CN114639616A - 排列装置及排列方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供排列装置及排列方法。所述排列装置可包括光照射部件、反射部件、检测部件及调整部件。所述光照射部件能够向与相对于对象排列的部件垂直的方向照射线性光。所述反射部件能够反射从所述光照射部件照射的所述线性光。所述检测部件能够检测从所述反射部件反射的光，能够基于检测到的光发生检测信号。所述调整部件能够从所述检测部件接收检测信号，能够根据所述检测信号确认相对于所述对象的所述排列的部件的排列，能够调整所述对象及所述排列的部件之间的排列。利用所述排列装置能够提高包括有机发光显示装置的显示装置的可靠性。

Description

排列装置及排列方法
本申请要求于2020年12月15日向韩国特许厅申请的韩国发明申请第10-2020-0175759号的优先权。
技术领域
本发明的例示性实施例涉及排列装置及排列方法，更具体来讲，本发明的例示性实施例涉及用于能够向基板上提供药液的药液供应部件的排列装置及利用这种排列装置的排列方法。
背景技术
为了制造包括有机发光显示装置的显示装置而需要利用喷墨头之类的药液供应部件在基板上形成多个像素，为此可执行向所述基板上供应药液的工程。在向用于所述多个像素的所述基板的多个区域上供应所述药液的工程中，所述像素的间隙为数微米以下，因此用于向所述基板的区域上供应所述药液的药液供应部件应相对于所述基板准确排列。
然而现有的排列装置利用摄像头相对于所述基板排列所述药液供应部件，因此现有的排列装置无法为了形成具有细微尺寸的像素而相对于所述基板精密排列所述药液供应部件。
发明内容
技术问题
本发明的一个目的是提供一种用于准确地排列相对于对象排列的部件的排列装置。
本发明的另一目的是提供一种准确地排列相对于对象排列的部件的方法。
本发明的又一目的是提供一种用于相对于基板准确地排列药液供应部件的排列装置。
技术方案
根据本发明的一个方面，提供一种包括光照射部件、反射部件、检测部件及调整部件的排列装置。所述光照射部件能够向与相对于对象排列的部件垂直的方向照射线性光。所述反射部件能够反射从所述光照射部件照射的所述线性光。所述检测部件能够检测从所述反射部件反射的光，能够基于检测到的光发生检测信号。所述调整部件能够从所述检测部件接收所述检测信号，能够根据所述检测信号确认相对于所述对象的所述排列的部件的排列，能够调整所述对象及所述排列的部件之间的排列。
在例示性实施例中，所述光照射部件可包括激光发生器。
在例示性实施例中，所述反射部件可包括相对于所述光照射部件平行的第1平行反射板至第N(其中，N为2以上的正整数)平行反射板及相对于所述光照射部件倾斜的第1倾斜反射板至第N-1倾斜反射板。
在例示性实施例中，所述第1至第N平行反射板分别从所述光照射部件相隔第一距离至第N距离，所述第1至第N-1的倾斜反射板可相对于所述光照射部件具有倾斜角度。
在例示性实施例中，所述反射部件可具有所述第1至所述第N-1倾斜反射板及所述第二至所述第N平行反射板连续配置在所述第1平行反射板的左侧及右侧的结构。
在例示性实施例中，所述调整部件能够根据所述检测信号确认所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度，之后能够调整所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度。
根据本发明的另一侧面，提供一种排列方法，其特征在于，包括：通过光照射部件沿着与相对于对象排列的部件垂直的方向照射线性光的步骤、反射所述线性光的步骤、检测所述反射的光，并基于检测到的光发生检测信号的步骤、以及根据所述检测信号确认所述对象与所述排列的部件之间的排列并进行调整的步骤。
在例示性实施例中，所述线性光可包括激光。
在例示性实施例中，确认所述对象与所述排列的部件之间的排列并进行调整的步骤可包括：确认所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度的步骤及调整所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度的步骤。
根据本发明的另一侧面，提供一种用于排列向基板供应药液的药液供应部件的排列装置。所述排列装置可包括：向与所述药液供应部件的药液供应面垂直的方向照射光的光照射部件、反射从所述光照射部件照射的光的反射部件、检测从所述反射部件反射的光，并基于检测到的光发生检测信号的检测部件、以及从所述检测部件接收检测信号，并根据所述检测信号确认相对于所述基板的所述药液供应部件的排列，调整所述基板及所述药液供应部件之间的排列的调整部件。
在例示性实施例中，所述光照射部件可包括激光发生器。
在例示性实施例中，所述反射部件配置成面向所述药液供应部件的药液供应面。
在例示性实施例中，所述反射部件可包括相对于所述光照射部件平行的第1平行反射板至第N平行反射板及相对于所述光照射部件倾斜的第1倾斜反射板至第N-1倾斜反射板。
在例示性实施例中，所述第1至第N平行反射板可分别从所述光照射部件相隔第一距离至第N的距离，所述第一至第N-1倾斜反射板可相对于所述光照射部件具有倾斜角度。
在例示性实施例中，所述反射部件可具有所述第1至所述第N-1倾斜反射板及所述第二至所述第N平行反射板连续配置在所述第1平行反射板的左侧及右侧的结构。
在例示性实施例中，所述调整部件能够根据所述检测信号确认所述基板与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度，之后能够调整所述基板与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度。
技术效果
根据本发明的例示性实施例，所述调整部件能够根据来自所述检测部件的检测信号确认包括所述对象与所述排列的部件之间的距离及角度的排列，之后能够调整包括所述对象与所述排列的部件之间的距离及角度的排列。所述排列的部件包括所述药液供应部件的情况下，能够精密调整包括所述基板与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度的排列，因此能够从所述药液供应部件向用于多个像素的基板的多个区域上准确地供应药液。因此能够利用所述排列装置提高包括有机发光显示装置的显示装置的可靠性。
但本发明的技术效果不限于上述技术效果，可在不超出本发明的思想及领域的范围内进行多种扩张。
附图说明
图1及图2为用于说明本发明的例示性实施例的排列装置的简要示意图。
具体实施方式
以下对本发明的例示性实施例进行说明。可对本发明实施多种变更，可以具有多种形态，在本文中对实施例进行详细说明。但这并非旨在将本发明限定于特定的公开形态，应该理解为包括本发明的思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素使用类似的附图标记。第一、第二等术语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不得受限于所述术语。所述术语只是用于区分一个构成要素与其他构成要素。本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例，目的并非限定本发明。单数型表述在文中无其他明确说明的情况下还包括复数型表述。应该将本申请中所述的“包括”或“具备”等术语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，而不应理解为预先排除一个或多个其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的存在或附加可能性。
若无另行定义，包括技术或科学术语在内的此处使用的所有术语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的术语应解释为与相关技术的文章脉络的意思相一致的意思，本申请中没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。
以下参见附图详细地说明本发明的例示性的实施例。在附图中相同的构成要素使用相同的附图标记表示，可能会省略对相同构成要素的重复说明。
在例示性实施例中，排列装置可用于制造包括有机发光显示装置的显示装置或包括半导体装置的集成电路装置。这种情况下，所述排列装置可准确地排列相对于对象排列的部件。例如，所述排列装置可相对于包括基板的所述对象精确地排列包括药液供应部件的排列的部件。其中，所述药液供应部件能够向所述基板上供应指定的药液。
图1及图2为用于说明本发明的例示性实施例的排列装置的简要示意图。
参见图1及图2，排列装置100能够排列相对于对象排列的部件200。在例示性实施例中，排列装置100能够相对于包括基板的所述对象排列包括药液供应部件的所述排列的部件200。例如，所述排列装置100能够将为了在所述基板上形成所需的像素而能够向所述基板上供应药液的所述药液供应部件相对于所述基板准确地排列。其中，所述药液供应部件可包括喷墨头。
虽然没有图示，但所述药液供应部件能够向在工作台上部沿着指定的方向移送的所述基板上供应所述药液。所述药液供应部件例如可以被包括门型架的支撑单元支撑。这种情况下，所述药液供应部件可包括能够向所述基板上喷射所述药液的多个喷嘴。例如，所述多个喷嘴可排列成实质上面向所述对象的上面。以下，可以将上部排列有所述多个喷嘴的所述药液供应部件的面称为“药液供应面”。所述多个喷嘴可以实质上以一定的间隔排列于所述药液供应面上。在例示性实施例中，所述药液供应部件可进一步包括分别相邻所述多个喷嘴配置的多个压电要素。为了使所述多个压电要素工作，可向所述多个压电要素分别施加指定的电压。通过所述多个压电要素的工作，能够从所述多个喷嘴向所述对象上喷射所述药液。
在采用所述药液供应部件作为能够通过所述排列装置100排列的所述排列的部件200向所述对象上供应所述药液的工程中，所述药液未从所述药液供应部件准确地喷射到所需区域上的情况下可发生工程不良。所述药液在所述药液供应部件未相对于所述对象准确地排列的情况下也可能无法准确地供应到所述对象的所需区域上，因此可导致所述工程的不良。因此为了将所述药液准确地供应到所述对象上的所需区域上，所述对象及所述药液供应部件之间的排列可作为一个重要因素。
在例示性实施例中，所述排列装置100可确认相对于包括所述基板的所述对象的包括所述药液供应部件的所述排列的部件200之间的排列，能够调整所述对象与所述排列的部件200之间的排列。为此，所述排列装置100可包括光照射部件11、反射部件13、检测部件33及调整部件35。
所述光照射部件11可沿着实质上垂直于所述排列的部件200的方向配置。所述光照射部件11可沿着实质上垂直于所述排列的部件200的方向向所述反射部件13上照射线性光。例如，所述光照射部件11可包括能够向所述反射部件13照射激光的激光发生器。在例示性实施例中，所述光照射部件11可相邻所述排列的部件200配置。所述排列的部件200包括所述药液供应部件的情况下所述光照射部件11可与所述药液供应部件的喷嘴相邻地配置于所述药液供应面上。
在利用所述排列装置100相对于所述对象排列所述排列的部件200的工程中，可从相邻所述排列的部件200配置的所述光照射部件11沿着相对于所述排列的部件200实质上垂直的方向向所述反射部件13照射所述线性光。例如，所述排列的部件200包括所述药液供应部件时，位于所述药液供应部件的药液供应面上的所述光照射部件11可向相对于所述药液供应部件实质上垂直的方向向所述反射部件13上照射所述线性光。
再次参见图1及图2，所述反射部件13能够向指定的方向反射从所述光照射部件11照射的所述线性光。例如，所述反射部件13可包括金属、合金等反射物质。然而，所述线性光包括激光的情况下，所述反射部件13可包括能够反射所述激光的任意的物质。在例示性实施例中，所述反射部件13可配置成实质上面向所述光照射部件11。例如，所述排列的部件200包括所述药液供应部件的情况下，所述反射部件13可实质上面向所述药液供应部件的药液供应面。
从所述光照射部件11照射的所述线性光可通过所述反射部件13以所述指定的角度反射。这种情况下，所述检测部件33能够检测来自所述反射部件13的反射光，之后所述检测部件33能够根据检测到的光发生检测信号。所述反射部件13能够实质上面向所述光照射部件11，因此所述反射光能够从所述反射部件13向所述光照射部件11前进。因此，所述检测部件33可相邻所述光照射部件11配置。例如，所述检测部件33可实质上面向所述药液供应面。
在部分例示性实施例中，所述排列装置100可包括靠近所述光照射部件11的多个检测部件33。这种情况下，所述多个检测部件33可以以所述光照射部件11为中心排列。例如，所述多个检测部件33可分别接触所述光照射部件11的侧部。所述反射部件13可向检测部件33反射所述线性光，所述检测部件33可分别检测从所述反射部件13反射的光。
如上所述，所述排列装置100可包括所述光照射部件11、所述反射部件13、所述检测部件33及所述控制部件35。其中，所述排列装置100可具有所述光照射部件11及所述检测部件33可相邻所述排列的部件200且所述反射部件13可面向所述排列的部件200的结构。所述排列的部件200包括所述药液供应部件时，所述光照射部件11可位于所述药液供应面上，所述反射部件13可面向所述药液供应面。所述控制部件35可确认相对于所述对象的所述排列的部件200的排列，之后可调节所述对象及所述排列的部件200之间的排列。
所述排列的部件200并未相对于所述对象准确地排列的情况下，从所述光照射部件11照射的所述线性光可能无法从所述反射部件13的表面准确地向垂直的方向反射，所述线性光可从所述反射部件13的表面以各种反射角度反射。在例示性实施例中，所述反射部件13可具有能够以多种反射角度反射所述线性光的结构。换而言之，所述排列的部件200可相对于所述对象不规则排列，因此所述反射部件13可具有能够向多种方向反射从所述光照射部件11照射的所述线性光的结构。
根据例示性的实施例，所述反射部件13为了向实质上垂直于所述反射部件13的表面的方向反射所述线性光而可包括第1至第N(其中，N为2以上的正整数)平行反射板。所述第1至第N平行反射板可分别从所述光照射部件11相隔第1至第N距离。并且，所述反射部件13为了以所述多种反射角度反射所述线性光而可包括第1至第N-1倾斜反射板。这种情况下，所述第1至第N平行反射板及所述第1至第N-1倾斜反射板可彼此交替排列。并且，所述第1至第N平行反射板及所述第1至第N-1倾斜反射板可连续配置。
在具有上述结构的反射部件13中，所述第1平行反射板至所述第N的平行反射板可从所述光照射部件11相隔不同的第1至第N距离。所述第1倾斜反射板至所述第N-1倾斜反射板可分别介于所述第1平行反射板至第N的平行反射板之间。所述反射部件13的平行的反射板及倾斜的反射板可实质上一体形成。所述第1平行反射板至所述第N平行反射板可相对于所述光照射部件11以不同的距离配置，所述第1倾斜反射板至所述第N-1倾斜反射板可相对于所述光照射部件11分别倾斜各种角度。换而言之，第1倾斜反射板至所述第N-1倾斜反射板可相对于所述光照射部件11以不同的角度配置。
在例示性实施例中，所述反射部件13可具有在所述第1平行反射板的左侧及右侧分别连续排列所述第1至所述第N-1倾斜反射板及所述第2至所述第N平行反射板的结构。以所述第1平行反射板为中心，配置于所述左侧的平行的反射板及配置于所述右侧的所述平行的反射板可从所述光照射部件11相隔相同的距离或相隔不同的距离。并且，以第1平行反射板为中心，配置在所述第1平行反射板的左侧的所述倾斜的反射板及配置在所述第1平行反射板的右侧的所述倾斜的反射板可以相对于所述光照射部件11以实质上相同的角度或不同的角度倾斜。
如图1及图2例示，所述排列装置100的反射部件13中与所述光照射部件11相隔第一距离的第1平行反射板15的左侧可包括相对于所述光照射部件11具有第一角度的第1倾斜反射板27、具有第二距离的第2平行反射板19、具有第二角度的第2倾斜反射板31、以及具有第三距离的第3平行反射板23。并且，反射部件13中所述第1平行反射板15的右侧可包括具有第三角度的第3倾斜反射板25、具有第四距离的第4平行反射板17、具有第四角度的第4倾斜反射板29、以及具有第五距离的第5平行反射板21。这种情况下，所述第一距离至所述第五距离实质上可相同或不同，所述第一角度至所述第四角度可实质上相同或不同。
所述第2平行反射板19及所述第4平行反射板17可从所述光照射部件11相隔相同或不同的距离。所述第3平行反射板23及所述第5平行反射板21可从所述光照射部件11相隔相同或不同的距离。并且，所述第1倾斜反射板27及所述第3倾斜反射板25可相对于所述光照射部件11倾斜相同或不同的角度。所述第2倾斜反射板31及所述第4倾斜反射板29可相对于所述光照射部件11倾斜相同或不同的角度。
通过相邻所述光照射部件11的所述检测部件33能够检测从具有上述结构的反射部件13以多种反射角度反射的所述线性光。例如，如图2例示，所述检测部件33检测从所述第3倾斜反射板25反射的光的情况下，可根据所述第3倾斜反射板25的第三角度确认所述排列的部件200相对于所述对象倾斜的程度。换而言之，所述排列的部件200相对于所述对象倾斜指定的角度的情况下，即使从所述光照射部件11向所述反射部件13向垂直的方向照射所述线性光，所述线性光也会被对应于所述指定的角度的所述第1至第N-1倾斜反射板中的一个而不是所述第1平行反射板15反射。因此能够确认相对于所述对象的所述排列的部件200的倾斜角度。从所述光照射部件11照射的所述线性光被所述第2至所述第N平行反射板中的一个而不是所述第1平行反射板15反射的情况下，所述线性光能够从所述反射部件13向相对于所述反射部件13垂直的方向反射，因此能够确认所述排列的部件200与所述对象之间的距离。所述检测部件33能够检测从所述反射部件13的多个反射板反射的光，能够基于这种检测到的光发生关于所述对象与所述排列的部件200之间的距离及角度的检测信号。
所述调整部件35能够根据来自所述检测部件33的检测信号确认相对于所述对象的所述排列的部件200的排列，能够调整所述对象及所述排列的部件200之间的排列。所述排列的部件200包括所述药液供应部件的情况下，所述调整部件35能够确认相对于所述基板的所述药液供应部件的距离及倾斜角度，能够调整所述基板与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度。即，所述调整部件35能够确认、调整所述基板与所述药液供应部件之间的排列。所述药液供应部件被门型架支撑的情况下，所述调整部件35能够确认相对于所述门型架的所述药液供应部件的距离及倾斜角度，能够调整所述门型架与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度。
如上所述，所述调整部件35能够根据来自所述检测部件33的检测信号确认包括所述对象与所述排列的部件200之间的距离及角度的排列，之后能够调整包括所述对象与所述排列的部件200之间的距离及角度的排列。例如，所述调整部件35能够调整所述对象与所述排列的部件200之间的距离及角度的排列以保持相对于所述对象的所述排列的部件200的初始平行位置。所述排列的部件200包括所述药液供应部件的情况下，能够精密调整包括所述基板与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度的排列，因此能够从所述药液供应部件向用于多个像素的基板的多个区域上准确地供应药液。因此能够利用所述排列装置100提高包括制造的有机发光显示装置的显示装置的可靠性。
以上说明了本发明的例示性实施例，但本技术领域的普通技术人员应理解可以在不超出所附权利要求记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种变更及变形。

Claims (16)

1.一种排列装置，其特征在于，包括：
光照射部件，向与相对于对象排列的部件垂直的方向照射线性光；
反射部件，反射从所述光照射部件照射的所述线性光；
检测部件，检测从所述反射部件反射的光，基于检测到的光发生检测信号；以及
调整部件，从所述检测部件接收所述检测信号，根据所述检测信号确认相对于所述对象的所述排列的部件的排列，调整所述对象及所述排列的部件之间的排列。
2.根据权利要求1所述的排列装置，其特征在于：
所述光照射部件包括激光发生器。
3.根据权利要求1所述的排列装置，其特征在于：
所述反射部件包括相对于所述光照射部件平行的第1平行反射板至第N平行反射板及相对于所述光照射部件倾斜的第1倾斜反射板至第N-1倾斜反射板，其中，N为2以上的正整数。
4.根据权利要求3所述的排列装置，其特征在于：
所述第1平行反射板至第N平行反射板分别从所述光照射部件相隔第一距离至第N距离，所述第1倾斜反射板至第N-1倾斜反射板相对于所述光照射部件具有倾斜角度。
5.根据权利要求3所述的排列装置，其特征在于：
所述反射部件具有所述第1倾斜反射板至所述第N-1倾斜反射板及所述第二平行反射板至所述第N平行反射板连续配置在所述第1平行反射板的左侧及右侧的结构。
6.根据权利要求1所述的排列装置，其特征在于：
所述调整部件根据所述检测信号确认所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度，之后调整所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度。
7.一种排列方法，其特征在于，包括：
通过光照射部件沿着与相对于对象排列的部件垂直的方向照射线性光的步骤；
反射所述线性光的步骤；
检测所述反射的光，基于检测到的光发生检测信号的步骤；以及
根据所述检测信号确认所述对象与所述排列的部件之间的排列并进行调整的步骤。
8.根据权利要求7所述的排列方法，其特征在于：
所述线性光包括激光。
9.根据权利要求7所述的排列方法，其特征在于，确认所述对象与所述排列的部件之间的排列并进行调整的步骤包括：
确认所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度的步骤；以及
调整所述对象与所述排列的部件之间的距离及倾斜角度的步骤。
10.一种排列装置，是用于排列向基板供应药液的药液供应部件的排列装置，其特征在于，包括：
光照射部件，向与所述药液供应部件的药液供应面垂直的方向照射光；
反射部件，反射从所述光照射部件照射的光；
检测部件，检测从所述反射部件反射的光，基于检测到的光发生检测信号；以及
调整部件，从所述检测部件接收检测信号，根据所述检测信号确认相对于所述基板的所述药液供应部件的排列，调整所述基板及所述药液供应部件之间的排列。
11.根据权利要求10所述的排列装置，其特征在于：
所述光照射部件包括激光发生器。
12.根据权利要求10所述的排列装置，其特征在于：
所述反射部件配置成面向所述药液供应部件的药液供应面。
13.根据权利要求10所述的排列装置，其特征在于：
所述反射部件包括相对于所述光照射部件平行的第1平行反射板至第N平行反射板及相对于所述光照射部件倾斜的第1倾斜反射板至第N-1倾斜反射板。
14.根据权利要求13所述的排列装置，其特征在于：
所述第1平行反射板至第N平行反射板分别从所述光照射部件相隔第一距离至第N距离，所述第一倾斜反射板至第N-1倾斜反射板相对于所述光照射部件具有倾斜角度。
15.根据权利要求13所述的排列装置，其特征在于：
所述反射部件具有所述第一倾斜反射板至所述第N-1倾斜反射板及所述第二平行反射板至所述第N平行反射板连续配置在所述第一平行反射板的左侧及右侧的结构。
16.根据权利要求10所述的排列装置，其特征在于：
所述调整部件根据所述检测信号确认所述基板与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度，之后调整所述基板与所述药液供应部件之间的距离及倾斜角度。
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