CN115615928B - 光声光谱相位锁定方法、装置和*** - Google Patents
光声光谱相位锁定方法、装置和*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN115615928B CN115615928B CN202211463444.XA CN202211463444A CN115615928B CN 115615928 B CN115615928 B CN 115615928B CN 202211463444 A CN202211463444 A CN 202211463444A CN 115615928 B CN115615928 B CN 115615928B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- phase
- signal
- photoacoustic
- laser
- photoacoustic spectroscopy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
- G01N2021/1704—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本申请涉及一种光声光谱相位锁定方法、装置和***,其中,该光声光谱相位锁定方法包括:获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系;根据映射关系确定光声光谱***的参考相位;根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等。通过本申请,解决了光声光谱***的谐振频率受环境因素干扰较大的问题,实现了提高光声光谱***抗干扰能力的技术效果。
Description
技术领域
本申请涉及光声光谱领域,特别是涉及一种光声光谱相位锁定方法、装置和***。
背景技术
基于光声光谱的痕量、微量气体检测技术近年来广泛应用于环境保护、工业检测和医疗监控等领域。光声光谱技术是一种基于光声效应的激光吸收光谱技术,气体分子吸收调制激光能量或脉冲激光能量后,会产生周期性的热膨胀,进而激发出声波,声波频率取决于激光的调制频率,声波的强弱即反映了待测气体的浓度等信息。相比于传统的直接吸收光谱技术,光声光谱技术将光能转化为声波能量,完全不受背景光的影响;通过声学谐振腔或机械谐振器的谐振设计,可以进一步提升声波信号的检测信噪比。
然而,随着谐振***的Q值不断提升,光声光谱气体检测***受到环境因素的影响也越来越大,谐振***的固有频率会随着温度、气压等发生改变。在目前的光声光谱气体检测技术中,激光调制频率一般固定不变,这将导致***不能时刻保持在谐振状态,输出幅值会随着环境影响而产生漂移,而且***Q值越高,该漂移系数越大。传统的光声光谱技术无法实时跟踪***的谐振频率,只能通过定期扫频对***频率进行校准。
针对相关技术中存在光声光谱***的谐振频率受环境因素干扰较大的问题,目前还没有提出有效的解决方案。
发明内容
在本实施例中提供了一种光声光谱相位锁定方法、装置和***,以解决相关技术中光声光谱***的谐振频率受环境因素干扰较大的问题。
第一个方面,在本实施例中提供了一种光声光谱相位锁定方法,应用于光声光谱***,包括:获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系;根据映射关系确定光声光谱***的参考相位;根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等。
在其中的一个实施例中,所述获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系包括:获取扫频信号,所述扫频信号包括多个不同频率的调制信号;根据所述扫频信号控制所述激光器扫描受检目标,得到光声光谱***的所述输出幅值和所述输出相位。
在其中的一个实施例中,所述获取扫频信号包括:获取多个参考信号,所述多个参考信号对应的频率范围包括所述光声光谱***的谐振频率;对所述多个参考信号进行频率调制,得到所述扫频信号。
在其中的一个实施例中,根据映射关系确定光声光谱***的参考相位包括:根据输出幅值确定谐振峰值;根据映射关系将谐振峰值对应的输出相位作为参考相位。
在其中的一个实施例中,根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数包括:获取上一预设周期的激光调制信号对应的输出相位;根据上一预设周期的输出相位、参考相位和离散PID控制算法对上一预设周期的激光调制信号进行调整,得到当前预设周期的目标调制信号;根据目标调制信号调节光声光谱***中激光器的扫描参数。
第二个方面,在本实施例中提供了一种光声光谱相位锁定装置,包括:
获取模块,用于获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系;
处理模块,用于根据映射关系确定光声光谱***的参考相位;
锁相模块,用于根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***每一预设周期输出的输出相位与参考相位相等。
第三个方面,在本实施例中提供了一种光声光谱***,包括:第一控制设备、检测设备以及第二控制设备;其中,第一控制设备分别和检测设备以及第二控制设备连接;第一控制设备,用于配置检测设备的扫描参数;检测设备,用于根据扫描参数对受检目标发射激光,生成待测信号;第二控制设备用于执行上述第一个方面的光声光谱相位锁定方法。
在其中的一个实施例中,检测设备包括激光器、光声池和声学传感器,激光器分别与第一控制设备和光声池连接,光声池与声学传感器连接,声学传感器与第二控制设备连接;激光器,用于根据扫描参数向光声池发射激光;光声池,用于容纳待测气体,使待测气体在激光照射下生成声波信号;声学传感器,用于接收并增强声波信号,根据增强的声波信号生成电信号或数字信号并发送至第二控制设备。
在其中的一个实施例中,光声池和/或声学传感器处于谐振状态。
在其中的一个实施例中,第一控制设备包括信号发生器和激光器控制器,第二控制设备包括锁相放大器和闭环控制器,信号发生器分别与闭环控制器以及激光器控制器连接,激光器控制器与激光器连接;锁相放大器分别与声学传感器以及闭环控制器连接;信号发生器,用于生成调制信号并发送至激光器控制器;激光器控制器,用于根据调制信号为激光器配置扫描参数;锁相放大器,用于根据参考信号和待测信号生成输出幅值和输出相位;闭环控制器,用于根据输出幅值和输出相位确定参考相位,根据参考相位生成主控信号并发送至信号发生器,使信号发生器根据主控信号调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等。
与相关技术相比,在本实施例中提供的光声光谱相位锁定方法,应用于光声光谱***,通过获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系;根据映射关系确定光声光谱***的参考相位;根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等,解决了相关技术中光声光谱***的谐振频率受环境因素干扰较大的问题,实现了提高光声光谱***抗干扰能力的技术效果。
本申请的一个或多个实施例的细节在以下附图和描述中提出,以使本申请的其他特征、目的和优点更加简明易懂。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解,构成本申请的一部分,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
图1是本实施例的光声光谱相位锁定方法的终端的硬件结构框图;
图2是根据本申请实施例的光声光谱***的结构示意图;
图3是根据本申请实施例的光声光谱***的检测设备示意图;
图4是根据本申请实施例的光声光谱***的第一控制设备示意图;
图5是根据本申请实施例的光声光谱***的第二控制设备示意图;
图6是根据本申请优选实施例的光声光谱***的结构示意图;
图7是根据相关技术的光声光谱气体检测***在不同温度下的输出幅值与激光调制频率之间的映射关系示意图;
图8是根据相关技术的光声光谱气体检测***在不同温度下的输出相位与激光调制频率之间的映射关系示意图;
图9是根据相关技术的光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系图;
图10是本实施例的光声光谱相位锁定方法的流程图;
图11是根据本申请实施例的光声光谱相位锁定方法的优化效果示意图;
图12是本实施例的光声光谱相位锁定装置的结构框图。
具体实施方式
为更清楚地理解本申请的目的、技术方案和优点,下面结合附图和实施例,对本申请进行了描述和说明。
除另作定义外,本申请所涉及的技术术语或者科学术语应具有本申请所属技术领域具备一般技能的人所理解的一般含义。在本申请中的“一”、“一个”、“一种”、“该”、“这些”等类似的词并不表示数量上的限制,它们可以是单数或者复数。在本申请中所涉及的术语“包括”、“包含”、“具有”及其任何变体,其目的是涵盖不排他的包含;例如,包含一系列步骤或模块(单元)的过程、方法和***、产品或设备并未限定于列出的步骤或模块(单元),而可包括未列出的步骤或模块(单元),或者可包括这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或模块(单元)。在本申请中所涉及的“连接”、“相连”、“耦接”等类似的词语并不限定于物理的或机械连接,而可以包括电气连接,无论是直接连接还是间接连接。在本申请中所涉及的“多个”是指两个或两个以上。“和/或”描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,“A和/或B”可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。通常情况下,字符“/”表示前后关联的对象是一种“或”的关系。在本申请中所涉及的术语“第一”、“第二”、“第三”等,只是对相似对象进行区分,并不代表针对对象的特定排序。
在本实施例中提供的方法实施例可以在终端、计算机或者类似的运算装置中执行。比如在终端上运行,图1是本实施例的光声光谱相位锁定方法的终端的硬件结构框图。如图1所示,终端可以包括一个或多个(图1中仅示出一个)处理器102和用于存储数据的存储器104,其中,处理器102可以包括但不限于微处理器MCU或可编程逻辑器件FPGA等的处理装置。上述终端还可以包括用于通信功能的传输设备106以及输入输出设备108。本领域普通技术人员可以理解,图1所示的结构仅为示意,其并不对上述终端的结构造成限制。例如,终端还可包括比图1中所示更多或者更少的组件,或者具有与图1所示出的不同配置。
存储器104可用于存储计算机程序,例如,应用软件的软件程序以及模块,如在本实施例中的光声光谱相位锁定方法对应的计算机程序,处理器102通过运行存储在存储器104内的计算机程序,从而执行各种功能应用以及数据处理,即实现上述的方法。存储器104可包括高速随机存储器,还可包括非易失性存储器,如一个或者多个磁性存储装置、闪存、或者其他非易失性固态存储器。在一些实例中,存储器104可进一步包括相对于处理器102远程设置的存储器,这些远程存储器可以通过网络连接至终端。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。
传输设备106用于经由一个网络接收或者发送数据。上述的网络包括终端的通信供应商提供的无线网络。在一个实例中,传输设备106包括一个网络适配器(NetworkInterface Controller,简称为NIC),其可通过基站与其他网络设备相连从而可与互联网进行通讯。在一个实例中,传输设备106可以为射频(Radio Frequency,简称为RF)模块,其用于通过无线方式与互联网进行通讯。
用一束强度或波长可调制的单色光照射到密封于光声池中的样品上,样品吸收光能,并以释放热能的方式退激,释放的热能使样品和周围介质按光的调制频率产生周期性加热,从而导致介质产生周期性压力波动,这种压力波动可用灵敏的微音器或压电陶瓷传声器检测,并通过放大得到光声信号,这就是光声效应。若入射单色光波长可变,则可测到随波长而变的光声信号图谱,这就是光声光谱。
光声光谱技术是基于光声效应的一种光谱技术。光声光谱技术作为光谱学的一个重要分支,与传统光谱学的不同之处在于,该技术探测的不是光与物质相互作用后反馈的光信号,而是探测光与物质相互作用后反馈的声信号,从而克服了传统光谱法在样品分析中存在的诸多困难。传统的光谱法中,光的散射、反射是最大的干扰,因为样品吸收光能量的大小是通过测量透射光强度的方式,依据从入射光强度中减去透射光强度得到的差额来确定,然而,光与物质相互作用的过程必然伴随着一定的反射、散射和其他的光损失,这将导致入射光强度的降低。此外,传统光谱法探测的是光与物质相互作用后的透射光信号,因此样品就必须具有一定的透光性。与之相比,光声光谱技术所检测的是因物质吸收光能而产生的声波信号,这种声波信号的强弱直接反映了物质吸收光能量的大小。从而避免了因样品中光的反射、散射等引起的信号干扰;同时,还可针对弱吸收样品适当增大入射光的辐照功率来提高信噪比。因此,它被广泛应用于各种试样检测,如透明的或不透明的固体、液体、气体、粉末、胶体、晶体或非晶体等,从本质上解决了传统光谱法对弱吸收、强散射、不透明等样品检测的难题。
光声光谱***依赖于谐振***的设计,谐振又称共振。振荡***在周期性外力作用下,当外力作用频率与***固有振荡频率相同或很接近时,振幅急剧增大的现象称为谐振,产生谐振时的频率称为谐振频率。通常用Q值描述谐振***的谐振能力。随着谐振***的Q值不断提升,光声光谱气体检测***受到环境因素的影响也越来越大,谐振***的固有频率会随着温度、气压等发生改变。在目前的光声光谱气体检测技术中,激光调制频率一般固定不变,这将导致***不能时刻保持在谐振状态,输出幅值会随着环境影响而产生漂移,而且***Q值越高,该漂移系数越大。传统的光声光谱技术无法实时跟踪***的谐振频率,只能通过定期扫频对***频率进行校准。因此,亟需提高光声光谱***的抗干扰性能。
在本实施例中提供了一种光声光谱***,图2是根据本申请实施例的光声光谱***的结构示意图,如图2所示,该***包括第一控制设备21、检测设备22以及第二控制设备23;其中,第一控制设备21分别和检测设备22以及第二控制设备23连接;第一控制设备21,用于配置检测设备22的扫描参数;检测设备22,用于根据扫描参数对受检目标发射激光,生成待测信号;第二控制设备23用于获取当前光声光谱***的输出幅值与输出相位的映射关系,根据映射关系确定光声光谱***的参考相位;根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等。
具体地,检测设备是用于进行光声光谱检测的设备,包括激光器、光声池和声学传感器等。受检目标包括但不限于透明或不透明的固体、液体、气体、粉末、胶体、晶体或非晶体等。第一控制设备用于根据用户下达的控制指令,进行信号调制,通过调整激光器的扫描参数,配置激光的频率、强度、波形、扫描时间等。第二控制设备,用于方便用户下达控制指令并获取和分析检测设备生成的检测信号。通过本实施例的光声光谱***,第二控制设备可以根据光声光谱***的输出幅值和输出相位的映射关系,选定参考相位,并基于该相位下发主控信号至第一控制设备,通过调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使***的输出相位与参考相位相等。由于参考相位是输出幅值的峰值对应的位置,参考相位不会因温度等环境因素的变化而产生漂移,因此,可以通过控制信号的相位锁定在参考相位,保证***的输出的信号幅值处于峰值,从而保证光声光谱***的谐振性能,提升***的抗干扰能力。
相较于现有技术中通过采用固定频率运行激光器的光声光谱***,本实施例的光声光谱***采取了一种相位闭环锁定的控制方式。通过配置参考相位,使***的输出相位始终锁定在参考相位,由于参考相位位于光声光谱***谐振状态下,与输出幅值的谐振峰值对应的位置,该映射关系不随***的工作温度的改变而改变,因此,通过相位闭环锁定的方法,使***的输出相位锁定在参考相位,从而使光声光谱***始终保持在谐振状态,不需要定期扫频校准即可实现实时锁定***的谐振频率,解决了***无法应对谐振频率随环境因素改变的问题,降低了***的漂移系数,扩展了***的工作温度范围,提升了***的稳定性。
在其中的一个实施例中,图3是根据本申请实施例的光声光谱***的检测设备示意图,如图3所示,检测设备包括激光器31、光声池32和声学传感器33,激光器31分别与第一控制设备和光声池32连接,光声池32与声学传感器33连接,声学传感器33与第二控制设备连接;激光器31,用于根据扫描参数向光声池32发射激光;光声池32,用于容纳待测气体,使待测气体在激光照射下生成声波信号;声学传感器33,用于接收并增强声波信号,根据增强的声波信号生成电信号或数字信号并发送至第二控制设备。
具体地,激光器用于发射激光,在光声光谱***中,激光器一般可以选择波长可以调节的量子级联激光器QCL,分布式反馈激光器DFB,光学参量振荡器激光器OPO,带间级联激光器ICL等,激光器发射的激光可以为连续光或脉冲光。光声池用于容纳待测气体,当激光器发射的激光穿过光声池时,气体分子吸收调制激光能量后,会产生周期性的热膨胀,进而激发出声波,这就是光声效应。声波信号被声学传感器接收转换为电信号或数字信号。
在其中的一个实施例中,光声池和/或声学传感器处于谐振状态。
具体地,若光声池工作在谐振状态,则一般选择细长圆柱状的光声池,形成声学谐振腔,利用驻波对声波信号进行增强。若声学传感器工作在谐振状态,则一般选择机械悬臂梁或石英音叉作为声学传感器,利用机械共振对声波信号进行增强,而不能选择平坦频率响应的麦克风作为声学传感器。谐振状态下,***的输出幅值可以达到非谐振状态的数十甚至数百倍,因此,在本实施例中的光声光谱***中,需要保证光声池和声学传感器中的至少一个处于谐振状态。
在其中的一个实施例中,图4是根据本申请实施例的光声光谱***的第一控制设备示意图,图5是根据本申请实施例的光声光谱***的第二控制设备示意图,如图4和图5所示,第一控制设备包括信号发生器41和激光控制器42,第二控制设备包括锁相放大器51和闭环控制器52,信号发生器41分别与闭环控制器52以及激光控制器42连接,激光控制器42与激光器连接;锁相放大器51分别与声学传感器以及闭环控制器52连接;信号发生器41,用于生成调制信号并发送至激光控制器42;激光控制器42,用于根据调制信号为激光器配置扫描参数;锁相放大器51,用于根据参考信号和待测信号生成输出幅值和输出相位;闭环控制器52,用于根据输出幅值和输出相位确定参考相位,根据参考相位生成主控信号并发送至信号发生器41,使信号发生器41根据主控信号调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等。
具体地,信号发生器用于产生调制信号,通过调制信号对激光器的电流进行调制,进而对激光器31的波长进行调制,在光声光谱检测***中,调制信号一般为低频的锯齿波叠加高频的正弦波。低频锯齿波是用来确定波长扫描范围,其频率一般为0.1Hz-10Hz。高频正弦波用来对声波信号进行调制,调制方法主要分为一次谐波调制和二次谐波调制。在一次谐波调制中,正弦波的频率等于待测声信号的频率f,在二次谐波调制中,正弦波的频率等于待测声信号频率的一半,即f/2,二次谐波调制是目前光声光谱***中的主流波长调制方法。同时,将声波信号频率调制到谐振***的谐振频率,该谐振频率一般为kHz级别,可以利用谐振特性对声波进行放大增强。信号发生器可以受第二控制设备控制,用户可通过第二控制设备下发控制指令,使信号发生器改变其输出波形的频率、幅值等参数,在其中的一个具体的实施例中,第二控制设备可以是计算机设备。
激光控制器可以控制激光器的电流和温度,进而控制激光器的发射波长。温度控制是为了保持激光器温度的特性,使其波长固定在待测其他的吸收峰附近。电流控制是为了激光器的波长在一定范围内扫描,得到待测气体的光声光谱。
锁相放大器的作用是提取特定频率范围的信号幅值,以抑制其他频段的噪声,提升信号的信噪比。锁相放大器有两个输入端,一个是待测信号,即声学传感器的输出信号,另一个是参考信号,即计算机内部振荡器提供的正弦波信号,参考信号的频率与待测信号的频率相等。锁相放大器有两个输出端,一个是幅值R,另一个是相位θ。该幅值是待测信号在频率f附近的信号强度,是***的最终输出,反映了样品的性质,例如在气体检测中,幅值反映了气体的浓度。相位是待测信号与参考信号之间的相位差,在第i个测量周期的相位记为θi。
在其中的一个实施例中,锁相放大器采用双相位解调的方法计算待测信号的幅值和相位。具体地,计算机采用内部振荡器产生两个正弦信号,信号A和信号B,信号A和信号B的相位相差90°,信号A和信号B的幅值为1,频率等于待测信号的频率f。在t时刻,待测信号、信号A和B可以分别表示为:
闭环控制器的作用是调节信号发生器的正弦波频率,使***相位稳定在参考相位,参考相位是***预设的待测信号与参考信号之间的相位差,记为θ0。在其中的一个具体的实施例中,闭环控制器可以为PID控制器,即比例-积分-微分控制器,采用离散PID控制算法,可以对θi进行闭环控制,使θi-θ0保持为0。闭环控制器的输出是正弦波频率,即激光调制频率,在二次谐波调制时频率为f/2,即信号发生器输出的正弦波分量可以表示为sin(πft)。信号A即为锁相放大器的参考信号,其频率也受闭环控制器控制,为激光调制频率的2倍,等于待测信号的频率。
在本实施例中提供了一种具体的光声光谱***,图6是根据本申请优选实施例的光声光谱***的结构示意图,如图6所示,包括:激光器31,光声池32,声学传感器33,计算机,信号发生器41,激光控制器42,其中,锁相放大器51和闭环控制器52位于计算机设备61内。计算机设备61内部的振荡器提供正弦波信号,将该正弦波信号发送至信号发生器41,信号发生器41接收计算机的主控指令,产生调制信号对激光控制器42的电流进行调制,进而对激光器31的波长进行调制。激光器31发出预设波长的激光照射光声池32中的样品,当光声光谱***用于检测气体时,光声池32内容纳待测气体,当激光器31发射的激光穿过光声池32时,会产生声波信号,声波信号被声学传感器33接收,转换为电信号或数字信号。锁相放大器51的作用是提取特定频率范围的信号幅值,以抑制其他频段的噪声,提升信号的信噪比。锁相放大器51有两个输入端,一个是待测信号,即声学传感器33的输出信号,另一个是参考信号,即计算机内部振荡器提供的正弦波信号,与待测信号频率相等。锁相放大器51有两个输出端,一个是幅值,另一个是相位。闭环控制器52的作用是调节信号发生器41的正弦波频率,使***相位稳定在参考相位,参考相位是***预设的待测信号与参考信号之间的相位差。
光声光谱气体***在谐振状态下,***的输出与激光调制信号之间的相位存在一个固定的差值。该差值主要受光-声转换、声学谐振或机械谐振、声-电转换这几个过程决定,每个过程都会有一个相位差。若在谐振状态下测量***的输出与调制信号之间的相位差,作为参考相位,再通过闭环改变激光调制频率,使***相位差始终等于参考相位,那么即使温度等环境因素改变,导致***谐振频率改变,***也始终会保持谐振状态。本实施例的光声光谱***,通过控制相位闭环锁定,在二次谐波调制模式下,激光调制频率会自动锁定在***谐振频率的一半,待测声波频率始终等于谐振频率。光声光谱***始终保持在谐振状态,解决了光声光谱***无法应对谐振频率随环境因素改变的问题,降低了***的漂移系数。
相关技术中的光声光谱气体检测方案中,激光调制频率一般固定不变,但是受到环境因素的影响,例如当温度发生变化时,***的谐振频率会发生漂移。以一个具体的光声光谱气体检测***为例,该***采用圆柱形声学谐振腔作为光声池,直径为5mm,长度为50mm,声学传感器采用平坦频率响应的麦克风,待测气体为纯氮气中的二氧化碳,激光器为波长4.3μm的中红外量子级联激光器,采用二次谐波调制的方法进行光声光谱测量。图7是根据相关技术的光声光谱气体检测***在不同温度下的输出幅值与激光调制频率之间的映射关系示意图,如图7所示,随着温度从40℃变化至50℃,***的幅值和谐振频率均发生了改变,谐振峰值是指***输出幅值的极大值,谐振峰值降低,从0.6168V变化至0.4566V,对应的调制频率升高,从1680Hz变化至1700Hz。由此可见,随着光声光谱***工作温度的变化,采用固定频率进行激光扫描,会导致***的检测效果变差。
图8是根据相关技术的光声光谱气体检测***在不同温度下的输出相位与激光调制频率之间的映射关系示意图,如图8所示,随着温度上升,相位-频率曲线向右平移。虽然随着温度的增加,与谐振峰值对应的激光调制频率增加,但是输出相位基本保持不变。图9是根据相关技术的光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系图,如图9所示,在该***中,当***的工作温度发生变化时,谐振峰值对应的相位处于4.78V,相位保持不变。因此,当保证输出相位处于该相位时,即保证了当前***的激光调制频率处于谐振频率,***处于谐振状态。
在本实施例中提供了一种光声光谱相位锁定方法,应用于改进后的光声光谱***,图10是本实施例的光声光谱相位锁定方法的流程图,如图10所示,该流程包括如下步骤:
步骤S1001,获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系。
具体地,在***初始状态下,对光声光谱***进行频率扫描测试,得到***的幅值-频率响应曲线和相位-频率响应曲线。
步骤S1002,根据映射关系确定光声光谱***的参考相位。
具体地,***输出幅值最大值即为谐振峰值,其频率为谐振频率,取谐振频率处***输出与输入的相位差作为参考相位θ0。
步骤S1003,根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等。
具体地,光声光谱气体检测***在谐振状态下,***的输出与激光调制信号之间的相位存在一个固定的差值,该差值主要受光-声转换、声学谐振或机械谐振、声-电转换这几个过程决定,每个过程都会有一个相位差。将谐振状态下测量***的输出与调制信号之间的相位差,作为参考相位θ0。再通过闭环改变激光调制频率,使***相位差始终等于参考相位,那么即使温度等环境因素改变,导致***谐振频率改变,***也始终会保持谐振状态。
通过上述步骤,本申请实施例提供的相位闭环锁定的方法,能够使光声光谱***始终保持在谐振状态,解决了***无法应对谐振频率随环境改变的问题,降低了***的漂移系数。
在其中的一个实施例中,所述获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系包括:获取扫频信号,所述扫频信号包括多个不同频率的调制信号;根据所述扫频信号控制所述激光器扫描受检目标,得到光声光谱***的所述输出幅值和所述输出相位。具体地,在光声光谱***的初始状态下,改变激光调制信号中正弦波的频率,对光声光谱***进行频率扫描测试,得到***的幅值-频率响应曲线和相位-频率响应曲线。
在其中的一个实施例中,所述获取扫频信号包括:获取多个参考信号,所述多个参考信号对应的频率范围包括所述光声光谱***的谐振频率,对所述多个参考信号进行频率调制,得到所述扫频信号。具体地,获取多个参考信号,参考信号的信号频率范围应覆盖光声光谱***的谐振频率。优选的,参考信号的信号频率范围为1650Hz至1750Hz之间。在单个预设周期中,对指定频率的参考信号进行频率调制,得到扫频信号,根据扫频信号控制激光器扫描受检目标;根据待测信号和参考信号确定本预设周期光声光谱***的输出幅值和输出相位。改变参考信号的频率执行上述检测过程。根据多个预设周期的输出幅值与输出相位,得到幅值、相位与参考信号频率之间的关系曲线。
在其中的一个实施例中,根据映射关系确定光声光谱***的参考相位包括:根据输出幅值确定谐振峰值;根据映射关系将谐振峰值对应的输出相位作为参考相位。具体地,根据对光声光谱***进行频率扫描测试得到的***的幅值-频率响应曲线和相位-频率响应曲线,取谐振频率处***输出信号与调制正弦波的相位差作为参考相位。
在其中的一个实施例中,根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数包括:获取上一预设周期的激光调制信号对应的输出相位;根据上一预设周期的输出相位、参考相位和离散PID控制算法对上一预设周期的激光调制信号进行调整,得到当前预设周期的目标调制信号;根据目标调制信号调节光声光谱***中激光器的扫描参数。
具体地,设置了参考相位后,在光声光谱***的运行过程中,会参考上一周期的输出相位,基于上一周期的输出相位和参考相位对第二控制设备输出的振荡信号进行调节。
在其中的一个实施例中,将PID控制器作为闭环控制器调节比信号发生器的正弦波频率,使***相位稳定在参考相位,参考相位是***预设的参考信号与参考信号之间的相位差,记为θ0。PID控制器,由比例单元P、积分单元I和微分单元D组成。透过Kp,Ki和Kd三个参数的设定。PID控制器主要适用于基本上线性,且动态特性不随时间变化的***。PID控制器是一个在工业控制应用中常见的反馈回路部件。这个控制器把收集到的数据和一个参考值进行比较,然后把这个差别用于计算新的输入值,这个新的输入值的目的是可以让***的数据达到或保持在参考值。与其他简单的控制运算不同,PID控制器可以根据历史数据和差别的出现率来调整输入值,这样可以使***更加准确,更加稳定。在本实施例中,通过预设参考相位并借助PID控制器的控制功能,即可保证输出相位与参考相位的一致性。
在其中的一个实施例中,采用二次谐波调制的方式进行信号调制。二次谐波调制可以避免光声池内壁、光学窗口等吸收杂散激光能量导致的一次谐波干扰。在本实施例中,光声光谱***在二次谐波调制模式下,激光调制频率会自动锁定在谐振频率的一半,能够使待测声波频率f始终等于***谐振频率f0,实现谐振频率的锁定。
在其中的一个实施例中,图11是根据本申请实施例的光声光谱相位锁定方法的优化效果示意图,光声光谱***在相位闭环前后的漂移系数如图11所示,在相位闭环前,采用传统的光声光谱气体检测***,激光调制频率固定为1680Hz,在40-50℃温度范围内,幅值漂移系数约为-0.028V/℃。在相位闭环后,即选用本申请实施例的光声光谱***以及光声光谱相位锁定方法后,激光调制频率始终锁定***的谐振频率,其幅值漂移系数约为-0.016V/℃。因此,相位闭环后幅值漂移系数降低为原来的57%。随着温度变化范围的增大,传统光声光谱***会进一步远离谐振频率,导致***的输出信号淹没在噪声之中,无法正常工作;而采用本申请实施例的相位闭环的光声光谱***,结合本申请实施例的光声光谱相位锁定方法,光声光谱***可以始终保持在谐振状态,虽然幅值依然存在一定的漂移,但可以通过建模进行实时补偿,大大扩展了***的工作温度范围。
在本实施例中还提供了一种光声光谱相位锁定装置,该装置用于实现上述实施例及优选实施方式,已经进行过说明的不再赘述。以下所使用的术语“模块”、“单元”、“子单元”等可以实现预定功能的软件和/或硬件的组合。尽管在以下实施例中所描述的装置较佳地以软件来实现,但是硬件,或者软件和硬件的组合的实现也是可能并被构想的。
图12是本实施例的光声光谱相位锁定装置的结构框图,如图12所示,该装置包括:
获取模块121,用于获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系;
处理模块122,用于根据映射关系确定光声光谱***的参考相位;
锁相模块123,用于根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***每一预设周期输出的输出相位与参考相位相等。
获取模块121,还用于获取扫频信号,所述扫频信号包括多个不同频率的调制信号;根据所述扫频信号控制所述激光器扫描受检目标,得到光声光谱***的所述输出幅值和所述输出相位。
所述获取模块121,还用于获取多个参考信号,所述多个参考信号对应的频率范围包括所述光声光谱的谐振频率;对所述多个参考信号进行频率调制,得到所述扫频信号。
处理模块122,还用于根据输出幅值确定谐振峰值;根据映射关系将谐振峰值对应的输出相位作为参考相位。
锁相模块123,还用于获取上一预设周期的激光调制信号对应的输出相位;根据上一预设周期的输出相位、参考相位和离散PID控制算法对上一预设周期的激光调制信号进行调整,得到当前预设周期的目标调制信号;根据目标调制信号调节光声光谱***中激光器的扫描参数。
在本实施例中还提供了一种电子装置,包括存储器和处理器,该存储器中存储有计算机程序,该处理器被设置为运行计算机程序以执行上述任一项方法实施例中的步骤。
可选地,上述电子装置还可以包括传输设备以及输入输出设备,其中,该传输设备和上述处理器连接,该输入输出设备和上述处理器连接。
可选地,在本实施例中,上述处理器可以被设置为通过计算机程序执行以下步骤:
S1,获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系。
S2,根据映射关系确定光声光谱***的参考相位。
S3,根据参考相位调节光声光谱***中激光器的扫描参数,使光声光谱***当前预设周期的输出相位与参考相位相等。
需要说明的是,在本实施例中的具体示例可以参考上述实施例及可选实施方式中所描述的示例,在本实施例中不再赘述。
此外,结合上述实施例中提供的光声光谱相位锁定方法,在本实施例中还可以提供一种存储介质来实现。该存储介质上存储有计算机程序;该计算机程序被处理器执行时实现上述实施例中的任意一种光声光谱相位锁定方法。
应该明白的是,这里描述的具体实施例只是用来解释这个应用,而不是用来对它进行限定。根据本申请提供的实施例,本领域普通技术人员在不进行创造性劳动的情况下得到的所有其它实施例,均属本申请保护范围。
显然,附图只是本申请的一些例子或实施例,对本领域的普通技术人员来说,也可以根据这些附图将本申请适用于其他类似情况,但无需付出创造性劳动。另外,可以理解的是,尽管在此开发过程中所做的工作可能是复杂和漫长的,但是,对于本领域的普通技术人员来说,根据本申请披露的技术内容进行的某些设计、制造或生产等更改仅是常规的技术手段,不应被视为本申请公开的内容不足。
“实施例”一词在本申请中指的是结合实施例描述的具体特征、结构或特性可以包括在本申请的至少一个实施例中。该短语出现在说明书中的各个位置并不一定意味着相同的实施例,也不意味着与其它实施例相互排斥而具有独立性或可供选择。本领域的普通技术人员能够清楚或隐含地理解的是,本申请中描述的实施例在没有冲突的情况下,可以与其它实施例结合。
以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对专利保护范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本申请的保护范围。因此,本申请的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种光声光谱相位锁定方法,其特征在于,包括:
获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系;
根据所述映射关系确定所述光声光谱***的参考相位;
根据所述参考相位调节所述光声光谱***中激光器的扫描参数,使所述光声光谱***当前预设周期的输出相位与所述参考相位相等;
所述根据所述映射关系确定所述光声光谱***的参考相位包括:根据所述输出幅值确定谐振峰值;根据所述映射关系将所述谐振峰值对应的所述输出相位作为参考相位。
2.根据权利要求1所述的光声光谱相位锁定方法,其特征在于,所述获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系包括:
获取扫频信号,所述扫频信号包括多个不同频率的调制信号;
根据所述扫频信号控制所述激光器扫描受检目标,得到光声光谱***的所述输出幅值和所述输出相位。
3.根据权利要求2所述的光声光谱相位锁定方法,其特征在于,所述获取扫频信号包括:
获取多个参考信号,所述多个参考信号对应的频率范围包括所述光声光谱***的谐振频率;
对所述多个参考信号进行频率调制,得到所述扫频信号。
4.根据权利要求1所述的光声光谱相位锁定方法,其特征在于,所述根据所述参考相位调节所述光声光谱***中激光器的扫描参数包括:
获取上一预设周期的激光调制信号对应的所述输出相位;
根据上一预设周期的所述输出相位、所述参考相位和离散PID控制算法对上一预设周期的所述激光调制信号进行调整,得到当前预设周期的目标调制信号;
根据所述目标调制信号调节所述光声光谱***中所述激光器的扫描参数。
5.一种光声光谱相位锁定装置,其特征在于,包括:
获取模块,用于获取光声光谱***的输出幅值与输出相位之间的映射关系;
处理模块,用于根据所述映射关系确定所述光声光谱***的参考相位;
锁相模块,用于根据所述参考相位调节所述光声光谱***中激光器的扫描参数,使所述光声光谱***每一预设周期输出的输出相位与所述参考相位相等;
所述处理模块,还用于根据所述输出幅值确定谐振峰值;根据所述映射关系将所述谐振峰值对应的所述输出相位作为参考相位。
6.一种光声光谱***,其特征在于,包括:第一控制设备、检测设备以及第二控制设备;其中,所述第一控制设备分别和所述检测设备以及所述第二控制设备连接;
所述第一控制设备,用于配置所述检测设备的扫描参数;
所述检测设备,用于根据所述扫描参数对受检目标发射激光,生成待测信号;
所述第二控制设备用于执行权利要求1至权利要求4中任一项所述的光声光谱相位锁定方法。
7.根据权利要求6所述的光声光谱***,其特征在于,所述检测设备包括激光器、光声池和声学传感器,所述激光器分别与所述第一控制设备和所述光声池连接,所述光声池与所述声学传感器连接,所述声学传感器与所述第二控制设备连接;
所述激光器,用于根据所述扫描参数向所述光声池发射激光;
所述光声池,用于容纳待测气体,使所述待测气体在激光照射下生成声波信号;
所述声学传感器,用于接收并增强所述声波信号,根据增强的所述声波信号生成电信号或数字信号并发送至所述第二控制设备。
8.根据权利要求7所述的光声光谱***,其特征在于,所述光声池和/或所述声学传感器处于谐振状态。
9.根据权利要求7所述的光声光谱***,其特征在于,所述第一控制设备包括信号发生器和激光器控制器,所述第二控制设备包括锁相放大器和闭环控制器,所述信号发生器分别与所述闭环控制器以及激光器控制器连接,所述激光器控制器与所述激光器连接;所述锁相放大器分别与所述声学传感器以及闭环控制器连接;
所述信号发生器,用于生成调制信号并发送至所述激光器控制器;
所述激光器控制器,用于根据所述调制信号为所述激光器配置扫描参数;
所述锁相放大器,用于根据参考信号和所述待测信号生成输出幅值和输出相位;
所述闭环控制器,用于根据所述输出幅值和所述输出相位确定参考相位,根据所述参考相位生成主控信号并发送至所述信号发生器,使所述信号发生器根据所述主控信号调节所述光声光谱***中激光器的扫描参数,使所述光声光谱***当前预设周期的输出相位与所述参考相位相等。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211463444.XA CN115615928B (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 光声光谱相位锁定方法、装置和*** |
PCT/CN2023/090960 WO2024103638A1 (zh) | 2022-11-17 | 2023-04-26 | 光声光谱相位锁定方法、装置和*** |
US18/225,694 US20240167940A1 (en) | 2022-11-17 | 2023-07-25 | Photoacoustic spectrum phase locking method, apparatus, and system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211463444.XA CN115615928B (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 光声光谱相位锁定方法、装置和*** |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115615928A CN115615928A (zh) | 2023-01-17 |
CN115615928B true CN115615928B (zh) | 2023-03-14 |
Family
ID=84879031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202211463444.XA Active CN115615928B (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 光声光谱相位锁定方法、装置和*** |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN115615928B (zh) |
WO (1) | WO2024103638A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115615928B (zh) * | 2022-11-17 | 2023-03-14 | 之江实验室 | 光声光谱相位锁定方法、装置和*** |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0690181B2 (ja) * | 1986-05-20 | 1994-11-14 | 東ソー株式会社 | 開放型セルを有する光音響測定装置 |
US6608683B1 (en) * | 2000-02-10 | 2003-08-19 | Southwest Sciences Incorporated | Acoustic resonance phase locked photoacoustic spectrometer |
US6618148B1 (en) * | 2000-02-10 | 2003-09-09 | Southwest Sciences Incorporated | Acoustic resonance frequency locked photoacoustic spectrometer |
US6972553B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-12-06 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Sensor readout circuit |
US6975402B2 (en) * | 2002-11-19 | 2005-12-13 | Sandia National Laboratories | Tunable light source for use in photoacoustic spectrometers |
US8120778B2 (en) * | 2009-03-06 | 2012-02-21 | Imra America, Inc. | Optical scanning and imaging systems based on dual pulsed laser systems |
CN100559146C (zh) * | 2006-11-08 | 2009-11-11 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种同时确定高反射腔镜和测试镜反射率的方法 |
US7518779B2 (en) * | 2007-04-06 | 2009-04-14 | Harris Corporation | Acousto-optic devices having extended temperature reliability |
CN101814694B (zh) * | 2010-04-28 | 2011-07-20 | 天津奇谱光电技术有限公司 | 可调谐激光器 |
CN102721645B (zh) * | 2012-06-27 | 2014-09-17 | 国网山东省电力公司电力科学研究院 | 便携式sf6气体分解物光声光谱检测装置及检测方法 |
CN104316466A (zh) * | 2014-11-05 | 2015-01-28 | 山东大学 | 能对石英音叉谐振频率实时校正的光声光谱气体检测装置 |
CN107238575B (zh) * | 2017-06-08 | 2019-12-20 | 深圳大学 | 一种基于完美涡旋光激发spr的光声显微*** |
CN207992043U (zh) * | 2018-04-02 | 2018-10-19 | 南京诺威尔光电***有限公司 | 一种光声光谱检测*** |
CN111504911A (zh) * | 2020-04-28 | 2020-08-07 | 武汉豪迈光电科技有限公司 | 一种基于稳频激光光声光谱的气体检测***及方法 |
CN112461766A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-03-09 | 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 | 一种抗环境噪音干扰的光纤光声传感探头及传感*** |
CN112504966B (zh) * | 2020-12-09 | 2024-04-12 | 之江实验室 | 一种用于光声光谱检测的硅音叉传声器 |
CN114136921A (zh) * | 2021-06-23 | 2022-03-04 | 华东师范大学重庆研究院 | 一种基于声光移频锁频技术的激光光声光谱气体检测装置及方法 |
CN115096847A (zh) * | 2022-08-26 | 2022-09-23 | 武汉格蓝若智能技术有限公司 | 一种单腔式多组分光声光谱气体检测装置和方法 |
CN115615928B (zh) * | 2022-11-17 | 2023-03-14 | 之江实验室 | 光声光谱相位锁定方法、装置和*** |
-
2022
- 2022-11-17 CN CN202211463444.XA patent/CN115615928B/zh active Active
-
2023
- 2023-04-26 WO PCT/CN2023/090960 patent/WO2024103638A1/zh unknown
Non-Patent Citations (5)
Title |
---|
Yonggang Yin 等.Cantilever-enhanced photoacoustic spectroscopy for gas sensing: A comparison of different displacement detection methods.2022,(第undefined期),第1-11页. * |
Yu Zhang等.Temperature-compensated calibration for quartz-enhanced photoacoustic spectroscopy by thermoelastic effects.2021,(第undefined期),第1-4页. * |
余荣等.一种可同时实现振幅谱与相位谱测量的光声光谱***.2014,第第34卷卷(第第34卷期),第1-7页. * |
孙柳雅等.基于光声光谱技术的 NO2 探测.2022,第1-15页. * |
王强等.基于石英音叉探测器的双光谱气体检测技术.2022,第1-12页. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN115615928A (zh) | 2023-01-17 |
WO2024103638A1 (zh) | 2024-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104655588B (zh) | 基于可调谐激光吸收光谱的频率锁定装置及其锁定方法 | |
CN101506645B (zh) | 具有改进反馈回路的腔增强型光声痕量气体探测器 | |
Dong et al. | Ultra-sensitive carbon monoxide detection by using EC-QCL based quartz-enhanced photoacoustic spectroscopy | |
US6618148B1 (en) | Acoustic resonance frequency locked photoacoustic spectrometer | |
CN102768197B (zh) | 用于以减小的压力相关性检测气体浓度的方法和设备 | |
CN115615928B (zh) | 光声光谱相位锁定方法、装置和*** | |
US9110006B1 (en) | Frequency-feedback cavity enhanced spectrometer | |
US20090249861A1 (en) | Stable photo acoustic trace gas detector with optical power enhancement cavity | |
JP2010502943A (ja) | 可変光強度変調器をもつ光空洞により増強された光音響式微量気体検出器 | |
Kachanov et al. | Cavity-enhanced optical feedback-assisted photo-acoustic spectroscopy with a 10.4 μm external cavity quantum cascade laser | |
US7248611B2 (en) | Frequency scanning pulsed laser having synchronously set subthreshold current | |
WO2020238386A1 (zh) | 一种痕量气体的探测方法及探测装置 | |
CN110987870A (zh) | 基于波长调制光谱技术的实时监测气体浓度的***和方法 | |
JP4976924B2 (ja) | 光式ガス検知方法及び光式ガス検知装置 | |
JP2018502289A (ja) | 分光装置および分光方法 | |
CN110261328A (zh) | 校准激光波长的方法及装置、气体浓度分析仪 | |
Li et al. | Weak photoacoustic signal detection based on the differential duffing oscillator | |
CN114136921A (zh) | 一种基于声光移频锁频技术的激光光声光谱气体检测装置及方法 | |
Yuan et al. | Development of an in situ analysis system for methane dissolved in seawater based on cavity ringdown spectroscopy | |
CN104792705A (zh) | 用于光声光谱测量的激光功率波动监测和补偿装置及方法 | |
JP2682546B2 (ja) | ガスの分析および濃度測定方法 | |
US20240167940A1 (en) | Photoacoustic spectrum phase locking method, apparatus, and system | |
JP2011153980A (ja) | ガス濃度計測装置および方法 | |
CN113686815B (zh) | 调制深度控制方法、装置、设备及存储介质 | |
CN211505210U (zh) | 基于波长调制光谱技术的实时监测气体浓度的*** |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |