CN114719835A - 微机械陀螺仪及电子产品 - Google Patents

Abstract

本发明提供了微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一运动件、第二运动件、多个驱动件和检测件，第一运动件具有第一中心，且第一运动件沿第二方向的两端能够绕第一中心沿第一方向和第三方向摆动，第二运动件具有第二中心，且第二运动件沿第一方向的两端能够绕第二中心沿第二方向和第三方向摆动，多个驱动件能够驱动第一运动件沿第一方向的摆动和第二运动件沿第二方向的摆动，检测件沿第三方向位于第一运动件和第二运动件上方或下方，检测件用于检测第一运动件和第二运动件沿第三方向的移动的距离。该微机械陀螺仪通过第一运动件和第二运动件可以同时测量两个方向的角速度并进行差分检测排除误差，从而拓宽了微机械陀螺仪的应用场景。

Description

微机械陀螺仪及电子产品

技术领域

本发明涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种微机械陀螺仪及电子产品。

背景技术

微机械陀螺仪是一种典型的角速度传感器，一般包括驱动件、运动件和检测件，其工作原理是：驱动件能够驱动运动件在确定的平面内沿确定的方向高频往复运动，当微机械陀螺仪发生角速度方向垂直于上述平面的转动时，运动件会受到垂直于上述确定方向的哥氏力并产生位移，检测件能够测量该位移的大小，从而得到上述转动的角速度，实现对角速度的测量。现有的微机械陀螺仪为了检测结果准确一般会设置两个相位相差180°的运动件以实现差分检测，但由于微机械陀螺仪的体积受限不能对所有测量方向进行差分检测。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪能够同时测量两个方向的角速度。

本申请提供一种微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪包括：第一运动件、第二运动件、多个驱动件和检测件，所述第一运动件具有第一中心，且所述第一运动件沿第二方向的两端能够绕所述第一中心沿第一方向和第三方向摆动，所述第二运动件具有第二中心，且所述第二运动件沿所述第一方向的两端能够绕所述第二中心沿所述第二方向和所述第三方向摆动，多个所述驱动件能够驱动所述第一运动件沿所述第一方向的摆动和所述第二运动件沿所述第二方向的摆动，所述检测件沿所述第三方向位于所述第一运动件和所述第二运动件上方或下方，所述检测件用于检测所述第一运动件和所述第二运动件沿所述第三方向的移动的距离。其中，所述第一方向和所述第二方向垂直且共面，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直。

在一种可能的设计中，沿所述第一方向，所述第一运动件设置有多个；沿所述第二方向，所述第二运动件设置有多个。

在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括：第一锚点、第一耦合件、第一连接件和第二连接件，所述第一锚点沿所述第一方向设置于所述第一运动件的两侧且所述第一锚点沿所述第二方向设置于所述第二运动件的两侧，所述第一耦合件套设于所述第一锚点，所述第一耦合件能够绕所述第一锚点转动，所述第一连接件连接所述第一耦合件和所述驱动件，所述第二连接件连接所述第一耦合件和所述第一运动件，还连接所述第一耦合件和所述第二运动件，所述驱动件通过所述第一连接件驱动所述第一耦合件绕所述第一锚点转动，所述第一耦合件通过所述第二连接件驱动所述第一运动件和所述第二运动件摆动。

在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括：第二锚点、第三锚点、第三连接件和第四连接件，所述第二锚点沿所述第一方向设置于所述第一中心的两侧或所述第一中心，所述第三锚点沿所述第二方向设置于所述第二中心的两侧或所述第二中心，所述第三连接件连接所述第二锚点和所述第一运动件，所述第四连接件连接所述第三锚点和所述第二运动件。

在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括：第二耦合件和第五连接件，所述第二耦合件设置于所述微机械陀螺仪的中心，所述第五连接件连接所述驱动件和所述第二耦合件。

在一种可能的设计中，所述第二耦合件为圆形或长条形。

在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括：第四锚点和第六连接件，所述第四锚点设置于所述微机械陀螺仪的中心，所述第六连接件连接所述驱动件和所述第四锚点。

在一种可能的设计中，所述驱动件平行设置有两个，两个所述驱动件沿所述第一方向或所述第二方向的运动方向相反。

在一种可能的设计中，多个所述驱动件沿所述微机械陀螺仪的周向排布，且多个所述驱动件均沿顺时针圆周的切线方向往复运动，或者均沿圆周的径向方向往复运动。

本申请还提供一种电子产品，所述电子产品包括：本体和微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪安装于所述本体，所述微机械陀螺仪为上述所述的微机械陀螺仪。

本发明的有益效果在于：微机械陀螺仪包括三个工作模态，即驱动模态、第一检测模态和第二检测模态。在驱动模态下，驱动件驱动第一运动件沿第一方向摆动、驱动第二运动件沿第二方向摆动。由于第一运动件的摆动为绕第一中心的摆动，第二运动件的摆动为绕第二中心的摆动，因此相较于现有技术中驱动件仅驱动运动件沿单一方向往复运动而言，本申请中驱动件驱动第一运动件1和第二运动件2运动的驱动效果更好且更为平稳。当微机械陀螺仪随外界环境发生角速度方向为第一方向的转动时，由于第一运动件沿第一方向摆动，因此第一运动件会受到沿第三方向的哥氏力并产生沿第三方向的摆动，此时微机械陀螺仪处于第一检测模态，检测件能够检测第一运动件沿第三方向移动的距离，从而得到微机械陀螺仪绕第一方向转动的角速度。当微机械陀螺仪随外界环境发生角速度方向为第二方向的转动时，由于第二运动件沿第二方向摆动，因此第二运动件会受到沿第三方向的哥氏力并产生沿第三方向的摆动，此时微机械陀螺仪处于第二检测模态，检测件能够检测第二运动件沿第三方向移动的距离，从而得到微机械陀螺仪绕第二方向转动的角速度。由于第一检测模态和第二检测模态可以同时存在且互不干扰，因此微机械陀螺仪可以同时测量两个方向的角速度，从而拓宽了微机械陀螺仪的应用场景。此外，第一运动件根据第一中心分为对称的第一部分和第二部分，第二运动件根据第二中心分为对称的第三部分和第四部分。由于沿第三方向，驱动件驱动产生的第一部分的运动和第二部分的运动是频率相同、方向相反的往复运动，而外界冲击驱动的第一部分的运动和第二部分的运动是方向相同的运动，因此将检测件检测到的第一部分和第二部分的位移信号量共模输出，并采用差分检测的操作能够抑制外界冲击造成的测量误差，有效免疫加速度冲击和正交误差，并实现对信号量的放大，进而提高微机械陀螺仪的检测灵敏度。第三部分和第四部分的工作原理与第一部分和第二部分相同。检测件沿第三方向位于第一部分、第二部分、第三部分和第四部分的上方或下方，且检测件的检测面积较大，从而有效提高了微机械陀螺仪检测的机电耦合系数，进而提高了微机械陀螺仪的检测灵敏度和信噪比。

附图说明

图1为本发明所提供微机械陀螺仪在第一种具体实施例中的结构示意图；

图2为图1中A区域的局部放大图；

图3为本发明所提供微机械陀螺仪在第二种具体实施例中的结构示意图；

图4本发明所提供微机械陀螺仪在第三种具体实施例中的结构示意图；

图5为图4中B区域的局部放大图；

图6为本发明所提供微机械陀螺仪的侧视图。

附图标记：

X-第一方向；

Y-第二方向；

Z-第三方向；

1-第一运动件；

11-第一中心；

12-第一部分；

13-第二部分；

2-第二运动件；

21-第二中心；

22-第三部分；

23-第四部分；

3-驱动件；

4-检测件；

51-第一锚点；

52-第二锚点；

53-第三锚点；

54-第四锚点；

61-第一耦合件；

62-第二耦合件；

71-第一连接件；

72-第二连接件；

73-第三连接件；

74-第四连接件；

75-第五连接件；

76-第六连接件；

8-导向件。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

为了更好的理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

需要注意的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

本申请实施例提供一种电子产品，该电子产品包括：本体和微机械陀螺仪，该微机械陀螺仪安装于本体。

在本实施方式中，微机械陀螺仪能够检测出电子产品的角速度，便于辅助电子产品的工作。同时，该微机械陀螺仪能够同时测量两个方向的角速度，从而使得电子产品的性能得到提升。

本申请实施例提供一种微机械陀螺仪，如图1、图3和图4所示，该微机械陀螺仪包括第一运动件1、第二运动件2、多个驱动件3和检测件4，第一运动件1具有第一中心11，且第一运动件1沿第二方向Y的两端能够绕第一中心11沿第一方向X和第三方向Z摆动，第二运动件2具有第二中心21，且第二运动件2沿第一方向X的两端能够绕第二中心21沿第二方向Y和第三方向Z摆动，多个驱动件3能够驱动第一运动件1沿第一方向X的摆动和第二运动件2沿第二方向Y的摆动，检测件4沿第三方向Z位于第一运动件1和第二运动件2上方或下方，检测件4用于检测第一运动件1和第二运动件2沿第三方向Z的移动的距离。其中，第一方向X和第二方向Y垂直且共面，第三方向Z与第一方向X和第二方向Y垂直。

在本实施方式中，如图1、图3和图4所示，微机械陀螺仪包括三个工作模态，即驱动模态、第一检测模态和第二检测模态。在驱动模态下，驱动件3驱动第一运动件1沿第一方向X摆动、驱动第二运动件2沿第二方向Y摆动。由于第一运动件1的摆动为绕第一中心11的摆动，第二运动件2的摆动为绕第二中心21的摆动，因此相较于现有技术中驱动件仅驱动运动件沿单一方向往复运动而言，本申请中驱动件3驱动第一运动件1和第二运动件2运动的驱动效果更好且更为平稳。

当微机械陀螺仪随外界环境发生角速度方向为第一方向X的转动时，由于第一运动件1沿第一方向X摆动，因此第一运动件1会受到沿第三方向Z的哥氏力并产生沿第三方向Z的摆动，此时微机械陀螺仪处于第一检测模态，检测件4能够检测第一运动件1沿第三方向Z移动的距离，从而得到微机械陀螺仪绕第一方向X转动的角速度。当微机械陀螺仪随外界环境发生角速度方向为第二方向Y的转动时，由于第二运动件2沿第二方向Y摆动，因此第二运动件2会受到沿第三方向Z的哥氏力并产生沿第三方向Z的摆动，此时微机械陀螺仪处于第二检测模态，检测件4能够检测第二运动件2沿第三方向Z移动的距离，从而得到微机械陀螺仪绕第二方向Y转动的角速度。由于第一检测模态和第二检测模态可以同时存在且互不干扰，因此微机械陀螺仪可以同时测量两个方向的角速度，从而拓宽了微机械陀螺仪的应用场景。其中，检测件4可以为检测电极，驱动件3内部可以设置驱动电极。第一运动件1和第二运动件2可以为长方形，具体地，第一运动件1的长度方向平行于第二方向Y设置，第二运动件2的长度方向平行于第一方向X设置。

此外，第一运动件1根据第一中心11分为对称的第一部分12和第二部分13，第二运动件2根据第二中心21分为对称的第三部分22和第四部分23。由于沿第三方向Z，驱动件3驱动产生的第一部分12的运动和第二部分13的运动是频率相同、方向相反的往复运动，而外界冲击驱动的第一部分12的运动和第二部分13的运动是方向相同的运动，因此将检测件4检测到的第一部分12和第二部分13的位移信号量共模输出，并采用差分检测的操作能够抑制外界冲击造成的测量误差，有效免疫加速度冲击和正交误差，并实现对信号量的放大，进而提高微机械陀螺仪的检测灵敏度。第三部分22和第四部分23的工作原理与第一部分12和第二部分13同理。

如图6所示，检测件4沿第三方向Z位于第一部分12、第二部分13、第三部分22和第四部分23的上方或下方，且检测件4的检测面积较大，从而有效提高了微机械陀螺仪检测的机电耦合系数，进而提高了微机械陀螺仪的检测灵敏度和信噪比。

在一种具体的实施方式中，如图1、图3和图4所示，沿第一方向X，第一运动件1设置有多个，沿第二方向Y，第二运动件2设置有多个。

在本实施方式中，由于第一运动件1和第二运动件2均设置为多个，因此，在第一检测模态下，微机械陀螺仪能够通过多个第一运动件1测得多个角速度，在第二检测模态下，微机械陀螺仪能够通过多个第二运动件2测得多个角速度，对多个角速度进行分析处理能够减小测量误差，使微机械陀螺仪测得的数值更加准确。本实施例中，第一运动件1在第一方向X设置有两个，第二运动件2在第二方向Y设置有两个。

在一种具体的实施方式中，如图1、图3和图4所示，微机械陀螺仪还包括：第一锚点51、第一耦合件61、第一连接件71和第二连接件72，第一锚点51沿第一方向X设置于第一运动件1的两侧且第一锚点51沿第二方向Y设置于第二运动件2的两侧，第一耦合件61套设于第一锚点51，第一耦合件61能够绕第一锚点51转动，第一连接件71连接第一耦合件61和驱动件3，第二连接件72连接第一耦合件61和第一运动件1，还连接第一耦合件61和第二运动件2。其中，驱动件3通过第一连接件71驱动第一耦合件61绕第一锚点51转动，第一耦合件61通过第二连接件72驱动第一运动件1和第二运动件2摆动。

在本实施方式中，如图1、图3和图4所示，第一耦合件61沿驱动件3的周向设置有四个，驱动件3通过第一连接件71与第一耦合件61连接，驱动件3的运动驱动四个第一耦合件61绕第一锚点51沿顺时针方向或逆时针方向转动。由于第一耦合件61通过第二连接件72同时与第一运动件1和第二运动件2连接，因此第一耦合件61能够同步驱动第一运动件1和第二运动件2的摆动，在辅助实现驱动件3对第一运动件1和第二运动件2驱动的同时使微机械陀螺仪在三种模态下的结构总力矩平衡，从而提高微机械陀螺仪的驱动稳定性。同时，由于第一耦合件61仅限制或驱动第一运动件1和第二运动件2在第一方向X和第二方向Y所在平面内的运动，对第一运动件1和第二运动件2沿第三方向Z的运动并无限制，从而避免了驱动模态与第一检测模态和第二检测模态的之间的干扰，降低了微机械陀螺仪的检测误差。

在上述基础上，本申请提供三种具体的实施例。

在第一种具体的实施例中，如图1和图2所示，驱动件3沿第一方向X平行设置有两个，且两个驱动件3沿第二方向Y的运动方向相反。微机械陀螺仪还包括第二耦合件62和第五连接件75，第二耦合件62设置于微机械陀螺仪的中心且位于两个驱动件3之间，两个驱动件3通过第五连接件75和第二耦合件62连接。每个驱动件3还通过第一连接件71与两个第一耦合件61连接，从而实现两个驱动件3沿第二方向Y的运动驱动四个第一耦合件61绕第一锚点51沿顺时针方向或逆时针方向的转动，进而通过第一耦合件61和第二连接件72的配合带动第一运动件1和第二运动件2摆动。此外，第二耦合件62为长条形，有效利用两个驱动件3之间的空间，从而减小微机械陀螺仪的体积。

在本实施例中，微机械陀螺仪还包括：第二锚点52、第三锚点53、第三连接件73和第四连接件74，其中，第二锚点52沿第一方向X设置于第一中心11的两侧，第三锚点53沿第二方向Y设置于第二中心21的两侧，第三连接件73连接第二锚点52和第一运动件1，第四连接件74连接第三锚点53和第二运动件2。

如图1所示，第二锚点52通过第三连接件73与第一运动件1连接，使第一运动件1能够绕第一中心11沿第三方向Z摆动(即具有绕第一方向X转动的自由度)，并限制第一运动件1绕第二方向Y转动的自由度，从而使第一运动件1对角速度方向为第二方向Y的转动不敏感。第三锚点53通过第四连接件74与第二运动件2连接，使第二运动件2能够绕第一中心11沿第三方向Z摆动(即具有绕第二方向Y转动的自由度)，并限制第一运动件1绕第一方向X转动的自由度，从而使第二运动件2对角速度方向为第一方向X的转动不敏感。进而使第一检测模态和第二检测模态彼此独立、互不干扰，同时降低了微机械陀螺仪的检测误差。

在第二种具体的实施例中，如图3所示，驱动件3沿微机械陀螺仪的周向设置有四个，且四个驱动件3均沿顺时针圆周的切线方向运动，或者均沿逆时针圆周的切线方向运动。微机械陀螺仪还包括：第四锚点54和第六连接件76，第四锚点54设置于微机械陀螺仪的中心，四个驱动件3通过第六连接件76与第四锚点54连接。每个驱动件3还通过第一连接件71与一个第一耦合件61连接，从而实现四个驱动件3沿圆周的切线方向的运动驱动四个第一耦合件61绕第一锚点51的转动，并通过第一耦合件61和第六连接76保证驱动件3、第一运动件1和第二运动件2的运动同步性。

在本实施例中，微机械陀螺仪还包括：第二锚点52、第三锚点53、第三连接件73和第四连接件74，其中，第二锚点52设置于第一中心11，第三锚点53设置于第二中心21，第三连接件73连接第二锚点52和第一运动件1，第四连接件74连接第三锚点53和第二运动件2。

如图3所示，第二锚点52通过第三连接件73与第一运动件1连接，使第一运动件1能够绕第一中心11沿第三方向Z摆动(即具有绕第一方向X转动的自由度)，并限制第一运动件1绕第二方向Y转动的自由度，从而使第一运动件1对角速度方向为第二方向Y的转动不敏感。第三锚点53通过第四连接件74与第二运动件2连接，使第二运动件2能够绕第一中心11沿第三方向Z摆动(即具有绕第二方向Y转动的自由度)，并限制第一运动件1绕第一方向X转动的自由度，从而使第二运动件2对角速度方向为第一方向X的转动不敏感。进而使第一检测模态和第二检测模态彼此独立、互不干扰，同时降低了微机械陀螺仪的检测误差。

在第三种具体的实施例中，如图4和图5所示，驱动件3沿微机械陀螺仪的周向设置有四个，且四个驱动件3均沿圆周的径向方向往复运动。微机械陀螺仪还包括第二耦合件62和第五连接件75，第二耦合件62设置于微机械陀螺仪的中心，四个驱动件3通过第五连接件75与第二耦合件62连接。每个驱动件还通过第一连接件71与一个第一耦合件61连接，从而实现四个驱动件3沿圆周的径向方向的运动驱动四个第一耦合件61绕第一锚点51的转动，并通过第一耦合件61和第二耦合件62保证驱动件3、第一运动件1和第二运动件2的运动同步性。此外，第二耦合件62为圆形，且圆周的径向方向相对设置的驱动件3的运动方向相反，使第二耦合件62在椭圆形和圆形之间平稳变化，从而提高了驱动件3的驱动稳定性。此外，第二耦合件62还可以为其他对称的图形，例如正方形、四角或八角星型。

在本实施例中，微机械陀螺仪还包括：第二锚点52、第三锚点53、第三连接件73和第四连接件74，其中，第二锚点52沿第一方向X设置于第一中心11的两侧，第三锚点53沿第二方向Y设置于第二中心21的两侧，第三连接件73连接第二锚点52和第一运动件1，第四连接件74连接第三锚点53和第二运动件2。该结构的效果与第一种具体的实施例中相应结构的效果相同，故不再赘述。

对于以上三种具体的实施例，第一连接件71、第二连接件72、第三连接件73、第四连接件74和第五连接件均可以为连接梁、柔性梁或弹性梁。第二连接件72可以为T形梁。

对于以上三种具体的实施例，驱动件3沿运动方向的两侧均可以设置导向件，从而使驱动件3的运动更加平稳，可靠性更好。

对于以上三种具体的实施例，微机械陀螺仪还可以设置有驱动换能器和检测换能器，从而使微机械陀螺仪具有更好的驱动性能和检测性能。

以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪包括：

第一运动件(1)，所述第一运动件(1)具有第一中心(11)，且所述第一运动件(1)沿第二方向(Y)的两端能够绕所述第一中心(11)沿第一方向(X)和第三方向(Z)摆动；

第二运动件(2)，所述第二运动件(2)具有第二中心(21)，且所述第二运动件(2)沿所述第一方向(X)的两端能够绕所述第二中心(21)沿所述第二方向(Y)和所述第三方向(Z)摆动；

多个驱动件(3)，多个所述驱动件(3)能够驱动所述第一运动件(1)沿所述第一方向(X)的摆动和所述第二运动件(2)沿所述第二方向(Y)的摆动；

检测件(4)，所述检测件(4)沿所述第三方向(Z)位于所述第一运动件(1)和所述第二运动件(2)上方或下方，所述检测件(4)用于检测所述第一运动件(1)和所述第二运动件(2)沿所述第三方向(Z)的移动的距离；

其中，所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)垂直且共面，所述第三方向(Z)与所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)垂直。

2.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，沿所述第一方向(X)，所述第一运动件(1)设置有多个；沿所述第二方向(Y)，所述第二运动件(2)设置有多个。

3.根据权利要求2所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪还包括：

第一锚点(51)，所述第一锚点(51)沿所述第一方向(X)设置于所述第一运动件(1)的两侧且所述第一锚点(51)沿所述第二方向(Y)设置于所述第二运动件(2)的两侧；

第一耦合件(61)，所述第一耦合件(61)套设于所述第一锚点(51)，所述第一耦合件(61)能够绕所述第一锚点(51)转动；

第一连接件(71)，所述第一连接件(71)连接所述第一耦合件(61)和所述驱动件(3)；

第二连接件(72)，所述第二连接件(72)连接所述第一耦合件(61)和所述第一运动件(1)，还连接所述第一耦合件(61)和所述第二运动件(2)；

所述驱动件(3)通过所述第一连接件(71)驱动所述第一耦合件(61)绕所述第一锚点(51)转动，所述第一耦合件(61)通过所述第二连接件(72)驱动所述第一运动件(1)和所述第二运动件(2)摆动。

4.根据权利要求3所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪还包括：

第二锚点(52)，所述第二锚点(52)沿所述第一方向(X)设置于所述第一中心(11)的两侧或所述第一中心(11)；

第三锚点(53)，所述第三锚点(53)沿所述第二方向(Y)设置于所述第二中心(21)的两侧或所述第二中心(21)；

第三连接件(73)，所述第三连接件(73)连接所述第二锚点(52)和所述第一运动件(1)

第四连接件(74)，所述第四连接件(74))连接所述第三锚点(53)和所述第二运动件(2)。

5.根据权利要求1至4任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪还包括：

第二耦合件(62)，所述第二耦合件(62)设置于所述微机械陀螺仪的中心；

第五连接件(75)，所述第五连接件(75)连接所述驱动件(3)和所述第二耦合件(62)。

6.根据权利要求5所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第二耦合件(62)为圆形或长条形。

7.根据权利要求1至4任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪还包括：

第四锚点(54)，所述第四锚点(54)设置于所述微机械陀螺仪的中心；

第六连接件(76)，所述第六连接件(76)连接所述驱动件(3)和所述第四锚点(54)。

8.根据权利要求1至4任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述驱动件(3)平行设置有两个，两个所述驱动件(3)沿所述第一方向(X)或所述第二方向(Y)的运动方向相反。

9.根据权利要求1至4任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于，多个所述驱动件(3)沿所述微机械陀螺仪的周向排布，且多个所述驱动件(3)均沿圆周的切线方向往复运动，或者均沿圆周的径向方向往复运动。

10.一种电子产品，其特征在于，所述电子产品包括：

本体；

微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪安装于所述本体，所述微机械陀螺仪为权利要求1至9任一项所述的微机械陀螺仪。

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