CN115430647A - 圆筒机构及甩干机 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及湿法清洗技术领域,尤其是涉及一种圆筒机构及甩干机,包括:圆筒主体,圆筒主体包括在圆筒主体的轴向上的第一端部;第一盖构件,可拆卸地盖设于第一端部;第一密封件的至少部分被夹设于第一盖构件和第一端部之间,以密封第一盖构件和第一端部之间的间隙;第二盖构件,第二盖构件可拆卸地盖设于第一盖构件的背对第一端部的侧部;第二密封件的至少部分被夹设于第一盖构件和第二盖构件之间,相对于现有技术,降低了加工难度并且规避了存在难于焊接的部位的情况,避免了隐性渗漏现象的出现,尤其是避免了圆筒腔内多处组件间的密封焊接处因材质及焊接工艺等因素而出现的颗粒杂质的析出现象的出现,因此能够满足圆筒腔内对洁净度的要求。
Description
技术领域
本申请涉及湿法清洗技术领域,尤其是涉及一种圆筒机构及甩干机。
背景技术
现有甩干机,例如卧式甩干机,其中所配置的用于片盒晶圆冲洗、干燥、消除静电的圆筒腔结构及其上观测窗结构中,圆筒腔的成型是将各组件经较为复杂的焊接工艺加工而成,其中,各组件主要涉及到钣金、锻造、薄壁加工工艺,加工工序流程复杂、加工难度大且存在难于焊接的部位,极易造成隐性渗漏现象,尤其圆筒腔内多处组件间的密封焊接处因材质及焊接工艺等因素易出现颗粒杂质的析出现象,直接影响到圆筒腔内对洁净度的要求。
发明内容
有鉴于此,本申请提供一种圆筒机构及甩干机,目的在于,一定程度上解决以上技术问题。
本申请的第一方面提供一种圆筒机构,所述圆筒机构用于甩干机,所述圆筒机构包括:
圆筒主体,所述圆筒主体包括在所述圆筒主体的轴向上的第一端部;
第一盖构件,可拆卸地盖设于所述第一端部;
第一密封件,所述第一密封件的至少部分被夹设于所述第一盖构件和所述第一端部之间,以密封所述第一盖构件和所述第一端部之间的间隙;
第二盖构件,所述第二盖构件可拆卸地盖设于所述第一盖构件的背对所述第一端部的侧部;
第二密封件,所述第二密封件的至少部分被夹设于所述第一盖构件和所述第二盖构件之间,以密封所述第一盖构件和所述第二盖构件之间的间隙。
优选地,所述圆筒机构还包括排水构件,所述圆筒主体包括孔部,所述孔部设置于所述圆筒主体的侧部的靠近所述第一端部的一侧,所述排水构件与所述孔部可拆卸地连接。
优选地,所述圆筒主体还包括在所述圆筒主体的轴向上的第二端部,所述第一端部与所述第二端部彼此相对,所述第二端部包括依次相接的环形表面和外圆柱表面,以形成阶梯部,
所述圆筒机构还包括与所述圆筒主体连接的第二支架,所述第二支架包括安装孔,所述第二支架抵接于所述环形表面,所述安装孔套设于所述外圆柱表面,所述第二支架与所述第二端部的端面平齐。
优选地,所述圆筒主体还包括视窗组件,所述视窗组件铰接于所述第二支架,以封闭以及开启所述圆筒主体的所述第二端部侧的开口,
所述视窗组件包括视窗主体和第三密封件,所述第三密封件被夹设于所述视窗主体和所述第二端部之间,以在所述视窗组件封闭所述圆筒主体的所述第二端部侧的开口时密封所述开口。
优选地,所述第三密封件包括密封圈,所述密封圈的部分嵌入到所述视窗主体内,所述第二端部包括圆弧面,所述圆弧面开设于所述第二端部的端面与所述圆筒主体的内表面的交界处,并用于与所述密封圈抵接。
优选地,所述视窗主体包括壳体和视窗构件,所述壳体包括彼此连通的通孔和容纳部,所述视窗构件包括嵌入到所述容纳部当中的安装部和相对于所述安装部向着背对所述壳体的方向凸出的凸出部,所述凸出部与所述安装部的连接处设置有用于嵌入所述密封圈的槽部。
优选地,所述壳体和所述视窗构件分别包括位置对应的第一腰型孔和第二腰型孔,所述壳体还包括环形槽,所述第一腰型孔延伸穿过所述环形槽,以使得所述第一腰型孔的两端均位于所述环形槽的外部,
所述圆筒机构还包括手柄组件、检测传感器和锁块,所述锁块设置于所述第二支架,所述手柄组件可旋转地与所述锁块连接,所述手柄组件具有与所述第一腰型孔的形状相同的形状,所述手柄组件包括弹性部,所述弹性部被设置为在所述手柄组件旋转时能够在所述环形槽内滑动,以迫紧所述视窗主体,以及所述弹性部还被设置为能够悬设于第一腰型孔内;
所述检测传感器与所述锁块连接,用于检测所述视窗组件的距离,以感应所述视窗组件的开合状态。
优选地,所述圆筒机构还包括第一支架,所述第一支架设置于所述第二盖构件的背对所述第一盖构件的侧部,
所述第一支架和所述第二支架二者被设置为使得所述圆筒主体自所述第二端部向所述第一端部倾斜,
所述圆筒机构还包括底座,所述第一支架和所述第二支架均设置于底座。
优选地,所述第一密封件包括密封圈,所述第二密封件包括盘型护罩,
所述圆筒主体包括设置于所述圆筒主体内侧的锥形面,所述锥形面的中部向所述圆筒主体的内壁凹入,所述孔部贯穿所述锥形面,所述圆筒主体由圆管一体成型制得。
第二方面,本申请提供一种甩干机,所述甩干机包括如上所述的圆筒机构。
根据本申请提供的圆筒机构,在不采用焊接工艺的情况下,分别利用第一密封构件和第二密封构件来确保圆筒机构的密封性能,而使得第一盖构件和第二盖构件均是可拆卸的,相对于现有技术而言,降低了加工难度并且规避了存在难于焊接的部位的情况,避免了隐性渗漏现象的出现,尤其是避免了圆筒腔内多处组件间的密封焊接处因材质及焊接工艺等因素而出现的颗粒杂质的析出现象的出现,因此能够满足圆筒腔内对洁净度的要求。
为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的前视轴测图的示意图;
图2示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的后视轴测图的示意图;
图3示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的观察窗单元打开状态的示意图;
图4示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的观察窗单元闭合时上端剖视图的示意图;
图5示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的观察窗单元闭合时下端剖视图的示意图;
图6示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒腔单元的前视轴测图的示意图;
图7示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒腔单元的后视轴测图的示意图;
图8示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒腔单元的右视剖视图的示意图;
图9示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒腔单元后部上端剖视图的示意图;
图10示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒腔单元后部下端剖视图的示意图;
图11示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒主体的前视轴测图的示意图;
图12示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒主体的后视轴测图的示意图;
图13示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒主体的前部上端剖视图的示意图;
图14示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒主体的后部下端剖视图的示意图;
图15示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的圆筒主体的前视下部剖视图的示意图;
图16示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的观察窗单元前视轴测图的示意图;
图17示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的观察窗单元后视轴测图的示意图;
图18示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的观察窗单元右视局部剖视图的示意图;
图19示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的视窗衬板的部分结构的示意图;
图20示出了根据本申请实施例提供圆筒机构的视窗衬板的轴测图的示意图;
图21示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的视窗的轴测图的示意图;
图22示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的视窗的右视局部剖视图的示意图;
图23示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的锁紧手柄单元的轴测图的示意图;
图24示出了根据本申请实施例提供的圆筒机构的锁紧手柄单元的手柄的示意图。
附图标记:
1-底板;
2-圆筒腔单元;21-圆筒主体;211-圆弧面;212-外圆柱表面;213-半球面;214-螺孔;215-锥形面;23-前支架;24-门轴;25-门轴座;26-第一O型圈;27-后盖;28-盘型护罩;29-压盖;210-排水接头;
3-观测窗单元;31-视窗衬板;311-第一长槽孔;312-第一环形槽;313-门轴销孔;32-视窗构件;321-第二长槽孔;322-第二环形槽;33-第二O型圈;
4-锁紧手柄单元;41-手柄;411-把头;412-定位螺孔;42-弹性柱塞;43-锁块;44-检测传感器。
具体实施方式
下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本申请要求的保护范围之内。
根据本申请实施例的第一方面提供一种圆筒机构,圆筒机构包括底板1、圆筒腔单元2、观测窗单元3和锁紧手柄单元4,以下将结合图1至图24具体描述这些单元的结构和工作原理。
需要在先说明的是,为了便于描述,以下定义圆筒腔单元2,圆筒腔单元2包括圆筒主体21、前支架23、门轴24、门轴座25、第一O型圈26、后盖27、盘型护罩28、压盖29以及排水接头210;定义观测窗单元3,观测窗单元3包括视窗衬板31、视窗构件32以及第二O型圈33;定义锁紧手柄单元4,锁紧手柄单元4包括手柄41、把头411、锁块43以及检测传感器44。
在实施例中,圆筒机构用于甩干机,例如卧式甩干机,圆筒机构包括圆筒主体21、第一盖构件、第一密封件、第二盖构件以及第二密封件,圆筒主体21包括在圆筒主体21的轴向上的第一端部,这里,作为示例,第一端部可以为圆筒主体21的后端;第一盖构件可拆卸地盖设于第一端部,第一密封件的至少部分被夹设于第一盖构件和第一端部之间,以密封第一盖构件和第一端部之间的间隙;第二盖构件可拆卸地盖设于第一盖构件的背对第一端部的侧部,第二密封件的至少部分被夹设于第一盖构件和第二盖构件之间,以密封第一盖构件和第二盖构件之间的间隙。
也就是说,在第一端部为圆筒主体21的后端的示例中,第一盖构件可拆卸地盖设于第一端部,第一盖构件和第一端部之间夹设有第一密封件的至少部分,第二盖构件盖设于第一盖构件的后部,第二盖构件和第一盖构件之间夹设有第二密封件的至少部分。这样,根据本申请实施例提供的圆筒机构,在不采用焊接工艺的情况下,分别利用第一密封构件和第二密封构件来确保圆筒机构的密封性能,而使得第一盖构件和第二盖构件均是可拆卸的,相对于现有技术而言,降低了加工难度并且规避了存在难于焊接的部位的情况,避免了隐性渗漏现象的出现,尤其是避免了圆筒腔内多处组件间的密封焊接处因材质及焊接工艺等因素而出现的颗粒杂质的析出现象的出现,因此能够满足圆筒腔内对洁净度的要求。
这里结合图8和图9,并尤其参见图9,图9中示出了以上所提及的配合的一示例。在实施例中,第一盖构件和第二盖构件二者所采用的可拆卸连接均可以为螺钉连接,例如第一盖构件上设置有沉头孔,圆筒主体21的后端的端面上设置有内螺纹孔,在第一盖构件盖设于圆筒主体21的后端后,利用螺钉依次贯穿沉头孔和内螺纹孔来将第一盖构件和圆筒主体21连接,而在这一过程中,也将第一盖构件和圆筒主体21的后端的端面之间的第一密封构件夹紧。类似地,第二盖构件与第一盖构件的连接方式也是如此,即在第二盖构件上开设沉头孔,而在第一盖构件上开设内螺纹孔,以螺钉按照前面所提到的方式进行连接。需要说明的是,虽然沉头孔和内螺纹孔未进行标注,但二者均已经在图9中示出。
在实施例中,第一密封构件可以为第一O型圈26,例如可以在图14观察到圆筒主体21的后端部的端面上设置的半球面213,这一半球面213可以绕着圆筒主体21的轴线延伸一周而形成用于容纳第一O型圈26的环形的槽。作为示例,第一盖构件可以为圆形的后盖27,该后盖27也可以形成有前面提到的用于容纳第一O型圈26的槽。
在实施例中,第二密封构件可以为盘型护罩28,仍然参见图9,盘型护罩28可以呈盘状,其外缘具有弹性,由第二盖构件与第一盖构件共同夹紧,作为示例,第二盖构件可以为压盖29,其安装方式在以上的描述中已经提及,在此不再赘述。
在实施例中,圆筒机构的圆筒腔单元2还可以包括排水接头210,作为示例,参见图8和图10,并尤其参见图10,排水接头210可以呈直角状,其上端可以用于与圆筒主体21连接。在实施例中,圆筒主体21可以包括孔部,孔部可以设置于圆筒主体21的侧部的靠近第一端部及后端的一侧,也就是圆筒主体21的后侧,排水接头210可以与孔部可拆卸地连接,作为示例,孔部可以具有内螺纹,即形成为螺孔214,排水接头210的上端可以具有外螺纹,将排水接头210的上端旋拧至孔部以安装排水接头210。由于不再像现有技术中采用排水接头210焊接于圆筒主体21的方式,避免了焊接所可能导致隐形渗漏,确保了圆筒机构的洁净度要求。
此外,参见图11、12和15,在实施例中,圆筒主体21还可以包括设置于圆筒主体21内侧的锥形面215,锥形面215的中部可以向圆筒主体21的内壁凹入,从而将水向圆筒主体21的最底部引导,孔部可以贯穿锥形面215,从而水被锥形面215引导到孔内并经由排水接头210排出。
此外,在实施例中,圆筒主体21可以由圆管一体成型制得,这样,省去了拼接和焊接圆筒主体21的过程中,进一步防止了焊接的隐性渗漏的情况出现,同样有利于确保圆筒机构内的洁净度。
在实施例中,如图13所示,圆筒主体21还可以包括在圆筒主体21的轴向上的第二端部,第一端部与第二端部可以彼此相对,也就是说,第一端部可以为圆筒主体21的前部,前部可以包括依次相接的环形表面和外圆柱表面212(环形表面未做标注),以形成阶梯部,圆筒机构还可以包括与圆筒主体21连接的第二支架,第二支架可以包括安装孔,第二支架可以抵接于环形表面,安装孔套设于外圆柱表面212,第二支架与第二端部的端面平齐,如此,可以将第二支架同心地(即安装孔与圆筒主体21同心地连接)与第二支架连接,作为示例,第二支架可以为前支架23。
在实施例中,圆筒机构的还包括视窗组件,视窗组件可以为观测窗单元3,其可以铰接于第二支架,以封闭以及开启圆筒主体21的第二端部侧的开口,视窗组件可以包括视窗主体和第三密封件,第三密封件可以被夹设于视窗主体和第二端部之间,以在视窗组件封闭圆筒主体21的第二端部侧的开口时密封开口。
在实施例中,第三密封件可以包括密封圈,这里的密封圈为第二O型圈33,第二O型圈33的部分可以嵌入到视窗主体内,第二端部可以包括圆弧面211,容纳槽可以开设于第二端部的端面与圆筒主体21的内表面的交界处,圆弧面211用于与第二O型圈33抵接,以增加其密封性能。
在现有技术中,现有圆筒腔上铰接的观测窗结构多为视窗上套入Ω型气囊,当观测窗关闭后,Ω型气囊被充气并与圆筒腔入口端贴合挤压形成封闭状态,一个工作流程结束后,按指令Ω型气囊充气停止,才能手动打开观测窗,其中Ω型气囊为压塑成型件,因模具制作及材质选用受到一些因素制约,制作出的成品在使用中易出现裂纹或膨胀不到位等缺陷,造成观测窗封闭不严而带来安全隐患,或因气体泄漏而使圆筒腔内的使用环境受到污染,视窗上套入Ω型气囊部位的轮廓特征也很复杂,造成加工后该部位的强度降低,同时在受到圆筒腔内热气压冲击中易产生形变,直接影响到Ω型气囊膨胀效果且又加剧其受损程度,另外对Ω型气囊供气需经过多种相关零件的内通道来传递,增加了相关零部件结构的复杂性及洁净度要求。而采用如上的第二O型圈33后,该方式无需气源供给,进而简化了供气通道所涉及的相关零部件结构难度及所需高的洁净度要求。
在实施例中,视窗主体可以包括壳体和视窗构件32,壳体可以包括彼此连通的通孔和容纳部,视窗构件32可以包括嵌入到容纳部当中的安装部和相对于安装部向着背对壳体的方向凸出的凸出部,凸出部与安装部的连接处可以设置有用于嵌入密封圈的槽部。进一步地,参见图18,在实施例中,作为示例,壳体可以为视窗衬板31。
在实施例中,参见图19至图21,壳体和视窗构件32可以分别包括位置对应的第一腰型孔和第二腰型孔即第一长槽孔311和第二长槽孔321,视窗衬板31的前部还包括第一环形槽312,第一长槽孔311可以沿着竖直方向延伸穿过第一环形槽312,以使得第一腰型孔的两端均位于第一环形槽312的外部。此外,视窗构件32的后部还可以设置有用于容纳第二O型圈33的第二环形槽322。另外,视窗衬板31上还可以设置有门轴销孔313,用于与安装于前支架23上的门轴24配合以形成铰接。
圆筒机构还包括锁紧手柄单元4,锁紧手柄单元4可以包括手柄41组件、检测传感器44和锁块43,锁块43可以设置于第二支架,手柄41组件可以可旋转地与锁块43连接,手柄41组件具有与第一腰型孔的形状相同的形状,手柄41组件包括弹性部,弹性部被设置为在手柄41组件旋转时能够在环形槽内滑动,以迫紧视窗主体,以及弹性部还被设置为能够悬设于第一腰型孔内。弹性部可以例如为弹性柱塞42,其可以由手柄41组件中的手柄41上的定位螺孔412通过安装螺钉来进行定位。在实施例中,检测传感器44设置于锁块43,其用于检测观测窗单元3的距离以检测观测窗单元3是否为密封圆筒主体21的前开口的状态。
此外,在实施例中,圆筒机构的圆筒腔单元2还可以包括第一支架即后支架,第一支架设置于第二盖构件的背对第一盖构件的侧部,第一支架和第二支架二者被设置为使得圆筒主体21自第二端部向第一端部倾斜,圆筒机构还包括底座,第一支架和第二支架均设置于底座。这种安装方式避免了现有技术中对圆筒腔的支撑多采用下托式前后支架承载方式,使得圆筒腔呈仰角定位时安装调整环节极不方便的情况出现。
总的来说,底板1,固定于底板1上的圆筒腔单元2,呈铰接方式紧固于圆筒腔单元2上的观测窗单元3,与圆筒腔单元2、观测窗单元3均有交合的锁紧手柄单元4;
圆筒腔单元2:圆筒主体21(即工作腔),与圆筒主体21呈同轴心焊接一体的前支架23,与前支架23固定连接的成对门轴座25,分别与门轴座25呈螺纹方式紧固的门轴24,后盖27与圆筒主体21通过第一O型圈26实现密封紧固,压盖29与后盖27通过盘型护罩28实现密封紧固,排水接头210呈螺纹方式与圆筒主体21密封紧固。其中,圆筒主体21有5个特征点:与观测窗单元3中第二O型圈33相贴合的圆弧面211,与前支架23定位焊接的外圆柱表面212,与第一O型圈26相贴合的半球面213,与排水接头210呈螺纹方式密封紧固的螺孔214,利于排水的锥形面215。
观测窗单元3:视窗衬板31,嵌入固定于视窗衬板31的视窗构件32,套合于视窗构件32上的第二O型圈33;其中,视窗衬板31有3个特征点:第一长槽孔311,第一环形槽312,门轴销孔313;视窗构件32有2个特征点:第二长槽孔321,第二环形槽322;第二长槽孔321与第一长槽孔311位置对应一致;视窗构件32中第二环形槽322为第二O型圈33套入其上的环形圆弧槽,使其结构简化且结构强度增强;将观测窗单元3贴合至门轴座25,分别旋入门轴24,使观测窗单元3与圆筒腔单元2铰接一体并可自由转动。
锁紧手柄单元4:手柄41,与手柄41呈螺纹方式旋入并定位紧固的弹性柱塞42,与前支架23定位紧固的锁块43,与锁块43呈螺纹方式旋入并定位锁定的检测传感器44。其中,手柄41有2个特征点:手柄把头411,锁定弹性柱塞42的定位螺孔412;弹性柱塞42球头部紧贴视窗衬板31上的第一环形槽312结合面上;当手柄把头411呈垂直状时,观测窗单元3相对圆筒腔单元2方能打开或抵近贴合。
手动方式将打开的观测窗单元3与圆筒腔单元2转至预贴合时,顺时针旋紧手柄41,使观测窗单元3中第二O型圈33与圆筒主体21中圆弧面211挤压贴实,同时弹性柱塞42起到对手柄41的防松作用;当观测窗单元3需打开时,逆时针旋松手柄41,旋转至手柄把头411与观测窗单元3中第一长槽孔311、第二长槽孔321对正时,观测窗单元3可自动弹出手柄把头411的制约,再手动方式就可将观测窗单元3彻底打开,检测传感器44与视窗衬板31呈微距感应方式检测观测窗单元3相对铰接于圆筒腔单元2的开合状态。
根据本实施例提供的圆筒机构,可有效克服及消除工作腔内产生的颗粒杂质及渗漏现象,且便于精确快捷安装;与圆筒腔结构铰接的观测窗结构,整体抗形变能力得以提升,观测窗与圆筒腔闭合时密封可靠度的提高使得工作腔内对洁净度的高要求也得到有效保证,同时相关零部件结构也得以简化且无需气源供给。圆筒腔结构为片盒晶圆进行冲洗、干燥、消除静电的工艺环节提供了一种稳定的洁净环境,观测窗结构提高了工作腔使用中的安全性及可靠的密封效果,由此提升了设备的使用性能,同时增强了用户的满意度。
根据本申请实施例的第二方面提供一种甩干机,甩干机包括如上的圆筒机构,也包括如上有益效果,在此不再赘述。
以上仅为本申请的优选实施例,并非因此限制本申请的保护范围,凡是在本申请的创新构思下,利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本申请的保护范围内。
Claims (10)
1.一种圆筒机构,其特征在于,所述圆筒机构用于甩干机,所述圆筒机构包括:
圆筒主体,所述圆筒主体包括在所述圆筒主体的轴向上的第一端部;
第一盖构件,可拆卸地盖设于所述第一端部;
第一密封件,所述第一密封件的至少部分被夹设于所述第一盖构件和所述第一端部之间,以密封所述第一盖构件和所述第一端部之间的间隙;
第二盖构件,所述第二盖构件可拆卸地盖设于所述第一盖构件的背对所述第一端部的侧部;
第二密封件,所述第二密封件的至少部分被夹设于所述第一盖构件和所述第二盖构件之间,以密封所述第一盖构件和所述第二盖构件之间的间隙。
2.根据权利要求1所述的圆筒机构,其特征在于,
所述圆筒机构还包括排水构件,所述圆筒主体包括孔部,所述孔部设置于所述圆筒主体的侧部的靠近所述第一端部的一侧,所述排水构件与所述孔部可拆卸地连接。
3.根据权利要求1所述的圆筒机构,其特征在于,
所述圆筒主体还包括在所述圆筒主体的轴向上的第二端部,所述第一端部与所述第二端部彼此相对,所述第二端部包括依次相接的环形表面和外圆柱表面,以形成阶梯部,
所述圆筒机构还包括与所述圆筒主体连接的第二支架,所述第二支架包括安装孔,所述第二支架抵接于所述环形表面,所述安装孔套设于所述外圆柱表面,所述第二支架与所述第二端部的端面平齐。
4.根据权利要求3所述的圆筒机构,其特征在于,
所述圆筒主体还包括视窗组件,所述视窗组件铰接于所述第二支架,以封闭以及开启所述圆筒主体的所述第二端部侧的开口,
所述视窗组件包括视窗主体和第三密封件,所述第三密封件被夹设于所述视窗主体和所述第二端部之间,以在所述视窗组件封闭所述圆筒主体的所述第二端部侧的开口时密封所述开口。
5.根据权利要求4所述的圆筒机构,其特征在于,
所述第三密封件包括密封圈,所述密封圈的部分嵌入到所述视窗主体内,所述第二端部包括圆弧面,所述圆弧面开设于所述第二端部的端面与所述圆筒主体的内表面的交界处,并用于与所述密封圈抵接。
6.根据权利要求5所述的圆筒机构,其特征在于,
所述视窗主体包括壳体和视窗构件,所述壳体包括彼此连通的通孔和容纳部,所述视窗构件包括嵌入到所述容纳部当中的安装部和相对于所述安装部向着背对所述壳体的方向凸出的凸出部,所述凸出部与所述安装部的连接处设置有用于嵌入所述密封圈的槽部。
7.根据权利要求6所述的圆筒机构,其特征在于,
所述壳体和所述视窗构件分别包括位置对应的第一腰型孔和第二腰型孔,所述壳体还包括环形槽,所述第一腰型孔延伸穿过所述环形槽,以使得所述第一腰型孔的两端均位于所述环形槽的外部,
所述圆筒机构还包括手柄组件、检测传感器和锁块,所述锁块设置于所述第二支架,所述手柄组件可旋转地与所述锁块连接,所述手柄组件具有与所述第一腰型孔的形状相同的形状,所述手柄组件包括弹性部,所述弹性部被设置为在所述手柄组件旋转时能够在所述环形槽内滑动,以迫紧所述视窗主体,以及所述弹性部还被设置为能够悬设于第一腰型孔内;
所述检测传感器与所述锁块连接,用于检测所述视窗组件的距离,以感应所述视窗组件的开合状态。
8.根据权利要求3所述的圆筒机构,其特征在于,
所述圆筒机构还包括第一支架,所述第一支架设置于所述第二盖构件的背对所述第一盖构件的侧部,
所述第一支架和所述第二支架二者被设置为使得所述圆筒主体自所述第二端部向所述第一端部倾斜,
所述圆筒机构还包括底座,所述第一支架和所述第二支架均设置于底座。
9.根据权利要求2所述的圆筒机构,其特征在于,
所述第一密封件包括密封圈,所述第二密封件包括盘型护罩,
所述圆筒主体包括设置于所述圆筒主体内侧的锥形面,所述锥形面的中部向所述圆筒主体的内壁凹入,所述孔部贯穿所述锥形面,所述圆筒主体由圆管一体成型制得。
10.一种甩干机,其特征在于,所述甩干机包括如权利要求1至9中任一项所述的圆筒机构。
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Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001311469A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Fuji Heavy Ind Ltd | シール構造 |
CN2725676Y (zh) * | 2004-08-16 | 2005-09-14 | 程路 | 无填料调节阀阀杆密封 |
CN102564170A (zh) * | 2012-02-29 | 2012-07-11 | 茂名重力石化机械制造有限公司 | 一种列管式换热器 |
CN103557738A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-02-05 | 茂名重力石化机械制造有限公司 | 一种列管式换热器管箱的密封结构 |
CN103806252A (zh) * | 2012-11-07 | 2014-05-21 | 海尔集团公司 | 滚筒洗衣机 |
CN109099246A (zh) * | 2018-09-30 | 2018-12-28 | 上海松芝酷能汽车技术有限公司 | 一种快速接头 |
CN109838683A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-06-04 | 成都蓉渝电子技术有限公司 | 一种便于生产的新型储气罐 |
CN209262253U (zh) * | 2018-08-29 | 2019-08-16 | 无锡泉一科技有限公司 | 一种晶圆甩干机的转轴密封结构 |
CN211092267U (zh) * | 2019-11-11 | 2020-07-28 | 东莞金銮五金制品有限公司 | 包锁扣 |
CN213459799U (zh) * | 2020-09-30 | 2021-06-15 | 无锡罡正科技有限公司 | 一种300ml氢燃料电池浆料分散器 |
CN217179057U (zh) * | 2021-06-22 | 2022-08-12 | 上海科石科技发展有限公司 | 微波干燥设备及微波干燥车 |
CN217275357U (zh) * | 2022-04-26 | 2022-08-23 | 广东长信精密设备有限公司 | 一种甩干装置及晶圆甩干机 |
-
2022
- 2022-09-26 CN CN202211177026.4A patent/CN115430647A/zh active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001311469A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Fuji Heavy Ind Ltd | シール構造 |
CN2725676Y (zh) * | 2004-08-16 | 2005-09-14 | 程路 | 无填料调节阀阀杆密封 |
CN102564170A (zh) * | 2012-02-29 | 2012-07-11 | 茂名重力石化机械制造有限公司 | 一种列管式换热器 |
CN103806252A (zh) * | 2012-11-07 | 2014-05-21 | 海尔集团公司 | 滚筒洗衣机 |
CN103557738A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-02-05 | 茂名重力石化机械制造有限公司 | 一种列管式换热器管箱的密封结构 |
CN209262253U (zh) * | 2018-08-29 | 2019-08-16 | 无锡泉一科技有限公司 | 一种晶圆甩干机的转轴密封结构 |
CN109099246A (zh) * | 2018-09-30 | 2018-12-28 | 上海松芝酷能汽车技术有限公司 | 一种快速接头 |
CN109838683A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-06-04 | 成都蓉渝电子技术有限公司 | 一种便于生产的新型储气罐 |
CN211092267U (zh) * | 2019-11-11 | 2020-07-28 | 东莞金銮五金制品有限公司 | 包锁扣 |
CN213459799U (zh) * | 2020-09-30 | 2021-06-15 | 无锡罡正科技有限公司 | 一种300ml氢燃料电池浆料分散器 |
CN217179057U (zh) * | 2021-06-22 | 2022-08-12 | 上海科石科技发展有限公司 | 微波干燥设备及微波干燥车 |
CN217275357U (zh) * | 2022-04-26 | 2022-08-23 | 广东长信精密设备有限公司 | 一种甩干装置及晶圆甩干机 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
凯那: "聚氯乙烯及氯乙烯共聚物", 31 May 1964, 中国工业出版社, pages: 434 - 437 * |
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