CN115216370A - 用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法 - Google Patents

用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法 Download PDF

Info

Publication number
CN115216370A
CN115216370A CN202210793379.0A CN202210793379A CN115216370A CN 115216370 A CN115216370 A CN 115216370A CN 202210793379 A CN202210793379 A CN 202210793379A CN 115216370 A CN115216370 A CN 115216370A
Authority
CN
China
Prior art keywords
degumming
soaking
degumming solution
silicon
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210793379.0A
Other languages
English (en)
Inventor
黄叶飞
齐云卫
李军峰
杨国农
林宽
刘丁源
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hohhot Outong Energy Technology Co ltd
Original Assignee
Hohhot Outong Energy Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hohhot Outong Energy Technology Co ltd filed Critical Hohhot Outong Energy Technology Co ltd
Priority to CN202210793379.0A priority Critical patent/CN115216370A/zh
Publication of CN115216370A publication Critical patent/CN115216370A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D1/00—Detergent compositions based essentially on surface-active compounds; Use of these compounds as a detergent
    • C11D1/66—Non-ionic compounds
    • C11D1/72—Ethers of polyoxyalkylene glycols
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/102—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration with means for agitating the liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D1/00—Detergent compositions based essentially on surface-active compounds; Use of these compounds as a detergent
    • C11D1/38—Cationic compounds
    • C11D1/62—Quaternary ammonium compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/16—Organic compounds
    • C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
    • C11D3/2003—Alcohols; Phenols
    • C11D3/2006—Monohydric alcohols
    • C11D3/201—Monohydric alcohols linear
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/16—Organic compounds
    • C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
    • C11D3/2075—Carboxylic acids-salts thereof
    • C11D3/2079—Monocarboxylic acids-salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
    • C11D2111/10—Objects to be cleaned
    • C11D2111/14—Hard surfaces
    • C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Emergency Medicine (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法，脱胶液包括2‑5％的表面活性剂、0.2‑3％的低碳醇、0.3‑2％的醋酸，其余为水；使用方法包括：(1)浸泡；(2)加热保温。有益效果：使用本发明公开的脱胶液渗透快，粘结剂与硅料分离彻底，脱胶速度快，无需靠人工手工剥离，节省了人工成本，同时减少了人工剥离操作间，节约了大量的建筑空间；对环境友好，无污染，同时无需进行精馏、废水处理等工艺，节省了企业回收硅料厚片的成本。

Description

用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法
技术领域：
本发明专利属于硅晶片脱胶技术领域，具体涉及一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法。
背景技术：
光伏太阳能行业作为一种绿色无污染的新能源产业，近年来发展迅猛。现有技术中，在切割硅晶圆前，通常需要将两段硅晶圆柱(硅锭)由高强粘结剂连接后再进行切割，在切割时，粘接剂两端的硅料厚片无法再进行切割，因此产生大量由高强粘结剂粘接的硅晶圆夹心厚片(高强粘结剂两侧的硅料的厚度均为5cm)，这种硅晶圆夹心厚片的硅料属于可再利用的硅料，然而，硅晶圆夹心厚片中的高强粘结剂很难与硅料厚片分离，进而造成一定的硅料浪费。
为了将硅晶圆夹心厚片中的硅料厚片进行再利用，需将其中的高强粘结剂进行脱除，目前所使用的高强粘结剂一般为双组分环氧粘结剂，针对上述高强粘结剂的脱除方法主要有以下几种：(1)采用先热水软化再人工手工剥离，但是生产过程冗长，同时需要大量的人力资源；(2)采用电炉高温碳化后再人工剥离，即在高温状态时将粘结剂中的高分子有机物进行分解和碳化的过程，然后将碳化后的残渣从硅料厚片上剥离，会造成很大的环境污染；(3)有机溶剂溶解法是将需要剥离的夹心厚片侵泡在苯、丙酮、乙酸乙酯或者其他溶剂中，使“高强粘结剂”部分或全部溶剂于溶液之中，实现剥离的目的；但是，依然需要将硅料厚片上残留的粘结剂通过人工剥离或擦拭的方式去除，同时还会有大量的废溶剂产生，需要后期经过精馏等工艺过程进行回收，但是并不能完全回收，依然有废水产生需要进行处理，增加了企业处理成本。
发明内容：
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法，本发明提供的脱胶液渗透快，脱胶速度；本发明提供的使用方法，过程简单，无需手工剥离粘结剂，大大降低生产成本，改善现有工作环境，节约大量劳动力手工作业。
本发明的技术方案一方面公开了一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，按照质量百分比由以下原料组成：2-5％的表面活性剂、0.2-3％的低碳醇、0.3-2％的醋酸，其余为水。
进一步的，所述表面活性剂为非离子型表面活性剂。
进一步的，所述非离子型表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷基酰胺和多元醇型中的至少一种。
进一步的，所述表面活性剂为季铵盐。
进一步的，所述低碳醇为乙二醇、甲醇、乙醇、正丙醇和正丁醇中的至少一种。
进一步的，制备所述脱胶液的方法：将所述表面活性剂、所述低碳醇、所述醋酸和所述水置于混合罐中进行搅拌混合，搅拌速度为180-350rmp，搅拌时间为0.5-1h，搅拌环境温度为5-40℃。
本发明的技术方案另一方面公开了一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其包括以下步骤：(1)浸泡；(2)加热保温；
(1)浸泡：将所述脱胶液加入到浸泡槽中，接着将硅晶圆夹心厚片浸泡在所述脱胶液中，所述脱胶液的液面没过所述硅晶圆夹心厚片；
(2)加热保温：对步骤(1)中的所述浸泡槽进行加热，使得脱胶液的温度为40-120℃，并在该温度下保温0.5-20小时，完成硅料厚片和粘结剂的分离。
进一步的，步骤(2)中的加热方式可以为水浴、油浴、盐浴、电加热或夹套式蒸汽加热。
进一步的，步骤(1)中的所述浸泡槽为密闭压力容器，浸泡压力为5～15MPa。
进一步的，步骤(2)中还包括：在加热保温的过程中，对所述浸泡槽中浸泡有所述硅晶圆夹心厚片的所述脱胶液进行搅拌或者超声振动；其中搅拌的速度为120-230rmp，超声波的频率20～90KHz。
本发明的优点：
1、使用本发明公开的脱胶液为添加了表面活性剂、低碳醇和醋酸的水性脱胶液，渗透快，粘结剂与硅料分离彻底，脱胶速度快，无需靠人工手工剥离，节省了人工成本，同时减少了人工剥离操作间，节约了大量的建筑空间；
2、使用本发明公开的脱胶液脱除粘结剂，脱胶液只是降低了粘结剂与硅料厚片之间界面的范德华力，并没有溶解粘结剂，因此浸泡槽中的脱胶液可重复使用，只需定期补充新脱胶液，并没有废液产生，对环境友好，无污染，同时无需进行精馏、废水处理等工艺，节省了企业回收硅料厚片的成本。
3、本发明的脱胶液的使用方法过程简单，只需将硅晶圆夹心厚片完全侵泡于该脱胶液中加热保温一定时间，无需人员看管，减少了大量劳动力，进而减少了企业的人工成本。
附图说明：
图1为浸泡后的硅料厚片的图像；其中(a)为对比例1浸泡后的硅料厚片形貌，(b)为实施例5浸泡后的硅料厚片形貌，(c)为实施例5浸泡后的粘结剂形貌，(d)为实施例9浸泡后的硅料厚片形貌。
具体实施方式：
下面通过实施例对本发明作进一步的详细说明。
实施例1：一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，按照质量百分比由以下原料组成：2.5％的表面活性剂、1.6％的低碳醇、1.2％的醋酸，其余为水。
所述表面活性剂为非离子型表面活性剂，所述非离子型表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚；所述低碳醇为乙醇。
其中表面活性剂能显著降低水的表面张力，使得脱胶液更易渗入硅料厚片与粘结剂之间的界面，同时表面活性剂的亲油端更好的渗透进入粘结剂中，进而打断粘结剂与硅料厚片之间的分子力，使得硅料厚片与粘结剂分离。
醋酸具有强渗透力，在醋酸的强渗透力的作用下，携带表面活性剂快速充入硅料厚片与粘结剂之间。
低碳醇提高表面活性剂在水中的溶解，同时也提供脱胶液的渗透性。
制备所述脱胶液的方法：将所述表面活性剂、所述低碳醇、所述醋酸和所述水置于混合罐中进行搅拌混合，搅拌速度为180-350rmp，搅拌时间为0.5-1h，搅拌环境温度为5-40℃。
实施例2：一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，按照质量百分比由以下原料组成：2％的表面活性剂、0.2％的低碳醇、0.3％的醋酸，其余为水。
所述表面活性剂为非离子型表面活性剂，所述非离子型表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚；所述低碳醇为乙醇。
其中表面活性剂能显著降低水的表面张力，使得脱胶液更易渗入硅料厚片与粘结剂之间的界面，同时表面活性剂的亲油端更好的渗透进入粘结剂中，进而打断粘结剂与硅料厚片之间的分子力，使得硅料厚片与粘结剂分离。
醋酸具有强渗透力，在醋酸的强渗透力的作用下，携带表面活性剂快速充入硅料厚片与粘结剂之间。
低碳醇提高表面活性剂在水中的溶解，同时也提供脱胶液的渗透性。
制备所述脱胶液的方法：将所述表面活性剂、所述低碳醇、所述醋酸和所述水置于混合罐中进行搅拌混合，搅拌速度为180-350rmp，搅拌时间为0.5-1h，搅拌环境温度为5-40℃。
实施例3：一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，按照质量百分比由以下原料组成：2％的表面活性剂、0.2％的低碳醇、0.3％的醋酸，其余为水。
所述表面活性剂为非离子型表面活性剂，所述非离子型表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚；所述低碳醇为乙醇。
其中表面活性剂能显著降低水的表面张力，使得脱胶液更易渗入硅料厚片与粘结剂之间的界面，同时表面活性剂的亲油端更好的渗透进入粘结剂中，进而打断粘结剂与硅料厚片之间的分子力，使得硅料厚片与粘结剂分离。
醋酸具有强渗透力，在醋酸的强渗透力的作用下，携带表面活性剂快速充入硅料厚片与粘结剂之间。
低碳醇提高表面活性剂在水中的溶解，同时也提供脱胶液的渗透性。
制备所述脱胶液的方法：将所述表面活性剂、所述低碳醇、所述醋酸和所述水置于混合罐中进行搅拌混合，搅拌速度为180-350rmp，搅拌时间为0.5-1h，搅拌环境温度为5-40℃。
实施例4：整体与实施例1相同，不同之处在于，所述表面活性剂为季铵盐。
实施例5：实施例1中用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其包括以下步骤：(1)浸泡；(2)加热保温；
(1)浸泡：将所述脱胶液加入到浸泡槽中，所述浸泡槽为密闭压力容器，接着将80kg的硅料厚度为5cm，粘结剂厚度为2mm的硅晶圆夹心厚片浸泡在所述脱胶液中，所述脱胶液的液面没过所述硅晶圆夹心厚片，浸泡压力为5～15MPa，使脱胶液更好的渗透入硅料厚片与粘结剂之间的界面。
(2)加热保温：对步骤(1)中的所述浸泡槽进行加热，加热方式为水浴，使得脱胶液的温度为80℃，并在该温度下保温10小时，完成硅料厚片和粘结剂的分离。
在加热保温的过程中，对所述浸泡槽中浸泡有所述硅晶圆夹心厚片的所述脱胶液进行搅拌，搅拌的速度为120-230rmp，加快粘结剂从硅料厚片上脱离的速度。
本发明的脱胶液的使用方法过程简单，只需将硅晶圆夹心厚片完全侵泡于该脱胶液中加热保温一定时间，无需人员看管，减少了大量劳动力，进而减少了企业的人工成本。
实施例6：实施例1中用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其包括以下步骤：(1)浸泡；(2)加热保温；
(1)浸泡：将所述脱胶液加入到浸泡槽中，所述浸泡槽为密闭压力容器，接着将80kg的硅料厚度为5cm，粘结剂厚度为2mm的硅晶圆夹心厚片浸泡在所述脱胶液中，所述脱胶液的液面没过所述硅晶圆夹心厚片，浸泡压力为5～15MPa，使脱胶液更好的渗透入硅料厚片与粘结剂之间的界面。
(2)加热保温：对步骤(1)中的所述浸泡槽进行加热，加热方式为水浴，使得脱胶液的温度为40℃，并在该温度下保温20小时，完成硅料厚片和粘结剂的分离。
在加热保温的过程中，对所述浸泡槽中浸泡有所述硅晶圆夹心厚片的所述脱胶液进行搅拌，搅拌的速度为120-230rmp，加快粘结剂从硅料厚片上脱离的速度。
本发明的脱胶液的使用方法过程简单，只需将硅晶圆夹心厚片完全侵泡于该脱胶液中加热保温一定时间，无需人员看管，减少了大量劳动力，进而减少了企业的人工成本。
实施例7：实施例1中用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其包括以下步骤：(1)浸泡；(2)加热保温；
(1)浸泡：将所述脱胶液加入到浸泡槽中，所述浸泡槽为密闭压力容器，接着将80kg的硅料厚度为5cm，粘结剂厚度为2mm的硅晶圆夹心厚片浸泡在所述脱胶液中，所述脱胶液的液面没过所述硅晶圆夹心厚片，浸泡压力为5～15MPa，使脱胶液更好的渗透入硅料厚片与粘结剂之间的界面。
(2)加热保温：对步骤(1)中的所述浸泡槽进行加热，加热方式为水浴，使得脱胶液的温度为120℃，并在该温度下保温0.5小时，完成硅料厚片和粘结剂的分离。
在加热保温的过程中，对所述浸泡槽中浸泡有所述硅晶圆夹心厚片的所述脱胶液进行搅拌，搅拌的速度为120-230rmp，加快粘结剂从硅料厚片上脱离的速度。
本发明的脱胶液的使用方法过程简单，只需将硅晶圆夹心厚片完全侵泡于该脱胶液中加热保温一定时间，无需人员看管，减少了大量劳动力，进而减少了企业的人工成本。
实施例8：实施例4中用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其包括以下步骤：(1)浸泡；(2)加热保温；
(1)浸泡：将所述脱胶液加入到浸泡槽中，所述浸泡槽为密闭压力容器，接着将80kg的硅料厚度为5cm，粘结剂厚度为2mm的硅晶圆夹心厚片浸泡在所述脱胶液中，所述脱胶液的液面没过所述硅晶圆夹心厚片，浸泡压力为5～15MPa，使脱胶液更好的渗透入硅料厚片与粘结剂之间的界面。
(2)加热保温：对步骤(1)中的所述浸泡槽进行加热，加热方式为水浴，使得脱胶液的温度为80℃，并在该温度下保温10小时，完成硅料厚片和粘结剂的分离。
在加热保温的过程中，对所述浸泡槽中浸泡有所述硅晶圆夹心厚片的所述脱胶液进行搅拌，搅拌的速度为120-230rmp，加快粘结剂从硅料厚片上脱离的速度。
本发明的脱胶液的使用方法过程简单，只需将硅晶圆夹心厚片完全侵泡于该脱胶液中加热保温一定时间，无需人员看管，减少了大量劳动力，进而减少了企业的人工成本。
实施例9：整体与实施例5相同，不同之处在于，本实施例中的浸泡槽为常规的敞开式浸泡槽，浸泡压力为常压。
对比例1：接着将80kg的硅料厚度为5cm，粘结剂厚度为2mm的硅晶圆夹心厚片浸泡在丙酮溶液中，丙酮溶液的液面没过所述硅晶圆夹心厚片，浸泡10小时。
对对比例1、实施例5和实施例9所浸泡后的硅料厚片进行拍照，如图1所示，从图1(a)中可以看出还有部分绿色的粘结剂依然附着在硅料厚片上，从图1(b)和(c)中可以看出，硅料厚片与绿色的粘结剂完全分离，并且绿色的粘结剂并没有溶解在实施例5中的脱胶液中，从图1(d)中可以看出，还有绿色的粘结剂依然附着在硅料厚片上；由此可以得知，采用实施例5公开的脱胶液以及其使用方法对硅晶圆夹心厚片的脱胶效果更好，同时绿色的粘结剂并未溶解至脱胶液中，因此浸泡槽中的脱胶液可重复使用，只需定期补充新脱胶液，并没有废液产生，对环境友好，无污染，同时无需进行精馏、废水处理等工艺，节省了企业回收硅料厚片的成本；并且将浸泡槽设置为密闭压力容器，且浸泡压力为5～15MPa，可以提高脱胶液的渗透性，加快粘结剂从硅料厚片上脱离。
某公司使用本发明实施例5公开的脱胶液以及其使用方法之后，撤了原有的人工加热软化手工剥离工段，从原来的2000m2的工作区间缩减为占地仅为50m2的工作区间，节约了大量的建筑空间；并且从原来的每天需要50-70人工作业，缩减成仅需5人工作业，只人工工资一项每年可节约600万元以上，减少了企业的人工成本。
以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，其特征在于，按照质量百分比由以下原料组成：2-5％的表面活性剂、0.2-3％的低碳醇、0.3-2％的醋酸，其余为水。
2.根据权利要求1所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，其特征在于，所述表面活性剂为非离子型表面活性剂。
3.根据权利要求2所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，其特征在于，所述非离子型表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷基酰胺和多元醇型中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，其特征在于，所述表面活性剂为季铵盐。
5.根据权利要求1所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，其特征在于，所述低碳醇为乙二醇、甲醇、乙醇、正丙醇和正丁醇中的至少一种。
6.根据权利要求1-5任一所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液，其特征在于，制备所述脱胶液的方法：将所述表面活性剂、所述低碳醇、所述醋酸和所述水置于混合罐中进行搅拌混合，搅拌速度为180-350rmp，搅拌时间为0.5-1h，搅拌环境温度为5-40℃。
7.一种关于权利要求6所述的脱胶液的使用方法，其特征在于，其包括以下步骤：(1)浸泡；(2)加热保温；
(1)浸泡：将所述脱胶液加入到浸泡槽中，接着将硅晶圆夹心厚片浸泡在所述脱胶液中，所述脱胶液的液面没过所述硅晶圆夹心厚片；
(2)加热保温：对步骤(1)中的所述浸泡槽进行加热，使得脱胶液的温度为40-120℃，并在该温度下保温0.5-20小时，完成硅料厚片和粘结剂的分离。
8.根据权利要求7所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其特征在于，步骤(2)中的加热方式可以为水浴、油浴、盐浴、电加热或夹套式蒸汽加热。
9.根据权利要求7所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其特征在于，步骤(1)中的所述浸泡槽为密闭压力容器，浸泡压力为5～15MPa。
10.根据权利要求7所述的一种用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液的使用方法，其特征在于，步骤(2)中还包括：在加热保温的过程中，对所述浸泡槽中浸泡有所述硅晶圆夹心厚片的所述脱胶液进行搅拌或者超声振动；其中搅拌的速度为120-230rmp，超声波的频率20～90KHz。
CN202210793379.0A 2022-07-07 2022-07-07 用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法 Pending CN115216370A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210793379.0A CN115216370A (zh) 2022-07-07 2022-07-07 用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210793379.0A CN115216370A (zh) 2022-07-07 2022-07-07 用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115216370A true CN115216370A (zh) 2022-10-21

Family

ID=83609579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210793379.0A Pending CN115216370A (zh) 2022-07-07 2022-07-07 用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN115216370A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW593672B (en) * 2000-02-29 2004-06-21 Showa Denko Kk Cleaning agent composition, method for cleaning and use thereof
CN104862134A (zh) * 2015-03-27 2015-08-26 武汉宜田科技发展有限公司 一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法
CN107053503A (zh) * 2016-11-21 2017-08-18 宁晋松宫电子材料有限公司 一种硅切片防粘片方法
CN108711547A (zh) * 2018-05-03 2018-10-26 浙江海顺新能源有限公司 一种硅片脱胶工艺
CN112745991A (zh) * 2019-10-31 2021-05-04 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 一种脱胶剂及其制备方法和应用

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW593672B (en) * 2000-02-29 2004-06-21 Showa Denko Kk Cleaning agent composition, method for cleaning and use thereof
CN104862134A (zh) * 2015-03-27 2015-08-26 武汉宜田科技发展有限公司 一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法
CN107053503A (zh) * 2016-11-21 2017-08-18 宁晋松宫电子材料有限公司 一种硅切片防粘片方法
CN108711547A (zh) * 2018-05-03 2018-10-26 浙江海顺新能源有限公司 一种硅片脱胶工艺
CN112745991A (zh) * 2019-10-31 2021-05-04 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 一种脱胶剂及其制备方法和应用

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102412430B (zh) 一种废旧锂离子电池正极片中铝箔的化学分离方法
JP6671067B2 (ja) 架橋化ｅｖａの可溶化方法、可溶化方法を用いた使用済み太陽電池からの資源回収法
JP2012019134A (ja) 太陽電池モジュール材料の再利用のための回収方法
CN107357142B (zh) 一种水系光致抗蚀剂剥离液及其制备方法
CN115216370A (zh) 用于脱除硅晶夹片中粘结剂的脱胶液及其使用方法
CN105670375A (zh) 一种聚酯漆包线脱漆工艺及装置
CN101676806A (zh) 薄膜晶体管液晶显示器用热固性树脂的剥离剂组合物
CN105388713A (zh) 一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液
CN110331048B (zh) 环保剥膜液及其制备方法
CN112680017A (zh) 一种蓝膜脱除剂及手机玻璃工件的脱模方法
CN111171624A (zh) 盖板油墨去除剂及其制备和使用方法
CN112745991A (zh) 一种脱胶剂及其制备方法和应用
CN113943610B (zh) 应用于手机盖板上oca光学胶的水性除胶剂及其制备方法
CN103146019A (zh) 一种乳液型铝塑分离剂及其使用的分离铝塑复合膜的方法
KR101269907B1 (ko) 전자기기 모니터용 피이티 필름의 재활용을 위한 박리제 조성물
US20110300048A1 (en) Method for recycling silicon carbide
CN112404091B (zh) 太阳能电池模组的回收方法
CN111100765A (zh) 一种脱胶剂的制备方法
TWI682555B (zh) 太陽能電池模組的回收方法(一)
CN108519690B (zh) 一种软化剂以及液晶盒拆分方法
CN113025110A (zh) 一种金属脱漆剂及其制备方法
CN113832471B (zh) 一种用于快速剥离聚酰亚胺薄膜的清洗剂及其应用
CN110819471A (zh) 一种用于去除多晶切割线网厚片端面残胶的脱胶剂
CN111363632A (zh) 一种常温去蜡清洗剂及其使用方法
CN103540459A (zh) 一种水基印刷电路板焊药清洗剂及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination