CN115896689A - 掩膜装置及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种掩膜装置及蒸镀设备，其中，掩膜装置包括掩膜版、挡板机构、检测件和第一控制器，掩膜版贯穿设置有第一开口，第一开口内设有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域，挡板机构设置在掩膜版的下表面，挡板机构包括底座、驱动件和挡板，底座设置有与第一开口连通的第二开口，第二开口的侧壁设置有安装槽，驱动件和挡板均设置在安装槽内，驱动件与挡板连接，检测件和驱动件均与第一控制器连接。本发明的掩膜装置能够通过检测件检测玻璃基板是否破裂和是否脱落，在玻璃基板脱落前，挡板能够自动伸出安装槽外并封堵第二开口，以承接掉落的玻璃基板，从而防止玻璃基板掉落在蒸镀设备内，无需停机清理玻璃基板，有利于提高生产效率。

Description

掩膜装置及蒸镀设备

技术领域

本发明涉及显示屏加工技术领域，尤其涉及一种掩膜装置及蒸镀设备。

背景技术

在显示面板的蒸镀工艺中，需要在玻璃基板上的待蒸镀区域蒸镀一层有机材料，而在非蒸镀区域不能沾染有机材料。因此，在蒸镀过程中通常将玻璃基板放置于掩膜装置上，掩膜装置上通过掩膜条划分出蒸镀区域和遮蔽区域，掩膜装置上的蒸镀区域与玻璃基板上指定的待蒸镀区域对正，掩膜装置上的遮蔽区域与玻璃基板上的非蒸镀区域对正。

参照图1，蒸镀设备包括对位腔室100′和蒸镀腔室200′，玻璃基板300′先通过粘合胶400′粘贴在卡盘500′上，再将玻璃基板300′输送到对位腔室100′内，并在对位后放置到掩膜装置600′上，然后通过输送装置依次将多个掩膜装置600′输送至蒸镀腔室200′内进行蒸镀。但在输送过程中存在粘合胶400′粘贴不牢固或玻璃基板300′破损或相邻两个掩膜装置600′发生碰撞的情况，会导致玻璃基板300′从卡盘500′上脱落，玻璃基板300′会在重力的作用下发生变形和破碎，并从掩膜装置600′的蒸镀区域掉落到蒸镀设备内。若玻璃基板300′掉落在对位腔室100′内，掉落的玻璃基板300′会影响后面玻璃基板300′和掩膜装置600′的对位，若玻璃基板300′掉落在蒸镀腔室200′内，掉落的玻璃基板300′会堵在蒸镀源700′的喷嘴701′上，使得后面的玻璃基板300′蒸镀不良，因此，需要停机清理玻璃基板300′。

工作人员需要先将对位腔室100′和蒸镀腔室200′从真空环境切换为大气环境，然后再清理玻璃基板300′，最后再将对位腔室100′和蒸镀腔室200′从大气环境切换为真空环境以恢复生产作业。但是此操作会延长玻璃基板300′的生产时间，降低生产效率。

发明内容

本发明的一个目的在于：提供一种掩膜装置，其能够有效地减少玻璃基板的清理时间，提高生产效率。

本发明的另一个目的在于：提供一种蒸镀设备，其能够有效地减少玻璃基板的清理时间，生产效率和生产良率高。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，提供一种掩膜装置，包括掩膜版、挡板机构、检测件和第一控制器，所述掩膜版贯穿设置有第一开口，所述第一开口内设置有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域，所述挡板机构设置在所述掩膜版的下表面，所述挡板机构包括底座、驱动件和挡板，所述底座设置有与所述第一开口连通的第二开口，所述第二开口的侧壁设置有安装槽，所述驱动件和所述挡板均设置在所述安装槽内，所述驱动件与所述挡板连接，以使所述挡板能伸出所述安装槽外并封堵所述第二开口，所述检测件用于检测玻璃基板是否出现破裂和是否脱落，所述检测件和所述驱动件均与所述第一控制器连接。

作为掩膜装置的一种优选方案，所述驱动件和所述挡板通过传动件连接，所述传动件包括相啮合的齿轮和齿条，所述齿条的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述驱动件与所述齿轮连接，所述齿条靠近所述第二开口的一端与所述挡板连接。

作为掩膜装置的一种优选方案，所述安装槽内设置有第一导轨，所述第一导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述齿条滑动设置在所述第一导轨内。

作为掩膜装置的一种优选方案，所述底座设置有滑槽，所述滑槽的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述挡板凸出设置有凸部，所述凸部滑动设置在所述滑槽内。

作为掩膜装置的一种优选方案，所述底座设置有第二导轨和滑块，所述第二导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述滑块与所述驱动件连接，以使所述滑块滑动设置在所述第二导轨上，所述挡板包括多个活动板，多个所述活动板首尾相连形成可折叠的所述挡板，所述挡板的一端活动设置在所述安装槽的槽壁上，另一端与所述滑块连接，以驱使所述挡板展开或折叠。

作为掩膜装置的一种优选方案，所述底座设置有相对的两个所述安装槽，每个所述安装槽内均设置有一个所述挡板机构，两个所述挡板机构中的一个所述挡板设置有凸起，两个所述挡板机构中的另一个所述挡板设置有卡槽，所述凸起能插设在所述卡槽内，以使两个所述挡板拼接并封堵所述第二开口。

作为掩膜装置的一种优选方案，所述检测件包括声波传感器和红外传感器，所述声波传感器和所述红外传感器均设置在所述掩膜版上，所述声波传感器用于检测所述玻璃基板是否脱落，所述红外传感器用于检测所述玻璃基板是否破裂。

第二方面，提供一种蒸镀设备，包括对位腔室、蒸镀腔室、输送机构和以上所述的掩膜装置，所述输送机构用于将所述掩膜装置从所述对位腔室输送至所述蒸镀腔室。

作为蒸镀设备的一种优选方案，还包括第二控制器，所述对位腔室内设置有充电装置，所述充电装置位于所述掩膜装置输送区域的下方，所述挡板机构的下方设置有充电接口，所述充电装置包括本体和升降机构，所述第二控制器与所述升降机构连接，所述升降机构与所述本体连接，以驱使所述本体与所述充电接口连接。

作为蒸镀设备的一种优选方案，所述对位腔室内还设置有对位组件，所述对位组件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件分别设置在垂直于所述掩膜装置输送方向的相对两侧，所述第一限位件和所述第二限位件能分别抵接在所述掩膜装置的相对两侧，以使所述本体与所述充电接口对齐。

本发明的有益效果为：挡板具有第一位置和第二位置，当挡板位于第一位置，驱动件驱使挡板完全缩在安装槽内，能够避免挡板遮挡到玻璃基板的蒸镀区域，以使玻璃基板能够完成蒸镀，当检测件检测到玻璃基板掉落在掩膜版上，驱动件能够自动驱使挡板位于第二位置，以使挡板伸出安装槽外，并封堵在第二开口处，使得挡板能够在玻璃基板脱落前承载掉落的玻璃基板，并能够直接将掩膜装置输送出蒸镀设备外，从而防止玻璃基板掉落在蒸镀设备的内部。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为现有技术的蒸镀设备的剖视图。

图2为本发明实施例掩膜装置的立体视图。

图3为本发明实施例掩膜装置的剖视立体图。

图4为本发明一种实施例掩膜装置的挡板位于第一位置时的剖视图。

图5为本发明一种实施例掩膜装置的挡板位于第二位置时的剖视图。

图6为本发明另一种实施例掩膜装置的剖视图。

图7为本发明另一种实施例挡板的结构示意图。

图8为本发明实施例对位腔室的俯视图。

图9为本发明实施例对位腔室的正视图。

图1中：

100′、对位腔室；200′、蒸镀腔室；300′、玻璃基板；400′、粘合胶；500′、卡盘；600′、掩膜装置；700′、蒸镀源；701′、喷嘴；

图2-图9中：

1、掩膜版；11、第一开口；12、掩膜条；2、检测件；21、声波传感器；22、红外传感器；3、挡板机构；31、底座；311、第二开口；312、安装槽；313、滑槽；32、驱动件；33、挡板；331、凸部；332、活动板；333、凸起；334、卡槽；335、合页结构；34、传动件；341、齿轮；342、齿条；35、第一导轨；36、第二导轨；37、滑块；

100、对位腔室；200、掩膜装置；300、充电装置；301、本体；302、升降机构；303、连接座；304、第一弹性件；305、导向块；400、对位组件；401、第一限位件；4011、导槽；402、第二限位件；4021、第一滚轮；4022、连接块；4023、支撑座；4024、第二弹性件；4025、第二滚轮；4026、导杆；500、玻璃基板。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本发明不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本发明的公开并且使本领域技术人员充分地了解本发明的范围，并且本发明仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本发明。

如图2至图8所示，本发明提供的一种掩膜装置200，包括掩膜版1、挡板机构3、检测件2和第一控制器(图中未示出)，掩膜版1贯穿设置有第一开口11，第一开口11内设置有多个掩膜条12，并形成有多个蒸镀区域，挡板机构3设置在掩膜版1的下表面，挡板机构3包括底座31、驱动件32和挡板33，底座31设置有与第一开口11连通的第二开口311，蒸镀材料能够从第二开口311和第一开口11镀在玻璃基板500上，第二开口311的侧壁设置有安装槽312，驱动件32和挡板33均设置在安装槽312内，驱动件32与挡板33连接，以使挡板33能够伸出安装槽312外并遮挡第二开口311，检测件2用于检测掩膜装置200上的玻璃基板500是否破裂或脱落，检测件2和驱动件32均与第一控制器连接。

挡板33具有第一位置和第二位置，当挡板33位于第一位置，驱动件32驱使挡板33完全缩在安装槽312内，能够避免挡板33遮挡到玻璃基板500的蒸镀区域，以使玻璃基板500能够完成蒸镀，当检测件2检测到玻璃基板500破裂和/或脱落时，驱动件32能够自动驱使挡板33位于第二位置，以使挡板33伸出安装槽312外，并封堵在第二开口311处，使得挡板33能够在玻璃基板500脱落前承载掉落的玻璃基板500，并直接将掩膜装置200输送出蒸镀设备外，从而防止玻璃基板500掉落在蒸镀设备的内部。

具体地，如图2和图8所示，检测件2包括声波传感器21，声波传感器21设置在掩膜版1上。玻璃基板500的蒸镀环境为真空环境，能够隔通过空气传播的声音，而将声波传感器21设置在掩膜版1上，当玻璃基板500发生破裂或粘接不牢固或发生碰撞时，玻璃基板500会从卡盘上逐渐脱落，同时会发出脱落的声音，脱落的声音能够通过掩膜版1传递，使得声波传感器21能够接收到玻璃基板500脱落的声音，从而判断玻璃基板500是否发生脱落，当玻璃基板500正在脱落，第一控制器能够快速驱使挡板33在玻璃基板500完全脱落前封堵在第二开口311处。

在本实施例中，声波传感器21为次声波传感器，次声波频率一般在20Hz以下，而玻璃基板500脱落的声音为次声波，能够通过声波频率判断玻璃基板500是否发生脱落，以提高检测精度。

进一步地，检测件2还包括红外传感器22，红外传感器22设置在掩膜版1朝向玻璃基板500的一侧面上，红外传感器22能够扫描玻璃基板500是否出现破损，以判断玻璃基板500是否有发生脱落的可能。当红外传感器22检测到玻璃基板500出现破损，挡板机构3也能够工作，以使挡板33封堵在第二开口311处。

具体地，底座31设置有至少两个相对的安装槽312，每个安装槽312内均设置有一个驱动件32和挡板33。所有挡板33能够同时相对或相背移动，能够快速封堵第二开口311，从而保证33挡板能够接住掉落的玻璃基板500。

在本实施例中，底座31设置有两个相对的安装槽312，每个安装槽312内均设置有一个驱动件32和挡板33。

进一步地，如图4和图5所示，两个挡板33中的一个设置有凸起333，另一个挡板33设置有卡槽334，凸起333能插设在卡槽334内，以使两个挡板33拼接后封堵第二开口311。由于挡板33位于第二位置时，挡板33远离驱动件32的一端悬空，使得两个挡板33的连接处连接不稳定，两个挡板33的连接处会有间隙，此设计通过凸起333和卡槽334配合，能够提高两个挡板33的连接稳定性，而且两个挡板33的连接处之间无间隙，能够防止玻璃基板500的碎片从该间隙掉落到蒸镀设备内。

优选地，凸起333和卡槽334内均设置有磁铁，凸起333能够通过磁吸快速对卡槽334对齐并插设在卡槽334内。

具体地，挡板机构3还包括的移动电源(图中未示出)，移动电源能够对驱动件32提供动能。

示例的，移动电源为蓄电池，此设计能够方便掩膜装置200携带，并能够通过多次充放电提供或补充电能。

在本实施例中，如图3至图5所示，驱动件32和挡板33之间通过传动件34连接，传动件34包括相啮合的齿轮341和齿条342，齿条342的长度沿挡板33的移动方向延伸，驱动件32与齿轮341连接，齿条342靠近第二开口311的一端与挡板33连接，以驱使挡板33伸出遮挡第二开口311。由于掩膜版1的尺寸较大，导致挡板机构3的尺寸也较大，容易使得挡板33移动不稳定，齿轮341和齿条342在传动过程中不易发生偏移或抖动，能够稳定地驱使挡板33移动。

示例的，驱动件32为电机。

优选地，安装槽312内设置有第一导轨35，第一导轨35的长度沿挡板33的移动方向延伸，齿条342滑动设置在第一导轨35内。第一导轨35能够限制齿条342的移动方向，能够进一步保证齿条342的传动稳定性。

具体地，底座31设置有滑槽313，滑槽313的长度沿挡板33的移动方向延伸，且滑槽313从安装槽312的槽壁延伸至第二开口311的侧壁，挡板33朝向滑槽313的侧壁凸出设置有凸部331，当挡板33在移动时，凸部331能够同步在滑槽313内移动。滑槽313能够对挡板33起到导向和支撑的作用，防止挡板33远离齿条342的一端悬空而下垂，使得两个挡板33的凸起333和卡槽334始终能够保持对齐，有利于两个挡板33快速拼接。

需要说明的是，底座31和掩膜版1可采用一体设计或分体设计。

在另一实施例中，如图6所示，底座31设置有第二导轨36和滑块37，第二导轨36的长度沿挡板33的移动方向延伸，且第二导轨36从安装槽312的槽壁延伸至第二开口311的侧壁，滑块37与驱动件32连接，以驱使滑块37滑动设置在第二导轨36上，挡板33包括多个活动板332，多个活动板332首尾相连形成可折叠的挡板33，挡板33的一端活动设置在安装槽312的槽壁上，另一端与滑块37连接。当滑块37由安装槽312朝向第二开口311的方向移动，滑块37能够带动多个活动板332转动并平铺展开，以封堵在第二开口311处，当滑块37由第二开口311朝向安装槽312的方向移动，滑块37能够带动多个活动板332转动并折叠在一起，以收纳在安装槽312内。

具体地，如图7所示，挡板33沿自身移动方向的相对两侧分别设置有至少一个滑块37，滑块37设置在挡板33靠近第二开口311的一端。

示例的，如图7所示，相邻两个活动板332通过合页结构335转动连接，以实现挡板33折叠或展开，而且还能够限制活动板332的转动角，以使挡板33能够保持在展开状态。

在其他实施例中，驱动件32还可采用气缸，驱动件32与挡板33连接，驱动件32能够直接推动挡板33移动，以选择性封堵第二开口311。

本发明提供的一种蒸镀设备，包括对位腔室100、蒸镀腔室、输送机构和以上任一实施例所述的掩膜装置200，输送机构用于将掩膜装置200从对位腔室100输送至蒸镀腔室内。本发明的蒸镀设备能够通过掩膜装置200承接掉落的玻璃基板500，并能够将掉落的玻璃基板500通过输送机构直接输送至蒸镀腔设备外部，能够防止玻璃基板500在输送过程中掉落在蒸镀设备内，蒸镀设备无需停机清理玻璃基板500，能够减少玻璃基板500的清理时间，提高生产效率。

具体地，如图8所示，掩膜装置200沿y方向输送至对位腔室100内的对位区域，玻璃基板500沿x方向输送至对位腔室100内的对位区域，且玻璃基板500位于掩膜装置200上方，以实现对位。对位完成后，掩膜装置200和玻璃基板500一起沿x方向输送至蒸镀腔室内进行蒸镀。

优选地，如图9所示，对位腔室100内设置有充电装置300，充电装置300位于掩膜装置200输送区域的下方，掩膜装置200的下方设置有充电接口，充电装置300包括本体301和升降机构302，升降机构302与本体301连接。挡板机构3的移动电源电能不足时，升降机构302能够驱使本体301上升，以使本体301与充电接口连接，并对移动电源充电。

其中，升降机构302可为直线导轨和滑块结构或气缸等现有技术的结构，在此不再赘述。

具体地，本体301包括第一正极触头和第一负极触头，充电接口包括第二正极触头和第二负极触头，第一正极触头和第一负极触头分别与第二正极触头和第二负极触头连接，以实现电导通。

进一步地，充电装置300还包括连接座303，连接座303间隔设置有两个凹槽，第一正极触头和第一负极触头分别设置在两个凹槽内，凹槽内设置有第一弹性件304，第一弹性件304抵接在凹槽的槽壁与触头之间。第一弹性件304能够对第一正极触头和第一负极触头进到缓冲保护的作用，防止升降机构302上升速度过快使得第一正极触头和第一负极触头与掩膜装置200发生冲撞而损坏。

示例的，第一弹性件304为弹簧。

进一步地，本体301采用快充充电。由于挡板机构3所需电能相对较小，通过快充能够在快速将电源补充至能满足挡板机构3工作的电能。

在本实施例中，蒸镀设备还包括第二控制器(图中未示出)，第二控制器与升降机构302连接，掩膜装置200的第一控制器与电源连接，第一控制器和第二控制器通信连接，第一控制器能够获取电源的电量，并将电源的电量信息传给第二控制器，当电源的电能低于预设阀值，升降机构302能够自动驱使本体301上升，以对电源充电。

进一步地，对位腔室100内还设置有对位组件400，对位组件400包括第一限位件401和第二限位件402，第一限位件401和第二限位件402分别设置在垂直于掩膜装置200的输送方向(即x方向)的相对两侧，以使第一限位件401和第二限位件402能分别抵接在掩膜装置200的相对两侧。掩膜装置200在输送过程中可能会发生偏移，使得本体301与充电接口无法对齐，通过设置第一限位件401和第二限位件402能够矫正掩膜装置200，以使本体301与充电接口能够对齐，保证本体301能够对电源进行充电。

在本实施例中，对位腔室100内设置有对位区域，对位区域用于玻璃基板500和掩膜装置200进行对位。充电装置300和对位组件400均设置在对位区域内。

具体地，第一限位件401和第二限位件402均设置有一个驱动机构(图中未示出)，驱动机构与第二控制器连接。由于对位组件400设置在对位区域内会干涉玻璃基板500的移动，通过设置驱动机构能够驱使第一限位件401和第二限位件402移动，当需要充电时，驱动机构驱使第一限位件401和第二限位件402上升，以矫正掩膜装置200，充电完成后，驱动机构驱动第一限位件401和第二限位件402复位，玻璃基板500能够沿x方向移动至掩膜装置200上方进行对位。

在另一实施例中，充电装置300和对位组件400均设置在非对位区域内。在掩膜装置200到达对位区域前，对位组件400能够先对掩膜装置200进行矫正，并使充电装置300对掩膜装置200进行充电，充电后掩膜装置200再移动至对位区域内进行对位。此设计的对位组件400不会干涉玻璃基板500的移动，无需设置驱动机构驱使第一限位件401和第二限位件402移动，能够简化蒸镀设备的结构。

在本实施例中，第一限位件401设置有导槽4011，第二限位件402包括第一滚轮4021，掩膜装置200的一端滑动设置在导槽4011内，另一端的端面与第一滚轮4021抵接，以使掩膜装置200沿导槽4011贴合槽口的槽壁移动。导槽4011和第一滚轮4021能够对掩膜装置200进行导向，以使掩膜装置200远离第一滚轮4021的端面与导槽4011的槽壁保持贴合且平行，从而矫正掩膜装置200，保证本体301与充电接口对齐。

具体地，第二限位件402还包括连接块4022、支撑座4023和第二弹性件4024，支撑座4023包括呈夹角的第一板和第二板，第一滚轮4021设置在连接块4022上，连接块4022滑动设置在第一板上，连接块4022能够沿导槽4011和第一滚轮4021的间隔方向移动，第二弹性件4024设置在连接块4022和第二板之间，以使连接块4022和第一滚轮4021始终具有朝向第一限位件401方向移动的趋势。当掩膜装置200移动至对位区域时，掩膜装置200能够克服第二弹性件4024的弹性进入对位区域，使得第二弹性件4024能够抵紧掩膜装置200并矫正掩膜装置200。

示例的，第二弹性件4024为弹簧；连接块4022可通过滑块结构和直线导轨结构滑动连接在第一板上。

优选地，第二限位件402还包括导杆4026，导杆4026的一端与第二板连接，连接块4022上设置由导向孔，另一端插设在导向孔内，第二弹性件4024套设在导杆4026外周。导杆4026能够限制连接块4022的移动方向，以提高连接块4022的移动稳定性。

进一步地，连接座303邻近于第二限位件402的外侧壁设置有导向块305，导向块305设置有导向斜面，导向斜面由靠近充电装置300的一侧朝向远离充电装置300的一侧向下倾斜，第二限位件402还包括第二滚轮4025，第二滚轮4025转动设置在连接块4022上，且第二滚轮4025位于第一滚轮4021下方，第二滚轮4025位于导向斜面的上方，第二滚轮4025能够滑动设置导向斜面上。在矫正掩膜装置100后，充电装置300上升充电，此时导向块305同步上升，使得导线斜面能够与第二滚轮4025抵接，并挤压导向块305朝向远离掩膜装置200方向移动，以使第一滚轮4021远离掩膜装置200，有利于掩膜装置200移动至下一个工位。

尽管上面已经参考附图描述了本发明的实施例，但是本发明不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本发明的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本发明。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种掩膜装置，其特征在于，包括：

掩膜版，所述掩膜版贯穿设置有第一开口，所述第一开口内设置有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域；

检测件，所述检测件用于检测玻璃基板是否出现破裂和是否脱落；

挡板机构，所述挡板机构设置在所述掩膜版的下表面，所述挡板机构包括底座、驱动件和挡板，所述底座设置有与所述第一开口连通的第二开口，所述第二开口的侧壁设置有安装槽，所述驱动件和所述挡板均设置在所述安装槽内，所述驱动件与所述挡板连接，以使所述挡板能伸出所述安装槽外并封堵所述第二开口；

第一控制器，所述检测件和所述驱动件均与所述第一控制器连接。

2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述驱动件和所述挡板通过传动件连接，所述传动件包括相啮合的齿轮和齿条，所述齿条的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述驱动件与所述齿轮连接，所述齿条靠近所述第二开口的一端与所述挡板连接。

3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述安装槽内设置有第一导轨，所述第一导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述齿条滑动设置在所述第一导轨内。

4.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有滑槽，所述滑槽的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述挡板凸出设置有凸部，所述凸部滑动设置在所述滑槽内。

5.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有第二导轨和滑块，所述第二导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述滑块与所述驱动件连接，以使所述滑块滑动设置在所述第二导轨上，所述挡板包括多个活动板，多个所述活动板首尾相连形成可折叠的所述挡板，所述挡板的一端活动设置在所述安装槽的槽壁上，另一端与所述滑块连接，以驱使所述挡板展开或折叠。

6.根据权利要求1至5任一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有相对的两个所述安装槽，每个所述安装槽内均设置有一个所述挡板机构，两个所述挡板机构中的一个所述挡板设置有凸起，两个所述挡板机构中的另一个所述挡板设置有卡槽，所述凸起能插设在所述卡槽内，以使两个所述挡板拼接并封堵所述第二开口。

7.根据权利要求1至5任一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述检测件包括声波传感器和红外传感器，所述声波传感器和所述红外传感器均设置在所述掩膜版上，所述声波传感器用于检测所述玻璃基板是否脱落，所述红外传感器用于检测所述玻璃基板是否破裂。

8.一种蒸镀设备，包括对位腔室、蒸镀腔室和输送机构，其特征在于，还包括如权利要求1至7任一项所述的掩膜装置，所述输送机构用于将所述掩膜装置从所述对位腔室输送至蒸镀腔室内。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括第二控制器，所述对位腔室内设置有充电装置，所述充电装置位于所述掩膜装置输送区域的下方，所述挡板机构的下方设置有充电接口，所述充电装置包括本体和升降机构，所述第二控制器与所述升降机构连接，所述升降机构与所述本体连接，以驱使所述本体与所述充电接口连接。

10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述对位腔室内还设置有对位组件，所述对位组件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件分别设置在垂直于所述掩膜装置输送方向的相对两侧，所述第一限位件和所述第二限位件能分别抵接在所述掩膜装置的相对两侧，以使所述本体与所述充电接口对齐。

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