CN114952744A - 一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及精密制造技术领域，尤其涉及一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台。一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，包括：动平台、基座、驱动机构以及隔振调平复合机构；所述动平台通过所述隔振调平复合机构可绕X轴和可绕Y轴转动地设置于所述基座之上；所述驱动机构用于驱动所述动平台进行调平运动，所述驱动机构对所述动平台的作用力圆周对称地分布于所述动平台。所述音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，旨在实现一种易于解耦的、兼具高效隔振与高精度调平的紧凑型一体化装置。

Description

一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台
技术领域
本发明涉及精密制造技术领域，尤其涉及一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台。
背景技术
在精密测量、精密加工等领域，一方面设备和仪器对外部的振动干扰十分敏感，需要通过高性能的隔振平台或装置对振动干扰进行隔离，维持工件台的稳定；另一方面对目标工件的空间位姿有着严格的要求，往往需要工件台在设备工作时能够保持水平，或者根据要求精准调整偏摆角度。传统的串联调平机构运动惯量较大，输出力小，且存在累积误差，难以满足高精度的调平与位姿保持；而传统的并联调平机构则依赖复杂的运动学和动力学计算与解耦，不便于使用。此外，在调平平台上串联隔振器的方法一方面会影响最终的调平精度，另一方面造成装置体积、重量庞大，限制了装置在空间、重量受限场合的应用。
发明内容
针对现有的隔振与调平装置一方面难以兼顾高效隔振和高精度调平，另一方面结构复杂，体积、重量庞大的问题，提出一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，旨在实现一种易于解耦的、兼具高效隔振与高精度调平的紧凑型一体化装置。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，包括：动平台、基座、驱动机构以及隔振调平复合机构；
所述动平台通过所述隔振调平复合机构可绕X轴和可绕Y轴转动地设置于所述基座之上；所述驱动机构用于驱动所述动平台进行调平运动，所述驱动机构对所述动平台的作用力圆周对称地分布于所述动平台，且各个作用力均垂直于所述动平台；所述隔振调平复合机构用于隔离所述动平台在Z轴方向的振动，并用于对所述动平台绕X轴和绕Y轴的调平运动进行约束。
更进一步说明，所述隔振调平复合机构包括运动约束组件，所述运动约束组件包括柔性万向节、顶弹片、底弹片、中心壳体以及中心轴；
所述中心壳体立设于所述基座的顶面；
所述顶弹片可上凸下凹形变地盖设于所述中心壳体的顶部开口；
所述中心轴的顶部穿过所述基座进入所述中心壳体的内部，所述柔性万向节可摆动地设置于所述中心轴的顶部，所述柔性万向节的顶端穿过所述顶弹片与所述动平台连接，所述顶弹片的中部与所述中心轴的顶面连接；
所述底弹片可上凸下凹形变地设置于所述基座的底部，所述底弹片的中部与所述中心轴的底部连接。
更进一步说明，所述中心轴为三层阶梯轴，所述中心轴的顶面与底面均设有用于与弹片连接的螺纹孔；所述柔性万向节的内孔与所述中心轴的中间层紧配并靠于外层轴肩上，且从侧面螺纹孔旋入顶丝紧固，所述中心轴的内层与所述柔性万向节之间具有供柔性万向节正常摆动的间隙。
更进一步说明，所述隔振调平复合机构还包括负荷卸载组件，所述负荷卸载组件包括连接支架、弹簧限位器、螺旋弹簧以及支撑板；
所述支撑板套设于所述中心壳体的外侧；
所述连接支架盖设于所述顶弹片的顶面，并与所述中心轴螺纹连接；
多个所述弹簧限位器固定于所述连接支架的底面，所述螺旋弹簧的一端套设于所述支撑板的顶面的限位凹槽内，所述螺旋弹簧的另一端套入所述弹簧限位器中。
更进一步说明，所述负荷卸载组件还包括螺杆转轮以及空心螺杆；
所述空心螺杆设置于所述中心壳体与支撑板之间，所述空心螺杆可转动地套设于所述中心壳体的外周；所述支撑板套设于所述空心螺杆的外周，并与所述空心螺杆螺纹连接；
所述螺杆转轮设置于所述支撑板的下方，并紧套于所述空心螺杆的外周。
更进一步说明，所述空心螺杆与所述中心壳体之间设有轴承，所述轴承与所述基座的顶面之间设有轴承垫片。
更进一步说明，所述隔振调平复合机构还包括负刚度组件，所述负刚度组件包括由屈曲梁、屈曲梁支架以及螺柱；
多对屈曲梁支架绕基座中心圆周对称紧固于基座上；
屈曲梁为细长的矩形金属薄片，屈曲梁呈屈曲状态地安装在一对屈曲梁支架上，所述屈曲梁的一端固定在该对屈曲梁支架中的一个对屈曲梁支架上，该屈曲梁的另一端固定在该对屈曲梁支架中的另一个对屈曲梁支架上；
所述螺柱穿过所述屈曲梁的中点与所述连接支架螺纹连接。
更进一步说明，所述驱动机构包括若干个音圈电机，若干个音圈电机以动平台的中心环形阵列分布，各个所述音圈电机的定子与基座连接，各个所述音圈电机的动子与所述动平台连接。
更进一步说明，所述驱动机构还包括限位板，所述限位板立设于所述基座，且分布于所述动平台的外周，所述限位板与所述动平台的外周之间设有间隙。
更进一步说明，所述驱动机构还包括位移传感器，所述位移传感器设置在所述限位板的内侧，所述位移传感器用于检测动平台的竖直位移。
与现有技术相比，本发明的实施例具有以下有益效果：
通过隔振调平复合机构以实现对Z轴方向的振动隔离和对绕X轴、Y轴调平运动的约束，并保证了各运动轴之间相互解隔。在隔振方面，由基座传入的Z方向振动由隔振调平复合机构进行隔离，以最大程度减小基座振动对动平台的干扰；在调平方面，动平台的调平运动通过隔振调平复合机构约束，并利用驱动机构作用于动平台的控制力矩实现调平控制。本发明实质上是一种结构串联、动力并联的一体化机构，与传统的并联支链调平结构相比，本发明的方案实现了动平台三个运动自由度的动力学解耦，省略了传统平台复杂的传动支链结构，且无寄生运动现象。一方面，动力学解耦确保了动平台的隔振与调平互不干扰，为实现动平台隔振与调平的协同工作提供了条件，并且有利于提高平台的隔振和调平性能；另一方面，直驱式设计能够使平台的结构更加简单、紧凑，有利于提高调平运动的精度。
附图说明
图1是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的隔振与调平基本原理示意图；
图2是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的结构示意图；
图3是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的隔振调平复合机构的运动约束组件的结构示意图；
图4是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的隔振调平复合机构的运动约束组件的剖视图；
图5是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的隔振调平复合机构的运动约束组件的中心轴与柔性万向节的装配示意图；
图6是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的隔振调平复合机构的负荷卸载组件的结构示意图；
图7是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的隔振调平复合机构的负刚度组件的结构示意图；
图8是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的结构示意图；
图9是本发明其中一个实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台的隔振调平复合机构的运动约束组件的顶弹片的结构示意图；
附图中：1-动平台、2-基座、3-驱动机构、31-音圈电机、32-限位板、33-位移传感器、4-隔振调平复合机构、41-运动约束组件、411-柔性万向节、412-顶弹片、413-底弹片、414-中心壳体、415-中心轴、416-顶弹片压环、417-底弹片压环、418-圆压片、42-负荷卸载组件、421-连接支架、422-弹簧限位器、423-螺旋弹簧、424-支撑板、425-螺杆转轮、426-空心螺杆、427-轴承、428-轴承垫片、43-负刚度组件、431-屈曲梁、432-屈曲梁支架、433-螺柱、434-屈曲梁压片。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。
下面结合图1至图9，描述本发明实施例的音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，包括：动平台1、基座2、驱动机构3以及隔振调平复合机构4；
所述动平台1通过所述隔振调平复合机构4可绕X轴和可绕Y轴转动地设置于所述基座2之上；所述驱动机构3用于驱动所述动平台1进行调平运动，所述驱动机构3对所述动平台1的作用力圆周对称地分布于所述动平台1，且各个作用力均垂直于所述动平台1；所述隔振调平复合机构4用于隔离所述动平台1在Z轴方向的振动，并用于对所述动平台1绕X轴和绕Y轴的调平运动进行约束。
在本发明的实施例中，通过隔振调平复合机构4以实现对Z轴方向的振动隔离和对绕X轴、Y轴调平运动的约束，并保证了各运动轴之间相互解隔，具体地，耦合是指机构的多个运动轴之间存在相互影响，机构的其中一个运动轴运动将会牵连其他运动轴同时运动，而解耦是指通过结构设计与优化等方法，解除机构各自运动轴之间的相互影响，使每个运动轴能够独立运动而不影响其他运动轴，有利于后续对机构的控制方法的实现。在隔振方面，由基座2传入的Z方向振动由隔振调平复合机构4进行隔离，以最大程度减小基座2振动对动平台1的干扰；在调平方面，动平台1的调平运动通过隔振调平复合机构4约束，并利用驱动机构3作用于动平台1的控制力矩实现调平控制。具体地，如图1所示，一些实施例中，在驱动机构3的作用下，三个垂直动平台1方向的作用力以圆周对称的方式并联作用于动平台1上，通过对三个作用力不同大小和方向的组合，可以提供对应于动平台1三个运动自由度方向的驱动力或驱动力矩，用于实现Z轴方向的减振控制或X轴、Y轴方向的调平控制。此外，由于动平台1的三个运动自由度相互正交且解耦，因此作用于动平台1的驱动力和驱动力矩符合叠加原理，通过对平台各运动方向对应的驱动力进行叠加，即可实现对动平台1多个运动自由度的同时控制，为动平台1的隔振与双轴调平的协同、同时控制提供了可能。
本发明实质上是一种结构串联、动力并联的一体化机构，与传统的并联支链调平结构相比，本发明的方案实现了动平台1三个运动自由度的动力学解耦，省略了传统平台复杂的传动支链结构，且无寄生运动现象。一方面，动力学解耦确保了动平台1的隔振与调平互不干扰，为实现动平台1隔振与调平的协同工作提供了条件，并且有利于提高平台的隔振和调平性能；另一方面，直驱式设计能够使平台的结构更加简单、紧凑，有利于提高调平运动的精度。
更进一步说明，所述隔振调平复合机构4包括运动约束组件41，所述运动约束组件41包括柔性万向节411、顶弹片412、底弹片413、中心壳体414以及中心轴415；
所述中心壳体414立设于所述基座2的顶面；具体地，所述中心壳体414呈柱状，且中心壳体414的底部通过螺栓紧固于所述基座2上。
所述顶弹片412可上凸下凹形变地盖设于所述中心壳体414的顶部开口；具体地，在本发明的一个实施例中，所述运动约束组件41还包括顶弹片压环416，所述顶弹片压环416将所述顶弹片412的边沿压紧在所述中心壳体414的顶面，所述顶弹片压环416通过螺栓与所述中心壳体414连接。
所述中心轴415的顶部穿过所述基座2进入所述中心壳体414的内部，所述柔性万向节411可摆动地设置于所述中心轴415的顶部，所述柔性万向节411的顶端穿过所述顶弹片412与所述动平台1连接，所述顶弹片412的中部与所述中心轴415的顶面连接；
所述底弹片413可上凸下凹形变地设置于所述基座2的底部，所述底弹片413的中部与所述中心轴415的底部连接。具体地，在本发明的一个实施例中，如图4所示，所述运动约束组件41还包括底弹片压环417和圆压片418，所述基座2的底部设有阶梯孔，所述底弹片压环417将所述底弹片413的边沿压紧在所述阶梯孔的阶梯面。所述底弹片压环417通过螺栓与所述基座2连接。利用螺栓穿过圆压片418和底弹片413后与中心轴415的底部连接。
通过双弹片与中心轴415的组合，构成了竖直方向的柔性导向机构，实现了对平台水平方向的运动的约束。此外，通过串联于中心轴415上的柔性万向节411，实现了对平台绕中心轴415的回转运动的约束。因此，该运动约束机构实现了动平台1水平方向与回转方向共三个自由度的运动约束。
优选地，顶弹片412与底弹片413的形状结构相同，顶弹片412和底弹片413通过在圆形的金属薄片上以激光、电火花等方式雕刻出花纹获得，通过在圆形的金属薄片上雕刻出花纹，该花纹使弹片呈现低轴向刚度、高径向刚度的特性，如图9所示，具体地，该花纹为圆周对称的花纹，从而方便弹片发生上凸下凹的形变。
具体地，所述中心轴415为三层阶梯轴，所述中心轴415的顶面与底面均设有用于与弹片连接的螺纹孔；所述柔性万向节411的内孔与所述中心轴415的中间层紧配并靠于外层轴肩上，且从侧面螺纹孔旋入顶丝紧固，所述中心轴415的内层与所述柔性万向节411之间具有供柔性万向节411正常摆动的间隙。
与传统的刚性万向节相比，柔性万向节411结构简单，传动精度高，有利于减小平台体积，并提高平台的调平精度。
更进一步说明，所述隔振调平复合机构4还包括负荷卸载组件42，所述负荷卸载组件42包括连接支架421、弹簧限位器422、螺旋弹簧423以及支撑板424；
所述支撑板424套设于所述中心壳体414的外侧；
所述连接支架421盖设于所述顶弹片412的顶面，并与所述中心轴415螺纹连接；具体地，螺栓从上往下穿过连接支架421、顶弹片412后与所述中心轴415的顶面的螺纹孔螺纹连接。实现将连接支架421和弹片固定于中心轴415上，以将螺旋弹簧423的弹性力传递到中心轴415，并兼顾弹片内圈的压紧，实现竖直方向的运动约束。
多个所述弹簧限位器422固定于所述连接支架421的底面，所述螺旋弹簧423的一端套设于所述支撑板424的顶面的限位凹槽内，所述螺旋弹簧423的另一端套入所述弹簧限位器422中。以防止弹簧发生移动。
负荷卸载组件42用于提供支撑力抵消负载的重力，当负载的重力经动平台1和柔性万向节411传递到中心轴415上时，弹簧力通过连接支架421施加到中心轴415上，抵消重力的影响。
更进一步说明，所述负荷卸载组件42还包括螺杆转轮425以及空心螺杆426；
所述空心螺杆426设置于所述中心壳体414与支撑板424之间，所述空心螺杆426可转动地套设于所述中心壳体414的外周；所述支撑板424套设于所述空心螺杆426的外周，并与所述空心螺杆426螺纹连接；具体地，所述支撑板424具有与所述空心螺杆426螺纹配合的内螺纹。
所述螺杆转轮425设置于所述支撑板424的下方，并紧套于所述空心螺杆426的外周。
通过螺杆转轮425转动空心螺杆426，带动支撑板424升降，可以调节弹簧力的大小，以适应不同重量的负载，并可以对动平台1的高度进行微调。
更进一步说明，所述空心螺杆426与所述中心壳体414之间设有轴承427，
所述轴承427与所述基座2的顶面之间设有轴承垫片428。
空心螺杆426通过轴承427可转动地套设于所述中心壳体414的外周。通过轴承427垫圈垫于轴承427与基座2之间，防止轴承427与基座2接触。
更进一步说明，所述隔振调平复合机构4还包括负刚度组件43，所述负刚度组件43包括由屈曲梁431、屈曲梁支架432以及螺柱433；
多对屈曲梁支架432绕基座2中心圆周对称紧固于基座2上；具体地，如图7所示的一个实施例中，三对屈曲梁支架432绕基座2中心120°圆周对称紧固于基座2上。
屈曲梁431为细长的矩形金属薄片，屈曲梁431呈屈曲状态地安装在一对屈曲梁支架432上，所述屈曲梁431的一端固定在该对屈曲梁支架432中的一个对屈曲梁支架432上，该屈曲梁431的另一端固定在该对屈曲梁支架432中的另一个对屈曲梁支架432上；具体地，如图7所示的一个实施例中，所述屈曲梁431的端部通过屈曲梁压片434固定在所述屈曲梁支架432上，具体地，所述屈曲梁压片434通过螺栓与所述屈曲梁支架432螺纹连接，使屈曲梁431的端部夹定于屈曲梁压片434与屈曲梁支架432之间，进而实现屈曲梁431的端部固定在所述屈曲梁支架432上。
所述螺柱433穿过所述屈曲梁431的中点与所述连接支架421螺纹连接。将屈曲梁431的弹簧力传递至中心轴415上。具体地，屈曲梁431的长度略长于一对屈曲梁支架432之间的间距，故当屈曲梁431安装到屈曲梁支架432上并紧压固定时会呈屈曲状态，由屈曲梁431相关理论可知，当屈曲梁431处于屈曲状态时，对屈曲梁431的中点施加压力可以使屈曲梁431进入负刚度状态，此时屈曲梁431中点的弹簧力会呈现负刚度特性。连接支架421将屈曲梁431输出的负刚度弹簧力传递至中心轴415上，负刚度弹簧力将与顶弹片412、底弹片413和螺旋弹簧423施加的正刚度弹簧力相抵消，以此大幅降低动平台1的动刚度，在动平台1负载支撑能力不变的前提下，显著提高平台的隔振性能。
具体地，所述驱动机构3包括若干个音圈电机31，若干个音圈电机31以动平台1的中心环形阵列分布，各个所述音圈电机31的定子与基座2连接，各个所述音圈电机31的动子与所述动平台1连接。
具体地，在本发明的一个实施例中，所述音圈电机31的设置数量为3个，3个音圈电机31以等边三角形的形式环绕动平台1中心分布设置。
更进一步说明，所述驱动机构3还包括限位板32，所述限位板32立设于所述基座2，且分布于所述动平台1的外周，所述限位板32与所述动平台1的外周之间设有间隙。
具体地，参照图2和图8所示，所述限位板32的设置数量为三个，所述限位板32一一对应地设置在所述音圈电机31的外侧。
更进一步说明，所述驱动机构3还包括位移传感器33，所述位移传感器33设置在所述限位板32的内侧，所述位移传感器33用于检测动平台1的竖直位移。
三个位移传感器33分别测量动平台1上不共线三点的竖直位移，获得动平台1上三点的坐标，并根据几何关系计算获得动平台1在Z方向的线位移以及X、Y方向的角位移，分别为动平台1的主动减振控制器和双轴调平控制器提供反馈。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，包括：动平台、基座、驱动机构以及隔振调平复合机构；
所述动平台通过所述隔振调平复合机构可绕X轴和可绕Y轴转动地设置于所述基座之上；所述驱动机构用于驱动所述动平台进行调平运动，所述驱动机构对所述动平台的作用力圆周对称地分布于所述动平台，且各个作用力均垂直于所述动平台；所述隔振调平复合机构用于隔离所述动平台在Z轴方向的振动，并用于对所述动平台绕X轴和绕Y轴的调平运动进行约束。
2.根据权利要求1所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述隔振调平复合机构包括运动约束组件，所述运动约束组件包括柔性万向节、顶弹片、底弹片、中心壳体以及中心轴；
所述中心壳体立设于所述基座的顶面；
所述顶弹片可上凸下凹形变地盖设于所述中心壳体的顶部开口；
所述中心轴的顶部穿过所述基座进入所述中心壳体的内部，所述柔性万向节可摆动地设置于所述中心轴的顶部，所述柔性万向节的顶端穿过所述顶弹片与所述动平台连接，所述顶弹片的中部与所述中心轴的顶面连接；
所述底弹片可上凸下凹形变地设置于所述基座的底部，所述底弹片的中部与所述中心轴的底部连接。
3.根据权利要求2所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述中心轴为三层阶梯轴，所述中心轴的顶面与底面均设有用于与弹片连接的螺纹孔；所述柔性万向节的内孔与所述中心轴的中间层紧配并靠于外层轴肩上，且从侧面螺纹孔旋入顶丝紧固，所述中心轴的内层与所述柔性万向节之间具有供柔性万向节正常摆动的间隙。
4.根据权利要求3所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述隔振调平复合机构还包括负荷卸载组件，所述负荷卸载组件包括连接支架、弹簧限位器、螺旋弹簧以及支撑板；
所述支撑板套设于所述中心壳体的外侧；
所述连接支架盖设于所述顶弹片的顶面，并与所述中心轴螺纹连接；
多个所述弹簧限位器固定于所述连接支架的底面，所述螺旋弹簧的一端套设于所述支撑板的顶面的限位凹槽内，所述螺旋弹簧的另一端套入所述弹簧限位器中。
5.根据权利要求4所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述负荷卸载组件还包括螺杆转轮以及空心螺杆；
所述空心螺杆设置于所述中心壳体与支撑板之间，所述空心螺杆可转动地套设于所述中心壳体的外周；所述支撑板套设于所述空心螺杆的外周，并与所述空心螺杆螺纹连接；
所述螺杆转轮设置于所述支撑板的下方，并紧套于所述空心螺杆的外周。
6.根据权利要求5所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述空心螺杆与所述中心壳体之间设有轴承，所述轴承与所述基座的顶面之间设有轴承垫片。
7.根据权利要求4所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述隔振调平复合机构还包括负刚度组件，所述负刚度组件包括由屈曲梁、屈曲梁支架以及螺柱；
多对屈曲梁支架绕基座中心圆周对称紧固于基座上；
屈曲梁为细长的矩形金属薄片，屈曲梁呈屈曲状态地安装在一对屈曲梁支架上，所述屈曲梁的一端固定在该对屈曲梁支架中的一个对屈曲梁支架上，该屈曲梁的另一端固定在该对屈曲梁支架中的另一个对屈曲梁支架上；
所述螺柱穿过所述屈曲梁的中点与所述连接支架螺纹连接。
8.根据权利要求1所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述驱动机构包括若干个音圈电机，若干个音圈电机以动平台的中心环形阵列分布，各个所述音圈电机的定子与基座连接，各个所述音圈电机的动子与所述动平台连接。
9.根据权利要求8所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述驱动机构还包括限位板，所述限位板立设于所述基座，且分布于所述动平台的外周，所述限位板与所述动平台的外周之间设有间隙。
10.根据权利要求9所述的一种音圈电机直驱式主动隔振调平一体化平台，其特征在于，所述驱动机构还包括位移传感器，所述位移传感器设置在所述限位板的内侧，所述位移传感器用于检测动平台的竖直位移。
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