CN115046479B - 超透镜检测装置及*** - Google Patents

Abstract

本公开涉及光学透镜技术领域，尤其涉及一种超透镜检测装置及***，该装置包括移动组件、外观检测组件和第一光学性能检测组件；移动组件包括导轨、样品台和位移台，外观检测组件和第一光学性能检测组件位于导轨一侧，样品台上设有通孔，并用于承载检测产品，位移台与样品台连接，并用于驱动样品台按设定方向移动；外观检测组件包括第一支架，第一支架上位于移动组件的上方设有显微***；第一光学性能检测组件包括第二支架，第二支架上位于移动组件上方设有第一探测器、位于移动组件下方依次设有测试图卡和第一光源，第一探测器通过检测产品对测试图卡进行热成像。本公开技术方案，一体式完成被检测产品的外观和光学性能检测，检测全面且效率高。

Description

超透镜检测装置及***

技术领域

本公开涉及光学透镜技术领域，尤其涉及一种用于超透镜外观及性能检测的超透镜检测装置及***。

背景技术

近年来，超透镜（metalens）技术作为光学领域的一项革命性技术，通过设计各式各样的人工超原子，实现对电磁波的振幅、相位及偏振的自由控制。其在光学成像、偏振转换、光学全息、涡旋光生成器等领域有着及其广阔的应用前景。

在超透镜制备时，需要使用半导体工艺对其进行刻蚀，以得到所需要的微纳结构。但是，对加工后的超透镜同样需要对其微纳结构的外观、尺寸进行检测，防止出现较大的尺寸误差、甚至大面积的微纳结构倒塌、甚至脱落的情况；同时，对超透镜的外观检测也需要对其污渍、划痕等缺陷进行检测。对于通过外观检查的超透镜，在正式使用前还需要对其光学性能进行检测，例如焦距、透过率、调制传递函数（Modulation Transfer FunctionMTF）、畸变、视场角（field angle of view FOV）等。

在超透镜量产阶段，需要对大量的超透镜进行上述检测。目前，没有用于检测超透镜上述性能的简易装置。

发明内容

为解决现有技术中存在的至少以上技术问题，本公开实施例提供了一种超透镜检测装置及***。

本公开实施例一方面提供一种超透镜检测装置，包括移动组件、外观检测组件和第一光学性能检测组件；所述移动组件包括导轨、样品台和位移台，所述外观检测组件和所述第一光学性能检测组件位于所述导轨一侧，所述样品台上设有通孔，并用于承载检测产品，所述位移台与所述样品台连接，并用于驱动所述样品台按设定方向移动；所述外观检测组件包括第一支架，所述第一支架上位于所述移动组件的上方设有用于获取所述检测产品外观图像信息的显微***；所述第一光学性能检测组件包括第二支架，所述第二支架上位于所述移动组件上方设有第一探测器、位于所述移动组件下方依次设有测试图卡和第一光源，所述第一光源用于为所述测试图卡提供光源或辐射源，所述第一探测器通过所述检测产品对所述测试图卡进行热成像。

在一些实施例中，还包括第二光学性能检测组件；所述第二光学性能检测组件包括第三支架，所述第三支架上位于所述移动组件上方设有第二探测器、位于所述移动组件下方依次设有第一光阑和反射镜，以及位于第三支架一侧设有第二光阑和第二光源；所述第二探测器与所述第三支架滑动连接，用于调节所述第二探测器的安装高度，所述第二光源出射的光线经由所述第二光阑、所述反射镜、所述第一光阑和所述检测产品后入射至所述第二探测器。

在一些实施例中，所述第二光学性能检测组件还包括第一光功率计和第二光功率计；所述第一光功率计位于所述移动组件下方，并位于所述第一光阑和所述移动组件之间，所述第二光功率计位于所述移动组件上方，并位于所述第二探测器和所述移动组件之间；所述第一光功率计和所述第二光功率计通过转动结构与所述第三支架转动连接，所述第一光功率计和所述第二光功率计使用状态时转动至光路上，非使用状态时转动出光路。

在一些实施例中，所述位移台包括滑块、驱动电机、载板和四轴位移结构，所述滑块设于所述导轨上，通过所述驱动电机驱动所述滑块沿所述导轨移动；所述载板通过所述四轴位移结构与所述滑块连接，所述样品台与所述载板固定连接，并且所述样品台和所述载板位于同一平面，所述四轴位移结构用于驱动所述载板带动所述样品台上的所述检测产品同步移动，所述四轴位移结构用于调节所述检测产品在X轴向、Y轴向移动，以及调节所述检测产品的倾斜角和俯仰角。

在一些实施例中，所述显微***包括相机、筒镜、同轴点光源和显微物镜；所述筒镜的一端与所述相机连接，另一端与所述显微物镜连接，所述筒镜的侧端与所述同轴点光源连接；所述筒镜与所述显微物镜可拆卸连接，根据所述检测产品的微纳结构尺寸更换不同型号的所述显微物镜。

在一些实施例中，所述第一光学性能检测组件包括多个所述测试图卡；多个所述测试图卡位于同一平面，并且通过转动结构与所述第二支架转动连接，根据性能检测需求将相应的所述测试图卡转动至光路上。

在一些实施例中，所述测试图卡包括ISO12233测试卡、棋盘测试卡和视场角测试卡中的一种或多种；所述ISO12233测试卡转动至光路上，用于获取所述检测产品的调制传递函数值；所述棋盘测试卡转动至光路上，用于获取所述检测产品的畸变值；所述视场角测试卡转动至光路上，用于获取所述检测产品的视场角。

在一些实施例中，所述第一光源为面光源或辐射源；所述第二光源为黑体辐射光谱或激光器。

本公开实施例一方面提供一种超透镜检测***，包括工控机及上述超透镜检测装置。

在一些实施例中，所述显微***、所述第一探测器、所述第二探测器和所述位移台分别与所述工控机连接；所述工控机用于接收并处理所述显微***、所述第一探测器和所述第二探测器所采集的数据信息，以及用于控制所述位移台移动。

本公开实施例提供的一种超透镜检测装置及***，移动组件作为被检测产品的检测线，外观检测组件及光学性能检测组件设置在检测线的一侧，可自动化实现被检测产品的外观检测（如尺寸、损伤等）及光学性能检测（如畸变、视场角等）。本公开技术方案，一体式完成被检测产品的外观和光学性能检测，检测全面且效率高。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本公开示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本公开的若干实施方式，其中：

在附图中，相同或对应的标号表示相同或对应的部分。

图1为本公开实施例一种超透镜检测装置的示意图；

图2为本公开实施例一种超透镜检测装置中外观检测组件的结构示意图；

图3为本公开实施例一种超透镜检测装置中第一光学性能检测组件的结构示意图；

图4为本公开实施例一种超透镜检测装置中第二光学性能检测组件的结构示意图；

图5为本公开实施例一种超透镜检测***的示意图。

图中：

1：超透镜检测***；

10：超透镜检测装置；20：工控机；

110：移动组件；120：外观检测组件；130：第一光学性能检测组件；140：第二光学性能检测组件；

111：导轨；112：通孔；113：样品台；114：位移台；115：支撑杆；116：底座；

121：相机；122：同轴点光源；123：显微物镜；124：筒镜；

131：第一探测器；132：第一光源；133：ISO12233测试卡；134：棋盘测试卡；135：视场角测试卡；136：转动结构；

141：第二探测器；142：反射镜；143：第一光阑；144：第二光阑；145：第二光源；146：第一光功率计；147：第二光功率计。

具体实施方式

为使本公开的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而非全部实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

如图1至图4所示，本公开提供的一种超透镜检测装置10，包括移动组件110、外观检测组件120和第一光学性能检测组件130；移动组件110包括导轨111、样品台113和位移台114，外观检测组件120和第一光学性能检测组件130位于导轨111一侧，样品台113上设有通孔112，并用于承载检测产品，位移台114与样品台113连接，并用于驱动样品台113按设定方向移动；外观检测组件120包括第一支架，第一支架上位于移动组件110的上方设有用于获取检测产品外观图像信息的显微***；第一光学性能检测组件130包括第二支架，第二支架上位于移动组件110上方设有第一探测器131、位于移动组件110下方依次设有测试图卡和第一光源132，第一光源132用于为测试图卡提供光源或辐射源，第一探测器131通过检测产品对测试图卡进行热成像。

本公开实施例中，采用全自动化的形式对超透镜进行检测。其中，移动组件110中的导轨111作为检测线，通过位移台114和样品台113驱动待检测的超透镜在外观检测组件120和光学性能检测组件移动切换，同时，在进行检测时，样品台113上放置多个超透镜，例如，在整张晶圆上阵列设置多个超透镜。而在样品台113上同样阵列设置多个通孔112，通过移动组件110移动每个超透镜及通孔112至检测位，移动完成外观或光学性能检测。

外观检测组件120用于检测包括但不限于超透镜的微纳结构尺寸，整体尺寸、污渍、划痕等外观信息。光学性能检测组件用于检测包括但不限于畸变、视场角、焦距等性能。

如图2所示，第一支架包括底座116和支撑杆115，支撑杆115具有一定高度，其上连接显微***，在进行外观检测时，显微***位于被检测的超透镜的上方，也即显微***位于移动组件110的上方。通过移动组件110获取每一个超透镜的图像信息。

例如，显微***包括相机121、筒镜124、同轴点光源122和显微物镜123；筒镜124的一端与相机121连接，另一端与显微物镜123连接，筒镜124的侧端与同轴点光源122连接；筒镜124与显微物镜123可拆卸连接，根据检测产品的微纳结构尺寸更换不同型号的显微物镜123。

同轴点光源122为显微成像提供光源，可根据不同的超透镜的微纳结构尺寸，选择合适的倍率和数值孔径的显微物镜123。显微***对正在检测的超透镜进行扫描拍照，获取相应的图像信息。

本公开实施例中，样品台113上放置多个超透镜进行检测，因此，在每检测完成一个超透镜后，需要将检测完成的移出检测位，将下一个超透镜移至检测位，该超透镜的移动操作由移动组件110完成。

例如，位移台114包括滑块、驱动电机、载板和四轴位移结构，滑块设于导轨111上，通过驱动电机驱动滑块沿导轨111移动；载板通过四轴位移结构与滑块连接，样品台113与载板固定连接，并且样品台113和载板位于同一平面，四轴位移结构用于驱动载板带动样品台113上的检测产品同步移动，四轴位移结构用于调节检测产品在X轴向、Y轴向移动，以及调节检测产品的倾斜角和俯仰角。

例如，驱动电机适配丝杠、齿轮齿条等方式实现对滑块的驱动。本公开实施例中对滑块的驱动方式不进行限定。例如，四轴位移结构包括X轴方向的滑动结构，Y轴方向的滑动结构。例如，滑动结构为滑块、滑轨及电机配合的滑动方式，同样的，对滑块的驱动方式不进行限定，而对于倾斜角和俯仰角的调节，可通过电机驱动转轴转动，带动载板同步转动而实现。

通过位移台114的四轴位移，将样本台上的超透镜逐个进行扫描拍照。其中，超透镜采用阵列的排出方式规则设置，在扫描拍照获取图像信息时，还可同时获取超透镜的位置信息，例如，位置信息为当前超透镜的所在列及所在排的位置。

本公开实施例中，对超透镜的光学性能检测，可根据检测需求，选择相应的检测设备及检测设备的数量。

例如，第一光源132为面光源或辐射源，第一光源132用于为测试图卡提供光源或辐射源，第一探测器131通过检测产品对测试图卡进行热成像。

例如，第一光学性能检测组件130包括多个测试图卡；多个测试图卡位于同一平面，并且通过转动结构136与第二支架转动连接，根据性能检测需求将相应的测试图卡转动至光路上。例如，转动结构136包括旋转电机或推杆等结构，通过此类结构驱动测试图卡的切换。

例如，测试图卡包括ISO12233测试卡133、棋盘测试卡134和视场角测试卡135中的一种或多种；ISO12233测试卡133转动至光路上，用于获取检测产品的调制传递函数值；棋盘测试卡134转动至光路上，用于获取检测产品的畸变值；视场角测试卡135转动至光路上，用于获取检测产品的视场角。

例如，超透镜检测装置10还包括第二光学性能检测组件140；第二光学性能检测组件140包括第三支架，第三支架上位于移动组件110上方设有第二探测器141、位于移动组件110下方依次设有第一光阑143和反射镜142，以及位于第三支架一侧设有第二光阑144和第二光源145，例如，第二光源145为黑体辐射光谱或激光器；第二探测器141与第三支架滑动连接，用于调节第二探测器141的安装高度，第二光源145出射的光线经由第二光阑144、反射镜142、第一光阑143和检测产品后入射至第二探测器141。

在焦距检测时，需要对第二探测器141的安装高度进行微调，因此，第二探测器141与第三支架的杆体设置为滑动连接。例如，滑动连接的方式为丝杠、直线齿条等方式。

例如，第二光学性能检测组件140还包括第一光功率计146和第二光功率计147；第一光功率计146位于移动组件110下方，并位于第一光阑143和移动组件110之间，第二光功率计147位于移动组件110上方，并位于第二探测器141和移动组件110之间；第一光功率计146和第二光功率计147通过转动结构136与第三支架转动连接，第一光功率计146和第二光功率计147使用状态时转动至光路上，非使用状态时转动出光路。

公开实施例提供的一种超透镜检测装置10，移动组件110作为被检测产品的检测线，外观检测组件120及光学性能检测组件设置在检测线的一侧，可自动化实现被检测产品的外观检测（如尺寸、损伤等）及光学性能检测（如畸变、视场角等）。本公开技术方案，一体式完成被检测产品的外观和光学性能检测，检测全面且效率高。

以下结合附图，并以中红外超透镜检测为例对本公开实施例提供的超透镜检测装置10进行说明。

如图1所示，为外观及微纳结构尺寸检测工位，将待测产品（如，以整张晶圆为例）放置在样品台113上，晶圆上的超透镜阵列对应样品台113上的通孔112阵列，样品台113与四轴位移结构相连，四轴位移结构的重复位移精度100um，在调节倾角和俯仰保证待测产品水平后，位移台114依次沿XY方向移动，同时，待测产品上方的显微***不断对待测产品进行扫描拍照，记录每个超透镜中的微纳结构的尺寸与超透镜的外观脏污、划痕情况，并于软件中预设的设计值进行比对，记录不合格产品的行列号，方便后续检索操作。

继续参考图1，检测工位的显微***由相机121、筒镜124、同轴点光源122和显微物镜123组成。其中，为了在较大放大倍率的显微物镜123中有较好的成像效果，可以选择1W以上的同轴点光源122，其安装在筒镜124的左侧，使用m2机米螺丝固定；另外，可根据测试微纳结构的尺寸，选择不同显微物镜123。例如，微纳结构尺寸在500nm左右，需要选择分辨率低于500nm的显微***，根据分辨率计算公式（分辨率=0.61*波长/NA），此时，需要选择NA大于0.64的显微物镜123，以及显微物镜123采用20.2mm标准RMS螺纹接口与筒镜124连接。相机121与筒镜124采用C接口连接。

在超透镜外观与微纳结构尺寸测量完毕后，位移台114带动样品台113及待测产品沿导轨111流向第一光学性能检测工位。如图2所示，为检测中红外超透镜光学性能，第一探测器131选择非制冷中红外焦平面探测器，通过位移台114带着样品移动，分别将每个超透镜移动到第一探测器131的正下方，透过样品台113的通孔112对不同的测试图卡进行热成像。第一光源132可采用柔性加热垫片，接通稳压电源，为测试图卡热成像提供辐射源。作为另一种实施例，可采用发热陶瓷通电代替传统图卡加辐射源的方式。

在MTF测量过程中，非制冷中红外探测器对ISO12233测试卡133进行成像，然后，在其中心视场及边缘视场拍摄清晰的倾斜边缘，再分别计算中心和边缘的空间频率响应（即，SFR， Spatial Frequency Response），再对所测得的SFR曲线进行微分，得到该曲线的线扩展函数（LSF），最后，对其进行傅里叶变换（FFT）得到各个频率下的MTF值。通过位移台114，在XY方向进行扫描，得到整个超透镜阵列中每个超透镜的MTF曲线。

完成MTF测试后，旋转转动结构136，将棋盘测试卡134旋转至超透镜下方，中红外焦平面探测器对棋盘测试卡134进行热成像，使用测距工具测出边缘四周完整的边线的距离，然后计算该中红外超透镜畸变，记录每个超透镜的畸变值。完成上述测试后，再次旋转转动结构136，将视场角测试卡135旋转至超透镜下方，对该测试卡进行热成像，从图片中读取视野大小，在根据测试卡到超透镜的距离，计算此时超透镜视场角，位移台114扫描超透镜阵列，记录每个超透镜视场角。

在完成以上的光学性能测试后，位移台114带动样品台113及待测产品沿导轨111流向第二光学性能检测工位。如图3所示，为检测中红外超透镜光学性能，第二探测器141选择非制冷中红外焦平面探测器，通过位移台114带着超透镜移动，将每个超透镜移动到第二探测器141的正下方，透过样品台113通孔112对下方从小孔辐射上的中红外电磁波进行聚焦成像，微调非制冷中红外焦平面探测器位置，使得像面中得到一个小孔的清晰像，测量此时制冷中红外焦平面探测器与被测超透镜间的距离、被测超透镜与光阑间的距离，从而计算超透镜焦距。移动位移台114，依次将超透镜阵列中的超透镜移动到第二探测器141的正下方，测试此时超透镜焦距，并记录数据。测量透过率时，旋转转动结构136，将第一光功率计146移动至待测超透镜正下方，测量此时黑体所辐射的中红外电磁波经第二光阑144再被反射镜142反射，再经过第一光阑143后到达待测超透镜下表面的光功率P_ij。通用旋转转动结构136将第二光功率计147转动至待测产品上方，测量透过待测样品的光功率Q_ij，测试待测产品透过率为T=Q_ij/P_ij，其中i，j表示待测超表面行列索引号。位移台114移动，依次将超透镜阵列中的超透镜移动到第二探测器141正下方，测试全部待测超透镜透过率，并记录数据。上述第二光学性能检测工位中，焦距和透过率测量也可将黑体换成中红外激光器，也可达到上述测量效果。

除了测量中红外超透镜以外，该检测设备也同样可用于检测近红外，可见光超透镜的光学性能，只需将第一探测器131，第二探测器141、第一光源132和第二光源145替换为相应待测超透镜工作波段的探测器及光源。

如图5所示，本公开实施例提供一种超透镜检测***1，包括工控机20及上述超透镜检测装置10。显微***、第一探测器131、第二探测器141和位移台114分别与工控机20连接；工控机20用于接收并处理显微***（如显微***的相机121）、第一探测器131和第二探测器141所采集的数据信息，以及用于控制位移台114移动。

工控机20（如现有的计算机）用于收集、分析及计算相机121、第一探测器131、第二探测器141所采集的数据信息，同时，工控机20内部集成光学分析软件与机器视觉软件和运动控制程序，用于定位被测超透镜位置，以控制位移台114沿导轨111运动的位置和位移台114移动被测超透镜的精度。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本公开的至少一个实施例或示例中。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括至少一个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种超透镜检测装置，其中，包括移动组件（110）、外观检测组件（120）和第一光学性能检测组件（130）；

所述移动组件（110）包括导轨（111）、样品台（113）和位移台（114），所述外观检测组件（120）和所述第一光学性能检测组件（130）位于所述导轨（111）一侧，所述样品台（113）上设有通孔（112），并用于承载检测产品，所述位移台（114）与所述样品台（113）连接，并用于驱动所述样品台（113）按设定方向移动；

所述外观检测组件（120）包括第一支架，所述第一支架上位于所述移动组件（110）的上方设有用于获取所述检测产品外观图像信息的显微***；

所述第一光学性能检测组件（130）包括第二支架，所述第二支架上位于所述移动组件（110）上方设有第一探测器（131）、位于所述移动组件（110）下方依次设有测试图卡和第一光源（132），所述第一光源（132）用于为所述测试图卡提供光源或辐射源，所述第一探测器（131）通过所述检测产品对所述测试图卡进行热成像。

2.根据权利要求1所述的超透镜检测装置，其中，还包括第二光学性能检测组件（140）；

所述第二光学性能检测组件（140）包括第三支架，所述第三支架上位于所述移动组件（110）上方设有第二探测器（141）、位于所述移动组件（110）下方依次设有第一光阑（143）和反射镜（142），以及位于第三支架一侧设有第二光阑（144）和第二光源（145）；

所述第二探测器（141）与所述第三支架滑动连接，用于调节所述第二探测器（141）的安装高度，所述第二光源（145）出射的光线经由所述第二光阑（144）、所述反射镜（142）、所述第一光阑（143）和所述检测产品后入射至所述第二探测器（141）。

3.根据权利要求2所述的超透镜检测装置，其中，所述第二光学性能检测组件（140）还包括第一光功率计（146）和第二光功率计（147）；

所述第一光功率计（146）位于所述移动组件（110）下方，并位于所述第一光阑（143）和所述移动组件（110）之间，所述第二光功率计（147）位于所述移动组件（110）上方，并位于所述第二探测器（141）和所述移动组件（110）之间；

所述第一光功率计（146）和所述第二光功率计（147）通过转动结构与所述第三支架转动连接，所述第一光功率计（146）和所述第二光功率计（147）使用状态时转动至光路上，非使用状态时转动出光路。

4.根据权利要求2或3所述的超透镜检测装置，其中，所述位移台（114）包括滑块、驱动电机、载板和四轴位移结构，所述滑块设于所述导轨（111）上，通过所述驱动电机驱动所述滑块沿所述导轨（111）移动；

所述载板通过所述四轴位移结构与所述滑块连接，所述样品台（113）与所述载板固定连接，并且所述样品台（113）和所述载板位于同一平面，所述四轴位移结构用于驱动所述载板带动所述样品台（113）上的所述检测产品同步移动，所述四轴位移结构用于调节所述检测产品在X轴向、Y轴向移动，以及调节所述检测产品的倾斜角和俯仰角。

5.根据权利要求2或3所述的超透镜检测装置，其中，所述显微***包括相机（121）、筒镜（124）、同轴点光源（122）和显微物镜（123）；

所述筒镜（124）的一端与所述相机（121）连接，另一端与所述显微物镜（123）连接，所述筒镜（124）的侧端与所述同轴点光源（122）连接；

所述筒镜（124）与所述显微物镜（123）可拆卸连接，根据所述检测产品的微纳结构尺寸更换不同型号的所述显微物镜（123）。

6.根据权利要求2或3所述的超透镜检测装置，其中，所述第一光学性能检测组件（130）包括多个所述测试图卡；

多个所述测试图卡位于同一平面，并且通过转动结构（136）与所述第二支架转动连接，根据性能检测需求将相应的所述测试图卡转动至光路上。

7.根据权利要求6所述的超透镜检测装置，其中，所述测试图卡包括ISO12233测试卡（133）、棋盘测试卡（134）和视场角测试卡（135）中的一种或多种；

所述ISO12233测试卡（133）转动至光路上，用于获取所述检测产品的调制传递函数值；

所述棋盘测试卡（134）转动至光路上，用于获取所述检测产品的畸变值；

所述视场角测试卡（135）转动至光路上，用于获取所述检测产品的视场角。

8.根据权利要求2所述的超透镜检测装置，其中，所述第一光源（132）为面光源或辐射源；

所述第二光源（145）为黑体辐射光谱或激光器。

9.一种超透镜检测***，其中，包括工控机（20）及如权利要求2至8中任一项所述的超透镜检测装置。

10.根据权利要求9所述的超透镜检测***，其中，所述显微***、所述第一探测器（131）、所述第二探测器（141）和所述位移台（114）分别与所述工控机（20）连接；

所述工控机（20）用于接收并处理所述显微***、所述第一探测器（131）和所述第二探测器（141）所采集的数据信息，以及用于控制所述位移台（114）移动。

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