CN114738840A - 一种高精度恒温洁净室 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，调温过滤室的中部竖直设置有隔板，隔板分别与调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；左腔室的左侧壁的中部设置进风口，进风口内设置第一温度传感器，左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，调温过滤组件密封镶嵌在隔板上且穿过隔板伸入到右腔室内；调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，均匀分流装置的入口与进风口相连，均匀分流装置的出口与调温过滤组件的入口相连；右腔室的顶端设置出风口，出风口内设置有第二温度传感器，出风口与洁净室连通，出风口设置有均匀散风结构，均匀散风结构设置在洁净室的顶部。

Description

一种高精度恒温洁净室

技术领域

本发明涉及洁净室技术领域，尤其涉及一种高精度恒温洁净室。

背景技术

洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业如陀螺仪、微型轴承等加工、半导体工业如大规模集成电路生产等对环境的要求，导致洁净室在工业生产应用中已相当普遍。

现有的恒温洁净室的高度普遍在2-3米或者更高。主要是通过冷水机提供恒温水源，通过温度控制器控制水加热器的功率，调节进入散热盘管机的水温，最后经过风机散热保证房间内温度恒定。但是目前恒温洁净室的高度普遍较高，通常在底面和屋顶分别设置进风口，保证洁净室进风效率。但是由于地面和屋顶有较大温差，导致靠近地面和靠近屋顶的进风口风温有较大的差异，通过温度控制器，很难调控，或者无法做到真正意义上的高精度恒温（±0.05℃）。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出一种高精度恒温洁净室。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，所述调温过滤室的中部竖直设置有隔板，所述隔板分别与所述调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将所述调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；所述左腔室的左侧壁的中部设置进风口，所述进风口内设置第一温度传感器，所述左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，所述调温过滤组件密封镶嵌在所述隔板上且穿过所述隔板伸入到所述右腔室内；所述调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，所述均匀分流装置的入口与所述进风口相连，所述均匀分流装置的出口与所述调温过滤组件的入口相连；所述右腔室的顶端设置出风口，所述出风口内设置有第二温度传感器，所述出风口与所述洁净室连通，所述出风口设置有均匀散风结构，所述均匀散风结构设置在所述洁净室的顶部。

优选地，所述调温过滤组件包括相互拼接的散热盘管机及FFU风机过滤机组；所述散热盘管机的左侧与所述均匀分流装置的出口相对，所述散热盘管机的右侧与所述FFU风机过滤机组的进风端相对，所述FFU风机过滤机组的出风端镶嵌在所述隔板上且凸出在所述右腔室内；每个所述散热盘管机通过输水管并联，所述输水管上设置有加热器，所述加热器电性连接外部的温度调控器，所述温度调控器与所述第一温度传感器和所述第二温度传感器电性连接。

优选地，所述输水管上还设置有恒压泵，所述恒压泵嵌装在所述输水管上。

优选地，所述进风口内还设置有预调温组件，所述预调温组件居中设置，所述预调温组件位于所述第一温度传感器的左侧，所述预调温组件的左侧还设置有第三温度传感器，所述第三温度传感器与所述温度调控器电性连接。

优选地，所述预调温组件包括由左到右依次设置拼接的预加热机构和风机，所述预加热机构的加热方式为水加热散热或者电加热散热。

优选地，所述均匀散风结构包括出风排管，所述出风排管固定设置在所述洁净室的顶部，所述出风排管上均匀设置有朝下的散风口。

优选地，所述出风排管位于所述洁净室四个墙角的位置处分别设置有从上到下延伸的排风管，所述排风管的侧壁上由上至下均匀布设有散风口。

优选地，四根所述排风管上的散风口在同一高度上共面。

优选地，每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的夹角小于90度，且每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的角度相同。

优选地，所述散风口倾斜朝上设置。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

1)首先左腔室中部设置唯一的进风口保证进风口处进来的风的温度唯一，从而使经过调温过滤组件调温过滤后的风的温度唯一可控，实现温度更精确的控制，有效减小误差；

2)均匀分流装置的设置，能够将进风口进来的风均匀分流到各个出口从而使每个调温过滤组件接收的风量相等，再根据每个调温过滤组件是经过同一输水管进行统一输水和加热，因此每个调温过滤组件的温度相同，故而统一进来的同风量的风经过调温过滤组件后的温度相同，实现对吹入的风的温度的更高精度的控制；

3)在进风口处设置预调温组件，先对进风口处进来的风进行预加热，实现第一次调温，然后预调温后的风再进入到左腔室进行第二次调温，经过两次调温能够实现对进来的风的更高精度的控温，防止在风速较快时，以及有温度差时，调温过滤组件不能将空气的温度调整到预定温度，从而有效降低误差，提高精度；

4)设置出风排管，能够将出风口处吹出的风经过出风排管均匀分散到洁净室的顶部，并从顶部向下吹出，实现洁净室内均匀控温；

5)四根竖直延伸的排风管及散风口的设置，能够从洁净室侧壁向中部吹风，有效降低风量从顶部下吹时在随空气沉降过程中温度损失，保持洁净室底部温度与顶部温度更加趋近，从而提高整个洁净室内温度更加均匀；

6)排风管上的散风口与右侧墙壁之间的角度小于90度，在从散风口吹出时，四个方向的散风口吹出的风形成回旋，使在同一水平面上的风实现均匀控温，更进一步保证洁净室内温度平衡均匀；同时能有效降低空气沉降的速度，从而能提高温度保持时间，进一步保持洁净室内整个空间内温度稳定；

7)同时散风口在水平方向倾斜的同时还在竖直方向上倾斜朝上设置，不仅能形成回旋风，而且能向上吹出风量扰乱从顶部直接垂下的风，将均匀垂直垂下的风打散，并混入到回旋涡流中，实现洁净室内整个空间内的风量回旋，从而使洁净室内的温度更加均匀，进一步减少了空气中由于风吹从上到下沉降导致的温度损失，实现洁净室内温度与经过温度调控后从右腔室内吹出的风量一致，实现更高精度的恒温控制。

附图说明

图1为本发明的一种高精度恒温洁净室的整体结构示意图；

图2为本发明的一种高精度恒温洁净室排风管及散风口的俯视图。

具体实施方式

为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。

请结合参照图1和图2，本发明提供了一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室1及洁净室2，调温过滤室1的中部竖直设置有隔板3，隔板3分别与调温过滤室1的上下前后四个侧壁密封连接并将调温过滤室1分隔成左腔室4和右腔室5；左腔室4的左侧壁的中部设置进风口6，进风口6内设置第一温度传感器7，左腔室4内设置有至少一组调温过滤组件8，调温过滤组件8密封镶嵌在隔板3上且穿过隔板3伸入到右腔室5内；调温过滤组件8的左侧设置有均匀分流装置9，均匀分流装置9的入口与进风口6相连，均匀分流装置9的出口与调温过滤组件8的入口相连；右腔室5的顶端设置出风口10，出风口10内设置有第二温度传感器11，出风口10与洁净室2连通，出风口10设置有均匀散风结构12，均匀散风结构12设置在洁净室2的顶部。

在一实施例中，调温过滤室1用于先对引入的风进行调温过滤，一方面除尘，另一方面对温度进行更高精度的调控，再将处理过后的风量经过出风口10引出到洁净室2内，实现洁净室2内的高精度控温，是使洁净室2内的温度与洁净度达到要求。

其中，调温过滤室1分为左腔室4和右腔室5，左腔室4用于引进外部空气，并对引进的空气进行控温和过滤，使空气的洁净度和温度实现精确控制，经过最终调温过滤后的空气被吹入到右腔室5内进行汇聚，右腔室5仅有一个出风口10，从而在调温过滤组件8内的风机持续向内吹入处理后的空气的作用下向出风口10汇聚并排出。其中通过隔板3密封隔离，有效避免未处理的空气进入到洁净室2，同时也有效防止处理后的洁净空气返流回去，避免资源浪费。出风口10位于右腔室5的顶部并与洁净室2连通，同时通过均匀散风结构12将从出风口10处吹出的风从洁净室2顶部均匀散开并向下吹入到洁净室2内。通过均匀散风装置从上向下吹出调控后的空气，能有效保证整个洁净室2内温度从上到下均匀控制，相对于现有的一个出风口10而言，调温后的空气散布更加均匀。

由于恒温洁净室2的高度通常较高，因此对于调温过滤组件8而言通常由上到下并排设置2-3个，同步对吹进来的风进行温度调控以及过滤。在仅设置一个进风口6的情况下，虽然解决了同一进风口6进入的空气温度统一，但是会导致局部风量分布不均匀，比如位于顶端或者底端的调温过滤组件8接收到的风量就较小，而与进风口6相对处的调温过滤组件8的风量就较多，此时就导致局部调温过滤组件8的工作压力较大，而有些调温过滤组件8工作压力较小，对于接收风量较大的调温过滤组件8，由于风量大，会出现热交换不彻底的情况，导致温度达不到要求，而接收风量较小的调温过滤组件8热交换相对彻底，能达到预定的处理后的温度，此种情况下，导致整个调温过滤室1输出的风量温度不均匀，进而使温度达不到精确控制，误差大。同时，也给接收较大风量的调温过滤组件8的过滤器带来较大的压力，是过滤器的使用寿命缩短，增加了维护成本。而均匀分流装置9的设置，能够将进风口6处进来的风进行均匀分配给各个调温过滤组件8，分担局部调温过滤组件8的工作压力，使每个调温过滤组件8的在处理能力范围内处理相同的风量，从而能够实现不管几个调温过滤组件8，均能够均匀处理和控温，不仅实现了不同高度的调温过滤组件8输出的空气温度相同，达到预期的恒温控制，有效降低了误差，同时有效保护过滤器，使各个调温过滤组件8的过滤器均匀分担过滤压力，避免局部过滤器寿命缩短。

因此，本发明通过设置一个进风口6并搭配均匀分流装置9对风量进行分流，有效避免因为高度不同，不同的进风温度对于温度控制器产生额外的影响，可以更方便且更高效的进行高精度调控。

调温过滤室1的进风口6和出风口10处分别设置第一温度传感器7和第二温度传感器11，能够实时监测进风口6处与出风口10处的温度，从而能够实现对空气温度的智能调节。

优选地，调温过滤组件8包括相互拼接的散热盘管机81及FFU风机过滤机组82；即散热盘管机81的左侧与均匀分流装置9的出口相对，散热盘管机81的右侧与FFU风机过滤机组82的进风端相对，FFU风机过滤机组82的出风端镶嵌在隔板3上且凸出在右腔室5内；每个散热盘管机81通过输水管83并联，输水管83上设置有加热器84，加热器84电性连接外部的温度调控器，温度调控器与第一温度传感器7和第二温度传感器11电性连接。

本发明通过冷水机提供恒温冷却水，恒温冷却水经过加热器84进行加热，然后通过输水管83分别输入到散热盘管机81内，并从散热盘管机81内流出，加热后的恒温水流经散热盘管向外散热，与吹过的散热盘管机81的空气进行热交换，实现对空气的加热。首先通过第一温度传感器7实时监测进风口6的空气温度，然后反馈给温度控制器，温度控制器根据该温度控制加热器84功率，进而调控进入散热盘管机81的水温，通过进风温度和散热盘管机81的热交换使得空气升温，加热后的空气流经出风口10，出风口10处的第二温度传感器11实时监测出风口10处的温度，并反馈给温度控制器，直至第二温度传感器11检测的温度达到预定要求后，温度控制器控制加热器84的功率，使加热器84的功率保持，此时通过进风温度和散热盘管机81的热交换可达到出风温度恒定并达到预定温度要求。当然，在调温过滤组件8工作过程中，进风温度高，加热器84功率减小，进入散热盘管机81水温低；进风温度低，加热器84功率增大，进入散热盘管机81水温高。

FFU风机过滤机组82一方面用于将空气从进风口6向内散热盘管机81处引入，并将经过热交换的空气吹出到右腔室5内，另一方面需要设置FFU风机的转速恒定，保证风速及风量恒定，从而能够保持热交换稳定，实现输出的风温恒定，有效降低误差，提高精度。FFU风机过滤机组82内集成有高效过滤器，能够保证经过过滤的空气的洁净度达到ISO 5（Class100）洁净度要求。

左腔室4和右腔室5通过隔板3密封隔开，仅FFU风机过滤机组82的出风端穿出隔板3并延伸到右腔室5，从而保证进入到右腔室5内的加热后的空气均为经过调温过滤的洁净空气，同时有效避免FFU风机过滤机组82吹出的风打在右腔室5右侧壁反弹回去造成反流。另外，右腔室5设计成长条形且仅有一个位于上方的出风口10，能够使经过各组调温过滤组件8调温过滤后的风在右腔室5内汇聚，且经过右腔室5侧壁的不断折返打乱风向，有利于调温过滤后的空气进行快速混合均匀，从而使达到出风口10处的风温恒定，避免忽冷忽热。

优选地，输水管83上还设置有恒压泵85，恒压泵85嵌装在输水管83上。恒压泵85的设置主要是抽取冷水机提供的恒温冷却水，并提供恒定水压和流速，保证散热盘管机81内的水流速恒定，从而使热交换工作稳定进行。

优选地，进风口6内还设置有预调温组件13，预调温组件13居中设置，预调温组件13位于第一温度传感器7的左侧，预调温组件13的左侧还设置有第三温度传感器14，第三温度传感器14与温度调控器电性连接。

预调温组件13组件的设置，用于对进风口6进来的风进行预调温，使得进入到左腔室4内的空气温度相对恒定，便于调温过滤组件8对输出的风温进行更加精确的调控，从而有效降低误差。

此时整个恒温洁净室2的工作原理如下：

首先第三温度传感器14检测进风口6的初始风温，第一温度传感器7检测经过预处理后的风温，第二温度传感器11用来检测出风口10处已经经过精确控温和过滤的风温。根据恒温洁净室2的需求，首先能够确定第二温度传感器11处检测的出风风温，然后再确定第一温度传感器7处检测的风温，给二者设定预定的温度值。比如说第一温度传感器7与第二温度传感器11之间的温差为0.5度，此时仅需要使散热盘管机81调整到某一恒定的温度进行热交换，达到0.5度的温度调整，即可完成工作，不用再考虑外界进来的风由于早晚温差或者其他原因导致的温差带来的影响，有效保持温度恒定和精确。在这种情况下，仅第三温度传感器14的检测值是持续变化不可控的，由于外界早晚温差或者其他因素影响等，此时仅需要经过调控预调温组件13即可，由于预调温组件13设置的进风口6内，整体体积较小，调整响应时间较短，能够实现快速升温或降温，整体消耗能源较小，而调温过滤组件8不止一个，其需要通过统一的加热器84进行加热控温，整体响应慢，且整体调温达到预定值后消耗能源大，在调整过程中容易造成资源浪费。因此，采用预调温组件13搭配调温过滤组件8，能够实现更精确的控温，且能有效节能。

另外，为什么增设预调温组件13，还有一个原因是，变化的风量直接吹拂过散热盘管机81，会存在热交换不彻底的情况，此时就造成经过调温后的风温与预期风温之间有误差，需要反复调整加热器84的功率来对误差温度进行校准，直至达到预期温度，虽然此时也能达到提高控温精度的效果，但是相对效果较慢。而经过设置预调温组件13，先对进来的风温进行预调整，预调整后的风温相对恒定，此时对相对恒定温度的风再次经过调温过滤组件8进行再次调温，调温过滤组件8的加热功率恒定，出来的风的温度也恒定，即可有效降低误差，提高精度。

因此，预调温组件13的设置，不仅能有效节能，而且还能实现快速调温控温，同时能够使温度控制更加精确，有效降低误差。

优选地，预调温组件13包括由左到右依次设置拼接的预加热机构131和风机132，预加热机构131的加热方式为水加热散热或者电加热散热。由于预调温组件13设置在进风口6内，所以相对体积较小，因此预加热机构131的相对体积也较小，因此，不管是水加热散热方式进行热交换，还是电加热散热的方式进行热交换，均能快速达到热交换效果，实现预调温的目的。风机132的作用用于将外界的空气吸收到进风口6内，使风量均匀流过预加热机构131。

优选地，均匀散风结构12包括出风排管121，出风排管121固定设置在洁净室2的顶部，出风排管121上均匀设置有朝下的散风口123。出风排管121均匀排布在洁净室2的屋顶上，且其上均匀设置的散风口123朝下，能够实现出风口10出来的风从洁净室2顶部均匀向下吹拂，且均匀沉降，从而实现洁净室2内在同一高度上各个角落的温度相同，实现温度均匀。

优选地，出风排管121位于洁净室2四个墙角的位置处分别设置有从上到下延伸的排风管122，排风管122的侧壁上由上至下均匀布设有散风口123。排风管122的设置，能够从洁净室2四个拐角处向洁净室2中部吹风，其中有散风口123在排风管122底部，实现从洁净室2底部吹风，能够使洁净室2的底部的温度与洁净室2顶部的温度区域平衡，从而使得整个洁净室2内的温度更加均匀恒定，有效降低洁净室2顶部和底部的温差。

优选地，四根排风管122上的散风口123在同一高度上共面，能够在同一平面上实现风向对撞，从而将散风口123吹出的风在洁净室2中部通过对撞打散流向四周，从而使整个洁净室2内的风温进一步实现均匀混合，有效降低风量从顶部下吹时在随空气沉降过程中温度损失，保持洁净室2底部温度与顶部温度更加趋近，从而提高整个洁净室2内温度更加均匀，进一步降低局部角落的温差，实现洁净室2的恒温和高精度控温。

如图2所示，优选地，每个散风口123与位于其右侧的墙壁之间的夹角小于90度，且每个散风口123与位于其右侧的墙壁之间的角度相同，此种结构的设计，能够使各个散风口123吹出来的风在同一平面内实现回旋流动，使在同一水平面上的温度更加均匀，更进一步保证洁净室2内温度平衡均匀；同时能有效降低空气沉降的速度，从而能提高温度保持时间，进一步保持洁净室2内整个空间内温度稳定；另外还能将从顶部吹出的竖直方向的风带入到回旋内，进一步提高各个方向的风均匀混合，实现温度更加均匀平稳。

优选地，散风口123倾斜朝上设置，不仅能形成回旋风，而且能向上吹出风量扰乱从顶部直接垂下的风，将均匀垂直垂下的风打散，并混入到回旋涡流中，实现洁净室2内整个空间内的风量回旋，从而使洁净室2内的温度更加均匀，进一步减少了空气中由于风吹从上到下沉降导致的温度损失，实现洁净室2内温度与经过温度调控后从右腔室5内吹出的风量一致，实现更高精度的恒温控制。

由上所述，本发明的一种高精度恒温洁净室，

1）首先左腔室中部设置唯一的进风口保证进风口处进来的风的温度唯一，从而使经过调温过滤组件调温过滤后的风的温度唯一可控，实现温度更精确的控制，有效减小误差；

2）均匀分流装置的设置，能够将进风口进来的风均匀分流到各个出口从而使每个调温过滤组件接收的风量相等，再根据每个调温过滤组件是经过同一输水管进行统一输水和加热，因此每个调温过滤组件的温度相同，故而统一进来的同风量的风经过调温过滤组件后的温度相同，实现对对吹入的风的温度的更高精度的控制；

3)在进风口处设置预调温组件，先对进风口处进来的风进行预加热，实现第一次调温，然后预调温后的风再进入到左腔室进行第二次调温，经过两次调温能够实现对进来的风的更高精度的控温，防止在风速较快时，以及有温度差时，调温过滤组件不能将空气的温度调整到预定温度，从而有效降低误差，提高精度；

4)设置出风排管，能够将出风口处吹出的风经过出风排管均匀分散到洁净室的顶部，并从顶部向下吹出，实现洁净室内均匀控温；

5)四根竖直延伸的排风管及散风口的设置，能够从洁净室侧壁向中部吹风，有效降低风量从顶部下吹时在随空气沉降过程中温度损失，保持洁净室底部温度与顶部温度更加趋近，从而提高整个洁净室内温度更加均匀；

6)排风管上的散风口与右侧墙壁之间的角度小于90度，在从散风口吹出时，四个方向的散风口吹出的风形成回旋，使在同一水平面上的风实现均匀控温，更进一步保证洁净室内温度平衡均匀；同时能有效降低空气沉降的速度，从而能提高温度保持时间，进一步保持洁净室内整个空间内温度稳定；

7)同时散风口在水平方向倾斜的同时还在竖直方向上倾斜朝上设置，不仅能形成回旋风，而且能向上吹出风量扰乱从顶部直接垂下的风，将均匀垂直垂下的风打散，并混入到回旋涡流中，实现洁净室内整个空间内的风量回旋，从而使洁净室内的温度更加均匀，进一步减少了空气中由于风吹从上到下沉降导致的温度损失，实现洁净室内温度与经过温度调控后从右腔室内吹出的风量一致，实现更高精度的恒温控制。

本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地，在不脱离本发明的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本发明的专利保护范围。

Claims (10)

1.一种高精度恒温洁净室，其特征在于：包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，所述调温过滤室的中部竖直设置有隔板，所述隔板分别与所述调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将所述调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；所述左腔室的左侧壁的中部设置进风口，所述进风口内设置第一温度传感器，所述左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，所述调温过滤组件密封镶嵌在所述隔板上且穿过所述隔板伸入到所述右腔室内；所述调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，所述均匀分流装置的入口与所述进风口相连，所述均匀分流装置的出口与所述调温过滤组件的入口相连；所述右腔室的顶端设置出风口，所述出风口内设置有第二温度传感器，所述出风口与所述洁净室连通，所述出风口设置有均匀散风结构，所述均匀散风结构设置在所述洁净室的顶部。

2.如权利要求1所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述调温过滤组件包括相互拼接的散热盘管机及FFU风机过滤机组；所述散热盘管机的左侧与所述均匀分流装置的出口相对，所述散热盘管机的右侧与所述FFU风机过滤机组的进风端相对，所述FFU风机过滤机组的出风端镶嵌在所述隔板上且凸出在所述右腔室内；每个所述散热盘管机通过输水管并联，所述输水管上设置有加热器，所述加热器电性连接外部的温度调控器，所述温度调控器与所述第一温度传感器和所述第二温度传感器电性连接。

3.如权利要求2所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述输水管上还设置有恒压泵，所述恒压泵嵌装在所述输水管上。

4.如权利要求2所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述进风口内还设置有预调温组件，所述预调温组件居中设置，所述预调温组件位于所述第一温度传感器的左侧，所述预调温组件的左侧还设置有第三温度传感器，所述第三温度传感器与所述温度调控器电性连接。

5.如权利要求4所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述预调温组件包括由左到右依次设置拼接的预加热机构和风机，所述预加热机构的加热方式为水加热散热或者电加热散热。

6.如权利要求1所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述均匀散风结构包括出风排管，所述出风排管固定设置在所述洁净室的顶部，所述出风排管上均匀设置有朝下的散风口。

7.如权利要求6所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述出风排管位于所述洁净室四个墙角的位置处分别设置有从上到下延伸的排风管，所述排风管的侧壁上由上至下均匀布设有散风口。

8.如权利要求7所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：四根所述排风管上的散风口在同一高度上共面。

9.如权利要求8所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的夹角小于90度，且每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的角度相同。

10.如权利要求9所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述散风口倾斜朝上设置。

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