CN115394186A - 一种高密度超薄柔性显示器件、显示装置及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种高密度超薄柔性显示器件、显示装置及其制备方法，涉及柔性电子技术领域，显示器件包括柔性基底、显示单元、有机电化学晶体管和封装层；显示装置包括显示器件；制备方法包括S1处理玻璃衬底，S2制作柔性基底，S3制作第一柔性导电电极和两个第二柔性导电电极，S4制作电绝缘层，S5制作半导体层，S6制作电致变色层，S7制作第二电解质层和第一电解质层，S8制作第三柔性导电电极，S9封装，S10剥离玻璃衬底；利用柔性基底作为显示器件的基底，可以无缝贴合在人体表皮；引入有机电化学晶体管作为开关，能一对一控制显示单元的工作与否，同时电化学晶体管的低工作电压保证了该器件的穿戴安全性以及低功耗。
Description
技术领域
本发明涉及柔性电子技术和人工智能领域，尤其涉及一种高密度超薄柔性显示器件、显示装置及其制备方法。
背景技术技术的迅速发展，正在改善***和用户之间的交互方式(即人机交互)。其中***可以是各种各样的机器，如计算机化的***和软件。用户可以通过人机交互界面和***交流、并进行操作，小至操作电子手表、手机，大至操作飞机仪表盘、发电厂的控制室。人机交互领域的研究重点之一就是人机界面，所谓的“人机界面”可以描述为人类用户和计算机之间的通信点。人机界面的研究主要包括基于视觉、音频的人机交互，任务/机器环境，非重叠区域涉及与人机交互无关的人机过程等。其中，基于视觉的人机交互是该领域内研究最为广泛且最为重要的方向，主要体现为柔性显示技术的研究。
传统显示器件的刚性特征，如不可弯折、尺寸大、体积重等，不能满足可穿戴显示的需求，限制了其在人机交互领域的发展。随着材料科学、物理化学工、微电子加工技术等学科的飞速发展，柔性显示技术得到了快速发展。目前，柔性显示的研究主要包括：(1)有机发光二极管；(2)电泳显示；(3)柔性有机薄膜晶体管-液晶显示技术；(4)无机电致发光显示；(5)电子粉流体显示技术；(6)干涉调制显示；(7)光子晶体显示；(8)电润湿显示技术；(9) 等离子管阵列显示技术；(10)电致变色显示技术。其中，电致变色由于其材料来源广，断电记忆能力，驱动电压低，适用于所有可打印的、大规模的、商业化的制造技术，以及非挥发性反射型显示，适用于可穿戴型的柔性显示。但是，目前的研究中，由于制备工艺、器件结构等的限制，电致变色显示未能完全实现柔性可穿戴、质轻体薄、贴肤、分辨率显示等能力。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题设计了一种高密度超薄柔性显示器件、显示装置及其制备方法。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的：
一种高密度超薄柔性显示器件，包括：
柔性基底；
显示单元；显示单元用于人机交互的信息展示；
有机电化学晶体管；有机电化学晶体管用于控制显示单元的显示与否，有机电化学晶体管与显示单元电连接，显示单元和有机电化学晶体管均设置在柔性基底上；
封装层；封装层封装覆盖在显示单元和有机电化学晶体管上。
一种显示装置，包括多个上述的一种高密度超薄柔性显示器件，多个显示器件的有机电化学晶体管的阳极并联与电源阳极连通，多个显示器件的有机电化学晶体管的阴极并联与电源阴极极连通。
一种高密度超薄柔性显示器件的制备方法，包括：
S1、对清洗后的玻璃衬底进行干燥处理以及表面处理；
S2、在处理后的玻璃衬底上旋涂生物可兼容的聚合物材料，然后进行烘烤处理，制得柔性基底；
S3、将柔性基底的玻璃衬底放入真空蒸镀设备中，在柔性基底上蒸镀超薄金属层，冷却后按显示阵列进行图案化光刻处理，在柔性基底上形成第一柔性导电电极和两个第二柔性导电电极；
S4、在图案化的第一柔性导电电极、两个第二柔性导电电极和对应的柔性基底上喷墨打印聚合物材料，然后进行退火处理，在第一柔性导电电极、两个第二柔性导电电极上形成图案化的电绝缘层；
S5、在图案化的电绝缘层上喷墨打印半导体材料，退火处理后冷却后，形成图案化的半导体层；
S6、在柔性基底的电致变色单元的底电极区点胶电致变色材料，然后进行退火处理，形成图案化的电致变色层；
S7、在图案化的半导体层和电致变色层上喷墨打印离子导电凝胶，光固化处理后分别形成图案化的第二电解质层和第一电解质层；
S8、将玻璃衬底放入真空溅射腔内，贴上图案化设计的不锈钢掩膜，在第二电解质层上溅射金属层，形成第三柔性导电电极；
S9、采用透明的绝缘材料进行封装形成封装层；
S10、从玻璃衬底边缘剥离玻璃衬底，即可制得如上述的一种高密度超薄柔性显示器件。
本发明的有益效果在于：利用柔性基底作为显示器件的基底，可以无缝贴合在人体表皮；引入有机电化学晶体管作为开关，能一对一控制显示单元的工作与否，同时电化学晶体管的低工作电压保证了该器件的穿戴安全性以及低功耗；电致变色单元的高电致变色反差、优异的循环稳定性、良好的光学记忆特性，使得该器件能实现高分辨率的显示。
附图说明
图1为本发明实施例的单元像素的结构示意图，包括电致变色单元和有机电化学晶体管单元；
图2为本发明实施例中阵列集成的平面结构示意图；
图3为本发明实施例中显示单元后端可编程柔性印刷电路板的电路设计原理图；
图4为本发明实施例中电化学晶体管的转移特性曲线；
图5为本发明实施例中电化学晶体管的传输特性曲线；
图6为单个像素的电致变色前后的光透过率图；
图7为单元器件的电致变色前后的实物图；
图8为单个像素的电致变色前后的光透过率；
图9为单元器件的电致变色前后的实物图；
其中相应的附图标记为：
1-柔性基底，201-第一柔性导电电极，202-第二柔性导电电极，203-第三柔性导电电极，3-电绝缘层，4-半导体层，5-电致变色层，601-第一电解质层， 602-第二电解质层。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细说明。
如图1所示，一种高密度超薄柔性显示器件，包括：
柔性基底1；
显示单元；显示单元用于人机交互的信息展示；
有机电化学晶体管；有机电化学晶体管用于控制显示单元的显示与否，有机电化学晶体管与显示单元电连接，显示单元和有机电化学晶体管均设置在柔性基底1上；
封装层；封装层封装覆盖在显示单元和有机电化学晶体管上。
显示单元包括：
第一柔性导电电极201；
第一电解质层601；电解质层和第一柔性导电电极201均设置在柔性基底1 上；
电致变色层5；电致变色层5的两端分别固定在电解质层和第一柔性导电电极201上。
有机电化学晶体管包括：
两个第二柔性导电电极202；两个第二柔性导电电极202均设置在柔性基底 1上；
两个电绝缘层3；两个电绝缘层3分别设置在两个第二柔性导电电极202上；
半导体层4；半导体层4的两端分别设置在两个电绝缘层3上；
第二电解质层602；第二电解质层602设置在半导体层4上；
第三柔性导电电极203；第三柔性导电电极203设置在第二电解质层602上。
柔性基底1的厚度为100-200μm，第一柔性导电电极201、第二柔性导电电极202和第三柔性导电电极203的厚度为30-50nm，电绝缘层3的厚度为1-2 μm，半导体层4的厚度为70-100nm，第一电解质层601和第二电解质层602的厚度为5-10μm，电致变色层5厚度为5-10μm。
柔性基底1：厚度为100-200μm，由聚合物材料，如可拉伸的聚二甲基硅氧烷(PDMS)、氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(SEBS)、脂肪族芳香族无规共聚酯(Ecoflex)中的一种制成，或者不可拉伸的聚酰亚胺(PI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)中的一种制成。本实施例优选PDMS作为基底，透明、生物兼容性好、可拉伸、制备简易。
第一柔性导电电极201和第二柔性导电电极202：厚度为30-50nm，采用生物兼容性良好、导电性良好、电化学稳定的金属薄膜、金属网格、金属纳米线，或者碳纳米管、石墨烯的一种。本实施例采用金(Au)薄膜。先采用真空蒸镀或者溅射的方式沉积在柔性基底1上，再光刻形成图案化的柔性底层导电电极。
电绝缘层3：厚度为1-2μm，采用生物兼容性良好、电化学性质稳定的聚合物材料，如聚酰亚胺、聚乙烯醇、聚(4-乙烯基苯酚)、聚苯乙烯、烯酸甲酯 (PMMA)中的一种。本实施例中电绝缘层3优选PMMA。图案化喷墨打印在底层电极上。
半导体层4：厚度为70-100nm，采用生物兼容性良好、载流子迁移率高、电位体电容大、能灵敏响应栅极电压变化的半导体材料，如聚(3-己基噻吩， P3HT)，给体-受体共聚物(例如，二酮吡咯并吡咯)。本实施例中半导体材料优选聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸(PEDOT：PSS)。
电致变色层5：厚度为5-10μm，采用生物兼容性好、响应速度快、循环使用时间长的变色材料，如三氧化钨、三氧化钼、二氧化钛、五氧化二矾、氧化镍、氧化铷等无机电致变色材料，或者紫罗精、二酞菁合镥、聚噻吩、聚苯胺、聚吡咯、聚三苯胺中等有机变色材料的一种。本实施例中电致变色层5优选聚吡咯和聚噻吩。
第一电解质层601和第二电解质层602：厚度为5-10μm，采用生物兼容性良好、导电率高的聚合物电解质，如盐(如氯化锂、氯化钠、高氯酸锂、四氟磷酸锂、六氟磷酸锂等)与极性聚合物基质(如聚偏二氟乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氧化乙烯、聚丙烯腈)构建的双网络固态型电解质，或者盐与高分子基质(甲基丙烯酸甲酯、聚氧化乙烯、聚偏二氟乙烯、聚偏氟乙烯-七氟丙烷) 构建的双网络凝胶型电解质，或者在凝胶电解质中引入无机材料/离子液体构建的混合型聚合物电解质的一种。本实施例中电解质层优选氯化锂-聚氧化乙烯或者氯化钠-丙烯酰胺构建的双网络离子水凝胶型电解质。
第三柔性导电电极203，厚度为30-50nm，采用生物兼容性良好、导电性良好、电化学稳定的金属薄膜、金属网格、金属纳米线，或者碳纳米管、石墨烯的一种。本实施例采用金(Au)薄膜。真空蒸镀时，贴上锈钢掩模版，即可得到图案化的顶层电极；或者采用喷墨打印的方式制备。
利用具有良好生物兼容性、机械柔性、光学透明性的材料制成基于有机电化学晶体管和电致变色层5组成的主动式、高密度、超薄柔性显示阵列，可以无缝贴合在人体表皮，实现外形共融、穿戴舒适的新型信息显示器件。引入有机电化学晶体管作为开关，能一对一控制显示单元的工作与否，同时电化学晶体管的低工作电压保证了该器件的穿戴安全性以及低功耗。电致变色层5的高电致变色反差、优异的循环稳定性、良好的光学记忆特性，使得该器件能实现高分辨率的显示。由于引入的先进的结构设计，该阵列最大可在单位面积集成 144个像素单元，远超已报道的基于电致发光、热致发光等的柔性显示，满足了人机交互的视觉传感的应用需求。同时，该显示器件集成了后端电路设计的可编程的柔性印刷电路板，可进一步实现与计算机或者手机等带有蓝牙模块的机器的信息传输和交互。
一种显示装置，包括多个上述的一种高密度超薄柔性显示器件，多个显示器件的有机电化学晶体管的阳极并联与电源阳极连通，多个显示器件的有机电化学晶体管的阴极并联与电源阴极极连通。
多个显示器件矩形阵列设置。
一种高密度超薄柔性显示器件的制备方法，包括：
S1、对清洗后的玻璃衬底进行干燥处理以及表面处理；
S2、在处理后的玻璃衬底上旋涂生物可兼容的聚合物材料，然后进行烘烤处理，制得柔性基底1；
S3、将柔性基底1的玻璃衬底放入真空蒸镀设备中，在柔性基底1上蒸镀超薄金属层，冷却后按显示阵列进行图案化光刻处理，在柔性基底1上形成第一柔性导电电极201和两个第二柔性导电电极202；
S4、在图案化的第一柔性导电电极201、两个第二柔性导电电极202和对应的柔性基底1上喷墨打印聚合物材料，然后进行退火处理，在第一柔性导电电极201、两个第二柔性导电电极202上形成图案化的电绝缘层3；
S5、在图案化的电绝缘层3上喷墨打印半导体材料，退火处理后冷却后，形成图案化的半导体层4；
S6、在柔性基底1的电致变色单元的底电极区点胶电致变色材料，然后进行退火处理，形成图案化的电致变色层5；
S7、在图案化的半导体层4和电致变色层5上喷墨打印离子导电凝胶，光固化处理后分别形成图案化的第二电解质层602和第一电解质层601；
S8、将玻璃衬底放入真空溅射腔内，贴上图案化设计的不锈钢掩膜，在第二电解质层602上溅射金属层，形成第三柔性导电电极203；
S9、采用透明的绝缘材料进行封装形成封装层；
S10、从玻璃衬底边缘剥离玻璃衬底，即可制得如上述的一种高密度超薄柔性显示器件。
在S3中，进行图案化光刻处理的过程具体为：先在冷却后的该层上旋涂光刻胶，并依次进行曝光、显影、湿法刻蚀、去胶，即得图案化的第一柔性导电电极201和两个第二柔性导电电极202。
柔性基底1采用PDMS材料制成，PDMS的固化比例为30:1，第一柔性导电电极201、第二柔性导电电极202和第三柔性导电电极203采用金制成，电绝缘层3采用PMMA材料制成，半导体层4采用PEDOT:PSS材料制成，封装层采用SU8材料制成。
在S2中，烘烤处理的温度为80℃，在S4中，退火处理的时长为30分钟，在S5中，退火处理的时长为1小时，在S6中，退火处理的时长15分钟，在 S7中，光固化处理的时长为10分钟。
制备器件1，制备方法步骤如下：
步骤1、采用洗涤剂、去离子水、丙酮、异丙醇对玻璃衬底进行清洗后，然后进行干燥处理，在干燥的玻璃基底上擦拭一层超薄洗手液，然后进行干燥处理；
步骤2、在干燥处理后的玻璃衬底上旋涂一层PDMS(固化比例30：1)，然后在80℃下进行烘烤处理，制得带有柔性基底1的衬底；
步骤3、将带有柔性基底1的衬底放入真空蒸发室中，在柔性基底1上蒸镀 50nm的Au，冷却后旋涂AZ5214光刻胶，依次进行曝光、显影、湿法刻蚀、去胶，即可得到图案化的第一柔性导电电极201和两个第二柔性导电电极202；
步骤4、在图案化的第一柔性导电电极201、两个第二柔性导电电极202 和对应的柔性基底1上喷墨打印聚合物PMMA(20wt.％，溶剂为氯苯)，然后进行低温退火处理30分钟，形成电绝缘层3；
步骤5、在电绝缘层3上喷墨打印PEDOT：PSS，然后进行低温退火处理1 小时，形成半导体层4；
步骤6、在柔性基底1的电致变色单元的底电极区喷墨打印聚吡咯成膜，然后进行低温退火处理15分钟，形成电致变色层5；
步骤7、在半导体层4以及电致变色层5上点胶提前配好的氯化锂-聚氧化乙烯，然后进行紫外光固化处理10分钟，形成离子水凝胶的第二电解质层602 和第一电解质层601；
步骤8、将器件放入真空溅射腔内，贴上图案化设计的不锈钢掩膜，在第二电解质层602上溅射50nm的金，作为第三柔性导电电极203；
步骤9、在器件表面旋涂一层透明的厚度为20μm的SU8作为封装层，隔绝水氧、保护器件。
步骤10、从玻璃基底边缘将器件剥离即可。
将制得的器件1进行测试，测试结果如图6、图7所示。
制备器件2，制备方法步骤如下：
制备方法步骤如下：
步骤1、采用洗涤剂、去离子水、丙酮、异丙醇对玻璃衬底进行清洗后，然后进行干燥处理，在干燥的玻璃基底上擦拭一层超薄洗手液，然后进行干燥处理；
步骤2、在干燥处理后的玻璃衬底上旋涂一层PDMS(固化比例30：1)，然后在80℃下进行烘烤处理，制得带有柔性基底1的衬底；
步骤3、将带有柔性基底1的衬底放入真空蒸发室中，在柔性基底1上蒸镀 30nm的Au，冷却后旋涂AZ5214光刻胶，依次进行曝光、显影、湿法刻蚀、去胶，即可得到图案化的第一柔性导电电极201和两个第二柔性导电电极202；
步骤4、在图案化的第一柔性导电电极201、两个第二柔性导电电极202 和对应的柔性基底1上喷墨打电化学性质稳定的聚合物PMMA(20wt.％，溶剂为氯苯)，然后进行低温退火处理30分钟，形成电绝缘层3；
步骤5、在电绝缘层3上喷墨打印PEDOT：PSS，然后进行低温退火处理1 小时，形成半导体层4；
步骤6、在柔性基底1的电致变色单元的底电极区喷墨打印聚噻吩成膜，然后进行低温退火处理15分钟，形成电致变色层5；
步骤7、在半导体层4以及电致变色层5上点胶提前配好的氯化纳-丙烯酰胺，然后进行紫外光固化处理10分钟，形成离子水凝胶的第二电解质层602和第一电解质层601；
步骤8、将器件放入真空溅射腔内，贴上图案化设计的不锈钢掩膜，溅射 30nm的金，作为第三柔性导电电极203；
步骤9、在器件表面旋涂一层透明的厚度为10μm的SU8作为封装层，隔绝水氧、保护器件；
步骤10、从玻璃基底边缘将器件剥离即可。
将制得的器件2进行测试，测试结果如图8、图9所示。
根据上述测试结果显示，本发明制得器件2，适于在脑电信号监测中应用。
本发明的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本发明的技术方案做出的技术变形，均落入本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种高密度超薄柔性显示器件，其特征在于，包括：
柔性基底；
显示单元；显示单元用于人机交互的信息展示；
有机电化学晶体管；有机电化学晶体管用于控制显示单元的显示与否，有机电化学晶体管与显示单元电连接，显示单元和有机电化学晶体管均设置在柔性基底上；
封装层；封装层封装覆盖在显示单元和有机电化学晶体管上。
2.根据权利要求1所述的一种高密度超薄柔性显示器件，其特征在于，显示单元包括：
第一柔性导电电极；
第一电解质层；电解质层和第一柔性导电电极均设置在柔性基底上；
电致变色层；电致变色层的两端分别固定在电解质层和第一柔性导电电极上。
3.根据权利要求2所述的一种高密度超薄柔性显示器件，其特征在于，有机电化学晶体管包括：
两个第二柔性导电电极；两个第二柔性导电电极均设置在柔性基底上；
两个电绝缘层；两个电绝缘层分别设置在两个第二柔性导电电极上；
半导体层；半导体层的两端分别设置在两个电绝缘层上；
第二电解质层；第二电解质层设置在半导体层上；
第三柔性导电电极；第三柔性导电电极设置在第二电解质层上。
4.根据权利要求1所述的一种高密度超薄柔性显示器件，其特征在于，柔性基底的厚度为100-200μm，第一柔性导电电极、第二柔性导电电极和第三柔性导电电极的厚度为30-50nm，电绝缘层的厚度为1-2μm，半导体层的厚度为70-100nm，第一电解质层和第二电解质层的厚度为5-10μm，电致变色层厚度为5-10μm。
5.一种显示装置，其特征在于，包括多个如权利要求1-4任一项所述的一种高密度超薄柔性显示器件，多个显示器件的有机电化学晶体管的阳极并联与电源阳极连通，多个显示器件的有机电化学晶体管的阴极并联与电源阴极极连通。
6.根据权利要求5所述的一种显示装置，其特征在于，多个显示器件矩形阵列设置。
7.一种高密度超薄柔性显示器件的制备方法，其特征在于，包括：
S1、对清洗后的玻璃衬底进行干燥处理以及表面处理；
S2、在处理后的玻璃衬底上旋涂生物可兼容的聚合物材料，然后进行烘烤处理，制得柔性基底；
S3、将柔性基底的玻璃衬底放入真空蒸镀设备中，在柔性基底上蒸镀超薄金属层，冷却后按显示阵列进行图案化光刻处理，在柔性基底上形成第一柔性导电电极和两个第二柔性导电电极；
S4、在图案化的第一柔性导电电极、两个第二柔性导电电极和对应的柔性基底上喷墨打印聚合物材料，然后进行退火处理，在第一柔性导电电极、两个第二柔性导电电极上形成图案化的电绝缘层；
S5、在图案化的电绝缘层上喷墨打印半导体材料，退火处理后冷却后，形成图案化的半导体层；
S6、在柔性基底的电致变色单元的底电极区点胶电致变色材料，然后进行退火处理，形成图案化的电致变色层；
S7、在图案化的半导体层和电致变色层上喷墨打印离子导电凝胶，光固化处理后分别形成图案化的第二电解质层和第一电解质层；
S8、将玻璃衬底放入真空溅射腔内，贴上图案化设计的不锈钢掩膜，在第二电解质层上溅射金属层，形成第三柔性导电电极；
S9、采用透明的绝缘材料进行封装形成封装层；
S10、从玻璃衬底边缘剥离玻璃衬底，即可制得如权利要求1-4任一项所述的一种高密度超薄柔性显示器件。
8.根据权利要求7所述的一种高密度超薄柔性显示器件的制备方法，其特征在于，在S3中，进行图案化光刻处理的过程具体为：先在冷却后的该层上旋涂光刻胶，并依次进行曝光、显影、湿法刻蚀、去胶，即得图案化的第一柔性导电电极和两个第二柔性导电电极。
9.根据权利要求7所述的一种高密度超薄柔性显示器件的制备方法，其特征在于，柔性基底采用PDMS材料制成，PDMS的固化比例为30:1，第一柔性导电电极、第二柔性导电电极和第三柔性导电电极采用金制成，电绝缘层采用PMMA材料制成，半导体层采用PEDOT:PSS材料制成，封装层采用SU8材料制成。
10.根据权利要求7所述的一种高密度超薄柔性显示器件的制备方法，其特征在于，在S2中，烘烤处理的温度为80℃，在S4中，退火处理的时长为30分钟，在S5中，退火处理的时长为1小时，在S6中，退火处理的时长15分钟，在S7中，光固化处理的时长为10分钟。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20221125 |