CN115228805B - 适用于导电环的自动清洁设备及清洁方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了适用于导电环的自动清洁设备及清洁方法，该自动清洁设备包括：清洁槽，其形成有清洁腔，其中清洁腔具有载架插装口和排废口；清洁件供应单元，其包括与清洁腔相连通的供应通道、清洁件；清洁单元，其包括位于清洁腔内并与供应通道相连通的衔接通道、与排废口相连通的排废通道、具有取放端部且绕着水平方向转动的清洁臂、驱动件。本发明通一方面实现清洁件自动进料、自动清洁导电环以及完成清洁后自动排出，自动化程度高；另一方面由清洁臂带动清洁件完成对导电环的多道清洁，操作简单，有效降低工人的劳动强度，清洁效率高，同时能够保证导电环在清洁过程中受力稳定，有效避免导电环损坏，延长零件使用寿命，降低报废率和生产成本。

Description

适用于导电环的自动清洁设备及清洁方法

技术领域

本发明具体涉及一种适用于导电环的自动清洁设备，同时还涉及一种适用于导电环的自动清洁方法。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片。进一步地，在晶圆上电镀一层导电金属层，并对导电金属层进行加工以制成导电线路。

目前，晶圆电镀设备大致可分为两种：一种是将晶圆垂直放入电镀槽的DIP法，另一种是将晶圆水平(横向)放入电镀槽的CUP法。在DIP法中，传统工艺是利用伯努利原理将晶圆吸附在晶圆载架上，然后通过机械手将晶圆载架垂直放入电镀槽中以进行电镀。在晶圆载架上通常会设置有导电环 (Contact Ring Seal，简称为CRS)，导电环能够将晶圆固定于晶圆载架上并确保密封性，同时导电环上还具有与晶圆相接触的高密度、多点电探头，使得晶圆载架上的晶圆在电镀工艺中可与外部电源相连，进而通过电镀液的分解可在其表面形成所需镀层。

然而，在实际电镀工艺过程中，由于导电环经过反复使用，其表面容易附着杂质，影响导电性，从而导致晶圆表面各区域电镀不均匀的现象，因此需要对导电环定期实施清洁，但是现有的针对导电环的清洁主要依赖人工清洁，存在以下问题：

1、人工清洁时，工人手持清洁件对导电环表面施加的清洁压力控制不稳定，由于导电环为环形薄壁零件，很容易在清洁中产生变形甚至损坏，零件报废率高，更换成本高；

2、对导电环环形端面实施单道清洁时，需要人工手持清洁件转动一圈，实施多道清洁时则需要人工手持清洁件转动多圈，工作量大，劳动强度高，且清洁效率低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种全新的适用于导电环的自动清洁设备。

同时，本发明还涉及一种适用于导电环的自动清洁方法。

为解决上述技术问题，本发明采取的技术方案如下：

一种适用于导电环的自动清洁设备，导电环为环形零件并固定在载架上，自动清洁设备包括：

清洁槽，其形成有与载架相匹配的清洁腔，其中清洁腔具有载架插装口和排废口；

清洁件供应单元，其包括与清洁腔相连通的供应通道、清洁件，其中供应通道能够逐个地将清洁件向清洁腔内送料；

清洁单元，其包括位于清洁腔内并与供应通道相连通的衔接通道、与排废口相连通的排废通道、具有取放端部且绕着水平方向转动的清洁臂、驱动件，其中取放端部至少有两个，且每个取放端部均能够与衔接通道或排废通道配合以自动取出或卸载清洁件，清洁时，导电环随载架插装至清洁腔，清洁件保持定位在取放端部，清洁臂转动以使得清洁件绕清洁臂的转动中心环形运动，且清洁件运动轨迹将导电环的环形端面清洁覆盖，同步完成多道清洁的清洁件由取放端部与排废通道衔接配合，并逐个的自排废口卸出。

优选地，清洁臂的转动中心与清洁腔中所定位的导电环的中心对齐设置。这样设置，便于每个取放端部上的清洁件运动轨迹精准覆盖导电环的环形端面。

优选地，清洁件包括清洁座、柔性清洁片，其中清洁座与取放端部配合以固定或脱离取放端部，且柔性清洁片能够贴合导电环的环形端面。

优选地，清洁臂通过枢轴转动设置在清洁槽的侧壁上，且清洁臂能够沿着枢轴长度方向调节柔性清洁片的形变，以改变柔性清洁片与导电环的环形端面之间形成的摩擦力。

具体的，清洁槽包括位于两侧的第一槽面板和第二槽面板、位于底部的底模、位于底模两端的端模，其中第一槽面板和第二槽面板、底模、端模构成清洁腔，其中清洁臂安装于第一槽面板的内壁，且第一槽面板相对第二槽面板相对靠拢或远离以调节柔性清洁片的形变。

优选地，清洁单元还包括与清洁腔连通的除尘部件，其中导电环清洁时，清洁腔呈负压状态。这样设置，确保清洁过程中清洁腔内的洁净，避免二次污染。

具体的，除尘部件包括形成在底模上且与清洁腔连通的止逆腔、与止逆腔相连通的负压管路、风机。当风机工作时，清洁腔和止逆腔内均形成有负压，气流依次经过清洁腔和止逆腔后自负压管路排出。有效防止吸出的杂质回流对导电环造成二次污染。

优选地，在端模的内壁上安装有导轮组件，其中载架自相对两侧贴合在导轮组件的轮面上并上下移动地插装于清洁槽中。这样设置，保证载架取放稳定，避免晃动冲击清洁槽造成设备的损坏。

优选地，在衔接通道的出口和排废通道的入口分别安装有接头部，其中接头部与取放端部对位配合，清洁件固定在取放端部，或者在自重下从排废口卸出。

优选地，取放端部有两个，且对应设置在清洁臂的两端，其中两个取放端部至清洁臂转动中心的距离相等。

优选地，供应通道自上而下呈蜿蜒状，且在供应通道的出口和衔接通道入口之间还设有阻隔部件，清洁件堆设在供应通道内，阻隔部件形成供料阀，且在取放端部与衔接通道的出口对齐配合时，阻隔部件逐个释放清洁件，并在自重下移动至取放端部。

优选地，排废口自上而下倾斜设置，衔接通道和排废口位于清洁槽同侧，且延伸方向相交设置。这样设置，当清洁臂的取放端部与排废通道对接时，清洁件能够在惯性作用下顺利进入排废通道并穿过排废口排出。

进一步的，在排废口的底部还设有辅助通道，其中辅助通道包括自排废口斜向下倾斜延伸的第一段、自第一段下端部竖直向下延伸的第二段、自第二段的下端部水平延伸的第三段，其中第一段、第二段、第三段中每相邻两段之间的衔接处呈圆弧状。这样设置，在排废时，能够保证使用过的清洁件在前两段快速下落以避免堆积，且在最后一段能够平缓滚出，减少冲击；同时，能够减少清洁件在下落过程中造成的冲击变形现象。

优选地，清洁件供应单元和清洁单元构成一清洁组，自动清洁设备包括两个清洁组，且两个清洁组关于清洁腔对称设置。

具体的，载架的两侧形成有对称设置的第一装载区和第二装载区，两个导电环分别安装于第一装载区和第二装载区，且两个导电环分别由对应的清洁组对环形端面进行清洁。

进一步的，驱动件包括与清洁臂同步连接的驱动轮、动力轮、同步带，其中两个清洁组的动力轮在清洁槽厚度方向上错位分布。这样设置，在组装过程中，保证清洁槽的侧面能够保持平整，以实现整个清洁槽扁平化，减小自动清洁设备的体积。

本发明的另一种技术方案是，一种适用于导电环的自动清洁方法，该清洁方法采用上述的自动清洁设备，且包括如下步骤：

S1、将清洁件自供应通道传输至衔接通道，同时位于供应通道中的清洁件自动向下补位；

S2、将装载有导电环的载架自载架插装口***清洁腔，且导电环的中心与清洁臂的转动中心对齐；

S3、驱动清洁臂绕转动中心转动，以使得取放端部能够与衔接通道配合，并取出清洁件，此时，清洁件所形成的清洁面贴合在导电环的环形端面上，并由清洁臂的转动，清洁件形成运动轨迹为环形，且将导电环的环形端面实施覆盖地清洁；

S4、清洁完成后，取放端部与排废通道配合，并卸载清洁件，此时，清洁件在自重下，依次从排废通道和排废口卸出。

此外，在S3中，取放端部有多个，其中每个取放端部至清洁臂的转动中心距离为转动半径，且在清洁臂的正向或/和反向转动下，实施导电环的环形端面多道清洁。

由于以上技术方案的实施，本发明与现有技术相比具有如下优点：

本发明一方面通过清洁臂的取放端部与衔接通道和排废通道的配合，实现清洁件自动进料、自动清洁导电环以及完成清洁后自动排出，自动化程度高；另一方面由清洁臂的转动带动清洁件完成对导电环的多道清洁，操作简单，有效降低工人的劳动强度，清洁效率高，同时能够保证导电环在清洁过程中受力稳定，有效避免导电环损坏，延长零件使用寿命，降低报废率和生产成本。

附图说明

图1为本发明采用的适用于导电环的自动清洁设备的立体结构示意图；

图2为图1的主视示意图（未显示壳体）；

图3为图2的后视示意图；

图4为图2的左视示意图；

图5为图4中A-A向剖视示意图；

图6为图4中B-B向剖视示意图；

图7为本发明的载架和导电环的安装示意图；

图8为本发明的清洁件的结构示意图；

其中：J、载架；H、导电环；

1、清洁槽；11、第一槽面板；12、第二槽面板；g、伸缩气缸；13、底模；14、端模；d、导轮；15、壳体；q、清洁腔；k1、载架插装口；k2、排废口；t、辅助通道；t1、第一段；t2、第二段；t3、第三段；

2、清洁件供应单元；20、供应通道；z、阻隔部件；21、清洁件；210、清洁座；211、柔性清洁片；

3、清洁单元；30、衔接通道；31、排废通道；a、接头部；32、清洁臂；b、取放端部；33、驱动件；330、驱动轮；331、动力轮；332、同步带；333、张力调节器；34、除尘部件；340、止逆腔；341、负压管路。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1至图8所示，本实施例的载架J的两侧形成有对称设置的第一装载区和第二装载区，导电环H为环形薄壁零件，且两个导电环H分别安装于第一装载区和第二装载区，本实施例所涉及的适用于导电环的自动清洁设备能够针对一个载架J上的两个导电环H同步实施环形端面清洁处理。

具体的，自动清洁设备包括清洁槽1、清洁件供应单元2、清洁单元3。

本例中，清洁槽1包括位于两侧的第一槽面板11和第二槽面板12、位于底部的底模13、位于底模13两端的端模14、壳体15，其中第一槽面板11和第二槽面板12、底模13、端模14之间构成与载架J相匹配的清洁腔q，清洁腔q具有位于顶部的载架插装口k1和位于底部并自上而下倾斜设置的排废口k2，载架J通过机械手自上而下放入清洁腔q或自下而上取出清洁腔q。

具体的，第一槽面板11和第二槽面板12之间设有多个伸缩气缸g，通过伸缩气缸g的伸缩运动实现第一槽面板11相对第二槽面板12相对靠拢或远离运动。

具体的，为了方便载架J进出清洁腔q，在两侧端模14的内壁上分别安装有导轮组件，其中载架J自相对两侧贴合在导轮组件的轮面上并上下移动地插装于清洁槽1中。导轮组件包括多个导轮d，且多个导轮d自载架插装口k1向下间隔分布，插装载架时，两侧的多个导轮d沿着载架J的对应侧边滚动。这样设置，保证载架取放稳定，避免晃动冲击清洁槽造成设备的损坏。

具体的，壳体15围设在第一槽面板11和第二槽面板12、底模13、端模14的四周。

本例中，在排废口k2的底部还设有辅助通道t，其中辅助通道t包括自排废口斜向下倾斜延伸的第一段t1、自第一段t1下端部竖直向下延伸的第二段t2、自第二段t2的下端部水平延伸的第三段t3，其中第一段t1、第二段t2、第三段t3中每相邻两段之间的衔接处呈圆弧状。这样设置，在排废时，能够保证使用过的清洁件在前两段快速下落以避免堆积，且在最后一段能够平缓滚出，减少冲击；同时，能够减少清洁件在下落过程中造成的冲击变形现象。

本例中，清洁件供应单元2和清洁单元3构成一清洁组，本实施例的自动清洁设备包括两个清洁组，且两个清洁组关于清洁腔q对称设置，两个导电环H分别由对应的清洁组对环形端面进行清洁。

接下来，以其中一个清洁组为例进行描述，则另一清洁组的结构也是清楚的。

本例中，清洁件供应单元2包括与清洁腔q相连通的供应通道20、清洁件21，其中供应通道20能够逐个地将清洁件21向清洁腔q内送料；清洁单元3包括位于清洁腔q内并与供应通道20相连通的衔接通道30、与排废口k2相连通的排废通道31、具有取放端部b且绕着水平方向转动的清洁臂32、驱动件33，其中取放端部b有两个，且每个取放端部b均能够与衔接通道30或排废通道31配合以自动取出或卸载清洁件21，清洁时，导电环H随载架J插装至清洁腔q，清洁件21保持定位在取放端部b，清洁臂32转动以使得清洁件21绕清洁臂32的转动中心环形运动，且清洁件21运动轨迹将导电环H的环形端面清洁覆盖，同步完成多道清洁的清洁件21由取放端部b与排废通道31衔接配合，并逐个的自排废口卸出。

具体的，供应通道20自上而下呈蜿蜒状，且在供应通道20的出口和衔接通道30的入口之间还设有阻隔部件z，清洁件21堆设在供应通道20内，阻隔部件z形成供料阀，且在取放端部b与衔接通道30的出口对齐配合时，阻隔部件z逐个释放清洁件21，并在自重下移动至取放端部b。在一些具体实施方式中，阻隔部件z采用上下间隔设置的两个气缸件，通过两个气缸件输出轴的伸缩配合实现阻隔或释放清洁件。

清洁件21包括清洁座210、柔性清洁片211，其中清洁座210与取放端部b配合以固定或脱离取放端部b，且柔性清洁片211能够贴合导电环H的环形端面。在一些具体实施方式中，柔性清洁片211选用海绵。

排废口k2自上而下倾斜设置，衔接通道30和排废口k2位于清洁槽1的同侧，且延伸方向相交设置。这样设置，当清洁臂的取放端部与排废通道对接时，清洁件能够在惯性作用下顺利进入排废通道并穿过排废口排出。

为了进一步方便实施，在衔接通道30的出口和排废通道31的入口还分别安装有接头部a，其中接头部a与取放端部b对位配合，清洁件21固定在取放端部b，或者在自重下从排废口k2卸出。在一些具体实施方式中，取放端部b接取并固定清洁件21的方式为弹性装夹，接头部a为气缸件，当取放端部b与衔接通道30的出口对接时，对应的接头部a顶推并打开取放端部b，清洁件21落在取放端部b上，然后对应的接头部a复位，取放端部b自动夹紧并固定清洁件21；当取放端部b与排废通道31的入口对接时，对应的接头部a打开取放端部b，清洁件21在自重作用下滚落。

清洁臂32为长直臂，且清洁臂32自中部通过枢轴转动设置在第一槽面板11的内壁上，其中清洁臂32的转动中心与清洁腔中所定位的导电环H的中心对齐设置；取放端部b有两个，且对应设置在清洁臂32的两端，其中两个取放端部b至清洁臂32转动中心的距离均为转动半径，且两者的转动半径相等。这样设置，便于每个取放端部上的清洁件运动轨迹精准覆盖导电环的环形端面。

也就是说，在第一槽面板11相对第二槽面板12相对靠拢或远离运动中，清洁臂32同步运动以沿着枢轴长度方向调节柔性清洁片211挤压导电环H所产生的形变，从而改变柔性清洁片211与导电环H的环形端面之间形成的摩擦力。

驱动件33包括与清洁臂32同步连接的驱动轮330、动力轮331、同步带332、用于调节同步带332表面张力的张力调节器333，其中两个清洁组的动力轮331在清洁槽1厚度方向上错位分布。这样设置，在组装过程中，保证清洁槽的侧面能够保持平整，以实现整个清洁槽扁平化，减小自动清洁设备的体积。

同时，驱动轮330的轮盘表面上还设有用于标识的指针。这样设置，方便指示驱动轮处于正常工作状态。

此外，清洁单元3还包括与清洁腔q连通的除尘部件34，其中导电环H清洁时，清洁腔q呈负压状态。这样设置，确保清洁过程中清洁腔内的洁净，避免二次污染。

具体的，除尘部件34包括形成在底模13上且与清洁腔q连通的止逆腔340、与止逆腔340相连通的负压管路341、与负压管路341的外接端部相连接的风机（图中未显示，但不难想到）。当风机工作时，清洁腔和止逆腔内均形成有负压，气流依次经过清洁腔和止逆腔后自负压管路排出。有效防止吸出的杂质回流对导电环造成二次污染。

需要特别说明的是，两组清洁组共用一组除尘部件34。

综上，本实施例的自动清洁方法包括如下步骤：

S1、将清洁件21自供应通道20传输至衔接通道30，同时位于供应通道20中的清洁件21自动向下补位；

S2、将装载有导电环H的载架J自载架插装口k1***清洁腔q，且导电环H的中心与清洁臂32的转动中心对齐；

S3、驱动清洁臂32绕转动中心转动，以使得取放端部b能够与衔接通道30配合，并取出清洁件21，此时，清洁件21所形成的清洁面贴合在导电环H的环形端面上，并由清洁臂32的转动，清洁件21形成运动轨迹为环形，其中每个取放端部b上所抓取的清洁件21后自当前位置绕着导电环H周向顺时针转动1圈，逆时针转动0.5圈，以对导电环H的环形端面实施覆盖地清洁；

S4、清洁完成后，取放端部b与排废通道31配合，并卸载清洁件21，此时，清洁件21在自重下，依次从排废通道31和排废口k2卸出。

综上，本实施例具有以下优势：

1、通过清洁臂的取放端部与衔接通道和排废通道的配合，实现清洁件自动进料、自动清洁导电环以及完成清洁后自动排出，自动化程度高；

2、由清洁臂的转动带动清洁件完成对导电环的多道清洁，操作简单，有效降低工人的劳动强度，清洁效率高；

3、能够保证导电环在清洁过程中受力稳定，有效避免导电环损坏，延长零件使用寿命，降低报废率和生产成本；

4、在排废时，能够保证使用过的清洁件在前两段快速下落以避免堆积，且在最后一段能够平缓滚出，减少冲击，同时能够减少清洁件在下落过程中造成的冲击变形现象；

5、通过设置除尘部件，保证清洁腔内干净无杂，且有效防止吸出的杂质回流对导电环造成二次污染；

6、能够根据实际需求，通过两块槽面板之间相互靠近或远离，灵活调节清洁件对于导电环表面的清洁压力。

以上对本发明做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (18)

1.一种适用于导电环的自动清洁设备，导电环为环形零件并固定在载架上，其特征在于，所述自动清洁设备包括：

清洁槽，其形成有与所述载架相匹配的清洁腔，其中所述清洁腔具有载架插装口和排废口；

清洁件供应单元，其包括与所述清洁腔相连通的供应通道、清洁件，其中所述供应通道能够逐个地将所述清洁件向所述清洁腔内送料；

清洁单元，其包括位于所述清洁腔内并与所述供应通道相连通的衔接通道、与所述排废口相连通的排废通道、具有取放端部且绕着水平方向转动的清洁臂、驱动件，其中所述取放端部至少有两个，且每个所述取放端部均能够与所述衔接通道或所述排废通道配合以自动取出或卸载所述清洁件，清洁时，所述导电环随所述载架插装至所述清洁腔，所述清洁件保持定位在所述取放端部，所述清洁臂转动以使得所述清洁件绕所述清洁臂的转动中心环形运动，且所述清洁件运动轨迹将所述导电环的环形端面清洁覆盖，同步完成多道清洁的所述清洁件由所述取放端部与所述排废通道衔接配合，并逐个的自所述排废口卸出。

2.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述清洁臂的转动中心与所述清洁腔中所定位的所述导电环的中心对齐设置。

3.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述清洁件包括清洁座、柔性清洁片，其中所述清洁座与所述取放端部配合以固定或脱离所述取放端部，且所述柔性清洁片能够贴合所述导电环的环形端面。

4.根据权利要求3所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述清洁臂通过枢轴转动设置在所述清洁槽的侧壁上，且所述清洁臂能够沿着所述枢轴长度方向调节所述柔性清洁片的形变，以改变所述柔性清洁片与所述导电环的环形端面之间形成的摩擦力。

5.根据权利要求4所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述的清洁槽包括位于两侧的第一槽面板和第二槽面板、位于底部的底模、位于所述底模两端的端模，其中所述第一槽面板和第二槽面板、底模、端模构成所述的清洁腔，其中所述清洁臂安装于所述第一槽面板的内壁，且所述第一槽面板相对所述第二槽面板相对靠拢或远离以调节所述柔性清洁片的形变。

6.根据权利要求5所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述清洁单元还包括与所述清洁腔连通的除尘部件，其中导电环清洁时，所述清洁腔呈负压状态。

7.根据权利要求6所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述的除尘部件包括形成在所述底模上且与所述清洁腔连通的止逆腔、与所述止逆腔相连通的负压管路、风机。

8.根据权利要求5所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：在所述端模的内壁上安装有导轮组件，其中所述载架自相对两侧贴合在所述导轮组件的轮面上并上下移动地插装于所述清洁槽中。

9.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：在所述衔接通道的出口和所述排废通道的入口分别安装有接头部，其中所述接头部与所述取放端部对位配合，所述清洁件固定在所述取放端部，或者在自重下从所述排废口卸出。

10.根据权利要求9所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述取放端部有两个，且对应设置在所述清洁臂的两端，其中两个取放端部至所述清洁臂转动中心的距离相等。

11.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述供应通道自上而下呈蜿蜒状，且在所述供应通道的出口和所述衔接通道入口之间还设有阻隔部件，所述清洁件堆设在所述供应通道内，所述阻隔部件形成供料阀，且在所述取放端部与所述衔接通道的出口对齐配合时，所述阻隔部件逐个释放所述清洁件，并在自重下移动至所述取放端部。

12.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述的排废口自上而下倾斜设置，所述衔接通道和所述排废口位于所述清洁槽同侧，且延伸方向相交设置。

13.根据权利要求6所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：在所述排废口的底部还设有辅助通道，其中所述辅助通道包括自所述排废口斜向下倾斜延伸的第一段、自所述第一段下端部竖直向下延伸的第二段、自所述第二段的下端部水平延伸的第三段，其中所述第一段、所述第二段、所述第三段中每相邻两段之间的衔接处呈圆弧状。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述清洁件供应单元和所述清洁单元构成一清洁组，所述自动清洁设备包括两个所述清洁组，且两个所述清洁组关于所述清洁腔对称设置。

15.根据权利要求14所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述载架的两侧形成有对称设置的第一装载区和第二装载区，两个所述导电环分别安装于所述第一装载区和第二装载区，且两个所述导电环分别由对应的所述清洁组对环形端面进行清洁。

16.根据权利要求15所述的适用于导电环的自动清洁设备，其特征在于：所述驱动件包括与所述清洁臂同步连接的驱动轮、动力轮、同步带，其中两个所述清洁组的所述动力轮在所述清洁槽厚度方向上错位分布。

17.一种适用于导电环的自动清洁方法，其特征在于：该清洁方法采用权利要求1至16中任一项所述自动清洁设备，且包括如下步骤：

S1、将清洁件自供应通道传输至衔接通道，同时位于供应通道中的清洁件自动向下补位；

S2、将装载有导电环的载架自载架插装口***清洁腔，且导电环的中心与清洁臂的转动中心对齐；

S3、驱动清洁臂绕转动中心转动，以使得取放端部能够与衔接通道配合，并取出清洁件，此时，清洁件所形成的清洁面贴合在导电环的环形端面上，并由清洁臂的转动，所述清洁件形成运动轨迹为环形，且将导电环的环形端面实施覆盖地清洁；

S4、清洁完成后，取放端部与排废通道配合，并卸载清洁件，此时，清洁件在自重下，依次从排废通道和排废口卸出。

18.根据权利要求17所述的适用于导电环的自动清洁方法，其特征在于：在S3中，所述取放端部有多个，其中每个所述取放端部至所述清洁臂的转动中心距离为转动半径，且在所述清洁臂的正向或/和反向转动下，实施导电环的环形端面多道清洁。

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