CN116037592A - 晶圆盒晶圆篮清洗设备 - Google Patents

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霍召军
李涛
吴亚晨
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Abstract

本申请涉及一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，旋转支撑架可以使容纳架发生公转，方便将相应的容纳架转动到对应内筒体的开口处，同时容纳架本身也可以自转，容纳架固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操作。同时，本发明中的电机仅驱动中间轴转动进而带动所述竖直喷管转动，竖直喷管转动转动从而覆盖全部的容纳架，同时转动部件少，结构更加简单。

Description

晶圆盒晶圆篮清洗设备
技术领域
本申请属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆盒晶圆篮清洗设备。
背景技术
在晶圆的运输过程中，需要先将一片一片的晶圆***到晶圆篮中，再讲晶圆篮至于晶圆盒中进行保护。为保护晶圆在运输过程中不受到污染，需要对晶圆盒和晶圆篮也一并进行清洗，以清洗掉其中的灰尘等杂质。
中国专利文献CN210575861U公开了一种晶圆篮清洗机构，其中使用清洗管固定，转动架转动的方式对晶圆篮进行清洗，导致其需要较大的电机和较为复杂的机构来实现晶圆篮的清洗过程。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种结构简单、成本更低的晶圆盒晶圆篮清洗设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，包括：
外框架；
内筒体，为圆筒形，设置在外框架内，前端具有开口；
旋转容纳架，包括中间轴、自由转动地设置在中间轴上的旋转支撑架、设置在旋转支撑架上的用于固定晶圆篮和晶圆盒的容纳架和竖直喷管，所述容纳架包括平行设置的两块侧板、若干隔板和竖杆，所述隔板与侧板一起将所述容纳架沿高度方向形成若干固定空间，所述固定空间用于固定晶圆篮和晶圆盒，所述竖杆设置在两块侧板之间以使所述容纳架在一侧形成开口，所述竖杆上还设置有卡块以卡住晶圆篮，所述容纳架底部还设置有限位组件以使容纳架固定在开口朝外或者开口朝内的状态，所述中间轴上设置有安装块，所述竖直喷管设置在安装块，所述安装块中间具有通道并连接所述竖直喷管；
清洗泵，用于将清洗泵泵入竖直喷管中；
电机，用于驱动中间轴转动进而带动所述竖直喷管转动。
优选地，本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述限位组件包括固定在旋转支撑架上的U形弹片，设置在转轴上的凸块，转轴转动时，使凸块与U形弹片相配合，使容纳架固定在相应位置，
优选地，本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述旋转支撑架，包括位于顶部和底部的两个圆盘以及连接两个圆盘的连杆。
优选地，本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述旋转支撑架的底部设置有进气口并通过中间轴的中空通道与安装块中的连通通道连通，所述进气口与清洗泵通过管道进行连接。
优选地，本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，每个容纳架上的固定空间为3个，其中上下两个位置用于固定晶圆篮，中间用于固定晶圆盒。
优选地，本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，电机和清洗泵均设置在所述外框架的下部。
优选地，本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述中间轴的顶部设置有第一运动密封盘和第二运动密封盘，固定在内筒体上的第一固定密封盘和第二固定密封盘，所述第一运动密封盘上设置有第一密封圈，所述第二固定密封盘上设置有第二密封圈，第一密封圈密封第一运动密封盘与第一固定密封盘之间的间隙，第二密封圈密封第二运动密封盘和第二固定密封盘之间的间隙。
优选地，本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述第一固定密封盘上设置有密封凸块以与第一密封圈配合。
本发明的有益效果是：
本发明的晶圆盒晶圆篮清洗设备，旋转支撑架可以使容纳架发生公转，方便将相应的容纳架转动到对应内筒体的开口处，同时容纳架本身也可以自转，容纳架固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操作。同时，本发明中的电机仅驱动中间轴转动进而带动所述竖直喷管转动，竖直喷管转动转动从而覆盖全部的容纳架，同时转动部件少，结构更加简单。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例的晶圆盒晶圆篮清洗设备的结构示意图；
图2是本申请实施例的旋转容纳架的结构示意图；
图3和图4是本申请实施例的容纳架的结构示意图；
图5是本申请实施例的限位组件的放大图；
图6是本申请实施例的旋转支撑架的结构示意图；
图7是本申请实施例的晶圆盒晶圆篮清洗设备的剖视图；图中的附图标记为：
1 外框架；
2 内筒体；
3 旋转容纳架；
4 清洗泵；
5 电机；
31 旋转支撑架；
32 容纳架；
33 限位组件；
35 中间轴；
36 竖直喷管；
311 圆盘；
312 连杆；
321 侧板；
322 隔板；
323 竖杆
324 卡块；
325 转轴；
331 形弹片；
332 凸块；
341 安装块；
342 进气口；
351 中空通道；
3411 通道。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例
本实施例提供一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，如图1所示，包括：
外框架1；
内筒体2，为圆筒形，设置在外框架1内，前端具有开口；
旋转容纳架3，包括中间轴35、自由转动地设置在中间轴35上的旋转支撑架31、设置在旋转支撑架31上的用于固定晶圆篮和晶圆盒的容纳架32(通过转轴325与旋转支撑架31连接)和竖直喷管36，所述容纳架32包括平行设置的两块侧板321、若干隔板322和竖杆323，所述隔板322与侧板321一起将所述容纳架32沿高度方向形成若干固定空间，所述竖杆323设置在两块侧板321之间以使所述容纳架32在一侧形成开口(开口供晶圆盒和晶圆篮置入)，所述竖杆323上还设置有卡块324以卡住晶圆篮，所述容纳架32底部还设置有限位组件33以使容纳架32固定在开口朝外或者开口朝内的状态，如图5所示，所述限位组件33包括固定在旋转支撑架31上的U形弹片331，设置在转轴325上的凸块332，转轴325转动时，使凸块332与U形弹片331相配合，使容纳架32固定在相应位置，所述中间轴35上设置有安装块341，所述竖直喷管36设置在安装块341，所述安装块341中间具有通道并连接所述竖直喷管36；
清洗泵4，用于将清洗泵泵入竖直喷管36中；
电机5，用于驱动中间轴35转动进而带动所述竖直喷管36转动。
本实施例的晶圆盒晶圆篮清洗设备，旋转支撑架31可以使容纳架32发生公转(手动转动，手动上下晶圆盒和晶圆篮)，方便将相应的容纳架32转动到对应内筒体2的开口处，同时容纳架32本身也可以自转，容纳架32固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架32上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操作。同时，本实施例电机5仅驱动中间轴35转动进而带动所述竖直喷管36转动(不带动旋转支撑架31转动)，竖直喷管36转动转动从而覆盖全部的容纳架32，同时转动部件少，结构更加简单。
进一步地，所述旋转支撑架31，如图6所示，包括位于顶部和底部的两个圆盘311以及连接两个圆盘311的连杆312(有3个)。
进一步地，所述旋转支撑架31的底部设置有进气口342并通过中间轴35的中空通道351与安装块341中的连通通道3411连通，所述进气口342与清洗泵4通过管道进行连接。
进一步地，如图3所示，每个容纳架32上的固定空间为3个，其中上下两个位置用于固定晶圆篮，中间用于固定晶圆盒。
进一步地，电机5和清洗泵4均设置在所述外框架1的下部。
进一步地，所述中间轴35的顶部设置有第一运动密封盘72和第二运动密封盘75，固定在内筒体2上的第一固定密封盘71和第二固定密封盘76，所述第一运动密封盘72上设置有第一密封圈73，所述第二固定密封盘76上设置有第二密封圈77，第一密封圈73密封第一运动密封盘72与第一固定密封盘71之间的间隙，第二密封圈77密封第二运动密封盘75和第二固定密封盘76之间的间隙。
进一步地，所述第一固定密封盘71上设置有密封凸块74以与第一密封圈73配合。
需要说明的是，所述中间轴35的顶部和底部均具有轴承。通过上述密封结构，使清洗液不容易进入中间轴35顶部和底部的轴承处。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (8)

1.一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，包括：
外框架(1)；
内筒体(2)，为圆筒形，设置在外框架(1)内，前端具有开口；
旋转容纳架(3)，包括中间轴(35)、自由转动地设置在中间轴(35)上的旋转支撑架(31)、设置在旋转支撑架(31)上的用于固定晶圆篮和晶圆盒的容纳架(32)和竖直喷管(36)，所述容纳架(32)包括平行设置的两块侧板(321)、若干隔板(322)和竖杆(323)，所述隔板(322)与侧板(321)一起将所述容纳架(32)沿高度方向形成若干固定空间，所述固定空间用于固定晶圆篮和晶圆盒，所述竖杆(323)设置在两块侧板(321)之间以使所述容纳架(32)在一侧形成开口，所述竖杆(323)上还设置有卡块(324)以卡住晶圆篮，所述容纳架(32)底部还设置有限位组件(33)以使容纳架(32)固定在开口朝外或者开口朝内的状态，所述中间轴(35)上设置有安装块(341)，所述竖直喷管(36)设置在安装块(341)，所述安装块(341)中间具有通道并连接所述竖直喷管(36)；
清洗泵(4)，用于将清洗泵泵入竖直喷管(36)中；
电机(5)，用于驱动中间轴(35)转动进而带动所述竖直喷管(36)转动。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，所述限位组件(33)包括固定在旋转支撑架(31)上的U形弹片(331)，设置在转轴(325)上的凸块(332)，转轴(325)转动时，使凸块(332)与U形弹片(331)相配合，使容纳架(32)固定在相应位置。
3.根据权利要求1所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，所述旋转支撑架(31)，包括位于顶部和底部的两个圆盘(311)以及连接两个圆盘(311)的连杆(312)。
4.根据权利要求1所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，所述旋转支撑架(31)的底部设置有进气口(342)并通过中间轴(35)的中空通道(351)与安装块(341)中的连通通道(3411)连通，所述进气口(342)与清洗泵(4)通过管道进行连接。
5.根据权利要求1所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，每个容纳架(32)上的固定空间为3个，其中上下两个位置用于固定晶圆篮，中间用于固定晶圆盒。
6.根据权利要求1所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，电机(5)和清洗泵(4)均设置在所述外框架(1)的下部。
7.根据权利要求1所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，所述中间轴(35)的顶部设置有第一运动密封盘(72)和第二运动密封盘(75)，固定在内筒体(2)上的第一固定密封盘(71)和第二固定密封盘(76)，所述第一运动密封盘(72)上设置有第一密封圈(73)，所述第二固定密封盘(76)上设置有第二密封圈(77)，第一密封圈(73)密封第一运动密封盘(72)与第一固定密封盘(71)之间的间隙，第二密封圈(77)密封第二运动密封盘(75)和第二固定密封盘(76)之间的间隙。
8.根据权利要求7所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，所述第一固定密封盘(71)上设置有密封凸块(74)以与第一密封圈(73)配合。
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