括运动平台14、载台15、定位识别组件16及控制***，运动平台14及定位识别组件16均与控制***通信连接。载台15用于承载待清洗工件20，运动平台14与载台15连接以驱动载台15运动而调整待清洗工件20的位置。定位识别组件16为两个，两个定位识别组件16间隔设置并能够对待清洗工件20上的两个特征点进行一一对应识别。
可以理解，定位识别组件16通过对待清洗工件20上两个特征点进行视觉识别，并将所获得的视觉信息发送至控制***，控制***通过对视觉信息进行分析而获得待清洗工件20的当前位置信息，并通过将当前位置信息与待清洗工件20的目标位置信息进行比较而获得待清洗工件20的位置补偿信息，之后根据位置补偿信息控制运动平台14带动待清洗工件20运动，最终使待清洗工件20调整至目标位置。如此，通过定位识别组件16、控制***与运动平台14的共同配合，可以将待清洗工件20的姿态调整至目标位置，以方便清洗镜组12对待清洗工件20进行清洗。
具体地，运动平台14包括顺次连接的基座141、Y向运动座142、X向运动座143、水平旋转座144，Y向运动座142安装于基座141，Y向运动座142能够驱动X向运动座143沿Y方向相对基座141滑动，X向运动座143能够驱动水平旋转座144沿X方向滑动，水平旋转座144能够驱动载台15在X方向及Y方向所限定的平面内旋转。
在本申请中，基座141为大理石材质。Y向运动座142包括Y向滑轨142A、Y向滑块142B及Y向驱动件(未示出)，Y向滑轨142A固定安装于基座141，并与Y向滑块142B滑动连接，Y向驱动件安装于Y向滑轨142A上，且能够驱动Y向滑块142B沿Y方向相对Y向滑轨142A滑动。X向运动座143包括X向滑轨143A、X向滑块143B及X向驱动件(未示出)，X向滑轨143A固定安装于Y向滑块142B，从而X向运动座143整体能够随Y向滑块142B沿Y方向运动，X向滑块143B与X向滑轨143A滑动连接，X向驱动件安装于X向滑轨143A，且能够驱动X向滑块143B沿X方向相对X向滑轨143A滑动。
水平旋转座144固定安装于X向滑块143B，从而整体在Y向运动座142与X向运动座143的共同作用下，沿X方向、Y方向运动，从而在X方向及Y方向所限定的水平面内平移。水平旋转座144包括固定座144a、旋转座144b及旋转驱动件(未示出)，固定座144a固定安装于X向滑块143B，旋转座144b与固定座144a转动连接，并在旋转驱动件的驱动下以沿Z方向延伸的轴线为旋转轴相对固定座144a旋转，即旋转座144b在X方向及Y方向所限定的水平面内旋转。如此，载台15安装于旋转座144b，从而在运动平台14的驱动下在X方向及Y方向所限定的水平面内通过平移、旋转来调整位置，进而方便清洗镜组12对待清洗工件20进行清洗。
需要指出的是，在扫描振镜121偏摆而对待清洗工件20的表面进行清洗时，可以使运动平台14与待清洗工件20均保持不动，在激光照射至第一表面21后，扫描振镜121在Z方向及X方向小角度偏摆而对第一表面21的局部区域进行清洗，之后再使扫描振镜121偏摆，使激光照射至第二表面22，扫描振镜121继续在Z方向及X方向小角度偏摆而对第二表面22的局部区域进行清洗，之后继续使扫描振镜121偏摆，使激光照射至第三表面23，扫描振镜121继续在Z方向及X方向小角度偏摆而对第三表面23的局部区域进行清洗，之后再通过运动平台14带动待清洗工件20运动，扫描振镜121继续顺次对第一表面21、第二表面22、第三表面23的局部区域进行清洗，在扫描振镜121的偏摆动作与运动平台14的配合下，完成对待清洗工件20上第一表面21、第二表面22及第三表面23的全部清洗。
或者，在扫描振镜121偏摆而对待清洗工件20的表面进行清洗时，还可以使扫描振镜121仅沿Z方向偏摆，以顺次对第一表面21、第二表面22及第三表面23进行快速扫描，同时配合运动平台14带动待清洗工件20运动，来实现对待清洗工件20上第一表面21、第二表面22及第三表面23的全部清洗。
具体地，定位识别组件16包括光源161及相机162，相机162用于对待清洗工件20上的特征点进行拍照识别，光源161用于对相机162的视野范围进行曝光。在本申请中，光源161为环形光源161而内部形成有通孔，相机162的部分伸入至通孔内，从而光源161在相机162的周围对相机162的视野范围进行曝光，从而提高相机162的拍摄质量，提高待清洗工件20的定位精度。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种激光3D蚀刻清洗设备，用于对待清洗工件顺次连接的第一表面、第二表面及第三表面进行扫描清洗，其特征在于，激光3D蚀刻清洗设备包括：
激光器，用于发射激光；
清洗镜组，包括扫描振镜、第一反射镜及第二反射镜，所述扫描振镜设置于所述激光的传导路径上并位于所述第二表面的一侧，所述第一反射镜位于所述第一表面一侧，所述第二反射镜位于所述第三表面一侧；所述扫描振镜能够摆动以使所述激光照射至所述第一反射镜或所述第二表面或所述第二反射镜，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第一反射镜并经所述第一反射镜反射至所述第一表面的激光对所述第一表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二表面的激光对所述第二表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二反射镜并经所述第二反射镜反射至所述第三表面的激光对所述第三表面进行清洗。
2.根据权利要求1所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述激光3D蚀刻清洗设备包括光学整形镜组，所述光学整形镜组包括扩束镜及变焦镜，所述激光器、所述扩束镜、所述变焦镜及所述扫描振镜沿所述激光的传导路径顺次设置，所述变焦镜能够沿所述激光的传导方向相对所述扫描振镜运动。
3.根据权利要求2所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述光学整形镜组包括变焦驱动件，所述变焦驱动件与所述变焦镜连接，以驱动所述变焦镜运动；所述激光3D蚀刻清洗设备包括控制***，所述变焦驱动件、所述扫描振镜均与所述控制***通信连接。
4.根据权利要求2所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述光学整形镜组包括第三反射镜及第四反射镜，所述第三反射镜与所述第四反射镜均设置于所述激光的传导路径上，且两者相对设置，并均与入射激光呈45°夹角；所述第三反射镜位于所述激光器与所述扩束镜之间，所述第四反射镜位于所述扩束镜与所述变焦镜之间。
5.根据权利要求1所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述第一反射镜与所述第二反射镜相对设置，且两者之间呈90°夹角。
6.根据权利要求1所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述清洗镜组包括场镜，所述场镜安装于所述扫描振镜，且沿所述激光的传导方向位于所述扫描振镜的后方。
7.根据权利要求1所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述清洗镜组包括结构腔体、两个Z向调整滑台及两个姿态调整架，所述结构腔体设于所述扫描振镜***，两个所述Z向调整滑台沿Z方向间隔安装于所述结构腔体，两个所述姿态调整架与两个所述Z向调整滑台一一对应连接，以在所述Z向调整滑台的带动下沿Z方向移动，所述第一反射镜与所述第二反射镜分别连接于两个所述姿态调整架，以分别在所述姿态调整架的带动下调整姿态。
8.根据权利要求1所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述激光3D蚀刻清洗设备包括运动平台、载台、定位识别组件及控制***，所述载台用于承载待清洗工件，所述运动平台与所述载台连接以驱动所述载台运动而调整所述待清洗工件的位置；所述定位识别组件为两个，两个所述定位识别组件间隔设置并能够对所述待清洗工件上的两个特征点进行一一对应识别；所述运动平台及所述定位识别组件均与所述控制***通信连接。
9.根据权利要求8所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述运动平台包括顺次连接的基座、Y向运动座、X向运动座、水平旋转座，所述Y向运动座安装于所述基座，所述Y向运动座能够驱动所述X向运动座沿Y方向相对所述基座滑动，所述X向运动座能够驱动所述水平旋转座沿X方向滑动，所述水平旋转座能够驱动所述载台在所述X方向及所述Y方向所限定的平面内旋转。
10.根据权利要求8所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述定位识别组件包括光源及相机，所述相机用于对所述待清洗工件上的特征点进行拍照识别，所述光源用于对所述相机的视野范围进行曝光。
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