CN115349884B - 一种具有温度检测功能的超声***及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有温度检测功能的超声***及其制作方法。该超声***包括基底、超声单元、温度单元和电极，其中，超声单元用于产生或接收超声波；温度单元用于检测超声作用部位的温度变化；超声单元和温度单元以预定的分布排列在基底上；电极用于将超声单元和温度单元的信号端引出基底。本发明的超声***在进行超声激励或接收的同时能够准确地检测超声作用部位的温度变化，从而减小超声波对身体的不良作用。而且该超声***具有良好的柔性，与超声作用部位具有较好的贴附性和声阻抗匹配，使用时不需要耦合剂等物质。

Description

一种具有温度检测功能的超声***及其制作方法

技术领域

本发明涉及超声检测技术领域，更具体地，涉及一种具有温度检测功能的超声***及其制作方法。

背景技术

超声波是指频率超过人耳听觉上限(20kHz)的声波。超声换能器是一种将电磁能转换成机械能(声能)、输出为超声波的器件或装置，可用于诊断、检验、测距等，在医学、工业、农业等领域具有广泛应用。在现有技术中，用于超声激励或接收的超声***，多为刚性超声换能器，需要使用耦合剂等物质来减小超声***与超声作用部位之间的空气干扰和声阻抗差。另外，在实施超声激励或接收过程中，超声作用部位会有温度的变化，通过对该温度变化的监测，可及时精准地获取当前超声作用效果，以减小超声波对身体的不良作用。然而，目前的超声***通常不具有温度检测功能，而且由于超声***与超声作用部位之间的耦合剂等物质，外部温度传感器或温度检测装置无法准确获得超声作用部位的温度变化。

在现有技术中，专利申请公布号CN114432604A(“一种角度可调节的穿戴式双通道传导装置、超声调控***及使用方法”)提供的方案为：穿戴式双通道传导装置包括纵向支架、横向支架、准直器以及两组超声调控机构，准直器的中空内腔由腔体分离片分隔成两个腔体，每一个腔体的顶部设有一组超声调控机构，每一组超声调控机构包括一个探头固定腔、一个超声探头以及两个长度可调连接杆，探头固定腔的外周通过柔性可拉伸机构密封连接在对应的腔体的顶部开口上；两个长度可调连接杆的底部对称固定在探头固定腔的顶部，两个长度可调连接杆的顶部分别滑动连接于横向支架上，横向支架的中部滑动连接在纵向支架的横梁上。该方案提出一种刚性的超声传导装置，其中超声调控***是基于超声传导装置和刚性超声探头的超声发生装置，不具备无温度检测等其他功能。

专利申请公布号CN114388687A(“一种超声调控人工神经突触的装置、制备和调控方法”)提供的方案为：人工神经突触仿生器件阵列、第一对叉指电极、第二对叉指电极和压电衬底；压电衬底位于底层，采用沿特定方向的切割处理后的压电单晶材料，特定方向是指压电单晶材料在沿该方向切割处理后，能在电场作用下产生水平剪切的声表面波的方向；人工神经突触仿生器件阵列位于压电衬底上表面中间区域，Y方向，阵列的长度不超过叉指电极；第一对叉指电极、第二对叉指电极分别位于压电衬底上表面、阵列左右两侧对称分布，第一对叉指电极和第二对叉指电极的材料相同并且尺寸相同。该方案利用超声实现对人工神经突触权重调控，然而所提供装置中的超声元件为压电单晶材料，且无温度检测等其他功能。

专利申请公布号CN114145769A(“可穿戴式健康监测设备及其柔性传感器及制作方法”)提供的方案是：柔性传感器包括柔性超声换能器，所述柔性超声换能器用于发射超声波，并基于用户反射的超声波，采集超声检测信号，所述超声检测信号用于确定超声影像信息；与所述柔性超声换能器相对固定的柔性电子层，所述柔性电子层背离所述柔性超声换能器的一侧表面用于和用户皮肤贴附，采集生理信号。所述柔性传感器可以通过柔性超声换能器采集超声检测信号，通过柔性电子层采集生理信号，可以实现基于多种诊断信息的健康监测方案。该方案所述传感器中的超声元件为刚性的压电陶瓷，且器件无温度检测功能。

综上，目前常见的用于超声激励或接收的超声***，通常采用刚性超声换能器，需要使用耦合剂等物质来减小超声***与超声作用部位之间的空气干扰和声阻抗差。而且已有的超声***功能单一，无法检测到超声作用部位的温度变化。

发明内容

本发明的目的是克服上述现有技术的缺陷，提供一种具有温度检测功能的超声***及其制作方法。

根据本发明的第一方面，提供一种具有温度检测功能的超声***。该超声***包括基底、超声单元、温度单元和电极，其中，超声单元用于产生或接收超声波；温度单元用于检测超声作用部位的温度变化；超声单元和温度单元以预定的分布排列在基底上；电极用于将超声单元和温度单元的信号端引出基底。

根据本发明的第二方面，提供一种具有温度检测功能的超声***的制作方法，包括以下步骤：

制备超声单元、温度单元、基底、电极和模具；

将所述超声单元、所述温度单元以预定的分布排列在模具的预定位置；

将基底材料注入模具中，并经由所述电极将所述超声单元和所述温度单元的信号端引出基底，进而所述超声单元通过基底材料与所述温度单元封装在一起。

与现有技术相比，本发明的优点在于，提出一种具有温度检测功能的超声***，在进行超声激励或接收的同时能够准确地检测超声作用部位的温度变化，而且该超声***具有良好的柔性，与超声作用部位具有较好的贴附性和声阻抗匹配，使用时不需要耦合剂等物质。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元分离交替排列结构的超声***示意图；

图2是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元分离交替排列结构的超声***作用于身体部位的示意图；

图3是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元分离交替排列结构的超声***的控制示意图；

图4是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元分离交替排列结构的超声***在超声调控信号周期内的信号示意图；

图5是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***示意图；

图6是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***用于身体部位的示意图；

图7是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***在异步工作模式下的控制示意图；

图8是根据本发明一个实施例的超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***在异步工作模式下超声调控信号周期内的信号示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

本发明提出一种具有温度检测功能的超声***，可以在不使用耦合剂等物质情况下与超声作用部位具有较好的贴附性和声阻抗匹配，而且在进行超声激励或接收的同时能较准确地检测超声作用部位的温度变化，进而通过对温度变化的监测，及时精准地获取超声作用效果，从而减小超声波对身体的不良作用。

结合图1所示，所提供的超声***总体上包括超声单元、温度单元、电极(导线)和基底。超声单元用于产生或接收超声波，超声单元可采用具有较好压电效应的压电驻极体、聚偏二氟乙烯(PVDF)及其共聚物、压电陶瓷等材料制备。温度单元用于检测超声作用部位的温度变化，可采用具有较好热释电效应的PVDF及其共聚物、压电陶瓷等材料制备。其中，压电驻极体是基于聚合物空间电荷驻极体的新型压电材料，具有较好的柔性和压电效应，且无热释电效应。PVDF及其共聚物是具有较好压电效应、热释电效应的柔性有机压电材料，有较低的声阻抗和机械阻抗。压电陶瓷是能够将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料，具有较好压电或热释电效应。

在所提供的超声***中，电极(导线)用于信号传输，电极可采用金、银、铝等金属电极或导线。基底用于将超声单元、温度单元、电极(导线)等封装成超声***，基底可采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)等柔性、对人体无害、易成型的材料。

为了协同控制温度信号和超声波信号的传输，超声单元和温度单元在基底上的排列结构可采用多种分布方式。例如，超声单元与温度单元采用分离交替排列结构，或者超声单元与温度单元采用上下相叠结构。

图1是超声单元与温度单元采用分离交替排列结构的超声***，其中单个或多个超声单元和温度单元分离交替排列于基底中，并通过电极(导线)将超声单元、温度单元上的信号端引出基底，以使超声单元发送或接收超声波。温度单元用于检测超声作用部位的温度变化。

对于超声单元与温度单元分离交替排列结构的超声***，其制作方法包括以下步骤：

步骤S11，制备获取一定尺寸、厚度的圆形、方形等形状的压电驻极体、PVDF及其共聚物薄膜、压电陶瓷。

例如，压电驻极体可以通过膨化、极化等处理后获得。PVDF及其共聚物可以通过相转化法、核径迹蚀刻法、无机膜烧结法、静电纺丝法等制备后获得。压电陶瓷可以通过热压法、溶液浇筑法、流延法、溶胶凝胶法等制备后获得，并将其制作成较小尺寸和厚度的刚性片状或柔性薄膜状的形状，使其不影响超声***的柔性。

步骤S12，将所制备的压电驻极体、PVDF及其共聚物薄膜、压电陶瓷的两面均镀上电极，作为信号端。

例如，镀金属电极的方法可采用磁控溅射、气相沉积等。

步骤S13，将镀电极后的压电驻极体、PVDF及其共聚物或压电陶瓷中的一种或多种复合后，作为超声单元；将镀电极后的PVDF及其共聚物或压电陶瓷中的一种或多种复合后，作为温度单元。

步骤S14，将多个超声单元和温度单元在模具中交替间隔一定距离排列成阵列，并且超声单元、温度单元与模具底面紧密接触不留缝，以使超声单元和温度单元中不被基底材料淹没的一面作为超声***与身体部位接触的一面；其中模具用于将超声单元和温度单元封装成该分离交替排列结构的超声***的载体。

步骤S15，通过导线或金属薄膜连接、镀电极等方式，将所有超声单元下层的信号端连接在一起并引出模具，将所有温度单元下层的信号端连接在一起并引出模具。

步骤S16，将基底材料继续注入模具中，使基底厚度达到不淹没超声单元、温度单元上层信号端的位置。

步骤S17，通过导线或金属薄膜连接、镀电极等方式，将所有超声单元上层的信号端连接在一起并引出模具，将所有温度单元上层的信号端连接在一起并引出模具。

步骤S18，将基底材料继续注入模具中，直至淹没超声单元和温度单元上层的信号端。

参见图2所示，对于超声单元与温度单元分离交替排列结构的超声***，将该***中和身体部位接触的一面与超声作用部位紧密贴敷，然后将该***的信号端通过导线与信号处理模块相连。

结合图3所示，在一个实施例中，信号处理模块包括控制信号子模块、超声激励子模块、超声接收子模块和温度检测子模块等。控制信号子模块用于生成超声调控信号，以控制其他子模块工作状态。超声激励子模块用于发送超声激励信号。超声接收子模块用于接收超声反馈信号。温度检测子模块用于采集温度变化信号。由于分离交替排列的超声单元和温度单元工作时相互不影响，两者的信号互不干扰，因此该超声***的超声发射、超声接收和温度检测可同时进行。

具体地，对于超声单元与温度单元分离交替排列结构的超声***，其工作过程参见图4所示：控制信号子模块生成一定频率和占空比的高低电平方波脉冲作为超声调控信号，以其上升沿或下降沿信号触发超声激励子模块、超声接收子模块的工作启停状态；温度检测模块不受超声调控信号影响，一直处于工作状态。其中，超声调控信号为高电平(或低电平)时，超声激励子模块输出超声激励信号，超声接收子模块停止采集超声反馈信号，以使该***中的超声单元发送超声波；超声调控信号为低电平(或高电平)时，超声激励子模块停止输出超声激励信号，超声接收子模块采集超声反馈信号，以使该***中的超声单元接收反馈回的超声波。在上述过程中，不管超声调控信号为高电平或低电平，温度检测子模块持续采集温度单元检测到的温度变化信号。超声调控信号的频率可与超声激励信号的频率对应。通过调整超声调控信号的占空比，可调节超声调控信号周期内超声激励子模块和超声接收子模块的工作时长。

图5是超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***示意图，其中超声单元和温度单元以上下相叠的方式复合成一体的传感单元(超声单元和温度单元不接触)，随后通过基底将以单一、并列、阵列等方式排列的传感单元封装成一体，并使用导线、金属薄膜、电极等将传感单元中超声单元和温度单元的信号端分别引出。

对于超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***，其制作方法包括以下步骤：

步骤S21，制备获取一定尺寸、厚度的圆形、方形等形状的压电驻极体、PVDF及其共聚物薄膜、压电陶瓷。

例如，压电驻极体可通过膨化、极化等处理后获得。PVDF及其共聚物可通过相转化法、核径迹蚀刻法、无机膜烧结法、静电纺丝法等方法制备后获得。压电陶瓷可通过热压法、溶液浇筑法、流延法、溶胶凝胶法等方法制备后获得，并将其制作成较小尺寸和厚度的刚性片状或柔性薄膜状的形状，使其不影响超声***的柔性。

步骤S22，将所制备的压电驻极体、PVDF及其共聚物薄膜或压电陶瓷的两面均镀上电极，作为信号端。

例如，镀电极的方法包括但不限于磁控溅射、气相沉积等。

步骤S23，将镀电极后的压电驻极体、PVDF及其共聚物或压电陶瓷中的一种或多种复合后，作为超声单元；将镀电极后的PVDF及其共聚物或压电陶瓷中的一种或多种复合后，作为温度单元。

步骤S24，将单个或多个温度单元以单一、并列、阵列等方式排列放置于模具中，并且温度单元与模具底面紧密接触不留缝，以使温度单元中不被基底材料淹没的一面作为超声***与身体部位接触的一面。

其中，所述模具为用于将超声单元和温度单元封装成该结构超声***的载体。

步骤S25，通过导线或金属薄膜连接、镀电极等方式，将所有温度单元下层的信号端连接在一起并引出模具。

步骤S26，将基底材料继续注入模具中，使基底厚度达到不淹没温度单元上层信号端的位置。

步骤S27，通过导线或金属薄膜连接、镀电极等方式，将所有温度单元上层信号端连接在一起并引出模具。

步骤S28，继续注入基底材料，使基体新增较小厚度且淹没温度单元上层信号端。

步骤S29，在温度单元上放置超声单元，使超声单元与温度单元上下相叠，重复步骤S25至S29，以使超声单元通过基底材料与温度单元封装在一起。

图6是超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***作用于身体部位的示意图。对于超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***，将该***中和身体部位接触的一面与超声作用部位紧密贴敷，然后将该***的信号端通过导线与信号处理模块相连。该信号处理模块包括控制信号子模块、超声激励子模块、超声接收子模块和温度检测子模块等，分别用于控制其他子模块工作状态、发送超声激励信号、接收超声反馈信号和采集温度变化信号。由于超声单元与温度单元上下相叠时，温度单元工作时会受到超声单元的影响。因此，该结构的超声***设有两种工作模式：同步工作模式和异步工作模式。

在同步工作模式下，超声***对应的信号处理模块工作方式和超声单元与温度单元分类交替排列结构的超声***的一样，即信号处理模块中的控制信号子模块生成一定频率和占空比的高低电平方波脉冲作为超声调控信号，以其上升沿或下降沿信号触发超声激励子模块、超声接收子模块的工作启停状态；温度检测模块不受超声调控信号影响，一直处于工作状态。然而，该结构的超声***中温度单元检测到的温度变化信号需要滤掉超声单元的超声干扰信号，才是真实的温度变化信号。

在异步工作模式时，超声***对应的信号处理模块中控制信号子模块生成一定频率的高中低方波脉冲作为超声调控信号，以其信号周期内上升沿、第一次下降沿或第二次下降沿信号触发超声激励子模块、超声接收子模块或温度检测子模块的工作启停状态。

图7是异步工作模式下信号处理模块的控制示意图。具体地，当超声调控信号为高电平时，超声激励子模块输出超声激励信号，超声接收子模块停止采集超声反馈信号，温度检测模块停止采集温度变化信号，以使该***中的超声单元发送超声波，温度单元不传输受到超声干扰的温度变化信号。当超声调控信号为中电平时，超声激励子模块停止输出超声激励信号，超声接收子模块采集超声反馈信号，温度检测模块停止采集温度变化信号，以使该***中的超声单元接收反馈回的超声波，温度单元不传输受到超声干扰的温度变化信号。当超声调控信号为低电平时，超声激励子模块停止输出超声激励信号，超声接收子模块停止采集超声反馈信号，温度检测模块采集温度变化信号，以使该***中的超声单元停止发送和接收接超声波，温度单元传输无干扰的温度变化信号。需要注意的是，超声调控信号周期内高、中、低电平状态对应其信号处理模块中超声激励子模块、超声接收子模块、温度检测子模块的工作状态顺序不唯一，可根据实际应用场景来确定。

图8是超声单元与温度单元上下相叠结构的超声***在异步工作模式下超声调控信号周期内的信号示意图。其中超声调控信号的频率可与超声激励信号的频率对应。通过调整超声调控信号中各电平的时长比例，可调节超声调控信号周期内信号处理模块中各子模块的工作时长。

综上所述，在现有技术中，用于超声激励或接收的超声***，通常是刚性超声换能器，并且缺乏温度检测功能。本发明提出一种具有温度检测功能的超声***，可以在不用使用耦合剂等物质情况下与超声作用部位具有较好的贴附性和声阻抗匹配，而且在进行超声激励或接收的同时能较准确地检测超声作用部位的温度变化。经过论证和预实验，本发明在实施超声激励或接收过程中，通过监测超声作用部位的温度变化，能够及时精准地获取当前的超声作用效果，从而减小超声波对身体的不良作用。

附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的***、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或指令的一部分，所述模块、程序段或指令的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的***来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。对于本领域技术人员来说公知的是，通过硬件方式实现、通过软件方式实现以及通过软件和硬件结合的方式实现都是等价的。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (6)

1.一种具有温度检测功能的超声***，包括：基底、多个超声单元、多个温度单元、信号处理模块、第一电极和第二电极，其中，超声单元用于产生或接收超声波；温度单元用于检测超声作用部位的温度变化；超声单元和温度单元以预定的分布排列在基底上；第一电极用于将所有超声单元的信号端引出基底并连接至信号处理模块，第二电极用于将所有温度单元的信号端引出基底并连接至信号处理模块；

其中，所述超声单元和所述温度单元的排列结构包括分离交替排列结构和上下相叠结构，对于分离交替排列结构，在所述基底的横向和纵向上，所述超声单元和对应的所述温度单元分离交替排列于所述基底；对于上下相叠结构，所述超声单元和对应的所述温度单元不接触，并以上下相叠的方式复合成一体的传感单元，通过所述基底将以单一、并列或阵列方式排列的传感单元封装成一体；

其中，所述信号处理模块包括控制信号子模块、超声激励子模块、超声接收子模块和温度检测子模块，其中，控制信号子模块用于产生超声调控信号以控制超声***的工作状态；超声激励子模块用于发送超声激励信号至所述超声单元；超声接收子模块用于接收来自于所述超声单元的超声反馈信号；温度检测子模块用于检测所述温度单元感测的温度变化信号；

其中，对于所述分离交替排列结构，所述超声调控信号为一定频率和占空比的高低电平方波脉冲，根据所述超声调控信号周期内上升沿或下降沿信号触发所述超声激励子模块、所述超声接收子模块的工作启停状态；并且，通过调整所述超声调控信号的占空比来控制所述超声激励子模块和所述超声接收子模块的工作时长，所述温度检测子模块不受该超声调控信号影响，一直处于工作状态；

其中，对于所述上下相叠结构，超声***的工作模式包括同步工作模式和异步工作模式，其中：

在同步工作模式下，所述超声调控信号为一定频率和占空比的高低电平方波脉冲，根据所述超声调控信号周期内上升沿或下降沿信号触发所述超声激励子模块和所述超声接收子模块的工作启停状态，且将所述温度检测子模块所检测到的温度变化信号滤掉超声干扰信号后作为超声作用部位真实的温度变化信号；

在异步工作模式下，所述超声调控信号控制所述超声激励子模块、所述超声接收子模块和所述温度检测子模块的工作状态，使超声发射、超声接收、温度检测依次进行，且所述温度检测子模块直接获取超声作用部位无干扰的温度变化信号。

2.根据权利要求1所述的具有温度检测功能的超声***，其特征在于，在所述异步工作模式下，所述超声调控信号为一定频率的高中低电平方波脉冲，根据所述超声调控信号周期内上升沿、第一次下降沿或第二次下降沿信号来触发所述超声激励子模块、所述超声接收子模块和所述温度检测子模块的工作启停状态；并且，所述超声调控信号周期内高中低电平状态对应所述超声激励子模块、所述超声接收子模块、所述温度检测子模块的工作状态顺序根据实际应用场景来确定；通过调整所述超声调控信号周期内高中低电平的时长比例来控制所述超声激励子模块、所述超声接收子模块和所述温度检测子模块的工作时长。

3.一种根据权利要求1或2所述的具有温度检测功能的超声***的制作方法，包括以下步骤：

制备超声单元、温度单元、基底、第一电极、第二电极和模具；

将所述超声单元、所述温度单元以预定的分布排列在模具的预定位置；

将基底材料注入模具中，并经由所述第一电极将所述超声单元的信号端引出基底，经由所述第二电极将所述温度单元的信号端引出基底，进而所述超声单元通过基底材料与所述温度单元封装在一起；

其中，所述超声单元和所述温度单元的排列结构包括分离交替排列结构和上下相叠结构，对于分离交替排列结构，在所述基底的横向和纵向上，所述超声单元和对应的所述温度单元分离交替排列于所述基底；对于上下相叠结构，所述超声单元和对应的所述温度单元不接触，并以上下相叠的方式复合成一体的传感单元，通过所述基底将以单一、并列或阵列方式排列的传感单元封装成一体。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述超声单元和所述温度单元的排列结构是分离交替排列结构，对应的制作方法包括以下步骤：

将多个超声单元和温度单元在模具中交替间隔一定距离排列成阵列，并且超声单元、温度单元与模具底面紧密接触，以使超声单元和温度单元中不被基底材料淹没的一面为超声***与身体部位接触的一面；

将基底材料铺满模具底面，基底厚度设置为未淹没超声单元、温度单元下层的信号端位置；

经由电极将所有超声单元下层的信号端连接在一起并引出模具，并将所有温度单元下层的信号端连接在一起并引出模具；

将基底材料继续注入模具中，使基底厚度设置为未淹没超声单元、温度单元上层信号端；

通过导线将所有超声单元上层的信号端连接在一起并引出模具，将所有温度单元上层的信号端连接在一起并引出模具；

将基底材料继续注入模具中，直至淹没超声单元和温度单元上层的信号端。

5.根据权利要求3所述的制作方法，其中，所述超声单元和所述温度单元的排列结构是上下相叠结构，对应的制作方法包括以下步骤：

将一个或多个温度单元以单一、并列或阵列排列放置于模具中，并且温度单元与模具底面紧密接触，以使温度单元不被基底材料淹没的一面为与身体部位接触的一面；

将基底材料铺满模具底面，基底厚度设置为未淹没温度单元下层信号端的位置；

经由电极将所有温度单元下层的信号端连接在一起并引出模具；

将基底材料继续注入模具中，使基底厚度设置为未淹没温度单元上层信号端的位置；

经由电极将所有温度单元上层的信号端连接在一起并引出模具；

继续注入基底材料，使基体新增较小厚度且淹没温度单元上层信号端；

在温度单元上放置超声单元，使超声单元与温度单元上下相叠，进而最终将超声单元通过基底材料与温度单元封装在一起。

6.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述超声单元采用的材料包括：压电驻极体、聚偏二氟乙烯PVDF及其共聚物和压电陶瓷；所述温度单元采用的材料包括聚偏二氟乙烯PVDF及其共聚物、压电陶瓷；所述基底采用的材料包括聚二甲基硅氧烷PDMS。