CN114700858A - 一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环及方法，属于半导体精密加工技术领域，包括多刀主轴、主动调节环、补偿调节环、砂轮刀片、主轴端面。所述主动调节环和补偿调节环按照输入信号自动调节厚度，N‑1个主动调节环依次放置于N个砂轮刀片的N‑1个间隔中，2个补偿调节环放置于两端，通过N‑1个主动调节环的厚度变化，使N个砂轮刀片间的分度达到预定值，通过2个补偿调节环的厚度变化，使砂轮刀片和调节环整体厚度之和保持不变。本发明设计了一种无线自动分度调节环，通过使用相应的分度调节方法，解决了传统砂轮划片机主轴只能安装单个刀片的问题。刀片数量灵活，分度自由调节，提高了砂轮划片机的效率。

Description

一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环及方法

技术领域

本发明属于半导体精密加工技术领域，尤其涉及一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环及方法。

背景技术

半导体材料在电子、通信、仪器等领域有着广泛的应用，全球半导体市场依然高速增长，目前半导体行业在芯片、5G基站、航空航天、高铁交通等关键领域充当核心角色。划片工艺作为芯片制造工艺流程中的必要一环，起着至关重要的作用，砂轮划片机作为划片工艺的作业设备，其效率和精度直接决定了芯片制造的速度和质量。传统砂轮划片机均为单砂轮刀片主轴，在不抬刀方式下，单次进给作业只能切割一条通道，晶圆划片过程中需要在X、Y双通道上分别进行40-50次切割；若采用抬刀方式进行划片，其移动轨迹长度为不抬刀方式的两倍；若晶圆切割通道的分度相异，则需要采用较为复杂的方法实现连续分度切割。

发明内容

为解决上述问题，本发明公开了一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环及方法。本发明使用设计出的无线自动调节分度调节环，实现划片机主轴加装N把砂轮刀片，砂轮刀片作业间隔根据分度要求可进行自由调节；可根据所需砂轮刀片的数量在实际作业情况下加装相应厚度和数量的分度调节环，从而实现砂轮刀片数量的可控及砂轮刀片的紧固。相较于传统砂轮划片机的作业方式，该分度调节环能够实现多把砂轮刀片同时进行划片作业，且能够保证砂轮刀片分度根据要求进行调节，解决了传统单刀砂轮划片机作业效率低、分度调节麻烦的问题。本发明可根据实际情况制造多种厚度型号的分度调节环，对于不同情况下的晶圆切割通道分度均能适应。

为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：

一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环，其特征在于，包括主动调节环、补偿调节环、多刀主轴、砂轮刀片、主轴端面。

所述主动调节环包括左分环和右分环；所述右分环内嵌于左分环中；所述左分环包括从动模块、左分环壳体、测距传感器I、同步带、电路板、主动模块、电池和橡胶防水圈I；所述从动模块和主动模块中的从动模块部分总数量为8，沿左分环环腔底面成八等分圆周阵列；所述主动模块数量为2，以左分环圆心为中心对称；所述测距传感器I数量为2，放置于相邻两从动模块夹角平分线上，以左分环圆心为中心对称；所述同步带与6个从动模块及2个主动模块的从动模块部分相配合；所述电路板数量为2，与测距传感器I间距45°；所述电池数量为2，与电路板间距90°；所述右分环包括螺母套柱、测距传感器II、右分环壳体和橡胶防水圈II；所述螺母套柱数量为8，沿右分环环腔底面八等分圆周阵列，并与左分环8个从动模块单元一一对应；所述测距传感器II数量为2，放置于相邻两螺母套柱夹角平分线上，以右分环圆心为中心对称，且测距传感器II与测距传感器I一一对应；所述右分环壳体环腔底面与8个螺母套柱相同位置处开有与螺母套柱相同直径的圆通孔。

所述补偿调节环与主动调节环结构相同，区别在于：补偿调节环左分环与右分环的厚度为主动调节环的2倍；补偿调节环左分环从动模块及主动模块中的从动模块相同部分的长度为主动调节环的2倍；补偿调节环右分环螺母套柱长度为主动调节环的2倍。

所述多刀主轴包括前部螺纹、主轴主体、和主轴安装模块；所述前部螺纹可安装主轴端面对砂轮刀片和调节环进行紧固；所述主轴主体长度固定，在其上可安装N把砂轮刀片、N-1个主动调节环、2个补偿调节环；所述主轴安装模块，其圆周等分阵列多个安装圆孔，用于将主轴安装在机床上。

所述主轴端面为空心圆台结构，内径开有螺纹与前部螺纹相配合，沿上底面四等分圆周阵列开有安装圆孔。

进一步的改进，所述从动模块包括丝杠I、同步轮I、轴承座I和自润滑轴承；所述自润滑轴承放置于轴承座I孔位中；所述丝杠I上半段为螺纹结构，下半段无螺纹，丝杠I下端安装在自润滑轴承中；所述同步轮I安装在轴承座I上方，与丝杠I下半段相配合；所述同步轮I与同步带相配合；所述丝杠I与螺母套柱相配合。

进一步的改进，所述主动模块包括传动齿轮I、丝杠II、齿带、传动齿轮II中心轴、传动齿轮II、微电机固定座、微电机、换向减速器、同步轮II和轴承座II；所述丝杠II、同步轮II、轴承座II与从动模块相同；所述传动齿轮I安装于同步轮II上方，与丝杠II下半段相配合；所述齿带与传动齿轮I和传动齿轮II相配合；所述传动齿轮II安装于传动齿轮II中心轴上；所述传动齿轮II中心轴安装于换向减速器上；所述换向减速器与微电机连接；所述微电机使用微电机固定座安装于左分环环腔底面；所述同步轮II与同步带相配合；所述丝杠II与螺母套柱相配合。

进一步的改进，所述电路板、电池、微电机、测距传感器I为一组通过线路进行连接，以2个主动模块的丝杠II中心的连接线为界共分为2组线路回路。

进一步的改进，所述螺母套柱末端开有4个螺孔，右分环8个圆通孔处对应开有安装孔，每个螺母套柱通过四个螺钉固定在右分环上。

进一步的改进，所述补偿分度调节环的2个主动模块和6个从动模块的丝杠长度为主动分度调节环的两倍，其中下段无螺纹长度保持一致，上段螺纹增长。

进一步的改进，所述左分环内周壳体腔内壳面及右分环外周壳体腔外壳面分别开有两条防水槽，分别在槽上安装橡胶防水圈I和橡胶防水圈II。

本发明提供一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环的调节方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、将第一个补偿调节环套在主轴主体上并推至主轴安装模块处，保持补偿调节环处于最薄状态，将N把砂轮刀片和N-1个主动调节环依次交替套在主轴主体上，并保持各个相邻面贴合；

步骤二、划片机上位机通过无线传输单元向多个主动调节环发送信号，主动调节环电路板上的无线传输接收单元在接收到分度信号后，对微电机进行正反向转动控制，经过换向减速器、传动齿轮II、齿带和传动齿轮I的传动链，使主动模块丝杠II进行旋转，带动同步轮II转动，从而使同步带进行相应方向、速度和时间的转动，6个从动模块的同步轮I随着同步带进行转动，从而带动丝杠I旋转，8个螺母套柱在2个主动模块的丝杠II和6个从动模块的丝杠I旋转作用下实现接近或远离的动作，测距传感器I向测距传感器II发射测距介质，测距传感器II进行信号返回，实现对左分环与右分环环腔底面距离的测量，并将所得结果反馈给电路板的微电机驱动构成闭环控制，直至将主动调节环厚度调整至预定值；

步骤三、将第二个补偿调节环套在主轴主体上，推至最外侧砂轮刀片贴合面，确保此时主轴主体上安装的N-1个主动调节环依次放置于N把砂轮刀片的N-1间隔中，2个补偿调节环放置于两端；

步骤四、使用工具将主轴端面与主轴前部螺纹进行配合；

步骤五、通过计算机运算，保证主动调节环厚度不变的情况下，使主轴主体总长度减去N把砂轮刀片和N-1个主动调节环的剩余长度分配至2个补偿调节环上，划片机上位机发送信号对补偿调节环进行厚度调整，补偿调节环的微电机驱动监测电流信号以保证砂轮刀片紧固且砂轮刀片间的分度达到相应的要求；

步骤六、主轴转动，进行划片作业；

步骤七、划片作业结束后，在与前述砂轮刀片数量需求一致，分度要求发生变动的情况下，划片机上位机经过运算后向主动调节环和补偿调节环发送信号，对分度进行调整；若主动调节环厚度变大，此时补偿调节环应稍提前减小厚度且需留有余量，待主动调节环厚度调节完毕后，补偿调节环进行厚度调整，补偿调节环的微电机驱动监测电流信号以保证砂轮刀片紧固且砂轮刀片间的分度达到相应的要求；若主动调节环厚度变小，此时补偿调节环应稍滞后增大厚度，待主动调节环厚度调节完毕后，补偿调节环进行厚度调整，补偿调节环的微电机驱动监测电流信号以保证砂轮刀片紧固且砂轮刀片间的分度达到相应的要求；

步骤八、若砂轮刀片数量需求变化，此时可根据上位机运算结果选择移除或增加相应数量的砂轮刀片和主动调节环组合，或者选择更换其他厚度型号的主动调节环和补偿调节环，并返回步骤一重新执行；

步骤九、若砂轮刀片型号发生变化，此时需要卸下主轴上的所有砂轮刀片、主动调节环和补偿调节环，经过上位机运算后选择合适型号的调节环和砂轮刀片组合，并返回步骤一重新执行。

进一步的改进，所述主动调节环的厚度为5mm～20mm。

进一步的改进，所述补偿调节环的厚度为10mm～40mm。

进一步的改进，所述主轴主体的直径为30-200mm。

本发明的有益效果是：

解决了传统砂轮划片机单次划片进给运动仅能切割一条切割通道的问题，在划片机主轴上根据需求安装N把砂轮刀片、N-1个主动调节环和2个补偿调节环，通过无线发送信号进行调节的方式对主动调节环和补偿调节环进行厚度调整，使划片机主轴可同时安装多把砂轮刀片，砂轮刀片间的分度可根据实际情况保持一致或相异，实现单次划片进给作业同时切割多条切割通道，这将提升砂轮划片机的作业效率。砂轮刀片数量灵活，分度自由调节，根据晶圆切割通道所要求的宽度、切割通道分度的大小和密度选择相应数量和厚度的砂轮刀片、主动调节环和补偿调节环。

附图说明

图1是本发明实施例的整体结构示意图；

图2是本发明所述主动调节环结构示意图；

图3是本发明所述左分环结构示意图；

图4是本发明所述动力总成示意图；

图5是本发明所述从动模块示意图；

图6是本发明所述主动模块示意图；

图7是本发明所述右分环结构示意图；

图8是本发明所述螺母套柱结构示意图；

图9是本发明实施例的4砂轮刀片小分度示意图；

图10是本发明实施例的4砂轮刀片大分度示意图；

图11是本发明实施例的5砂轮刀片相异分度示意图；

其中：

1主动调节环

101左分环，

10101从动模块，

1010101丝杠I，1010102同步轮I，1010103轴承座I，1010104自润滑轴承I

10102左分环壳体，

10103测距传感器I，

10104同步带，

10105电路板，

10106主动模块，

1010601传动齿轮I，1010602丝杠II，1010603齿带，1010604传动齿轮II中心轴，1010605传动齿轮II，1010606固定座，1010607微电机，1010608换向减速器，1010609同步轮II，1010610轴承座II

10107电池，

10108橡胶防水圈I

102右分环，

10201螺母套柱，10202测距传感器II，10203右分环壳体，10204橡胶防水圈II，10205螺钉

2 补偿调节环

3 多刀主轴

4 砂轮刀片

5 主轴端面

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终使用相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的模块。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环，涉及装置包括主动调节环1、补偿调节环2、多刀主轴3、砂轮刀片4和主轴端面5。

所述主动调节环1包括左分环101和左分环；所述右分环102内嵌于左分环101中；所述左分环101包括从动模块10101、左分环壳体10102、测距传感器I10103、同步带10104、电路板10105、主动模块10106、电池10107和橡胶防水圈I10108；所述从动模块10101和主动模块10106的从动模块10101部分的总数量为8，沿左分环101环腔底面成八等分圆周阵列分布；所述主动模块10106数量为2，以左分环101圆心为中心进行对称；所述测距传感器I10103数量为2，放置于相邻两从动模块10101夹角平分线上以左分环101圆心为中心进行对称；所述同步带10104与6个从动模块10101及2个主动模块10106的从动模块10101部分相配合；所述电路板10105数量为2，与测距传感器I10103间距45°放置于相邻两从动模块10101夹角平分线上以左分环101圆心为中心进行对称；所述电池10107与电路板10105间距90°放置于相邻两从动模块10101夹角平分线上以左分环101圆心为中心进行对称；所述从动模块10101包括丝杠I1010101、同步轮I1010102、轴承座I1010103和自润滑轴承1010104；所述自润滑轴承1010104放置于轴承座I1010103中心孔位中；所述丝杠I1010101上半段为螺纹结构，下半段无螺纹，丝杠I1010101下端安装在自润滑轴承1010104中；所述同步轮I1010102安装在轴承座I1010103上方，与丝杠I1010101下半段相配合；所述主动模块10106包括传动齿轮I1010601、丝杠II1010602、齿带1010603、传动齿轮II中心轴1010604、传动齿轮II1010605、固定座1010606、微电机1010607、换向减速器1010608、同步轮II1010609和轴承座II1010610；所述丝杠II1010602、同步轮II1010609、轴承座II1010610与从动模块10101相同；所述传动齿轮I1010601安装于同步轮II1010609上方，与丝杠II1010602下半段相配合；所述齿带1010603与传动齿轮I1010601和传动齿轮II1010605相配合；所述传动齿轮II1010605安装于传动齿轮II中心轴1010604上；所述传动齿轮II中心轴1010604安装于换向减速器上1010608；所述换向减速器1010608与微电机1010607连接；所述微电机1010607使用固定座1010606安装于左分环101环腔底面；所述同步带10104与从动模块10101的6个同步轮I1010102和主动模块10106的2个同步轮II1010609相配合；所述电路板10105、电池10107、微电机1010607、测距传感器I10103为一组通过线路进行连接，以2个主动模块10106的丝杠II1010602中心的连接线为界共分为2组线路回路；所述右分环102包括螺母套柱10201、测距传感器II10202、右分环壳体10203和橡胶防水圈II10204；所述螺母套柱10201数量为8，沿右分环102环腔底面八等分圆周阵列，并与左分环101的6个从动模块10101的丝杠I1010101和2个主动模块10106的丝杠II1010602一一对应；所述测距传感器II10202数量为2，放置于相邻两螺母套柱10201夹角平分线上以右分环102圆心为中心进行对称，且测距传感器II10202与测距传感器I10103一一对应；所述右分环壳体10203环腔底面与8个螺母套柱10201相同位置处开有与螺母套柱10201相同直径的圆通孔；所述螺母套柱10201末端开有4个螺孔，右分环102八个圆通孔处对应开有安装孔，螺母套柱10201通过四个螺钉10205固定在右分环102上；所述左分环101内周壳体腔内壳面及右分环102外周壳体腔外壳面分别开有两条防水槽，分别在槽上安装橡胶防水圈I10108和橡胶防水圈II10204。

所述补偿调节环2与主动调节环1结构相同，区别在于：补偿调节环左分环101与右分环102的厚度为主动调节环1的2倍；补偿调节环左分环101从动模块10101丝杠I1010101及主动模块10106丝杠II1010602的长度为主动调节环1的2倍，其中下段无螺纹长度保持一致，上段螺纹段长度增长；补偿调节环右分环102螺母套柱10201长度为主动调节环1的2倍。

参见图1，所述多刀主轴3包括前部螺纹3-1、主轴主体3-2、主轴安装模块3-3；所述前部螺纹3-1可安装主轴端面5对砂轮刀片4和调节环进行紧固；所述主轴主体3-2长度固定，在其上可安装N把砂轮刀片4、N-1个主动调节环1、两个补偿调节环2；所述主轴安装模块3-3，其圆周等分阵列多个安装圆孔，用于将多刀主轴3安装在机床上。

所述主轴端面5为空心圆台结构，内径开有螺纹与前部螺纹3-1配合，沿上底面四等分圆周阵列开有安装圆孔。

一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环的调节方法，具体实施步骤如下：

步骤一、将第一个补偿调节环2套在主轴主体3-2上并推至主轴安装模块3-3处，保持补偿调节环2处于最薄状态，将N把砂轮刀片4和N-1个主动调节环1依次交替套在主轴主体3-2上，并保持各个相邻面贴合；

步骤二、划片机上位机通过无线电子单元向多个主动调节环1发送信号，主动调节环1电路板10105上的无线传输接收单元在接收到分度信号后，对微电机进行转动控制，经过换向减速器1010608、传动齿轮II1010605、齿带1010603和传动齿轮I1010601的传动链，使主动模块10106丝杠II1010602进行旋转，带动同步轮II1010609转动，从而使同步带10104进行相应方向、速度和时间的转动，6个从动模块10101的同步轮I1010102随着同步带10104进行转动，从而带动丝杠I1010101旋转，8个螺母套柱10201在2个主动模块10106的丝杠I1010101和6个从动模块10101的丝杠II1010602旋转作用下，右分环102与左分环101实现接近或远离动作，测距传感器I10103向测距传感器II10202发射测距介质，测距传感器II10202进行信号返回，实现对左分环101与右分环102环腔底面距离的测量，并将所得结果反馈给电路板10105的微电机驱动构成闭环，直至将主动调节环厚度调整至预定值；

步骤三、将第二个补偿调节环2套在主轴主体3-2上，推至最外侧砂轮刀片4贴合面，主轴主体3-2上安装的N-1个主动调节环1依次放置于N把砂轮刀片4的N-1间隔中，2个补偿调节环2放置于两端；

步骤四、使用工具将主轴端面5与主轴前部螺纹3-1进行配合；

步骤五、通过计算机运算，保证主动调节环1厚度不变的情况下，使主轴主体3-2总长度减去N把砂轮刀片4和N-1个主动调节环1的剩余长度分配至两个补偿调节环2上，划片机上位机发送信号对补偿调节环2进行厚度调整，补偿调节环2的微电机驱动监测电流信号以保证砂轮刀片4紧固且砂轮刀片4间的分度达到相应的要求；

步骤六、多刀主轴3转动，进行划片作业；

步骤七、参见图9和图10，在与前述砂轮刀片4数量需求一致，分度要求发生变动的情况下，划片机上位机经过运算后向主动调节环1和补偿调节环2发送信号，对分度进行调整；若主动调节环1厚度变大，此时补偿调节环2应稍提前减小厚度且需留有余量，待主动调节环1厚度调节完毕后，补偿调节环2进行厚度调整，补偿调节环2的微电机驱动监测电流信号以保证砂轮刀片4紧固且砂轮刀片4间的分度达到相应的要求；若主动调节环1厚度变小，此时补偿调节环2应稍滞后增大厚度，待主动调节环1厚度调节完毕后，补偿调节环2进行厚度调整，补偿调节环2的微电机驱动监测电流信号以保证砂轮刀片4紧固且砂轮刀片4间的分度达到相应的要求；参见图11，若对不同砂轮刀片4间的分度要求相异时，划片机上位机经过运算后向主动调节环1和补偿调节环2发送信号，对各调节环厚度进行调整直至到达要求；

步骤八、参见图1、图9和图11，若砂轮刀片4数量需求变化，此时可根据上位机运算结果选择移除或增加相应数量的砂轮刀片4和主动调节环1组合，或者选择更换其他厚度型号的主动调节环1和补偿调节环2，返回步骤一重新执行；

步骤九、若砂轮刀片4型号发生变化，此时需要卸下多刀主轴3上的所有砂轮刀片4、主动调节环1和补偿调节环2，经过上位机运算后选择合适型号的调节环和砂轮刀片4组合，返回步骤一重新执行。

本说明书实施例的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，并不用于限制本发明，对于本领域技术人员来说，可根据以上描述的技术方案及构思，作出各种变化。因此，举凡所属领域技术人员根据本发明构思所修改、等同替换、改进等得到的等同技术手段都应属于本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环，其特征在于，包括主动调节环、补偿调节环、多刀主轴、砂轮刀片、主轴端面；

所述主动调节环包括左分环和右分环；所述右分环内嵌于左分环中；所述左分环包括从动模块、主动模块、左分环壳体、测距传感器I、同步带、电路板、电池和橡胶防水圈I；所述从动模块和主动模块中的从动模块部分总数量为2(X+Y)，沿左分环环腔底面成圆周等分阵列；所述主动模块数量为2Y，以左分环圆心为中心对称；所述同步带与2X个从动模块及2Y个主动模块的从动模块部分相配合；所述右分环包括螺母套柱、测距传感器II、右分环壳体和橡胶防水圈II；所述螺母套柱数量为2(X+Y)，沿右分环环腔底面成圆周等分阵列，并与左分环2(X+Y)个从动模块单元一一对应；所述测距传感器II放置于右分环环腔底面，测距传感器II与测距传感器I数量一致且位置一一对应；所述右分环壳体环腔底面在2(X+Y)个螺母套柱处开有圆通孔，螺母套柱通过螺钉固定在右分环上；

所述补偿调节环与主动调节环结构相同，区别在于：补偿调节环左分环与右分环的厚度为主动调节环的M倍；补偿调节环左分环从动模块及主动模块中的从动模块相同部分的长度为主动调节环的M倍；补偿调节环右分环螺母套柱长度为主动调节环的M倍；

所述多刀主轴包括前部螺纹、主轴主体、和主轴安装模块；所述前部螺纹可安装主轴端面对砂轮刀片和调节环进行紧固；所述主轴主体长度固定，在其上可安装N把砂轮刀片、N-1个主动调节环、2个补偿调节环；所述主轴安装模块，其圆周等分阵列安装圆孔，用于将主轴安装在机床上。

2.根据权利要求1所述从动模块包括丝杠I、同步轮I、轴承座I和自润滑轴承；所述自润滑轴承放置于轴承座I孔位中；所述丝杠I上半段为螺纹结构，下半段无螺纹，丝杠I下端安装在自润滑轴承中；所述同步轮I安装在轴承座I上方，与丝杠I下半段相配合；所述同步轮I与同步带相配合；所述丝杠I与螺母套柱相配合。

3.根据权利要求1所述主动模块包括传动齿轮I、丝杠II、齿带、传动齿轮II中心轴、传动齿轮II、微电机固定座、微电机、换向减速器、同步轮II和轴承座II；所述丝杠II、同步轮II、轴承座II与从动模块相同；所述传动齿轮I安装于同步轮II上方，与丝杠II下半段相配合；所述齿带与传动齿轮I和传动齿轮II相配合；所述传动齿轮II安装于传动齿轮II中心轴上；所述传动齿轮II中心轴安装于换向减速器上；所述换向减速器与微电机连接；所述微电机使用微电机固定座安装于左分环环腔底面；所述同步轮II与同步带相配合；所述丝杠II与螺母套柱相配合。

4.根据权利要求1所述电路板、电池、微电机、测距传感器I数量均为S个，每一组通过线路进行连接，在左分环环腔底面分为S组线路回路。

5.根据权利要求1所述补偿调节环的2Y个主动模块和2X个从动模块的丝杠长度为主动调节环的M倍，其中下段无螺纹长度保持一致，上段螺纹增长。

6.根据权利要求1所述左分环内周壳体腔内壳面和右分环外周壳体腔外壳面分别开有防水槽，分别在槽上安装橡胶防水圈I和橡胶防水圈II。

7.一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环的调节方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、将第一个补偿调节环套在主轴主体上并推至主轴安装模块处，保持补偿调节环处于最薄状态，将N把砂轮刀片和N-1个主动调节环依次交替套在主轴主体上，并保持各个相邻面贴合；

步骤二、划片机上位机通过无线传输单元向多个主动调节环发送信号，主动调节环电路板上的无线传输接收单元在接收到分度信号后，对微电机进行正反向转动控制，经过换向减速器、传动齿轮II、齿带和传动齿轮I的传动链，使主动模块丝杠II进行旋转，带动同步轮II转动，从而使同步带进行相应方向、速度和时间的转动，2X个从动模块的同步轮I随着同步带进行转动，从而带动丝杠I旋转，2(X+Y)个螺母套柱在2Y个主动模块的丝杠II和2X个从动模块的丝杠I旋转作用下实现接近或远离的动作，测距传感器I向测距传感器II发射测距介质，测距传感器II进行信号返回，实现对左分环与右分环环腔底面距离的测量，并将所得结果反馈给电路板的微电机驱动构成闭环控制，直至将主动调节环厚度调整至预定值；

步骤三、将第二个补偿调节环套在主轴主体上，推至最外侧砂轮刀片贴合面，确保此时主轴主体上安装的N-1个主动调节环依次放置于N把砂轮刀片的N-1间隔中，2个补偿调节环放置于两端；

步骤四、使用工具将主轴端面与主轴前部螺纹进行配合；

步骤五、通过计算机运算，保证主动调节环厚度不变的情况下，使主轴主体总长度减去N把砂轮刀片和N-1个主动调节环的剩余长度分配至2个补偿调节环上，划片机上位机发送信号对补偿调节环进行厚度调整，补偿调节环的微电机驱动监测电流信号以保证砂轮刀片紧固且砂轮刀片间的分度达到相应的要求；

步骤六、主轴转动，进行划片作业；

步骤七、划片作业结束后，在与前述砂轮刀片数量需求一致，分度要求发生变动的情况下，划片机上位机经过运算后向主动调节环和补偿调节环发送信号，对各调节环厚度进行调整；

步骤八、若砂轮刀片数量需求变化，此时可根据上位机运算结果选择移除或增加相应数量的砂轮刀片和主动调节环组合，或者选择更换其他厚度型号的主动调节环和补偿调节环，返回步骤一重新执行；

步骤九、若砂轮刀片型号发生变化，此时需要卸下主轴上的所有砂轮刀片、主动调节环和补偿调节环，经过上位机运算后选择合适型号的调节环和砂轮刀片组合，返回步骤一重新执行。

8.根据权利要求7所述的一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环的调节方法，其特征在于，所述步骤一中，主动调节环的厚度为5mm～20mm，补偿调节环的厚度为10mm～40mm，主轴主体的直径为30～200mm。

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