CN114952358A - 真空吸附机构及校正装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种真空吸附机构及校正装置，真空吸附机构包括：吸附头，吸附头上开设有适用于吸附第一器件的第一吸附孔和适用于吸附第二器件的多个第二吸附孔，第一吸附孔位于吸附头的中部，多个第二吸附孔围绕第一吸附孔布局；以及，阀门组件，用于分别控制第一吸附孔和第二吸附孔与外部真空机构连通，阀门组件与第一吸附孔和第二吸附孔分别通过管道连通。本申请提供的真空吸附机构及校正装置，通过阀门组件控制第一吸附孔和多个第二吸附孔，能够实现吸附区域的调节，从而实现对大小不同的器件的吸附，避免在吸附较小的第一器件时漏真空，并能够保障在吸附较大的第二器件时将第二器件吸附稳定，满足不同大小的器件的校正过程中的吸附要求。

Description

真空吸附机构及校正装置

技术领域

本申请属于贴片设备技术领域，更具体地说，是涉及一种真空吸附机构及校正装置。

背景技术

在器件(包括焊片或芯片)贴装过程中，需要采用贴片机进行贴片，在贴片前，需要通过校正机构对器件的位置和角度进行调节，以保障贴片时器件在基板上的位置和角度符合要求。

校正机构包括用于吸附器件的吸附头、用于驱动吸附头转动的旋转驱动器和用于调节吸附头位置的移动平台，吸附头上开设有吸附孔，吸附孔与外部真空机构连通，在外部真空机构加载时吸附孔将置于吸附头上的器件吸附固定，以防止器件在随着吸附头旋转或移动时发生滑动。现有的吸附头上吸附孔的位置固定，在吸附器件时，吸附孔对应的吸附区域与器件的大小相匹配，在器件过小时会漏真空，在器件过大时则吸附不稳定，无法满足不同大小器件的校正需求。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种真空吸附机构，以解决现有技术中存在的贴片机中吸附头无法满足不同大小器件的校正需求的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种真空吸附机构，包括：

吸附头，所述吸附头上开设有适用于吸附第一器件的第一吸附孔和适用于吸附第二器件的多个第二吸附孔，所述第一吸附孔位于所述吸附头的中部，多个所述第二吸附孔围绕所述第一吸附孔布局；以及，

阀门组件，用于分别控制所述第一吸附孔和所述第二吸附孔与外部真空机构连通，所述阀门组件与所述第一吸附孔和所述第二吸附孔分别通过管道连通。

通过采用第一吸附孔，在阀门组件控制第一吸附孔与外部真空机构连通时，外部真空机构可对第一吸附孔加载真空，以便将第一器件吸附固定于吸附头上；通过采用第二吸附孔，在阀门组件控制第二吸附孔与外部真空机构连通时，外部真空机构可对第二吸附孔加载真空，以便于将第二器件吸附固定在吸附头上；由于多个第二吸附孔围绕第一吸附孔布局，第一吸附孔对应的吸附区域能够匹配较小的第一器件，而多个第二吸附孔对应的吸附区域能够匹配较大的第二器件，这样通过阀门组件控制第一吸附孔和多个第二吸附孔，能够实现吸附区域的调节，从而实现对大小不同的器件的吸附，避免在吸附较小的第一器件时漏真空，并能够保障在吸附较大的第二器件时将第二器件吸附稳定，满足不同大小的器件的校正过程中的吸附要求。

在一个实施例中，所述吸附头包括支撑板、沿所述支撑板边缘设置的环形壁和设于所述环形壁中的连接体，所述连接体与所述支撑板的中部相连；所述第一吸附孔和所述第二吸附孔开设于所述支撑板上，所述连接体上开设有与所述第一吸附孔连通的第一孔道，所述连接体与所述环形壁之间形成与所述第二吸附孔连通的第二孔道，所述环形壁上开设有与所述第一孔道连通的第一出气孔和与所述第二孔道连通的第二出气孔。

通过采用上述技术手段，能够方便第一吸附孔和第二吸附孔与阀门组件连接，且便于吸附头的加工。

在一个实施例中，所述环形壁上转动套装有第一连接板，所述第一连接板上开设有与所述第一出气孔连通的第一抽气孔，所述阀门组件与所述第一抽气孔连通。

通过采用上述技术手段，能够避免吸附头转动干扰阀门组件的连接。

在一个实施例中，所述第一连接板上开设有供所述环形壁***的第一开孔，所述第一连接板于所述第一开孔的两端分别安装有密封所述第一连接板与所述环形壁之间的间隙的第一密封环，所述第一抽气孔的进气端和所述第一出气孔的出气端均位于两个所述第一密封环之间。

通过采用上述技术手段，能够防止真空泄露。

在一个实施例中，所述环形壁上转动套装有第二连接板，所述第二连接板上开设有与所述第二出气孔连通的第二抽气孔，所述阀门组件与所述第二抽气孔连通。

通过采用上述技术手段，能够避免吸附头转动干扰阀门组件的连接。

在一个实施例中，所述第二连接板上开设有供所述环形壁***的第二开孔，所述第二连接板于所述第二开孔的两端分别安装有密封所述第二连接板与所述吸附头之间的间隙的第二密封环，所述第二抽气孔的进气端和所述第二出气孔的出气端均位于两个所述第二密封环之间。

通过采用上述技术手段，能够防止真空泄露。

在一个实施例中，所述第一孔道包括沿所述环形壁的轴线方向设置的第一孔段和连通所述第一孔段的中部与所述第一出气孔的第二孔段，所述第一孔段贯穿所述连接体，所述第二孔道沿所述环形壁的轴线方向设置，所述第二孔道的中部与所述第二出气孔连通。

通过采用上述技术手段，便于第一孔道和第二孔道的加工，有利于降低吸附头的加工成本。

在一个实施例中，所述真空吸附机构还包括与所述吸附头可拆卸连接的连接座，所述连接座密封所述第一孔段及所述第二孔道远离所述支撑板的一端。

通过采用上述技术手段，能够便于吸附头的加工，并能够防止第一吸附孔和第二吸附孔吸附器件时漏真空。

在一个实施例中，所述阀门组件包括与所述第一吸附孔相连通的第一控制阀和与所述第二吸附孔相连通的第二控制阀。

通过采用上述技术手段，能够分别控制第一吸附孔和第二吸附孔的真空。

本申请实施例还提供一种校正装置，包括移动平台和安装于所述移动平台上的旋转驱动器，还包括上述任一实施例中的真空吸附机构，所述吸附头安装于所述旋转驱动器的动力输出端。

通过采用上述技术方案，能够实现不同大小的器件的吸附，满足不同大小器件的校正过程中的吸附要求；通过采用旋转驱动器能够驱动吸附头转动，以便对于吸附头上的器件的角度进行调节，通过采用移动平台，能够对吸附头的位置进行调节，以便调节器件的位置。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的校正装置的立体结构示意图；

图2为图1中真空吸附机构的立体结构示意图；

图3为图2中真空吸附机构的***图；

图4为图2中吸附头的立体结构示意图；

图5为图2中吸附头部分剖切后的立体结构示意图。

其中，图中各附图标记：

10-吸附头；11-支撑板；1101-第一吸附孔；1102-第二吸附孔；12-环形壁；120-第二孔道；1201-第一出气孔；1202-第二出气孔；13-连接体；130-第一孔道；1301-第一孔段；1302-第二孔段；14-第一连接环；

20-第一连接板；201-第一开孔；202-第一抽气孔；21-第一密封环；

30-第二连接板；301-第二开孔；302-第二抽气孔；31-第二密封环；

40-连接座；41-第二连接环；410-凹槽；42-连接轴；

50-阀门组件；51-第一控制阀；52-第二控制阀；

60-旋转驱动器；

70-移动平台。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1至图3，现对本申请实施例提供的真空吸附机构进行说明。真空吸附机构包括吸附头10和阀门组件50，吸附头10上开设有第一吸附孔1101和多个第二吸附孔1102，第一吸附孔1101适用于吸附第一器件，多个第二吸附孔1102适用于吸附第二器件，第一吸附孔1101位于吸附头10的中部，多个第二吸附孔1102围绕第一吸附孔1101布局；阀门组件50用于分别控制第一吸附孔1101和第二吸附孔1102与外部真空机构连通，阀门组件50与第一吸附孔1101和第二吸附孔1102分别通过管道连通。这样通过采用第一吸附孔1101，在阀门组件50控制第一吸附孔1101与外部真空机构连通时，外部真空机构可对第一吸附孔1101加载真空，以便将第一器件吸附固定于吸附头10上；通过采用第二吸附孔1102，在阀门组件50控制第二吸附孔1102与外部真空机构连通时，外部真空机构可对第二吸附孔1102加载真空，以便于将第二器件吸附固定在吸附头10上；当然，也可采用第一吸附孔1101与多个第二吸附孔1102配合，共同吸附第二器件；由于多个第二吸附孔1102围绕第一吸附孔1101布局，第一吸附孔1101的吸附区域能够匹配较小的第一器件，而多个第二吸附孔1102的吸附区域能够匹配较大的第二器件，这样通过阀门组件50控制第一吸附孔1101和多个第二吸附孔1102，能够实现吸附区域的调节，从而实现对大小不同的器件的吸附，避免在吸附较小的第一器件时漏真空，并能够保障在吸附较大的第二器件时将第二器件吸附稳定，满足不同大小的器件的校正过程中的吸附要求。

在本申请的一个实施例中，请参阅图1、图3及图4，吸附头10包括支撑板11、环形壁12和连接体13，环形壁12沿支撑板11的边缘设置，连接体13设于环形壁12中，连接体13与支撑板11的中部相连；第一吸附孔1101和第二吸附孔1102开设于支撑板11上，请一并参阅图5，连接体13上开设有第一孔道130，第一孔道130与第一吸附孔1101连通，连接体13与环形壁12之间形成第二孔道120，第二孔道120与第二吸附孔1102连通，环形壁12上开设有第一出气孔1201和第二出气孔1202，第一出气孔1201与第一孔道130连通，第二出气孔1202与第二孔道120连通。这样可以控制支撑板11的厚度，减小第一吸附孔1101和第二吸附孔1102的深度，方便第一吸附孔1101和第二吸附孔1102的加工，且能够防止第一吸附孔1101和第二吸附孔1102堵塞，便于吸附头10的加工和维护。采用第一出气孔1201和第二出气孔1202方便与阀门组件50连通，避免管道干扰吸附头10与旋转驱动器60连接。

可选地，第二孔道120的数量为多个，多个第二孔道120围绕第一吸附孔1101呈环形阵列；支撑板11上对应各第二孔道120的位置开设有多个第二吸附孔1102，环形壁12上对应各第二孔道120中部的位置均开设有多个第二出气孔1202。这样能够使得多组第二吸附孔1102围绕吸附头10的轴线的吸力分布均匀，并保障吸附头10质量的均匀，以提高吸附头10转动时稳定性。

在本申请的一个实施例中，请参阅图1至图3，环形壁12上转动套装有第一连接板20，第一连接板20上开设有第一抽气孔202，第一抽气孔202与第一出气孔1201连通，阀门组件50与第一抽气孔202连通。通过环形壁12上转动套装第一连接板20，在吸附头10转动过程中，能够避免第一连接板20随吸附头10转动，以便于阀门组件50与第一抽气孔202通过管道连接。而且，这样能够增强吸附头10转动的稳定性。

在本申请的一个实施例中，请参阅图2至图4，第一连接板20上开设有第一开孔201，第一开孔201供环形壁12***，第一连接板20于第一开孔201的两端分别安装有第一密封环21，各第一密封环21密封第一连接板20与环形壁12之间的间隙，第一抽气孔202的进气端和第一出气孔1201的出气端均位于两个第一密封环21之间。这样通过第一密封环21密封第一开孔201两端与环形壁12之间的缝隙，能够防止第一出气孔1201与第一抽气孔202之间漏真空。具体地，第一开孔201的内壁与环形壁12的外侧面间隙配合，这样能够避免第一连接板20阻碍吸附头10的转动，且能够方便第一出气孔1201的出气端输出的空气围绕环形壁12流入到第一抽气孔202的进气端。

可选地，第一连接板20于第一开孔201的两端分别开设有第一环槽，各第一密封环21置于相应的第一环槽中。这样通过第一环槽便于控制第一密封环21的安装位置，防止第一密封环21移位或损坏，避免密封失效。

可选地，第一抽气孔202包括第一抽吸段、第一连接段和多个第一吸入段，各第一吸入段与第一出气孔1201连通，多个第一吸入段围绕第一开孔201布局，第一连接段连通多个第一吸入段与第一抽吸段，第一抽吸段与阀门组件50连通。如此，能够使得第一吸附孔1101周向的气流保持稳定，保障真空的稳定。

在本申请的一个实施例中，请参阅图1至图3，环形壁12上转动套装有第二连接板30，第二连接板30上开设有第二抽气孔302，第二抽气孔302与第二出气孔1202连通，阀门组件50与第二抽气孔302连通。通过环形壁12上转动套装第二连接板30，在吸附头10转动过程中，能够避免第二连接板30随吸附头10转动，以便于阀门组件50与第二抽气孔302通过管道连接。而且，这样能够增强吸附头10转动的稳定性。

可选地，第一连接板20安装于第二连接板30上，第一出气孔1201位于第二出气孔1202靠近支撑板11的一侧，第一连接板20位于第二连接板30靠近支撑板11的一侧，这样能够减小第一吸附孔1101抽真空时的阻力，保障第一吸附孔1101的吸力，且能够减小气流长度，防止堵塞；另外，也能够方便第一连接板20的固定，有利于提高吸附头10的稳定性，防止漏真空。

在本申请的一个实施例中，请参阅图2至图4，第二连接板30上开设有第二开孔301，第二开孔301供环形壁12***，第二连接板30于第二开孔301的两端分别安装有第二密封环31，各第二密封环31密封第二连接板30与环形壁12之间的间隙，第二抽气孔302的进气端和第二出气孔1202的出气端均位于两个第二密封环31之间。这样通过第二密封环31密封第二开孔301两端与环形壁12之间的缝隙，能够防止第二出气孔1202与第二抽气孔302之间漏真空。具体地，第二开孔301的内壁与环形壁12的外侧面间隙配合，这样能够避免第二连接板30阻碍吸附头10的转动，且能够方便第二出气孔1202的出气端输出的空气围绕环形壁12流入到第二抽气孔302的进气端。

可选地，第二连接板30于第二开孔301的两端分别开设有第二环槽，各第二密封环31置于相应的第二环槽中。这样通过第二环槽便于控制第二密封环31的安装位置，防止第二密封环31移位或损坏，避免密封失效。

可选地，第二抽气孔302包括第二抽吸段、第二连接段和多个第二吸入段，各第二吸入段与第二出气孔1202连通，多个第二吸入段围绕第二开孔301布局，第二连接段连通多个第二吸入段与第二抽吸段，第二抽吸段与阀门组件50连通。如此，能够使得多个第二吸附孔1102的气流保持稳定，保障真空的稳定。

在本申请的一个实施例中，请参阅图3至图5，第一孔道130包括第一孔段1301和第二孔段1302，第一孔段1301沿环形壁12的轴线方向设置，第二孔段1302连通第一孔段1301的中部与第一出气孔1201，第一孔段1301贯穿连接体13，第二孔道120沿环形壁12的轴线方向设置，第二孔道120的中部与第二出气孔1202连通。第二孔道120远离支撑板11的一端具有开口，能够增大第一孔道130和第二孔道120的横截面积，方便第一孔道130和第二孔道120的加工和维护。具体地，第二孔段1302、第一出气孔1201和第二出气孔1202沿环形壁12的径向设置，如此，便于加工，且能够防止堵塞。

在本申请的一个实施例中，请参阅图3至图5，连接体13包括支柱和多个支板，支柱与支撑板11的中部相连，各支板连接支柱与环形壁12，多个支板围绕支柱呈环形阵列；第一孔段1301开设于支柱中，第二孔段1302开设于支板中。如此，能够使得相邻的两个支板之间形成一个第二孔道120，使得第二孔道120分布均匀，保障吸附头10对第二器件的吸力均衡；并能够使得多个第二出气孔1202均匀分布在环形壁12上，防止第一孔道130堵塞，保障第一吸附孔1101吸力的稳定。

在本申请的一个实施例中，请参阅图1至图3，真空吸附机构还包括连接座40，连接座40与吸附头10可拆卸连接，连接座40用于供旋转驱动器60连接，请一并参阅图4及图5，连接座40密封第一孔段1301及第二孔道120远离支撑板11的一端。这样能够密封吸附头10远离支撑板11的一端，防止第一吸附孔1101和第二吸附孔1102漏真空；连接座40与吸附头10可拆卸连接，便于吸附头10的加工和维护，且方便与旋转驱动器60进行连接。

在一个实施例中，请参阅图2至图4，环形壁12远离支撑板11的一端设有第一连接环14，连接座40包括连接轴42和第二连接环41，第二连接环41设于连接轴42靠近第一连接环14的一端，第二连接环41与第一连接环14螺钉连接。这样便于将吸附头10与连接座40固定，并能够在螺钉锁紧的过程中实现对第一孔段1301和第二孔道120的密封。

可选地，第一连接环14与第二连接环41之间安装有第三密封环，环形壁12延伸至第一连接环14远离支撑板11的一侧，第三密封环套设于环形壁12上。如此，可以实现第一连接环14与第二连接环41之间的密封。

可选地，第一连接环14上开设有第三环槽，第三密封环置于第三环槽内。如此，能够防止第三密封环移位或损坏，保障密封效果。

可选地，第二连接环41与连接轴42之间形成凹槽410，凹槽410供环形壁12及连接体13远离支撑板11的一端置入。这样能够方便吸附头10与连接座40的对位，以便于控制吸附头10与连接座40同轴，防止在连接座40转动过程中吸附头10偏心。可选地，凹槽410中安装有密封垫，在第一连接环14与第二连接环41锁紧时，密封垫可以密封第一孔段1301和第二孔道120远离支撑板11的一端。

在本申请的一个实施例中，请参阅图1至图3，阀门组件50包括第一控制阀51和第二控制阀52，第一控制阀51与第一吸附孔1101相连通，第二控制阀52与第二吸附孔1102相连通。通过采用第一控制阀51能够控制外部真空机构与第一抽气孔202连通，以便为第一吸附孔1101吸附第一器件提供真空；通过采用第二控制阀52能够控制外部真空机构与第二抽气孔302连通，以便为第二吸附孔1102吸附第二器件提供真空。可选地，第一控制阀51和第二控制阀52均为三通阀，这样通过三通阀能够实现第一抽气孔202与外部真空机构或外部空气连通，以便实现对第一吸附孔1101的真空的加载和释放；能够实现第二抽气孔302与外部真空机构或外部空气连通，以便实现对第二吸附孔1102的真空的加载和释放。可选地，外部真空机构可以是真空泵，或者真空发生器等，如此，可提供真空吸附器件。

请参阅图1至图3，本申请实施例还提供一种校正装置，校正装置包括移动平台70和旋转驱动器60，旋转驱动器60安装于移动平台70上，校正装置还包括上述任一实施例中的真空吸附机构，吸附头10安装于旋转驱动器60的动力输出端。通过采用上述的真空吸附机构，能够实现两种不同大小的器件的吸附，避免在吸附较小的第一器件时漏真空，并能够保障在吸附较大的第二器件时吸附稳定，满足不同大小器件的校正过程中的吸附要求。通过采用旋转驱动器60能够驱动吸附头10转动，以便对于吸附头10上的器件的角度进行调节；通过采用移动平台70，能够对吸附头10的位置进行调节，以便调节器件的位置。

可选地，第二连接板30与移动平台70相连，在旋转驱动器60驱动吸附头10转动时，第一连接板20和第二连接板30能够保持固定，避免对第一连接板20和第二连接板30与阀门组件50连接的管道产生干扰。

本申请实施例提供的校正装置的工作过程：

1、在来料为第一器件时，将第一器件置于第一吸附孔1101的正上方；阀门组件50控制外部真空机构与第一抽气孔202连通，第一吸附孔1101中加载真空，将第一器件吸附固定；

2、在来料为第二器件时，将第二器件置于第一吸附孔1101的正上方，第二器件覆盖第二吸附孔1102对应的吸附区域；阀门组件50控制外部真空机构与第二抽气孔302连通，第二吸附孔1102中加载真空，将第二器件吸附固定；当然，此时也可通过第一吸附孔1101中同时加载真空，以提高对第二器件的吸附力；

3、旋转驱动器60驱动连接座40转动，带动吸附头10旋转，对吸附固定于吸附头10上的第一器件(或第二器件)的角度进行调节；移动平台70调节吸附头10的水平位置，对吸附固定于吸附头10上的第一器件(或第二器件)的位置进行调节；

4、当第一器件的角度和位置调节完毕后，阀门组件50控制外部真空机构与第一抽气孔202断开，释放第一吸附孔1101中的真空，贴片机将第一器件传输至下一工位进行贴片；

5、当第二器件的角度和位置调节完毕后，阀门组件50控制外部真空机构与第二抽气孔302断开，释放第二吸附孔1102中的真空，贴片机将第二器件传输至下一工位进行贴片。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空吸附机构，其特征在于，包括：

吸附头(10)，所述吸附头(10)上开设有适用于吸附第一器件的第一吸附孔(1101)和适用于吸附第二器件的多个第二吸附孔(1102)，所述第一吸附孔(1101)位于所述吸附头(10)的中部，多个所述第二吸附孔(1102)围绕所述第一吸附孔(1101)布局；以及，

阀门组件(50)，用于分别控制所述第一吸附孔(1101)和所述第二吸附孔(1102)与外部真空机构连通，所述阀门组件(50)与所述第一吸附孔(1101)和所述第二吸附孔(1102)分别通过管道连通。

2.如权利要求1所述的真空吸附机构，其特征在于：所述吸附头(10)包括支撑板(11)、沿所述支撑板(11)边缘设置的环形壁(12)和设于所述环形壁(12)中的连接体(13)，所述连接体(13)与所述支撑板(11)的中部相连；所述第一吸附孔(1101)和所述第二吸附孔(1102)开设于所述支撑板(11)上，所述连接体(13)上开设有与所述第一吸附孔(1101)连通的第一孔道(130)，所述连接体(13)与所述环形壁(12)之间形成与所述第二吸附孔(1102)连通的第二孔道(120)，所述环形壁(12)上开设有与所述第一孔道(130)连通的第一出气孔(1201)和与所述第二孔道(120)连通的第二出气孔(1202)。

3.如权利要求2所述的真空吸附机构，其特征在于：所述环形壁(12)上转动套装有第一连接板(20)，所述第一连接板(20)上开设有与所述第一出气孔(1201)连通的第一抽气孔(202)，所述阀门组件(50)与所述第一抽气孔(202)连通。

4.如权利要求3所述的真空吸附机构，其特征在于：所述第一连接板(20)上开设有供所述环形壁(12)***的第一开孔(201)，所述第一连接板(20)于所述第一开孔(201)的两端分别安装有密封所述第一连接板(20)与所述环形壁(12)之间的间隙的第一密封环(21)，所述第一抽气孔(202)的进气端和所述第一出气孔(1201)的出气端均位于两个所述第一密封环(21)之间。

5.如权利要求2所述的真空吸附机构，其特征在于：所述环形壁(12)上转动套装有第二连接板(30)，所述第二连接板(30)上开设有与所述第二出气孔(1202)连通的第二抽气孔(302)，所述阀门组件(50)与所述第二抽气孔(302)连通。

6.如权利要求5所述的真空吸附机构，其特征在于：所述第二连接板(30)上开设有供所述环形壁(12)***的第二开孔(301)，所述第二连接板(30)于所述第二开孔(301)的两端分别安装有密封所述第二连接板(30)与所述吸附头(10)之间的间隙的第二密封环(31)，所述第二抽气孔(302)的进气端和所述第二出气孔(1202)的出气端均位于两个所述第二密封环(31)之间。

7.如权利要求2所述的真空吸附机构，其特征在于：所述第一孔道(130)包括沿所述环形壁(12)的轴线方向设置的第一孔段(1301)和连通所述第一孔段(1301)的中部与所述第一出气孔(1201)的第二孔段(1302)，所述第一孔段(1301)贯穿所述连接体(13)，所述第二孔道(120)沿所述环形壁(12)的轴线方向设置，所述第二孔道(120)的中部与所述第二出气孔(1202)连通。

8.如权利要求7所述的真空吸附机构，其特征在于：所述真空吸附机构还包括与所述吸附头(10)可拆卸连接的连接座(40)，所述连接座(40)密封所述第一孔段(1301)及所述第二孔道(120)远离所述支撑板(11)的一端。

9.如权利要求1至8任一项所述的真空吸附机构，其特征在于：所述阀门组件(50)包括与所述第一吸附孔(1101)相连通的第一控制阀(51)和与所述第二吸附孔(1102)相连通的第二控制阀(52)。

10.一种校正装置，包括移动平台(70)和安装于所述移动平台(70)上的旋转驱动器(60)，其特征在于：还包括如权利要求1-9任一项所述的真空吸附机构，所述吸附头(10)安装于所述旋转驱动器(60)的动力输出端。

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