CN114688998A - 载片台平整度的调节方法及装置 - Google Patents

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Abstract

一种载片台平整度的调节方法及装置，载片台包括多个支撑柱，支撑柱用于承载待承载物，方法包括：获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱；获得异常支撑柱对待承载物的作用区域；获得异常区域与作用区域的交叠面积；根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式。本发明实施例中，获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱后，根据异常支撑柱对待承载物的作用范围，获得异常区域与作用区域的交叠面积，根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式，避免盲目的调节异常支撑柱，使得异常支撑柱的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。

Description

载片台平整度的调节方法及装置
技术领域
本发明涉及光学检测领域，尤其涉及一种载片台平整度的调节方法及装置。
背景技术
近年来，显示技术快速发展，对显示面板的要求也越来越高。然而，现有的显示面板的制造技术，无法完全避免显示缺陷的发生，因此在TFT、LTPS、AM-OLED等多种显示面板的制程中，需要对显示面板进行光学检测，如检查面板是否存在色不均(mura)、亮暗点、斑点、异物等缺陷。
随着智能化制造技术的发展，自动光学检测(Automatic Optic Inspection，简称AOI)在显示面板的生产检测环节日益广泛使用。自动光学检测采用无人化自动检测的方式，检测速度快、性能稳定、可调控性好，成为替代人工检测的主要检测模式。
目前，在面板自动光学检测设备中，出于成本考虑，进行全检扫描的探头一般不配备自动聚焦传感器，那么为了保证全检探头的聚焦清晰度，必须保证面板在机台内部的平面度水平不能超过全检镜头的景深。而在检测设备中，一般采用真空载片台对面板进行承载，在载片台上会有多个用于支撑面板的支撑柱(Support Pin)，面板的平面度主要通过人工手动调节这些支撑柱的高度来保证，因为支撑柱的数量众多，因此调平工作往往耗费很长的时间，且支撑柱调节精度难以保证，导致面板表面的平面度不佳。
发明内容
本发明实施例解决的问题是提供载片台平整度的调节方法及装置，提升待承载物的平面度。
为解决上述问题，本发明实施例提供一种载片台平整度的调节方法，所述载片台包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物，所述方法包括：获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱；获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。
本发明实施例还提供一种载片台平整度的调节装置，包括：所述载片台，包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物；图像获取装置，用于采集所述待承载物的原始图像；处理单元，用于根据所述原始图像获取图像信息，并根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域以及与所述异常区域对应的异常支撑柱；计算单元，用于获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；以及获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；调节单元，用于根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。
与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：
本发明实施例所提供的载片台平整度的调节方法中，获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱；获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。本发明实施例中，获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱后，根据所述异常支撑柱对所述待承载物的作用范围，获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积，根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式，避免盲目的调节异常支撑柱，使得异常支撑柱的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。
附图说明
图1是一种载片台平整度的调节方法的流程示意图；
图2是本发明载片台平整度的调节方法中采用的载片台；
图3是本发明载片台平整度的调节方法的流程示意图；
图4是本发明载片台平整度的调节方法中获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱的流程示意图；
图5是本发明载片台平整度的调节方法中获得所述待承载物的图像信息的流程示意图；
图6是本发明载片台平整度的调节方法中获得所述待承载物的原始图像的流程示意图；
图7是本发明载片台平整度的调节方法中所述面板划分成多个采集区域的示意图；
图8是本发明载片台平整度的调节方法中获得所述原始图像的清晰度分布图的流程示意图；
图9是本发明载片台平整度的调节方法中清晰度分布图；
图10是将载片台上的支撑柱等比标记在图9上的示意图；
图11是本发明载片台平整度的调节方法中异常区域的示意图；
图12是本发明载片台平整度的调节方法中异常区域与作用区域的交叠面积的示意图；
图13是本发明载片台平整度的调节装置的结构示意图。
具体实施方式
由背景技术可知，目前，在面板自动光学检测设备中，进行全检扫描的探头一般不配备自动聚焦传感器，为了保证全检探头的聚焦清晰度，必须保证面板在机台内部的平面度水平不能超过全检镜头的景深。而在检测设备中，一般采用真空载片台对面板进行承载，在载片台上会有多个支撑面板的支撑柱(Support Pin)，面板的平面度主要通过人工手动调节这些支撑柱的高度来保证，因为支撑柱的数量众多，因此调平工作往往耗费很长的时间，且支撑柱调节精度难以保证，使得面板表面的平面度不佳。
现有的，调整载片台上支撑柱高度的方法，是将千分表固定在载片台上方的龙门结构上，且龙门结构上有运动机构带动千分表运动。定义载片台的运动方向为X方向，所述龙门结构上的运动机构的运动方向为Y方向，利用千分表测量时，千分表能够在X方向和Y方向的移动，从而千分表可以覆盖载片台上的所有支撑柱。
利用龙门结构和千分表调整载片台上支撑柱高度的方法包括：
步骤s1，以载片台上的一个支撑柱为基准支撑柱，确定载片台上所有的支撑柱需要达到的高度。
步骤s2，将千分表以基准支撑柱的顶部进行校准。
步骤s3，将校准后的千分表移动至其余的所有支撑柱上，测量其余支撑柱的高度。
步骤s4，根据所述千分表判断测量的所述支撑柱与基准支撑柱相比，是偏高还是偏低。
步骤s5，根据测量的所述支撑柱和基准支撑柱的比较结果调整测量的所述支撑柱。
除基准支撑柱之外的所述支撑柱都是依据所述千分表进行调整的，理论上所述支撑柱的顶部都调整到相同的高度，将面板放在所述支撑柱上后，理论上，面板的平面度是可以保证的。但是实际情况是，所述面板的平面度不佳，经分析存在如下几点误差源：
第一，载片台自身的水平度受限于水平调节精度，本身存在一定的水平误差；
第二，载片台通过直线导轨在X方向上运动，将载片台表面法线方向作为Z方向，X轴直线导轨在Z方向上的直线度有一定波动范围，载片台在X方向运动的过程中，载片台在Z方向上会有高度变化，相应的载片台上的支撑柱在Z方向上会有高度变化，调整后的支撑柱的顶部的位置存在一定高度变化误差；
第三，千分表通过龙门结构上Y轴直线导轨，相对于龙门结构在Y方向上运动，Y轴直线导轨在Z方向的直线度有一定波动范围，千分表在Y轴直线导轨上移动的过程中，千分表在Z方向上会存在一定高度变化误差；
综上，单纯的将全部支撑柱的千分表读数调为一致，仍然不能保证各个支撑柱顶部的绝对平面度。
为了解决所述技术问题，本发明实施例提供一种载片台平整度的调节方法，获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱；获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。本发明实施例中，获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱后，根据所述异常支撑柱对所述待承载物的作用范围，获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积，根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式，避免盲目的调节异常支撑柱，使得异常支撑柱的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。
为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
参考图2，提供载片台300，所述载片台300用于承载待承载物，所述载片台300包括多个支撑柱100(support pin)，所述支撑柱100用于承载待承载物。
后续在所述载片台300上放置待检测的待承载物，采用载片台平整度的调节方法对所述待承载物进行调节。本实施例中，所述待承载物包括面板400，载片台300用于承载待检测的面板400进行自动光学检测(Automatic Optic Inspection，简称AOI)。
本实施例中，所述载片台300包括真空载片台。在载片台300的四周安装真空吸附条200用于固定后续放置在支撑柱100上的面板400，在检测过程中由载片台300带动面板400形成一个运动整体在AOI机台内部运动，面板400与载片台300的相对位置不发生变化。其他实施例中，真空载片台还可以具有真空沟，后续将面板放置于真空载片台上后，可对真空载片台进行抽真空作业，使得真空载片台中的真空沟产生吸力而将面板固定于载片台的表面。
所述支撑柱100用于支撑后续放置在载片台300上的面板400，在载片台300表面法线方向上，所述支撑柱100能够与载片台300发生相对位移，通过调节所述支撑柱100的高度可以来调整面板400表面的平面度，使得面板400表面的平面度较高，在面板400自动光学检测设备检测面板400的过程中，使得全检扫描的全检镜头即使在不配备自动聚焦传感器的情况下，也能够使得面板400的整个顶面位于全检镜头的景深范围(DOF)中，使得面板400表面的平面度满足自动光学检测的要求。
本实施例中，通过手动调节的方式使得支撑柱100在所述载片台300的法线方向上发生相对移动。其他实施例中，支撑柱可以配备有相应的驱动***，使得载片台上的各个支撑柱通过电动设备在所述载片台的法线方向上发生相对移动。
本实施例中，所述支撑柱100在所述载片台300上呈矩阵式排布。
与所述支撑柱100散乱无章的排布在所述载片台300上的情况相比，所述支撑柱100呈矩阵式排布，使得后续放置在支撑柱100上的面板400的各区域能够受到均匀的支撑，降低了因支撑柱100分布的稀疏或稠密，导致面板400表面存在凹陷或突出情况的概率。
图3是本发明载片台平整度的调节方法的流程示意图。
步骤S1，获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱。后续获取与所述异常区域对应的异常支撑柱做准备。
具体的，如图4所示，获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：
步骤S11，获得所述待承载物的图像信息。
获得所述待承载物的图像信息，为后续获得所述图像信息的第一区域做准备。
本实施例中，所述待承载物的图像信息包括清晰度分布图。其他实施例中，所述待承载物的图像信息包括所述待承载物的图片。
具体的，如图5所示，获得所述待承载物的图像信息的步骤包括：步骤S111，获得所述待承载物的原始图像；步骤S112，对所述原始图像进行清晰度处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
具体的，如图6和图7所示，步骤S111，获得所述待承载物的原始图像的步骤包括：
步骤S1111，将所述待承载物划分成多个采集区域。
本实施例中，所述待承载物包括面板400，也就是将所述面板400划分成多个采集区域。
将所述面板400划分成多个采集区域后，后续对每个采集区域分别匹配一个图像获取装置进行扫描，有利于提高所述原始图像的获取效率。
需要说明的是，将所述面板400划分成多个采集区域的步骤中，划分的依据是面板400的尺寸大小、图像获取装置景深范围(DOF)的大小以及图像获取装置在面板400正上方区域的摆放位置，本实施例在此不做过多的限定。
作为一种示例，所述面板400被划分成了四个采集区域(如图7所示)。其他实施例中，面板还可以被划分成一个采集区域、两个采集区域、三个采集区域，或者多于四个采集区域。
步骤S1112，每个采集区域配置一个图像获取装置。
每个采集区域配置一个图像获取装置，后续通过图像获取装置能够获得该采集区域的图像。
本实施例中，所述图像获取装置包括全检扫描探头或探测器，具体的，所述探测器包括面阵探测器、线阵探测器。其他实施例中，所述图像获取装置还包括镜头。
本发明实施例所提供的载片台平整度的调节方法中，在获得所述面板的原始图像后，对所述原始图像进行处理，获得所述原始图像的分析图像，如清晰度分布图等，获得所述分析图像的非均匀区域，将与所述非均匀区域对应的至少一个目标支撑柱进行调节处理，改变支撑柱100的高度。本发明实施例，所述面板位于所述支撑柱上，因为所述原始图像根据所述面板获得的，因此所述原始图像上各区域与所述面板表面上各区域相对应，通过对原始图像进行处理获得分析图像，因此所述分析图像上各区域与所述原始图像上各区域相对应的，从而所述分析图像上各区域与所述面板各区域相对应，从而根据所述图像信息的非均匀区域，能够快速有针对性的锁定非均匀区域所对应的载片台上需要调节的支撑柱，通过对非均匀区域所对应的支撑柱的高度进行调节，提高了面板平面度的调节效率，且提高了面板平面度的调节精度，更易获得较好的面板平面度。
步骤S1113，采用所述图像获取装置对多个所述采集区域进行扫描，获得分区图像401(如图6所示)。
后续将多个采集区域中的分区图像401结合起来，能够获得原始图像。
本实施例中，采用所述图像获取装置对多个所述采集区域进行扫描的过程中，需要通过图像获取装置对多个所述区域进行多轮的扫描，进行多轮扫描，从多个分区图像401中挑选成像质量较佳的分区图像401，如此操作能够避免单次扫描过程中获得的分区图像401的偶然性，使得选取的分区图像401能够接近采集区域的本来面貌。
步骤S1114，将多个所述分区图像401进行组合获得原始图像。
获得所述待承载物的图像信息，为后续对所述原始图像进行处理，获得原始图像的分析图像做准备。
本实施例中，利用软件将多个所述分区图像401进行组合获得所述原始图像。
需要说明的是，本实施例中，获得所述待承载物的原始图像的步骤中，所述原始图像中具有工艺区。其他实施例中，获得所述待承载物的原始图像的步骤中，所述原始图像中还可以不存在工艺区。
需要说明的是，所述载片台平整度的调节方法中，在获得所述待承载物的原始图像前，会在所述支撑柱100上放置待承载物，也就是放置面板400。
本实施例中，所述面板400包括：TN面板(Twisted Nematic，扭曲向列型)、IPS面板(In-Plane-Switching，平面转换型)、VA面板(Vertical Alignment，多象限垂直配向型)中的一种或多种。TN面板具有技术成熟，成本低等特点。且TN屏响应速度快，可以达到1ms的响应时间，不会出现残影，TN屏可无损呈现高速变化的场景细节。IPS面板较硬，在色彩显示、可视角度等方面比TN面板好，具有较佳的色彩的呈现范围与准确性，广视角大，从不同角度观看都不会产生色偏。VA面板的特点是具有较高的宽容度和对比度，可达到3000：1的高对比度，画面中黑色和白色都更加纯净，且不会出现漏光等问题。面板400还包括：LCD面板、OLED面板或者手机显示屏面板等。
步骤S112，对所述原始图像进行清晰度处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
获得所述原始图像的清晰度分布图，为后续获得所述图像信息的非均匀区域做准备。所述清晰度分布图用于评价所述原始图像中各区域的清晰度状态，为后续获得清晰度分布图中的非均匀区域做准备。
对所述原始图像进行清晰度处理，获得所述原始图像的清晰度分布图的步骤包括：
步骤S1121，对所述原始图像进行网格细分。
对所述原始图像进行网格细分，为后续获取每个网格的原始图像的灰度值做准备。
对所述原始图像进行网格细分的步骤中，网格的大小根据原始图像的数据量以及所述后续形成的清晰度分布图的所需清晰程度来进行确定。
作为一种示例，对所述原始图像进行网格细分的步骤中，所述网格的长和宽均在100像素至500像素的范围内。
步骤S1122，获得每个所述网格的平均清晰度值后续过程中，对所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
具体的，获得每个网格的平均清晰度值步骤包括：依据所述原始图像的灰度值，获得所述网格中每个像素点的清晰度值；对所述网格的所述像素点的清晰度值求平均，获得每个所述网格的平均清晰度值。其他实施例中，获得每个网格的平均清晰度值步骤包括：依据所述网格中原始图像的灰度值，获得所述网格的平均灰度值；根据所述每个网格的平均灰度值获得每个所述网格的平均清晰度值。
本实施例中，采用均值法获取原始图像的灰度值。
本实施例中，采用图像清晰度评价函数对原始图像的灰度值进行处理，获得所述网格中每个像素点的清晰度值。
图像清晰度评价函数的种类很多，根据其依据可以分为两类，时域分析和频域分析。
时域分析是基于灰度值进行分析，原始图像的清晰度不同，其灰度值也随之变化。当原始图像比较清晰时，则原始图像包含的细节比较丰富，表现为图像灰度变化明显，有较锐化的边缘。
具体的，所述图像清晰度评价函数包括Brenner梯度函数、Tenengrad梯度函数、Laplacian梯度函数、EAV点锐度算法函数。本实施例中，采用Brenner梯度函数对获取的每个所述网格中原始图像的灰度值进行处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。其他实施例中，还可以采用其他的函数对网格中原始图像进行灰度处理。
Brenner函数作为图像清晰度评价函数，Brenner函数又叫做梯度滤波器法(gradient filter focusing method)，其算法公式为
D(f)＝∑y∑x|f(x+2，y)-f(x，y)|2
式中，D(f)为图像清晰度，f(x，y)表示图像f对应像素点(x，y)的灰度值。
当扫描探头扫描面板400表面时，面板400位于所述扫描探头的景深范围(DOF)内时，也就是聚焦时，原始图像清晰，图像中的高频分量更多，突变像素与相邻像素的差值也会变大，基于这个原理，对每一个像素水平右侧邻域的两个灰度值相减再相乘，再逐个像素累加，计算相邻两个像素灰度差的平方，这就是Brenner梯度函数的基本思想。
步骤S1123，将每个所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图(如图9所示)。
后续获得所述清晰度分布图中的非均匀区域，就是获得原始图像中灰度值较大区域，相应的获得面板400表面在所述图像获取装置中的离焦位置。后续根据非均匀区域，能够获得所述载片台300上需要调整的支撑柱100所处的位置。
图9所示的清晰度分布图。将每个所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图的步骤包括：将每个所述网格的平均清晰度值映射至0-255灰阶。
需要说明的是，获取所述待承载物的异常区域的步骤还包括：排除所述工艺区的所述图像信息。
排除所述原始图像中的工艺区的图像信息，使得后续获得每个网格中的平均清晰度值的过程中不将工艺区的灰度值计算在内，避免工艺区的灰度值对获得的网格平均清晰度值造成偏差，提高判断非均匀区域判断的准确性。
本实施例中，排除所述原始图像中的所述工艺区的灰度值的意思是，将所述工艺区的灰度值不考虑在内。
本实施例中，在对原始图像进行网格细分后，获得平均清晰度值前，排除所述工艺区的所述图像信息。其他实施例中，还可以在获得所述清晰度分布图后，排除清晰度分布图对应所述工艺区的区域。
步骤S12，结合图4参考图9，根据所述图像信息及预设参数获取所述图像信息的第一区域。
本发明实施例所提供的载片台平整度的调节方法中，根据所述图像信息及预设参数获取第一区域，后续确定与所述第一区域对应的至少一个目标支撑柱进行调节处理。本发明实施例，所述原始图像由所述待承载物获得的，也就是说所述原始图像根据所述面板400获得的，因此所述图像信息上各区域与所述待承载物上各区域相对应，从而根据所述图像信息的第一区域，能够快速有针对性的锁定第一区域所对应的载片台300上需要调节的至少一个目标支撑柱，通过对第一区域所对应的至少一个目标支撑柱的高度进行调节，提高了面板400平面度的调节效率，且提高了面板400平面度的调节精度，更易获得较好的面板400平面度。
根据所述图像信息及预设参数获取第一区域的步骤包括：根据所述灰度值和/或所述清晰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域，将所述非均匀区域作为所述第一区域。
具体的，本实施例中，是根据图像的所述清晰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域。其他实施例中，还能根据图像的灰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域。在另一些实施中，还可以根据灰度值和所述清晰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域。
本实施例中，获得所述图像信息的非均匀区域，就是找出所述清晰度分布图中，突变像素与相邻像素的差值较大的区域(如图9中的实线框中)。
所述非均匀区域为连续分布的多个特征像素所围成的区域。本实施例中，所述预设参数为所述特征像素的清晰度值大于相邻像素的清晰度值的30％。例如30％，40％，以及50％。其他实施例中，所述预设参数为所述特征像素的灰度值大于相邻像素的灰度值的30％。
所述原始图像是利用图像获取装置获得的，所述清晰度分布图是根据原始图像中的灰度值进行处理获得的，获得所述清晰度分布图中的非均匀区域，就是获得原始图像表面灰度值较大区域，也就是获得面板400表面在所述图像获取装置中的离焦位置，通过调节载片台300上与离焦位置对应的支撑柱100，给离焦位置处的面板400以支撑或消除支撑，使得面板400的位置发生变化，提高了面板400平面度的调节效率，且提高了面板400平面度的调节精度，更易获得较好的面板400平面度。
获得所述图像信息的非均匀区域后，将与所述非均匀区域相对应的支撑柱100进行调节处理前的步骤还包括：将所述载片台300的所述支撑柱100的位置信息等比的标记在所述图像信息的对应位置上，获取载片台300上与所述非均匀区域相对应的所述支撑柱100(图10中实线框中)。具体的，将所述载片台300上的所述支撑柱100等比的标记在所述清晰度分布图对应位置上。
步骤S13，根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域。
根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域，也就是根据非均匀区域获得所述待承载物的异常区域，后续过程中调整异常区域中的异常支撑柱。
本实施例中，根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域的步骤包括：使所述异常区域的边缘与所述第一区域的边缘至少部分相对应；或者，将包括与所述第一区域相对应的面积最小的圆形区域或面积最小的多边形区域作为所述异常区域。
需要说明的是，经过实践验证一个异常支撑柱101作用于面板400时，引起的凸起或凹陷，其作用范围的形态接近圆形，将异常区域的形状设置为圆形会使得评价效果更接近真实情况。
继续参考步骤S1，获取与异常区域对应的异常支撑柱101。
根据所述异常区域，获得所述载片台100上对应的异常支撑柱101，为后续获得各个所述异常支撑柱101的所述作用范围与所述异常区域的交叠面积做准备。
根据所述异常区域，获得所述载片台100上对应的异常支撑柱101的步骤包括：将所述载片台300上的所述支撑柱100的位置信息等比的标记在所述图像信息的对应位置上，所述载片台300上与所述异常区域相对应的所述支撑柱100(图10中实线框中)，作为异常支撑柱101。具体的，将所述载片台300上的所述支撑柱100的位置信息等比的标记在所述清晰度分布图对应位置上。
本实施例中，根据所述异常区域，获得所述载片台300上对应的异常支撑柱101的步骤包括：
作为一种示例，如图11所示，将包围所述异常区域A(如图11所示)对应的所述支撑柱100作为所述异常支撑柱101。
此种情况对应的是，当所述异常区域A的内部不具有异常支撑柱101的情况。在此种情况下，只能通过调节包围所述异常区域A的异常支撑柱101来调节异常区域A的待承载物的表面平整度。
此示例中，所述异常区域A的内部不具有异常支撑柱101指代的是，所述异常区域A的内部不具有支撑柱100，或者所述异常区域A的内部不具有完整支撑柱100。如图10所示的情况为，所述异常区域A的内部不具有完整支撑柱100。
作为另一种示例，在所述载片台300上，将与所述异常区域A内部相对应的所述支撑柱100作为所述异常支撑柱101。
此种情况对应的是，当所述异常区域A的内部具有异常支撑柱101的情况。与将所述异常区域A内部的支撑柱，以及包围所述异常区域A对应的所述支撑柱同时作为异常支撑柱的情况相比，本实施例中，确定的异常支撑柱101的数量较少，后续对所述异常支撑柱101调节所花费的工艺时间较少，有利于提高待承载物表面平整度的调节效率；且位于所述异常区域A内部的异常支撑柱101对所述异常区域A的影响大于异常区域A外部的异常支撑柱101对所述异常区域A的影响，后续仅对所述异常区域A内部的异常支撑柱101进行调节，在提高异常区域A平整度调节效率的同时，保证所述异常区域A待承载物的调节效果。
此示例中，所述异常区域A的内部具有异常支撑柱101指代的是，所述异常区域A完全包含所述支撑柱101。
步骤S2，参考图12，获得所述异常支撑柱101对所述待承载物的作用区域。
获得各个所述异常支撑柱101对待承载物的作用区域，为后续获得各个所述异常支撑柱101的所述作用区域与所述异常区域A的交叠面积做准备。
经过实践验证一个异常支撑柱101作用于面板400时，引起的凸起或凹陷，其作用范围的形态接近圆形。因此，本实施例中，将所述异常支撑柱101的作用范围设置为圆。
本实施例中，获得所述异常支撑柱101对所述待承载物的作用区域的步骤包括：将以所述异常支撑柱101为圆心及任一对角线上相邻两个所述支撑柱100之间的距离的1/2为半径的圆形区域作为所述作用区域。
作为示例，如图12所示，具有四个异常支撑柱，分别为1011、1012、1013以及1014，所述异常支撑柱101的作用范围为圆。相应的，任一斜对的两个支撑柱101为异常支撑柱1011和异常支撑柱1014，或者异常支撑柱1012和异常支撑柱1013，作用半径为异常支撑柱1011与异常支撑柱1014之间距离的一半。
异常支撑柱101作用范围的圆形半径取值如下：
r＝distance(1011，1013)/2。
即异常支撑柱的半径取值为异常支撑柱1011和异常支撑柱1013之间距离的一半。
步骤S3，继续参考图12，获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积。
本发明实施例中，根据所述图像信息的异常区域A，能够快速有针对性的锁定异常区域A所对应的载片台300上需要调节的异常支撑柱101，根据各个所述异常支撑柱101的作用范围与所述异常区域A的交叠面积，来确定所述异常支撑柱101的调节模式，能提高待承载物平面度的调节效率，且能提高待承载物平面度的调节精度，更易获得较好的待承载物平面度。
确定所述异常支撑柱101的调节模式的步骤包括：确定所述异常区域内所述异常支撑柱101调节的顺序，所述异常支撑柱101调节的顺序与所述交叠面积的大小呈正相关；和/或，确定所述异常区域内各个所述异常支撑柱101的调节幅度，所述异常支撑柱101的调节幅度与所述交叠面积的大小呈正相关。
所述异常支撑柱101调节的顺序与所述交叠面积的大小呈正相关，也就是说所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，所述异常支撑柱101越先调节，所述异常支撑柱101对应的交叠面积越小，所述异常支撑柱101越后调节。
所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，说明所述异常支撑柱101对所述异常区域A的所述面板400造成的上凸或下凹的影响越大，相应的待调节幅度越大，在某些情况下，虽然所述异常区域A对应的异常支撑柱101为多个，但所述异常区域A可能是由某个待调节幅度最大的异常支撑柱101造成的，率先对待调节幅度最大的所述异常支撑柱101进行调节，根据所述异常区域A的变化情况，剩余的所述异常支撑柱101甚至可以不用调节。
所述异常支撑柱101的调节幅度与所述交叠面积的大小呈正相关，也就是说所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，所述异常支撑柱101的调节幅度越大，所述异常支撑柱101对应的交叠面积越小，所述异常支撑柱101的调节幅度越小。
所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，说明所述异常支撑柱101对所述异常区域A的所述面板400造成的上凸或下凹的影响越大，相应的所需的调节幅度越大。所述异常支撑柱101对应的交叠面积越小，说明所述异常支撑柱101对所述异常区域A的所述面板400造成的上凸或下凹的影响越小，因此所述异常支撑柱101所需的调节幅度越小。
具体的，获得各个所述异常支撑柱101的所述作用范围与所述异常区域A的交叠面积的步骤包括：将以所述异常支撑柱101为圆心及任一对角线上相邻两个所述支撑柱之间的距离的1/2为半径的圆形区域作为所述作用区域。
获取所述异常支撑柱101的调节模式的步骤还包括：判断所述交叠面积与阈值交叠面积的大小关系。
所述异常支撑柱101对应的交叠面积高于所述阈值交叠面积时，所述异常支撑柱101需要调节，当所述异常支撑柱101对应的交叠面积低于所述阈值交叠面积时，所述异常支撑柱101不需要调节。确定所述阈值交叠面积有利于快速判断所述异常支撑柱101中哪些是需要调节的，能够有针对性的对异常支撑柱101进行调节，提高对所述异常区域的调节效率。
本实施例中，所述阈值交叠面积为所述异常支撑柱作用范围的40％。
步骤S4，根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱101的调节模式。
本发明实施例根据所述异常支撑柱101的调节方式，对所述异常支撑柱101进行调节，避免盲目的调节异常支撑柱101，使得异常支撑柱101的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。
具体的，所述异常支撑柱101的调节方式的步骤包括：所述异常支撑柱101调节顺序的先后与所述交叠面积的由大到小的排序相同；所述异常支撑柱101的调节幅度的大小与所述交叠面积的大小呈正相关。
本实施例中，采用手动调节的方式，使得支撑柱100在载片台300表面法线方向上发生移动。其他实施例中，支撑柱通过电动设备在所述载片台的法线方向上发生相对移动，例如步进电机、直线驱动液压机构、直线驱动气压装置或者伺服电机。
相应的，本发明还提供一种载片台平整度的调节装置。参考图13，示出了本发明载片台平整度的调节装置的功能框图。
所述载片台平整度的调节装置包括：载片台300，包括多个支撑柱100，所述支撑柱100用于承载待承载物；图像获取装置10，用于采集所述待承载物的原始图像；处理单元20，用于根据所述原始图像获取图像信息，并根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域以及与所述异常区域对应的异常支撑柱101；计算单元30，用于获得所述异常支撑柱101对所述待承载物的作用区域；以及获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；调节单元40，用于根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱101的调节模式。
本发明实施例所提供的载片台300平整度的调节装置中，处理单元20获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱，根据所述异常支撑柱101对所述待承载物的作用范围，计算单元30，用于获得所述异常支撑柱101对所述待承载物的作用区域；以及获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；调节单元40，用于根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱101的调节模式，避免盲目的调节异常支撑柱101，使得异常支撑柱101的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。
载片台300用于承载待检测的面板进行自动光学检测(Automatic OpticInspection，简称AOI)。
本实施例中，所述载片台300包括真空载片台。在载片台300的四周安装真空吸附条200用于固定放置在支撑柱100上的面板，在检测过程中由载片台300带动面板形成一个运动整体在AOI机台内部运动，面板与载片台300的相对位置不发生变化。其他实施例中，真空载片台还可以具有真空沟，将面板放置于真空载片台上后，可对真空载片台进行抽真空作业，使得真空载片台中的真空沟产生吸力而将面板固定于载片台的表面。
所述支撑柱100用于支撑放置在载片台300上的面板400，在载片台300表面法线方向上，所述支撑柱100能够与载片台300发生相对位移，通过调节所述支撑柱100的高度可以来调整面板表面的平面度，使得面板表面的平面度较高，在面板自动光学检测设备检测面板的过程中，使得全检扫描的全检镜头即使在不配备自动聚焦传感器的情况下，也能够使得面板的整个顶面位于全检镜头的景深范围(DOF)中，使得面板表面的平面度满足自动光学检测的要求。
本实施例中，通过手动调节的方式使得支撑柱100在所述载片台300的法线方向上发生相对移动。其他实施例中，支撑柱可以配备有相应的驱动***，使得载片台上的各个支撑柱通过电动设备在所述载片台的法线方向上发生相对移动。
本实施例中，所述支撑柱100呈矩阵式排布。
与所述支撑柱100散乱无章的排布在所述载片台300上的情况相比，所述支撑柱100呈矩阵式排布，使得放置在支撑柱100上的面板的各区域能够受到均匀的支撑，降低了因支撑柱100分布的稀疏或稠密，导致面板表面存在凹陷或突出情况的概率。
图像获取装置10，用于采集所述待承载物的原始图像。
所述图像获取装置10的数量为多个，多个所述图像获取装置10用于分别对待承载物的多个采集区域进行扫描。
本实施例中，所述图像获取装置10包括全检扫描探头或探测器，具体的，所述探测器包括面阵探测器、线阵探测器。其他实施例中，所述图像获取装置10还包括镜头。
具体的，所述图像信息包括图像的灰度值和/或清晰度值。本实施例中，所述图像信息包括图像的清晰度值。其他实施例中，所述图像信息包括图像的灰度值。在另一些实施例中，图像信息包括图像的灰度值和清晰度值。
所述处理单元20，用于根据所述原始图像获取图像信息。
获得所述待承载物的图像信息，为获得所述图像信息的第一区域做准备。
本实施例中，所述待承载物的图像信息包括清晰度分布图。其他实施例中，所述待承载物的图像信息包括所述待承载物的图片。
具体的，所述处理单元20，用于获得所述待承载物的图像信息的步骤包括：获得所述待承载物的原始图像；对所述原始图像进行清晰度处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
所述处理单元20，用于将所述待承载物划分成多个采集区域。
本实施例中，所述待承载物包括面板400，也就是将所述面板400划分成多个采集区域。
将所述面板400划分成多个采集区域后，对每个采集区域分别匹配一个图像获取装置10进行扫描，有利于提高所述原始图像的获取效率。
需要说明的是，将所述面板400划分成多个采集区域的步骤中，划分的依据是面板400的尺寸大小、图像获取装置10景深范围(DOF)的大小以及图像获取装置10在面板400正上方区域的摆放位置，本实施例在此不做过多的限定。
作为一种示例，所述面板400被划分成了四个采集区域(如图7所示)。其他实施例中，面板还可以被划分成一个采集区域、两个采集区域、三个采集区域，或者多于四个采集区域。
所述处理单元20，用于给每个采集区域配置一个图像获取装置10。
每个采集区域配置一个图像获取装置10，通过图像获取装置10能够获得该采集区域的图像。
所述处理单元20，用于采用所述图像获取装置10对多个所述采集区域进行扫描，获得分区图像401(如图6所示)。
多个分区图像401结合起来，能够获得原始图像。
本实施例中，采用所述图像获取装置10对多个所述采集区域进行扫描的过程中，需要通过图像获取装置10对多个所述区域进行多轮的扫描，进行多轮扫描，从多个分区图像401中挑选成像质量较佳的分区图像401，如此操作能够避免单次扫描过程中获得的分区图像401的偶然性，使得选取的分区图像401能够接近采集区域的本来面貌。
所述处理单元20，用于将多个所述分区图像401进行组合获得原始图像。
获得所述待承载物的图像信息，为对所述原始图像进行处理，获得原始图像的分析图像做准备。
本实施例中，利用软件将多个所述分区图像401进行组合获得所述原始图像。
需要说明的是，本实施例中，获得所述待承载物的原始图像的步骤中，所述原始图像中具有工艺区。其他实施例中，获得所述待承载物的原始图像的步骤中，所述原始图像中还可以不存在工艺区。
需要说明的是，所述载片台平整度的调节方法中，在获得所述待承载物的原始图像前，会在所述支撑柱100上放置待承载物，也就是放置面板400。
所述处理单元20，用于对所述原始图像进行清晰度处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
获得所述原始图像的清晰度分布图，为获得所述图像信息的非均匀区域做准备。所述清晰度分布图用于评价所述原始图像中各区域的清晰度状态，为获取清晰度分布图中的非均匀区域做准备。
所述处理单元20，用于获得所述原始图像的清晰度分布图的步骤包括：对所述原始图像进行网格细分。
对所述原始图像进行网格细分，为后续获取每个网格的原始图像的灰度值做准备。
对所述原始图像进行网格细分的步骤中，网格的大小根据原始图像的数据量以及所述后续形成的清晰度分布图的所需清晰程度来进行确定。
作为一种示例，对所述原始图像进行网格细分的步骤中，所述网格的长和宽均在100像素至500像素的范围内。
所述处理单元20，用于获得每个所述网格的平均清晰度值后续过程中，对所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
具体的，获得每个网格的平均清晰度值步骤包括：依据所述原始图像的灰度值，获得所述网格中每个像素点的清晰度值；对所述网格的所述像素点的清晰度值求平均，获得每个所述网格的平均清晰度值。其他实施例中，获得每个网格的平均清晰度值步骤包括：依据所述网格中原始图像的灰度值，获得所述网格的平均灰度值；根据所述每个网格的平均灰度值获得每个所述网格的平均清晰度值。
本实施例中，采用均值法获取原始图像的灰度值。
本实施例中，采用图像清晰度评价函数对原始图像的灰度值进行处理，获得所述网格中每个像素点的清晰度值。
图像清晰度评价函数的种类很多，根据其依据可以分为两类，时域分析和频域分析。
时域分析是基于灰度值进行分析，原始图像的清晰度不同，其灰度值也随之变化。当原始图像比较清晰时，则原始图像包含的细节比较丰富，表现为图像灰度变化明显，有较锐化的边缘。
具体的，所述图像清晰度评价函数包括Brenner梯度函数、Tenengrad梯度函数、Laplacian梯度函数、EAV点锐度算法函数。本实施例中，采用Brenner梯度函数对获取的每个所述网格中原始图像的灰度值进行处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。其他实施例中，还可以采用其他的函数对网格中原始图像进行灰度处理。
Brenner函数作为图像清晰度评价函数，Brenner函数又叫做梯度滤波器法(gradient filter focusing method)，其算法公式为
D(f)＝∑y∑x|f(x+2，y)-f(x，y)|2
式中，D(f)为图像清晰度，f(x，y)表示图像f对应像素点(x，y)的灰度值。
当扫描探头扫描面板400表面时，面板400位于所述扫描探头的景深范围(DOF)内时，也就是聚焦时，原始图像清晰，图像中的高频分量更多，突变像素与相邻像素的差值也会变大，基于这个原理，对每一个像素水平右侧邻域的两个灰度值相减再相乘，再逐个像素累加，计算相邻两个像素灰度差的平方，这就是Brenner梯度函数的基本思想。
所述处理单元20，用于将每个所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图(如图9所示)。
获得所述清晰度分布图中的非均匀区域，就是获得原始图像中灰度值较大区域，相应的获得面板400表面在所述图像获取装置10中的离焦位置。根据非均匀区域，能够获得所述载片台300上需要调整的支撑柱100所处的位置。
图9所示的清晰度分布图。将每个所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图的步骤包括：将每个所述网格的平均清晰度值映射至0-255灰阶。
所述处理单元还用于排出所述工艺区的所述图像信息。
排除所述原始图像中的工艺区的图像信息，使得获得每个网格中的平均清晰度值的过程中不将工艺区的灰度值计算在内，避免工艺区的灰度值对获得的网格平均清晰度值造成偏差，提高判断非均匀区域判断的准确性。
本实施例中，排除所述原始图像中的所述工艺区的灰度值的意思是，将所述工艺区的灰度值不考虑在内。
本实施例中，在对原始图像进行网格细分后，获得平均清晰度值前，所述处理单元20根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：排除所述工艺区的所述图像信息。其他实施例中，还可以在获得所述清晰度分布图后，排除清晰度分布图对应所述工艺区的区域。
所述处理单元20，根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：根据所述图像信息及预设参数获取所述图像信息的第一区域。
本发明实施例所提供的载片台平整度的调节方法中，根据所述图像信息及预设参数获取第一区域，确定与所述第一区域对应的至少一个目标支撑柱进行调节处理。本发明实施例，所述原始图像由所述待承载物获得的，也就是说所述原始图像根据所述面板400获得的，因此所述图像信息上各区域与所述待承载物上各区域相对应，从而根据所述图像信息的第一区域，能够快速有针对性的锁定第一区域所对应的载片台300上需要调节的至少一个目标支撑柱，通过对第一区域所对应的至少一个目标支撑柱的高度进行调节，提高了面板400平面度的调节效率，且提高了面板400平面度的调节精度，更易获得较好的面板400平面度。
根据所述图像信息及预设参数获取第一区域的步骤包括：根据所述灰度值和/或所述清晰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域，将所述非均匀区域作为所述第一区域。
具体的，本实施例中，是根据图像的所述清晰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域。其他实施例中，还能根据图像的灰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域。在另一些实施中，还可以根据灰度值和所述清晰度值及预设参数获取所述图像信息的非均匀区域。
本实施例中，获得所述图像信息的非均匀区域，就是找出所述清晰度分布图中，突变像素与相邻像素的差值较大的区域(如图9中的实线框中)。
所述非均匀区域为连续分布的多个特征像素所围成的区域。本实施例中，所述预设参数为所述特征像素的清晰度值大于相邻像素的清晰度值的30％。例如30％，40％，以及50％。其他实施例中，所述预设参数为所述特征像素的灰度值大于相邻像素的灰度值的30％。
所述原始图像是利用图像获取装置10获得的，所述清晰度分布图是根据原始图像中的灰度值进行处理获得的，获得所述清晰度分布图中的非均匀区域，就是获得原始图像表面灰度值较大区域，也就是获得面板400表面在所述图像获取装置10中的离焦位置，通过调节载片台300上与离焦位置对应的支撑柱100，给离焦位置处的面板400以支撑或消除支撑，使得面板400的位置发生变化，提高了面板400平面度的调节效率，且提高了面板400平面度的调节精度，更易获得较好的面板400平面度。
获得所述图像信息的非均匀区域后，将与所述非均匀区域相对应的支撑柱100进行调节处理前的步骤还包括：将所述载片台300的所述支撑柱100的位置信息等比的标记在所述图像信息的对应位置上，获取载片台300上与所述非均匀区域相对应的所述支撑柱100(图10中实线框中)。具体的，将所述载片台300上的所述支撑柱100等比的标记在所述清晰度分布图对应位置上。
所述处理单元20，根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域。
根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域，也就是根据非均匀区域获得所述待承载物的异常区域。
本实施例中，根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域的步骤包括：使所述异常区域的边缘与所述第一区域的边缘至少部分相对应；或者，将包括与所述第一区域相对应的面积最小的圆形区域或面积最小的多边形区域作为所述异常区域。
需要说明的是，经过实践验证一个异常支撑柱101作用于面板400时，引起的凸起或凹陷，其作用范围的形态接近圆形，将异常区域的形状设置为圆形会使得评价效果更接近真实情况。
所述处理单元20获取与所述异常区域对应的异常支撑柱101的步骤包括：将与所述异常区域内部相对应的所述支撑柱100作为所述异常支撑柱101；或者，将包围所述异常区域对应的所述支撑柱100作为所述异常支撑柱101。
根据所述异常区域，获得所述载片台100上对应的异常支撑柱101的步骤包括：将所述载片台300上的所述支撑柱100的位置信息等比的标记在所述图像信息的对应位置上，所述载片台300上与所述异常区域相对应的所述支撑柱100(图10中实线框中)，作为异常支撑柱101。具体的，将所述载片台300上的所述支撑柱100的位置信息等比的标记在所述清晰度分布图对应位置上。
作为一种示例，如图11所示，将包围所述异常区域A(如图11所示)对应的所述支撑柱100作为所述异常支撑柱101。
此种情况对应的是，当所述异常区域A的内部不具有异常支撑柱101的情况。在此种情况下，只能通过调节包围所述异常区域A的异常支撑柱101来调节异常区域A的待承载物的表面平整度。
此示例中，所述异常区域A的内部不具有异常支撑柱101指代的是，所述异常区域A的内部不具有支撑柱100，或者所述异常区域A的内部不具有完整支撑柱100。如图10所示的情况为，所述异常区域A的内部不具有完整支撑柱100。
作为另一种示例，在所述载片台300上，将与所述异常区域A内部相对应的所述支撑柱100作为所述异常支撑柱101。
此种情况对应的是，当所述异常区域A的内部具有异常支撑柱101的情况。与将所述异常区域A内部的支撑柱，以及包围所述异常区域A对应的所述支撑柱同时作为异常支撑柱的情况相比，本实施例中，确定的异常支撑柱101的数量较少，对所述异常支撑柱101调节所花费的工艺时间较少，有利于提高待承载物表面平整度的调节效率；且位于所述异常区域A内部的异常支撑柱101对所述异常区域A的影响大于异常区域A外部的异常支撑柱101对所述异常区域A的影响，仅对所述异常区域A内部的异常支撑柱101进行调节，在提高异常区域A平整度调节效率的同时，保证所述异常区域A待承载物的调节效果。
此示例中，所述异常区域A的内部具有异常支撑柱101指代的是，所述异常区域A完全包含所述支撑柱101。
计算单元30，获得各个所述异常支撑柱101对待承载物的作用区域，为获得各个所述异常支撑柱101的所述作用区域与所述异常区域A的交叠面积做准备。
经过实践验证一个异常支撑柱101作用于面板400时，引起的凸起或凹陷，其作用范围的形态接近圆形。因此，本实施例中，将所述异常支撑柱101的作用范围设置为圆。
本实施例中，获得所述异常支撑柱101对所述待承载物的作用区域的步骤包括：将以所述异常支撑柱101为圆心及任一对角线上相邻两个所述支撑柱100之间的距离的1/2为半径的圆形区域作为所述作用区域。
作为示例，如图12所示，具有四个异常支撑柱，分别为1011、1012、1013以及1014，所述异常支撑柱101的作用范围为圆。相应的，任一斜对的两个支撑柱101为异常支撑柱1011和异常支撑柱1014，或者异常支撑柱1012和异常支撑柱1013，作用半径为异常支撑柱1011与异常支撑柱1014之间距离的一半。
异常支撑柱101作用范围的圆形半径取值如下：
r＝distance(1011，1013)/2。
即异常支撑柱的半径取值为异常支撑柱1011和异常支撑柱1013之间距离的一半。
所述计算单元30还用于判断所述交叠面积与阈值交叠面积的大小关系。
所述异常支撑柱101对应的交叠面积高于所述阈值交叠面积时，所述异常支撑柱101需要调节，当所述异常支撑柱101对应的交叠面积低于所述阈值交叠面积时，所述异常支撑柱101不需要调节。确定所述阈值交叠面积有利于快速判断所述异常支撑柱101中哪些是需要调节的，能够有针对性的对异常支撑柱101进行调节，提高对所述异常区域的调节效率。
本实施例中，所述阈值交叠面积为所述异常支撑柱作用范围的40％。
所述调节单元40，根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱101的调节模式的步骤包括：确定所述异常区域内所述异常支撑柱101调节的顺序，所述异常支撑柱101调节的顺序与所述交叠面积的大小呈正相关；和/或，确定所述异常区域内各个所述异常支撑柱101的调节幅度，所述异常支撑柱101的调节幅度与所述交叠面积的大小呈正相关。
根据所述图像信息的异常区域A，能够快速有针对性的锁定异常区域A所对应的载片台300上需要调节的异常支撑柱101，根据各个所述异常支撑柱101的作用范围与所述异常区域A的交叠面积，来确定所述异常支撑柱101的调节模式，能提高待承载物平面度的调节效率，且能提高待承载物平面度的调节精度，更易获得较好的待承载物平面度。
所述异常支撑柱101调节的顺序与所述交叠面积的大小呈正相关，也就是说所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，所述异常支撑柱101越先调节，所述异常支撑柱101对应的交叠面积越小，所述异常支撑柱101越后调节。
所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，说明所述异常支撑柱101对所述异常区域A的所述面板400造成的上凸或下凹的影响越大，相应的待调节幅度越大，在某些情况下，虽然所述异常区域A对应的异常支撑柱101为多个，但所述异常区域A可能是由某个待调节幅度最大的异常支撑柱101造成的，率先对待调节幅度最大的所述异常支撑柱101进行调节，根据所述异常区域A的变化情况，剩余的所述异常支撑柱101甚至可以不用调节。
所述异常支撑柱101的调节幅度与所述交叠面积的大小呈正相关，也就是说所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，所述异常支撑柱101的调节幅度越大，所述异常支撑柱101对应的交叠面积越小，所述异常支撑柱101的调节幅度越小。
所述异常支撑柱101对应的交叠面积越大，说明所述异常支撑柱101对所述异常区域A的所述面板400造成的上凸或下凹的影响越大，相应的所需的调节幅度越大。所述异常支撑柱101对应的交叠面积越小，说明所述异常支撑柱101对所述异常区域A的所述面板400造成的上凸或下凹的影响越小，因此所述异常支撑柱101所需的调节幅度越小。
本实施例中，采用手动调节的方式，使得支撑柱100在载片台300表面法线方向上发生移动。其他实施例中，支撑柱通过电动设备在所述载片台的法线方向上发生相对移动，例如步进电机、直线驱动液压机构、直线驱动气压装置或者伺服电机。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (24)

1.一种载片台平整度的调节方法，所述载片台包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物，其特征在于，所述方法包括：
获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱；
获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；
获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；
根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。
2.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：
获得所述待承载物的图像信息；
根据所述图像信息及预设参数获取所述图像信息的第一区域；
根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域。
3.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，所述第一区域为连续分布的多个特征像素所围成的区域，所述图像信息包括灰度值和/或清晰度值，所述预设参数为所述特征像素的灰度值小于或等于相邻像素的灰度值的30％；或者，所述预设参数为所述特征像素的清晰度值小于或等于相邻像素的清晰度值的30％。
4.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域的步骤包括：
使所述异常区域的边缘与所述第一区域的边缘至少部分相对应；
或者，将包括与所述第一区域相对应的面积最小的圆形区域或面积最小的多边形区域作为所述异常区域。
5.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，获取与所述异常区域对应的异常支撑柱的步骤还包括：
将所述载片台的所述支撑柱位置信息记录在所述图像信息上。
6.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取与所述异常区域对应的异常支撑柱的步骤包括：
将与所述异常区域内部相对应的所述支撑柱作为所述异常支撑柱；
或者，将包围所述异常区域对应的所述支撑柱作为所述异常支撑柱。
7.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取所述异常支撑柱的调节模式的步骤包括：
获取所述异常区域内所述异常支撑柱调节的顺序，所述异常支撑柱调节的顺序与所述交叠面积的大小呈正相关；
和/或，
获取所述异常区域内各个所述异常支撑柱的调节幅度，所述异常支撑柱的调节幅度与所述交叠面积的大小呈正相关。
8.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取所述异常支撑柱的调节模式的步骤还包括：判断所述交叠面积与阈值交叠面积的大小关系。
9.如权利要求8所述的调节方法，其特征在于，所述阈值交叠面积为所述异常支撑柱作用区域的40％。
10.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，所述载片台的所述支撑柱呈矩阵式排布；获取所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域的步骤包括：
将以所述异常支撑柱为圆心及任一对角线上相邻两个所述支撑柱之间的距离的1/2为半径的圆形区域作为所述作用区域。
11.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，获得所述待承载物的图像信息的步骤包括：
获得所述待承载物的原始图像；
对所述原始图像进行清晰度处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
12.如权利要求11所述的调节方法，其特征在于，获得所述原始图像的清晰度分布图的步骤包括：
对所述原始图像进行网格细分；
获得每个所述网格的平均清晰度值；
将每个所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。
13.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，所述待承载物具有工艺区；
获取所述待承载物的异常区域的步骤还包括：排除所述工艺区的所述图像信息。
14.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，所述待承载物包括面板。
15.一种载片台平整度的调节装置，其特征在于，包括：
所述载片台，包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物；
图像获取装置，用于采集所述待承载物的原始图像；
处理单元，用于根据所述原始图像获取图像信息，并根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域以及与所述异常区域对应的异常支撑柱；
计算单元，用于获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；以及获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；
调节单元，用于根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。
16.如权利要求15所述的调节装置，其特征在于，所述处理单元根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：根据所述图像信息及预设参数获取所述图像信息的第一区域；根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域。
17.如权利要求15所述的调节装置，其特征在于，所述处理单元获取与所述异常区域对应的异常支撑柱的步骤包括：将与所述异常区域内部相对应的所述支撑柱作为所述异常支撑柱；
或者，将包围所述异常区域对应的所述支撑柱作为所述异常支撑柱。
18.如权利要求16所述的调节装置，其特征在于，所述第一区域为连续分布的多个特征像素所围成的区域，所述图像信息包括灰度值和/或清晰度值，所述预设参数为所述特征像素的灰度值小于或等于相邻像素的灰度值的30％；或者，所述预设参数为所述特征像素的清晰度值小于或等于相邻像素的清晰度值的30％。
19.如权利要求16所述的调节装置，其特征在于，所述处理单元根据所述第一区域获取所述异常区域的步骤包括：使所述异常区域的边缘与所述第一区域的边缘至少部分相对应；
或者，将包括与所述第一区域相对应的面积最小的圆形区域或面积最小的多边形区域作为所述异常区域。
20.如权利要求15所述的调节装置，其特征在于，所述调节单元根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式的步骤包括：获取所述异常区域内所述异常支撑柱调节的顺序，所述异常支撑柱调节的顺序与所述交叠面积的大小呈正相关；
和/或，
获取所述异常区域内各个所述异常支撑柱的调节幅度，所述异常支撑柱的调节幅度与所述交叠面积的大小呈正相关。
21.如权利要求15所述的调节装置，其特征在于，所述计算单元还用于判断所述交叠面积与阈值交叠面积的大小关系。
22.如权利要求21所述的调节装置，其特征在于，所述阈值交叠面积为所述异常支撑柱作用范围的40％。
23.如权利要求15所述的调节装置，其特征在于，所述支撑柱矩阵式排布在所述载片台上；
将以所述异常支撑柱为圆心及任一对角线上相邻两个所述支撑柱之间的距离的1/2为半径的圆形区域作为所述作用区域。
24.如权利要求15所述的调节装置，其特征在于，所述待承载物具有工艺区；所述处理单元根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：排除所述工艺区的所述图像信息。
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