CN115741390B - 一种碳化硅晶体整形一体机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及碳化硅晶体加工领域，具体是涉及一种碳化硅晶体整形一体机，包括工作台和设置于工作台上的转盘工位，工作台上设有上料工位、第一打磨工位、翻转工位、第二打磨工位、侧缘打磨工位、切槽工位、下料工位、检测工位，转盘工位上设有若干个用于吸附固定碳化硅晶体的无阻力吸盘夹具，无阻力吸盘夹具包括有一个用于控制吸盘吸力的密封排气组件，上料工位包括一个用于使得密封排气组件放气的第一下压排气机构，翻转工位包括一个第二下压排气机构，下料工位包括一个第三下压排气机构，本发明通过无阻力吸盘夹具吸附碳化硅晶体，使得放置和取走碳化硅晶体时，碳化硅晶体受力极小，不易受损；且整个加工过程流水线化，加工效率大大提高。

Description

一种碳化硅晶体整形一体机

技术领域

本发明涉及碳化硅晶体加工领域，具体是涉及一种碳化硅晶体整形一体机。

背景技术

碳化硅晶体为第三代宽带隙半导体材料，具有高导热率、高击穿电压、载流子迁移率极高、化学稳定性高等优良性质，可以制作成在高温、强辐射条件下工作的高频、高功率电子器件和光电子器件，在国防、高科技、工业生产、供电、变电领域有巨大的应用价值，被看作是极具发展前景的第三代宽禁带半导体材料。

碳化硅晶体在加工成芯片前需进行打磨整形，现有的磨床大多为单工位磨床，加工碳化硅晶片时不仅装配麻烦，而且装配后加工完表面后就要取下工件，再装配至另一台磨床进行晶片的外圆和notch槽的精加工，加工效率低下，而且晶片在加工时也容易开裂。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种碳化硅晶体整形一体机。

为解决现有技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种碳化硅晶体整形一体机，包括工作台和设置于工作台上的转盘工位，工作台上设有沿转盘工位的圆周方向依次排列的上料工位、第一打磨工位、翻转工位、第二打磨工位、侧缘打磨工位、切槽工位、下料工位、检测工位，所述转盘工位上设有若干沿圆周方向均匀分布的用于吸附固定碳化硅晶体的无阻力吸盘夹具，无阻力吸盘夹具包括有一个用于控制吸盘吸力的密封排气组件，上料工位包括一个用于使得密封排气组件放气的第一下压排气机构，翻转工位包括一个与第一下压排气机构结构和功能相同的第二下压排气机构，下料工位包括一个与第一下压排气机构机构和功能相同的第三下压排气机构。

进一步的，每个无阻力吸盘夹具还包括有：

吸盘安装座，活动设置于转盘工位顶部，转盘工位顶部沿圆周方向均匀分布有若干限位台阶孔，每个吸盘安装座均同轴活动设置于对应的限位台阶孔内；

吸盘组件，固定设置于吸盘安装座顶部，吸盘组件顶部与碳化硅晶体底面吸附；

传动轴，呈竖直状态固定设置于吸盘安装座底部，传动轴顶部与吸盘安装座底部固定连接；

第一传动齿轮，呈水平状态固定设置于传动轴底部。

进一步的，吸盘组件包括：

吸附盘，呈水平状态设置于吸盘安装座顶部，吸附盘底部与吸盘安装座顶部相抵触；

空心排气轴，呈竖直状态设置于吸附盘中心处，吸盘安装座中心处成型有一个呈竖直状态设立的中心避让孔，空心排气轴顶部与吸附盘顶部相抵触，空心排气轴底部穿过吸附盘设置于中心避让孔，空心排气轴中部成型有呈水平状态设立的放气孔；

固定螺栓，呈竖直状态设置于吸盘安装座底部，固定螺栓底部与吸盘安装座底部相抵触，固定螺栓上端设置于中心避让孔内并与空心排气轴底部旋接，固定螺栓与吸盘安装座之间设置有一个呈水平状态设置的密封圈。

进一步的，密封排气组件包括：

两个限位凸台，均呈竖直状态旋设于吸盘安装座底部，吸盘安装座底部成型有两个呈对称状态设立的气道，气道的一端与中心避让孔相通，另一端通过吸盘安装座底部与外界相通，每个气道底部成型有一个台阶安装孔，每个限位凸台均旋设于对应的台阶安装孔内，每个限位凸台中部成型有呈竖直状态设立的导向排气孔；

两个密封杆，均同轴活动设置于对应的导向排气孔内，每个密封杆顶部均成型有一个密封凸台，每个密封杆的顶部成型有密封凸台，密封凸台顶部成型有一个第一橡胶被覆层，第一橡胶被覆层顶部与台阶安装孔顶部相抵触，

两个密封复位弹簧，活动套设于对应的密封杆上端，每个密封复位弹簧的底部均与对应的限位凸台顶部相抵触，顶部均与对应的密封凸台底部相抵触；

下压板，呈水平状态固定设置于两个密封杆底部，下压板中部成型有一个能够让传动轴穿过的传动避让孔。

进一步的，上料工位还包括送料组件、双轴移动机构、吸持上料机构，第一下压排气机构包括有：

延伸座，呈竖直状态固定设置于工作台顶部，延伸座设置于转盘工位外侧，延伸座顶部成型有呈竖直状态设立的导向容纳槽；

L型延伸杆，其一侧呈竖直状态同轴活动设置于导向容纳槽内，另一侧呈水平状态穿过导向容纳槽与下压板的顶部相抵触；

延伸复位弹簧，呈竖直状态活动套设于L型延伸杆竖直的一侧上，延伸复位弹簧顶部与L型延伸杆的水平一侧的底部相抵触，底部与导向容纳槽底部相抵触；

防脱顶盖，呈水平状态固定设置于延伸座顶部，防脱顶盖底部与L型延伸杆顶部相抵触。

进一步的，

下压导向座，呈竖直状态固定设置于工作台顶部，下压导向座顶部成型有呈竖直状态设立的导向滑槽；

下压滑杆，呈竖直状态活动设置于导向滑槽内，下压滑杆上端成型有呈竖直状态设立的安装柱，安装柱的侧壁上成型有呈水平状态设立的侧导向孔；

下压复位弹簧，呈竖直状态活动套设于下压滑杆下端，下压复位弹簧顶部与安装柱底部相抵触，底部与导向滑槽底部相抵触；

弹性压杆，呈水平状态活动设置于L型延伸杆顶部，弹性压杆靠近L型延伸杆的一端顶部成型有弧形导向面，弹性压杆远离L型延伸杆的一端成型有呈水平状态设立的导向柱，导向柱同轴穿过侧导向孔向远离L型延伸杆的方向输出；

侧复位弹簧，活动套设于导向柱上，侧复位弹簧的一端与弹性压杆相抵触，另一端与下压滑杆相抵触；

上滑块，呈竖直状态固定设置于导向柱穿过下压滑杆的一端上，上滑块底部靠近下压导向座的一侧成型有下压斜面；

下楔块，呈竖直状态固定设置于下压导向柱远离L型延伸杆的一侧，下楔块顶部成型有与下压斜面相配合的坡口；

顶托杆，呈水平状态固定设置于下压滑杆顶部；

下压杆，呈水平状态固定设置于吸持上料机构上，下压杆能够随着吸持上料机构的下降而与顶托杆顶部相抵触。

进一步的，翻转工位包括单轴升降机构，还包括有夹持翻转机构，夹持翻转机构的两个夹爪与碳化硅晶体接触的一端均成型有第二橡胶被覆层。

进一步的，侧缘打磨工位包括侧缘打磨机构，还包括：

旋转电机，呈竖直状态固定设置于工作台底部，旋转电机输出端呈竖直状态穿过工作台向上输出；

第二传动齿轮，呈水平状态固定设置于旋转电机输出端顶部，第二传动齿轮能够与第一传动齿轮相啮合。

本发明与现有技术相比具有的有益效果是：

其一，本发明中的一种碳化硅晶体整形一体机通过无阻力吸盘夹具吸附碳化硅晶体，使得放置和取走碳化硅晶体时，碳化硅晶体受力极小，不容易受损；

其二，本发明中的一种碳化硅晶体整形一体机通过转盘工位使得整个加工过程流水线化，加工效率大大提高。

附图说明

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明的俯视视图；

图3是本发明中无阻力吸盘夹具的立体结构示意图；

图4是本发明中第一下压排气机构的立体结构示意图；

图5是本发明中无阻力吸盘夹具的***视图；

图6是本发明中第一下压排气机构的***视图；

图7是图2中A-A处的半剖视图；

图8是图7中a处的局部示意图；

图中标号为：1、工作台；2、转盘工位；3、无阻力吸盘夹具；4、上料工位；5、第一打磨工位；6、翻转工位；7、第二打磨工位；8、侧缘打磨工位；9、切槽工位；10、下料工位；11、检测工位；12、第一下压排气机构；13、第二下压排气机构；14、第三下压排气机构；15、限位台阶孔；16、吸盘安装座；17、中心避让孔；18、气道；19、台阶安装孔；20、吸盘组件；21、吸附盘；22、空心排气轴；23、放气孔；24、固定螺栓；25、密封圈；26、密封排气组件；27、限位凸台；28、导向排气孔；29、密封杆；30、密封凸台；31、第一橡胶被覆层；32、复位弹簧；33、下压板；34、传动避让孔；35、传动轴；36、第一传动齿轮；37、送料组件；38、双轴移动机构；39、吸持上料机构；40、延伸座；41、导向容纳槽；42、L型延伸杆；43、延伸复位弹簧；44、防脱顶盖；45、下压导向座；46、导向滑槽；47、下压滑杆；48、安装柱；49、侧导向孔；50、下压复位弹簧；51、弹性压杆；52、导向柱；53、弧形导向面；54、侧复位弹簧；55、上滑块；56、下压斜面；57、下楔块；58、坡口；59、顶托杆；60、下压杆；61、单轴升降机构；62、夹持翻转机构；63、夹爪；64、第二橡胶被覆层；65、侧缘打磨机构；66、旋转电机；67、第二传动齿轮。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

参考图1图8所示的一种碳化硅晶体整形一体机，包括工作台1和设置于工作台1上的转盘工位2，工作台1上设有沿转盘工位2的圆周方向依次排列的上料工位4、第一打磨工位5、翻转工位6、第二打磨工位7、侧缘打磨工位8、切槽工位9、下料工位10、检测工位11，所述转盘工位2上设有若干沿圆周方向均匀分布的用于吸附固定碳化硅晶体的无阻力吸盘夹具3，无阻力吸盘夹具3包括有一个用于控制吸盘吸力的密封排气组件26，上料工位4包括一个用于使得密封排气组件26放气的第一下压排气机构12，翻转工位6包括一个与第一下压排气机构12结构和功能相同的第二下压排气机构13，下料工位10包括一个与第一下压排气机构12机构和功能相同的第三下压排气机构14。

碳化硅晶体由上料工位4上料至无阻力吸盘夹具3上，上料过程中，第一下压排气机构12带动密封排气组件26排气，在碳化硅晶体放置于无阻力吸盘夹具3上的过程中，无阻力吸盘夹具3内的空气从密封排气组件26排出，无阻力吸盘夹具3内的压强不会产生变动，碳化硅晶体基本不受力，当碳化硅晶体到达指定位置时，第一下压排气机构12无法再带动密封排气组件26排气，无阻力吸盘夹具3内的空气量恒定，碳化硅晶体被无阻力吸盘夹具3吸附，转盘工位2带动该碳化硅晶体旋转至第一打磨工位5，第一打磨工位5对该碳化硅晶体上表面进行打磨，然后转盘工位2带动该碳化硅晶体旋转至翻转工位6，由翻转工位6对碳化硅晶体进行翻转，期间第二下压排气机构13工作，取件前由第二下压排气机构13带动密封排气组件26进行排气，无阻力吸盘夹具3不再吸附碳化硅晶体，取下碳化硅晶体并完成翻转后再次放置于无阻力吸盘夹具3上，上件的原理同第一下压排气机构12的工作原理相同，再旋转至第二打磨工位7对碳化硅晶体的另一面进行打磨，打磨完成后再由转盘工位2带动碳化硅晶体旋转至侧缘打磨工位8对碳化硅晶体的侧缘进行打磨，至此全部打磨工序完成，转盘工位2带动碳化硅晶体旋转至切槽工位9进行notch槽加工，加工完成后旋转至下料工位10下料，再由检测工位11对下料后的无阻力吸盘夹具3进行检测，若工件已取下，则无阻力吸盘夹具3继续旋转至下一工位继续工作，若工件未取下，则整个装置停止工作。

进一步的，每个无阻力吸盘夹具3还包括有：吸盘安装座16，活动设置于转盘工位2顶部，转盘工位2顶部沿圆周方向均匀分布有若干限位台阶孔15，每个吸盘安装座16均同轴活动设置于对应的限位台阶孔15内；吸盘组件20，固定设置于吸盘安装座16顶部，吸盘组件20顶部与碳化硅晶体底面吸附；传动轴35，呈竖直状态固定设置于吸盘安装座16底部，传动轴35顶部与吸盘安装座16底部固定连接；第一传动齿轮36，呈水平状态固定设置于传动轴35底部。

吸盘安装座16活动设置于对应的限位台阶孔15内，无阻力吸盘夹具3能够在限位台阶孔15内旋转。

进一步的，吸盘组件20包括：吸附盘21，呈水平状态设置于吸盘安装座16顶部，吸附盘21底部与吸盘安装座16顶部相抵触；空心排气轴22，呈竖直状态设置于吸附盘21中心处，吸盘安装座16中心处成型有一个呈竖直状态设立的中心避让孔17，空心排气轴22顶部与吸附盘21顶部相抵触，空心排气轴22底部穿过吸附盘21设置于中心避让孔17，空心排气轴22中部成型有呈水平状态设立的放气孔23；固定螺栓24，呈竖直状态设置于吸盘安装座16底部，固定螺栓24底部与吸盘安装座16底部相抵触，固定螺栓24上端设置于中心避让孔17内并与空心排气轴22底部旋接，固定螺栓24与吸盘安装座16之间设置有一个呈水平状态设置的密封圈25。

空心排气轴22顶部与吸附盘21顶部相抵触，底部与固定螺栓24相连接，吸附盘21在空心排气轴22与固定螺栓24的作用下固定设置于吸盘安装座16顶部，吸附盘21与碳化硅晶体之间的气体能够通过空心排气轴22上的放气孔23进入中心避让孔17内。

进一步的，密封排气组件26包括：两个限位凸台27，均呈竖直状态旋设于吸盘安装座16底部，吸盘安装座16底部成型有两个呈对称状态设立的气道18，气道18的一端与中心避让孔17相通，另一端通过吸盘安装座16底部与外界相通，每个气道18底部成型有一个台阶安装孔19，每个限位凸台27均旋设于对应的台阶安装孔19内，每个限位凸台27中部成型有呈竖直状态设立的导向排气孔28；两个密封杆29，均同轴活动设置于对应的导向排气孔28内，每个密封杆29顶部均成型有一个密封凸台30，每个密封杆29的顶部成型有密封凸台30，密封凸台30顶部成型有一个第一橡胶被覆层31，第一橡胶被覆层31顶部与台阶安装孔19顶部相抵触，两个密封复位弹簧32，活动套设于对应的密封杆29上端，每个密封复位弹簧32的底部均与对应的限位凸台27顶部相抵触，顶部均与对应的密封凸台30底部相抵触；下压板33，呈水平状态固定设置于两个密封杆29底部，下压板33中部成型有一个能够让传动轴35穿过的传动避让孔34。

气道18的一端与中心避让孔17相连，中心避让孔17顶部与吸附盘21相连，底部通过密封圈25与固定螺栓24密封，限位凸台27固定设置于台阶安装孔19内，吸附盘21内的空气仅能够通过气道18从导向排气孔28内排出，密封杆29的顶部穿过限位凸台27设置于台阶安装孔19内，密封杆29顶部的第一橡胶被覆层31与台阶安装孔19顶部相抵触，并将气道18封住，密封凸台30底部设置有密封复位弹簧32，密封复位弹簧32的两端分别与密封凸台30和限位凸台27相抵触，当密封组件在不受外力影响的情况下，第一橡胶被覆层31在密封复位弹簧32的作用下封死气道18。

进一步的，上料工位4还包括送料组件37、双轴移动机构38、吸持上料机构39，第一下压排气机构12包括有：延伸座40，呈竖直状态固定设置于工作台1顶部，延伸座40设置于转盘工位2外侧，延伸座40顶部成型有呈竖直状态设立的导向容纳槽41；L型延伸杆42，其一侧呈竖直状态同轴活动设置于导向容纳槽41内，另一侧呈水平状态穿过导向容纳槽41与下压板33的顶部相抵触；延伸复位弹簧43，呈竖直状态活动套设于L型延伸杆42竖直的一侧上，延伸复位弹簧43顶部与L型延伸杆42的水平一侧的底部相抵触，底部与导向容纳槽41底部相抵触；防脱顶盖44，呈水平状态固定设置于延伸座40顶部，防脱顶盖44底部与L型延伸杆42顶部相抵触。

延伸座40固定设置于工作台1顶部并处于转盘工位2外侧，L型延伸杆42的一端与下压板33顶部相抵触，另一端在延伸座40内滑动，下压板33随着L型延伸杆42上下运动。

进一步的，下压导向座45，呈竖直状态固定设置于工作台1顶部，下压导向座45顶部成型有呈竖直状态设立的导向滑槽46；下压滑杆47，呈竖直状态活动设置于导向滑槽46内，下压滑杆47上端成型有呈竖直状态设立的安装柱48，安装柱48的侧壁上成型有呈水平状态设立的侧导向孔49；下压复位弹簧50，呈竖直状态活动套设于下压滑杆47下端，下压复位弹簧50顶部与安装柱48底部相抵触，底部与导向滑槽46底部相抵触；弹性压杆51，呈水平状态活动设置于L型延伸杆42顶部，弹性压杆51靠近L型延伸杆42的一端顶部成型有弧形导向面53，弹性压杆51远离L型延伸杆42的一端成型有呈水平状态设立的导向柱52，导向柱52同轴穿过侧导向孔49向远离L型延伸杆42的方向输出；侧复位弹簧54，活动套设于导向柱52上，侧复位弹簧54的一端与弹性压杆51相抵触，另一端与下压滑杆47相抵触；上滑块55，呈竖直状态固定设置于导向柱52穿过下压滑杆47的一端上，上滑块55底部靠近下压导向座45的一侧成型有下压斜面56；下楔块57，呈竖直状态固定设置于下压导向柱52远离L型延伸杆42的一侧，下楔块57顶部成型有与下压斜面56相配合的坡口58；顶托杆59，呈水平状态固定设置于下压滑杆47顶部；下压杆60，呈水平状态固定设置于吸持上料机构39上，下压杆60能够随着吸持上料机构39的下降而与顶托杆59顶部相抵触。

弹性压杆51一端与下压滑杆47活动相连，另一端底部与L型延伸杆42相抵触，下压滑杆47顶部与顶托杆59固定相连，当顶托杆59被下压杆60向下压时，弹性压杆51下压，L型延伸杆42带动下压板33下压，密封排气组件26通气，弹性压杆51的一端与上滑块55固定相连，上滑块55与固定设置于下压导向座45上的下楔块57相配合，当弹性压杆51下滑时，上滑块55在下楔块57的作用下向外移动，弹性压杆51逐渐从L型延伸杆42顶部移开，当弹性压杆51从L型延伸杆42水平一侧的圆心正上方移开后，L型延伸杆42在延伸复位弹簧43的作用下向上移动，密封排气组件26封闭气道18，当下压杆60不再压住顶托杆59时，下压滑杆47在下压复位弹簧50的作用下向上运动，上升过程中，弹性压杆51在弧形导向面53的作用下重新移动至L型延伸杆42上方。

进一步的，翻转工位6包括单轴升降机构61，还包括有夹持翻转机构62，夹持翻转机构62的两个夹爪63与碳化硅晶体接触的一端均成型有第二橡胶被覆层64。

夹爪63与碳化硅晶体接触的地方成型有第二橡胶被覆层64，能够在夹紧碳化硅晶体的同时防止将碳化硅晶体损坏。

进一步的，侧缘打磨工位8包括侧缘打磨机构65，还包括：旋转电机66，呈竖直状态固定设置于工作台1底部，旋转电机66输出端呈竖直状态穿过工作台1向上输出；第二传动齿轮67，呈水平状态固定设置于旋转电机66输出端顶部，第二传动齿轮67能够与第一传动齿轮36相啮合。

侧缘打磨机构65对碳化硅晶体进行打磨的同时，第二传动齿轮67通过第一传动齿轮36带动碳化硅晶体旋转，对碳化硅晶体的周侧进行均匀打磨。

碳化硅晶体由上料工位4上料至无阻力吸盘夹具3上，在碳化硅晶体放置于无阻力吸盘夹具3上的过程中，顶托杆59被下压杆60向下压，弹性压杆51下压，L型延伸杆42带动下压板33下压，密封排气组件26通气，上滑块55在下楔块57的作用下向外移动，弹性压杆51逐渐从L型延伸杆42顶部移开，无阻力吸盘夹具3内的空气从密封排气组件26排出，无阻力吸盘夹具3内的压强不会产生变动，碳化硅晶体受力极小，当弹性压杆51从L型延伸杆42水平一侧的圆心正上方移开后，L型延伸杆42在延伸复位弹簧43的作用下向上移动，密封排气组件26封闭气道18，无阻力吸盘夹具3内的空气量恒定，碳化硅晶体被无阻力吸盘夹具3吸附，转盘工位2带动该碳化硅晶体旋转至第一打磨工位5，第一打磨工位5对该碳化硅晶体上表面进行打磨，然后转盘工位2带动该碳化硅晶体旋转至翻转工位6，由翻转工位6对碳化硅晶体进行翻转，期间第二下压排气机构13工作，取件前由第二下压排气机构13带动密封排气组件26进行通气，无阻力吸盘夹具3不再吸附碳化硅晶体，取下碳化硅晶体并完成翻转后再次放置于无阻力吸盘夹具3上，上件的原理同第一下压排气机构12的工作原理相同，再旋转至第二打磨工位7对碳化硅晶体的另一面进行打磨，打磨完成后再由转盘工位2带动碳化硅晶体旋转至侧缘打磨工位8对碳化硅晶体的侧缘进行打磨，至此全部打磨工序完成，转盘工位2带动碳化硅晶体旋转至切槽工位9进行notch槽加工，加工完成后旋转至下料工位10下料，再由检测工位11对下料后的无阻力吸盘夹具3进行检测，若工件已取下，则无阻力吸盘夹具3继续旋转至下一工位继续工作，若工件未取下，则整个装置停止工作。

以上实施例仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种碳化硅晶体整形一体机，包括工作台(1)和设置于工作台(1)上的转盘工位(2)，工作台(1)上设有沿转盘工位(2)的圆周方向依次排列的上料工位(4)、第一打磨工位(5)、翻转工位(6)、第二打磨工位(7)、侧缘打磨工位(8)、切槽工位(9)、下料工位(10)、检测工位(11)，其特征在于，所述转盘工位(2)上设有若干沿圆周方向均匀分布的用于吸附固定碳化硅晶体的无阻力吸盘夹具(3)，无阻力吸盘夹具(3)包括有一个用于控制吸盘吸力的密封排气组件(26)，上料工位(4)包括一个用于使得密封排气组件(26)放气的第一下压排气机构(12)，翻转工位(6)包括一个与第一下压排气机构(12)结构和功能相同的第二下压排气机构(13)，下料工位(10)包括一个与第一下压排气机构(12)机构和功能相同的第三下压排气机构(14)；

下压导向座(45)，呈竖直状态固定设置于工作台(1)顶部，下压导向座(45)顶部成型有呈竖直状态设立的导向滑槽(46)；

下压滑杆(47)，呈竖直状态活动设置于导向滑槽(46)内，下压滑杆(47)上端成型有呈竖直状态设立的安装柱(48)，安装柱(48)的侧壁上成型有呈水平状态设立的侧导向孔(49)；

下压复位弹簧(50)，呈竖直状态活动套设于下压滑杆(47)下端，下压复位弹簧(50)顶部与安装柱(48)底部相抵触，底部与导向滑槽(46)底部相抵触；

弹性压杆(51)，呈水平状态活动设置于L型延伸杆(42)顶部，弹性压杆(51)靠近L型延伸杆(42)的一端顶部成型有弧形导向面(53)，弹性压杆(51)远离L型延伸杆(42)的一端成型有呈水平状态设立的导向柱(52)，导向柱(52)同轴穿过侧导向孔(49)向远离L型延伸杆(42)的方向输出；

侧复位弹簧(54)，活动套设于导向柱(52)上，侧复位弹簧(54)的一端与弹性压杆(51)相抵触，另一端与下压滑杆(47)相抵触；

上滑块(55)，呈竖直状态固定设置于导向柱(52)穿过下压滑杆(47)的一端上，上滑块(55)底部靠近下压导向座(45)的一侧成型有下压斜面(56)；

下楔块(57)，呈竖直状态固定设置于下压导向柱(52)远离L型延伸杆(42)的一侧，下楔块(57)顶部成型有与下压斜面(56)相配合的坡口(58)；

顶托杆(59)，呈水平状态固定设置于下压滑杆(47)顶部；

下压杆(60)，呈水平状态固定设置于吸持上料机构(39)上，下压杆(60)能够随着吸持上料机构(39)的下降而与顶托杆(59)顶部相抵触。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体整形一体机，其特征在于，每个无阻力吸盘夹具(3)还包括有：吸盘安装座(16)，活动设置于转盘工位(2)顶部，转盘工位(2)顶部沿圆周方向均匀分布有若干限位台阶孔(15)，每个吸盘安装座(16)均同轴活动设置于对应的限位台阶孔(15)内；

吸盘组件(20)，固定设置于吸盘安装座(16)顶部，吸盘组件(20)顶部与碳化硅晶体底面吸附；

传动轴(35)，呈竖直状态固定设置于吸盘安装座(16)底部，传动轴(35)顶部与吸盘安装座(16)底部固定连接；

第一传动齿轮(36)，呈水平状态固定设置于传动轴(35)底部。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体整形一体机，其特征在于，吸盘组件(20)包括：

吸附盘(21)，呈水平状态设置于吸盘安装座(16)顶部，吸附盘(21)底部与吸盘安装座(16)顶部相抵触；

空心排气轴(22)，呈竖直状态设置于吸附盘(21)中心处，吸盘安装座(16)中心处成型有一个呈竖直状态设立的中心避让孔(17)，空心排气轴(22)顶部与吸附盘(21)顶部相抵触，空心排气轴(22)底部穿过吸附盘(21)设置于中心避让孔(17)，空心排气轴(22)中部成型有呈水平状态设立的放气孔(23)；

固定螺栓(24)，呈竖直状态设置于吸盘安装座(16)底部，固定螺栓(24)底部与吸盘安装座(16)底部相抵触，固定螺栓(24)上端设置于中心避让孔(17)内并与空心排气轴(22)底部旋接，固定螺栓(24)与吸盘安装座(16)之间设置有一个呈水平状态设置的密封圈(25)。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体整形一体机，其特征在于，密封排气组件(26)包括：两个限位凸台(27)，均呈竖直状态旋设于吸盘安装座(16)底部，吸盘安装座(16)底部成型有两个呈对称状态设立的气道(18)，气道(18)的一端与中心避让孔(17)相通，另一端通过吸盘安装座(16)底部与外界相通，每个气道(18)底部成型有一个台阶安装孔(19)，每个限位凸台(27)均旋设于对应的台阶安装孔(19)内，每个限位凸台(27)中部成型有呈竖直状态设立的导向排气孔(28)；

两个密封杆(29)，均同轴活动设置于对应的导向排气孔(28)内，每个密封杆(29)顶部均成型有一个密封凸台(30)，每个密封杆(29)的顶部成型有密封凸台(30)，密封凸台(30)顶部成型有一个第一橡胶被覆层(31)，第一橡胶被覆层(31)顶部与台阶安装孔(19)顶部相抵触，两个密封复位弹簧(32)，活动套设于对应的密封杆(29)上端，每个密封复位弹簧(32)的底部均与对应的限位凸台(27)顶部相抵触，顶部均与对应的密封凸台(30)底部相抵触；

下压板(33)，呈水平状态固定设置于两个密封杆(29)底部，下压板(33)中部成型有一个能够让传动轴(35)穿过的传动避让孔(34)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶体整形一体机，上料工位(4)还包括送料组件(37)、双轴移动机构(38)、吸持上料机构(39)，其特征在于，第一下压排气机构(12)包括有：延伸座(40)，呈竖直状态固定设置于工作台(1)顶部，延伸座(40)设置于转盘工位(2)外侧，延伸座(40)顶部成型有呈竖直状态设立的导向容纳槽(41)；

L型延伸杆(42)，其一侧呈竖直状态同轴活动设置于导向容纳槽(41)内，另一侧呈水平状态穿过导向容纳槽(41)与下压板(33)的顶部相抵触；

延伸复位弹簧(43)，呈竖直状态活动套设于L型延伸杆(42)竖直的一侧上，延伸复位弹簧(43)顶部与L型延伸杆(42)的水平一侧的底部相抵触，底部与导向容纳槽(41)底部相抵触；

防脱顶盖(44)，呈水平状态固定设置于延伸座(40)顶部，防脱顶盖(44)底部与L型延伸杆(42)顶部相抵触。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体整形一体机，翻转工位(6)包括单轴升降机构(61)，其特征在于，翻转工位(6)还包括有夹持翻转机构(62)，夹持翻转机构(62)的两个夹爪(63)与碳化硅晶体接触的一端均成型有第二橡胶被覆层(64)。

7.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体整形一体机，侧缘打磨工位(8)包括侧缘打磨机构(65)，其特征在于，侧缘打磨工位(8)还包括：旋转电机(66)，呈竖直状态固定设置于工作台(1)底部，旋转电机(66)输出端呈竖直状态穿过工作台(1)向上输出；

第二传动齿轮(67)，呈水平状态固定设置于旋转电机(66)输出端顶部，第二传动齿轮(67)能够与第一传动齿轮(36)相啮合。

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