CN114850113B - 一种减薄载台的清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种减薄载台的清洗方法,S1、调配清洁液,取一个容器,将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混合,得到清洁液;S2、减薄载台开启真空吸附功能,将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台,直到减薄载台无法吸附为止,此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间;S3、开启吹气、吹水功能,通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥,水量与气量调整到最大值,连续净化一段时间。本发明解决了减薄载台长期加工过程中杂质沉积堵塞的问题,降低硅片Dimple率,提高产品良率。同时,本发明不用停线拆装减薄载台,直接在线清洗,大大提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,具体为一种减薄载台的清洗方法。
背景技术
硅片放在减薄载台上进行减薄研磨,减薄载台设有若干陶瓷孔,会吸附杂质进去,减薄载台内的杂质仅通过自净化无法清洁干净,从而减薄研磨过程中,杂质会造成硅片产生小坑(Dimple),原有的清洗方式是停线,将减薄载台拆下来,光拆除就需要6小时,然后用酒精浸泡,再用***对陶瓷孔进行按个吹气排除杂质,整个过程需要重复2-3次,然后再将减薄载台重新安装调试,安装后再净化,整个过程需要至少50个小时,严重影响生产进度。
发明内容
本发明提供了一种减薄载台的清洗方法。
一种减薄载台的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、调配清洁液,取一个容器,将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混合,得到清洁液;
S2、减薄载台开启真空吸附功能,将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台,直到减薄载台无法吸附为止,此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间;
S3、开启吹气、吹水功能,通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥,水量与气量调整到最大值,连续净化一段时间。
优选的,清洁液配比为界/表面活性剂:纯水=:10~1:15;界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。
优选的,容器为5000ml量杯。
优选的,浸泡时间最佳为10-30分钟。
优选的,净化时间最佳为1-2小时。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:解决了减薄载台长期加工过程中杂质沉积堵塞的问题,降低硅片Dimple率,提高产品良率。同时,本发明不用停线拆装减薄载台,直接在线清洗,大大提高了生产效率。
具体实施方式
下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
一种减薄载台的清洗方法,包括以下步骤:
S1、调配清洁液,取一个容器,将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混合,得到清洁液;清洁液配比为界/表面活性剂:纯水=1:10~1:15;界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。容器为5000ml量杯。
S2、减薄载台开启真空吸附功能,将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台,直到减薄载台无法吸附为止,此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间,浸泡时间最佳为10-30分钟。
S3、开启吹气、吹水功能,通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥,水量与气量调整到最大值,连续净化一段时间,净化时间最佳为1-2小时。
实施例1
S1、调配清洁液,取一个5000ml量杯,200ml将界/表面活性剂与2000ml纯水倒入容器混合,得到清洁液;界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。
S2、减薄载台开启真空吸附功能,将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台,直到减薄载台无法吸附为止,此时减薄载台浸泡在清洁液中10分钟。
S3、开启吹气、吹水功能,通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥,水量与气量调整到最大值,连续净化1小时。
实施例2
S1、调配清洁液,取一个5000ml量杯,200ml将界/表面活性剂与2500ml纯水倒入容器混合,得到清洁液;界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。
S2、减薄载台开启真空吸附功能,将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台,直到减薄载台无法吸附为止,此时减薄载台浸泡在清洁液中20分钟。
S3、开启吹气、吹水功能,通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥,水量与气量调整到最大值,连续净化1.5小时。
实施例3
S1、调配清洁液,取一个5000ml量杯,200ml将界/表面活性剂与3000ml纯水倒入容器混合,得到清洁液;界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。
S2、减薄载台开启真空吸附功能,将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台,直到减薄载台无法吸附为止,此时减薄载台浸泡在清洁液中30分钟。
S3、开启吹气、吹水功能,通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥,水量与气量调整到最大值,连续净化2小时。
通过本发明的清洁方法,解决了减薄载台长期加工过程中杂质沉积堵塞的问题,降低硅片Dimple率,提高产品良率。同时,本发明不用停线拆装减薄载台,直接在线清洗,大大提高了生产效率。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种减薄载台的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、调配清洁液,取一个容器,将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混合,得到清洁液;
S2、减薄载台开启真空吸附功能,将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台,直到减薄载台无法吸附为止,此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间;
S3、开启吹气、吹水功能,通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥,水量与气量调整到最大值,连续净化一段时间。
2.根据权利要求1所述的减薄载台的清洗方法,其特征在于:容器为5000ml量杯。
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