CN114783920B - 一种晶圆蓝膜张紧装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种晶圆蓝膜张紧装置，属于制造半导体器件的设备技术领域，包括：张紧部件及夹持部件。张紧部件包括壳体，壳体内的下段设有调节机构，上段设有张紧环，张紧环用于张紧蓝膜，调节机构用于控制张紧环沿轴线移动。夹持部件设于壳体上方，用于安装蓝膜支架，夹持部件包括环形结构的压板，压板设于蓝膜支架及蓝膜的下方，张紧环的顶面与压板及蓝膜支架均相互平行。使用时，张紧环向上穿过夹持部件的底部及压板，张紧环向上移动，将压板向上顶起，压板压紧于蓝膜的底面。结构简单，可有效保证张紧环顶面与蓝膜支架之件的平行，而且可对蓝膜支架及蓝膜进行压紧，能防止蓝膜脱落。

Description

一种晶圆蓝膜张紧装置

技术领域

本发明属于半导体器件制备技术领域，尤其涉及一种晶圆蓝膜张紧装置。

背景技术

半导体器件在上芯前通常将形成芯片的晶圆粘接在蓝膜上，并将蓝膜固定在一环形结构的蓝膜支架上，晶圆与蓝膜之间具有由蓝膜连接的环形区域，在上芯时需要利用张紧装置与环形区域配合，使蓝膜处于张紧状态，以便于取出单颗的芯片。

现有的蓝膜张紧设备，在使用过程中时常发生蓝膜从蓝膜支架脱离，以及晶圆的周侧各处蓝膜的张紧力不一致的现象，将使上芯针头无法精确定位芯片位置，导致上芯针头无法准确的从晶圆上取出芯片。另一方面，现有的设备多数利用丝杆带动螺母传动的机构驱动张紧结构移动，从而实现对蓝膜的张紧，但是此类设备通常需要设置多组丝杆螺母机构，需要调节各个螺母或是类螺母结构的零件的位置，才能使张紧结构处于与蓝膜平行的状态，以保证蓝膜各处收到相同的张紧力，其安装调节过程较为繁琐。

发明内容

为解决现有技术不足，本发明提供一种晶圆蓝膜张紧装置，结构简单，可有效保证张紧环顶面与蓝膜支架之间的平行，并且设有用于压紧蓝膜及蓝膜支架的压板，不仅可防止蓝膜支架在生产时发生移动，同时还将蓝膜牢牢的压紧，可有效防止蓝膜脱落。

为了实现本发明的目的，拟采用以下方案：

一种晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，包括：张紧部件及夹持部件。

张紧部件包括壳体，壳体内的下段设有调节机构，上段设有管状的张紧环，张紧环用于张紧蓝膜，张紧环外侧壁设有弹力座，调节机构用于控制张紧环沿轴线移动。

夹持部件设于壳体上方，用于安装蓝膜支架，蓝膜支架底面有蓝膜，夹持部件包括环形结构的压板，压板位于蓝膜的下方，张紧环的顶面与压板及蓝膜支架均相互平行。

使用时，在调节机构的作用下张紧环向上穿过压板，带动向弹力座将压板向上顶起并压紧于蓝膜的底面。

进一步的，调节机构包括引导环、第一连接杆和第二连接杆。

引导环与张紧环同轴，且沿轴线转动设置，引导环沿圆周阵列设有至少三处第一圆弧台，第一圆弧台的弧形面凸出于引导环的外壁。

第一连接杆与第二连接杆成组使用，其组数与第一圆弧台的数量一致，且各组沿引导环的圆周阵列设置，第一连接杆后端铰接于壳体的内壁，前端铰接于第二连接杆的中段，第二连接杆后端铰接于张紧环的底面，前端与引导环的外壁接触。

进一步的，第二连接杆前端设有滚轮构件，滚轮构件包括十字架，十字架其中一根轴的两端转动连接于第二连接杆，转动的轴线垂直于引导环的轴线，十字架另一根轴的两端均设有滚轮，滚轮与引导环的外壁滚动接触，滚轮的轴线与引导环的轴线平行。

进一步的，调节机构还包括设于引导环下方的齿圈，齿圈与引导环同轴，齿圈为外齿圈结构，齿圈与一蜗杆啮合，蜗杆穿设于壳体。

进一步的，引导环沿圆周阵列设有第二圆弧台，第二圆弧台的数量与第一圆弧台一致，且第二圆弧台与第一圆弧台交叉且呈间隔设置，第二圆弧台与第一圆弧台圆弧顶点所在的环形轨迹半径不同。

进一步的，夹持部件还包括底板以及间隔设于底板上方的挡板，底板及挡板均与张紧环的顶面平行，压板设于底板的顶部，且位于挡板的下方，使用时，蓝膜支架位于底板与挡板之间，底板与挡板均开设有与张紧环同轴的通孔，通孔的内径大于张紧环的外径，且小于蓝膜支架的外轮廓尺寸。

进一步的，压板底面设有多根与张紧环同轴的顶杆，顶杆穿过底板，弹力座对应顶杆设置。

进一步的，底板的顶面开设有用于安装蓝膜支架的滑槽，滑槽为U型结构，其后端的圆弧结构为定位槽，其前端开口贯穿底板的一侧壁，滑槽中段为引导槽，引导槽的宽度小于蓝膜支架的直径，蓝膜支架的前端具有第一圆弧段，用于与定位槽配合，蓝膜支架中段为导向段，导向段对应引导槽的侧壁均具有导向平面，使用时，导向段滑动设于引导槽内，以方便沿固定方向***蓝膜支架，同时还可防止蓝膜支架旋转，提高夹持部件对蓝膜支架安装的稳定性。

进一步的，引导槽入口处的两侧均设有可转动的扣板，转动的轴线垂直于底板，扣板具有相互倾斜的前段及后段，前段与后段之间的夹角为钝角，且夹角均朝向滑槽内，前段均朝向定位槽一端。

蓝膜支架的后段为第二圆弧段，第二圆弧段的弦长所在的边垂直于导向平面，且弦长的尺寸大于导向平面之间的间距，第二圆弧段沿弦长方向的两端均具有凸出于导向平面的凸点。

当第一圆弧段与定位槽贴合时，凸点正好与前段接触，此时后段的末端压紧于第二圆弧段的弧形外壁上，扣板将蓝膜支架锁紧于滑槽内。

进一步的，后段末端朝向蓝膜支架的一侧设有垂直于底板方向的凸条，第二圆弧段的弧形外壁上对应凸条开设有凹槽，当凸点正好与前段接触时，凸条正好卡设于凹槽内。

本发明的有益效果在于：利用引导环带动第一连接杆与第二连接杆摆动的方式驱动张紧环移动，从而实现对蓝膜的张紧，其结构简单，仅需保证各零件加工精度即可，安装时无需进行调节，即可使张紧环顶面垂直于蓝膜支架，相比现有设备，使用更加方便。并且利用张紧环向上移动，从而推动压板向上顶紧蓝膜及蓝膜支架，使蓝膜更加稳定的贴合于蓝膜支架底面，防止在上芯过程中蓝膜脱落，同时可将蓝膜支架压紧固定，防止蓝膜支架发生移动。

附图说明

本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本发明的范围。

图1示出了本申请一种优选实施例的结构示意图。

图2示出了张紧部件的内部结构及夹持部件的外部构造。

图3示出了图2中A处的放大图。

图4示出了第一连接杆与第二连接杆的结构及连接关系。

图5示出了引导环一种优选结构的俯视图。

图6示出了张紧环未将蓝膜张紧时本申请的整体结构剖视图。

图7示出了图6中B处的放大图。

图8示出了张紧环张紧蓝膜时本申请的整体结构剖视图。

图9示出了图8中C处的放大图。

图10示出了蓝膜支架开始***滑槽时的状态示意图。

图11示出了蓝膜支架部分***滑槽时的状态示意图。

图12示出了图11中D处的放大图。

图13示出了蓝膜支架安装于滑槽时的状态示意图。

图14示出了图13中E处的放大图。

图15示出了压板的安装结构图。

图16示出了图15中F处的放大图。

图17示出了粘贴有晶圆的蓝膜支架结构图。

具体图中标记：张紧部件-10、壳体-11、导向槽-111、调节机构-20、引导环-21、第一圆弧台-211、第二圆弧台-212、第一连接杆-22、第二连接杆-23、滚轮构件-24、十字架-241、滚轮-242、齿圈-25、蜗杆-26、张紧环-30、弹力座-31、限位块-32、夹持部件-40、压板-41、顶杆-411、底板-42、滑槽-421、定位槽-4211、引导槽-4212、挡板-43、扣板-44、前段-441、后段-442、凸条-443、蓝膜支架-50、第一圆弧段-51、导向平面-52、第二圆弧段-53、凹槽-531、凸点-54。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的实施方式进行详细说明，但本发明所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1

如图1、图2所示，一种晶圆蓝膜张紧装置，包括：张紧部件10及夹持部件40。

具体的，如图2、图6及图8所示，张紧部件10包括壳体11，壳体11内的下段设有调节机构20，上段设有张紧环30，张紧环30上段为薄壁的圆管结构，用于张紧蓝膜，下段为环形盘用于安装及连接零部件，比如安装弹力座31。调节机构20用于控制张紧环30沿轴线移动。

具体的，如图1、图7、图9及图15所示，夹持部件40设于壳体11上方，用于安装蓝膜支架50，蓝膜支架50底面具有蓝膜。夹持部件40包括环形结构的压板41，使用时，当蓝膜支架50安装后，压板41设于蓝膜支架50及蓝膜的下方，张紧环30的顶面与压板41及蓝膜支架50均相互平行，以保证蓝膜支架50及蓝膜圆周各处受到均匀的压力及张紧力。

优选的，如图2所示，张紧环30的周侧设有多块限位块32，壳体11的内壁对应各个限位块32均开设有导向槽111，导向槽111的延伸方向与张紧环30的轴线平行，张紧环30沿导向槽111移动，可防止张紧环30倾斜，进一步保证张紧环30与蓝膜支架50之间的平行度。

使用时，张紧环30在调节机构20作用下向上穿过压板41的环形内圈，并带动弹力座31将压板41向上顶起，以使压板41压紧于蓝膜的底面，并且可将蓝膜支架50一并压紧，防止在上芯过程中蓝膜支架50发生移动。

实施例2

作为本申请一种优选的实施方案，如图2至图9所示，调节机构20包括引导环21、第一连接杆22和第二连接杆23。

具体的，如图2、图6及图8所示，引导环21与张紧环30同轴，且沿轴线转动设置，引导环21可设计为内齿圈结构，并利用齿轮进行旋转驱动，也可将引导环21的底面设计为圆锥端面齿的结构，利用圆锥齿轮结构实现旋转驱动。引导环21沿圆周阵列设有至少三处第一圆弧台211，第一圆弧台211的弧形面凸出于引导环21的外壁，第一圆弧台211弧形面的轴线与引导环21平行。

具体的，如图3、图4以及图7、图9所示，第一连接杆22与第二连接杆23成组使用，其组数与第一圆弧台211的数量一致，且各组沿引导环21的圆周阵列设置。第一连接杆22后端铰接于壳体11的内壁，前端铰接于第二连接杆23的中段，第二连接杆23后端铰接于张紧环30下段的环形盘底面，前端与引导环21的外壁接触。

通过旋转引导环21使第二连接杆23的前端沿着引导环21的外壁移动，当第二连接杆23的前端从引导环21的外壁向第一圆弧台211的圆弧顶点移动的过程中，第二连接杆23的前端将沿引导环21的法线方向向外移动，并通过与第一连接杆22的转动配合，使第二连接杆23与水平面的夹角逐渐增大，第二连接杆23的前端向上将张紧环30顶起，使张紧环30向上移动，从而实现对蓝膜的张紧，在此过程中第二连接杆23的前端也将沿着引导环21的轴线方向移动。利用设置在引导环21圆周的多组第一连接杆22及第二连接杆23与引导环21的外壁配合，可使张紧环30平稳上升，且保证张紧环30顶面与蓝膜支架50处于平行状态，使蓝膜受到均匀的张紧力。这样可使第二连接杆23的前端无论是停留在第一圆弧凸台211的弧面或是圆弧顶点时均具有可靠的稳定性，防止其自行滑动。

优选的，如图4所示，第二连接杆23前端设有滚轮构件24，滚轮构件24包括十字架241，十字架241其中一根轴的两端转动连接于第二连接杆23，转动的轴线垂直于引导环21的轴线，十字架241另一根轴的两端均设有滚轮242，滚轮242与引导环21的外壁滚动接触，滚轮242的轴线与引导环21的轴线平行。当第二连接杆23的倾斜角度发生变化时，滚轮构件24的十字架241将绕着与第二连接杆23连接的轴进行适应性的转动，以保证两个滚轮242时刻与引导环21的外壁贴合，利用滚轮242与引导环21外壁滚动接触，可减小零件的磨损，延长使用寿命及保证使用精度。

实施例3

作为本申请一种优选的实施例，采用如图2、图3、图6及图8所示的齿圈25对引导环21进行旋转驱动。

具体的，调节机构20还包括设于引导环21下方的齿圈25，齿圈25与引导环21同轴，齿圈25为外齿圈结构，且齿圈25的齿形为蜗轮的轮齿结构，齿圈25与一蜗杆26啮合，蜗杆26穿设于壳体11，蜗杆26利用电机驱动，通过此种传动结构可将齿圈25锁死，防止齿圈25带动引导环21发生自动旋转，从而提高张紧环30位置的稳定性，以提高对蓝膜张紧力的稳定性，防止蓝膜松动。

优选的，如图4所示，引导环21沿圆周阵列设有第二圆弧台212，第二圆弧台212的数量与第一圆弧台211一致，且第二圆弧台212与第一圆弧台211交叉且呈间隔设置，第二圆弧台212与第一圆弧台211圆弧顶点所在的环形轨迹半径不同。本实施例中第二圆弧台212与第一圆弧台211均设有四处，相应的第一连接杆22及第二连接杆23也设有四组。可利用第二圆弧台212与第一圆弧台211圆弧顶点的不同，使张紧环30上升不同的高度，以调节蓝膜的张紧度。

实施例4

如图1、图2以及图5至图9所示，夹持部件40还包括底板42以及间隔设于底板42上方的挡板43，底板42及挡板43均与张紧环30的顶面平行，压板41设于底板42的顶部，且位于挡板43的下方。

使用时，如图7、图9所示，蓝膜支架50位于底板42与挡板43之间，底板42与挡板43均开设有与张紧环30同轴的通孔，以便于穿过张紧环30，通孔的内径大于张紧环30的外径，且小于蓝膜支架50的外轮廓尺寸。

使用时，将蓝膜支架50安装于底板42与顶板43之间，然后利用调节机构20驱动张紧环30向上移动，张紧环30向上移动的同时将压板41向上顶起，使压板41将蓝膜及蓝膜支架50压紧，同时张紧环30继续上升，张紧环30的顶面与蓝膜接触，使蓝膜张紧。

优选的，如图7、图9、以及图15、图16所示，压板41底面设有多根与张紧环30同轴的顶杆411，顶杆411穿过底板42，以此防止压板41转动，同时可利用顶杆411与底板42滑动配合，使用时保证压板41与蓝膜支架50平行，利用压板41向蓝膜支架50的圆周各处施加均匀的压力，防止蓝膜从蓝膜支架50上脱落。

更具体的，张紧环30下段环形盘的顶面对应顶杆411均设有弹力座31，弹力座31具有弹性，利用弹力座31恢复弹性的作用力通过顶杆411向压板41施加朝向蓝膜支架50的压力，从而使压板41压紧于蓝膜底面。

进一步优选的，弹力座31包括弹簧及平板，平板设于弹簧的顶面，用于增加与顶杆411的接触面积。

优选的，如图10、图11以及图13所示，底板42的顶面开设有用于安装蓝膜支架50的滑槽421，滑槽421在底板42底面的投影为U型结构，其后端的圆弧结构为定位槽4211，其前端开口贯穿底板42的一侧壁，此处为蓝膜支架50的入口，滑槽421中段为引导槽4212，具有相互平行的侧壁，引导槽4212的宽度小于蓝膜支架50的直径。

如图11、图13及图17所示，蓝膜支架50的前端具有第一圆弧段51，用于与定位槽4211配合，蓝膜支架50中段为导向段，导向段对应引导槽4212的侧壁均具有导向平面52，使用时，导向段滑动设于引导槽4212内，以方便沿固定方向***蓝膜支架50，同时还可防止蓝膜支架50旋转，提高夹持部件40对蓝膜支架50安装的稳定性。

优选的，如图11至图14所示，引导槽4212入口处的两侧均设有可转动的扣板44，其转动轴线垂直于底板42，扣板44具有相互倾斜的前段441及后段442，前段441与后段442之间的夹角为钝角，且夹角均朝向滑槽421内，前段441均朝向定位槽4211一端。

蓝膜支架50的后段为第二圆弧段53，第二圆弧段53的弦长所在的边垂直于导向平面52，且弦长的尺寸大于导向平面52之间的间距，第二圆弧段53沿弦长方向的两端均具有凸出于对应一侧的导向平面52的凸点54。

如图14所示，当第一圆弧段51与定位槽4211贴合时，凸点54正好与前段441接触，此时后段442的末端压紧于第二圆弧段53的弧形外壁上，扣板44将蓝膜支架50锁紧于滑槽421内。当向外拉出蓝膜支架50时，利用第二圆弧段53的外壁推动后段442，扣板44转动，使前段441的前端朝向导向平面52移动，在蓝膜支架50抽出的过程中后段442将紧贴在滑槽421的侧壁。为方便蓝膜支架50***滑槽421，扣板44的后段442与滑槽421的侧壁之间均设有弹簧，如图12所示，弹簧将使后段442紧贴在滑槽421的侧壁。

优选的，如图12及图14所示，后段442末端朝向蓝膜支架50的一侧设有垂直于底板42方向的凸条443，第二圆弧段53的弧形外壁上对应凸条443开设有凹槽531，当凸点54正好与前段441接触时，凸条443正好卡设于凹槽531内，以增加锁紧蓝膜支架50的牢固性，当压板41向上压紧蓝膜支架50时，不仅可以利用扣板44将蓝膜支架50锁紧于滑槽421内，同时还可使蓝膜支架50沿着凸条443上移，利用凸条443导向。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并不表示是唯一的或是限制本发明。本领域技术人员应理解，在不脱离本发明的范围情况下，对本发明进行的各种改变或同等替换，均属于本发明保护的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，包括：

张紧部件（10），包括壳体（11），壳体（11）内的下段设有调节机构（20），上段设有管状的张紧环（30），张紧环（30）用于张紧蓝膜，张紧环（30）外侧壁设有弹力座（31），调节机构（20）用于控制张紧环（30）沿轴线移动；

调节机构（20）包括引导环（21）、第一连接杆（22）和第二连接杆（23），引导环（21）与张紧环（30）同轴，且绕轴线转动设置，引导环（21）沿圆周阵列设有至少三处第一圆弧台（211），第一圆弧台（211）的弧形面凸出于引导环（21）的外壁，第一连接杆（22）与第二连接杆（23）成组使用，第一连接杆（22）后端铰接于壳体（11）的内壁，前端铰接于第二连接杆（23）的中段，第二连接杆（23）后端铰接于张紧环（30）的底面，前端与引导环（21）的外壁接触；

夹持部件（40），设于壳体（11）上方，用于安装蓝膜支架（50），蓝膜支架（50）底面有蓝膜，夹持部件（40）包括环形结构的压板（41），蓝膜支架（50）安装后，压板（41）位于蓝膜下方，张紧环（30）的顶面与压板（41）及蓝膜支架（50）均相互平行；

使用时，张紧环（30）在调节机构（20）作用下向上穿过压板（41），带动弹力座（31）将压板（41）向上顶起并压紧于蓝膜的底面。

2.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，第一连接杆（22）与第二连接杆（23）的组数与第一圆弧台（211）的数量一致，且各组沿引导环（21）的圆周阵列设置。

3.根据权利要求2所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，第二连接杆（23）前端设有滚轮构件（24），滚轮构件（24）包括十字架（241），十字架（241）其中一根轴的两端转动连接于第二连接杆（23），转动的轴线垂直于引导环（21）的轴线，十字架（241）另一根轴的两端均设有滚轮（242），滚轮（242）与引导环（21）的外壁滚动接触，滚轮（242）的轴线与引导环（21）的轴线平行。

4.根据权利要求2所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，调节机构（20）还包括设于引导环（21）下方的齿圈（25），齿圈（25）与引导环（21）同轴，齿圈（25）为外齿圈结构，齿圈（25）与一蜗杆（26）啮合，蜗杆（26）穿设于壳体（11）。

5.根据权利要求2所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，引导环（21）沿圆周阵列设有第二圆弧台（212），第二圆弧台（212）的数量与第一圆弧台（211）一致，且第二圆弧台（212）与第一圆弧台（211）交叉且呈间隔设置，第二圆弧台（212）与第一圆弧台（211）圆弧顶点所在的环形轨迹半径不同。

6.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，夹持部件（40）还包括底板（42）以及间隔设于底板（42）上方的挡板（43），底板（42）及挡板（43）均与张紧环（30）的顶面平行，压板（41）设于底板（42）的顶部，且位于挡板（43）的下方，使用时，蓝膜支架（50）位于底板（42）与挡板（43）之间，底板（42）与挡板（43）均开设有与张紧环（30）同轴的通孔，通孔的内径大于张紧环（30）的外径，且小于蓝膜支架（50）的外轮廓尺寸。

7.根据权利要求6所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，压板（41）底面设有多根与张紧环（30）同轴的顶杆（411），顶杆（411）穿过底板（42），弹力座（31）对应顶杆（411）设置。

8.根据权利要求6所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，底板（42）的顶面开设有用于安装蓝膜支架（50）的滑槽（421），滑槽（421）为U型结构，其后端的圆弧结构为定位槽（4211），其前端开口贯穿底板（42）的一侧壁，滑槽（421）中段为引导槽（4212），引导槽（4212）的宽度小于蓝膜支架（50）的直径，蓝膜支架（50）的前端具有第一圆弧段（51），用于与定位槽（4211）配合，蓝膜支架（50）中段为导向段，导向段对应引导槽（4212）的侧壁均具有导向平面（52），使用时，导向段滑动设于引导槽（4212）内。

9.根据权利要求8所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，引导槽（4212）入口处的两侧均设有可转动的扣板（44），其转动轴线垂直于底板（42），扣板（44）具有相互倾斜的前段（441）及后段（442），前段（441）与后段（442）之间的夹角为钝角，且夹角均朝向滑槽（421）内，前段（441）均朝向定位槽（4211）一端；

蓝膜支架（50）的后段为第二圆弧段（53），第二圆弧段（53）的弦长所在的边垂直于导向平面（52），且弦长的尺寸大于导向平面（52）之间的间距，第二圆弧段（53）沿弦长方向的两端均具有凸出于导向平面（52）的凸点（54）；

当第一圆弧段（51）与定位槽（4211）贴合时，凸点（54）正好与前段（441）接触，此时后段（442）的末端压紧于第二圆弧段（53）的弧形外壁上，扣板（44）将蓝膜支架（50）锁紧于滑槽（421）内。

10.根据权利要求9所述的晶圆蓝膜张紧装置，其特征在于，后段（442）末端朝向蓝膜支架（50）的一侧设有垂直于底板（42）方向的凸条（443），第二圆弧段（53）的弧形外壁上对应凸条（443）开设有凹槽（531），当凸点（54）正好与前段（441）接触时，凸条（443）正好卡设于凹槽（531）内。

Images