CN115382308B - 一种单晶炉用双孔放气过滤罐 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐，包括：立式罐体，过滤室设于所述立式罐体内，进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置，并连通于所述过滤室内，排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置，并连通于所述过滤室内；上孔放气单元、下孔放气单元，所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置，并连通于所述过滤室内，所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端，并连通于所述过滤室内；过滤袋单元，所述过滤袋单元安装于所述过滤室内；过滤袋抖动单元，所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端，所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。

Description

一种单晶炉用双孔放气过滤罐

技术领域

本发明涉及直拉单晶技术领域，具体地说，涉及一种单晶炉用双孔放气过滤罐。

背景技术

在用直拉法生产单晶硅的过程中，单晶炉内采用负压氩气流动带走挥发物的方式保证主室的洁净，循环的氩气需经过滤罐净化回收。

中国专利CN 215609998 U公开了一种单晶炉用气体过滤罐，包括：上封头，所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口；罐体，所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门，所述罐体内部用于容纳过滤袋；延伸部，所述延伸部连接于所述罐体下端；下封头，所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。但是在实际生产中发现，随着投料量的不断增加，导致过滤罐的进气量不断增大，过滤罐内的挥发物不断增多，使得过滤罐放气时间长，罐内的挥发物不能充分氧化，易发生燃爆。

发明内容

为达到上述目的，本发明公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐，包括：

立式罐体，过滤室设于所述立式罐体内，进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置，并连通于所述过滤室内，排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置，并连通于所述过滤室内；

上孔放气单元、下孔放气单元，所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置，并连通于所述过滤室内，所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端，并连通于所述过滤室内；

过滤袋单元，所述过滤袋单元安装于所述过滤室内；

过滤袋抖动单元，所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端，所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。

优选的，所述立式罐体底端安装有行走轮。

优选的，所述立式罐体包括：

罐身，所述过滤室形成于所述罐身内，所述排气口连接于所述罐身侧端靠近顶端位置；

上封头，所述上封头安装于所述罐身顶端，所述过滤袋抖动单元安装于所述上封头上，所述上孔放气单元连接于所述上封头上；

下封头，所述下封头通过延伸部安装于所述罐身底端，所述进气口连接于所述延伸部上，所述下孔放气单元连接于所述下封头上；

观察口，所述观察口安装于所述罐身上，所述观察口上安装有视窗；

清灰口，所述清灰口安装于所述下封头上，所述清灰口上安装有盲板。

优选的，所述进气口与单晶炉连接，所述排气口与真空泵连接。

优选的，还包括：

电控箱，所述电控箱安装于所述立式罐体表面，所述上孔放气单元、下孔放气单元以及过滤袋抖动单元均与所述电控箱连接。

优选的，所述过滤袋单元包括：

底安装座，所述底安装座固定连接于所述延伸部内壁上；

圆口，多个所述圆口阵列排布于所述底安装座上；

顶安装座，所述顶安装座位于所述罐身内顶部，所述过滤袋抖动单元与所述顶安装座连接；

限位杆，多个所述限位杆周向安装于所述底安装座顶端，所述顶安装座套设于所述限位杆上；

过滤袋，所述过滤袋等数量于所述圆口设置，所述过滤袋袋口端与所述圆口连接；

固定盘，所述固定盘安装于所述过滤袋袋底端；

安装螺柱，所述安装螺柱连接于所述固定盘上，所述安装螺柱通过滤袋安装单元连接于所述所述顶安装座上。

优选的，所述滤袋安装单元包括：

滤袋安装座，所述滤袋安装座连接于所述顶安装座底端；

出风箱放置槽，所述出风箱放置槽开设于所述滤袋安装座底端；

出风箱，所述出风箱安装于所述出风箱放置槽内，所述出风箱底端均匀开设有第二风孔；

剪叉式安装板，所述剪叉式安装板位于所述出风箱下方；

锁紧孔，所述锁紧孔开设于所述剪叉式安装板上，所述安装螺柱穿设于所述锁紧孔内，并通过锁紧螺母固定；

升降柱，四个所述升降柱一一对应安装于所述剪叉式安装板各支脚上，所述升降柱远离剪叉式安装板端自所述出风箱底端伸入其内；

第一弹簧，所述第一弹簧套设于所述升降柱上，所述第一弹簧抵设于所述出风箱底端和剪叉式安装板之间；

升降板，所述升降板横向安装于所述出风箱内，所述升降柱远离剪叉式安装板端与所述升降板连接，所述升降板上均匀开设有第一风孔；

风板，所述风板横向安装于所述出风箱内，所述风板位于所述升降板上方；

出风孔，多个所述出风孔开设于所述风板上，所述出风孔内壁自下而上呈收口式设置；

堵块，所述堵块呈柱状设置，所述堵块等数量于所述出风孔设置，所述堵块安装于所述升降板上，所述堵块伸入所述出风孔内，并堵设所述出风孔设置；

出风泵，所述出风泵安装于所述上封头上，所述出风泵出风端通过出风管路与各所述出风箱连接。

优选的，所述滤袋安装单元还包括：

横移槽，四个所述横移槽以所述出风箱放置槽为中心阵列分布于所述滤袋安装座底端；

横移板，每个所述横移槽内滑动连接有所述横移板；

限位滑条，所述限位滑条安装于所述横移槽内，所述限位滑条上开设有波浪状起落驱动槽；

起落杆，所述起落杆贴设于所述横移板内端，所述起落杆一端伸入所述横移槽内，并抵设于所述起落驱动槽上；

横板，每两个所述起落杆的另一端连接有所述横板；

纵移槽，所述纵移槽开设于所述横移板内端；

纵移块，所述纵移块滑动连接于所述纵移槽内；

第二弹簧，所述第二弹簧位于所述纵移槽内，所述第二弹簧连接于所述纵移槽内壁和纵移块之间；

复位杆，两个所述复位杆对称穿设所述横板设置；

夹板，所述固定盘位于并列设置的两个所述夹板之间，所述复位杆连接于所述夹板上，所述夹板呈凸字形设置，所述夹板顶端位于所述所述剪叉式安装板的支脚之间，所述固定盘夹设于两个所述夹板底端之间；

第三弹簧，所述第三弹簧套设于所述复位杆上，所述第三弹簧抵设于所述夹板和横板之间；

竖向齿条，所述竖向齿条安装与所述剪叉式安装板上，所述竖向齿条远离剪叉式安装板端自所述出风箱底端伸入其内；

齿轮安装架，所述齿轮安装架安装于所述出风箱内底部；

转动齿轮，所述转动齿轮通过转轴安装于所述齿轮安装架上；所述转轴两端均伸出对向的所述出风箱侧端设置，所述转动齿轮与所述竖向齿条啮合；

横移齿条，每个所述横移板上均安装有一所述横移齿条；

驱动齿轮，所述驱动齿轮安装于所述转轴两端，每两个所述横移齿条与所述驱动齿轮啮合。

优选的，所述下孔放气单元包括：

下进气管，所述下进气管横向安装于所述下封头上，所述下进气管远离下封头端安装有盲板；

下放气管，所述下放气管安装于所述下进气管上；

下压力传感器，所述下压力传感器安装于所述下进气管上，所述下压力传感器用于检测所述立式罐体内负压值；

下放气阀，所述下放气阀安装于所述下放气管远离下进气管端；

下调节阀，所述下调节阀安装于所述下放气管上。

优选的，所述上孔放气单元包括：

上放气管，所述上放气管安装于所述上封头上；

上压力传感器，所述上压力传感器安装于所述上放气管上；

上放气阀，所述上放气阀安装于所述上放气管远离上封头端；

上调节阀，所述上调节阀安装于所述上放气管上。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明正视图；

图2为本发明右视图；

图3为本发明中过滤袋单元结构示意图；

图4为本发明中过滤袋安装单元结构示意图；

图5为本发明中过滤袋安装单元正面剖视图；

图6为本发明中过滤袋安装单元侧面剖视图；

图7为本发明中剪叉式安装板外形图。

图中：1.立式罐体；2.上孔放气单元；3.下孔放气单元；4.过滤袋单元；5.过滤袋抖动单元；6.过滤袋安装单元；11.进气口；12.排气口；13.罐身；14.上封头；15.下封头；16.延伸部；17.观察口；18.清灰口；19.电控箱；10.过滤室；41.底安装座；42.圆口；43.顶安装座；44.限位杆；45.过滤袋；46.固定盘；47.安装螺柱；61.滤袋安装座；62.出风箱；63.剪叉式安装板；64.锁紧孔；65.升降柱；66.第一弹簧；67.升降板；68.风板；69.堵块；60.横移槽；71.横移板；72.限位滑条；73.起落杆；74.横板；75.纵移槽；76.纵移块；77.复位杆；78.夹板；79.竖向齿条；70.转动齿轮；81.横移齿条；82.驱动齿轮；83.第三弹簧。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例

下面将结合附图对本发明做进一步描述。

如图1至图7所示，本实施例提供的一种单晶炉用双孔放气过滤罐，包括：

立式罐体1，过滤室10设于所述立式罐体1内，进气口11设于所述立式罐体1侧端靠近底端位置，并连通于所述过滤室10内，排气口12设于所述立式罐体1侧端靠近顶端位置，并连通于所述过滤室10内；

上孔放气单元2、下孔放气单元3，所述上孔放气单元2安装于所述立式罐体1顶端位置，并连通于所述过滤室10内，所述下孔放气单元3安装于所述立式罐体1底端，并连通于所述过滤室10内；

过滤袋单元4，所述过滤袋单元4安装于所述过滤室10内；

过滤袋抖动单元5，所述过滤袋抖动单元5安装于所述立式罐体1顶端，所述过滤袋抖动单元5与所述过滤袋单元4连接。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

本发明公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐，安装于排气口12上的真空泵将单晶炉内的氩气自进气口11抽入立式罐体1内，位于过滤室10内的过滤袋单元4过滤挥发物，此时立式罐体1内为负压，上孔放气单元2和下孔放气单元3用于向立式罐体1内补充空气。本发明提供的一种单晶炉用双孔放气过滤罐，随着投料量的不断增加，导致过滤罐的进气量不断增大，过滤袋单元4过滤的挥发物不断增多时，上孔放气单元2和下孔放气单元3可以同时工作，向立式罐体1内补充空气，使立式罐体1内的挥发物充分氧化，防止发生燃爆，停机后，安装于立式罐体1顶端的过滤袋抖动单元5可以带动位于过滤室10内的过滤袋单元4抖动，从而将过滤的挥发物抖落，恢复过滤袋单元4的过滤性能，过滤袋抖动单元5为抖动气缸。

在一个实施例中，所述立式罐体1底端安装有行走轮。

上述技术方案的有益效果为：

行走轮的设置，便于过滤罐的移动。

在一个实施例中，所述立式罐体1包括：

罐身13，所述过滤室10形成于所述罐身13内，所述排气口12连接于所述罐身13侧端靠近顶端位置；

上封头14，所述上封头14安装于所述罐身13顶端，所述过滤袋抖动单元2安装于所述上封头14上，所述上孔放气单元2连接于所述上封头14上；

下封头15，所述下封头15通过延伸部16安装于所述罐身13底端，所述进气口11连接于所述延伸部16上，所述下孔放气单元3连接于所述下封头15上；

观察口17，所述观察口17安装于所述罐身13上，所述观察口17上安装有视窗；

清灰口18，所述清灰口18安装于所述下封头15上，所述清灰口18上安装有盲板。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

立式罐体1由罐身13、安装于罐身13顶端的上封头14、安装于罐身13底端的下封头15组成，其中下封头15通过延伸部16安装于罐身13底端，观察口17用于观察过滤室10内过滤袋单元4的过滤情况，清灰口18位于下封头15上，安装于立式罐体1顶端的过滤袋抖动单元5可以带动位于过滤室10内的过滤袋单元4抖动，从而将过滤的挥发物抖落在下封头15内，打开清灰口18，可以定期完成挥发物的清除。

在一个实施例中，所述进气口11与单晶炉连接，所述排气口12与真空泵连接。

在一个实施例中，还包括：

电控箱19，所述电控箱19安装于所述立式罐体1表面，所述上孔放气单元2、下孔放气单元3以及过滤袋抖动单元5均与所述电控箱19连接。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

电控箱19安装于立式罐体1表面，立式罐体1表面安装有第一压力变送器，第一压力变送器用于检测实时检测立式罐体1内负压值，进气口11和排气口12分别安装有第二压力变送器和第三压力变送器，第一压力变送器、第二压力变送器以及第三压力变送器均与电控箱19连接，电控箱19内的PLC通过第一压力变送器、第二压力变送器以及第三压力变送器的压差值判定过滤袋单元4有无堵塞，从而控制过滤袋抖动单元5工作，进气口11安装有流量计，流量计与电控箱19流量，通过记录流量计的变化，从而控制上孔放气单元2、下孔放气单元3的工作，以满足立式罐体1内挥发物的氧化要求。

在一个实施例中，所述过滤袋单元4包括：

底安装座41，所述底安装座41固定连接于所述延伸部16内壁上；

圆口42，多个所述圆口42阵列排布于所述底安装座41上；

顶安装座43，所述顶安装座43位于所述罐身13内顶部，所述过滤袋抖动单元5与所述顶安装座43连接；

限位杆44，多个所述限位杆44周向安装于所述底安装座41顶端，所述顶安装座43套设于所述限位杆44上；

过滤袋45，所述过滤袋45等数量于所述圆口42设置，所述过滤袋45袋口端与所述圆口42连接；

固定盘46，所述固定盘46安装于所述过滤袋45袋底端；

安装螺柱47，所述安装螺柱47连接于所述固定盘46上，所述安装螺柱47通过滤袋安装单元6连接于所述所述顶安装座43上。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

底安装座41安装于延伸部16内，且位于过滤室10内的过滤袋单元4位于底安装座41、限位杆44以及顶安装座43组成的过滤空间内，当完成过滤罐的安装时，将限位杆44安装于底安装座41上，将顶安装座43安装于限位杆44远离底安装座41端，过滤袋45袋口端与圆口42可以通过压环连接，压环上周向安装有螺丝，螺丝拧在底安装座41上，从而完成过滤袋45袋口端与圆口42的固定连接，过滤袋45袋底端通过滤袋安装单元6与顶安装座43连接，接着吊装上封头14的吊耳，将罐身13通过配对法兰与延伸部16连接，从而完成过滤罐的安装，拆卸时，只需要反动作先拆开配对法兰，吊起上封头14，将罐身13吊离延伸部16即可，此时顶安装座43通过限位杆44支撑安装于底安装座41上，以撑起过滤袋45，氩气自圆口42送入与圆口42连接的过滤袋45内，过滤袋45完成挥发物的过滤后，自排气口12抽出，过滤袋45袋底端安装有固定盘46，固定盘46上的安装螺柱47实现与过滤袋45的可拆卸连接，且过滤袋抖动单元5带动顶安装座43沿着限位杆44升降时，由于过滤袋45袋底端通过安装螺柱47与滤袋安装单元6连接，从而在顶安装座43升降时，滤袋安装单元6通过安装螺柱47带动固定盘46、与固定盘46连接的过滤袋45袋底端的抖动，便于将过滤袋45内的挥发物自圆口42抖落到下封头15内。

在一个实施例中，所述滤袋安装单元6包括：

滤袋安装座61，所述滤袋安装座61连接于所述顶安装座43底端；

出风箱放置槽，所述出风箱放置槽开设于所述滤袋安装座61底端；

出风箱62，所述出风箱62安装于所述出风箱放置槽内，所述出风箱62底端均匀开设有第二风孔；

剪叉式安装板63，所述剪叉式安装板63位于所述出风箱62下方；

锁紧孔64，所述锁紧孔64开设于所述剪叉式安装板63上，所述安装螺柱47穿设于所述锁紧孔64内，并通过锁紧螺母固定；

升降柱65，四个所述升降柱65一一对应安装于所述剪叉式安装板63各支脚上，所述升降柱65远离剪叉式安装板63端自所述出风箱62底端伸入其内；

第一弹簧66，所述第一弹簧66套设于所述升降柱65上，所述第一弹簧66抵设于所述出风箱62底端和剪叉式安装板63之间；

升降板67，所述升降板67横向安装于所述出风箱62内，所述升降柱65远离剪叉式安装板63端与所述升降板67连接，所述升降板67上均匀开设有第一风孔；

风板68，所述风板68横向安装于所述出风箱62内，所述风板68位于所述升降板67上方；

出风孔，多个所述出风孔开设于所述风板68上，所述出风孔内壁自下而上呈收口式设置；

堵块69，所述堵块69呈柱状设置，所述堵块69等数量于所述出风孔设置，所述堵块69安装于所述升降板67上，所述堵块69伸入所述出风孔内，并堵设所述出风孔设置；

出风泵，所述出风泵安装于所述上封头14上，所述出风泵出风端通过出风管路与各所述出风箱62连接。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

安装于过滤袋45袋底端的固定盘46通过安装螺柱47与剪叉式安装板63上的锁紧孔64连接，随着过滤袋45内壁上挥发物的增多，过滤袋45自重增加，从而带动剪叉式安装板63沉降，第一弹簧66拉伸，与剪叉式安装板63连接的升降柱65带动位于出风箱62内的升降板67沉降，与升降板67连接的堵块69在出风孔内滑落，当过滤袋45内壁上挥发物达到上限时，出风孔打开，过滤罐内出现压差，此时过滤罐停机，出风泵工作，将风送入出风箱62内，并自出风孔、第一风孔、第二风孔排出，风喷射在过滤袋45袋底端，对固定盘46进行降温的同时，将过滤袋45袋底端的挥发物吹离，这样在过滤袋抖动单元5上下抖动顶安装座43沉降时，加快了挥发物自过滤袋45内抖落。

在一个实施例中，所述滤袋安装单元6还包括：

横移槽60，四个所述横移槽60以所述出风箱放置槽为中心阵列分布于所述滤袋安装座61底端；

横移板71，每个所述横移槽60内滑动连接有所述横移板71；

限位滑条72，所述限位滑条72安装于所述横移槽60内，所述限位滑条72上开设有波浪状起落驱动槽；

起落杆73，所述起落杆73贴设于所述横移板71内端，所述起落杆73一端伸入所述横移槽60内，并抵设于所述起落驱动槽上；

横板74，每两个所述起落杆73的另一端连接有所述横板74；

纵移槽75，所述纵移槽75开设于所述横移板71内端；

纵移块76，所述纵移块76滑动连接于所述纵移槽75内；

第二弹簧，所述第二弹簧位于所述纵移槽75内，所述第二弹簧连接于所述纵移槽75内壁和纵移块76之间；

复位杆77，两个所述复位杆77对称穿设所述横板74设置；

夹板78，所述固定盘46位于并列设置的两个所述夹板78之间，所述复位杆77连接于所述夹板78上，所述夹板78呈凸字形设置，所述夹板78顶端位于所述所述剪叉式安装板63的支脚之间，所述固定盘46夹设于两个所述夹板78底端之间；

第三弹簧83，所述第三弹簧83套设于所述复位杆77上，所述第三弹簧83抵设于所述夹板78和横板74之间；

竖向齿条79，所述竖向齿条79安装与所述剪叉式安装板63上，所述竖向齿条79远离剪叉式安装板63端自所述出风箱62底端伸入其内；

齿轮安装架，所述齿轮安装架安装于所述出风箱62内底部；

转动齿轮70，所述转动齿轮70通过转轴安装于所述齿轮安装架上；所述转轴两端均伸出对向的所述出风箱62侧端设置，所述转动齿轮70与所述竖向齿条79啮合；

横移齿条81，每个所述横移板71上均安装有一所述横移齿条81；

驱动齿轮82，所述驱动齿轮82安装于所述转轴两端，每两个所述横移齿条81与所述驱动齿轮82啮合。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

安装于过滤袋45袋底端的固定盘46通过安装螺柱47与剪叉式安装板63上的锁紧孔64连接时，国定盘46卡设于两个夹板78之间，当随着过滤袋45内壁上挥发物的增多，过滤袋45自重增加，从而带动剪叉式安装板63沉降，第一弹簧66拉伸，与剪叉式安装板63连接的升降柱65带动位于出风箱62内的升降板67沉降，与剪叉式安装板63连接的竖向齿条79沉降时，带动与竖向齿条79啮合的转动齿轮70在齿轮安装架上转动，从而带动与转动齿轮70同轴安装于转轴上的驱动齿轮82转动，驱动齿轮82通过与其啮合的横移齿条81带动横移板71在横移槽60内向靠近出风箱62方向运动，位于两个横移板71之间的起落杆73带动横板74、通过复位杆77安装于横版74上的夹板78向靠近固定盘46方向运动，此时，第三弹簧83收缩，起落杆73在限位滑条72上波浪状起落驱动槽的配合下，不断的做升降运动，从而带动与起落杆73连接的横板74、通过复位杆77安装于74上的夹板78、夹设于两个夹板78之间的固定盘46不断的做升降运动，以完成过滤袋45小幅度的抖动，这样在小流量的情况下，小幅度的抖动过滤袋45即可完成挥发物的抖落，无需过滤袋抖动单元5工作。

在一个实施例中，所述下孔放气单元3包括：

下进气管，所述下进气管横向安装于所述下封头15上，所述下进气管远离下封头15端安装有盲板；

下放气管，所述下放气管安装于所述下进气管上；

下压力传感器，所述下压力传感器安装于所述下进气管上，所述下压力传感器用于检测所述立式罐体1内负压值；

下放气阀，所述下放气阀安装于所述下放气管远离下进气管端；

下调节阀，所述下调节阀安装于所述下放气管上。

上述技术方案的工作原理为：

下放气阀打开，空气自下放气管、下进气管送入过滤罐内，下调节阀可以调节进气流量。

在一个实施例中，所述上孔放气单元2包括：

上放气管，所述上放气管安装于所述上封头14上；

上压力传感器，所述上压力传感器安装于所述上放气管上；

上放气阀，所述上放气阀安装于所述上放气管远离上封头14端；

上调节阀，所述上调节阀安装于所述上放气管上。

上述技术方案的工作原理为：

上放气阀打开，空气自上放气管送入过滤罐内，上调节阀可以调节进气流量。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (6)

1.一种单晶炉用双孔放气过滤罐，其特征在于，包括：

立式罐体(1)，过滤室(10)设于所述立式罐体(1)内，进气口(11)设于所述立式罐体(1)侧端靠近底端位置，并连通于所述过滤室(10)内，排气口(12)设于所述立式罐体(1)侧端靠近顶端位置，并连通于所述过滤室(10)内；

上孔放气单元(2)、下孔放气单元(3)，所述上孔放气单元(2)安装于所述立式罐体(1)顶端位置，并连通于所述过滤室(10)内，所述下孔放气单元(3)安装于所述立式罐体(1)底端，并连通于所述过滤室(10)内；

过滤袋单元(4)，所述过滤袋单元(4)安装于所述过滤室(10)内；

过滤袋抖动单元(5)，所述过滤袋抖动单元(5)安装于所述立式罐体(1)顶端，所述过滤袋抖动单元(5)与所述过滤袋单元(4)连接；

所述立式罐体(1)包括：

罐身(13)，所述过滤室(10)形成于所述罐身(13)内，所述排气口(12)连接于所述罐身(13)侧端靠近顶端位置；

上封头(14)，所述上封头(14)安装于所述罐身(13)顶端，所述过滤袋抖动单元(5)安装于所述上封头(14)上，所述上孔放气单元(2)连接于所述上封头(14)上；

下封头(15)，所述下封头(15)通过延伸部(16)安装于所述罐身(13)底端，所述进气口(11)连接于所述延伸部(16)上，所述下孔放气单元(3)连接于所述下封头(15)上；

观察口(17)，所述观察口(17)安装于所述罐身(13)上，所述观察口(17)上安装有视窗；

清灰口(18)，所述清灰口(18)安装于所述下封头(15)上，所述清灰口(18)上安装有盲板；

所述过滤袋单元(4)包括：

底安装座(41)，所述底安装座(41)固定连接于所述延伸部(16)内壁上；

圆口(42)，多个所述圆口(42)阵列排布于所述底安装座(41)上；

顶安装座(43)，所述顶安装座(43)位于所述罐身(13)内顶部，所述过滤袋抖动单元(5)与所述顶安装座(43)连接；

限位杆(44)，多个所述限位杆(44)周向安装于所述底安装座(41)顶端，所述顶安装座(43)套设于所述限位杆(44)上；

过滤袋(45)，所述过滤袋(45)等数量于所述圆口(42)设置，所述过滤袋(45)袋口端与所述圆口(42)连接；

固定盘(46)，所述固定盘(46)安装于所述过滤袋(45)袋底端；

安装螺柱(47)，所述安装螺柱(47)连接于所述固定盘(46)上，所述安装螺柱(47)通过滤袋安装单元(6)连接于所述顶安装座(43)上；

所述滤袋安装单元(6)包括：

滤袋安装座(61)，所述滤袋安装座(61)连接于所述顶安装座(43)底端；

出风箱放置槽，所述出风箱放置槽开设于所述滤袋安装座(61)底端；

出风箱(62)，所述出风箱(62)安装于所述出风箱放置槽内，所述出风箱(62)底端均匀开设有第二风孔；

剪叉式安装板(63)，所述剪叉式安装板(63)位于所述出风箱(62)下方；

锁紧孔(64)，所述锁紧孔(64)开设于所述剪叉式安装板(63)上，所述安装螺柱(47)穿设于所述锁紧孔(64)内，并通过锁紧螺母固定；

升降柱(65)，四个所述升降柱(65)一一对应安装于所述剪叉式安装板(63)各支脚上，所述升降柱(65)远离剪叉式安装板(63)端自所述出风箱(62)底端伸入其内；

第一弹簧(66)，所述第一弹簧(66)套设于所述升降柱(65)上，所述第一弹簧(66)抵设于所述出风箱(62)底端和剪叉式安装板(63)之间；

升降板(67)，所述升降板(67)横向安装于所述出风箱(62)内，所述升降柱(65)远离剪叉式安装板(63)端与所述升降板(67)连接，所述升降板(67)上均匀开设有第一风孔；

风板(68)，所述风板(68)横向安装于所述出风箱(62)内，所述风板(68)位于所述升降板(67)上方；

出风孔，多个所述出风孔开设于所述风板(68)上，所述出风孔内壁自下而上呈收口式设置；

堵块(69)，所述堵块(69)呈柱状设置，所述堵块(69)等数量于所述出风孔设置，所述堵块(69)安装于所述升降板(67)上，所述堵块(69)伸入所述出风孔内，并堵设所述出风孔设置；

出风泵，所述出风泵安装于所述上封头(14)上，所述出风泵出风端通过出风管路与各所述出风箱(62)连接；

所述滤袋安装单元(6)还包括：

横移槽(60)，四个所述横移槽(60)以所述出风箱放置槽为中心阵列分布于所述滤袋安装座(61)底端；

横移板(71)，每个所述横移槽(60)内滑动连接有所述横移板(71)；

限位滑条(72)，所述限位滑条(72)安装于所述横移槽(60)内，所述限位滑条(72)上开设有波浪状起落驱动槽；

起落杆(73)，所述起落杆(73)贴设于所述横移板(71)内端，所述起落杆(73)一端伸入所述横移槽(60)内，并抵设于所述起落驱动槽上；

横板(74)，每两个所述起落杆(73)的另一端连接有所述横板(74)；

纵移槽(75)，所述纵移槽(75)开设于所述横移板(71)内端；

纵移块(76)，所述纵移块(76)滑动连接于所述纵移槽(75)内；

第二弹簧，所述第二弹簧位于所述纵移槽(75)内，所述第二弹簧连接于所述纵移槽(75)内壁和纵移块(76)之间；

复位杆(77)，两个所述复位杆(77)对称穿设所述横板(74)设置；

夹板(78)，所述固定盘(46)位于并列设置的两个所述夹板(78)之间，所述复位杆(77)连接于所述夹板(78)上，所述夹板(78)呈凸字形设置，所述夹板(78)顶端位于所述剪叉式安装板(63)的支脚之间，所述固定盘(46)夹设于两个所述夹板(78)底端之间；

第三弹簧(83)，所述第三弹簧(83)套设于所述复位杆(77)上，所述第三弹簧(83)抵设于所述夹板(78)和横板(74)之间；

竖向齿条(79)，所述竖向齿条(79)安装与所述剪叉式安装板(63)上，所述竖向齿条(79)远离剪叉式安装板(63)端自所述出风箱(62)底端伸入其内；

齿轮安装架，所述齿轮安装架安装于所述出风箱(62)内底部；

转动齿轮(70)，所述转动齿轮(70)通过转轴安装于所述齿轮安装架上；所述转轴两端均伸出对向的所述出风箱(62)侧端设置，所述转动齿轮(70)与所述竖向齿条(79)啮合；

横移齿条(81)，每个所述横移板(71)上均安装有一所述横移齿条(81)；

驱动齿轮(82)，所述驱动齿轮(82)安装于所述转轴两端，每两个所述横移齿条(81)与所述驱动齿轮(82)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐，其特征在于，所述立式罐体(1)底端安装有行走轮。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐，其特征在于，所述进气口(11)与单晶炉连接，所述排气口(12)与真空泵连接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐，其特征在于，还包括：

电控箱(19)，所述电控箱(19)安装于所述立式罐体(1)表面，所述上孔放气单元(2)、下孔放气单元(3)以及过滤袋抖动单元(5)均与所述电控箱(19)连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐，其特征在于，所述下孔放气单元(3)包括：

下进气管，所述下进气管横向安装于所述下封头(15)上，所述下进气管远离下封头(15)端安装有盲板；

下放气管，所述下放气管安装于所述下进气管上；

下压力传感器，所述下压力传感器安装于所述下进气管上，所述下压力传感器用于检测所述立式罐体(1)内负压值；

下放气阀，所述下放气阀安装于所述下放气管远离下进气管端；

下调节阀，所述下调节阀安装于所述下放气管上。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐，其特征在于，所述上孔放气单元(2)包括：

上放气管，所述上放气管安装于所述上封头(14)上；

上压力传感器，所述上压力传感器安装于所述上放气管上；

上放气阀，所述上放气阀安装于所述上放气管远离上封头(14)端；

上调节阀，所述上调节阀安装于所述上放气管上。

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