CN116051472A - 位置标定方法和装置、图像采集装置位置确定与加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种位置标定方法位置标定方法、图像采集装置位置确定与加工方法。方法包括：获取模板图像和多个第一待测图像，多个第一待测图像是在待加工件分别处于多个不同第一物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像，多个不同第一物理位置是沿与待加工件旋转的旋转轴线对应的周向方向分布的不同物理位置；对于每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置；通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置；根据旋转轴线所对应的图像位置和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置。无需人工介入且定位精度高。

Description

位置标定方法和装置、图像采集装置位置确定与加工方法

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，更具体地涉及一种位置标定方法、用于加工装置的图像采集装置位置确定方法、加工方法、位置标定装置、电子设备及存储介质。

背景技术

在制造业行业中，很多设备都会联合使用X、Y、R定位***与视觉定位相机来对产品进行定位加工，其中，通过X、Y、R定位***，待加工产品可以实现沿X轴和Y轴的平移，并且可以实现绕R轴的旋转。R轴的旋转轴线跟相机的视野中心重合时所对应的轴坐标(XY坐标系下的坐标)在实际运算过程中要经常用到。例如在半导体行业中，需要通过视觉定位确定晶圆切割道的角度θ，然后通过R轴旋转θ°使晶圆切割道水平，在计算旋转后切割道的位置时需要使用到R轴的旋转轴线与相机的视野中心重合时所对应的轴坐标。传统的方法是将R轴移动到相机视野下，旋转R轴，用肉眼去识别R轴的旋转轴线，再移动待加工件在XY坐标系上的位置，一点一点地将R轴旋转轴线与相机的视野中心重合。显然这种方法的定位精度完全不能保证，而且与工作人员的主观性有很大关系。

发明内容

考虑到上述问题而提出了本发明。本发明提供了一种位置标定方法、用于加工装置的图像采集装置位置确定方法、加工方法、位置标定装置、电子设备及存储介质。

根据本发明第一方面，提供了一种位置标定方法，包括：获取模板图像和多个第一待测图像，其中，模板图像包含待加工件上的标识特征，多个第一待测图像是在待加工件分别处于多个不同第一物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像，多个第一待测图像的数目大于或等于3个，多个不同第一物理位置是沿与待加工件旋转的旋转轴线对应的周向方向分布的不同物理位置；对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置；通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置；根据旋转轴线所对应的图像位置和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置。

示例性地，根据旋转轴线所对应的图像位置和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置，包括：计算旋转轴线所对应的图像位置和视野中心所对应的图像位置之间的图像位置差；基于图像位置差以及图像位置与物理位置之间的转换关系，确定图像位置差所对应的物理位置差；在待加工件按照物理位置差移动之后，获取待加工件所对应的物理位置作为重合物理位置。

示例性地，在基于图像位置差以及图像位置与物理位置之间的转换关系，确定图像位置差所对应的物理位置差之前，方法还包括：获取多个第二待测图像，多个第二待测图像是在待加工件分别处于多个不同第二物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像，多个第二待测图像的数目大于或等于3个；对于多个第二待测图像中的每个第二待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第二待测图像中的图像位置；根据标识特征在多个第二待测图像中的图像位置以及多个第二物理位置，确定转换关系。

示例性地，多个不同第二物理位置一一对应地分布在待加工件的可移动区域内的多个不同子区域内，多个不同子区域通过对可移动区域中的至少部分区域进行均匀划分得到。

示例性地，对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置，包括：在待加工件处于任一第一物理位置时，响应于用户在第一用户界面上输入的第一位置确定指令，根据模板图像，确定标识特征在与该第一物理位置相对应的第一待测图像中的图像位置；和/或，在对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置之后，或者在对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置的过程中，方法还包括：对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，在第二用户界面上显示标识特征在该第一待测图像中的图像位置。

示例性地，通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置，包括：响应于用户在第三用户界面上输入的第二位置确定指令，通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置。

示例性地，获取多个第一待测图像包括：循环执行以下操作：在待加工件处于当前第一物理位置时，获取图像采集装置采集的对应的第一待测图像；以初始物理位置为基准，将待加工件绕旋转轴线旋转预设角度，以使待加工件处于另一第一物理位置，初始物理位置为多个不同第一物理位置中的任一物理位置；其中，任意两个相邻第一物理位置所对应的旋转角度之差大于预设角度阈值。

示例性地，以初始物理位置为基准，将待加工件绕旋转轴线旋转预设角度，以使待加工件处于另一第一物理位置，包括：响应于用户在第四用户界面上输入的旋转指令，以初始物理位置为基准，控制待加工件旋转预设角度，以到达对应的第一物理位置，其中，旋转指令包括预设角度。

示例性地，待加工件是晶圆，模板图像包含晶圆上的两条互相垂直的切割道的交叉区域以及位于交叉区域周围预设范围内的区域，标识特征是交叉区域的中心。

根据本发明第二方面，还提供了一种用于加工装置的图像采集装置位置确定方法，其特征在于，加工装置包括第一图像采集装置和第二图像采集装置，第一图像采集装置的图像采集范围大于第二图像采集装置的图像采集范围，第一图像采集装置和第二图像采集装置分别为上述的图像采集装置，方法包括：通过上述的位置标定方法确定第一图像采集装置的视野中心与旋转轴线重合时对应的第一物理位置；通过上述的位置标定方法确定第二图像采集装置的视野中心与旋转轴线重合时对应的第二物理位置；根据第一物理位置和第二物理位置，确定第一图像采集装置与第二图像采集装置之间的物理位置差。

根据本发明第三方面，还提供了一种加工方法，包括：通过上述的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法确定第一图像采集装置与第二图像采集装置之间的第一物理位置差；基于第一产品特征在第一图像中的图像位置以及至少一条预定线与第一产品特征之间的相对位置关系，确定至少一条预定线的初始物理位置，其中，第一图像是第一图像采集装置针对待加工件采集的图像，预定线为待加工件上的特征线；至少基于第一物理位置差，确定在同一标定时刻第一产品特征所对应的物理位置与第二产品特征所对应的物理位置之间的第二物理位置差，其中，第二产品特征是第二图像上的特征，第二图像是第二图像采集装置针对待加工件采集的图像，并且第一产品特征和第二产品特征对应于待加工件上的同一特征；根据初始物理位置和第二物理位置差，确定至少一条预定线的目标物理位置；至少基于至少一条预定线的目标物理位置，对待加工件进行加工。

示例性地，在至少基于至少一条预定线的目标物理位置，对待加工件进行加工之前，方法还包括：获取包含任一条当前预定线的多组待测预定线图像，每组待测预定线图像是第三图像采集装置在待加工件沿预设基准方向移动的情况下针对待加工件上的当前预定线采集获得的图像；基于多组待测预定线图像，并基于基准位置点依次对应确定多组位置点，每组位置点包括第一位置点和第二位置点，第一位置点和第二位置点位于基准位置点的两侧，并且沿预设基准方向，多组位置点各自包含的两个位置点之间的间距逐渐增大，多组待测预定线图像与多组位置点一一对应，任一组待测预定线图像包括与对应组位置点中的第一位置点和第二位置点分别对应的两个待测预定线图像；在每次确定一组位置点后，根据该组位置点中的第一位置点和第二位置点之间的连线相对于预设基准方向的连线角度，调整待加工件的位置，以校正待加工件上的当前预定线的位置；其中，在基准位置点和多组位置点中，不同位置点是当前预定线上的不同特征点所对应的位置点。

根据本发明第四方面，还提供了一种位置标定装置，包括：获取模块，用于获取模板图像和多个第一待测图像，其中，模板图像包含待加工件上的标识特征，多个第一待测图像是在待加工件分别处于多个不同第一物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像，多个第一待测图像的数目大于或等于3个，多个不同第一物理位置是沿与待加工件旋转的旋转轴线对应的周向方向分布的不同物理位置；第一确定模块，用于对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置；第二确定模块，用于通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置；第三确定模块，用于根据旋转轴线所对应的图像位置和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置。

根据本发明第五方面，还提供了一种电子设备，包括处理器和存储器，其特征在于，存储器中存储有计算机程序，处理器执行计算机程序以实现上述的位置标定方法或上述用于加工装置的图像采集装置位置确定方法或如上述的加工方法。

根据本发明第六方面，还提供了一种存储介质，存储有计算机程序/指令，其特征在于，计算机程序/指令被处理器执行时实现上述的位置标定方法或上述用于加工装置的图像采集装置位置确定方法或如上述的加工方法。

根据本发明实施例的位置标定方法、用于加工装置的图像采集装置位置确定方法、加工方法、位置标定装置、电子设备及存储介质，获取待加工件的多个第一待测图像，对于不同第一待测图像来说，待加工件在旋转轴线的周向方向上具有不同的分布位置，利用同一标识特征在多个第一待测图像上的位置确定旋转轴线的图像位置，进而确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置。该方案可以通过视觉定位技术并配合待加工件的物理位置改变来自动确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，这种方案无需人工介入，可以有效节省人力，且定位精度高。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明

通过结合附图对本发明实施例进行更详细的描述，本发明的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显。附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中，相同的参考标号通常代表相同部件或步骤。

图1示出了根据本发明一个方面的位置标定方法的示意性流程图；

图2示出了根据本发明一个实施例的模板图像的示意图；

图3示出了根据本发明一个实施例的针对第一待测图像建立的图像坐标系的示意图；

图4示出了根据本发明一个实施例的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法的示意性流程图；

图5示出了根据本发明一个实施例的加工方法的示意性流程图；

图6示出了根据本发明一个实施例的第一图像的示意图；

图7示出了根据本发明一个实施例的切割道图像；

图8示出了根据本发明一个实施例的位置标定装置的示意性框图；以及

图9示出了根据本发明一个实施例的电子设备的示意性框图。

具体实施方式

为了使得本发明的目的、技术方案和优点更为明显，下面将参照附图详细描述根据本发明的示例实施例。显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是本发明的全部实施例，应理解，本发明不受这里描述的示例实施例的限制。基于本发明中描述的本发明实施例，本领域技术人员在没有付出创造性劳动的情况下所得到的所有其它实施例都应落入本发明的保护范围之内。

为了至少部分地解决上述问题，本发明实施例提供一种位置标定方法。图1示出了根据本发明一个方面的位置标定方法100的示意性流程图。如图1所示，该方法100可以包括以下步骤S110、步骤S120、步骤S130和步骤S140。

步骤S110，获取模板图像和多个第一待测图像，其中，模板图像包含待加工件上的标识特征，多个第一待测图像是在待加工件分别处于多个不同第一物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像，多个第一待测图像的数目大于或等于3个，多个不同第一物理位置是沿与待加工件旋转的旋转轴线对应的周向方向分布的不同物理位置。

示例性地，模板图像可以是包含待加工件上的任意标识特征的图像。待加工件可以是例如陶瓷、晶圆等任意用于加工的产品。标识特征可以是待加工件上的任意能够识别的特征。示例性地，标识特征可以是待加工件上自身具有的特征，例如某些形状或结构上的特征。示例性地，标识特征还可以是通过人工或者加工装置等在待加工件上额外标记的特征，例如某种易于识别的符号、图案等。标识特征可以是任意形状的，例如圆形、十字形或星形等。比较可取的是，标识特征是两条彼此垂直的切割道的交叉区域的中心(简称“切割道中心”)。图2示出了根据本发明一个实施例的模板图像的示意图。如图2所示，该模板图像中包含切割道中心(用黑色圆点表示)，可以将该切割道中心作为标识特征。

本文所述的各种物理位置可以通过同一世界坐标系中的坐标来表示。下面描述建立这种世界坐标系的一个示例。待加工件可以被放置在可移动的装置(例如可移动载台)上。可移动载台可以在一个平面内(可以称为“移动平面”)平移，也可以在该移动平面内绕着一个固定的旋转轴旋转。待加工件与可移动载台同步移动，因此本文描述的可移动载台的物理位置与待加工件的物理位置可以视为是相同的，二者可以互相替换表示。在可移动载台的移动范围内，可以设置有两个互相垂直的光栅尺。例如，可移动载台停留在一预定初始物理位置处时，可以将此时光栅尺的读数设定为0，并将该物理位置确定为世界坐标系的原点O。过该原点O沿第一方向可以设置有第一光栅尺，该第一光栅尺所在的轴可以作为世界坐标系的X轴。与X轴垂直并过原点O设置有第二光栅尺。第二光栅尺所在的轴线可以作为世界坐标系的Y轴。第一方向可以根据需要定义，为了描述方便，本文将第一方向定义为水平方向，该方向也是X轴方向，而与X轴方向垂直的Y轴方向则定义为竖直方向。建立上述世界坐标系后，每次可移动载台移动时，即待加工件移动时，从第一光栅尺和第二光栅尺上均可读取到对应的X轴坐标和Y轴坐标，采用该(X,Y)坐标可以表示待加工件的物理位置。可以理解，(X,Y)可以是用于表示待加工件的位移的坐标数据。

待加工件能够在上述X轴和Y轴所在的平面或与该平面平行的平面(即上述移动平面)内平移，并且能够在该移动平面内围绕旋转轴线旋转。在待加工件在移动平面内围绕旋转轴线进行旋转的情况下，该移动平面也可以称为旋转平面。在待加工件位于其移动平面内的不同物理位置(即第一物理位置)处时，可以利用图像采集装置采集待加工件的多个第一待测图像。多个第一待测图像与多个不同的第一物理位置一一对应。如上所述，每个第一物理位置可以根据对应的光栅尺读数获得。不同的第一物理位置沿旋转轴线的周向分布。多个第一待测图像的数量可以是任意大于或等于3的整数。在一个实施例中，可以从初始物理位置开始(即以初始物理位置为基准)，将待加工件绕旋转轴线进行多次旋转，每次相对初始物理位置的旋转角度不同，且每次旋转结束时停留的位置作为一个新的物理位置。可以从通过上述旋转获得的至少一个物理位置以及初始物理位置中，确定出任意的多个物理位置，并将所确定的多个物理位置作为与上述多个第一待测图像一一对应的多个不同第一物理位置。在另一个实施例中，可以不以初始物理位置为基准进行旋转，而是可以以其他方式获得多个不同第一物理位置，例如由用户直接输入多个不同物理位置的坐标值。

步骤S120，对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置。

在步骤S120中，可以从第一待测图像中识别与模板图像中的标识特征匹配的第一标识特征，并将第一待测图像中第一标识特征的图像位置确定为标识特征在该第一待测图像中的图像位置。

示例性地，第一待测图像可以共有例如3个。对于3个第一待测图像中的任一第一待测图像，可以根据模板图像确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置。在一个实施例中，可以从模板图像中识别标识特征所对应的图像特征，利用该图像特征，在任一第一待测图像中检测匹配的图像特征所在的图像位置(即第一标识特征所在的图像位置)，以获得标识特征在该第一待测图像中的图像位置。在另一个实施例中，除标识特征以外，模板图像中还可以包含待匹配特征。在一个示例中，待加工件是晶圆，模板图像包含晶圆上的两条互相垂直的切割道的交叉区域以及位于交叉区域周围预设范围内的区域，标识特征是交叉区域的中心。在上述模板图像中，可以将两条互相垂直的切割道的交叉区域以及位于交叉区域周围预设范围内的区域，确定为是待匹配特征。基于模板图像，可以从任一第一待测图像中识别出与待匹配特征相匹配的匹配特征。此外，确定模板图像中待匹配特征与标识特征之间的相对位置关系。基于该相对位置关系，从第一待测图像中确定与匹配特征的图像位置具有相同相对位置关系的图像位置，作为标识特征在第一待测图像中的图像位置。在标识特征自身对应的图像特征不明显，难以从第一待测图像中直接识别的情况下，通过待匹配特征间接确定标识特征的图像位置的方案可以降低标识特征的识别难度，帮助更准确地确定标识特征的图像位置。

本文所述的任一对象(例如上述标识特征)的图像位置可以用该对象所在图像坐标系中的像素坐标表示。图3示出了根据本发明一个实施例的针对第一待测图像建立的图像坐标系的示意图。例如，可以以该第一待测图像的左上角顶点为原点o，以过原点o且与该第一待测图像的上侧边平行的边为x轴，以过原点o与x轴垂直且与该第一待测图像的左侧边平行的边为y轴，建立如图3所示的图像坐标系。例如，第一待测图像中一共包含1000×1000个像素。第一产品特征位于x方向的第450个像素，y方向的第480个的像素处，因此第一产品特征的图像位置可以表示为(450,480)。多个第一待测图像均可以通过类似的方式确定标识特征在每个第一待测图像中的位置。

步骤S130，通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置。

假设根据前文分别获得标识特征在3个第一待测图像中的图像位置。例如，标识特征在第一待测图像I₁中的图像位置可以表示为(x₁,y₁)、标识特征在第一待测图像I₂中的图像位置可以表示为(x₂,y₂)以及标识特征在第一待测图像I₃中的图像位置可以表示为(x₃,y₃)。参照图3，为了便于理解，其中实心圆点A可以表示标识特征在当前的第一待测图像I₁中的图像位置。空心圆点B和空心圆点C可以分别表示标识特征在第一待测图像I₂和第一待测图像I₃中的图像位置。可以理解，虽然图像位置A、B和C本身并不来自同一个第一待测图像，但可以采用同一图像坐标系表示，并且可以在该图像坐标系下进行彼此之间的比较和运算。示例性地，可以通过计算三个图像位置中任意两个图像位置的连线的垂直平分线的交点，获得旋转轴线在图像坐标系中的图像位置。例如，可以计算线段AB的垂直平分线以及线段BC的垂直平分线的交点R(图3中未示出)的图像位置(x_R,y_R)。交点R所在的图像位置就是旋转轴线所对应的图像位置。可以理解，旋转轴线所对应的图像位置也是旋转轴线与待加工件的移动平面的交点在图像采集装置所采集的图像中的图像位置。

步骤S140，根据旋转轴线所对应的图像位置和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置。

旋转轴线与图像采集装置的视野中心重合，可以是指图像采集装置的视野中心落到旋转轴线上，即图像采集装置的视野中心与旋转轴线上的任一点重合。例如，可以是图像采集装置的视野中心与旋转中心重合，旋转中心可以是旋转轴线与上述移动平面(即旋转平面)之间的交点，例如上述交点R。

示例性地，图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，可以用图像采集装置采集的任一图像(例如任一第一待测图像)的中心P所对应的图像位置(x_P,y_P)表示。根据旋转轴线所对应的图像位置(x_R,y_R)和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置(x_P,y_P)，可以确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置(X,Y)，该物理位置可以称为重合物理位置。

根据本发明实施例的位置标定方法，获取待加工件的多个第一待测图像，对于不同第一待测图像来说，待加工件在旋转轴线的周向方向上具有不同的分布位置，利用同一标识特征在多个第一待测图像上的位置确定旋转轴线的图像位置，进而确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置。该方案可以通过视觉定位技术并配合待加工件的物理位置改变来自动确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，这种方案无需人工介入，可以有效节省人力，且定位精度高。

示例性地，根据旋转轴线所对应的图像位置和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置(步骤S140)，可以包括：计算旋转轴线所对应的图像位置和视野中心所对应的图像位置之间的图像位置差；基于图像位置差以及图像位置与物理位置之间的转换关系，确定图像位置差所对应的物理位置差；在待加工件按照物理位置差移动之后，获取待加工件所对应的物理位置作为重合物理位置。

在一个实施例中，根据旋转轴线所对应的图像位置(x_R,y_R)和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置(x_P,y_P)，可以计算图像位置(x_R,y_R)和(x_P,y_P)之间的图像位置差。其中，横坐标之间的差Δx＝x_R-x_P，纵坐标之间的差Δy＝y_R-y_P。本文所述的任一对象的图像位置与该对象在世界坐标系中的物理位置之间存在一一对应的转换关系。例如，对于图像位置(x₁,y₁)，可以根据转换关系，获得该图像位置在世界坐标系中对应的物理位置(X₁,Y₁)。根据获得的图像位置差Δx和Δy，也可以根据上述转换关系，获得图像位置差Δx和Δy所对应的物理位置差δX和δY。根据计算获得的物理位置差δx和δy，可以按照该物理位置差对应地移动待加工件。移动后的待加工件所在的物理位置可以作为重合物理位置。移动待加工件的操作可以由用户手动执行，也可以由加工控制***自动执行。加工控制***可以是用于对待加工件进行加工的加工装置或者与该加工装置可通信连接的其他控制***，例如上位机***等。

此外，本实施例中描述的确定重合物理位置的实施例仅是示例而非对本发明的限制，本发明并不局限于这种实现方案。例如，在基于图像位置差Δx和Δy获得对应的物理位置差δX和δY之后，可以无需移动待加工件，而是确定当前待加工件所对应的物理位置，将该当前的物理位置与物理位置差δX和δY相加，获得重合物理位置。即，可以直接通过算法确定重合物理位置，而无需额外移动待加工件。

根据上述技术方案，基于旋转轴线所对应的图像位置和视野中心所对应的图像位置之间的图像位置差以及图像位置与物理位置之间的转换关系，可以确定图像位置差所对应的物理位置差，进而在将待加工件按照该物理位置差移动之后获取待加工件所对应的物理位置作为重合物理位置。该方法可以根据转换关系并配合待加工件的移动，快速确定重合物理位置，这种方案的算法相对简单且确定重合物理位置的结果相对准确。

示例性地，在基于图像位置差以及图像位置与物理位置之间的转换关系，确定图像位置差所对应的物理位置差之前，方法还可以包括：获取多个第二待测图像，多个第二待测图像是在待加工件分别处于多个不同第二物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像，多个第二待测图像的数目大于或等于3个；对于多个第二待测图像中的每个第二待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第二待测图像中的图像位置；根据标识特征在多个第二待测图像中的图像位置以及多个第二物理位置，确定转换关系。

在一个实施例中，多个第二待测图像的数目大于或等于3个。示例性而非限制性地，多个第二待测图像的数目大于或等于3个且小于或等于9个。例如，第二待测图像一共有9个。9个第二待测图像可以是在待加工件分别处于9个不同的第二物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像。9个不同的第二物理位置K₁、K₂、...、K₉可以是任意的。

对于9个第二待测图像中的每个第二待测图像，可以根据获取的模板图像确定标识特征在该第二待测图像中的图像位置。该标识特征可以与前文所述的用于在第一待测图像中确定对应图像位置的标识特征为同一标识特征。根据模板图像，确定标识特征在该第二待测图像中的图像位置，可以通过以下方式实现：从第二待测图像中识别与模板图像中的标识特征匹配的第二标识特征，并将第二待测图像中第二标识特征的图像位置确定为标识特征在该第二待测图像中的图像位置。确定标识特征在第二待测图像中的图像位置与确定标识特征在第一待测图像中的图像位置的实现方案类似，此处不赘述。

根据该标识特征分别在9个第二待测图像中的图像位置F₁、F₂、...、F₉以及多对应的9个第二物理位置K₁、K₂、...、K₉，可以建立图像位置对应的坐标和物理位置对应的坐标之间的映射关系(X_K,Y_K)＝f(w)(x_F,y_F)。(X_K,Y_K)表示各第二物理位置，(x_F,y_F)表示各图像位置。通过确定的9个坐标点可以计算f(w)矩阵，进而可以确定每个图像位置与对应的第二物理位置之间的转换关系。根据该转换关系可以确定任一图像位置与其对应的物理位置之间的转换关系。

根据上述技术方案，基于多个第二待测图像中的标识特征的图像位置，以及标识特征的多个第二物理位置，可以确定转换关系。该方法通过多个图像位置和多个第二物理位置确定转换关系，算法简单，实现方便。

示例性地，多个不同第二物理位置一一对应地分布在待加工件的可移动区域内的多个不同子区域内，多个不同子区域通过对可移动区域中的至少部分区域进行均匀划分得到。

在一个实施例中，对于上文所述的9个第二待测图像，其对应的9个不同的第二物理位置可以一一对应地分布在待加工件的可移动区域内的多个不同子区域内。这些子区域本身在整个可移动区域内或在可移动区域的至少部分区域内是均匀分布的。示例性而非限制性地，多个不同第二物理位置在各自对应的子区域内的相对位置可以是相同的，例如都位于对应子区域的中心点处。多个不同第二物理位置在各自对应的子区域内的相对位置相同，这有助于使得第二物理位置的分布更均匀。当然，这是可选的，由于多个子区域本身已经具备一定的均匀分布特性，因此，任意两个第二物理位置在各自对应的子区域内的相对位置也可以根据需要设置为相同或不同。

例如，假设待加工件的可移动区域为一个矩形平面区域。在该矩形平面区域内或该矩形平面区域的部分中心区域内，用户可以选择任意均匀分布的9个不同的第二物理位置K₁、K₂、...、K₉，以采集9个第二待测图像。上述中心区域可以是以矩形平面区域的中心点为中心的一个正方形区域，该正方形区域的大小可以是预设的，且可以小于矩形平面区域。在一个示例中，可以将矩形平面区域划分为3行3列，获得9个子区域。9个不同的第二物理位置可以分布在这9个子区域内。示例性而非限制性地，9个不同的第二物理位置可以可选地均匀分布在这9个子区域的中心点处。又例如，假设待加工件的可移动区域为一个圆形平面区域。可选地，可以将该圆形平面区域过圆心做至少一条直径，每条直径包含两条半径，可以将每两条相邻的半径以及这两条半径之间的圆弧围成的扇形区域作为一个子区域，共获得多个子区域。多个不同第二物理位置可以一一对应地分布于多个不同的扇形子区域内。示例性而非限制性地，多个不同第二物理位置与圆心的距离可以彼此相同。

根据上述技术方案，多个不同第二物理位置在可移动区域中的至少部分区域内均匀分布。这样可以保证获得的转换关系的精确性。

示例性地，对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置(步骤S120)，可以包括：在待加工件处于任一第一物理位置时，响应于用户在第一用户界面上输入的第一位置确定指令，根据模板图像，确定标识特征在与该第一物理位置相对应的第一待测图像中的图像位置；和/或，在对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置(步骤S120)之后，或者在对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置(步骤S120)的过程中，方法100还可以包括：对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，在第二用户界面上显示标识特征在该第一待测图像中的图像位置。

用户可以通过输入装置向用于执行位置标定方法100的装置(例如上位机***)输入本文所述的任意指令，例如第一位置确定指令、下述第二位置确定指令以及旋转指令等。输入装置可以包括但不限于以下一种或多种：鼠标、键盘、触摸屏和麦克风等。在一个实施例中，可以在显示装置上显示可视化界面，包括第一用户界面。用户可以通过鼠标、键盘等方式与第一用户界面中的可操作控件交互，以输入第一位置确定指令。例如，用户可以通过点击用户界面中的第一可操作控件的方式输入第一位置确定指令，第一可操作控件可以在第一用户界面上显示为“匹配”控件。用于执行位置标定方法100的装置可以包括上述输入装置和/或显示装置，或者与上述输入装置和/或显示装置可通信连接以实现信息的传输。

在待加工件处于任一第一物理位置时，响应于用户输入的第一位置确定指令，用于执行位置标定方法100的装置可以自动根据模板图像确定标识特征在该第一物理位置相对应的第一待测图像中的图像位置。例如，当待加工件处于第1个第一物理位置时，用户点击第1个“匹配”控件，第二用户界面内可以显示标识特征在当前第一物理位置所对应的第一待测图像中的图像位置“x＝714.073，y＝371.953”。随后，可以通过用户手动移动或加工控制***自动控制移动的方式移动待加工件使其处于第2个第一物理位置。此时，用户可以点击第2个“匹配”控件，第二用户界面内可以显示标识特征在当前第一物理位置所对应的第一待测图像中的图像位置“x＝764.729，y＝644.917”。随后，可以通过用户手动移动或加工控制***自动控制移动的方式移动待加工件使其处于第3个第一物理位置。此时，用户可以点击第3个“匹配”控件，第二用户界面内可以显示标识特征在当前第一物理位置所对应的第一待测图像中的图像位置“x＝1020.233，y＝391.677”。当然，上述显示标识特征在第一待测图像中的图像位置的方案仅是示例，也可以显示标识特征在第一待测图像中的图像位置所对应的物理位置。当然，还可以两种位置都显示。第一用户界面和第二用户界面可以是同一界面，也可以是不同界面。

在第二用户界面中显示标识特征在任一第一待测图像中的图像位置的操作可以在每次该图像位置被确定之后就执行，这可以参见上述示例理解。在第二用户界面中显示标识特征在任一第一待测图像中的图像位置的操作也可以在步骤S120全部执行结束之后执行。

根据上述技术方案，根据用户的输入指令，可以自动确定标识特征在与该第一物理位置相对应的第一待测图像中的图像位置并在第二用户界面中显示。这样可以直观地供用户操作，且操作简便，交互性强。

示例性地，通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置，可以包括：响应于用户在第三用户界面上输入的第二位置确定指令，通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置。

第三用户界面与第一用户界面和第二用户界面中的任一者可以是同一用户界面，也可以是不同用户界面。在一个实施例中，用户分别确定3个不同的第一物理位置后，当前用户界面内可以显示标识特征在3个第一物理位置分别对应的第一待测图像中的图像位置。此时，用户可以输入第二位置确定指令，用于执行位置标定方法100的装置可以响应于该指令的输入，自动通过标识特征在3个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置。其中，输入第二位置确定指令可以通过与第三用户界面内的第二可操作控件进行交互实现。示例性而非限制性地，用户可以通过点击第二可操作控件，其在第三用户界面中显示为“到位”控件，来输入第二位置确定指令。

根据上述技术方案，基于第二位置确定指令，可以自动确定旋转轴线所对应的图像位置。该方法允许用户根据需要启动旋转轴线的确定，用户可操作性强，用户体验好。

示例性地，获取多个第一待测图像可以包括循环执行以下操作：在待加工件处于当前第一物理位置时，获取图像采集装置采集的对应的第一待测图像；以初始物理位置为基准，将待加工件绕旋转轴线旋转预设角度，以使待加工件处于另一第一物理位置，初始物理位置为多个不同第一物理位置中的任一物理位置；其中，任意两个相邻第一物理位置所对应的旋转角度之差大于预设角度阈值。

初始物理位置是作为基准的物理位置，其他物理位置可以基于该物理位置进行旋转。初始物理位置可以是多个不同第一物理位置中的第一个物理位置(按出现时间算先后)，也可以是非第一个物理位置。在初始物理位置为非第一个物理位置的情况下，至少出现在初始物理位置之前的物理位置可以基于算法或经验等其他方式确定。需注意，以初始物理位置为基准旋转仅是示例而非对本发明的限制，任一次旋转时也可以以其他物理位置为基准，例如每次都以上一次旋转到的物理位置为基准继续旋转。无论采用哪种旋转方式，任意两个相邻第一物理位置相对于一固定物理位置(例如上述初始物理位置)所具有的旋转角度之差可以大于预设角度阈值。

在一个实施例中，待加工件处于初始物理位置时或者移动至任意物理位置后，可以将当前位置作为当前第一物理位置，利用图像采集装置采集第1个第一待测图像。采集第1个第一待测图像后，可以以当前第一物理位置或初始物理位置为基准，将待加工件绕旋转轴线旋转预设角度。旋转预设角度后待加工件所处的物理位置可以作为另一个第一物理位置。在新的当前第一物理位置，利用图像采集装置采集第2个第一待测图像。其余物理位置及对应第一待测图像的获得方式以此类推。其中，预设角度可以为任意大于预设角度阈值的角度。预设角度阈值可以为任意角度，示例性地，预设角度阈值可以处于[10,120]的范围内。例如，预设角度阈值可以等于20度、30度、60度、90度等。通过设置合适的预设角度阈值，可以控制不同物理位置彼此相距一定距离，以免这些物理位置过于集中，影响对旋转轴线所对应的图像位置的确定精度，进而影响位置标定方法的标定精度。

根据上述技术方案，通过以初始物理位置为基准，将待加工件绕旋转轴线旋转预设角度，以使待加工件处于另一第一物理位置。这样可以较好地保证通过获取的多个第一待测图像计算旋转轴线所对应的图像位置的准确性。

示例性地，以初始物理位置为基准，将待加工件绕旋转轴线旋转预设角度，以使待加工件处于另一第一物理位置，可以包括：响应于用户在第四用户界面上输入的旋转指令，以初始物理位置为基准，控制待加工件旋转预设角度，以到达对应的第一物理位置，其中，旋转指令包括预设角度。

在一个实施例中，上述可视化界面中还可以包括第四用户界面。第四用户界面与上述第一用户界面、第二用户界面和第三用户界面中任一种可以是同一用户界面，也可以是不同用户界面。以初始物理位置为基准，用户可以通过第四用户界面，输入旋转指令。加工控制***可以自动控制待加工件旋转预设角度。待加工件旋转预设角度后的位置即为另一个第一物理位置。第四用户界面中可以包括信息输入控件以及第三可操作控件。用户可以通过键盘等，在信息输入控件内输入预设角度，例如70度。输入完成后，点击信息输入控件一侧的第三可操作控件，例如显示为“确认”控件，即可以控制待加工件旋转预设角度(70度)。此外，信息输入控件也可以是用于提供多个可选的角度的选择控件，上述多个可选的角度可以是例如65度、70度、75度等。选择控件可以是按钮控件、列表控件、或复选框控件等，用户可以通过鼠标点击期望的旋转角度所对应的按钮、列表项或复选框等，进而确定预设角度的数值。

根据上述技术方案，基于第四用户界面，可以直观地供用户输入旋转指令，进而自动控制待加工件旋转预设角度。该方法无需用户进行复杂的操作，且可以保证旋转预设角度的准确性。

示例性地，待加工件是晶圆，模板图像包含晶圆上的两条互相垂直的切割道的交叉区域以及位于交叉区域周围预设范围内的区域，标识特征是交叉区域的中心。

在一个实施例中，待加工件可以是晶圆。模板图像中可以包含晶圆上两条互相垂直的切割道的交叉区域。返回参见图2，示出十字形白色区域，其分别为两条互相垂直的切割道的一部分。交叉区域为中间虚线所示的矩形框所在的区域。同时，模板图像中还可以包含位于交叉区域周围预设范围内的区域(可以称为预设区域)，如图2所示的4个灰色子区域以及两个切割道位于交叉区域以外的区域。其中，预设范围设置为使得交叉区域和预设区域中包含的图像特征使得图像处理算法基于该图像特征足以从图像采集装置所采集的图像中识别出交叉区域和预设区域所在的位置。如图2所示，交叉区域包含的图像特征不明显，难以分辨，因此可以结合其周围的预设区域形成足以分辨的图像特征，帮助识别交叉区域和预设区域的位置，主要目的是识别交叉区域的位置，进而确定标识特征的位置。标识特征可以是交叉区域的中心。

在本发明实施例中，多个第一待测图像彼此包含同一个标识特征。类似地，多个第二待测图像也彼此包含同一个标识特征。任一第一待测图像和任一第二待测图像也包含同一个标识特征。在步骤S120中，确定标识特征在在该第一待测图像中的图像位置，可以是确定第一待测图像中与模板图像中的标识特征匹配的第一标识特征在第一待测图像中的图像位置(参见上文，描述了该实施例)。因此，多个第一待测图像中的第一标识特征是待加工件上的同一个标识特征。类似地，多个第二待测图像中的第二标识特征是待加工件上的同一个标识特征。并且，第一标识特征和第二标识特征是待加工件上的同一个标识特征。

在一个实施例中，模板图像中的标识特征是在待加工件上存在的唯一特征，此时可以直接针对待加工件采集第一待测图像或第二待测图像，并直接基于模板图像确定标识特征在第一待测图像或第二待测图像中的位置。在另一个实施例中，模板图像中的标识特征是在待加工件上存在的重复类型特征，该重复类型特征是指其在待加工件上会同时重复出现多次，此时可以通过物理遮挡等方式将待加工件上出现的N-1个标识特征遮挡起来，仅保留某个单独的标识特征，其中N是待加工件上存在的标识特征的总数目。然后，针对遮挡后的待加工件采集多个第一待测图像或多个第二待测图像。这样，可以保证在后续采集到的多个第一待测图像中，彼此包含的是同一个标识特征，进而保证确定的旋转轴线所对应的图像位置以及重合物理位置的准确性。类似地，上述方式可以保证在后续采集到的多个第二待测图像中，彼此包含的也是同一个标识特征，进而保证所确定的转换关系的准确性。多个第一待测图像所对应的未被遮挡的标识特征与多个第二待测图像所对应的未被遮挡的标识特征一致。例如，假设标识特征是切割道中心，则由于晶圆上在第一方向(例如水平方向)上具有多条切割道，在与第一方向垂直的方向(例如竖直方向)上也具有多条切割道。假设两个方向各自为10条切割道，则共计有100个切割道中心。对于这种情况，可以将其中的99个切割道中心遮挡起来，使得图像采集装置每次仅采集到剩余的切割道中心。当然，在切换待加工件的物理位置(第一物理位置或第二物理位置)的过程中，如果待加工件的移动范围不大的话，也可以不对始终无法进入图像采集装置的采集范围内的某些标识特征进行遮挡，例如不对位于晶圆边缘处的某些切割道中心进行遮挡。

根据上述技术方案，将晶圆上的切割道中心作为标识特征，这方便后续基于重合物理位置对切割道进行定位以及加工。

根据本发明的第二方面，还提供了一种用于加工装置的图像采集装置位置确定方法。加工装置可以包括第一图像采集装置和第二图像采集装置，第一图像采集装置的图像采集范围大于第二图像采集装置的图像采集范围，也可以理解为第一图像采集装置的分辨率比第二图像采集装置的分辨率低；示例性地，可以认为第一图像采集装置为大视野相机，第二图像采集装置为小视野相机；换句话说，第一图像采集装置采集范围较大，但是分辨率小，而第二图像采集装置采集范围较小，但是分辨率高。第一图像采集装置和第二图像采集装置分别为上述的任一图像采集装置。图4示出了根据本发明一个实施例的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法400的示意性流程图，如图4所示，该方法400可以包括以下步骤S410、步骤S420和步骤S430。

步骤S410，通过上述的位置标定方法确定第一图像采集装置的视野中心与旋转轴线重合时对应的第一物理位置。

步骤S420，通过上述的位置标定方法确定第二图像采集装置的视野中心与旋转轴线重合时对应的第二物理位置。

步骤S410与步骤S420的实现方式可以参考上述关于位置标定方法100的描述理解，为了简洁，在此不再赘述。

步骤S430，根据第一物理位置和第二物理位置，确定第一图像采集装置与第二图像采集装置之间的物理位置差。

示例性地，根据确定的第一物理位置和第二物理位置，可以计算第一物理位置和第二物理位置之间的差值，进而获得第一图像采集装置与第二图像采集装置之间的物理位置差。

根据本发明实施例的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法，可以通过前文所述的位置标定方法，确定第一图像采集装置和第二图像采集装置之间的物理位置差。该方法算法简单，并且可以保证所确定的物理位置差的准确性。

根据本发明的第三个方面，还提供了一种加工方法。图5示出了根据本发明一个实施例的加工方法500的示意性流程图，如图5所示，该加工方法500可以包括以下步骤S510、步骤S520、步骤S530、步骤S540和步骤S550。

步骤S510，通过上述的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法确定第一图像采集装置与第二图像采集装置之间的第一物理位置差。

示例性地，本领域技术人员可以根据前文所述的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法400，理解步骤S510的实现方式，为了简洁，在此不再赘述。

步骤S520，基于第一产品特征在第一图像中的图像位置以及至少一条预定线与第一产品特征之间的相对位置关系，确定至少一条预定线的初始物理位置，其中，第一图像是第一图像采集装置针对待加工件采集的图像，预定线为待加工件上的特征线。

示例性地，利用较大视野范围的第一图像采集装置采集针对待加工件的第一图像。在一个实施例中，第一图像中可以包含待加工件的第一产品特征。本文所述的产品特征可以是待加工件上的任意能够识别的特征。示例性地，产品特征可以是待加工件上自身具有的特征，例如某些形状或结构上的特征。示例性地，产品特征还可以是通过人工或者加工装置等在待加工件上额外标记的特征，例如某种易于识别的符号、图案等。产品特征可以是任意形状的，例如圆形、十字形或星形等。比较可取的是，产品特征是待加工件上某特定位置处的切割道中心，例如晶圆上处于最中心位置处的切割道中心，该切割道中心同时也是晶圆中心。预定线为待加工件上的任意特征线。在一个示例中，预定线可以为晶圆上的切割道，至少一条预定线为晶圆上的至少一条切割道。产品特征与上述标识特征可以是相同类型的特征，也可以是不同类型的特征，例如可以都是切割道中心，或者一个是切割道中心，一个是在待加工件上额外标记的星形符号。产品特征与标识特征是相同类型特征的情况下，二者可以是同一个特征，也可以是不同的特征，例如二者可以都是与晶圆中心重合的切割道中心，也可以分别是晶圆上不同位置处的切割道中心。

根据第一产品特征的图像位置和第一产品特征与任意一条预定线之间的相对位置关系，可以确定该预定线的初始物理位置。第一产品特征与各预定线之间的相对位置关系可以是已知的。下面结合图6描述确定预定线的初始物理位置的一种示例性实现方案。图6示出了根据本发明一个实施例的第一图像的示意图。如图6所示，其中，在第一图像的中心处，用十字形图标标记晶圆中心所在的位置，十字形图标的中心点即为晶圆中心，晶圆中心可以视为第一产品特征。此外，图6还示出一条预定线(例如其为切割道)，其与晶圆轮廓的两个交点分别为M₁和M₂。这两个交点可以分为视为预定线的起点和终点。利用晶圆中心的图像位置分别与交点M₁和M₂的图像位置之间的相对位置关系，可以确定M₁和M₂的初始图像位置和/或整条预定线M₁M₂各点的初始图像位置，将起点和终点的初始图像位置和/或整条预定线各点的初始图像位置确定为预定线的初始图像位置。依据前文所述的转换关系，可以将预定线的初始图像位置转换为初始物理位置。初始物理位置是粗略定位的物理位置，也可以称为粗略物理位置。

步骤S530，至少基于第一物理位置差，确定在同一标定时刻第一产品特征所对应的物理位置与第二产品特征所对应的物理位置之间的第二物理位置差，其中，第二产品特征是第二图像上的特征，第二图像是第二图像采集装置针对待加工件采集的图像，并且第一产品特征和第二产品特征对应于待加工件上的同一特征。

示例性地，第二图像可以表示较小视野范围的第二图像采集装置采集的图像。第二图像中包含第二产品特征。第一产品特征和第二产品特征对应于待加工件上的同一特征。例如，二者可以都是晶圆上处于最中心位置处的切割道中心，其同时也是晶圆中心。在一个示例中，第一图像采集装置是大视野相机，其能够采集到包含整个晶圆的第一图像。基于大视野相机采集的第一图像，仅能够粗略地确定晶圆中心所在的位置，也就是说由于分辨率等问题导致无法从中准确识别出晶圆中心，也就无法准确识别出与晶圆中心重合的切割道中心的位置。而第二图像采集装置可以是小视野相机，其视野范围内能够采集到较为清晰的切割道中心。比较可取的是，可以通过将小视野相机的视野范围(即图像采集范围)设置为每次仅采集到单个切割道中心并将与晶圆中心重合的切割道中心置于小视野相机的视野范围内，或者通过遮挡除与晶圆中心重合的切割道中心以外的其他切割道中心的方式，排除其他切割道中心的影响，使得小视野相机采集到的第二图像中仅存在与晶圆中心重合的切割道中心。基于小视野相机采集到的第二图像，可以从中识别与晶圆中心重合的切割道中心的位置。由上可知，大视野相机采集到的或说从第一图像中识别出的第一产品特征是比较粗略的晶圆中心，而小视野相机采集到的或说从第二图像中识别出的第二产品特征是比较精确的与晶圆中心重合的切割道中心，也就是比较精确的晶圆中心。可见，第一产品特征和第二产品特征本质对应的是同一特征，只是由于两种图像采集装置采集图像的分辨率问题导致二者所对应的图像位置存在差异，二者在同一时刻(本文称为标定时刻)所对应的物理位置之间也存在差异(即第二物理位置差)。检测这种差异，就可以获知基于第一图像确定的任一预定线的初始物理位置的“误差”，基于该“误差”对初始物理位置进行校正，校正后的物理位置就可以视为当前预定线的精确物理位置，即目标物理位置。

步骤S540，根据初始物理位置和第二物理位置差，确定至少一条预定线的目标物理位置。

如上所述，基于第二物理位置差对预定线的初始物理位置进行校正，获得目标物理位置。校正可以为将初始物理位置偏移第二物理位置差所对应的距离值。移动后的物理位置可以作为目标物理位置。

步骤S550，至少基于至少一条预定线的目标物理位置，对待加工件进行加工。

示例性地，根据该预定线的目标物理位置，可以对待加工件进行加工。在一个实施例中，可以直接基于预定线的目标物理位置，对待加工件进行加工。例如，可以将待加工件移动到某条切割道的起点所对应的目标物理位置，开始进行加工。加工过程中待加工件实时移动，直至到达该切割道的终点所对应的目标物理位置为止，即可完成对该切割道的加工。在另一个实施例中，还可以进一步结合其他信息对待加工件进行加工。例如，可以根据用户的需求基于任一条切割道的目标物理确定加工区域，在待加工件移动到加工区域内时进行加工。例如，任一条切割道所对应的加工区域的加工起点和加工终点可以设置得在分别早于该条切割道的起点和终点的位置出现。

根据本发明实施例的加工方法，通过视野较大的第一图像采集装置采集包含第一产品特征的第一图像，借助第一产品特征可以实现对预定线所对应的物理位置的粗略定位。此外通过视野较小的第二图像采集装置采集包含第二产品特征的第二图像，第一产品特征和第二产品特征对应于待加工件上的同一特征。因此，借助第二产品特征与第一产品特征之间的位置差异可以确定预定线的粗略定位的误差，进而可以对预定线进行更高精度的定位。这种方案可以通过两种不同视野的图像采集装置的配合，实现对不同尺寸的产品(尤其是大尺寸产品)的高精度定位。

示例性地，在至少基于至少一条预定线的目标物理位置，对待加工件进行加工之前，方法还可以包括：获取包含任一条当前预定线的多组待测预定线图像，每组待测预定线图像是第三图像采集装置在所述待加工件沿预设基准方向移动的情况下针对所述待加工件上的所述当前预定线采集获得的图像；基于所述多组待测预定线图像，并基于基准位置点依次对应确定多组位置点，每组位置点包括第一位置点和第二位置点，所述第一位置点和所述第二位置点位于所述基准位置点的两侧，并且沿所述预设基准方向，所述多组位置点各自包含的两个位置点之间的间距逐渐增大，所述多组待测预定线图像与所述多组位置点一一对应，任一组待测预定线图像包括与对应组位置点中的第一位置点和第二位置点分别对应的两个待测预定线图像；在每次确定一组位置点后，根据该组位置点中的第一位置点和第二位置点之间的连线相对于所述预设基准方向的连线角度，调整所述待加工件的位置，以校正所述待加工件上的所述当前预定线的位置；其中，在所述基准位置点和所述多组位置点中，不同位置点是所述当前预定线上的不同特征点所对应的位置点。

在对待加工件进行加工之前，还可以对待加工件上的预定线的方向进行校正，以使得校正后的预定线能够与预设基准方向平行，以方便加工。预设基准方向可以根据需要设定，其可以是例如上述X轴所在的水平方向。

在一个实施例中，可以通过图像采集装置(可以称为第三图像采集装置)采集包含任意一条预定线(称为当前预定线)的待测预定线图像。该图像采集装置可以是任一图像采集装置，比较可取的是，其与前文所述的第二图像采集装置可以为同一个，即第三图像采集装置也可以是上述小视野相机。

待测预定线图像可以是包含任意数量预定线的图像。示例性地，每组待测预定线图像可以是第三图像采集装置在晶圆沿预设基准方向移动的情况下，针对晶圆上的预定线采集获得的图像。预设基准方向可以是任意方向，例如水平方向、竖直方向等。为了方面描述和理解，下面本文所示的实施例中，均以预设基准方向为水平方向进行描述。每组待测预定线图像可以是静态图像，也可以是动态视频中的任一视频帧。待测预定线图像可以是第三图像采集装置采集到的原始图像，也可以是对第三图像采集装置采集到的原始图像进行预处理(诸如数字化、归一化、平滑等)之后获得的图像。可以理解，对原始图像的预处理可以包括从第三图像采集装置采集到的原始图像中提取包含待测预定线的子图像进而获得多组待测预定线图像的操作。

基于多组待测预定线图像，并基于基准位置点依次对应确定多组位置点，其中，在基准位置点和多组位置点中，不同位置点是预定线上的不同特征点所对应的位置点。特征点可以是待加工件上的任意能够识别的特征点。示例性地，特征点可以是待加工件上自身具有的特征点，也可以是例如通过人工或者加工装置等在待加工件上额外标记的特征点。在一个示例中，特征点可以是切割道中心。不同特征点可以分别是晶圆上不同位置处的切割道中心。任一特征点所对应的位置点可以是该特征点在上述图像坐标系中所对应的图像位置点，也可以是该特征点在上述世界坐标系中所对应的物理位置点。

示例性地，图7示出了根据本发明一个实施例的切割道图像。基准位置点可以用第一切割道与第二切割道包含的切割道中心所对应的图像位置点(即图像位置)或物理位置点(即物理位置)表示。第一组待测预定线图像可以包含第一待测预定线图像和第二待测预定线图像。第一待测预定线图像可以至少包含如图7中左侧的虚线区域，该图像可以表示晶圆从基准位置点开始沿着水平方向向右移动的过程中，第三图像采集装置针对第一切割道和第三切割道的交叉区域采集的图像。第二待测预定线图像可以至少包含如图7中右侧的虚线区域，该图像可以表示晶圆从基准位置点开始沿着水平方向向左移动的过程中，第三图像采集装置针对第一切割道和第四切割道的交叉区域采集的图像。因此，基于基准位置点沿水平方向分别向两侧移动，可以采集获得第一组待测预定线图像，并进而基于第一组待测预定线图像确定第一位置点A1和第二位置点A2。第一位置点A1可以是第一切割道和第三切割道包含的切割道中心所对应的图像位置点或物理位置点。第二位置点A2可以是第一切割道和第四切割道包含的切割道中心所对应的图像位置点或物理位置点。通过类似的方式，可以依次确定多组位置点B1B2、C1C2等，并且每组位置点中均可以包含第一位置点和第二位置点。沿水平方向，多组位置点各自包含的两个位置点之间的间距逐渐增大。即C1C2之间的距离大于B1B2之间的距离。示例性地，多组待测预定线图像的组数目与多组位置点的组数目一致并且多组待测预定线图像与多组位置点一一对应。

示例性地，在每确定一组位置点后均可以执行以下操作，以校正晶圆上的预定线的位置。例如确定第一组位置点后，可以根据该组位置点中的第一位置点A1和第二位置点A2之间的连线相对于水平方向的连线角度，调整晶圆的位置。如果第一位置点A1和第二位置点A2之间的连线相对于水平方向为逆时针倾斜2度，此时可以将晶圆顺时针旋转2度，以使晶圆上第一位置点A1和第二位置点A2之间的连线与水平方向重合。这样可以将预定线校正为倾向与预设基准方向平行。可以理解，调整待加工件，其上的所有预定线的方向都可以得到校正。

根据上述技术方案，确定多组位置点，通过每组位置点中的两个位置点之间的连线相对于预设基准方向的连线角度调整待加工件的位置，进而校正待加工件上的预定线的位置。通过多组位置点的设置，使得能够在较宽的范围内实现对待加工件上的预定线的高精度定位。

根据上述技术方案，可以根据每组位置点中的第一位置点和第二位置点之间的连线相对于预设基准方向的连线角度，校正待加工件上的至少一条预定线所对应的目标物理位置，该方法无需复杂计算，操作简便容易实现。

根据本发明的第四方面，还提供了一种位置标定装置。图8示出了根据本发明一个实施例的位置标定装置800的示意性框图。如图8所示，该装置800可以包括获取模块810、第一确定模块820、第二确定模块830和第三确定模块840。

获取模块810，可以用于获取模板图像和多个第一待测图像，其中，模板图像包含待加工件上的标识特征，多个第一待测图像是在待加工件分别处于多个不同第一物理位置时图像采集装置针对待加工件采集获得的图像，多个第一待测图像的数目大于或等于3个，多个不同第一物理位置是沿与待加工件旋转的旋转轴线对应的周向方向分布的不同物理位置。

第一确定模块820，可以用于对于多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据模板图像，确定标识特征在该第一待测图像中的图像位置。

第二确定模块830，可以用于通过标识特征在多个第一待测图像中的图像位置，确定旋转轴线所对应的图像位置。

第三确定模块840，可以用于根据旋转轴线所对应的图像位置和图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定旋转轴线与视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置。

根据本发明的第五方面，还提供了一种电子设备。图9示出了根据本发明一个实施例的电子设备900的示意性框图，如图9所示，该电子设备900可以包括处理器910和存储器920。其中，存储器920中存储有计算机程序，处理器910执行计算机程序以实现上述位置标定方法或上述用于加工装置的图像采集装置位置确定方法或上述的加工方法。

根据本发明的第六方面，还提供了一种存储介质。在所述存储介质上存储了程序指令，所述程序指令在运行时用于执行如上所述位置标定方法或上述用于加工装置的图像采集装置位置确定方法或上述的加工方法。存储介质例如可以包括平板电脑的存储部件、个人计算机的硬盘、只读存储器(ROM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM)、便携式紧致盘只读存储器(CD-ROM)、USB存储器、或者上述存储介质的任意组合。所述计算机可读存储介质可以是一个或多个计算机可读存储介质的任意组合。

可以理解的是，本发明中描述的“点”，例如位置点、特征点等，在将对应的图像放大的情况下，这些“点”对应的都是一个“区域”，如图7所示的第一切割道与第二切割道交叉的切割道中心，虽然在上文描述为“图像位置点”，但从图7看出在图示情况示出的是一个“区域”。此处的“区域”可以是由图像中的单个像素或多个像素构成的图像区域。

本领域普通技术人员通过阅读上述有关位置标定方法的相关描述，可以理解上述位置标定装置、电子设备和存储介质的具体实现方案及其有益效果，为了简洁，在此不再赘述。

尽管这里已经参考附图描述了示例实施例，应理解上述示例实施例仅仅是示例性的，并且不意图将本发明的范围限制于此。本领域普通技术人员可以在其中进行各种改变和修改，而不偏离本发明的范围和精神。所有这些改变和修改意在被包括在所附权利要求所要求的本发明的范围之内。

本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本发明的范围。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的设备和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个设备，或一些特征可以忽略，或不执行。

在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本发明并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该本发明的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如相应的权利要求书所反映的那样，其发明点在于可以用少于某个公开的单个实施例的所有特征的特征来解决相应的技术问题。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。

本领域的技术人员可以理解，除了特征之间相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

本发明的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(DSP)来实现根据本发明实施例的位置标定装置中的一些模块的一些或者全部功能。本发明还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的装置程序(例如，计算机程序和计算机程序产品)。这样的实现本发明的程序可以存储在计算机可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网网站上下载得到，或者在载体信号上提供，或者以任何其他形式提供。

应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本发明可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式或对具体实施方式的说明，本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (15)

1.一种位置标定方法，其特征在于，包括：

获取模板图像和多个第一待测图像，其中，所述模板图像包含待加工件上的标识特征，所述多个第一待测图像是在所述待加工件分别处于多个不同第一物理位置时图像采集装置针对所述待加工件采集获得的图像，所述多个第一待测图像的数目大于或等于3个，所述多个不同第一物理位置是沿与所述待加工件旋转的旋转轴线对应的周向方向分布的不同物理位置；

对于所述多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据所述模板图像，确定所述标识特征在该第一待测图像中的图像位置；

通过所述标识特征在所述多个第一待测图像中的图像位置，确定所述旋转轴线所对应的图像位置；

根据所述旋转轴线所对应的图像位置和所述图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定所述旋转轴线与所述视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述根据所述旋转轴线所对应的图像位置和所述图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定所述旋转轴线与所述视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置，包括：

计算所述旋转轴线所对应的图像位置和所述视野中心所对应的图像位置之间的图像位置差；

基于所述图像位置差以及图像位置与物理位置之间的转换关系，确定所述图像位置差所对应的物理位置差；

在所述待加工件按照所述物理位置差移动之后，获取所述待加工件所对应的物理位置作为所述重合物理位置。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，在所述基于所述图像位置差以及图像位置与物理位置之间的转换关系，确定所述图像位置差所对应的物理位置差之前，所述方法还包括：

获取多个第二待测图像，所述多个第二待测图像是在所述待加工件分别处于多个不同第二物理位置时所述图像采集装置针对所述待加工件采集获得的图像，所述多个第二待测图像的数目大于或等于3个；

对于所述多个第二待测图像中的每个第二待测图像，根据所述模板图像，确定所述标识特征在该第二待测图像中的图像位置；

根据所述标识特征在所述多个第二待测图像中的图像位置以及所述多个第二物理位置，确定所述转换关系。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述多个不同第二物理位置一一对应地分布在所述待加工件的可移动区域内的多个不同子区域内，所述多个不同子区域通过对所述可移动区域中的至少部分区域进行均匀划分得到。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其中，

所述对于所述多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据所述模板图像，确定所述标识特征在该第一待测图像中的图像位置，包括：

在所述待加工件处于任一第一物理位置时，响应于用户在第一用户界面上输入的第一位置确定指令，根据所述模板图像，确定所述标识特征在与该第一物理位置相对应的第一待测图像中的图像位置；和/或，

在所述对于所述多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据所述模板图像，确定所述标识特征在该第一待测图像中的图像位置之后，或者在所述对于所述多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据所述模板图像，确定所述标识特征在该第一待测图像中的图像位置的过程中，所述方法还包括：

对于所述多个第一待测图像中的每个第一待测图像，在第二用户界面上显示所述标识特征在该第一待测图像中的图像位置。

6.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其中，所述通过所述标识特征在所述多个第一待测图像中的图像位置，确定所述旋转轴线所对应的图像位置，包括：

响应于用户在第三用户界面上输入的第二位置确定指令，通过所述标识特征在所述多个第一待测图像中的图像位置，确定所述旋转轴线所对应的图像位置。

7.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其中，获取多个第一待测图像包括：

循环执行以下操作：

在所述待加工件处于当前第一物理位置时，获取所述图像采集装置采集的对应的第一待测图像；

以初始物理位置为基准，将所述待加工件绕所述旋转轴线旋转预设角度，以使所述待加工件处于另一第一物理位置，所述初始物理位置为所述多个不同第一物理位置中的任一物理位置；

其中，任意两个相邻第一物理位置所对应的旋转角度之差大于预设角度阈值。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述以初始物理位置为基准，将所述待加工件绕所述旋转轴线旋转预设角度，以使所述待加工件处于另一第一物理位置，包括：

响应于用户在第四用户界面上输入的旋转指令，以所述初始物理位置为基准，控制所述待加工件旋转所述预设角度，以到达对应的第一物理位置，其中，所述旋转指令包括所述预设角度。

9.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其中，所述待加工件是晶圆，所述模板图像包含所述晶圆上的两条互相垂直的切割道的交叉区域以及位于所述交叉区域周围预设范围内的区域，所述标识特征是所述交叉区域的中心。

10.一种用于加工装置的图像采集装置位置确定方法，其特征在于，所述加工装置包括第一图像采集装置和第二图像采集装置，所述第一图像采集装置的图像采集范围大于所述第二图像采集装置的图像采集范围，所述第一图像采集装置和所述第二图像采集装置分别为权利要求1-9中任一项所述的图像采集装置，所述方法包括：

通过如权利要求1-9中任一项所述的位置标定方法确定所述第一图像采集装置的视野中心与所述旋转轴线重合时对应的第一物理位置；

通过如权利要求1-9中任一项所述的位置标定方法确定所述第二图像采集装置的视野中心与所述旋转轴线重合时对应的第二物理位置；

根据所述第一物理位置和所述第二物理位置，确定所述第一图像采集装置与所述第二图像采集装置之间的物理位置差。

11.一种加工方法，其特征在于，包括：

通过如权利要求10所述的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法确定所述第一图像采集装置与所述第二图像采集装置之间的第一物理位置差；

基于第一产品特征在第一图像中的图像位置以及至少一条预定线与所述第一产品特征之间的相对位置关系，确定所述至少一条预定线的初始物理位置，其中，所述第一图像是所述第一图像采集装置针对所述待加工件采集的图像，所述预定线为所述待加工件上的特征线；

至少基于所述第一物理位置差，确定在同一标定时刻所述第一产品特征所对应的物理位置与第二产品特征所对应的物理位置之间的第二物理位置差，其中，所述第二产品特征是第二图像上的特征，所述第二图像是所述第二图像采集装置针对所述待加工件采集的图像，并且所述第一产品特征和所述第二产品特征对应于所述待加工件上的同一特征；

根据所述初始物理位置和所述第二物理位置差，确定所述至少一条预定线的目标物理位置；

至少基于所述至少一条预定线的所述目标物理位置，对所述待加工件进行加工。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，在所述至少基于所述至少一条预定线的所述目标物理位置，对所述待加工件进行加工之前，所述方法还包括：

获取包含任一条当前预定线的多组待测预定线图像，每组待测预定线图像是第三图像采集装置在所述待加工件沿预设基准方向移动的情况下针对所述待加工件上的所述当前预定线采集获得的图像；

基于所述多组待测预定线图像，并基于基准位置点依次对应确定多组位置点，每组位置点包括第一位置点和第二位置点，所述第一位置点和所述第二位置点位于所述基准位置点的两侧，并且沿所述预设基准方向，所述多组位置点各自包含的两个位置点之间的间距逐渐增大，所述多组待测预定线图像与所述多组位置点一一对应，任一组待测预定线图像包括与对应组位置点中的第一位置点和第二位置点分别对应的两个待测预定线图像；

在每次确定一组位置点后，根据该组位置点中的第一位置点和第二位置点之间的连线相对于所述预设基准方向的连线角度，调整所述待加工件的位置，以校正所述待加工件上的所述当前预定线的位置；

其中，在所述基准位置点和所述多组位置点中，不同位置点是所述当前预定线上的不同特征点所对应的位置点。

13.一种位置标定装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取模板图像和多个第一待测图像，其中，所述模板图像包含待加工件上的标识特征，所述多个第一待测图像是在所述待加工件分别处于多个不同第一物理位置时图像采集装置针对所述待加工件采集获得的图像，所述多个第一待测图像的数目大于或等于3个，所述多个不同第一物理位置是沿与所述待加工件旋转的旋转轴线对应的周向方向分布的不同物理位置；

第一确定模块，用于对于所述多个第一待测图像中的每个第一待测图像，根据所述模板图像，确定所述标识特征在该第一待测图像中的图像位置；

第二确定模块，用于通过所述标识特征在所述多个第一待测图像中的图像位置，确定所述旋转轴线所对应的图像位置；

第三确定模块，用于根据所述旋转轴线所对应的图像位置和所述图像采集装置的视野中心所对应的图像位置，确定所述旋转轴线与所述视野中心重合时对应的物理位置，以获得重合物理位置。

14.一种电子设备，包括处理器和存储器，其特征在于，存储器中存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序以实现如权利要求1-9任一项所述的位置标定方法或如权利要求10所述的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法或如如权利要求11或12所述的加工方法。

15.一种存储介质，存储有计算机程序/指令，其特征在于，所述计算机程序/指令被处理器执行时实现如权利要求1-9任一项所述的位置标定方法或如权利要求10所述的用于加工装置的图像采集装置位置确定方法或如如权利要求11或12所述的加工方法。

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