CN115939042A - 一种显示基板的制作方法及设备 - Google Patents
一种显示基板的制作方法及设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115939042A CN115939042A CN202111162099.1A CN202111162099A CN115939042A CN 115939042 A CN115939042 A CN 115939042A CN 202111162099 A CN202111162099 A CN 202111162099A CN 115939042 A CN115939042 A CN 115939042A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pretreatment
- objects
- ink
- base plate
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 112
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 44
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims description 44
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 8
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 claims description 7
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
本发明公开了一种显示基板的制作方法及设备,该方法包括:首先提供一衬底基板,控制装有墨水的喷头和衬底基板的相对位置,在衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在衬底基板上形成多个预处理对象,其中,预处理对象具有预设形状,然后对多个预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。该方法直接在衬底基板上进行对准打印,固化处理后,得到预设形状的像素分隔层,相比于传统光刻工艺的制备方法,具有成本低廉、工艺简单等优势,适于各种显示面板和器件的使用。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种显示基板的制作方法及设备。
背景技术
像素分隔层在各种显示面板中用于像素之间的分隔,可防止相邻的像素之间发生混色,目前在制作显示基板中的像素分隔层时,通常采用光刻工艺制作,但是光刻工艺设备、材料成本较高,并且工艺制程较复杂,在制作大厚度像素分隔层时也不容易控制。
因此,如何简化像素分隔层的制作流程并降低像素分隔层的制作成本,是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明提供一种显示基板的制作方法及设备,用以解决现有技术中存在的显示基板中像素分隔层制作工艺复杂、成本较高的问题。
第一方面,本发明实施例提供一种显示基板的制作方法,该方法包括:
提供一衬底基板;
控制装有墨水的喷头和所述衬底基板的相对位置,在所述衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在所述衬底基板上形成多个预处理对象,其中,所述预处理对象具有预设形状;
对多个所述预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。
在一种可实现的方式中,在对多个所述预处理对象进行固化处理之后,该方法还包括:
对所述多个像素分隔层进行形状切割,得到具有目标形状的多个目标像素分隔层。
在一种可实现的方式中,所述控制装有墨水的喷头和所述衬底基板的相对位置,包括:
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动;或
控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动;或
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动,以及控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动。
在一种可实现的方式中,所述墨水为热固型墨水;
所述对多个所述预处理对象进行固化处理,包括:
通过加热固化方式对多个所述预处理对象进行加热固化处理。
在一种可实现的方式中,所述墨水为UV固化型墨水;
所述对多个所述预处理对象进行固化处理,包括:
通过UV光照固化方式对多个所述预处理对象进行光照固化处理。
第二方面,本发明还提供了一种显示基板的制作设备,该设备包括:
第一控制单元,用于控制装有墨水的喷头和所述衬底基板的相对位置,并在所述衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在所述衬底基板上形成多个预处理对象,其中,所述预处理对象具有预设形状;
第二控制单元,用于对多个所述预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。
在一种可选的实现方式中,在所述对多个所述预处理对象进行固化处理之后,所述第二控制单元还用于:
对所述多个像素分隔层进行形状切割,得到具有目标形状的多个目标像素分隔层。
在一种可选的实现方式中,所述第一控制单元具体用于:
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动;或
控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动;或
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动,以及控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动。
在一种可选的实现方式中,所述墨水为热固型墨水;
所述第一控制单元具体用于:通过加热固化方式对多个所述预处理对象进行加热固化处理。
在一种可选的实现方式中,所述墨水为UV固化型墨水;
所述第一控制单元具体用于:通过UV光照固化方式对多个所述预处理对象进行光照固化处理。
本发明有益效果如下:
本发明实施例提供的显示基板的制作方法及设备,首先提供一衬底基板,控制装有墨水的喷头和衬底基板的相对位置,在衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在衬底基板上形成多个预处理对象,其中,预处理对象具有预设形状,然后对多个预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。该方法直接在衬底基板上进行对准打印,固化处理后,得到预设形状的像素分隔层,相比于传统光刻工艺的制备方法,具有成本低廉、工艺简单等优势,适于各种显示面板和器件的使用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域的普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种显示基板的制作方法的步骤示意图;
图2为本发明实施例提供的一种显示基板制作的场景示意图;
图3为本发明实施例提供的一种显示基板的平面示意图;
图4a为本发明实施例提供的一种像素分隔层的形状的示意图;
图4b为本发明实施例提供的另一种像素分隔层的形状的示意图;
图4c为本发明实施例提供的另一种像素分隔层的形状的示意图;
图4d为本发明实施例提供的另一种像素分隔层的形状的示意图;
图5为本发明实施例提供的一种显示基板制作设备的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
在显示技术领域,显示基板通常需要设置像素分隔层,像素分隔层用以分隔相邻的子像素,防止像素之间发生混色。传统的像素分隔层的制备方式通过光刻工艺进行,但是光刻工艺设备、材料成本较高,并且工艺制程较复杂,在制作大厚度像素分隔层时也不容易控制,因此本领域技术人员需要寻求一种成本更低、制备工艺更简单的一种像素分隔层的制备方法。本发明实施例可以应用在Mini/Micro LED(Light-Emitting Diode,发光二极管)、OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)、LCD(Liquid CrystalDisplay,液晶显示屏)等领域中,以满足不同的显示需求。
本发明实施例提供一种显示基板的制作方法,如图1所示,该方法包括以下步骤:
S101、提供一衬底基板,控制装有墨水的喷头和所述衬底基板的相对位置,在衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在衬底基板上形成多个预处理对象,其中,所述预处理对象具有预设形状;
S102、对多个预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。
本发明实施例提供的像素分隔层制作方法,首先提供一衬底基板,然后控制装有墨水的喷头和衬底基板的相对位置,并在衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在衬底基板上形成多个预处理对象,其中,预处理对象具有预设形状,然后对多个预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。该方法直接在衬底基板上进行对准打印,固化处理后,得到预设形状的像素分隔层,相比于传统光刻工艺的制备方法,具有成本低廉、工艺简单等优势,适于各种显示面板和器件的使用。
本发明实施例中的衬底基板,可以为刚性衬底基板,也可以柔性衬底基板。
在具体实施中,如图2所示,为本发明实施例提供的显示基板制作的示意图,图2中示出了喷墨打印像素分隔层的过程,其中,衬底基板置于最下方,可水平放置于桌面上,保证衬底基板水平放置,在衬底基板的正上方设置有喷头,喷头将墨水喷出,并且在重力的作用下水平下落滴至衬底基板的像素分隔层位置,这样通过衬底基板和喷头的相互配合,通过喷头喷出墨水制作像素分隔层,只需要准备相应的喷头和墨水便可以完成像素分隔层的制备,工艺简单,成本低廉。
在具体实施中,在衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺时,为了保证在衬底基板上形成的预处理图像均匀分布在衬底基板,则可以控制喷头和衬底基板的相对位置,以及控制装有墨水的喷头进行喷墨,其中,衬底基板所在的平面和喷头所在的平面垂直设置。
具体的,可以通过三种方式控制喷头和衬底基板的相对位置。
方式一、控制衬底基板沿第一预设方向匀速运动。
该方式,可以固定喷头,只控制衬底基板运动。衬底基板匀速运动,喷头喷墨,可以在衬底基板上均匀的形成预设形状的预处理对象。
方式二、控制喷墨的喷头沿第二预设方向匀速运动。
该方式可以固定衬底基板,只控制喷头运动。喷头匀速运动的同时进行喷墨,也可以在衬底上均匀的形成预设形状的预处理对象。
方式三、既控制衬底基板沿第一预设方向匀速运动,又控制喷墨的喷头沿第二预设方向匀速运动。
该方式,衬底基板和喷头都运动,同时喷头进行喷墨。衬底基板和喷头同时运动,可以减小制作时间,提高制作效率。
这里的第一预设方向和第二预设方向可以根据具体的制备环境进行选择考虑,例如可以保持喷头固定,控制衬底基板匀速向左移动或者匀速向右移动,也可以保持衬底基板固定,控制喷头匀速向左或者匀速向右移动,还可以控制衬底基板向右匀速运动,同时控制喷头向左匀速运动。
在实施中,由于像素单元通常呈阵列排布,因此为了满足像素单元的排布的需求,在制作像素分隔层时,通常一行一行的进行打印,一行打印完成后,通过控制喷头和衬底基板的相对位置,进行下一行打印,直到所有行都打印完成。
具体的,通过控制喷头和衬底基板的相对位置,进行下一行打印时,控制方式也可以包括三种,固定喷头,控制衬底基板移动;固定衬底基板,控制喷头移动;控制衬底基板和喷头同时移动。此处的移动不限定是否为匀速移动,只要可以移动到预设位置即可。
图3示出了显示基板的平面示意图,其中,R是红色像素单元,G是绿色像素单元、B是蓝色像素单元,本发明实施例使用喷墨打印技术在衬底基板上形成多个预处理对象,经过固化处理后成为像素分隔层。图3中示出像素分隔层,可以控制衬底基板和喷头的相对位置,控制喷头喷墨,从而形成各个预处理对象,经过固化处理后形成像素分隔层。
值得注意的是,衬底基板所在的平面和喷头所在的平面垂直设置,如图2所示的场景,应该使衬底基板所在的平面垂直于喷头所在的平面,无论选择哪种移动方式制备,都应该保持衬底基板或者喷头匀速运动,匀速运动可以保证多个像素分隔层的均一性。
在具体实施中可以通过压电方式使喷头在预设位置喷墨,可以根据线宽需求使用1~30pl的喷头。当墨水滴到衬底基板上之后,为了加快制作速度,可以对墨水进行固化处理,以形成像素分隔层。
在一种可选的实施例中,墨水可以选用热固型墨水,还可以选用UV固化型墨水。
如果墨水为热固型墨水,则对多个预处理对象进行固化处理时,可以通过加热固化方式对多个预处理对象进行加热固化处理,从而得到多个像素分隔层。具体的,可以控制多个预处理对象移动至加热固化炉中进行加热固化处理。
如果墨水为UV固化型墨水,则对多个预处理对象进行固化处理时,可以通过UV光照固化方式对多个预处理对象进行光照固化处理,从而得到多个像素分隔层。具体的,可以使用UV光照灯、UV光照炉等,控制多个预处理对象移动至UV光照灯或UV光照炉中进行光照固化处理。
对预处理对象进固化处理,可以加快固化速度,降低像素分隔层的制作时间。
在具体实施中,在对多个预处理对象进行固化处理之后,还可以对多个像素分隔层进行形状切割,得到具有目标形状的多个目标像素分隔层。
本发明实施例中的预设形状,也就是喷头将墨水喷到衬底基板上自然形成的形状,可以通过不同的喷头实现,比如喷嘴为圆形的喷头和喷嘴为方形的喷头,在衬底基板上形成的形状不同。在具体实施中,可以根据实际需要选择不同的喷头。
此外,针对不同的显示需求,为了符合实际需要,像素分隔层的形状需要进行相应的改变,本发明实施例在多个预处理对象经过固化处理后得到多个像素分隔层后,由于得到的预设形状的固定的,在实际应用中,可以根据像素单元的不同,需要不同形状的像素分隔层,为了满足实际需要,则可以对具有预设形状的像素分隔层进行形状切割,得到具有目标形状的多个目标像素分隔层。
具体的,对多个像素分隔层进行形状切割,可以使用激光进行不同形状的切割,按需切割成相应的形状,如图4a、图4b、图4c和图4d所示,示例出了4种切割后的像素分隔层的形状,图4a为半椭圆形,图4b为正方形,图4c为倒梯形,图4d为正梯形,当然形状可以任意切割,并不限于以上形状,还可以为圆形、三角形等。
本发明实施例在进行激光切割时,可以按照预设轨迹进行形状切割,例如在制备图4a中展现的像素分隔层时,此时预设轨迹为一个半椭圆形形状;在制备图4b中展现的像素分隔层时,此时预设轨迹为一个正方形形状;在制备图4c中展现的像素分隔层时,此时预设轨迹为一个正梯形形状;在制备图4d中展现的像素分隔层时,此时预设轨迹为一个倒梯形形状。
值得注意的是,本发明实施例使用的激光可以具有同等能量,对多个像素分隔层进行切割时的线宽和深度可以保持一致,从而可以保证多个像素分隔层的均一性。
在具体实施中,可以根据像素分隔层的厚度和目标形状,选择不同能量的激光,比如,对于厚度较小,且形状简单的,可以选择能量较低的激光,对于厚度较大,且形状较复杂的,可以选择能量较高的激光,激光的能量选择可以根据实际情况设定,但是,需要注意的是,在切割同一个基板上的像素分隔层时,使用的激光的能量必须相同,从而可以保证多个像素分隔层的均一性。
在一种可选的实施例中,像素分隔层的颜色可以为白色、灰色、黄色或者黑色,厚度可以为0.5-50μm。
基于相同的发明构思,如图5所示,本发明实施例还提供一种显示基板的制作设备,该设备包括:
第一控制单元501,用于在所述衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在衬底基板上形成多个预处理对象,其中,预处理对象具有预设形状;
第二控制单元502,用于对多个预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。
在一种可选的实施例中,在对多个预处理对象进行固化处理之后,第二控制单元502还用于:
对多个像素分隔层进行形状切割,得到具有目标形状的多个目标像素分隔层。
在一种可选的实施例中,第一控制单元501具体用于:
控制衬底基板沿预设方向匀速运动,以及控制装有墨水的喷头进行喷墨,其中,衬底基板所在的平面和喷头所在的平面垂直设置。
在一种可选的实施例中,墨水为热固型墨水;
第一控制单元501具体用于:通过加热固化方式对多个预处理对象进行加热固化处理。
在一种可选的实施例中,墨水为UV固化型墨水;
第一控制单元501具体用于:通过UV光照固化方式对多个预处理对象进行光照固化处理。
本发明通过采用上述显示基板的制作方法及设备,首先提供一衬底基板,在衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在衬底基板上形成多个预处理对象,其中,预处理对象具有预设形状,然后对多个预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。该方法直接在衬底基板上进行对准打印,固化处理后,得到预设形状的像素分隔层,相比于传统光刻工艺的制备方法,具有成本低廉、工艺简单等优势,适于各种显示面板和器件的使用。
本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种显示基板的制作方法,其特征在于,该方法包括:
提供一衬底基板;
控制装有墨水的喷头和所述衬底基板的相对位置,并在所述衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在所述衬底基板上形成多个预处理对象,其中,所述预处理对象具有预设形状;
对多个所述预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述对多个所述预处理对象进行固化处理之后,还包括:
对所述多个像素分隔层进行形状切割,得到具有目标形状的多个目标像素分隔层。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述控制装有墨水的喷头和所述衬底基板的相对位置,包括:
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动;或
控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动;或
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动,以及控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述墨水为热固型墨水;
所述对多个所述预处理对象进行固化处理,包括:
通过加热固化方式对多个所述预处理对象进行加热固化处理。
5.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述墨水为UV固化型墨水;
所述对多个所述预处理对象进行固化处理,包括:
通过UV光照固化方式对多个所述预处理对象进行光照固化处理。
6.一种显示基板的制作设备,其特征在于,该设备包括:
第一控制单元,用于控制装有墨水的喷头和所述衬底基板的相对位置,并在所述衬底基板上的预设区域进行喷墨工艺,以在所述衬底基板上形成多个预处理对象,其中,所述预处理对象具有预设形状;
第二控制单元,用于对多个所述预处理对象进行固化处理,得到多个像素分隔层。
7.如权利要求6所述的设备,其特征在于,在所述对多个所述预处理对象进行固化处理之后,所述第二控制单元还用于:
对所述多个像素分隔层进行形状切割,得到具有目标形状的多个目标像素分隔层。
8.如权利要求6所述的设备,其特征在于,所述第一控制单元具体用于:
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动;或
控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动;或
控制所述衬底基板沿第一预设方向匀速运动,以及控制所述喷头沿第二预设方向匀速运动。
9.如权利要求8所述的设备,其特征在于,所述墨水为热固型墨水;
所述第一控制单元具体用于:通过加热固化方式对多个所述预处理对象进行加热固化处理。
10.如权利要求8所述的设备,其特征在于,所述墨水为UV固化型墨水;
所述第一控制单元具体用于:通过UV光照固化方式对多个所述预处理对象进行光照固化处理。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111162099.1A CN115939042A (zh) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | 一种显示基板的制作方法及设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111162099.1A CN115939042A (zh) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | 一种显示基板的制作方法及设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115939042A true CN115939042A (zh) | 2023-04-07 |
Family
ID=86654628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111162099.1A Pending CN115939042A (zh) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | 一种显示基板的制作方法及设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN115939042A (zh) |
-
2021
- 2021-09-30 CN CN202111162099.1A patent/CN115939042A/zh active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10293554B2 (en) | Three-dimensional object forming device and three-dimensional object forming method | |
JP5936612B2 (ja) | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | |
TWI704016B (zh) | 油墨塗佈裝置及油墨塗佈方法 | |
JP2008544333A (ja) | フラットパネルディスプレイ用インクジェット印刷システム及び方法 | |
US20170274586A1 (en) | Three-dimensional object forming device and three-dimensional object forming method | |
JP2004240294A (ja) | 電気光学パネルの製造方法及び電気光学パネル、並びにこの電気光学パネルを備えた電気光学装置及び電子機器 | |
KR100732028B1 (ko) | 액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
JP5638137B2 (ja) | 基板製造方法及び基板製造装置 | |
JP2004031070A (ja) | 有機el材料塗布装置とその塗布方法および有機el表示装置 | |
CN109254741B (zh) | 一种喷墨打印方法、装置及*** | |
KR20190092240A (ko) | 막형성방법, 막형성장치, 및 막이 형성된 복합기판 | |
CN115939042A (zh) | 一种显示基板的制作方法及设备 | |
KR101713813B1 (ko) | 막 형성방법 및 막 형성장치 | |
KR100733059B1 (ko) | 액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
CN109927413B (zh) | 膜形成装置及膜形成方法 | |
JP2014104385A (ja) | 基板製造方法及び基板製造装置 | |
US7370926B2 (en) | Liquid droplet ejection method, head unit, liquid droplet ejection device, electro-optical device, and electronic equipment | |
KR100734499B1 (ko) | 액체 방울 토출 방법, 전기 광학 장치의 제조 방법 및 전자기기 | |
KR20130120775A (ko) | 인쇄 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치 제조 방법 | |
US20090244136A1 (en) | Drawing method, inkjet head, drawing apparatus, method for fabricating printed wiring board and method for manufacturing color filter | |
KR20150130836A (ko) | 잉크젯 마킹방법 및 잉크젯 마킹 시스템 | |
KR100981004B1 (ko) | 잉크젯 방식의 칼라 필터 제조방법 및 장치 | |
JP2015100747A (ja) | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | |
WO2017022679A1 (ja) | カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法 | |
CN113682052B (zh) | 油墨涂布装置及其控制装置、及油墨涂布方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication |