CN115950890B - 用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法及*** - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法及***，其中***用于实现如下步骤：S1、搭建谱域光学相干层析成像检测***；S2、对谱域光学相干层析成像检测***进行畸变校准；S3、将待测样品放置到样品承载单元上；S4、样品承载单元带动待测样品移动，并且谱域光学相干层析成像单元对待测样品进行扫描并获取待测样品的3D原始层析信号；S5、图像处理单元对3D原始层析信号进行数据处理，获得待测样品的光学相干层析3D图像；S6、缺陷分类单元对光学相干层析3D图像进行分析并输出检测结果。本发明通过计算机后期处理消除光学***的畸变影响，保证***获得大视野且高分辨率的3D层析结构信息以及更准确的缺陷检测和分类结果。
Description
技术领域
本发明涉及光学检测领域，特别涉及用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法及***。
背景技术
随着科技发展与消费水平的提升，各类产品的演化日新月异。新材料、新工艺、新设计赋予了产品新的功能，也对产品质量的检控提出了更高的要求。
目前检测手段主要是人工目视检测的方式。大量的人工以劳动密集方式在工厂车间进行检测，为了确保无漏失无误判，被称之为“黄金眼”的资深检测人员需对初检后的产品进行复判。然而，人工目视检测的方式，除大量人力堆砌之外，还存在检测标准不一致、效率低、易受主观因素影响等不足，难以满足实际工业生产需求。
传统的机器视觉技术和自动光学检测技术，用透镜组模拟人眼，获取待检测物的二维图像，通过图像处理技术，进一步识别缺陷，判定产品合格与否。然而，随着各类新型产品材质、设计、色彩多样性的急速发展，传统的基于2D数据的自动光学检测技术已经不能满足工业质检需求，样品3D结构信息的高速获取以及新型数据分析和缺陷分析的算法呼之欲。
目前主流的3D测量技术包含有双目立体视觉、时间飞行法、散斑测量、以及结构光方法。上述3D检测方法所获取的都是样品的表面形貌信息。然而，随着3C类产品相关技术的急速发展，透明、半透明，或者高散射结构产品的可层析的3D缺陷检测需求日益显著。
目前，可实现层析成像的技术主要有两种：光学相干层析成像和色散共聚焦显微镜。但后者有如下重大缺陷：(1)成像灵敏度低，不能识别微弱的缺陷信号；(2)色散镜头设计异常复杂；(3)检测速度缓慢。因而，目前为止光学相干层析成像技术是实现高质量层析成像的唯一有效技术路线。
诞生于上世纪90年代的光学相干层析成像是一种基于光谱宽带光源的低相干光学干涉成像技术。该技术通过光学干涉的方法测量样品内部不同深度处散射/反射的光信号，从而实现对待测样品内部的三维“层析”成像。光学相干层析成像是一种无损探测技术，且具有高灵敏度、高速度、大视野、高精度等特点，该技术非常适合对高散射样品、透明和半透明多层结构进行成像和测量。光学相干层析成像目前在生物医学领域，尤其是眼科学，具有非常广泛且不可替代的应用。目前，光学相干层析成像也少量应用于工业场景中，比如对镜头组的内部缺陷，液晶屏幕内部缺陷，片剂药物不同厚度以及印刷电路板表面3D形貌缺陷等。
传统SD-OCT采用共焦探测的方法。用于样品检测时，需要使用样品臂上的2D扫描振镜沿着表面进行点扫描，接收端的光纤因其微小的孔径(微米量级)构成小孔光阑，且和准直器***以及样品臂中的聚焦物镜***共同构成了共焦成像***。然而，区别于医学应用的工业检测领域，其对横向分辨率，成像深度和视野有着极高的要求，进而对光束扫描***和聚焦***提出了苛刻的要求。在实际应用场景中，扫描***和聚焦成像***的畸变以及装调误差很难通过硬件优化和调整完全消除，将严重影响成像质量。
目前传统的自适应光学技术主要由硬件完成，如首先使用Shack-Hartmann波前传感器获取波面相位信息，再用变形镜校准相应的波面畸变。但该传统技术的缺点为：成本高，结构复杂，速度慢，***占用空间大，无法处理复杂的波面畸变情况。
发明内容
本发明的第一个目的是提供一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法，该方法通过计算机后期处理消除光学***的畸变影响，保证***获得大视野且高分辨率的3D层析结构信息以及更准确的缺陷检测和分类结果。
实现本发明第一个目的的技术方案是：本发明中用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法，包括以下步骤：
S1、搭建谱域光学相干层析成像检测***；所述谱域光学相干层析成像检测***包括谱域光学相干层析成像单元、样品承载单元、图像处理单元和缺陷分类单元；所述样品承载单元包括用于放置透明或半透明或高散射的待测样品的承载平台，以及用于驱动承载平台垂直方向移动和水平面上2D移动的驱动机构；
S2、对谱域光学相干层析成像检测***进行畸变校准；
S3、将透明或半透明或高散射的待测样品放置到样品承载单元的承载平台上，并使待测样品位于检测区域内；
S4、样品承载单元的驱动机构驱动承载平台上的待测样品移动，并且谱域光学相干层析成像单元对待测样品进行2D点扫描，获取扫描光束方向上的单点位置的纵深信号，从而获取待测样品的3D原始层析信号，并传输给图像处理单元；
S5、图像处理单元接收到3D原始层析信号后，对其进行包括计算自适应光学散发在内的数据处理，获得待测样品的完整的3D空间维度的光学相干层析3D图像，然后将光学相干层析3D图像传输给缺陷分类单元；
S6、缺陷分类单元对光学相干层析3D图像进行分析，并对待测样品上各待检区域进行缺陷识别及分类，并输出检测结果。
进一步，上述步骤S2中畸变校准的步骤如下：
A、将分辨率标定板放置在承载平台上，且位于检测区域内；
B、调整谱域光学相干层析成像单元，使其可以在其样品臂的第一透镜组的焦面附近对分辨率标定板做清晰成像；
C、将分辨率标定板换为标准样品；所述标准样品由尺度小于谱域光学相干层析成像单元的横纵向分辨率的散射颗粒和水组成的悬浮液体；
D、谱域光学相干层析成像单元对标准样品进行扫描成像，得到标准样品的谱域光学相干层析的3D原始数据s0(x，y，k)；其中x，y为水平维度的空间坐标，k为光谱维度的波数坐标；
E、对3D原始数据s0(x，y，k)进行x，y方向的二维傅里叶变换得到3D数据
其中Qx，Qy对应于x，y维度的空间频率坐标；
F、将3D数据
和用于校准谱域光学相干层析成像单元整体像差的相位因子/>
相乘，得到相位调制后的3D数据/>
其中kc为光源光谱的中心波长λ0所对应的波数，Ψ(Qx，Qy)为一个物理意义为相位的2D函数；此2D函数的具体数值由以下过程和判据决定；i是虚数单位，且i＝sqrt(-1)；
G、对相位调制后的3D数据
做3D傅里叶变换可得到3D图像数据I1(x，y，z)，其中z为和x，y方向相垂直的空间坐标；
H、选取I1(x，y，z)中的空间位置在样品臂的第一透镜组的焦面处的数据横截面；找到悬浮液体中某个粒子P的清晰成像(其中悬浮液体中粒子的密度较大，因此数据横截面中总可以找到某个粒子P的清晰成像)，以粒子P的像的重心为原点作圆形，并覆盖整个粒子P的图像且不包含其他粒子的图像，该圆形的面积为A0；然后计算粒子P的图像在其半高强度位置处所占据的面积A1，与A0的比率：r＝A1/A0；
I、不断调节2D函数Ψ(Qx，Qy)的数值，使得粒子P的图像变得锐利，直到比率r的数值取得最小值，Ψ(Qx，Qy)即获得最优的畸变补偿的结果，最终实现畸变校准。
进一步，上述谱域光学相干层析成像检测***用于同步控制谱域光学相干层析成像单元的采图和样品承载单元的驱动机构，以对待测样品进行水平方向分块成像；用于将分块的3D原始层析信号传输给图像处理单元；图像处理单元对分块的3D原始层析信号进行拼接获得完整的3D空间维度的光学相干层析3D图像。
进一步，上述图像处理单元对分块的3D原始层析信号进行处理形成分块3D图像，并将分块3D图像传输给缺陷分类单元；所述缺陷分类单元对分块3D图像进行分析获取缺陷类型，并综合各个分块缺陷信息形成待测样品的总体缺陷信息。
本发明的第二个目的是提供一种实现上述检测方法的谱域光学相干层析成像检测***，能够可有效解决传统硬件补偿对***可能带来的成本升高，***复杂性升高，校准速度慢，***稳定性降低等困难问题。
实现本发明第二个目的的技术方案是：本发明中用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测***，具有用于实现上述步骤S2至S6的谱域光学相干层析成像检测***。
其中，谱域光学相干层析成像单元为光纤型干涉仪，包括光谱宽带光源、光纤型耦合器、样品臂、参考臂、光谱仪、数据采集单元和同步控制单元；所述光谱宽带光源用于发出低相干光；所述光纤型耦合器用于将低相干光按照分成两束分别入射到样品臂和参考臂；所述样品臂将光纤中的光信号准直为平行光，并通过偏转装置、第一透镜组聚焦到待测样品之上，同时装配有同轴指示可见光源，同轴可见照明光源以及面扫描相机，同时装配有第一光纤偏振控制器以调节入射到待测样品的光信号的偏振态；所述参考臂将光纤中的光信号准直为平行光，并通过第二透镜组聚焦到反射平面镜上，同时装配有可调节光强的光阑，装配有第二光纤偏振控制器以调节参考臂中的光信号的偏振态；样品臂和参考臂的返回光在光纤型耦合器上发生干涉；光谱仪将光纤中的光干涉信号准直为平行光入射到光栅进行衍射，第三透镜组对衍射光聚焦到线扫描相机进行光电转换以获取光干涉信号的调制光谱，同时装配第三光纤偏振控制器以调节照射到光栅上的光的偏振态；所述数据采集单元将光谱仪输出的模拟电子信号转化为数字信号；同步控制单元输出多路控制信号，对光谱仪的采集进程，样品臂的光线偏转进程，样品承载单元的待测样品的移动进程以及图像处理单元的数据处理和显示进程进行同步调节。
其中，3D原始层析信号为2D空间信号和1D谱域信号，1D谱域信号对应于1D深度方向的空间信号。
本发明具有积极的效果：
(1)本发明不仅能够实现工业领域内对高散射样品、透明和半透明多层结构样品进行微米级的高精度、大视野和高灵敏度的3D成像，而且能够实现对不同深度缺陷的定位和类型识别。
(2)本发明可有效解决光束扫描***中的光学畸变带来的***横向分辨率的劣化问题，保证***成像质量。并且能够可有效解决传统硬件补偿对***可能带来的成本升高，***复杂性升高，校准速度慢，***稳定性降低等困难问题。该方法同样具有极大的灵活性，可方便地处理任意其他成像***的光学畸变问题。
(3)本发明将计算自适应光学技术应用于基于谱域光学相干层析成像技术的3D无损工业缺陷检测***当中，通过计算机后期处理消除光学***的畸变影响，保证***获得大视野且高分辨率的3D层析结构信息以及更准确的缺陷检测和分类结果。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中
图1为本发明中谱域光学相干层析成像单元的结构示意图；
图2为本发明中样品承载单元的结构示意图；
图3为本发明中样品承载单元的正视图。
具体实施方式
(实施例1)
本发明中用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法，包括以下步骤：
S1、搭建谱域光学相干层析成像检测***；所述谱域光学相干层析成像检测***包括谱域光学相干层析成像单元1、样品承载单元2、图像处理单元3和缺陷分类单元4；所述样品承载单元2包括用于放置透明或半透明或高散射的待测样品1-6的承载平台2-1，以及用于驱动承载平台2-1垂直方向移动和水平面上2D移动的驱动机构；
S2、对谱域光学相干层析成像检测***进行畸变校准；
S3、将透明或半透明或高散射的待测样品1-6放置到样品承载单元2的承载平台2-1上，并使待测样品1-6位于检测区域内；
S4、样品承载单元2的驱动机构驱动承载平台2-1上的待测样品1-6移动，并且谱域光学相干层析成像单元1对待测样品1-6进行2D点扫描，获取扫描光束方向上的单点位置的纵深信号，从而获取待测样品1-6的3D原始层析信号，并传输给图像处理单元3；
S5、图像处理单元3接收到3D原始层析信号后，对其进行包括计算自适应光学散发在内的数据处理，获得待测样品1-6的完整的3D空间维度的光学相干层析3D图像，然后将光学相干层析3D图像传输给缺陷分类单元4；
S6、缺陷分类单元4对光学相干层析3D图像进行分析，并对待测样品1-6上各待检区域进行缺陷识别及分类，并输出检测结果。
所述步骤S2中畸变校准的步骤如下：
A、将分辨率标定板放置在承载平台2-1上，且位于检测区域内；
B、调整谱域光学相干层析成像单元1，使其可以在其样品臂1-3的第一透镜组1-3-4的焦面附近对分辨率标定板做清晰成像；
C、将分辨率标定板换为标准样品；所述标准样品由尺度小于谱域光学相干层析成像单元1的横纵向分辨率的散射颗粒和水组成的悬浮液体；
D、谱域光学相干层析成像单元1对标准样品进行扫描成像，得到标准样品的谱域光学相干层析的3D原始数据s0(x，y，k)；其中x，y为水平维度的空间坐标，k为光谱维度的波数坐标；
E、对3D原始数据S0(x，y，k)进行x，y方向的二维傅里叶变换得到3D数据
其中Qx，Qy对应于x，y维度的空间频率坐标；
F、将3D数据
和用于校准谱域光学相干层析成像单元1整体像差的相位因子/>
相乘，得到相位调制后的3D数据/>
其中kc为光源光谱的中心波长λ0所对应的波数，Ψ(Qx，Qy)为一个物理意义为相位的2D函数；此2D函数的具体数值由以下过程和判据决定；i是虚数单位，且i＝sqrt(-1)；
G、对相位调制后的3D数据
做3D傅里叶变换可得到3D图像数据I1(x，y，z)，其中z为和x，y方向相垂直的空间坐标；
H、选取I1(x，y，z)中的空间位置在样品臂1-3的第一透镜组1-3-4的焦面处的数据横截面；找到悬浮液体中某个粒子P的清晰成像(其中悬浮液体中粒子的密度较大，因此数据横截面中总可以找到某个粒子P的清晰成像)，以粒子P的像的重心为原点作圆形，并覆盖整个粒子P的图像且不包含其他粒子的图像，该圆形的面积为A0；然后计算粒子P的图像在其半高强度位置处所占据的面积A1，与A0的比率：r＝A1/A0；
I、不断调节2D函数Ψ(Qx，Qy)的数值，使得粒子P的图像变得锐利，直到比率r的数值取得最小值，Ψ(Qx，Qy)即获得最优的畸变补偿的结果，最终实现畸变校准。
所述谱域光学相干层析成像检测***用于同步控制谱域光学相干层析成像单元1的采图和样品承载单元2的驱动机构，以对待测样品1-6进行水平方向分块成像；用于将分块的3D原始层析信号传输给图像处理单元3；图像处理单元3对分块的3D原始层析信号进行拼接获得完整的3D空间维度的光学相干层析3D图像。
本发明中用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测***，具有用于实现上述步骤S2至S6的谱域光学相干层析成像检测***。
见图2和图3，本发明中样品承载单元2包括用于放置待测样品1-6的承载平台2-1，用于驱动承载平台2-1垂直精确移动的手动垂直平移台2-4，用于驱动承载平台2-1和垂直平移台2-4水平任意方向精确移动的自动水平平移台2-3，自动水平平移台2-3的驱动方式为电机驱动，其驱动结构可参考现有的十字平移台；同时样品承载单元2还包括用于连接垂直平移台2-4和自动水平平移台2-3的转接板2-2。
其中，谱域光学相干层析成像单元1为光纤型干涉仪，包括光谱宽带光源1-1、光纤型耦合器1-2、样品臂1-3、参考臂1-4、光谱仪1-5数据采集单元1-7和同步控制单元；所述光谱宽带光源1-1用于发出低相干光；所述光纤型耦合器1-2用于将低相干光按照分成两束分别入射到样品臂1-3和参考臂1-4；所述样品臂1-3将光纤中的光信号1-3-2准直为平行光，并通过偏转装置1-3-3、第一透镜组1-3-4聚焦到待测样品1-6之上，同时装配有同轴指示可见光源，同轴可见照明光源以及面扫描相机，同时装配有第一光纤偏振控制器1-3-1以调节入射到待测样品1-6的光信号的偏振态；所述参考臂1-4将光纤中的光信号1-4-2准直为平行光，并通过第二透镜组1-4-3聚焦到反射平面镜1-4-4上，同时装配有可调节光强的光阑，装配有第二光纤偏振控制器1-4-1以调节参考臂1-4中的光信号的偏振态；样品臂1-3和参考臂1-4的返回光在光纤型耦合器1-2上发生干涉；光谱仪1-5将光纤中的光干涉信号1-5-5准直为平行光入射到光栅1-5-4进行衍射，第三透镜组1-5-3对衍射光聚焦到线扫描相机1-5-2进行光电转换以获取光干涉信号的调制光谱，同时装配第三光纤偏振控制器1-5-1以调节照射到光栅1-5-4上的光的偏振态；所述数据采集单元1-7将光谱仪1-5输出的模拟电子信号转化为数字信号；同步控制单元输出多路控制信号，对光谱仪1-5的采集进程，样品臂1-3的光线偏转进程，样品承载单元2的待测样品1-6的移动进程以及图像处理单元3的数据处理和显示进程进行同步调节。
其中，3D原始层析信号为2D空间信号和1D谱域信号，1D谱域信号对应于1D深度方向的空间信号。
(实施例2)
本发明中图像处理单元3还能对分块的3D原始层析信号进行处理形成分块3D图像，并将分块3D图像传输给缺陷分类单元4；所述缺陷分类单元4对分块3D图像进行分析获取缺陷类型，并综合各个分块缺陷信息形成待测样品1-6的总体缺陷信息。
其他技术特征与实施例1相同。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法，其特征在于包括以下步骤：
S1、搭建谱域光学相干层析成像检测***；所述谱域光学相干层析成像检测***包括谱域光学相干层析成像单元、样品承载单元、图像处理单元和缺陷分类单元；所述样品承载单元包括用于放置透明或半透明或高散射的待测样品的承载平台， 以及用于驱动承载平台垂直方向移动和水平面上2D移动的驱动机构；
S2、对谱域光学相干层析成像检测***进行畸变校准；
S3、将透明或半透明或高散射的待测样品放置到样品承载单元的承载平台上，并使待测样品位于检测区域内；
S4、样品承载单元的驱动机构驱动承载平台上的待测样品移动，并且谱域光学相干层析成像单元对待测样品进行2D点扫描，获取扫描光束方向上的单点位置的纵深信号，从而获取待测样品的3D原始层析信号，并传输给图像处理单元；
S5、图像处理单元接收到3D原始层析信号后，对其进行包括计算自适应光学散发在内的数据处理，获得待测样品的完整的3D空间维度的光学相干层析3D图像， 然后将光学相干层析3D图像传输给缺陷分类单元；
S6、缺陷分类单元对光学相干层析3D图像进行分析，并对待测样品上各待检区域进行缺陷识别及分类， 并输出检测结果；
所述步骤S2中畸变校准的步骤如下：
A、将分辨率标定板放置在承载平台上，且位于检测区域内；
B、调整谱域光学相干层析成像单元，使其可以在其样品臂的第一透镜组的焦面附近对分辨率标定板做清晰成像；
C、将分辨率标定板换为标准样品；所述标准样品由尺度小于谱域光学相干层析成像单元的横纵向分辨率的散射颗粒和水组成的悬浮液体；
D、谱域光学相干层析成像单元对标准样品进行扫描成像，得到标准样品的谱域光学相干层析的3D原始数据S0(x，y，k)；其中x，y为水平维度的空间坐标，k为光谱维度的波数坐标；
E、对3D原始数据S0(x，y，k)进行x，y方向的二维傅里叶变换得到3D数据
其中Qx，Qy对应于x，y维度的空间频率坐标；
F、将3D数据
和用于校准谱域光学相干层析成像单元整体像差的相位因子
相乘，得到相位调制后的3D数据/>
其中kc为光源光谱的中心波长λ0所对应的波数，Ψ(Qx，Qy)为一个物理意义为相位的2D函数；此2D函数的具体数值由以下过程和判据决定；i是虚数单位，且i＝sqrt(-1)；
G、对相位调制后的3D数据
做3D傅里叶变换可得到3D图像数据I1(x，y，z)，其中z为和x，y方向相垂直的空间坐标；
H、选取I1(x，y，z)中的空间位置在样品臂的第一透镜组的焦面处的数据横截面；找到悬浮液体中某个粒子P的清晰成像，以粒子P的像的重心为原点作圆形，并覆盖整个粒子P的图像且不包含其他粒子的图像，该圆形的面积为A0；然后计算粒子P的图像在其半高强度位置处所占据的面积A1，与A0的比率：r＝A1/A0；
I、不断调节2D函数Ψ(Qx，Qy)的数值，使得粒子P的图像变得锐利，直到比率r的数值取得最小值，Ψ(Qx，Qy)即获得最优的畸变补偿的结果，最终实现畸变校准。
2.根据权利要求1所述的一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法，其特征在于：所述谱域光学相干层析成像检测***用于同步控制谱域光学相干层析成像单元的采图和样品承载单元的驱动机构，以对待测样品进行水平方向分块成像；用于将分块的3D原始层析信号传输给图像处理单元；图像处理单元对分块的3D原始层析信号进行拼接获得完整的3D空间维度的光学相干层析3D图像。
3.根据权利要求2所述的一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法，其特征在于：所述图像处理单元对分块的3D原始层析信号进行处理形成分块3D图像， 并将分块3D图像传输给缺陷分类单元； 所述缺陷分类单元对分块3D图像进行分析获取缺陷类型，并综合各个分块缺陷信息形成待测样品的总体缺陷信息。
4.一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测***，其特征在于：具有用于实现权利要求1中步骤S2至S6的谱域光学相干层析成像检测***。
5.根据权利要求4所述的一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测***，其特征在于：谱域光学相干层析成像单元为光纤型干涉仪，包括光谱宽带光源、光纤型耦合器、样品臂、参考臂、光谱仪、数据采集单元和同步控制单元；所述光谱宽带光源用于发出低相干光；所述光纤型耦合器用于将低相干光按照分成两束分别入射到样品臂和参考臂；所述样品臂将光纤中的光信号准直为平行光，并通过偏转装置、第一透镜组聚焦到待测样品之上，同时装配有同轴指示可见光源，同轴可见照明光源以及面扫描相机，同时装配有第一光纤偏振控制器以调节入射到待测样品的光信号的偏振态；所述参考臂将光纤中的光信号准直为平行光，并通过第二透镜组聚焦到反射平面镜上，同时装配有可调节光强的光阑，装配有第二光纤偏振控制器以调节参考臂中的光信号的偏振态；样品臂和参考臂的返回光在光纤型耦合器上发生干涉；光谱仪将光纤中的光干涉信号准直为平行光入射到光栅进行衍射，第三透镜组对衍射光聚焦到线扫描相机进行光电转换以获取光干涉信号的调制光谱，同时装配第三光纤偏振控制器以调节照射到光栅上的光的偏振态；所述数据采集单元将光谱仪输出的模拟电子信号转化为数字信号；同步控制单元输出多路控制信号，对光谱仪的采集进程，样品臂的光线偏转进程，样品承载单元的待测样品的移动进程以及图像处理单元的数据处理和显示进程进行同步调节。
6.根据权利要求4所述的一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测***， 其特征在于： 3D原始层析信号为2D空间信号和1D谱域信号， 1D谱域信号对应于1D深度方向的空间信号。
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